JP3120249U - Lead wire terminal for metal foil heater - Google Patents
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Abstract
【課題】厚さの薄い金属箔ヒーターであってもリード線端子を強固に固定することができ、リード線端子を大きなトルクで締め付けても端子離脱等の問題が発生することのない金属箔ヒーター用リード線端子を提供することを課題とする。
【解決手段】金属箔ヒーター５に電力を供給するための金属箔ヒーター用リード線端子１であって、平板２の一方の面にネジ軸３を一体に形成したことを特徴とする金属箔ヒーター用リード線端子１により上記の課題を解決する。また、前記金属箔ヒーター用リード線端子１は平板２が円板であって、該円板の中心部に前記ネジ軸３を設けてなる。さらに、前記金属箔ヒーター用リード線端子１は金属箔ヒーター５の下面に金属箔ヒーター用リード線端子５の平板２の一方の面を当接し、前記金属箔ヒーター５と前記平板２とを固着してなる。
【選択図】図１A metal foil heater capable of firmly fixing a lead wire terminal even with a thin metal foil heater and causing no problems such as terminal detachment even when the lead wire terminal is tightened with a large torque. It is an object to provide a lead wire terminal for use.
A metal foil heater lead wire terminal for supplying electric power to a metal foil heater, wherein a screw shaft is integrally formed on one surface of a flat plate. The above problem is solved by the lead wire terminal 1 for use. The metal foil heater lead wire terminal 1 has a flat plate 2 which is a disc, and the screw shaft 3 is provided at the center of the disc. Further, the metal foil heater lead wire terminal 1 is brought into contact with the lower surface of the metal foil heater 5 on one surface of the flat plate 2 of the metal foil heater lead wire terminal 5 so that the metal foil heater 5 and the flat plate 2 are fixed. Do it.
[Selection] Figure 1
Description
本考案は、半導体製造装置等に使用される金属箔ヒーターに電力を供給するための金属箔ヒーター用リード線端子およびその取付け構造に関する。 The present invention relates to a metal foil heater lead wire terminal for supplying electric power to a metal foil heater used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, and a mounting structure thereof.
半導体製造装置や液晶表示器製造装置においては、半導体ウエハーやガラス基盤等の被処理物を加熱するために面状ヒーターが用いられる。面状ヒーターはステンレス鋼等の金属箔を発熱体として用い、そのステンレス鋼等の金属箔の発熱体の両面を雲母（マイカ）やシリコン等の絶縁体で覆ったうえでアルミニウム等の金属板で挟みこむことにより構成されている。そして、発熱体である金属箔には電力を供給するためのリード線が取り付けられる。 In a semiconductor manufacturing apparatus or a liquid crystal display manufacturing apparatus, a planar heater is used to heat an object to be processed such as a semiconductor wafer or a glass substrate. A sheet heater uses a metal foil such as stainless steel as a heating element, and covers both sides of the heating element of the metal foil such as stainless steel with an insulator such as mica or silicon, and then a metal plate such as aluminum. It is comprised by pinching. And the lead wire for supplying electric power is attached to the metal foil which is a heat generating body.
従来、金属箔にリード線を取り付ける方法として、金属箔にスタッドボルトを溶接等により直接固定し、そのスタッドボルトにリード線を取付ける技術が知られている。また、加熱板の表面に形成した凹部内に耐熱樹脂材を圧入させてなる耐熱樹脂体形成部と、この耐熱樹脂体形成部に穿設したスタッド挿入穴に圧入されて面状発熱体に溶接固定され、後端に穿設したリード線挿入穴にリード線を挿入して溶接固定されたスタッド部材を有する加熱ヒーター装置がある（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, as a method of attaching a lead wire to a metal foil, a technique is known in which a stud bolt is directly fixed to the metal foil by welding or the like and the lead wire is attached to the stud bolt. Also, a heat-resistant resin body forming portion formed by press-fitting a heat-resistant resin material into a recess formed on the surface of the heating plate, and a stud insertion hole formed in the heat-resistant resin body forming portion are press-fitted and welded to the planar heating element. There is a heater device having a stud member which is fixed and welded by inserting a lead wire into a lead wire insertion hole drilled in the rear end (see, for example, Patent Document 1).
