JP3121567B2 - 露光装置及び露光方法 - Google Patents
露光装置及び露光方法Info
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- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマスク上の回路パタ
ーンを基板上に焼き付ける露光装置に関し、特にレーザ
光を露光光として用いた露光装置のレーザ光源と露光装
置本体との光学的接続部の改良に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、レーザを露光光源として用いた露
光装置が注目されてきている。レーザ光を用いた露光装
置においては、レーザを発振する光源が非常に大きいこ
とと、レーザ電源部において冷却用ファン等の振動が発
生することや、レーザ発振の際に光源において振動が発
生することから、露光装置本体とレーザ光源とを切り離
して設置している場合がほとんどである。更に、レーザ
発振時の振動が床面を介して露光装置本体に伝わらない
ように、露光装置本体を防振台上に設置してこの振動に
対処しているものもある。 【０００３】しかし、このようなレーザを露光光光源と
して用いた露光装置においては、仮にレーザ光源と露光
装置本体の光学的接続部からレーザ光が漏れると、周辺
に配置された機器等に悪影響を及ぼすおそれがあり、一
層の安全性の向上が要望されている。これに対し、レー
ザ光源と露光装置本体との光学的接続部の光路の周囲を
遮光部材で包囲して、その接続部分からレーザ光の漏れ
を防ぐ等の処置方法が考えられる。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
レーザ光源と露光装置本体とを分離して設置した装置に
おいては、光学的接続部を遮光部材で包囲する方法をと
った場合に、光学的接続部に設けられた遮光部材を介し
てレーザ光源において発生する振動が露光装置本体に伝
わってしまい、その結果露光装置における投影等の種々
のプロセスの精度が低下するという問題点がある。 【０００５】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、レーザ光による周辺機器への悪影響の除去及び
安全性の向上が図れるとともに、レーザ発振等に伴う振
動を良好に除去できる投影露光装置を得ることを目的と
するものである。 【０００６】上記課題を解決するために本発明では、レ
ーザ光でマスクを照明するレーザ装置と、床からの振動
を防止する防振台とを有する露光装置において、前記防
振台を含む露光装置本体と前記レーザ装置とを分離して
設置し、前記レーザ装置と前記露光装置本体との光学的
接続部の光路の周囲に防振遮光手段を設け、該防振遮光
手段は、前記レーザ光の進行路と交差する方向に関して
分離された状態で所定の空間的余裕をもった二重筒状に
形成された２つの遮光部材を有することとした。また、
本発明の別の態様では、 レーザ光を射出する露光光源
としてのレーザ装置と、露光装置本体とを分離して設置
し、マスクの回路パターンをウエハ上に露光する露光方
法において、前記レーザ装置側の遮光部材と前記露光装
置本体側との２つの遮光部材を設け、該２つの遮光部材
は前記レーザ光の進行路と交差する方向に関して分離さ
れた状態で所定の空間的余裕をもつように二重筒状に形
成され、前記レーザ装置側の遮光部材の振動が前記露光
装置側の遮光部材に伝わるのを防止することとした。 【０００７】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照しながら説明する。図１は、本発明のー実施例であ
り、全体的な構成が示されている。図において、10は床
面上に設置された基台であり、該基台10の上にレーザ光
源12が載置されている。レーザ光源12から放射出力され
たレーザ光LAは、ミラー14で反射され、フライアイ・レ
ンズ(はえの目レンズ)16に入射して照明むらが除去され
るようになっている。 【０００８】フライアイ・レンズ16を透過した光は、レ
ーザ発振部18と露光装置本体部20との光学的接続部22を
通過して、露光装置本体部20側に向かうように構成され
ている。光学的接続部22は、ここから漏れるレーザを遮
光するとともに、レーザ発振部18、特にレーザ光源12に
おいて発生する振動を吸収し、該振動がレーザ光の遮光
部材(図示せず)を介して露光装置本体部20側に伝わらな
いような構成となっている。光学的接続部22の構造につ
いては後述する。なお、光学的接続部22の近傍の光路
は、図示されない遮光部材で包囲されている。 【０００９】次に、光学的接続部22を通過した光は、レ
ンズ24及びレンズ26を透過し、ミラー28で反射されて、
メインコンデンサレンズ30に入射するようになってい
る。メインコンデンサレンズ30を透過した光は、ここで
照度がー定となるように調整されて、レチクル32を照明
することとなる。更に、レチクル32を透過した光は、投
影レンズ34を介してウェハ36上にレチクル32上の回路パ
