JP3137174B2 - Ic tester of the test head - Google Patents

Ic tester of the test head

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JP3137174B2 JP07231109A JP23110995A JP3137174B2 JP 3137174 B2 JP3137174 B2 JP 3137174B2 JP 07231109 A JP07231109 A JP 07231109A JP 23110995 A JP23110995 A JP 23110995A JP 3137174 B2 JP3137174 B2 JP 3137174B2
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照彦 徳毛
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横河電機株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、放射状に設けられるプリント基板に搭載される電子部品の冷却を冷却液により行うICテスタのテストヘッドに関し、特に、冷却液の液漏れを検知することができるICテスタのテストヘッドに関するものである。 The present invention relates to the cooling of electronic components mounted on a printed circuit board provided in the radially relates the test head IC tester conducted by cooling liquid, in particular, it is possible to detect the liquid leakage of the cooling liquid the present invention relates to a test head of the IC tester.

【0002】 [0002]

【従来の技術】ICテスタは、ICやLSIなどの被試験対象をテストヘッドの中央部に載せて、被試験対象の試験を行っている。 BACKGROUND OF THE INVENTION IC tester put to be tested, such as an IC or LSI in the center of the test head, and tested of the test object. このようなテストヘッドは、被試験対象との距離を短くするため、プリント基板が放射状に配置されている。 Such test head in order to shorten the distance between the object to be tested, a printed circuit board are arranged radially. そして、このプリント基板に搭載される電子部品をファン、つまり、空冷により冷却を行っていた。 Then, the electronic components mounted on the printed circuit board fan, that is, has been performed cooled by air cooling.

【0003】しかし、ICテスタの多ピン化、高速化、 [0003] However, the number of pins of the IC tester, high-speed,
小型化に伴い、使用する電子部品のIC化、プリント基板への高密度実装化により、電子部品の高発熱密度化に伴う冷却が問題となり、従来の空冷では冷却能力に限界が発生していた。 With the miniaturization, IC of electronic components to be used, the high-density mounting on a printed circuit board, the cooling due to the higher heat density of electronic components has become a problem, limiting the cooling capacity has occurred in the conventional air cooling . そこで、水冷により、冷却を行い冷却能力を高めている。 Therefore, the water-cooling, to enhance the cooling capacity perform cooling. 例えば、特開平3−196656号公報に開示されているような装置である。 For example, a device as disclosed in JP-A-3-196656. このような装置は、テストヘッドの上部に円周状に配管される供給パイプと下部に円周状に配管される排出パイプを有している。 Such apparatus has a discharge pipe which is a pipe circumferentially lower and supply pipe is the pipe circumferentially on the top of the test head. この供給パイプから冷却プレートが冷却水(冷却液)の供給を受け、プリント基板の電子部品を冷やして排出パイプへ冷却水を排出している。 The cooling plate from the feed pipe supplied with cooling water (coolant), and discharging the cooling water into the discharge pipe cooled printed circuit board electronic components. そして、冷却プレートに与える冷却水は、熱交換器が供給パイプへ冷却水を供給し、排出パイプから冷却水を取り入れて冷却水の循環を行っている。 Then, the cooling water supplied to the cooling plate, the heat exchanger supplies cooling water to the supply pipe, is performed circulation of the cooling water intake cooling water from the discharge pipe.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】このようにテストヘッド内の冷却を水冷により行うようになったので、冷却液が漏れた場合、プリント基板の電子部品同志が漏液によりショートしてしまい、破壊されてしまうという問題点があった。 [Problems that the Invention is to Solve Since this happens the cooling in the test head to conduct the water cooling, if the cooling liquid leaks, will be shorted by the electronic component comrade leakage of PCB destruction there is a problem that is.

【0005】そこで、本発明の目的は、冷却液の漏れを検知することができるICテスタのテストヘッドを実現することにある。 An object of the present invention is to realize an IC tester of the test head which can detect the leakage of the coolant.