さらに、金属箔ヒーターのリード線取出し部をあて板が設置できる広さに形成し、該リード線取出し部の上面に、あて板を重ねるようにして固着し、該あて板の上にスタッドボルトを垂直に固着し、該スタッドボルトにリード線の端子を螺着する金属箔ヒーターのリード線取出し端子が知られている（例えば、特許文献２参照）。
しかし、上述した従来技術のうち、金属箔にスタッドボルトを溶接等により直接固定する技術にあっては、金属箔の厚さが薄いため溶接作業に高い熟練を要するという問題があった。また、溶接をしたとしても溶着面積を大きくできないため、十分な接合強度を得ることができないという問題があった。 However, among the above-described conventional techniques, the technique of directly fixing the stud bolt to the metal foil by welding or the like has a problem that the welding work requires high skill because the thickness of the metal foil is thin. Further, there is a problem in that sufficient welding strength cannot be obtained because the welded area cannot be increased even if welding is performed.
また、加熱板の表面に形成した凹部内に耐熱樹脂材を圧入させてなる耐熱樹脂体形成部と、この耐熱樹脂体形成部に穿設したスタッド挿入穴に圧入されて面状発熱体に溶接固定され、後端に穿設したリード線挿入穴にリード線を挿入して溶接固定されたスタッド部材を有する加熱ヒーター装置にあっては、加熱板に凹部を設ける必要があることから、加工工数の増加により製作コストが高くなるという問題があった。 Also, a heat-resistant resin body forming portion formed by press-fitting a heat-resistant resin material into a recess formed on the surface of the heating plate, and a stud insertion hole formed in the heat-resistant resin body forming portion are press-fitted and welded to the planar heating element. In a heater device having a stud member fixed and welded by inserting a lead wire into a lead wire insertion hole drilled in the rear end, it is necessary to provide a recess in the heating plate. There has been a problem that the production cost increases due to the increase in the number of slabs.
さらに、金属箔ヒーターのリード線取出し部をあて板が設置できる広さに形成し、該リード線取出し部の上面に、あて板を重ねるようにして固着し、該あて板の上にスタッドボルトを垂直に固着し、該スタッドボルトにリード線の端子を螺着する従来技術においては、金属箔ヒーターのリード線取り出し部に固着されたあて板上にスタッドボルトを固着する場合、スタッドボルトの先端が尖っており、スタッドボルトを垂直に固着するのが困難であった。さらに、スタッドボルトには丸穴のある端子を挿通し、この端子を上下のナットで締め付けるものであることから、製造工数が多くなり製造コストが高くなるという問題があった。 Furthermore, the lead wire take-out part of the metal foil heater is formed in a size that allows the plate to be installed, and is fixed to the upper surface of the lead wire take-out part by overlapping the cover plate, and stud bolts are placed on the contact plate. In the conventional technique in which the lead wire terminal is screwed to the stud bolt and fixed to the stud bolt, when the stud bolt is fixed on the cover plate fixed to the lead wire take-out portion of the metal foil heater, the tip of the stud bolt is It was pointed and it was difficult to fix the stud bolt vertically. Further, since a stud with a round hole is inserted into the stud bolt and the terminal is fastened with upper and lower nuts, there is a problem that the number of manufacturing steps increases and the manufacturing cost increases.
本考案は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、厚さの薄い金属箔ヒーターであってもリード線端子を強固に固定することができ、端子にリード線を強いトルクで締め付けても端子離脱等の問題が発生することのない金属箔ヒーター用リード線端子を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and even with a thin metal foil heater, a lead wire terminal can be firmly fixed, and even if the lead wire is fastened to the terminal with a strong torque. An object of the present invention is to provide a lead wire terminal for a metal foil heater in which problems such as terminal detachment do not occur.