ターンを投影するようになっている。 【００１０】ウェハ36は、防振台38上に載置されたＸＹ
ステージ40上に真空チヤック(図示せず)によってチャッ
キングされている。なお、露光装置本体部20内の装置は
全て防振台38の上に設置されているものとする。次に、
本実施例の特徴である光学的接続部22の構造について、
図２及び図３を参照しながら説明する。 【００１１】図２には、光学的接続部22の第1の態様が
示されている。図において、50は図１には示されていな
いレーザ光路の遮光部材(の断面)であり、レーザ発振部
18と露光装置本体部20との光学的接続部22の内部には、
振動を吸収できるように、蛇腹状の蛇腹接続部52が遮光
部材50とー体に形成されている。蛇腹接続部52は、微妙
な振動をも吸収できる程度の硬度であるとともに、レー
ザを完全に遮光できる材質によって成形されている。 【００１２】また、右側の遮光部材50がレーザ発振部18
側のものであり、左側の遮光部材50が露光装置本体部20
側のものである。図２中、(A)はレーザ発振前の基準位
置を示したものであり、(B)はレーザ発振等に伴う振動
により基準位置からずれた時のものが示されている。次
に、上記第1の態様による実施例の動作及び作用につい
て、図１及び図２を参照しながら説明する。 【００１３】レーザ光源12から放射出力されたレーザ光
は、ミラー14で反射されて、フライアイ・レンズ16を透
過し、レーザ発振部18と露光装置本体部20との光学的接
続部22に入射する。光学的接続部22には、レーザ光とと
もに、レーザ発振に伴いレーザ光源12において発生した
振動が伝わる。この時、レーザ発振前の光学的接続部22
の状態は、図２(A)のような基準の状態となっている
が、光学的接続部22に上記のように振動が伝わると、図
２(B)のように、レーザ発振部18側の右側の遮光部材50
がずれを生じることとなる。 【００１４】このような場合に、(B)に示すように、蛇
腹接続部52によって振動を吸収して、左側の遮光部材50
のずれを防ぎ、更に露光装置本体部20側へ振動が伝わる
ことを防ぐ。次に、光学的接続部22を通過した光は、レ
ンズ24,レンズ26,ミラー28及びメインコンデンサレンズ
30の各光学素子の各作用によって、レチクル32を照明す
る。更に、投影レンズ34を介し、レチクル32上の回路パ
ターンをウェハ36に投影露光する。このように、光学的
接続部22に蛇腹接続部52を用いているため、露光装置本
体部20側(左側)に振動が伝わることを防止できるという
効果がある。 【００１５】図３には、光学的接続部22の第2の態様が
示されている。図において、レーザ発振部18と露光装置
本体部20との光学的接続部22は、筒状の第1遮光部材54
と、該第1遮光部材よりも径の小さな筒状の第2遮光部材
56とから構成されており、第1遮光部材54と第2遮光部材
56とは分離された状態で所定の空間的余裕をもったニ重
筒状に形成されている。 【００１６】この第1遮光部材と第2遮光部材との空間的
余裕は、レーザ発振等による振動の変位に基いて、両遮
光部材が振動により接触しない程度に設定されている。
なお、図２と同様に、図中(A)はレーザ発振前の基準位
置、(B)はレーザ発振等に伴う振動により基準位置から
ずれた時のものが示されている。次に、上記第2の実施
態様による実施例の動作及び作用について、図３を参照
しながら説明する。上述した上記第1の実施態様と同様
に、レーザ光源12から放射出力されると、光学的接続部
22には、レーザ光が入射するとともに、レーザ光源12に
おいて発生した振動が伝わる。 【００１７】この時、レーザ発振前の光学的接続部22の
状態は、図３(A)のような基準の状態となっているが、
光学的接続部22に上記のように振動が伝わると、図３
(B)のように、レーザ発振部18側の第1遮光部材54がずれ
を生じることとなる。このような場合に、レーザ発振部
18側の第1遮光部材54と露光装置本体部側の第2遮光部材
56とは、上述したように分離された状態で空間的余裕を
もって設置されているため、(B)に示すように第1遮光部
材54がずれを生じても第2遮光部材56に接触することは
なく、露光装置本体部20側へ振動が伝わることを完全に
防止できる。 【００１８】次に、光学的接続部22を通過した光は、更
に上記第1の実施態様と同様な構成及び同様な作用によ
って、投影露光を行なう。このように、光学的接続部22
を第1遮光部材54との第2遮光部材56とによって、二重筒
状に分離して形成しているため、露光装置本体部20側
(左側)に振動が伝わることを防げるという効果がある。 【００１９】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、光学的接続部22は、図１に示した位置に限
定されるものではなく、防振台38に支えられている部分
と、その他のレーザ光源12側の部分との接続部であれば
同様な効果を得られるものである。更に、振動が伝わる
ことにより不都合が生じる他の装置にも充分適用可能な
ものである。 【００２０】 【発明の効果】以上のように、発明によれば、レーザ光
