JP3118908B2 - 加熱気化導入装置 - Google Patents
加熱気化導入装置Info
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- JP3118908B2 JP3118908B2 JP03284528A JP28452891A JP3118908B2 JP 3118908 B2 JP3118908 B2 JP 3118908B2 JP 03284528 A JP03284528 A JP 03284528A JP 28452891 A JP28452891 A JP 28452891A JP 3118908 B2 JP3118908 B2 JP 3118908B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加熱気化導入装置に係
わり、特に、高周波誘導結合プラズマ質量分析計のプラ
ズマト―チに液体試料などを気化して導入する加熱気化
導入装置に関する。
わり、特に、高周波誘導結合プラズマ質量分析計のプラ
ズマト―チに液体試料などを気化して導入する加熱気化
導入装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は加熱気化導入装置の従来例構成説
明図であり、図中、１はベル型のチェンバ―、２ａは右
側電極、２ｂは左側電極、３はキュベット（加熱炉）、
Ａはチェンバ―１内に螺旋状にガスを噴出するガス流出
口、Ｂは冷却水導入口、Ｃは冷却水導出口、Ｄは電極２
ａ，２ｂの間に配置され冷却水導入口Ｂから導入された
冷却水が内部を流れるチュ―ブ、５ａはプラズマト―チ
の内室、５ｂはプラズマト―チの外室、５ｃはプラズマ
ト―チの最外室、５はプラズマト―チ、６は電極２ａ，
２ｂに電流供給線７ａ，７ｂを介して所定の電流を供給
する電流供給源である。
明図であり、図中、１はベル型のチェンバ―、２ａは右
側電極、２ｂは左側電極、３はキュベット（加熱炉）、
Ａはチェンバ―１内に螺旋状にガスを噴出するガス流出
口、Ｂは冷却水導入口、Ｃは冷却水導出口、Ｄは電極２
ａ，２ｂの間に配置され冷却水導入口Ｂから導入された
冷却水が内部を流れるチュ―ブ、５ａはプラズマト―チ
の内室、５ｂはプラズマト―チの外室、５ｃはプラズマ
ト―チの最外室、５はプラズマト―チ、６は電極２ａ，
２ｂに電流供給線７ａ，７ｂを介して所定の電流を供給
する電流供給源である。
【０００３】このような構成からなる従来の加熱気化導
入装置において、キュベット３から放出される熱によっ
てチェンバ―１内が加熱されている。また、冷却水導入
口Ｂから導入された冷却水は、左側電極２ｂ→チュ―ブ
Ｄ→右側電極２ａ→冷却水導出口Ｃを経て流れることに
より、電極２ａ，２ｂを冷却する。
入装置において、キュベット３から放出される熱によっ
てチェンバ―１内が加熱されている。また、冷却水導入
口Ｂから導入された冷却水は、左側電極２ｂ→チュ―ブ
Ｄ→右側電極２ａ→冷却水導出口Ｃを経て流れることに
より、電極２ａ，２ｂを冷却する。
【０００４】一方、アルゴンガスなどのキャリアガスが
キュベット３に導入口Ａから噴出され、チェンバ１の天
穴から切換弁４を介してプラズマト―チ５の内室５ａに
供給される。尚、プラズマト―チ５の外室５ｂと最外室
５ｃには図示しないガス調節器を介して図示しないアル
ゴンガス供給源からアルゴンガスが供給されるようにな
っている。
キュベット３に導入口Ａから噴出され、チェンバ１の天
穴から切換弁４を介してプラズマト―チ５の内室５ａに
供給される。尚、プラズマト―チ５の外室５ｂと最外室
５ｃには図示しないガス調節器を介して図示しないアル
ゴンガス供給源からアルゴンガスが供給されるようにな
っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題点】然しながら、上記従
来例においては、左側電極２ｂからチュ―ブＤを介して
右側電極２ａに冷却水が流れるようになっているため、
試料蒸気がチュ―ブＤの外側などに凝着し、その結果、
高周波誘導結合プラズマ質量分析計の検出感度を低下さ
せる一因となっていた。また、このような問題点を解決
するために、試料気化部の外側に、冷却水の入口と出口
を設置することも試みられていたが、気化部内の電極の
表面積が大きくなって試料蒸気がかえって凝着し易くな
り、依然として検出感度を低下させる一因となってい
た。
来例においては、左側電極２ｂからチュ―ブＤを介して
右側電極２ａに冷却水が流れるようになっているため、
試料蒸気がチュ―ブＤの外側などに凝着し、その結果、
高周波誘導結合プラズマ質量分析計の検出感度を低下さ
せる一因となっていた。また、このような問題点を解決