請求項１記載の考案は、金属箔ヒーターに電力を供給するための金属箔ヒーター用リード線端子であって、平板の一方の面にネジ軸を一体に形成したことを特徴とするものである。 The invention described in claim 1 is a lead terminal for a metal foil heater for supplying electric power to the metal foil heater, wherein a screw shaft is integrally formed on one surface of a flat plate. .
請求項２記載の考案は、請求項１記載の金属箔ヒーター用リード線端子において、前記平板が円板であって、該円板の中心部に前記ネジ軸を設けたことを特徴とするものである。
The device according to
請求項３記載の考案は、金属箔ヒーターの下面に金属箔ヒーター用リード線端子の平板の一方の面を当接し、前記金属箔ヒーターと前記平板とを固着したことを特徴とする金属箔ヒーター用リード線端子の取付け構造である。
The invention according to
請求項４記載の考案は、請求項３記載の金属箔ヒーター用リード線端子の取付け構造において、金属箔ヒーターと平板との固着をスポット溶接により行うことを特徴とするものである。 According to a fourth aspect of the present invention, in the metal foil heater lead wire terminal mounting structure according to the third aspect, the metal foil heater and the flat plate are fixed by spot welding.
本考案における請求項１の金属箔ヒーター用リード線端子によれば、平板の一方の面にネジ軸を一体に形成したので、リード線を端子に固定する際にネジ軸に大きなトルクが作用しても、ネジ軸が平板から離脱することがない。 According to the lead wire terminal for the metal foil heater of claim 1 in the present invention, since the screw shaft is integrally formed on one surface of the flat plate, a large torque acts on the screw shaft when fixing the lead wire to the terminal. However, the screw shaft does not detach from the flat plate.
本考案における請求項２の金属箔ヒーター用リード線端子によれば、円板の中心部に前記ネジ軸を設けたので、旋盤加工等により容易に製作可能で、製作コストも低減できる。
According to the lead wire terminal for the metal foil heater according to
本考案における請求項３の金属箔ヒーター用リード線端子の取付け構造によれば、金属箔ヒーターの下面に金属箔ヒーター用リード線端子の平板の一方の面を当接して金属箔ヒーターと平板とを溶着したことから、リード線固定ナットを強固に締め付けても平板が変形して平板の周辺部が金属箔ヒーターから離れることがない。その結果、平板と金属箔ヒーターとの間にスパークが発生するのを防止することができる。
According to the metal foil heater lead wire terminal mounting structure according to
本考案における請求項４の金属箔ヒーター用リード線端子の取付け構造によれば、金属箔ヒーターと平板との固着をスポット溶接により行うこととしたので、強固な固着を実現できるとともに、溶接作業のコストを低減することができる。
According to the lead wire terminal mounting structure for a metal foil heater according to
以下、本考案を実施するための形態について、図面に基づいて説明する。図１は本考案の実施例である金属箔ヒーター用リード線端子の使用状況を示す断面図である。図２は金属箔ヒーターの平面図であり、図３中（ａ）は、金属箔ヒーター用リード線端子の正面図であり、（ｂ）は底面図である。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a usage state of a lead wire terminal for a metal foil heater according to an embodiment of the present invention. 2 is a plan view of the metal foil heater. In FIG. 3, (a) is a front view of a lead wire terminal for the metal foil heater, and (b) is a bottom view.
