JP3134775U - 発光分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】CCDカメラ21によって撮像した試料表面の画像データはパーソナルコンピュータ3に送信される。パーソナルコンピュータ3は、保管している試料の種類及び切削研磨材交換後の処理回数別の欠陥判定基準を使用し、この画像データを画像解析して試料面全体の欠陥部の検出をし、その欠陥部情報に基づいて分析位置を抽出し、抽出した分析位置の座表を基にロボットアーム4を制御して移動させ、試料の位置決めを行い、分析位置を分析する。
【選択図】 図1
Description
また、撮像の妨害となる光の入射を防ぐ遮蔽カバー23で撮像部2を囲っている。
2 撮像部
3 パーソナルコンピュータ
4 ロボットアーム
5 試料前処理部
21 CCDカメラ
22 ランプ
23 遮蔽カバー
31 情報テーブル
40 撮影試料
41 欠陥域
42 欠陥域
43 分析候補範囲
43a 分析対象位置
Claims (1)
- 固体試料表面の分析を行う分析部と、試料の分析面を撮像して欠陥部を検出する画像解析手段と、前記欠陥部の情報に基づいて分析位置を抽出する手段とを備え、抽出された分析位置で分析を行う発光分析装置において、前記固体試料の種類及び/又は前記分析面の表面前処理をする切削研磨材交換後の処理回数別に判定基準を設定する手段と、この判定基準に基づいて前記欠陥部を検出する検出手段を設けたことを特徴とする発光分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007004450U JP3134775U (ja) | 2007-03-15 | 2007-06-13 | 発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (2)
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---|---|---|---|
JP2007067563 | 2007-03-15 | ||
JP2007004450U JP3134775U (ja) | 2007-03-15 | 2007-06-13 | 発光分析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3134775U true JP3134775U (ja) | 2007-08-23 |
Family
ID=43285333
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007004450U Expired - Fee Related JP3134775U (ja) | 2007-03-15 | 2007-06-13 | 発光分析装置 |
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JP (1) | JP3134775U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009139299A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Shimadzu Corp | 発光分析装置 |
US10739321B2 (en) | 2010-10-29 | 2020-08-11 | Thermo Fisher Scientific Oy | Automated system for sample preparation and analysis |
-
2007
- 2007-06-13 JP JP2007004450U patent/JP3134775U/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009139299A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Shimadzu Corp | 発光分析装置 |
US10739321B2 (en) | 2010-10-29 | 2020-08-11 | Thermo Fisher Scientific Oy | Automated system for sample preparation and analysis |
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