【0006】 [0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、 チューブを介 Means for Solving the Problems The present invention, through the tube
して冷却液が供給される冷却プレートにより、プリント The cooling plate cooling liquid is supplied to the print
基板に搭載される電子部品の冷却を行うICテスタのテ Te of IC tester for cooling the electronic components mounted on the substrate
ストヘッドにおいて、 前記冷却プレートと前記チューブ In Sutoheddo, the cooling plate and the tube
とを取り外し自在に接続するジョイントと、 このジョイ Joint and, this Joy for removably connected bets
ントに取り付けられた吸液部材と、 この吸液部材に取り A liquid absorbing member mounted on cement, taken up in the liquid absorbing member
付けられ、漏液を検知する漏液センサとを設け、漏液セ Attached, it provided a leakage sensor for detecting leakage, Moekise
ンサが漏れた冷却液を検知したとき、警報あるいは装置 When detecting capacitors leaks coolant, alarm or device
の停止の少なくとも一方を行うことを特徴とするものである。 Is characterized in that the performing at least one stop.

【0007】 [0007]

【0008】 [0008]

【0009】 [0009]

【作用】このような本発明では、 ジョイントの吸液部材 [Action] In the present invention, the joint of the liquid absorbing member
に設けられた漏液センサが、ジョイントからの漏液を検 Leakage sensor provided in the, test liquid leakage from the joint
知する。 To knowledge. そして、漏液センサが漏れた冷却液を検知した Then, it detects the coolant leaking leaks sensor
とき、警報あるいは装置の停止の少なくとも一方を行 When a row at least one of the stop of the alarm or device
う。 Cormorant.

【0010】 [0010]

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を説明する。 The present invention will be described with reference to the DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The following drawings. 図1はICテスタの構成概念図である。 Figure 1 is a conceptual diagram of an IC tester. 図において、THはテストヘッドで、被試験対象(図示せず)に直接結合しやすくするため、スタンドSTに上下方向及び回転可能に支持されている。 In FIG, TH in the test head, for ease of directly bonded to be tested (not shown), and is vertically and rotatably supported on a stand ST. このテストヘッドTH内には被試験対象の各ピンにテスト信号を与えるテスト信号発生部を多数搭載した構成となっている。 This test head TH has a configuration equipped with a large number of test signal generating section that gives a test signal to each pin of the test subject. TMはオペレータが操作を行うターミナルである。 TM is a terminal operator to perform an operation. CNTはコントロール部で、ターミナルTMと接続し、テストヘッドT CNT is a control unit, connected to the terminal TM, test head T
Hの動作制御や、システム全体の制御などを行う。 H operation control of, controls the entire system and the like. HC HC
は熱交換器で、テストヘッドTHから冷却液を流入し、 In the heat exchanger, it flows a cooling fluid from the test head TH,
冷却液を一定温度(例えば35°C程度)にしてテストヘッドTHに送り、テストヘッドTH内の冷却を行う。 Feeding the test head TH and the coolant at a constant temperature (e.g. 35 ° about C), for cooling in the test head TH.

【0011】次に、テストヘッドTH内の構成について説明する。 [0011] Next, a description will be given of the configuration of the test head TH. 図2は、テストヘッドTH内の構成図である。 Figure 2 is a block diagram of the test head TH. 図において、1は筐体で、円筒形状の側壁に箱が取りついた形状になっている。 In FIG, 1 is a housing, has a shape that the box is Toritsui on the side wall of the cylindrical shape. 筐体1には、天板11と底板12とが取り付けられている。 The housing 1, a top plate 11 and bottom plate 12 is attached. 天板11は、被試験対象と信号の授受を行う面に取り外し可能で、取り外すことにより、プリント基板BD1,BD2,BD3の保守点検作業を行う。 The top plate 11 is removable to a surface for transferring of the test object and the signal, by removing, performing maintenance and inspection work of the printed circuit board BD1, BD2, BD3. そして、天板11と底板12とは、例えばネジなどにより筐体1に取り付けられる。 Then, the top plate 11 and bottom plate 12 is attached to the housing 1 by, for example, a screw.

【0012】PBはパフォーマンスボードで、被試験対象とテストヘッドTHとの間に設けられ、被試験対象とテストヘッドTHとを接続する。 [0012] PB in performance board is provided between the under test and the test head TH, connecting the object to be tested and the test head TH. RBはリレーボードで、リレーが搭載され、プリント基板BD1にコネクタを介して接続すると共に、パフォーマンスボードPBと電気的に接続する。 RB is a relay board, the relay is mounted, as well as connected through a connector to the printed circuit board BD1, connected to the performance board PB and electrically.