金属箔ヒーター用リード線端子１は、平板２の一方の面にネジ軸３が一体に形成される。通常、平板２は直径２０ｍｍ〜４０ｍｍ程度で、厚さは０．５ｍｍ程度の大きさである。この平板２の中心部に同心状にネジ軸３が平板２と一体的に製作される。ここでいう一体的とは、平板２とネジ軸３を別々に製作した後で溶接等により結合するという意味ではなく、単一の金属素材から旋盤加工等によって平板２とネジ軸３を一体的に形成することを意味する。形成するネジ軸３は全ネジであっても構わないが、平板２とネジ軸３との境界部４の応力集中を回避するために、平板２とネジ軸３との境界部４はネジを設けることなく、単純な丸棒として多少なりともＲを形成するようにすることもできる。ここで、金属箔ヒーター用リード線端子１は切削加工が容易な普通鋼材から製作される。このことにより、金属箔ヒーター用リード線端子１を製作する際の生産性が高まり、製作コストを低減することができる。
The lead wire terminal 1 for a metal foil heater has a
金属箔ヒーター５は発熱体となるものであり、ニッケルクロム鋼、すなわちステンレス鋼で製作される。具体的には図２に示すように０．１ｍｍ程度の厚さのニッケルクロム鋼の箔をＵ字状に何回も交互に繰り返した形状とされており、両端に設けられた島部６には金属箔ヒーター用リード線端子１のネジ軸３の外径寸法よりやや大きな径を有する孔７が設けられている。
The
次に、金属箔ヒーター用リード線端子１の金属箔ヒーター５への取り付け方法について説明する。金属箔ヒーター５は両端の島部６に設けられた孔７の付近を除いて両面とも雲母の板材８によって覆われる。このように金属箔ヒーター５の両面を雲母の板材８で覆うのは、絶縁性を確保するためであり、雲母の板材８は金属箔ヒーター５の形状に拘わらず、金属箔ヒーター５が存在しない部位についても覆うようにされている。このことにより確実な絶縁性が確保される。
Next, the attachment method to the
平板２とネジ軸３とが一体に形成されたリード線端子１のネジ軸３を金属箔ヒーター５の島部６に設けられた孔７に挿入して、金属箔ヒーター５の下面にリード線端子１の平板２の一方の面を当接する。次に、絶縁用の雲母リング９を上方からネジ軸３に挿通し、必要な長さを有する碍子10及び座金11とナット12を用いて金属箔ヒーター用リード線端子１を締め付け固定する。その後、座金11およびナット12を用いてリード線13の端子14をネジ軸３に締め付け固定する。
The
また、図３の（ｂ）に示すように平板２の外周に近い部位2aは金属箔ヒーター５に固着される。固着方法は通常のスポット溶接により行うことができる。このように平板２の外周に近い部位2aを金属箔ヒーター５に固着するのは、ネジ軸３に大きなトルクが作用した場合においても平板２の外周部が金属箔ヒーター５から容易に離脱するのを防止するためである。より詳細に説明をすると、ネジ軸３にリード線13の端子14を固定する場合において、ナット12を強く締め付けると、ネジ軸３にも大きなトルクが作用する。そうすると、金属箔ヒーター５にスタッドボルトを直接溶接したような固定方法にあっては、金属箔ヒーター５とスタッドボルトとの間に十分な接合強度を確保できないため、大きな外的トルクの作用によりスタッドボルトが金属箔ヒーター５から離脱してしまうという問題があった。一方、本考案のように平板２とネジ軸３を同一素材から一体的に形成することにより、平板２とネジ軸３との結合強度が高まり前記したような問題を解決することができる。
Further, as shown in FIG. 3B, a
また、ネジ軸３にリード線13の端子14を固定する際にナット12に大きなトルクを付加すると、トルクに比例してネジ軸３を上方に引き上げようとする引張力Ｆが作用する。そうすると、平板２の厚さが薄いことから平板２の中心部が上方に引っ張られ、その影響により平板２の外周に近い部位は図４に示すように下方に撓むことになる。
Further, when a large torque is applied to the
このように金属箔ヒーター５と平板２の一部が離れる状況が生じると、リード線13からの通電により平板２と金属箔ヒーター５との間にスパークが生じることになり、金属箔ヒーター５を損傷する。そこで、本考案のように平板２の外周に近い部位2aを溶接により金属箔ヒーター５に固着することによって、平板２の外周に近い部位2aが金属箔ヒーター５から離脱するのを防止し、平板２と金属箔ヒーター５との間にスパークが生じることがないようにされている。本実施例においては、平板２の周囲８箇所をスポット溶接により金属箔ヒーター５に固着している。スポット溶接する箇所は平板２の大きさに応じて適宜の数を選択することができる。
Thus, when the situation where the
上記に説明したような本考案に係る金属箔ヒーター用リード線端子１およびその取付け構造によれば、厚さの薄い金属箔ヒーター５であってもリード線端子１を強固に固定することができ、リード線端子１を大きなトルクで締め付けても端子離脱等の問題が発生することのない金属箔ヒーター用リード線端子１を実現することができる。また、リード線固定ナット12を強固に締め付けても平板２が変形して平板２の周辺部が金属箔ヒーター５から離れることがなく、平板２と金属箔ヒーター５との間にスパークが発生するのを防止することができる。さらに、製作コストを低減することができる。
According to the metal foil heater lead wire terminal 1 and the mounting structure thereof according to the present invention as described above, the lead wire terminal 1 can be firmly fixed even if the
