JP3123495B2 - パルスレーザ光パワー測定方法および測定装置 - Google Patents
パルスレーザ光パワー測定方法および測定装置Info
- Publication number
- JP3123495B2 JP3123495B2 JP09359727A JP35972797A JP3123495B2 JP 3123495 B2 JP3123495 B2 JP 3123495B2 JP 09359727 A JP09359727 A JP 09359727A JP 35972797 A JP35972797 A JP 35972797A JP 3123495 B2 JP3123495 B2 JP 3123495B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse laser
- laser light
- power
- characteristic
- light receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ光のパワーを
測定するレーザ光パワー測定方法および測定装置に関
し、特に、出力の大きなパルスレーザ光のパワーを測定
するレーザ光パワー測定方法および測定装置に関する。
測定するレーザ光パワー測定方法および測定装置に関
し、特に、出力の大きなパルスレーザ光のパワーを測定
するレーザ光パワー測定方法および測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】パルスレーザ光のパワー測定は受光素子
の受光部にパルスレーザ光を入射することにより行われ
る。このとき、受光素子の許容レンジを上回るほどパワ
ーが大きなパルスレーザ光の場合には受光素子の出力が
飽和してしまい正確なパワーを測定することができなか
った。従来このような場合には受光素子の出力が飽和し
ないように受光部の前面にフィルタを挿入し、そのとき
に検出されたパルスレーザ光のパワーと挿入したフィル
タの透過率に基づいて本来のパワーを算出していた。
の受光部にパルスレーザ光を入射することにより行われ
る。このとき、受光素子の許容レンジを上回るほどパワ
ーが大きなパルスレーザ光の場合には受光素子の出力が
飽和してしまい正確なパワーを測定することができなか
った。従来このような場合には受光素子の出力が飽和し
ないように受光部の前面にフィルタを挿入し、そのとき
に検出されたパルスレーザ光のパワーと挿入したフィル
タの透過率に基づいて本来のパワーを算出していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術によ
るパルスレーザ光のパワー測定においては、受光素子の
許容レンジを上回るほどパワーが大きなパルスレーザ光
を測定する場合に、受光部の前面にフィルタを挿入して
検出されたパワーと挿入したフィルタの透過率に基づい
て本来のパワーを算出するものであるために、演算量が
多いものとなり、測定に時間がかかるという問題点があ
る。
るパルスレーザ光のパワー測定においては、受光素子の
許容レンジを上回るほどパワーが大きなパルスレーザ光
を測定する場合に、受光部の前面にフィルタを挿入して
検出されたパワーと挿入したフィルタの透過率に基づい
て本来のパワーを算出するものであるために、演算量が
多いものとなり、測定に時間がかかるという問題点があ
る。
【０００４】また、上記の演算量を少なくして測定時間
を短縮するため、および測定精度を向上するために、受
光素子の許容レンジを上回ることがない程度のパルスレ
ーザ光のパワー測定の場合にはフィルタを取り外すこと
も考えられるが、この場合にもフィルタ着脱の手間がか
かり、結果として時間がかかってしまう。
を短縮するため、および測定精度を向上するために、受
光素子の許容レンジを上回ることがない程度のパルスレ
ーザ光のパワー測定の場合にはフィルタを取り外すこと
も考えられるが、この場合にもフィルタ着脱の手間がか
かり、結果として時間がかかってしまう。
【０００５】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、受光素子の許
容レンジを上回るほどパワーが大きなパルスレーザ光の
測定を迅速に行うことのできるパルスレーザ光パワー測
定方法および測定装置を実現することを目的とする。
る問題点に鑑みてなされたものであって、受光素子の許
容レンジを上回るほどパワーが大きなパルスレーザ光の
測定を迅速に行うことのできるパルスレーザ光パワー測
定方法および測定装置を実現することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のパルスレーザ光
パワー測定方法は、パルスレーザ光のピークパワーを測
定する際のパルスレーザ光パワー測定方法であって、前
