JP3134131U - Transport fixture and package for board rack - Google Patents
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Abstract
【課題】基板ラックを破損させずに効率的に搬送させる搬送用固定具の提供。
【解決手段】それぞれ、基板ラック10の最上部に最上部支持フレーム710
aと、基板ラック10の底部に底部支持フレーム710bとしての形をしている。各支持フレーム710a、710bは、ハブ712の中心から放射状に伸びている平坦な中心ハブ712と複数の平坦なアーム714を含んでいる。2つの隣接したアーム714の間に生じる角度は、平坦なアーム714の数に左右される。一変形例においては、3つの平坦なアーム714が、水平面で相互に120°で等しく隔置されている。各アーム714は、剛性ポスト220を受容し固定するためにスロット716を含んでいる。
【選択図】図5Provided is a transport fixture for efficiently transporting a substrate rack without damaging it.
An uppermost support frame 710 is provided on the uppermost part of a substrate rack 10 respectively.
a and a bottom support frame 710b at the bottom of the substrate rack 10. Each support frame 710a, 710b includes a flat central hub 712 and a plurality of flat arms 714 extending radially from the center of the hub 712. The angle that occurs between two adjacent arms 714 depends on the number of flat arms 714. In one variation, three flat arms 714 are equally spaced at 120 ° from each other in a horizontal plane. Each arm 714 includes a slot 716 for receiving and securing the rigid post 220.
[Selection] Figure 5
Description
[背景]
本考案の実施形態は、基板ラックのための搬送用固定具及びパッケージに関連する。
[background]
Embodiments of the present invention relate to a transport fixture and package for a substrate rack.
基板ラックは、ディスプレイと半導体を形成するために基板の製造の間、バッチの基板を保持するために用いることができる。例えば、基板ラック、例えば、ウエハ処理ボートは、半導体ウエハを各々保持することができる一連の垂直に配置されたスロットを有する。堆積チャンバ内に半導体ウエハを保持することができる典型的な基板ラック10は、図1で示されている。基板ラック10は、スペーサ30で分けられ且つスペーサ30を通過してベースプレート50と最上部プレート60を接続する金属ロッド40によって共に保持されている複数のグラファイトディスク20を備えている。ラックコンポーネント20、30、40、50は、堆積環境からそれらを防御するために、また、基板ラック10からの汚染物質が基板処理チャンバに入るのを防止するために、シリコンカーバイドのようなセラミックスで被覆することができる。基板ラック10は、基板のスタック上に、ポリシリコン、アモルファスシリコン又は二酸化シリコンのような物質を堆積させるために、化学気相堆積(CVD)チャンバのような堆積チャンバ内に配置することができる。このプロセスで、シリコン含有ガスがCVDチャンバに導入され、基板ラック10が回転され加熱されるとともにプラズマが生成される。例示的な基板ラックはこのようなラックを示すために用いられるが、他の基板処理装置又は方法、例えば、物理気相堆積(PVD)チャンバ、エッチングチャンバ、注入チャンバに用いられる基板ラックも使用し得る。
The substrate rack can be used to hold batch substrates during the manufacture of the substrate to form the display and semiconductor. For example, a substrate rack, such as a wafer processing boat, has a series of vertically arranged slots that can each hold a semiconductor wafer. A
使用中に、いくつかのプロセスサイクル後、ラック10は、蓄積したプロセス堆積物を除去するために洗浄又は修繕される。例えば、典型的なCVDプロセスでは、基板上に堆積するCVD物質は、基板ラック10上に堆積する。多くのCVDプロセスサイクル後、CVD物質層が基板ラック10に蓄積する。堆積物が基板ラックから剥げ落ちた場合には、この堆積物の蓄積層は、CVDチャンバや基板を汚染してしまう。従って、堆積した物質を基板ラック10から定期的に除去して、その後のプロセスサイクルに用いるために基板ラックを修繕し洗浄する。
In use, after several process cycles, the
典型的には、基板ラックは包装され、ラック10を洗浄又は修繕するためにオフサイト洗浄施設に出荷される。しかしながら、ラック10の搬送に関して問題がいくつかある。まず、組み立てられた基板ラックは重く、しばしば約50〜100ポンドの重さがあり、更に、壊れやすく、破損せずに出荷することを難しくする。また、ラック10は周囲環境に敏感であり、空気に晒された場合に浸食又は腐食してしまう。また、ラック10上に形成された堆積物は、取扱者に対して毒性があり、危険である。従って、洗浄場所に出荷される前に、典型的にはドープされていないシリコンを含む、薄い密封層を基板ラック10に堆積させて、取扱者がラック上の堆積物に晒されることを防御する。基板ラック10は、次に、エアクッション“バブルラップ”で巻かれ、出荷のために木製の木箱に入れられる。基板ラック10が非常に壊れやすいことから、1つの位置で、即ち、垂直方向の縦軸で搬送されなければならず、そうでなければ、基板ラックの脆いコンポーネントが欠けてしまい、破損してしまう。搬送問題に対するこれらの解決策のすべては、ラック10を洗浄し修繕するコストに加わる。
Typically, substrate racks are packaged and shipped to an off-site cleaning facility for cleaning or repairing the
洗浄場所への運送では、基板10を含有する木箱は、出入国審査官又は法執行官によって検査に供されることがある。検査を行なうために、執行官は、典型的には、木枠をコードしている開き、禁制品が木枠に含まれないことを確実にするためにバブルラップを取り除く。検査後、基板ラック10は再包装され、洗浄場所に搬送される。そこで、基板ラックは、堆積した物質の層を除去するために数時間酸性浴に入れられる。この時まで、基板ラック10は、堆積した物質が基板ラックのコンポーネントと接着していることから組み立てられており、基板ラックはコンポーネントを損傷せずに分解することはできない。最初の酸性浴後、層は除去され、基板ラックのコンポーネントは“剥がされる”。その後、基板ラック10は分解され、再び洗浄され、約400℃で約10時間焼き付けて乾燥する。乾燥するとすぐに、分解された修繕コンポーネントは包装され、顧客へ出荷され、そこで、基板ラック10は再び組み立てられ、すぐに使用できる。
In transport to the cleaning site, the wooden box containing the
上記搬送修繕プロセスで、基板ラック10のかなりの割合が修繕できないほど損傷される。例えば、基板ラック10が包装され、即ち、バブルラップで巻かれて木箱に入れられ、包装されず、又は例えば、顧客の場所で、検査中に、洗浄場所で、再包装された場合、基板ラック10のコンポーネント上のシリコンカーバイドコートは、容易に削られ又は分解することがあり、コンポーネントを無用にする。木箱が搬送の間に傾けられ又は落下する場合には、壊れやすいコンポーネントは分解するか欠けてしまう。基板ラック10は、典型的には基板ラックを再び組み立てる経験がなく、熟練していない研究所の技術者が再び組み立てた場合、顧客の場所で損傷される場合がある。基板ラックの損傷に加えて、コンポーネントが分解するか削られたときに、取扱者と検査官は薄い密封層の下に有毒な物質をさらすことができる。