源と露光装置本体との光学的接続部の周囲に、所定の空
間的余裕をもって二重筒状に形成された２つの遮光部材
を設けているため、レーザ光源側に大きな振動があった
としても、レーザ光の遮光を良好に行えるとともに、レ
ーザ光源で発生する振動を露光装置本体に伝えないよう
にすることができ、レーザ光などのエネルギービームに
よる周辺機器への悪影響の除去及び安全性の向上を図れ
るとともに、光源システムで発生する振動を露光装置本
体に伝えずに精密な露光を行えるという効果がある。
ーンを基板上に焼き付ける露光装置に関し、特にレーザ
光を露光光として用いた露光装置のレーザ光源と露光装
置本体との光学的接続部の改良に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】近年、レーザを露光光源として用いた露
光装置が注目されてきている。レーザ光を用いた露光装
置においては、レーザを発振する光源が非常に大きいこ
とと、レーザ電源部において冷却用ファン等の振動が発
生することや、レーザ発振の際に光源において振動が発
生することから、露光装置本体とレーザ光源とを切り離
して設置している場合がほとんどである。更に、レーザ
発振時の振動が床面を介して露光装置本体に伝わらない
ように、露光装置本体を防振台上に設置してこの振動に
対処しているものもある。 【０００３】しかし、このようなレーザを露光光光源と
して用いた露光装置においては、仮にレーザ光源と露光
装置本体の光学的接続部からレーザ光が漏れると、周辺
に配置された機器等に悪影響を及ぼすおそれがあり、一
層の安全性の向上が要望されている。これに対し、レー
ザ光源と露光装置本体との光学的接続部の光路の周囲を
遮光部材で包囲して、その接続部分からレーザ光の漏れ
を防ぐ等の処置方法が考えられる。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
レーザ光源と露光装置本体とを分離して設置した装置に
おいては、光学的接続部を遮光部材で包囲する方法をと
った場合に、光学的接続部に設けられた遮光部材を介し
てレーザ光源において発生する振動が露光装置本体に伝
わってしまい、その結果露光装置における投影等の種々
のプロセスの精度が低下するという問題点がある。 【０００５】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、レーザ光による周辺機器への悪影響の除去及び
安全性の向上が図れるとともに、レーザ発振等に伴う振
動を良好に除去できる投影露光装置を得ることを目的と
するものである。 【０００６】上記課題を解決するために本発明では、レ
ーザ光でマスクを照明するレーザ装置と、床からの振動
を防止する防振台とを有する露光装置において、前記防
振台を含む露光装置本体と前記レーザ装置とを分離して
設置し、前記レーザ装置と前記露光装置本体との光学的
接続部の光路の周囲に防振遮光手段を設け、該防振遮光
手段は、前記レーザ光の進行路と交差する方向に関して
分離された状態で所定の空間的余裕をもった二重筒状に
形成された２つの遮光部材を有することとした。また、
本発明の別の態様では、 レーザ光を射出する露光光源
としてのレーザ装置と、露光装置本体とを分離して設置
し、マスクの回路パターンをウエハ上に露光する露光方
法において、前記レーザ装置側の遮光部材と前記露光装
置本体側との２つの遮光部材を設け、該２つの遮光部材
は前記レーザ光の進行路と交差する方向に関して分離さ
れた状態で所定の空間的余裕をもつように二重筒状に形
成され、前記レーザ装置側の遮光部材の振動が前記露光
装置側の遮光部材に伝わるのを防止することとした。 【０００７】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照しながら説明する。図１は、本発明のー実施例であ
り、全体的な構成が示されている。図において、10は床
面上に設置された基台であり、該基台10の上にレーザ光
源12が載置されている。レーザ光源12から放射出力され
たレーザ光LAは、ミラー14で反射され、フライアイ・レ
ンズ(はえの目レンズ)16に入射して照明むらが除去され
るようになっている。 【０００８】フライアイ・レンズ16を透過した光は、レ
ーザ発振部18と露光装置本体部20との光学的接続部22を
通過して、露光装置本体部20側に向かうように構成され
ている。光学的接続部22は、ここから漏れるレーザを遮
光するとともに、レーザ発振部18、特にレーザ光源12に
おいて発生する振動を吸収し、該振動がレーザ光の遮光
部材(図示せず)を介して露光装置本体部20側に伝わらな
いような構成となっている。光学的接続部22の構造につ
いては後述する。なお、光学的接続部22の近傍の光路
は、図示されない遮光部材で包囲されている。 【０００９】次に、光学的接続部22を通過した光は、レ
ンズ24及びレンズ26を透過し、ミラー28で反射されて、
メインコンデンサレンズ30に入射するようになってい
る。メインコンデンサレンズ30を透過した光は、ここで