なお、平板２を金属箔ヒーター５にスポット溶接した後において、平板２の露出面に対しては絶縁性を確保するため平板２の面積より幾分大きな面積を有する雲母板15により覆われる。
After spot welding of the
また、本考案にかかる金属箔ヒーター用リード線端子1を半導体製造装置等のホットプレートとして使用する場合には、金属箔ヒーター5の表裏両面を雲母の板材８により覆った後、これらの雲母の板材８を挟み込むように熱伝導性が良好なアルミニウム板（図示せず）が配設される。
When the metal foil heater lead wire terminal 1 according to the present invention is used as a hot plate for a semiconductor manufacturing apparatus or the like, the front and back surfaces of the
以上、本考案を実施例に基づいて説明したが、本考案は上記した実施例に限定されるものではなく、種々の変形実施をすることができる。例えば、上記の実施例ではリード線端子１の材料として普通鋼材を用いた例について説明したが、リード線端子１の材料は普通鋼材に限定されるものではなく、ステンレス鋼材を用いることもできる。 As mentioned above, although this invention was demonstrated based on the Example, this invention is not limited to an above-described Example, Various deformation | transformation implementation can be performed. For example, in the above embodiment, an example in which ordinary steel material is used as the material of the lead wire terminal 1 has been described. However, the material of the lead wire terminal 1 is not limited to ordinary steel material, and stainless steel material can also be used.
１ 金属箔ヒーター用リード線端子（リード線端子)
２ 平板
３ ネジ軸
５ 金属箔ヒーター
1 Lead wire terminal for metal foil heater (lead wire terminal)
2
Claims (4)
4. The lead wire terminal mounting structure for a metal foil heater according to claim 3, wherein the fixing is performed by spot welding.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005010009U JP3120249U (en) | 2005-11-28 | 2005-11-28 | Lead wire terminal for metal foil heater |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2005010009U JP3120249U (en) | 2005-11-28 | 2005-11-28 | Lead wire terminal for metal foil heater |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3120249U true JP3120249U (en) | 2006-03-30 |
Family
ID=43470430
Family Applications (1)
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| JP2005010009U Expired - Lifetime JP3120249U (en) | 2005-11-28 | 2005-11-28 | Lead wire terminal for metal foil heater |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP3120249U (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP7468240B2 (en) | 2020-08-11 | 2024-04-16 | 株式会社明電舎 | Connection reinforcement member, connection reinforcement structure, power conversion device |
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2005
- 2005-11-28 JP JP2005010009U patent/JP3120249U/en not_active Expired - Lifetime
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