During the transport repair process, a significant percentage of the
従って、クリーンルームから洗浄又は修繕するための洗浄施設又はオフサイト施設まで基板ラック10を効率的に搬送することができることが望ましい。また、梱包プロセス、解梱プロセス、搬送プロセスの間、基板ラック10の破損を最小限にすることが望ましい。更に、コンポーネントを損傷させずに、ラック10を効率的に洗浄することが望ましい。更に、取り扱いと搬送の間、取扱者がラック上の堆積物に晒されることから防御することが望ましい。
Therefore, it is desirable that the
[概要]
基板ラックを保持するための搬送用固定具は、最上部エンドプレートと底部エンドプレートを備えている。複数のポストによって最上部エンドプレートが底部プレートに取付けられ、それらの間に基板ラックを閉じ込めるのに十分な距離を離して隔置される。各ポストは、縦の内部端を有する。ポストの各々の縦の内部端に対応するバンパーが結合されている。搬送用固定具は、搬送の間、基板ラック緩衝し、固定し、保護する。
[Overview]
A transport fixture for holding a substrate rack includes a top end plate and a bottom end plate. A plurality of posts attach the top end plate to the bottom plate and are spaced apart a sufficient distance to confine the substrate rack between them. Each post has a vertical internal edge. A bumper corresponding to each vertical inner end of the post is coupled. The transport fixture cushions, fixes and protects the substrate rack during transport.
他の実施形態においては、搬送用固定具は、三角形で尖部を持つ、最上部エンドプレートと底部エンドプレートを備えている。3つのポストは、最上部エンドプレートの尖部を底部エンドプレートの尖部に取付けている。対応するバンパーが各ポストに結合されている。 In other embodiments, the transport fixture includes a top end plate and a bottom end plate that are triangular and pointed. Three posts attach the apex of the top end plate to the apex of the bottom end plate. A corresponding bumper is attached to each post.
少なくとも一部が光り透過性であるシェルもまた、シェルを開けずに固定具とラックをなお見ることを可能にしつつ外部環境から基板ラックを保護するために固定具を囲むことができる。一変形例においては、シェルは第一周縁部を有する閉鎖端と開放端を持つ第一トレイを備え、第一トレイの少なくとも一部は光透過性物質を含んでいる。第二トレイは第二周縁部を有する閉鎖端と開放端を備え、第二トレイの少なくとも一部は光透過性物質を含んでいる。第一周縁部と第二周縁部は組み合わされているので、第一トレイと第二トレイの開放端は相互に面してそれらの間にキャビティを形成している。シールを形成するために周縁部間に密封ガスケットが使用される場合がある。シェルは、また、排気ポートと、シェルを排気するとともにシェルを非反応性ガスで充填するためのそれぞれパージガス継手を含むことができる。シェルは、その内部の内容物を見るためにシェルを開けることを必要とする固定具とラックの慣例又は他の目視点検を可能にする。 A shell that is at least partially light transmissive can also surround the fixture to protect the substrate rack from the external environment while still allowing the fixture and rack to be viewed without opening the shell. In one variation, the shell includes a first tray having a closed end having a first peripheral edge and an open end, wherein at least a portion of the first tray includes a light transmissive material. The second tray has a closed end having a second peripheral edge and an open end, and at least a portion of the second tray contains a light transmissive material. Since the first peripheral edge and the second peripheral edge are combined, the open ends of the first tray and the second tray face each other to form a cavity therebetween. A sealing gasket may be used between the perimeters to form a seal. The shell can also include an exhaust port and a respective purge gas fitting for evacuating the shell and filling the shell with a non-reactive gas. The shell allows for routine or other visual inspection of fixtures and racks that require opening the shell to see its contents.
搬送ケーシングは、また、出荷のためにシェルを囲むために使用できる。搬送ケーシングは、シェルの形に適合するように輪郭のある内部フォームブロックを持つ剛性ボックスを備えている。ケーシングによって、搬送の間、更に機械的に保護される。 The transfer casing can also be used to enclose the shell for shipping. The transport casing comprises a rigid box with an internal foam block that is contoured to fit the shape of the shell. The casing provides additional mechanical protection during transport.
本考案のこれらの特徴、態様、利点は、以下の説明、添付の実用新案登録請求の範囲、本考案の例を示している次の図面に関してより良く理解される。しかしながら、特徴の各々が一般に本考案に用いることができ、単に特定の図面に関連して用いられるものでないことは理解すべきであり、考案はこれらの特徴のあらゆる組合せを含んでいる。 These features, aspects, and advantages of the present invention will be better understood with regard to the following description, the appended utility model registration claims, and the following drawings that illustrate examples of the present invention. However, it should be understood that each of the features can generally be used in the present invention and not merely in connection with a particular drawing, and the device includes any combination of these features.