するために、試料気化部の外側に、冷却水の入口と出口
を設置することも試みられていたが、気化部内の電極の
表面積が大きくなって試料蒸気がかえって凝着し易くな
り、依然として検出感度を低下させる一因となってい
た。
【０００６】本発明は、かかる従来例の欠点などに鑑み
てなされたものであり、その課題は、試料を気化させ凝
着させることなく高周波誘導結合プラズマ分析計に円滑
に導き、究極的に高周波誘導結合プラズマ分析計の検出
感度を改善できるような加熱気化導入装置を提供するこ
とにある。
てなされたものであり、その課題は、試料を気化させ凝
着させることなく高周波誘導結合プラズマ分析計に円滑
に導き、究極的に高周波誘導結合プラズマ分析計の検出
感度を改善できるような加熱気化導入装置を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、請求項１にお
いては、加熱気化導入装置において、チェンバーと、該
チェンバーの開口部を覆って気密に固定された押え板
と、この押え板に一端が固定され前記チェンバ内に配置
された2本の電極と、これら電極の他端に支持され試料
を加熱して気化するキュベットと、前記チェンバー内に
ガスを導入するガス導入部と、前記電極の下部にそれぞ
れ設けられた空洞と、これら空洞をチェンバーの外部か
ら水密に接続する連通管とを具備し、前記空洞の一方か
ら他方の空洞へ冷却水を流すことにより、前記課題を解
決したものである。
いては、加熱気化導入装置において、チェンバーと、該
チェンバーの開口部を覆って気密に固定された押え板
と、この押え板に一端が固定され前記チェンバ内に配置
された2本の電極と、これら電極の他端に支持され試料
を加熱して気化するキュベットと、前記チェンバー内に
ガスを導入するガス導入部と、前記電極の下部にそれぞ
れ設けられた空洞と、これら空洞をチェンバーの外部か
ら水密に接続する連通管とを具備し、前記空洞の一方か
ら他方の空洞へ冷却水を流すことにより、前記課題を解
決したものである。
【０００８】同様に請求項２においては、請求項１記載
の加熱気化導入装置において前記チェンバーの周壁には
細帯状のヒータと、前記チェンバー内の温度を検出する
温度センサーが設けられ、該温度センサーの出力に基づ
いて前記チェンバー内を所定の高温状態に保つことを特
徴とするものであり、請求項３においては、請求項２記
載の加熱気化導入装置において、前記チェンバーの周壁
に設けられた細帯状のヒータは前記チェンバーを巻回す
るように設けられたことを特徴とするものである。
の加熱気化導入装置において前記チェンバーの周壁には
細帯状のヒータと、前記チェンバー内の温度を検出する
温度センサーが設けられ、該温度センサーの出力に基づ
いて前記チェンバー内を所定の高温状態に保つことを特
徴とするものであり、請求項３においては、請求項２記
載の加熱気化導入装置において、前記チェンバーの周壁
に設けられた細帯状のヒータは前記チェンバーを巻回す
るように設けられたことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】本発明は、次のように作用する。即ち、冷却水
導入口から導入された冷却水が、一方の電極の下部に設
けられた空洞を通り連通管を経て他方の電極の下部に設
けられた空洞、及び冷却水導出口を経て流れる。このよ
うにして、2つの電極が冷却されると共に、キュベット
から放出される熱によって気化された試料はガス導入部
から導入されたガスの流れに乗って天穴から放出され、
切換弁を介してプラズマトーチの内室へ導かれて分析さ
れる。また、ガラス製ベル型チェンバーをガラスで構成
すると共に該チェンバーの周壁に埋設されたヒータでガ
ラス製ベル型チェンバー内を所望の高温状態に保つよう
になっている。このため、試料がチェンバー内で蒸発し
たり気化したりしてもチェンバーの天穴付近に蒸着する
こともなく、該チェンバーからプラズマトーチ内室への
試料導入効率が高く維持され、その結果、試料の凝着を
防止し試料の供給効率が向上する。
導入口から導入された冷却水が、一方の電極の下部に設
けられた空洞を通り連通管を経て他方の電極の下部に設
けられた空洞、及び冷却水導出口を経て流れる。このよ
うにして、2つの電極が冷却されると共に、キュベット
から放出される熱によって気化された試料はガス導入部
から導入されたガスの流れに乗って天穴から放出され、
切換弁を介してプラズマトーチの内室へ導かれて分析さ
れる。また、ガラス製ベル型チェンバーをガラスで構成
すると共に該チェンバーの周壁に埋設されたヒータでガ
ラス製ベル型チェンバー内を所望の高温状態に保つよう
になっている。このため、試料がチェンバー内で蒸発し
たり気化したりしてもチェンバーの天穴付近に蒸着する