記パルスレーザ光の波形型についての基準特性式を決定
した後に、前記パルスレーザ光のパワーを測定し、その
立ち上がり特性を前記基準特性式にあてはめて前記パル
スレーザ光の出力を示す近似式を求め、前記近似式によ
りパルスレーザ光のピークパワーを推定することを特徴
とする。
パワー測定方法は、パルスレーザ光のピークパワーを測
定する際のパルスレーザ光パワー測定方法であって、前
記パルスレーザ光の波形型についての基準特性式を決定
した後に、前記パルスレーザ光のパワーを測定し、その
立ち上がり特性を前記基準特性式にあてはめて前記パル
スレーザ光の出力を示す近似式を求め、前記近似式によ
りパルスレーザ光のピークパワーを推定することを特徴
とする。
【０００７】この場合、基準特性式を決定することを係
数を用いて表わされる特性式を用いて行い、ピークパワ
ーの測定の事前にパルスレーザ光のパワーの測定結果に
基づいて前記係数を定めることとしてもよい。
数を用いて表わされる特性式を用いて行い、ピークパワ
ーの測定の事前にパルスレーザ光のパワーの測定結果に
基づいて前記係数を定めることとしてもよい。
【０００８】さらに、特性式を、測定を行うパルスレー
ザ光に応じて決定することとしてもよい。
ザ光に応じて決定することとしてもよい。
【０００９】本発明のパルスレーザ光パワー測定装置
は、パルスレーザ光のピークパワーを測定するパルスレ
ーザ光パワー測定装置であって、パルスレーザ光を受光
してそのパワーを示す信号を出力する受光部と、表示パ
ネルと前記受光部の出力信号に基づいてパルスレーザ光
のピークパワーを推定する推定手段を備える解析部とか
らなり、前記推定手段は、前記パルスレーザ光を受光し
た受光部の出力信号の立ち上がり特性を予め定められた
前記パルスレーザ光の波形型についての基準特性式にあ
てはめて前記パルスレーザ光の出力を示す近似式を求
め、前記近似式によりパルスレーザ光のピークパワーを
推定することを特徴とする。
は、パルスレーザ光のピークパワーを測定するパルスレ
ーザ光パワー測定装置であって、パルスレーザ光を受光
してそのパワーを示す信号を出力する受光部と、表示パ
ネルと前記受光部の出力信号に基づいてパルスレーザ光
のピークパワーを推定する推定手段を備える解析部とか
らなり、前記推定手段は、前記パルスレーザ光を受光し
た受光部の出力信号の立ち上がり特性を予め定められた
前記パルスレーザ光の波形型についての基準特性式にあ
てはめて前記パルスレーザ光の出力を示す近似式を求
め、前記近似式によりパルスレーザ光のピークパワーを
推定することを特徴とする。
【００１０】この場合、推定手段は、係数を用いて表わ
される特性式を用いて基準特性式を決定することをピー
クパワーの測定の事前に行い、前記パルスレーザ光を受
光した受光部の出力信号の立ち上がり特性をパルスレー
ザ光のパワーの測定結果に基づいて前記係数を定めるこ
ととしてもよい。
される特性式を用いて基準特性式を決定することをピー
クパワーの測定の事前に行い、前記パルスレーザ光を受
光した受光部の出力信号の立ち上がり特性をパルスレー
ザ光のパワーの測定結果に基づいて前記係数を定めるこ
ととしてもよい。
【００１１】さらに、解析部には推定手段の制御により
表示を行う表示パネルと装置利用者からの入力を受け付
ける入力手段が設けられ、推定手段は、測定を行うパル
スレーザ光に応じた特性式を予め用意して前記表示パネ
ルに表示させ、その後の前記入力手段への入力内容に応
じて特性式を決定することとしてもよい。
表示を行う表示パネルと装置利用者からの入力を受け付
ける入力手段が設けられ、推定手段は、測定を行うパル
スレーザ光に応じた特性式を予め用意して前記表示パネ
ルに表示させ、その後の前記入力手段への入力内容に応
じて特性式を決定することとしてもよい。
【００１２】「作用」上記のように構成される本発明の
作用について図１を参照して説明する。
作用について図１を参照して説明する。
【００１３】レーザの出力特性はその基準特性式により
表わされる。図１は受光素子に、その許容レンジを上回
るパワーのパルスレーザ光を入射したときの受光素子の
出力特性および基準特性式によるレーザの出力特性を示
す図である。図中、ピークがＶsである実線で示される
波形が受光素子の出力特性であり、ピークがＶpである
破線で示される波形が基準特性式によるレーザの出力特
性である。
表わされる。図１は受光素子に、その許容レンジを上回
るパワーのパルスレーザ光を入射したときの受光素子の
出力特性および基準特性式によるレーザの出力特性を示
す図である。図中、ピークがＶsである実線で示される
波形が受光素子の出力特性であり、ピークがＶpである
破線で示される波形が基準特性式によるレーザの出力特
性である。
【００１４】図示内容から明らかなように受光素子の出
力特性はパルスレーザ光のパワーが受光素子の許容レン