[説明]
搬送用固定具を備えている搬送用パッケージは、一チャンバから他のチャンバへ又は一施設から他の施設へ、図1に示される基板ラック10を搬送するのに使用できる。例えば、搬送用パッケージは、堆積チャンバ内でラックを使用した後に適切な施設で洗浄又は修繕するためにラック10を搬送するために使用できる。搬送用パッケージは、出荷と取扱いの間、搬送用固定具のための保護容器として働き、本明細書に示されるもの以外の固定具にも使用できる。搬送用固定具は、また、修繕処理の間、例えば、荷造りしている間や荷造りしていない間、酸又は他の洗浄浴中や乾燥オーブン又は炉での間、壊れやすいラック10を保持するために使用できる。搬送用固定具は、搬送用パッケージ内で基板ラック10を保持するために又は同じ建物でラック10を他の部屋へ搬送するために使用できる。搬送用パッケージと固定具は、当業者に明らかな適切な変更をした、本明細書に示される例示的ラック10以外のラックを搬送するために使用できる。従って、本考案の範囲は、本明細書に記載される搬送一パッケージ、固定具及びラックの説明的実施形態に限定すべきではない。
[Explanation]
A transport package comprising transport fixtures can be used to transport the
基板ラック10を保持するための例示的搬送用固定具200を図2に示す。一変形例においては、基板ラック10は搬送用固定具200で囲まれ、保護されている。搬送用固定具200は再使用でき、顧客に完全に再び組み立てられた基板ラック10を戻すために使用できる。搬送用固定具200は、複数のポスト220によって相互に取り付けられる最上部エンドプレート210aと底部210bエンドプレートを備えている。エンドプレート210a、210bとポスト220は、図3に示されるように基板ラック10を取込むエンクロージャを形成する。エンドプレート210a、210bとポスト220は、化学的に不活性な非金属で耐熱性材料、例えば、ポリテトラフルオロエチレンPTFE(Teflon(登録商標)として商業的に知られている)から製造することができるので、搬送用固定具200は洗浄又は修繕プロセスに耐えることができ、また、修繕され再び組み立てられた基板ラック10を戻すために使用できる。
An
一変形例においては、低部エンドプレート210bは装填プロセスや非装填プロセスの間、基板ラック10が取り付具200からすべり落ちるのを防止するスキッドプレート230を含んでいる。エンドプレート210a、210bは、また、ラック10が突出している末端部(図示せず)を有する場合、基板ラック10とエンドプレート210a、210b巻の接触を防止するためにスタック10に面している表面232上に位置する、リブ、アイランド、メサ又はリッジのような形状の隆起したバンプ(図示せず)を有することができる。隆起したバンプは、また、基板ラック10が装填されている間や装填されていない間、垂直位置にラック10を維持することを助ける。隆起したバンプは、エンドプレート210a、210bの表面に結合することができ、一体的に形成することもできる。
In one variation, the
各エンドプレート210a、210bは、エンドプレート210a、210bの剛性を高めるために、また、他の機能、例えば、搬送用固定具を持ち上げ保持する手段を与えるために、補強構造240、例えば、ブロック、ブラケット又はガゼットを含むことができる。例えば、補強構造240は、フィンガー・ホールド又はグリップ又は他のキャリングストラップを取り付けるための手段として働くことができる穴243を含むことができる。隆起した部分230のように、補強構造240は、エンドプレート210a、210bに結合するか又は一体的に形成することができる。更に、エンドプレート210a、210bは、基板ラック10のコンポーネント上に洗浄液、即ち、酸の流れを促進する開口部250を設けることができる。
Each
エンドプレート210a、210bを結合しているポスト220a-cは、図3に示されるように、基板ラック10がポスト220a-cの間で確実に保持されるように位置している。一変形例においては、エンドプレート210a、210bは、形が三角形であり、基板ラック10を支持するのに十分なサイズを有する。三角形の形状は、同じ支持体を与えるのに必要な材料が少なく、スペースも小さく、よって一容器でより多くのエンドプレート210a、210bを出荷させることが可能である。
The posts 20a-c connecting the
図4を参照すると、エンドプレート210a、210bが三角形である場合、エンドプレート210a、210bは先端部212a-fを有し、ポスト220a-cは、ポスト220a-c間のスペースを最大にするために三角形のエンドプレート210a、210bの先端部212a-fに結合することができる。三角形の最上部と底部のエンドプレート210a、210bは、また、ポスト220a-cを受容する大きさをした、先端部212a-fにスロット214a-fを持つことができる。しかしながら、エンドプレート210a、210bは三角でない変形例においては、スロット214a-fは、角及び/又は縁に位置することができる。
Referring to FIG. 4, if the
図示されるように、この変形例においては、ポスト220a、220b、220cの各々は、それぞれ一対の結合したストリップ222a、b、222c、d、222e、fから作られている。ストリップ222a、c、eは、各々、他のストリップ222b、d、fの内部表面224b、d、fと接触する内部表面224a、c、eを有する。各ストリップ222a-fも、それぞれ内側縁部228a-fに沿って縦のグルーブ226a-fを有する。縦のグルーブ226a-fが相互に整列している場合、補強ロッド232が配置され得る内部チャネルを形成するように結合している。一変形例においては、補強ロッド232はポスト220を強化し、ステンレス鋼ロッドでもよい。補強ロッド232がチャネルによって少なくとも部分的に囲まれていることから、修繕プロセスの間、使われる腐食性溶液から保護される。この保護を確実にするために、ストリップ222は従来の不活性耐熱シーラント、例えば、セラミック又はエポキシシーラントによって共に結合することができる。
As shown, in this variation, each of the
図示されるように、各ストリップ222は取り付具200の内部に、即ち、基板ラック10の方に面している縦方向の内側縁部228a-fを有する。縦方向の縁部228は、狭い(図示されるように)か広い(図示せず)ものでもよい。一変形例においては、縦方向の縁部228a-fが結合した縦方向の縁部222bに沿って対応するバンパー234a-cを受容する。縦方向の内側縁部228をカップ形にすることによって、対応するバンパー234は、確実に結合される。一変形例においては、バンパー234は高温シリコーンシーラントでシールされるステンレス鋼のネジによって取り付けることができる。従って、バンパー234の修理や置換えが単純化される。他の変形例においては、縦方向の縁部228はほぼ真っ直ぐにすることができ、対応するバンパー234は化学的に不活性な耐熱性接着剤で縦方向の縁部228に取り付けることができる。一変形例においては、対応するバンパー234は、ポリマーチュービング、例えば、開放端でシールされる低デュロメータゴム、エラストマーストリップ、又は他の化学的に不活性な対応する非吸収性材料から製造されたストリップでもよい。他の変形例においては、バンパー234はディスク20を固定するリッジ又は他のテクスチャを含むことができる。他の変形例においては、バンパー234は基板ラック10を保持し緩衝する空気ブラッダーでもよい。ポスト220を有する固定具200と対応するバンパー234は、基板ラック10、特にグラファイトディスク20を固定し、保護し、緩衝する。一旦基板ラック10が搬送用固定具200に固定して装填されると、ポスト220a-c上の対応するバンパー234a-cは基板ラック10をあらゆる位置に、例えば、水平に、そのコンポーネントを損傷させずに配置させることができる。