【0013】プリント基板BD1,BD2は、筐体1の円筒状部分に放射状に設けられ、電子部品(ここでは、 [0013] PCB BD1, BD2 is provided radially on a cylindrical portion of the housing 1, electronic components (in this case,
例えばLSIのみならず、電源モジュールなどをも含む)を搭載する。 For example not LSI but also including) equipped with a like power modules. プリント基板BD3は、筐体1の箱状部分に設けられ、電子回路を搭載している。 PCB BD3 is provided in the box-like portion of the housing 1, it is equipped with electronic circuits.

【0014】2はジョイントで、それぞれがプリント基板BD1,BD2に取り付けられる冷却プレート31, [0014] 2 in the joint, the cooling plate 31, each of which is attached to the printed circuit board BD1, BD2,
32に接続する。 To connect to the 32. 冷却プレート31,32は、両面にプリント基板BD1,BD2を取り付けている。 Cooling plate 31, 32 are attached to printed circuit board BD1, BD2 on both sides. ここで、 here,
ジョイント2は、それぞれ冷却プレート31,32に冷却液を供給する供給用と冷却プレート31,32から冷却液を排出する排出用とがある。 Joint 2, there is a for discharging for discharging the coolant from respectively for supplying for supplying cooling liquid to the cooling plate 31 the cooling plate 31. ここで用いるジョイント2は、ジョイント2を切り離しても、自動的に開口部が閉じて冷却液が漏れない構成になっている。 Here the joint 2 to be used is also disconnect the joint 2, and is automatically configured for cooling fluid opening is closed tight. 4は吸液部材で、ジョイント2に挟まれ、ジョイント2から漏れた冷却液を吸収する。 4 is a liquid absorbing member, is sandwiched between the joint 2, absorbs the coolant which leaks from the joint 2. 5は漏液センサで、吸液部材4が吸収した冷却液を検知する。 5 is a leakage sensor to detect a coolant liquid absorbing member 4 has absorbed.

【0015】6はマニホールドで、熱交換器からの冷却液を流入する供給用とテストヘッドTH内で使用した冷却液を熱交換器へ排出する排出用とがある。 [0015] 6 in the manifold, some coolant used in supply and the test head TH flowing the coolant from the heat exchanger and a discharge for discharging the heat exchanger. Tはチューブで、チューブガイド7により筐体1内の円筒状部分を円周状に配管されると共に、マニホールド6とジョイント2とに配管する。 T is a tube, with the pipe a cylindrical portion of the housing 1 in a circumferential shape by the tube guide 7, piping in the manifold 6 and the joint 2. 8は漏液センサで、天板11あるいは底板12に設けられ、漏れた冷却液を検知する。 8 is a leakage sensor, provided in the top plate 11 or bottom plate 12, to detect a leaked coolant.

【0016】そして、漏液センサ5,8の構成を図3に示す。 [0016] Then, FIG. 3 shows a configuration of a liquid leakage sensor 5,8. そして、漏液センサ5の具体的構成を図4に示し、(a)は分解斜視図、(b)は組立斜視図である。 Then, shows a specific configuration of the liquid leakage sensor 5 in FIG. 4 is a (a) is an exploded perspective view, (b) is assembled perspective view.
また、漏液センサ8を天板11に取り付けた状態を図5 Further, FIG. 5 a state of attaching the liquid leakage sensor 8 in the top plate 11
に示し、漏液センサ8を底板12に取り付けた状態を図6に示す。 To indicate, showing a state of attaching the liquid leakage sensor 8 on the bottom plate 12 in FIG. 6. 両図とも(b)は(a)におけるAから見た図を示す。 Both figures (b) shows a view from A in (a).