ジ内であれば基準特性式と一致する。このため、図１の
破線で囲まれる受光素子の出力の立ち上がり特性の部分
の測定結果を基準特性式にあてはめることにより、受光
素子の許容レンジを上回るパワーのパルスレーザ光のピ
ーク電圧を検出することができる。
力特性はパルスレーザ光のパワーが受光素子の許容レン
ジ内であれば基準特性式と一致する。このため、図１の
破線で囲まれる受光素子の出力の立ち上がり特性の部分
の測定結果を基準特性式にあてはめることにより、受光
素子の許容レンジを上回るパワーのパルスレーザ光のピ
ーク電圧を検出することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１６】図２および図３のそれぞれは本発明による
パルスレーザ光パワー測定装置の一実施例の構成を示す
斜視図および回路ブロック図、図４は図３中のＣＰＵ４
の構成を示すブロック図である。
パルスレーザ光パワー測定装置の一実施例の構成を示す
斜視図および回路ブロック図、図４は図３中のＣＰＵ４
の構成を示すブロック図である。
【００１７】本実施例は図２に示されるように受光部１
０と解析部としての表示部２０から構成されている。受
光部１０はパルスレーザ光１００を受光する受光窓１１
を備え、また、表示部２０は入力手段としてのレーザ名
選択ボタン２２、校正ボタン２３および確定ボタン２４
を備えている。
０と解析部としての表示部２０から構成されている。受
光部１０はパルスレーザ光１００を受光する受光窓１１
を備え、また、表示部２０は入力手段としてのレーザ名
選択ボタン２２、校正ボタン２３および確定ボタン２４
を備えている。
【００１８】まず、パルスレーザ光のパワー測定を行う
際の本実施例の概略動作について説明する。装置利用者
はレーザ名選択ボタン２２を押下し、押下するごとに変
更されて表示パネルに表示される測定するレーザ名を確
認し、測定を行うレーザ名が表示されると確定ボタン２
４を押して確定とする。
際の本実施例の概略動作について説明する。装置利用者
はレーザ名選択ボタン２２を押下し、押下するごとに変
更されて表示パネルに表示される測定するレーザ名を確
認し、測定を行うレーザ名が表示されると確定ボタン２
４を押して確定とする。
【００１９】上記のレーザ名を選択することにより、選
択されたレーザの波形型、例えば、ガウス型、ローレン
ツ型、両者混合型等、に応じた各レーザの特性式が決定
される。
択されたレーザの波形型、例えば、ガウス型、ローレン
ツ型、両者混合型等、に応じた各レーザの特性式が決定
される。
【００２０】続いて装置利用者が校正ボタン２３を押下
した後に、受光部１０に受光素子１の出力が飽和しない
レベルで測定するパルスレーザ光１００を照射すると、
この先に決定されたレーザの特性式中の係数が決定さ
れ、測定するレーザの基準特性式とされる。例えば、ガ
ウス型の特性式は、 Ｖ＝ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2 （Ｖ＝電圧、Ｔは時間） であるが、上記の校正の段階で係数ａおよびｂが求めら
れる。係数ａおよびｂが求められたことが表示された後
に校正ボタン２３が再度押下されると測定可能状態とな
る。このような係数ａおよびｂはガウス型の特性式に限
らずローレンツ型、両者混合型等のいずれにも存在し、
ガウス型の特性式以外のレーザであっても上記の校正処
理は必要となる。なお、以下において、測定するレーザ
の波形型は上記のガウス型として説明する。
した後に、受光部１０に受光素子１の出力が飽和しない
レベルで測定するパルスレーザ光１００を照射すると、
この先に決定されたレーザの特性式中の係数が決定さ
れ、測定するレーザの基準特性式とされる。例えば、ガ
ウス型の特性式は、 Ｖ＝ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2 （Ｖ＝電圧、Ｔは時間） であるが、上記の校正の段階で係数ａおよびｂが求めら
れる。係数ａおよびｂが求められたことが表示された後
に校正ボタン２３が再度押下されると測定可能状態とな
る。このような係数ａおよびｂはガウス型の特性式に限
らずローレンツ型、両者混合型等のいずれにも存在し、
ガウス型の特性式以外のレーザであっても上記の校正処
理は必要となる。なお、以下において、測定するレーザ
の波形型は上記のガウス型として説明する。
【００２１】上記のような測定動作を可能とする回路構
成について説明すると、図３に示すように、受光部１０
にはパルスレーザ光１００を受光してそのパワー値を示
す信号を出力する受光素子１が設けられ、表示部２０に
は受光素子１からの信号を増幅する増幅回路２、増幅回
路２により増幅された信号をデジタル値に変換するＡＤ
コンバータ３、ＡＤコンバータ３の出力からレーザ光１
００の基準特性式やピークパワーの値を演算する推定手