照度がー定となるように調整されて、レチクル32を照明
することとなる。更に、レチクル32を透過した光は、投
影レンズ34を介してウェハ36上にレチクル32上の回路パ
ターンを投影するようになっている。 【００１０】ウェハ36は、防振台38上に載置されたＸＹ
ステージ40上に真空チヤック(図示せず)によってチャッ
キングされている。なお、露光装置本体部20内の装置は
全て防振台38の上に設置されているものとする。次に、
本実施例の特徴である光学的接続部22の構造について、
図２及び図３を参照しながら説明する。 【００１１】図２には、光学的接続部22の第1の態様が
示されている。図において、50は図１には示されていな
いレーザ光路の遮光部材(の断面)であり、レーザ発振部
18と露光装置本体部20との光学的接続部22の内部には、
振動を吸収できるように、蛇腹状の蛇腹接続部52が遮光
部材50とー体に形成されている。蛇腹接続部52は、微妙
な振動をも吸収できる程度の硬度であるとともに、レー
ザを完全に遮光できる材質によって成形されている。 【００１２】また、右側の遮光部材50がレーザ発振部18
側のものであり、左側の遮光部材50が露光装置本体部20
側のものである。図２中、(A)はレーザ発振前の基準位
置を示したものであり、(B)はレーザ発振等に伴う振動
により基準位置からずれた時のものが示されている。次
に、上記第1の態様による実施例の動作及び作用につい
て、図１及び図２を参照しながら説明する。 【００１３】レーザ光源12から放射出力されたレーザ光
は、ミラー14で反射されて、フライアイ・レンズ16を透
過し、レーザ発振部18と露光装置本体部20との光学的接
続部22に入射する。光学的接続部22には、レーザ光とと
もに、レーザ発振に伴いレーザ光源12において発生した
振動が伝わる。この時、レーザ発振前の光学的接続部22
の状態は、図２(A)のような基準の状態となっている
が、光学的接続部22に上記のように振動が伝わると、図
２(B)のように、レーザ発振部18側の右側の遮光部材50
がずれを生じることとなる。 【００１４】このような場合に、(B)に示すように、蛇
腹接続部52によって振動を吸収して、左側の遮光部材50
のずれを防ぎ、更に露光装置本体部20側へ振動が伝わる
ことを防ぐ。次に、光学的接続部22を通過した光は、レ
ンズ24,レンズ26,ミラー28及びメインコンデンサレンズ
30の各光学素子の各作用によって、レチクル32を照明す
る。更に、投影レンズ34を介し、レチクル32上の回路パ
ターンをウェハ36に投影露光する。このように、光学的
接続部22に蛇腹接続部52を用いているため、露光装置本
体部20側(左側)に振動が伝わることを防止できるという
効果がある。 【００１５】図３には、光学的接続部22の第2の態様が
示されている。図において、レーザ発振部18と露光装置
本体部20との光学的接続部22は、筒状の第1遮光部材54
と、該第1遮光部材よりも径の小さな筒状の第2遮光部材
56とから構成されており、第1遮光部材54と第2遮光部材
56とは分離された状態で所定の空間的余裕をもったニ重
筒状に形成されている。 【００１６】この第1遮光部材と第2遮光部材との空間的
余裕は、レーザ発振等による振動の変位に基いて、両遮
光部材が振動により接触しない程度に設定されている。
なお、図２と同様に、図中(A)はレーザ発振前の基準位
置、(B)はレーザ発振等に伴う振動により基準位置から
ずれた時のものが示されている。次に、上記第2の実施
態様による実施例の動作及び作用について、図３を参照
しながら説明する。上述した上記第1の実施態様と同様
に、レーザ光源12から放射出力されると、光学的接続部
22には、レーザ光が入射するとともに、レーザ光源12に
おいて発生した振動が伝わる。 【００１７】この時、レーザ発振前の光学的接続部22の
状態は、図３(A)のような基準の状態となっているが、
光学的接続部22に上記のように振動が伝わると、図３
(B)のように、レーザ発振部18側の第1遮光部材54がずれ
を生じることとなる。このような場合に、レーザ発振部
18側の第1遮光部材54と露光装置本体部側の第2遮光部材
56とは、上述したように分離された状態で空間的余裕を
もって設置されているため、(B)に示すように第1遮光部
材54がずれを生じても第2遮光部材56に接触することは
なく、露光装置本体部20側へ振動が伝わることを完全に
防止できる。 【００１８】次に、光学的接続部22を通過した光は、更
に上記第1の実施態様と同様な構成及び同様な作用によ
って、投影露光を行なう。このように、光学的接続部22
を第1遮光部材54との第2遮光部材56とによって、二重筒
状に分離して形成しているため、露光装置本体部20側
(左側)に振動が伝わることを防げるという効果がある。 【００１９】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、光学的接続部22は、図１に示した位置に限
定されるものではなく、防振台38に支えられている部分
と、その他のレーザ光源12側の部分との接続部であれば