こともなく、該チェンバーからプラズマトーチ内室への
試料導入効率が高く維持され、その結果、試料の凝着を
防止し試料の供給効率が向上する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明について図を用いて詳細に説明
する。図１は本発明実施例の構成説明図であり、図中、
図３と同一記号は同一意味を持たせて使用しここでの重
複説明は省略する。また、９ａは左側電極２ｂの下部に
設けられている第１空洞２０ａの気密性を保つためのＯ
リング、９ｂは右側電極２ａの下部に設けられている第
２空洞２０ｂの気密性を保つためのＯリング、８は一端
が上記第１，第２空洞にそれぞれ連通するようにローづ
けされたパイプであり、他端はチューブ８aに接続され
て連通管８ｂを構成している。２０はチャンバー１の開
口部を気密に覆う押え板であり、この押え板２０に電極
２ａ，２ｂの一端が固定され、他端の先端付近にキュベ
ット３が固定されている。
する。図１は本発明実施例の構成説明図であり、図中、
図３と同一記号は同一意味を持たせて使用しここでの重
複説明は省略する。また、９ａは左側電極２ｂの下部に
設けられている第１空洞２０ａの気密性を保つためのＯ
リング、９ｂは右側電極２ａの下部に設けられている第
２空洞２０ｂの気密性を保つためのＯリング、８は一端
が上記第１，第２空洞にそれぞれ連通するようにローづ
けされたパイプであり、他端はチューブ８aに接続され
て連通管８ｂを構成している。２０はチャンバー１の開
口部を気密に覆う押え板であり、この押え板２０に電極
２ａ，２ｂの一端が固定され、他端の先端付近にキュベ
ット３が固定されている。
【００１１】このような構成からなる本発明の実施例に
おいて、キュベット３から放出される熱によってチェン
バ―１内が加熱されている。また、キュベット３に導入
口Ａから噴出されるようにして導入されたガスは、チェ
ンバ―１内を螺旋状に回転し、チェンバ１２の天穴から
切換弁４を介してプラズマト―チ５の内室５ａに供給さ
れる。また、ガス導入口Ａから導入されたガスは、キュ
ベット３で気化された試料を上部に吹き上げるようにし
ながら天穴から放出され、切換弁４を介してプラズマト
―チ５の内室５ａへ導かれるようになっている。
おいて、キュベット３から放出される熱によってチェン
バ―１内が加熱されている。また、キュベット３に導入
口Ａから噴出されるようにして導入されたガスは、チェ
ンバ―１内を螺旋状に回転し、チェンバ１２の天穴から
切換弁４を介してプラズマト―チ５の内室５ａに供給さ
れる。また、ガス導入口Ａから導入されたガスは、キュ
ベット３で気化された試料を上部に吹き上げるようにし
ながら天穴から放出され、切換弁４を介してプラズマト
―チ５の内室５ａへ導かれるようになっている。
【００１２】また、冷却水は、電流供給線７ａを固定し
ているネジに設けられている冷却水導入口Ｂから取り入
れられ、左側電極２ｂの下部に設けられている第１空洞
２０ａに入る。その後、第１空洞２０ａに一端が連通し
てロー付けされているパイプ８に流入することにより、
気化部の外に流出する。また、パイプ８は右側電極２ａ
のパイプと絶縁物（例えば、シリコンチューブ８ａな
ど）でつながれており、そのチューブ８ａを介して冷却
水が第２空洞２０ｂに導かれる。その後、電流供給線７
ｂを固定しているネジに設けられている冷却水導出口Ｃ
から外部に排出される。
ているネジに設けられている冷却水導入口Ｂから取り入
れられ、左側電極２ｂの下部に設けられている第１空洞
２０ａに入る。その後、第１空洞２０ａに一端が連通し
てロー付けされているパイプ８に流入することにより、
気化部の外に流出する。また、パイプ８は右側電極２ａ
のパイプと絶縁物（例えば、シリコンチューブ８ａな
ど）でつながれており、そのチューブ８ａを介して冷却
水が第２空洞２０ｂに導かれる。その後、電流供給線７
ｂを固定しているネジに設けられている冷却水導出口Ｃ
から外部に排出される。
【００１３】このように冷却水導入口Ｂから導入された
冷却水は、左側電極２ｂの下部に設けられている第１空
洞→パイプ８→チュ―ブ→パイプ８→右側電極２ａの下
部に設けられている第２空洞→冷却水導出口Ｃを経て流
れることにより、左側電極２ａや右側電極２ｂを冷却す
る。
冷却水は、左側電極２ｂの下部に設けられている第１空
洞→パイプ８→チュ―ブ→パイプ８→右側電極２ａの下
部に設けられている第２空洞→冷却水導出口Ｃを経て流
れることにより、左側電極２ａや右側電極２ｂを冷却す
る。
【００１４】一方、図２は、本発明他の実施例の構成説
明図であり、図中、図１と同一記号は同一意味を持たせ
て使用しここでの重複説明は省略する。また、１´はガ
ラス製のベル型チェンバ―、６ａ，６ｂは前記電流供給
源６と同一の第１，第２の電流供給源、７ｃ，７ｄは電
流供給線、１０はガラス製ベル型チェンバ―１´の周壁
に例えば銀蒸着によって装着され該周壁に巻回するよう
にして埋設されている細帯状のヒ―タ、１１はチェンバ
―１の上部内側所定部分に設置された温度センサ―、１
２は温度センサ―１１で検出された検出信号を伝送する
信号線、１３は第２電流供給源６ｂをオンオフ制御する
制御器である。尚、ヒ―タ１０の形状は図２の形状に限
定されるものではなく、例えば、縦縞状であっても良い
ものとする。
明図であり、図中、図１と同一記号は同一意味を持たせ
て使用しここでの重複説明は省略する。また、１´はガ
ラス製のベル型チェンバ―、６ａ，６ｂは前記電流供給
源６と同一の第１，第２の電流供給源、７ｃ，７ｄは電
流供給線、１０はガラス製ベル型チェンバ―１´の周壁
に例えば銀蒸着によって装着され該周壁に巻回するよう
にして埋設されている細帯状のヒ―タ、１１はチェンバ
―１の上部内側所定部分に設置された温度センサ―、１
２は温度センサ―１１で検出された検出信号を伝送する
信号線、１３は第２電流供給源６ｂをオンオフ制御する
制御器である。尚、ヒ―タ１０の形状は図２の形状に限
定されるものではなく、例えば、縦縞状であっても良い
ものとする。
【００１５】このような構成からなる本発明他の実施例
において、温度センサ―１１がチェンバ―１内の温度を
検出すると、該検出信号は信号線１２を介して制御器１
３に送出される。制御器１３は該検出信号に所定の演算
処理を施して得られるオンオフ制御信号を第２電流供給
源６ｂに送出し、電流供給線７ｃ，７ｄを介してヒ―タ
１０を流れる電流を制御する。
において、温度センサ―１１がチェンバ―１内の温度を
検出すると、該検出信号は信号線１２を介して制御器１
３に送出される。制御器１３は該検出信号に所定の演算
処理を施して得られるオンオフ制御信号を第２電流供給
源６ｂに送出し、電流供給線７ｃ，７ｄを介してヒ―タ
１０を流れる電流を制御する。
【００１６】このようにしてチェンバ―１内が所望の高
温状態に維持される。このため、図１で詳述した前記従
来例や図２の本発明実施例において、チェンバ―１の天
穴付近に溶媒が凝着するような試料の場合であっても、
図２の実施例によればチェンバ―１の天穴付近も高温状
態に保たれているため、該天穴付近に溶媒が凝着するよ
うなことはなくなる。従って、図２の実施例によれば、
チェンバ―１の天穴付近に試料溶媒が凝着してプラズマ
ト―チ５の内室５ａに導入される試料成分の比率が低下
することなどを未然に防止できる。
温状態に維持される。このため、図１で詳述した前記従
来例や図２の本発明実施例において、チェンバ―１の天
穴付近に溶媒が凝着するような試料の場合であっても、
図２の実施例によればチェンバ―１の天穴付近も高温状
態に保たれているため、該天穴付近に溶媒が凝着するよ
うなことはなくなる。従って、図２の実施例によれば、
チェンバ―１の天穴付近に試料溶媒が凝着してプラズマ
ト―チ５の内室５ａに導入される試料成分の比率が低下
することなどを未然に防止できる。
【００１７】尚、本発明は上述の実施例に限定されるこ
となく種々の変形が可能であり、例えば、〜のように
しても良いものとする。 図２の実施例において、第１，第２電流供給源６ａ，
６ｂを１つの電源ユニットで構成する。 図２の実施例において、温度センサ―１１，信号線１
２，及び制御器１３を除去し、第２電流供給源６ｂを必
要時に手動でオンにしてヒ―タに電流を供給するように
する。 図２の実施例において、チェンバ―１の内部を外から
観察できる窓を残してチェンバ―１の外周を全てヒ―タ
１０で覆う。
となく種々の変形が可能であり、例えば、〜のように
しても良いものとする。 図２の実施例において、第１，第２電流供給源６ａ，
６ｂを１つの電源ユニットで構成する。 図２の実施例において、温度センサ―１１，信号線１
２，及び制御器１３を除去し、第２電流供給源６ｂを必
要時に手動でオンにしてヒ―タに電流を供給するように
する。 図２の実施例において、チェンバ―１の内部を外から
観察できる窓を残してチェンバ―１の外周を全てヒ―タ
１０で覆う。
【００１８】
【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明によれ
ば、気化部内に２つの電極を結ぶ流路をもたず、しか
も、気化部内の電極形状を小さくすることができるとい
う利点がある。従って、本発明によれば、試料の凝着を
防止し、試料の供給効率が向上した加熱気化導入装置が
実現する。
ば、気化部内に２つの電極を結ぶ流路をもたず、しか
も、気化部内の電極形状を小さくすることができるとい
う利点がある。従って、本発明によれば、試料の凝着を
防止し、試料の供給効率が向上した加熱気化導入装置が
実現する。
【００１９】また、本発明他の実施例によれば、チェン
バ―をガラスで構成すると共にヒ―タでチェンバ―内を
高温に保つような構成となっている。このため、試料が
チェンバ―内で蒸発したり気化したりしてもチェンバ―
の天穴付近に蒸着することもなく、該チェンバ―からプ
ラズマト―チ内室への試料導入効率が高く維持され、そ
の結果、試料の凝着を防止し試料の供給効率が向上した
加熱気化導入装置が実現する。
バ―をガラスで構成すると共にヒ―タでチェンバ―内を
高温に保つような構成となっている。このため、試料が
チェンバ―内で蒸発したり気化したりしてもチェンバ―
の天穴付近に蒸着することもなく、該チェンバ―からプ
ラズマト―チ内室への試料導入効率が高く維持され、そ
の結果、試料の凝着を防止し試料の供給効率が向上した
加熱気化導入装置が実現する。
【図１】本発明実施例の構成説明図である。
【図２】本発明他の実施例の構成説明図である。
【図３】従来例の構成説明図である。
１ ベル型のチェンバ― ２ａ，２ｂ 電極 ３ キュベット Ａ ガス流出口 Ｂ 冷却水導入口 Ｃ 冷却水導出口 ５ａ プラズマト―チの内室 ５ｂ プラズマト―チの外室 ５ｃ プラズマト―チの最外室 ５ プラズマト―チ １０ 細帯状のヒ―タ １１ 温度センサ― １３ 制御器
Claims (3)
- 【請求項１】高周波誘導結合プラズマを用いた分析計な
どの元素分析計に装着され試料を気化して該元素分析計
に供給する加熱気化導入装置において、チェンバーと、
該チェンバーの開口部を覆って気密に固定された押え板
と、この押え板に一端が固定され前記チェンバ内に配置
された2本の電極と、これら電極の他端に支持され試料
を加熱して気化するキュベットと、前記チェンバー内に
ガスを導入するガス導入部と、前記電極の下部にそれぞ
れ設けられた空洞と、これら空洞をチェンバーの外部か
ら水密に接続する連通管とを具備し、前記空洞の一方か
ら他方の空洞へ冷却水を流すことにより、前記電極を冷
却するように構成したことを特徴とする加熱気化導入装
置。 - 【請求項２】前記チェンバー内を加熱する為にチェンバ
ーの周壁に設けられた細帯状のヒータと、前記チェンバ
ー内の温度を検出する温度センサーを有し、、該温度セ
ンサーの出力に基づいて前記チェンバー内を所定の高温
状態に保つことを特徴とする請求項１記載の加熱気化導
入装置。 - 【請求項３】前記チェンバーの周壁に設けられた細帯状
のヒータは前記チェンバーを巻回するように設けられた
ことを特徴とする請求項２記載の加熱気化導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03284528A JP3118908B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-10-30 | 加熱気化導入装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15670791 | 1991-06-27 | ||
| JP3-156707 | 1991-06-27 | ||
| JP03284528A JP3118908B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-10-30 | 加熱気化導入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0562642A JPH0562642A (ja) | 1993-03-12 |
| JP3118908B2 true JP3118908B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=26484392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03284528A Expired - Fee Related JP3118908B2 (ja) | 1991-06-27 | 1991-10-30 | 加熱気化導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3118908B2 (ja) |
-
1991
- 1991-10-30 JP JP03284528A patent/JP3118908B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0562642A (ja) | 1993-03-12 |
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