段としてのＣＰＵ４が設けられている。
成について説明すると、図３に示すように、受光部１０
にはパルスレーザ光１００を受光してそのパワー値を示
す信号を出力する受光素子１が設けられ、表示部２０に
は受光素子１からの信号を増幅する増幅回路２、増幅回
路２により増幅された信号をデジタル値に変換するＡＤ
コンバータ３、ＡＤコンバータ３の出力からレーザ光１
００の基準特性式やピークパワーの値を演算する推定手
段としてのＣＰＵ４が設けられている。
【００２２】ＣＰＵ４は図４に示されるように、データ
処理手段４１、メモリ４２、演算手段４３および表示手
段４４から構成されている。
処理手段４１、メモリ４２、演算手段４３および表示手
段４４から構成されている。
【００２３】データ処理手段４１はＡＤコンバータ３か
ら伝送されたデジタルデータをその入力タイミングから
（Ｔ，Ｖ）＝（時間，電圧）の座標データに変換し、こ
れを演算手段４３に伝送する。
ら伝送されたデジタルデータをその入力タイミングから
（Ｔ，Ｖ）＝（時間，電圧）の座標データに変換し、こ
れを演算手段４３に伝送する。
【００２４】メモリ４２は図２に示されるレーザ名選択
ボタン２２により選択されるレーザ名に対応して各レー
ザの波形型の特性式を記憶するもので、レーザ名選択ボ
タン２２の押下状態により決定した特性式を演算手段４
３に伝送する。また、校正の結果得られた基準特性式を
記憶し、これを演算手段４３に伝送する。
ボタン２２により選択されるレーザ名に対応して各レー
ザの波形型の特性式を記憶するもので、レーザ名選択ボ
タン２２の押下状態により決定した特性式を演算手段４
３に伝送する。また、校正の結果得られた基準特性式を
記憶し、これを演算手段４３に伝送する。
【００２５】演算手段４３は、校正時はデータ処理手段
４１より伝送された座標データとメモリ４２から伝送さ
れた特性式により基準特性式を求め、求めた基準特性式
をメモリ４２に伝送する。また、演算手段４３は測定時
にはデータ処理手段４１より伝送された座標データとメ
モリ４２から伝送された基準特性式より最大値すなわち
ピーク電圧を推定する。この値は表示手段４４に伝送さ
れる。
４１より伝送された座標データとメモリ４２から伝送さ
れた特性式により基準特性式を求め、求めた基準特性式
をメモリ４２に伝送する。また、演算手段４３は測定時
にはデータ処理手段４１より伝送された座標データとメ
モリ４２から伝送された基準特性式より最大値すなわち
ピーク電圧を推定する。この値は表示手段４４に伝送さ
れる。
【００２６】表示手段４４は演算手段４３から伝送され
たピーク電圧値と受光素子１の受光感度とからパルスレ
ーザ光のパワー値を算出し、表示パネル２１にパワー値
を表示する。
たピーク電圧値と受光素子１の受光感度とからパルスレ
ーザ光のパワー値を算出し、表示パネル２１にパワー値
を表示する。
【００２７】次に、ＣＰＵ４で行われる演算処理動作に
ついて図５ないし図１０を参照して詳細に説明する。
ついて図５ないし図１０を参照して詳細に説明する。
【００２８】上記のように測定開始時には、レーザ名選
択ボタン２２および確定ボタン２４が押下されてレーザ
の波形型が決定される。この後、校正ボタン２３の押下
により、校正動作が開始される。このとき、操作性を向
上するために、例えば、表示パネル２１に「校正開始」
と表示されるように構成してもよい。
択ボタン２２および確定ボタン２４が押下されてレーザ
の波形型が決定される。この後、校正ボタン２３の押下
により、校正動作が開始される。このとき、操作性を向
上するために、例えば、表示パネル２１に「校正開始」
と表示されるように構成してもよい。
【００２９】校正動作が開始となると、装置利用者は受
光部１０に受光素子１の出力が飽和しないレベルのパル
スレーザ光１００を照射し、受光素子１はその出力を示
す信号を出力する。受光素子１の出力信号は増幅回路２
により増幅される。図５は増幅回路２の出力波形を示す
図である。
光部１０に受光素子１の出力が飽和しないレベルのパル
スレーザ光１００を照射し、受光素子１はその出力を示
す信号を出力する。受光素子１の出力信号は増幅回路２
により増幅される。図５は増幅回路２の出力波形を示す
図である。
【００３０】図５に示した出力波形はＡＤコンバータ３
に伝送され、立ち上がり部分の波形のみがＡＤ変換され
る。
に伝送され、立ち上がり部分の波形のみがＡＤ変換され
る。
【００３１】図６はＡＤコンバータ３によるＡＤ変換結
果を説明するための図である。図６に示される電圧
Ｖ1，Ｖ2，Ｖ3を示すデジタルデータがＣＰＵ４に伝送
される。
果を説明するための図である。図６に示される電圧
Ｖ1，Ｖ2，Ｖ3を示すデジタルデータがＣＰＵ４に伝送
される。
【００３２】図７は基準特性式を求める際のＣＰＵ４の
校正処理における各部の動作を示すフローチャートであ
る。