As shown, each strip 222 has a longitudinal
図2と図4を参照すると、最上部210aと底部210bのエンドプレートを、ポスト220によって相互に結合される。エンドプレート210a、210bの少なくとも1つは、スロット214(図2)の少なくとも1つの周りに配置された一組のヒンジブロック242を含む。ヒンジブロック242は、エンドプレート210a、210bに結合することができるか又は一体的に形成することができる。一組のヒンジブロック242は、ポスト220の穴221と整列する開口部241を含む、面している側壁を有する。整列したとき、図4に示されるように、ポスト220をヒンジブロック242によってプレート210aに保持するためにピン244が開口部241と穴221に挿入される。一変形例においては、各ピン244は、ピン244を挿入させることができ又は容易に取り外すことができ、また、ピン244が不注意に抜けることを防止するハンドル246に結合することができる。更に、ハンドル246は、例えば、補強構造240とハンドル246の穴に挿入されるナイロンタイラップ(図示せず)によって補強構造240に固定できる。エンドプレート210a、210bとポスト220と同様に、ピン244とハンドル246は化学的に不活性な耐熱材料、例えば、PTFE(テフロン)から製造することもできる。好ましくは、ピン244はテフロン(登録商標)から製造され、下で説明されるように、低摩擦と低摩耗ヒンジ軸を与える。
Referring to FIGS. 2 and 4, the
一変形例においては、ポスト220の一端を1つのエンドプレート、例えば、底部エンドプレート210bに接続するピン244が取り外される場合には、ポスト220がポスト220のもう一端を最上部エンドプレート210a、に接続するピン244の周りを回転することができるようにピン244はヒンジとして働く。これにより上に開き、搬送用固定具200の内部へ簡単に接近することができる。ポスト220の一端又は両端は、このようにして回転することができる。更に、1以上のポスト220を回転させることができ、他はエンドプレート210a、210bに固定して取り付けられる。
In one variation, if
搬送用固定具200が好ましくは非金属の化学的に不活性な清浄な材料から作られることから、基板ラック10は堆積チャンバから直接搬送用固定具200に入れることができる。これを容易にするために、単にポスト220を最上部エンドプレート210aに取付けているピン244を取り外すことにより、また、ポスト220を外向きに回転させて基板ラック10を搬送用固定具200の底部エンドプレート210bに下げることができることにより、エンドプレートの1つ、例えば、最上部エンドプレート210aを完全に取り除くことができる。その後、ポスト220は閉鎖することができ、最上部エンドプレート210aに再び取り付けることができる。
Since the
搬送用固定具200の他の変形例においては、エンドプレート210a、210bは、図5に示されるように、それぞれ、基板ラック10の最上部に最上部支持フレーム710aと、基板ラック10の底部に底部支持フレーム710bとしての形をしている。各支持フレーム710a、710bは、ハブ712の中心から放射状に伸びている平坦な中心ハブ712と複数の平坦なアーム714を含んでいる。2つの隣接したアーム714の間に生じる角度は、平坦なアーム714の数に左右される。一変形例においては、3つの平坦なアーム714が、水平面で相互に120°で等しく隔置されている。各アーム714は、剛性ポスト220を受容し固定するためにスロット716を含んでいる。図5に示されないが、各アーム714はポスト220を支持アーム710a、710bに取り付ける上記ヒンジブロック242を含むこともできる。
In another modification of the
スタック10が修繕施設へ、また、修繕施設から搬送される場合に破損を引き起こす場合があるねじり力又は通常の力に基板ラック10がかけられないように、搬送用固定具200は剛性支持体を与える。更に、搬送用固定具200が化学的に不活性で非金属で耐熱性の材料から作られることから、搬送用固定具200は基板ラック10とともに洗浄液に入れることができ、それ自体、基板ラック10、酸性浴、又は炉を損傷せずに高温で焼き付けることができる。従って、搬送用固定具200は、基板ラック10が分解される準備ができるまで、修繕プロセスの間、基板ラック10を保護するために用いることができる。更に、基板ラック10のコンポーネントが乾燥して完全に洗浄され、熟練した技術者によって再び組み立てられた後、顧客へ完全に修繕され組立られた基板ラック10を搬送するために搬送用固定具200を再使用できる。基板ラック10が組み立てられて戻されることから、コンポーネントを再び組み立てることを試みつつ基板ラック10を破壊している研究者の可能性が減少する。
The
一変形例においては、搬送用固定具200は、搬送の間、搬送用固定具200と基板ラック10を更に保護する搬送用パッケージ802を形成するためにシェル800に配置される。一実施形態においては、図6に示されるように、シェル800aは第一トレイと第二トレイ850、860、シリンダーとしての形を備え、共に組み立てられた場合、相互に対向し向き合ってその間にキャビティを形成する。本明細書に示されるシェル800aは、本考案による単なる例示的な実施形態であり、考案の範囲を制限するために用いるべきでない。例えば、トレイは矩形ボックスとして又は半球状のドームとしての形さえとることができる。トレイ850、860は、搬送の間、外部ショックに耐えるために十分に剛性の材料から製造される。トレイ850、860は、その構造を硬くするために、補強特徴部、例えば、リブを含むこともできる。トレイ850、860は、好ましくは、搬送用固定具200の表面に対して磨耗した場合、個々の粒子を放出しない、平滑で弾性のある非粒状の表面を有する。好ましくは、トレイ850、860の表面は、連続し、壊れてなく、非多孔性であり、搬送用固定具200を梱包又は解梱するときに剥げ落ちることがある個々の粒子がない。一変形例においては、例えば、トレイ850、860の平滑で弾性のある表面は、約10マイクロインチ未満のrms粗さを持つことができる。汚染物質がシェル800aを粒子制御環境に導入する前に拭きとることができるように、トレイ850、860の表面も洗浄可能でなければならない。
In one variation, the