同様な効果を得られるものである。更に、振動が伝わる
ことにより不都合が生じる他の装置にも充分適用可能な
ものである。 【００２０】 【発明の効果】以上のように、発明によれば、レーザ光
源と露光装置本体との光学的接続部の周囲に、所定の空
間的余裕をもって二重筒状に形成された２つの遮光部材
を設けているため、レーザ光源側に大きな振動があった
としても、レーザ光の遮光を良好に行えるとともに、レ
ーザ光源で発生する振動を露光装置本体に伝えないよう
にすることができ、レーザ光などのエネルギービームに
よる周辺機器への悪影響の除去及び安全性の向上を図れ
るとともに、光源システムで発生する振動を露光装置本
体に伝えずに精密な露光を行えるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のー実施例を示す構成図であ
る。 【図２】図２は本発明の実施態様を示す断面図である。 【図３】図３は本発明の実施態様を示す断面図である。 【符号の説明】 LA…レーザビーム 12…レーザ光源 18…レーザ発振部 20…露光装置本体部 22…光学的接続部 38…防振台
る。 【図２】図２は本発明の実施態様を示す断面図である。 【図３】図３は本発明の実施態様を示す断面図である。 【符号の説明】 LA…レーザビーム 12…レーザ光源 18…レーザ発振部 20…露光装置本体部 22…光学的接続部 38…防振台
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．レーザ光でマスクを照明するレーザ装置と、床から
の振動を防止する防振台とを有する露光装置において、 前記防振台を含む露光装置本体と前記レーザ装置とを分
離して設置し、 前記レーザ装置と前記露光装置本体との光学的接続部の
光路の周囲に防振遮光手段を設け、該防振遮光手段は、
前記レーザ光の進行路と交差する方向に関して分離され
た状態で所定の空間的余裕をもった二重筒状に形成され
た２つの遮光部材を有することを特徴とする露光装置。 ２．前記レーザ装置は、オプチカルインテグレータとし
てのフライアイレンズを含むことを特徴とする請求項１
記載に露光装置。 ３．レーザ光を射出する露光光源としてのレーザ装置
と、露光装置本体とを分離して設置し、マスクの回路パ
ターンをウエハ上に露光する露光方法において、 前記レーザ装置側の遮光部材と前記露光装置本体側との
２つの遮光部材を設け、該２つの遮光部材は前記レーザ
光の進行路と交差する方向に関して分離された状態で所
定の空間的余裕をもつように二重筒状に形成され、前記
レーザ装置側の遮光部材の振動が前記露光装置側の遮光
部材に伝わるのを防止することを特徴とする露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09243249A JP3121567B2 (ja) | 1997-09-08 | 1997-09-08 | 露光装置及び露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09243249A JP3121567B2 (ja) | 1997-09-08 | 1997-09-08 | 露光装置及び露光方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62092094A Division JPH0770460B2 (ja) | 1987-04-16 | 1987-04-16 | 投影露光装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11103819A Division JP3039542B2 (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 露光装置及び露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10144605A JPH10144605A (ja) | 1998-05-29 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04103386U (ja) * | 1991-01-25 | 1992-09-07 | ミツミ電機株式会社 | デイスク装置 |
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1997
- 1997-09-08 JP JP09243249A patent/JP3121567B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04103386U (ja) * | 1991-01-25 | 1992-09-07 | ミツミ電機株式会社 | デイスク装置 |
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| JPH10144605A (ja) | 1998-05-29 |
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