校正処理における各部の動作を示すフローチャートであ
る。
【００３３】校正が開始され、図６に示される電圧
Ｖ1，Ｖ2，Ｖ3を示すデジタルデータを受け取ると、デ
ータ処理手段４１は、（時間，電圧）＝（Ｔ１，Ｖ
１）、（Ｔ２，Ｖ２）及び（Ｔ３，Ｖ３）というように
時間と電圧を示すデータを組とする座標データに変換
し、演算手段４３に伝送する（ステップＳ７０１）。
Ｖ1，Ｖ2，Ｖ3を示すデジタルデータを受け取ると、デ
ータ処理手段４１は、（時間，電圧）＝（Ｔ１，Ｖ
１）、（Ｔ２，Ｖ２）及び（Ｔ３，Ｖ３）というように
時間と電圧を示すデータを組とする座標データに変換
し、演算手段４３に伝送する（ステップＳ７０１）。
【００３４】メモリ４２は、特性式Ｖ＝ｅｘｐ−（Ｔ−
ａ）2／２ｂ2を演算手段４３に伝送する（ステップＳ７
０２）。
ａ）2／２ｂ2を演算手段４３に伝送する（ステップＳ７
０２）。
【００３５】演算手段４３ではデータ処理手段４１の座
標データを特性式Ｖ＝ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2にあ
てはめ、係数ａ及びｂを算出して基準特性式を求め、こ
れをメモリ４２に伝送する（ステップＳ７０３）。
標データを特性式Ｖ＝ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2にあ
てはめ、係数ａ及びｂを算出して基準特性式を求め、こ
れをメモリ４２に伝送する（ステップＳ７０３）。
【００３６】メモリ４２は演算手段４３から伝送された
基準特性式を記憶する（ステップＳ７０４）。
基準特性式を記憶する（ステップＳ７０４）。
【００３７】以上により校正動作が終了となる。このと
き、操作性を向上するために、例えば、表示パネル２１
に「校正終了」と表示されるように構成してもよい。
き、操作性を向上するために、例えば、表示パネル２１
に「校正終了」と表示されるように構成してもよい。
【００３８】次に、測定動作が開始され、装置利用者が
受光部１０にパルスレーザ光１００を照射し、受光素子
１はその出力を示す信号を出力する。受光素子１の出力
信号は増幅回路２により増幅される。図８は測定動作時
の増幅回路２の出力波形で、８（ａ）は受光素子１の出
力が飽和していない状態、８（ｂ）は飽和した状態を示
している。
受光部１０にパルスレーザ光１００を照射し、受光素子
１はその出力を示す信号を出力する。受光素子１の出力
信号は増幅回路２により増幅される。図８は測定動作時
の増幅回路２の出力波形で、８（ａ）は受光素子１の出
力が飽和していない状態、８（ｂ）は飽和した状態を示
している。
【００３９】増幅回路２の出力波形はＡＤコンバータ３
に伝送され、立ち上がり波形のみがＡＤ変換される。図
９はＡＤコンバータ３によるＡＤ変換結果を示す図であ
る。図９（ａ）および図９（ｂ）のそれぞれは図８
（ａ）および図８（ｂ）に対応しており、図９に示すデ
ジタルデータがＣＰＵ４に伝送される。
に伝送され、立ち上がり波形のみがＡＤ変換される。図
９はＡＤコンバータ３によるＡＤ変換結果を示す図であ
る。図９（ａ）および図９（ｂ）のそれぞれは図８
（ａ）および図８（ｂ）に対応しており、図９に示すデ
ジタルデータがＣＰＵ４に伝送される。
【００４０】図１０はピークパワー値を求める際のＣＰ
Ｕ４の校正処理における各部の動作を示すフローチャー
トである。
Ｕ４の校正処理における各部の動作を示すフローチャー
トである。
【００４１】データ処理手段４１は図９に示したデジタ
ルデータを受け取ると、図９（ａ）に示したデジタルデ
ータの場合には（時間，電圧）＝（Ｔ１，Ｖ１）、（Ｔ
２，Ｖ２）及び（Ｔ３，Ｖ３）、図９（ｂ）に示したデ
ジタルデータの場合には（時間，電圧）＝（Ｔ’１，
Ｖ’１）、（Ｔ’２，Ｖ’２）、及び（Ｔ’３，Ｖ’
３）というように座標データに変換し、これを演算手段
４３に伝送する（ステップＳ１０１）。
ルデータを受け取ると、図９（ａ）に示したデジタルデ
ータの場合には（時間，電圧）＝（Ｔ１，Ｖ１）、（Ｔ
２，Ｖ２）及び（Ｔ３，Ｖ３）、図９（ｂ）に示したデ
ジタルデータの場合には（時間，電圧）＝（Ｔ’１，
Ｖ’１）、（Ｔ’２，Ｖ’２）、及び（Ｔ’３，Ｖ’
３）というように座標データに変換し、これを演算手段
４３に伝送する（ステップＳ１０１）。
【００４２】メモリ４２は校正時に求めた基準特性式Ｖ
＝ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2を演算手段４３に伝送す
る（ステップＳ１０２）。
＝ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2を演算手段４３に伝送す
る（ステップＳ１０２）。
【００４３】演算手段４３はデータ処理手段４１の座標
データより近似式Ｖ＝ｃ（ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２