組み立てられたトレイ一組の850、860は、固定具200と基板ラック10を囲む自立式容器として働き、修繕環境に又はクリーンルームに直接固定具200を搬送するためにビルトインハンドル(図示せず)を持つことさえできる。組み立てられた一組のトレイ850、860は密封された安定した環境のクリーンルームにしばらくの間保管されることもでき、基板ラック10がプロセスチャンバ内ですぐに使用するために必要とされる時だけ開放され、よってトレイ850、860において基板ラック10のあらゆる汚染が減少する。
The assembled tray set 850, 860 serves as a free-standing container that surrounds the
トレイ850、860は、トレイ850、860の周辺の円周を通る連続円周リップ852a、bを備えることができる。基板ラック10と搬送用固定具200が汚染物質から保護されるように、組立られたトレイ850、860の間を密封するためにトレイリップ852a、bの間にシールガスケット(図示せず)が配置できる。円周リップ852a、bは、2つのトレイ850、860を密封するために必要とされるガス密封の長さを短くする。また、円周リップ852a、bは、シェル800aにおいて搬送用固定具200とラック10に接近するために最上部トレイ850を持ち上げるときにシェルが垂直に配置されることを可能にする。この変形例は、シェルに配置されるか又はシェルから取り出されるときに固定具200とラック10が垂直の向きに維持される必要がある場合に有利である。
The
好ましくは、少なくとも一部のシェル800aは、内側に保持される基板ラック10の目視点検を可能にするために光透過性である剛性材料から作られる。この説明に用いられる光透過性とは、少なくともある波長の光が材料、例えば、透明な材料、半透明な材料、曇った材料又は部分的に不透明な材料を通過することができる材料を意味する。例えば、適切な光透過性材料は、少なくとも約20%の可視光透過パーセントを持つことができる。シェル800aは、また、透過した光と光景の明瞭さを強化するために研磨された表面であり得る。シェル800aは完全に光透過性材料から作ることができ、シェルの一部だけが窓のような光透過性材料から作ることができる。検査官は、シールを壊して開けずにビンの内部の内容物を目視で調べることができなければならない。例えば、一変形例においては、トレイ850、860の1つ以上だけが光透過性材料から製造されるが、双方のトレイ850、860の全体も光透過性材料から製造できる。更に、シェル800aは内容物の種類とシェル800aによる開口部と関係がある潜在的危険を示すマーキングを含むことができる。このような指標は、シェル800aの光透過性材料の内部表面で示されえる。
Preferably, at least a portion of the
適切な光透過性剛性材料は、高密度ポリエチレン、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、グリコール変性PET(PETG)、方向性PET(O-PET)、又はポリエチレンナフタレート(PEN)又はそれらの相互と又は他の樹脂とのブレンドに基づくポリマーのような熱設定熱可塑性ポリマーである。好ましくは、光透過性剛性材料は、加熱したときに軟化してポリエチレンテレフタレートグリコール(PETG)、例えば、イスラエルのPalram、Ramat、Yohananから製造されたPAL-Gシートのような金型の形状に形成する成形可能な熱可塑性材料である。トレイ850、860は、熱可塑性材料の単一のブランクシートから慣用のプラスチック成形法を用いて、一体の単一片として成形することができる。ブランクシートは、慣用の熱形成法と装置、例えば、例えば、真空アシスト、空気アシスト、機械的プラグアシスト又は適合した金型を用いて熱設定薄壁トレイに熱形成できる。単一金型はトレイを製造するために用いることもでき、形成トレイの部分は切り離すことができ、切断されたトレイは図9で示されるように3つ以上の異なる部分を有するシェルを形成するために組み立てられ得る。
Suitable light transmissive rigid materials are high density polyethylene, such as polyethylene terephthalate (PET), glycol modified PET (PETG), directional PET (O-PET), or polyethylene naphthalate (PEN) or their mutual or Heat setting thermoplastic polymers such as polymers based on blends with other resins. Preferably, the light transmissive rigid material softens when heated to form a mold such as polyethylene terephthalate glycol (PETG), eg, PAL-G sheet manufactured from Israel's Palram, Ramat, Yohanan A moldable thermoplastic material. The
有利なことに、シェル800aはシェルを開封したり、シールを破ることなく内部の内容物を目視で調べることができる。基板ラック10が破損又は欠ける場合には、部品が分散して格納されている倉庫のように、中間的な搬送地点でシェル800aを開封せずに破壊がすぐに発見できる。シェルの内容物を開放せずに、また、汚染することなく出荷前に内包され包装されたスタック10の搬送用パッケージ802の状態を検査することが望ましい。シェル800aは、また、税関検査官に結果的に航海の終了に際し、スタック10を廃棄物にしてしまう潜在的な相反する環境において、シールを破ることなく、国境を越える国際搬送中のより新しい、より厳密な税関検査に従った内容物の検査をさせることができる。シェル800aはまたクリーンルームから修繕施設に、あるいはその逆に外部環境から良好なガス気密を維持しつつ安全に搬送されることを可能にする。
Advantageously, the
搬送用パッケージ802は、例えば、図6、図12A及び図12Bに示されるように、出荷に際し、シェル800a(又は本明細書に記載されるその他のシェル変形例のいずれか)を取り囲むために用いられるハードケーシング870を含んでいる。内部のフォームブロック876を含むボックス874を備えているケーシング870は、図6に示されるようにシェル800aの外形に合った内部形状又は切り込みの入った形状を持っている。形状をかたどった内部フォームブロック(contoured interior foam block)876は要求される切り込み形状を形成するように相互に結合したクリーンルームフォームの個々のブロックから作ることができる。クリーンルームフォームは、例えば、カリフォルニア州ベンチュラのFP Technologiesから入手できるZotefoamの“Plastazote LD-24”のような強固に圧縮されたスポンジ状のポリエチレンフォーム材料である。クリーンルームフォームは、典型的には、例えば10〜100ミクロンの大きさの細孔を持つ開放型多孔性構造を持っている。
The