【0017】漏液センサ5は、ライン51,52,終端抵抗53,コネクタ54,検知部55からなっている。 The liquid leakage sensor 5, lines 51 and 52, the terminating resistor 53, the connector 54 consists of a detection unit 55.
コネクタ54と検知部55とは、冷却プレート31,3 The connector 54 and the detection unit 55, the cooling plate 31,3
2の倍の数だけ設けてある。 It is provided by the number of 2 times. ライン51,52は、終端抵抗53に接続する。 Line 51, 52 connected to the terminating resistor 53. コネクタ54は、ライン51,5 Connector 54, line 51,5
2と検知部55とを取り外し自在に接続する。 2 to removably connected and a detection unit 55. 検知部5 Detection unit 5
5は、吸液部材4に吸収された冷却液によりライン51 5, line 51 by the cooling liquid that has been absorbed into the liquid absorbing member 4
とライン52とを短絡する。 Short-circuiting the line 52. そして、吸液部材4はスポンジ41と粘着テープ42とからなり、どちらも平面形状は同一である。 The liquid absorbing member 4 is made of a sponge 41 adhesive tape 42, neither the planar shape is the same. つまり、ジョイント2が貫通する穴を有し、スポンジ41に検知部55を粘着テープ42により固定する。 In other words, it has a hole in which the joint 2 extends, to secure the sensing unit 55 by the adhesive tape 42 to the sponge 41. また、スポンジ41には、冷却液を吸収したときに発色する発色材を有している。 Further, the sponge 41 has a color forming material which develops a color upon absorption of liquid coolant. そして、検知部55は、2本のラインが一定間隔を保って被覆されており、ラインに沿った部分は漏れた冷却液を検知できるように一定間隔で連続して被覆されていない部分、つまり、穴があけてある。 Then, the detection unit 55, part two lines are coated while maintaining a predetermined interval, the portion along the line not covered continuously at regular intervals so that it can detect the leaked coolant, i.e. , it is perforated.

【0018】漏液センサ8はライン81,82からなり、ライン81とライン82とは一定間隔を保って被覆されており、冷却液を検知できるように被覆されていない部分、つまり、穴があけてある。 The liquid leakage sensor 8 consists lines 81 and 82, the line 81 and the line 82 is covered by maintaining a constant interval, the portion not covered so can detect the coolant, i.e., a hole drilled and Aru. そして、漏液センサ8は複数あり、天板11あるいは底板12に散らばって配置される。 The leakage sensor 8 is more, it is arranged scattered in the top plate 11 or bottom plate 12. 9は検出回路で、コントロール部CNT内に設けられ、ライン51,52,81,82と接続し、 9 is a detection circuit, provided in the control unit CNT, connected to the line 51,52,81,82,
ライン51とライン52とが短絡、あるいは、ライン8 Line 51 and line 52 and a short circuit or a line 8
1とライン82とが短絡したことを検出し、オペレータに警報を出力すると共に、装置を停止する。 With 1 and the line 82 detects that short-circuited, and outputs an alarm to the operator to stop the device.

【0019】このような装置の動作を以下で説明する。 [0019] explaining the operation of such a device in the following.
ジョイント2から冷却液が漏れると、スポンジ41に吸収される。 When the coolant leaks from the joint 2, is absorbed in the sponge 41. スポンジ41に吸収された冷却液により、スポンジ41が発色すると共に検知部55が短絡する。 The cooling liquid absorbed into the sponge 41, the detection unit 55 is shorted with the sponge 41 is colored. これにより、ライン51,52が短絡し、この短絡により検出回路9はオペレータに警報を出力すると共に、装置を停止する。 Thus, line 51 and 52 is short, the detection circuit 9 by this short-circuit outputs an alarm to the operator to stop the device.

【0020】また、ICテスタがハンドラに接続されている時には、チューブT等から冷却液が漏れて底板12 Further, when the IC tester is connected to a handler, the bottom plate 12 by the cooling liquid leaks from the tube T etc.
に冷却液が溜まり、漏れた冷却液がライン81とライン82とを短絡する。 Coolant reservoir, the leaked coolant short-circuiting the line 81 and line 82 to. この短絡により検出回路9はオペレータに警報を出力すると共に、装置を停止する。 Detection circuit 9 by this short-circuit outputs an alarm to the operator to stop the device.

【0021】そして、ICテスタがプローバに接続されている時には、テストヘッドTHは引っ繰り返されているので、チューブT等から冷却液が漏れて天板11に溜まり、漏れた冷却液がライン81とライン82とを短絡する。 [0021] When the IC tester is connected to the prober, since the test head TH is turned over, collect in the top plate 11 by the cooling liquid leaks from the tube T or the like, and the leaked coolant line 81 short-circuiting the line 82. この短絡により検出回路9はオペレータに警報を出力すると共に、装置を停止する。 Detection circuit 9 by this short-circuit outputs an alarm to the operator to stop the device.