ｂ2）またはＶ＝ｃ’（ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2）
の係数ｃまたはｃ’を算出し、最大値（ピーク電圧値）
ＶＰ及びＶ’Ｐを推定する。この値を表示手段４４に伝
送する（ステップ１０３）。
データより近似式Ｖ＝ｃ（ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２
ｂ2）またはＶ＝ｃ’（ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2）
の係数ｃまたはｃ’を算出し、最大値（ピーク電圧値）
ＶＰ及びＶ’Ｐを推定する。この値を表示手段４４に伝
送する（ステップ１０３）。
【００４４】図１１（ａ）および図１１（ｂ）のそれぞ
れはＶ＝ｃ（ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2）およびＶ＝
ｃ‘（ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2）の波形内容を示す
図である。これらの波形内容は演算手段４３から表示手
段４４に伝送され、表示手段４４は伝送されたピーク電
圧値と受光素子１の受光感度からパルスレーザ光のパワ
ー値を算出し、これを表示パネル２１に表示させる（ス
テップＳ１０４）。
れはＶ＝ｃ（ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2）およびＶ＝
ｃ‘（ｅｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2）の波形内容を示す
図である。これらの波形内容は演算手段４３から表示手
段４４に伝送され、表示手段４４は伝送されたピーク電
圧値と受光素子１の受光感度からパルスレーザ光のパワ
ー値を算出し、これを表示パネル２１に表示させる（ス
テップＳ１０４）。
【００４５】なお、以上の説明において、ガウス型の特
性式の係数ａおよびｂを求める際、係数ｃまたはｃ’を
求める際のサンプリングデータはいずれも３点として説
明したが、係数ａおよびｂを求める際には最低２点以上
あればよく、係数ｃまたはｃ’を求める際にはレーザの
出射タイミングが正確であれば１点以上あればよい。い
ずれの場合においてもサンプリングデータを多くするこ
とにより測定精度を向上することができ、サンプリング
データを少なくすることにより演算量が少なくなり、測
定精度を向上することができる。
性式の係数ａおよびｂを求める際、係数ｃまたはｃ’を
求める際のサンプリングデータはいずれも３点として説
明したが、係数ａおよびｂを求める際には最低２点以上
あればよく、係数ｃまたはｃ’を求める際にはレーザの
出射タイミングが正確であれば１点以上あればよい。い
ずれの場合においてもサンプリングデータを多くするこ
とにより測定精度を向上することができ、サンプリング
データを少なくすることにより演算量が少なくなり、測
定精度を向上することができる。
【００４６】また、レーザの特性式の選択はレーザ名を
選択することにより行うものとして説明したが、同じ名
称のレーザであっても発振モードや発振線が異なる場合
にはレーザの特性式が異なるものとなる場合がある。こ
のため、レーザの名称により選択を行う代わりに、直接
レーザの特性式を選択するように構成してもよい。
選択することにより行うものとして説明したが、同じ名
称のレーザであっても発振モードや発振線が異なる場合
にはレーザの特性式が異なるものとなる場合がある。こ
のため、レーザの名称により選択を行う代わりに、直接
レーザの特性式を選択するように構成してもよい。
【００４７】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
【００４８】波形の立ち上がり状態から入射レーザ光の
パワーを算出する構成であるために、受光素子の出力が
飽和するようなレーザ光であってもフィルタを用いるこ
となくパワーを算出することができ、迅速に測定を行う
ことができる効果がある。
パワーを算出する構成であるために、受光素子の出力が
飽和するようなレーザ光であってもフィルタを用いるこ
となくパワーを算出することができ、迅速に測定を行う
ことができる効果がある。
【図１】本発明の作用を説明するための図である。
【図２】本発明によるパルスレーザ光パワー測定装置の
一実施例の構成を示す斜視図である。
一実施例の構成を示す斜視図である。
【図３】本発明によるパルスレーザ光パワー測定装置の
一実施例の構成を示す回路ブロック図である。
一実施例の構成を示す回路ブロック図である。
【図４】図３中のＣＰＵ４の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図５】増幅回路２の出力波形を示す図である。