典型的には、ケーシング870はクリーンルームの外で開封され、ケーシング870から除去される梱包されたスタック10を含む搬送用固定具200を持つシェル800aはケーシング870から取り出され、必要に応じて洗浄され、クリーンルームに持ち込まれる。フォームブロック876の細孔に捕捉されたガスがクリーンルーム環境にガスを出したり、三次元のマトリクスを作るのに用いられるフォームのブロック間の結合層が、ガスを出すことができたり、重合体の汚染粒子も生成させ得ることから、搬送用パッケージはそのままクリーンルームに持ち込まれない。
Typically, the
ボックス874は、典型的には、プラスチック又は金属シートのような剛性材料で全て作られた最上部壁877、側壁878、底壁879を備えている。適した剛性プラスチックは、例えば、マサチュセッツ州、サウスディフィールド、Hardigg Indus.の成形ポリプロピレン製のケーシングを備えている。ボックス874の側壁878、879、881は、また、例えばアルミニウムで縁取りされた金属端部883で補強することができる。ボックス874は、また、図12A及び図12Bに示されるように搬送車からウエハ製造設備あるいは改装施設のクリーンルームに、梱包されたコンポーネントを搬送するようにすることができるハンドル880と車882を有することができる。
シェル800の他の変形例をここで記載する。一変形例においては、シェル800bは図7に示されるように縦と横の軸に平行に伸びた溝を持つリップ852a、bを備えている。トレイ850、860の横のリップ852a、bはトレイ850、860を相互に確実に保持できるようなネジや他の締め具856が挿入され得る複数の穴855を持っている。横のリップ852a、bはシェル800bの長さと幅の組み合わされた長さがその周囲の長さのそれよりも大きいことから、周囲縁取りをシールする接触面積を増加させている。また、横のリップ852a、bはシェルを横に置いた状態で取り出すことができるようにし、内部の固定具200とラック10に横から取り扱うことができるようにすることができる。
Other variations of the shell 800 will now be described. In one variation, the
図8を参照すると、固定具200とラック10を保持するシェル800cの他の実施形態は固定具200を取り囲む上部トレイ、中間トレイ、底部トレイを含む3つのインターロックトレイを備えている。トレイ901-903の各々は留め具(図示せず)を通じて相互に901-903の部分を結合させるリップ910を含んでいる。この変形例においては、周囲のリップ910の少なくとも1つはまた、内部内容物とともにシェル800cを持ち上げ、移動するためのハンドルとして機能する。二重開口シェル800cは最上部を開放するのに用いられ、シェルの内部の内容物にのみ容易に対処できるようにすることができるものである。また、最上部はシェルを保持する足として働く隆起した補強ストリップを持たせることができる。
Referring to FIG. 8, another embodiment of the
図9〜図11に示されるシェル800dの他の変形例もまた、3つのトレイ952、954、956を持っているが、それらは別の方法で結合されるものである。図9を参照すると最上部トレイ952は平坦な外側のリップ958を備え、気密を形成するように外側のリップ958に滑り込む第二トレイ954の内側のリップ960と組み合わされている。従って、シェル800dの上部結合部は外側に伸びるリップに隠れている。第二トレイ954と第三トレイ956はリップ962と964で結合され、それはシェルのリップから外側にまた横方向に伸びておりシェルを保持し移動するためのグリップをそれぞれ提供する曲線付けられた端部962a、964aを持っている。外側に伸びたリップ962、964は75ポンドを超える重さのパッケージに対する現在のOSHA規則によって要求される少なくとも3人でシェルを同時に持ち上げることを可能にする。リップに沿って、例えば、60°間隔で配置される6つの四分の一回転の固定具951を用いてリップ962、964の平坦な内側部分962bと964bにおいてそれぞれシールが形成される。更に、シェル800dと同じ材料でできた2つの補強バケツ953a、bはこれらの領域に余分の強度を与えるようにシェル800dの最上部と底部の周囲に配置することができる。更に、トレイ952、954、956はすべて図に示されるような3つの異なる形を形成するようにリップを切り離す部分において、製造コストを節約できるように同じ金型から製造できる。
Other variations of the shell 800d shown in FIGS. 9-11 also have three
他の変形例においては、図10Bに示されるようにシェルはまた排出用ポート結合966を収容する凹カップ部974を持つことができる。この変形例においては、凹カップ部974は結合部966の最上面975が最上壁967の最上面976と同じ高さとなるように排出ポート966に適合した大きさとなっている。凹カップ部974は結合部966を保護し、シェル200の搬送中偶発的な衝突型の損傷を防止する。凹カップ部は従来の金型組み立てにおけるシェルと同時にカップ部を成形することによって作られる。この変形例では、クランプフランジ969が最上壁967の底面977の上に取り付けられた第一強化プレート972と最上部トレイ952の上壁967の最上面976に取り付けられた第二補強プレート973が組み合わされている。
In other variations, as shown in FIG. 10B, the shell can also have a
排出ポート結合部966は最上部トレイ952の最上壁967の上に位置している。排出ポート結合部966は、例えば、毒性ガスを検出するためにシェル内のガスを検査するのに使用できる従来のドレーガーガス抽出管の挿入を可能にするのに十分な大きさを持っている。しかしながら、最上壁967から遠く突出するほど大きすぎないものである。図10aは(i)NW-25アダプターのようなアダプター968の組み立て、(ii)ステンレス鋼のリングを持つO-リングシール、(iii)表面になにもないプレート970、(iv)組み立ての最上部の周りに貝のように噛み合わさるクランプシェル971を備え、そのすべてがカリフォルニア州ユーレカのNor-Cal productsから入手可能である。排出ポート結合部966はウエハ製造や改装設備の典型的な“ハウス”排出洗浄システムにフランジを接続することによってシェル内にある空気又は他のガスをポンプで排出させることができる。クランプフランジ969は最上部トレイ952の最上壁967に内部的に取り付けられ、結合される1つ以上の補強プレート972、973に組み合わされている。内部的に取り付けられたプレート972、973は結合を強化するよう厚く、強固で、例えば、厚さが約2〜20mmでシェル(例えば、ポリエチレンテレフタレートグリコール)と同じ材料の丸いプレートでもよい。排出ポート結合部966のさまざまなコンポーネントは相互に結合することができ、McMaster Carr 517A2 PETG接着剤のような接着剤を用いてガスの気密を形成するようにフランジ969に結合することができる。
The discharge
パージガス結合部980は底部トレイ956の側壁982上に配置されている。パージガス結合部980は外側のパージガス源(図示せず)からシェル内にパージガスを注入させることができる。典型的なパージガスは窒素又はアルゴンのような非反応性ガスを含み、ラック10を外部環境にさらすことから保護するようにシェル200内に不活性又は非反応性環境を与えるように働く。図10は(i)通常の業務で簡単に外れない、また、ネジ983で取り付けられる反回転ブラケット981、(ii)従来のVCR型フィッティング984、(iii)フェースシールオフプレートとガスケット986、(vi)組み立てを一緒に保持するナット988を備え、そのすべてがオハイオ州ソロンのSwagelokから入手可能である。内部のガス偏向プレート992はパージガスが固定具200又はラック10に直接あたらないようにするために、矢印994で示されるようにシェル800dの内部の底に向けてパージガスの流れを下方に偏向させる形状をしている。これらの部品に直接吹き付けるパージガスは粒子とゆるい壊れやすいコーティングを排出することができる。外側に取り付けられた補強プレート994は組み立てを強化するのに用いられる。さまざまなコンポーネントは前述の接着剤でシールできる。
The
本考案は、そのある種の好ましい形態を参照として説明してきたが、ほかの変形例も可能である。例えば、搬送用パッケージ802、搬送用固定具200は、例えば、他の壊れやすい処理コンポーネントを搬送するために、当業者に明らかなように他の種類の用途においても使用できる。搬送用固定具200の他の構造は処理コンポーネントの形や大きさに適合するように使用できる。例えば、エンドプレート210a、210bの形状は三角やフレーム状のそれ以外の、例えば、四角、六角又は丸型プレート又はフレームにすら形作ることができる。シェル800はまた、他の材料から作ることもでき、不透明な材料によって取り囲まれた透明な材料の小窓をもたせることもできる。ケース870はまた、ほかの形、例えば、円筒の形を持つこともでき、鋼鉄又は他の材料で組み立てることもできる。従って、添付の実用新案登録請求の精神と範囲は本明細書に含まれる好ましい変形例の説明に限定すべきではない。
Although the present invention has been described with reference to certain preferred forms thereof, other variations are possible. For example, the
10…基板ラック、20…グラファイトディスク、30…スペーサ、40…金属ロッド、50…ベースプレート、60…最上部プレート、200…搬送用固定具、210…エンドプレート、212…先端部、214…スロット、220…支柱、221…穴、222…ストリップ、224…内部表面、226…グルーブ、228…縁部、230…スキッドプレート、232…補強ロッド、234…バンパー、240…補強構造、242…ヒンジブロック、243…穴、244…ピン、246…ハンドル、250…開口部、710…支持フレーム、712…ハブ、714…アーム、716…スロット、800…シェル、802…搬送用パッケージ、850…トレイ、860…トレイ、852…リップ、870…ケーシング、874…ボックス、876…フォームブロック、877…最上壁、878…側壁、879…底壁、880…ハンドル、882…ホイール、883…金属端部、901…最上部トレイ、902…中央トレイ、903…底部トレイ、907…ストリップ、910…リップ、952…最上部トレイ、954…第二トレイ、956…第三トレイ、958…外部リップ、960…内部リップ、962…リップ、964…リップ、966…排気ポート結合部、967…最上壁、969…クランプフランジ、970…ブランクオフプレート、972…補強プレート、973…補強プレート、974…凹カップ部、975…最上面、977…底面、980…パージガス結合部、982…側壁、983…ネジ、984…フィッティング、986…ガスケット、988…ナット、992…ガス偏向プレート、994…補強プレート。
DESCRIPTION OF
Claims (13)
(a)最上部エンドプレートと底部エンドプレートと、
(b)該最上部エンドプレートを該底部エンドプレートに取り付ける複数の支柱であって、該支柱が該基板ラックをその間に閉じ込めるのに十分な距離を離して隔置され、各支柱が縦方向の内側縁部を持つ、前記支柱と、
(c)支柱の縦方向の内側縁部にそれぞれ結合される複数の対応するバンパーと、
を備えている前記固定具。 A transport fixture for holding a substrate rack, the transport fixture comprising: (a) a top end plate and a bottom end plate;
(B) a plurality of struts for attaching the top end plate to the bottom end plate, the struts spaced apart a sufficient distance to confine the substrate rack therebetween, and each strut in a longitudinal direction The strut having an inner edge;
(C) a plurality of corresponding bumpers respectively coupled to the longitudinal inner edges of the columns;
The fixture comprising:
(a)第一円周リップを有する閉鎖端と開放端を持つ第一トレイであって、該第一トレイの少なくとも一部が光透過性材料を含んでいる前記第一トレイと、
(b)第二円周リップを有する閉鎖端と開放端を備えている第二トレイであって、該第二トレイの少なくとも一部が光透過性材料を含み、該第二円周リップが該第一円周リップと組み合わせて、該第一トレイと第二トレイの該開放端が相互に向いている、前記第二トレイと、
(c)それらの間にシールを形成するための該第一円周リップと第二円周リップ間の密封ガスケットと、
を備えている前記シェル。 A transport shell,
(A) a first tray having a closed end having a first circumferential lip and an open end, wherein the first tray includes at least a portion of the light transmissive material;
(B) a second tray having a closed end having a second circumferential lip and an open end, wherein at least a portion of the second tray includes a light transmissive material, The second tray, in combination with the first circumferential lip, the open ends of the first tray and the second tray facing each other;
(C) a sealing gasket between the first circumferential lip and the second circumferential lip to form a seal therebetween;
Said shell.
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CN103208448B (en) * | 2013-03-18 | 2015-10-21 | 无锡华瑛微电子技术有限公司 | Semiconductor wafer transmission device |
CN103236409B (en) * | 2013-04-07 | 2015-11-04 | 沈阳拓荆科技有限公司 | The ceramic support plate of closed pin |
TWI777308B (en) * | 2019-11-21 | 2022-09-11 | 新加坡商保綠萊私人有限公司 | Assembled plate storage box |
CN114023676B (en) * | 2021-10-13 | 2022-09-16 | 广东万维半导体技术有限公司 | Movable wafer carrying disc bearing device |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US395234A (en) * | 1888-12-25 | Island | ||
US344891A (en) * | 1886-07-06 | John b | ||
US3469686A (en) * | 1967-02-08 | 1969-09-30 | Monsanto Co | Retaining trays for semiconductor wafers and the like |
US3487921A (en) * | 1968-08-14 | 1970-01-06 | Crawford Fitting Co | Container |
US3673758A (en) * | 1970-12-21 | 1972-07-04 | Joseph J Esty | Method of packaging and preserving perishable products |
US3715860A (en) * | 1971-07-23 | 1973-02-13 | J Esty | Method of preserving perishable products |
US4602715A (en) * | 1983-11-08 | 1986-07-29 | Aero Mayflower Transit Company, Inc. | Shipping container for electronic components |
US4588086A (en) * | 1984-06-07 | 1986-05-13 | Coe Thomas U | Substrate and media carrier |
US4674650A (en) * | 1985-10-07 | 1987-06-23 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Container and cover fastening means |
US4767002A (en) * | 1986-01-14 | 1988-08-30 | W. R. Grace & Co. | Multiple circuit board carrier/shipper |
US4840276A (en) * | 1988-05-25 | 1989-06-20 | George & Thomas Cone Company | Cone package |
US5555981A (en) * | 1992-05-26 | 1996-09-17 | Empak, Inc. | Wafer suspension box |
US5232094A (en) * | 1992-06-22 | 1993-08-03 | Label Makers, Inc. | Shipping container |
US5575394A (en) * | 1994-07-15 | 1996-11-19 | Fluoroware, Inc. | Wafer shipper and package |
US5454478A (en) * | 1995-01-26 | 1995-10-03 | Everson; Thomas J. | Compartmentalized transport container |
US5853214A (en) * | 1995-11-27 | 1998-12-29 | Progressive System Technologies, Inc. | Aligner for a substrate carrier |
US6003674A (en) * | 1996-05-13 | 1999-12-21 | Brooks; Ray Gene | Method and apparatus for packing contaminant-sensitive articles and resulting package |
US5788304A (en) * | 1996-05-17 | 1998-08-04 | Micron Technology, Inc. | Wafer carrier having both a rigid structure and resistance to corrosive environments |
US5724748A (en) * | 1996-07-24 | 1998-03-10 | Brooks; Ray G. | Apparatus for packaging contaminant-sensitive articles and resulting package |
US6041938A (en) * | 1996-08-29 | 2000-03-28 | Scp Global Technologies | Compliant process cassette |
US5816425A (en) * | 1996-09-19 | 1998-10-06 | K-D Container L.L.C. | Interlocking shipping container |
US6056123A (en) * | 1997-12-10 | 2000-05-02 | Novus Corporation | Semiconductor wafer carrier having the same composition as the wafers |
US5947320A (en) * | 1997-12-11 | 1999-09-07 | Containers Accessories, Inc. | Molded drum, lid and ring-clamp system with enhanced containment integrity |
US6220442B1 (en) * | 1999-06-17 | 2001-04-24 | Seagate Technology Llc | Article of manufacture and method for protecting information-storage devices |
US6378538B1 (en) * | 1999-12-13 | 2002-04-30 | Advanced Micro Devices, Inc. | Durable, multi-piece rotor for spray acid tools |
US6811040B2 (en) * | 2001-07-16 | 2004-11-02 | Rohm And Haas Company | Wafer holding apparatus |
US7185760B2 (en) * | 2003-06-11 | 2007-03-06 | Applied Materials, Inc. | Non-contact protective packaging for surface-sensitive articles |
US20040262187A1 (en) * | 2003-06-26 | 2004-12-30 | Applied Materials, Inc. | Clean room transportation package for process chamber kit |
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