【0022】このように上記の構成の装置は下記のような効果がある。 The apparatus thus described above the arrangement is effective as follows. テストヘッドTH内に漏液センサ5,8を設けたので、冷却液の漏れを検知することができる。 Is provided with the liquid leakage sensor 5,8 in the test head TH, it is possible to detect the leakage of the coolant. これにより、信頼性の高い装置を実現することができる。 Thus, it is possible to realize a highly reliable device. 冷却液が漏れる可能性が高いジョイント2近傍に漏液センサ5を設けたので、すばやく冷却液の漏れを検知することができる。 Since the coolant provided with the liquid leakage sensor 5 to the joint 2 vicinity likely leaking, it is possible to detect leakage of quickly cooling liquid.

【0023】ジョイント2に吸液部材4を取り付けたので、ジョイント2からの冷却液の漏れの検知がしやすくなる。 [0023] Since the mounting of the liquid absorbing member 4 to the joint 2, it made easier to detect the leakage of the coolant from the joint 2. 吸液部材4に漏れた冷却液を吸収したとき発色するので、どのジョイント2から冷却液が漏れたのかが容易にわかる。 Since color when absorbing the coolant leaked liquid absorbing member 4, or from which the joint 2 of coolant leaks is readily apparent. 天板11あるいは底板12に漏液センサ8を設けたので、どの部分から冷却液が漏れても冷却液の漏れを検知することができる。 Is provided with the liquid leakage sensor 8 in the top plate 11 or bottom plate 12 can also detect a leakage of the cooling liquid coolant leaks from any part.

【0024】漏液センサ5の検知部55をスポンジ4 [0024] The detection unit 55 of the liquid leakage sensor 5 sponge 4
1と粘着テープ42とで留めたので、検知部55のスポンジ41に対する密着度が向上し、漏れた冷却液の検知能力が向上する。 Since fastened at one and the adhesive tape 42, improves the degree of adhesion for the sponge 41 of the detection unit 55, thereby improving the detection ability of the leaked coolant. また、スポンジ41がジョイント2により破断することを粘着テープ42で防ぐことができる。 Further, it is possible to prevent the sponge 41 is broken by a joint 2 with adhesive tape 42.

【0025】なお、本発明はこのようなものに限定されるものではなく、以下のものでもよい。 [0025] The present invention is not limited to such, it may be of less. 漏液センサ5はコネクタ54により検知部55が着脱自在に構成されているが、図7に示されるようにしてもよい。 Although leakage sensor 5 detecting unit 55 by a connector 54 is configured to detachably, may be shown in FIG. つまり、ライン51とライン52とをジョイント2近傍に配線し、 In other words, the line 51 and the line 52 wired in the vicinity of the joint 2,
配線した部分を検知部56とする。 The wiring portion and the detection portion 56. この検知部56により漏れた冷却液を検知する。 Detecting the coolant leakage by the detection unit 56. また、漏液センサ5は終端抵抗53がない構成でもよい。 Also, liquid leakage sensor 5 may be configured without a termination resistor 53. この場合、漏液センサ5 In this case, leakage sensor 5
の断線検知ができなくなる。 It can not be the detection of disconnection.

【0026】そして、吸液部材4をスポンジ41と粘着テープ42とで構成した例を示したが、スポンジで漏液センサ5の検知部55を挟む構成や、粘着テープ42の代わりに補強部材とスポンジ41で検知部55を挟み込み、スポンジ41の破断を防止する構成でもよい。 [0026] Then, although the example in which the liquid absorbing member 4 by the sponge 41 and the adhesive tape 42, a configuration sandwiching the detection part 55 of the leakage sensor 5 with a sponge, and a reinforcing member in place of the adhesive tape 42 entrapment detection portion 55 in the sponge 41 may be configured to prevent the breaking of the sponge 41. さらに、冷却液が漏れたことを検知したとき、警報と装置の停止の両方を行う構成を示したが、少なくとも一方を行う構成であればよい。 Further, when it is detected that the cooling liquid leaks has shown the configuration in which both stop the alarm and the device may be a configuration in which at least one.

【0027】 [0027]

【発明の効果】 請求項1によれば、冷却液が漏れる可能性が高いジョイント近傍に漏液センサを設けたので、すばやく冷却液の漏れを検知することができる。 Effect of the Invention According to claim 1, the cooling fluid may leak provided liquid leakage sensor in the vicinity of high joint, it is possible to detect leakage of quickly cooling liquid.