【図６】ＡＤコンバータ３によるＡＤ変換結果を説明す
るための図である。
るための図である。
【図７】基準特性式を求める際のＣＰＵ４の校正処理に
おける各部の動作を示すフローチャートである。
おける各部の動作を示すフローチャートである。
【図８】測定動作時の増幅回路２の出力波形を示す図で
あり、（ａ）は受光素子１の出力が飽和していない状
態、（ｂ）は飽和した状態を示している。
あり、（ａ）は受光素子１の出力が飽和していない状
態、（ｂ）は飽和した状態を示している。
【図９】ＡＤコンバータ３によるＡＤ変換結果を示す図
である。
である。
【図１０】ピークパワー値を求める際のＣＰＵ４の校正
処理における各部の動作を示すフローチャートである。
処理における各部の動作を示すフローチャートである。
【図１１】（ａ）および（ｂ）のそれぞれはＶ＝ｃ（ｅ
ｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2）およびＶ＝ｃ‘（ｅｘｐ−
（Ｔ−ａ）2／２ｂ2）の波形内容を示す図である。
ｘｐ−（Ｔ−ａ）2／２ｂ2）およびＶ＝ｃ‘（ｅｘｐ−
（Ｔ−ａ）2／２ｂ2）の波形内容を示す図である。
１ 受光素子 ２ 増幅回路 ３ ＡＤコンバータ ４ ＣＰＵ １０ 受光部 １１ 受光窓 ２０ 表示部 ２１ 表示パネル ２２ レーザ名選択ボタン ２３ 校正ボタン ２４ 確定ボタン ４１ データ処理手段 ４２ メモリ ４３ 演算手段 ４４ 表示手段 １００ レーザ光 Ｓ１０１〜Ｓ１０４、Ｓ７０１〜Ｓ７０４ ステップ
Claims (6)
- 【請求項１】 パルスレーザ光のピークパワーを測定す
る際のパルスレーザ光パワー測定方法であって、 前記パルスレーザ光のパルス波形型についての基準特性
式を決定した後に、前記パルスレーザ光のパワーを測定
し、その立ち上がり特性を前記基準特性式にあてはめて
前記パルスレーザ光の出力を示す近似式を求め、前記近
似式によりパルスレーザ光のピークパワーを推定するこ
とを特徴とするパルスレーザ光パワー測定方法。 - 【請求項２】 請求項１記載のパルスレーザ光パワー測
定方法において、 基準特性式を決定することを係数を用いて表わされる特
性式を用いて行い、ピークパワーの測定の事前にパルス
レーザ光のパワーの測定結果に基づいて前記係数を定め
ることを特徴とするパルスレーザ光パワー測定方法。 - 【請求項３】 請求項２記載のパルスレーザ光パワー測
定方法において、 特性式を、測定を行うパルスレーザ光に応じて決定する
ことを特徴とするパルスレーザ光パワー測定方法。 - 【請求項４】 パルスレーザ光のピークパワーを測定す
るパルスレーザ光パワー測定装置であって、 パルスレーザ光を受光してそのパワーを示す信号を出力
する受光部と、表示パネルと前記受光部の出力信号に基
づいてパルスレーザ光のピークパワーを推定する推定手
段を備える解析部とからなり、 前記推定手段は、前記パルスレーザ光を受光した受光部
の出力信号の立ち上がり特性を予め定められた前記パル
スレーザ光のパルス波形型についての基準特性式にあて
はめて前記パルスレーザ光の出力を示す近似式を求め、
前記近似式によりパルスレーザ光のピークパワーを推定
することを特徴とするパルスレーザ光パワー測定装置。 - 【請求項５】 請求項４記載のパルスレーザ光パワー測
定装置において、 推定手段は、係数を用いて表わされる特性式を用いて基
準特性式を決定することをピークパワーの測定の事前に
行い、前記パルスレーザ光を受光した受光部の出力信号
の立ち上がり特性をパルスレーザ光のパワーの測定結果
に基づいて前記係数を定めることを特徴とするパルスレ
ーザ光パワー測定装置。 - 【請求項６】 請求項５記載のパルスレーザ光パワー測
定装置において、 解析部には推定手段の制御により表示を行う表示パネル
と装置利用者からの入力を受け付ける入力手段が設けら
れ、 推定手段は、測定を行うパルスレーザ光に応じた特性式
を予め用意して前記表示パネルに表示させ、その後の前
記入力手段への入力内容に応じて特性式を決定すること
を特徴とするパルスレーザ光パワー測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09359727A JP3123495B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | パルスレーザ光パワー測定方法および測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09359727A JP3123495B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | パルスレーザ光パワー測定方法および測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11190664A JPH11190664A (ja) | 1999-07-13 |