【0028】 また、ジョイントに吸液部材を取り付けたので、ジョイントからの冷却液の漏れの検知がしやすくなる。 Further, since the attachment of the liquid absorbing member to the joint, it becomes easier to detect the leakage of the coolant from the joint. 請求項によれば、吸液部材に漏れた冷却液を吸収したとき発色するので、どのジョイントから冷却液が漏れたのかが容易にわかる。 According to claim 2, since the color when absorbing the coolant leaked liquid absorbing member, one of which joint the coolant leaks are readily apparent.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】ICテスタの構成概念図である。 1 is a conceptual diagram of an IC tester.

【図2】テストヘッドTH内の構成図である。 FIG. 2 is a block diagram of the test head TH.

【図3】漏液センサ5,8の構成図である。 3 is a configuration diagram of a leakage sensor 5,8.

【図4】漏液センサ5の具体的構成を示した斜視図である。 4 is a perspective view showing the specific structure of the liquid leakage sensor 5.

【図5】漏液センサ8を天板11に取り付けた状態を示した図である。 The Figure 5 leak sensor 8 is a diagram showing a state attached to the top plate 11.

【図6】漏液センサ8を底板12に取り付けた状態を示した図である。 6 is a diagram showing a state in which the liquid leakage sensor 8 attached to the bottom plate 12.

【図7】検知部5の他の実施例を示した構成図である。 7 is a block diagram showing another embodiment of the detection unit 5.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

TH テストヘッド BD1,BD2,BD3 プリント基板 T チューブ 2 ジョイント 4 吸液部材 5,8 漏液センサ 11 天板 12 底板 31,32 冷却プレート TH test head BD1, BD2, BD3 PCB T tube 2 joint 4 liquid-absorbent member 5,8 leakage sensor 11 top plate 12 bottom plate 31 the cooling plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 徳毛 照彦 東京都武蔵野市中町2丁目9番32号 横 河電機株式会社内 (72)発明者 吉川 芳一 東京都武蔵野市中町2丁目9番32号 横 河電機株式会社内 (72)発明者 渕上 和久 東京都武蔵野市中町2丁目9番32号 横 河電機株式会社内 審査官 中村 直行 (56)参考文献 特開 平7−135396(JP,A) 特開 平3−56873(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,DB名) G01R 31/26 G01R 31/28 H01L 21/66 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Tokuke Teruhiko Musashino-shi, Tokyo Naka 2-chome No. 9 No. 32 Yokogawa electric Corporation within (72) inventor Yoshikazu Yoshikawa Musashino-shi, Tokyo Naka 2-chome No. 9 No. 32 Yokogawa electric within Co., Ltd. (72) Direct Nakamura, inventor Kazuhisa Fuchigami Musashino-shi, Tokyo Nakamachi the examiner 2-chome No. 9 No. 32 Yokogawa electric Co., Ltd. (56) reference Patent flat 7-135396 (JP, a) Patent flat 3-56873 (JP, a) (58 ) investigated the field (Int.Cl. 7, DB name) G01R 31/26 G01R 31/28 H01L 21/66

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】 (57) [the claims]
  1. 【請求項1】 チューブを介して冷却液が供給される冷 1. A cold coolant through the tube is supplied
    却プレートにより、プリント基板に搭載される電子部品 The retirement plate, electronic components mounted on the printed circuit board
    の冷却を行うICテスタのテストヘッドにおいて、 前記冷却プレートと前記チューブとを取り外し自在に接 In the test head of the IC tester to cool, freely against removal and the said cooling plate tube
    続するジョイントと、 このジョイントに取り付けられた吸液部材と、 この吸液部材に取り付けられ、漏液を検知する漏液セン A joint for connection, the liquid absorbing member attached to the joint, attached to the liquid absorbing member, leakage sensor for detecting a leakage
    サとを設け、漏液センサが漏れた冷却液を検知したと A service provided, and detects the coolant leaking leaks sensor
    き、警報あるいは装置の停止の少なくとも一方を行うこ Come, this performing at least one of stopping the alarm or device
    とを特徴とするICテスタのテストヘッド。 IC tester of the test head, wherein the door.
  2. 【請求項2】 吸液部材は漏れた冷却液を吸収したとき発色することを特徴とする請求項1記載のICテスタのテストヘッド。 2. A liquid absorbing member according to claim 1 IC tester of the test head, wherein the color development upon absorbing the leaked coolant.
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