| JP3123495B2 true JP3123495B2 (ja) | 2001-01-09 |
Family
ID=18466000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09359727A Expired - Fee Related JP3123495B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | パルスレーザ光パワー測定方法および測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123495B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111551249B (zh) * | 2020-06-29 | 2022-10-14 | 南京信息工程大学 | 一种激光功率计结构 |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP09359727A patent/JP3123495B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11190664A (ja) | 1999-07-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6439768B1 (en) | Electronic thermometer and temperature prediction method therefor | |
| JP3976733B2 (ja) | 波長分散測定システムおよび方法 | |
| US20080246625A1 (en) | Non-contact temperature-measuring device and the method thereof | |
| EP2045590A1 (en) | Method and apparatus for non-contact temperature measurement | |
| JP3355259B2 (ja) | 光反射減衰量を測定するｏｔｄｒ | |
| US6795775B2 (en) | Method for analyzing a gas sample | |
| JP3123495B2 (ja) | パルスレーザ光パワー測定方法および測定装置 | |
| JP2583833Y2 (ja) | パルス測定装置 | |
| KR20080074767A (ko) | 광파워 계측장치 및 그 장치를 구비한 광신호 수신장치 | |
| JP3705019B2 (ja) | 計測装置 | |
| JPS592349B2 (ja) | 電力測定装置 | |
| EP0922928A1 (en) | Measuring strain or stress with an initially unbalanced bridge | |
| JP2001305017A (ja) | 光パルス試験器 | |
| TWI381183B (zh) | 判斷交流／直流交叉校正係數之系統和方法 | |
| JP4160683B2 (ja) | ひずみ測定システム | |
| JP3080450B2 (ja) | 測定装置 | |
| JP3599693B2 (ja) | 光パルス試験装置 | |
| US20030223765A1 (en) | Optical sampling measurement apparatus and optical sampling measurement method | |
| JPH0633427Y2 (ja) | ジッタ測定装置 | |
| US6785621B2 (en) | Method and apparatus for accurately determining the crossing point within a logic transition of a differential signal | |
| KR960016296B1 (ko) | 오토 제로 기능을 구비한 자동 혈당 측정장치 | |
| JP2009281813A (ja) | 光ファイバ測定装置 | |
| KR100782593B1 (ko) | 전동 드라이버의 토크값 안내 장치 및 방법 | |
| JP3550246B2 (ja) | 演算方法および演算装置 | |
| JPH0712852A (ja) | 波形生成機能付き波形測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |