JP3116197U - プロセス残留物を付着する表面を有する基板処理チャンバー用コンポーネント - Google Patents
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Abstract
【課題】 プロセス残留物を付着する表面を有する基板処理チャンバー用コンポーネントを提供する。
【解決手段】 処理チャンバーコンポーネントは、その構造体と、エネルギが与えられたガス中で基板を処理する間にプロセス残留物が良く付着する表面とを有し、基板の汚染を減少させる。1つの態様において、構造体には、互いに逆向きの第1及び第2の螺旋溝が設けられる。別の態様において、コンポーネントの表面は、複数の半径方向に離間された同心上の溝と、それらの間に形成された電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみを備えている。更に別の実施形態では、表面は、ギザギザ状の峰及び皺を有する。
【選択図】 図2A
【解決手段】 処理チャンバーコンポーネントは、その構造体と、エネルギが与えられたガス中で基板を処理する間にプロセス残留物が良く付着する表面とを有し、基板の汚染を減少させる。1つの態様において、構造体には、互いに逆向きの第1及び第2の螺旋溝が設けられる。別の態様において、コンポーネントの表面は、複数の半径方向に離間された同心上の溝と、それらの間に形成された電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみを備えている。更に別の実施形態では、表面は、ギザギザ状の峰及び皺を有する。
【選択図】 図2A
Description
本考案の実施形態は、基板処理チャンバー用のコンポーネントに関する。
半導体ウェハやディスプレイのような基板の処理においては、基板をプロセスチャンバーに入れて、エネルギが与えられたガスに露出し、基板に材料を堆積したり基板の材料をエッチングしたりする。典型的なプロセスチャンバーは、プロセスゾーンを包囲するエンクロージャーと、チャンバー内にガスを供給するガス供給源と、基板を処理するためのプロセスガスを付勢するガスエナジャイザと、基板支持体と、ガス排気口とを含むプロセスコンポーネントを備えている。又、これらプロセスチャンバーコンポーネントは、処理中に基板を固定し保護する上で助けとなり得る1つ以上のパーツを通常含むプロセスキットで構成することもできる。プロセスキットコンポーネントの一例は、基板の周囲を少なくとも部分的に取り巻いて基板を支持体に固定することできる保持クランプである。又、この保持クランプは、基板及び支持体の1つ以上を少なくとも部分的にカバーして、プロセス残留物がそこに付着するのを減少させることもできる。
プロセスチャンバーにおける基板の処理中に、プロセス残留物が発生されて、チャンバーの内面に堆積し得る。例えば、プロセス残留物は、基板支持面及びエンクロージャー壁面を含む表面に堆積し得る。その後のプロセスサイクル中に、堆積したプロセス残留物がチャンバー内面から「剥がれて」、基板上に落下し、基板を汚染し得る。この問題を解決するために、チャンバーのコンポーネントの表面は、プロセス残留物による基板の汚染を減少するために織られる(textured)ことがしばしばある。プロセス残留物は、これらテクスチャ加工された表面に付着し、プロセス残留物による基板の汚染の発生が減少される。
1つの態様において、テクスチャ加工されたコンポーネント表面は、電磁エネルギービームをコンポーネント表面に向けて、プロセス残留物が良く付着し得るくぼみと突起を形成することにより作られる。又、テクスチャ加工されたコンポーネント表面は、テクスチャ加工された被覆をコンポーネント上に形成することで設けることもできる。しかしながら、このようなテクスチャ加工されたコンポーネント表面だけでは、プロセス残留物蓄積の問題を充分に緩和できない。
例えば、テクスチャ加工されたコンポーネント上の比較的小さな又は狭いテクスチャ加工された特徴部、例えば、コンポーネント表面におけるホール又はくぼみがプロセス残留物で極めて急速に埋められて、若干の基板を処理しただけでコンポーネントの洗浄を必要とするときに、通常、問題が生じる。又、プロセス残留物の膜が、テクスチャ加工されたコンポーネント表面におけるホール又はくぼみを「橋絡」し又は塞いで、コンポーネント表面に剥がれずに蓄積し得るプロセス残留物の量を制限することもある。又、「橋絡」した膜は、テクスチャ加工された表面にしっかり保持されないことがあり、表面から早期に剥がれ落ちることもある。従って、従来のテクスチャ加工された表面コンポーネントは、コンポーネントの洗浄が必要となるまでに充分に多数の基板を処理できないことがしばしばあり、処理効率を下げると共にチャンバーの停止時間を増加することになる。又、比較的小さな又は狭いテクスチャ加工された特徴部は、プロセス残留物をそれら小さな特徴部内に時々「ロック」し、コンポーネント洗浄及び再研磨プロセス中にそれらを除去することが困難になる。
例えば、プロセス残留物は、保持クランプの周りの表面上及び基板受け入れ面上に蓄積し得る。基板受け入れエリアの大きさは、通常、基板への厳密な嵌合を与えるように入念に選択されるので、受け入れエリアの周りにプロセス残留物が蓄積すると、支持体に基板が不適切に嵌合し、受け入れ面及びクランプリングの1つ以上に基板が「くっつく」ことにもなり得る。このように基板が「くっつく」ことは、例えば、アルミニウム含有材料と他のプロセス残留物がチャンバー内の種々の表面の周りを移動し得るアルミニウムのリフロープロセスのような高温プロセスにおいて特に問題となろう。
従って、蓄積したプロセス残留物がプロセスチャンバー内のコンポーネントから剥がれるのを減少することが要望される。更に、コンポーネント表面におけるプロセス残留物の蓄積量の増加を許容しながら、コンポーネント表面におけるホール又はくぼみの橋絡を減少することが要望される。更に、基板支持体の部分に対する基板の「くっつき」を減少できるコンポーネント及び方法を得ることが要望される。
コンポーネントは、コンポーネント構造体と、互いに逆向きの第1及び第2の螺旋溝をもつ表面とを有している。基板処理チャンバーにおいてエネルギが与えられたガス中で基板を処理する間にプロセス残留物が表面の螺旋溝に付着し、これにより、プロセス残留物による基板の汚染が減少される。コンポーネントは、互いに逆向きの螺旋溝をコンポーネント構造体の表面に加工することにより製造される。
別の態様において、コンポーネントは、互いに離間されて各々第1深さ及び第1密度を有する複数の第1の織り特徴部を有する第1のテクスチャ加工パターン領域と、互いに離間されて各々第2深さ及び第2密度を有する複数の第2の織り特徴部を有する第2のテクスチャ加工パターン領域とを備えたテクスチャ加工された表面を有している。第2深さ及び第2密度の少なくとも一方は、第1深さ及び第1密度以外のものである。
コンポーネントの別の態様は、半径方向に離間された複数の同心上の溝を有する表面をもつ基底構造体を備えている。電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみが隣接溝間に形成される。コンポーネントは、複数の半径方向に離間された同心上の溝を表面に加工し、表面を横切って電子ビームを走査して、電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみを隣接溝間に形成することにより、製造することができる。
更に別の態様において、基板処理チャンバーのための基板保持クランプは、チャンバー内の基板を取り巻く環状部分と、基板の周囲をカバーするオーバーハング張出部とをもつリングを有している。保持クランプは、離間されたギザギザ状の峰と溝を有するギザギザ付き露出面をオーバーハング張出部に有している。又、このギザギザ付き露出面は、リングの環状部分の一部分及びその外部側面を横切って延びることができる。ギザギザ付き露出面は、ギザギザを付けることにより形成される。
本考案のこれら特徴、態様及び効果は、本考案を例示する以下の説明、実用新案登録請求の範囲及び添付図面に関連して良く理解されよう。しかしながら、各々の特徴は、単に特定の図面に使用されるだけではなく、本考案において一般的に使用することができ、本考案は、これら特徴の結合も包含することを理解されたい。
エネルギが与えられたガス中で基板104を処理するための多数のコンポーネント100を有する基板処理チャンバー106を備えた基板処理装置104の実施形態が図1に示されている。例示されたチャンバー106は、PVD又はスパッタリングチャンバーである。1つ以上のコンポーネント100は、テクスチャ加工された表面22を有するコンポーネント構造体11を備え、基板104の処理中に発生したプロセス残留物がコンポーネント表面22に付着して、プロセス残留物による処理済基板104の汚染を減少することができる。コンポーネント100のテクスチャ加工された表面22は、チタン、ステンレス鋼、銅、タンタル、タングステン及びアルミニウムの少なくとも1つのような金属材料で構成できる。又、テクスチャ加工された表面22は、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化シリコン、酸化シリコン、石英、炭化シリコン、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム及び酸化チタンの少なくとも1つのようなセラミック材料で構成することもできる。テクスチャ加工された表面22をもつように製造又は処理できるアプライド・マテリアルズの部品番号は、例えば、部品番号0021−17718、0200−00673、0200−00674、0021−17721、0021−17719、0021−17717、及び0021−17720を含む。
1つの態様において、コンポーネント100の表面22は、この表面22上の連続区分83の平均長さ及び数を減少することにより表面22からプロセス堆積物が剥がれ又は剥がれ落ちるのを防止するように織られている。非常に長い連続区分83上に蓄積するプロセス堆積物は、互いに非常に強力に付着し合い、その結果、長い残留物片としてコンポーネント100から剥がれ落ちることがあり、チャンバー106内で処理されている基板の汚染を招くことになる。対照的に、隆起、割れ目又は他の表面不連続部により分割された表面区分は、プロセス残留物を表面に良好に付着させ、残留物が表面から容易に剥がれ又は剥がれ落ちるのを許容しないことが分かった。
1つの態様において、非常に長い連続区分83の数を減少した改良された表面22は、例えば、図2A及び図2Bに示すように、第1及び第2の螺旋溝80a、bを各々表面に形成することにより設けられる。螺旋溝80a、bは、互いに逆向きである。例えば、溝80a、bは、互いに逆方向に進行する左手及び右手型溝であり、表面に形成された逆向きのスレッドで構成することができる。好ましい態様では、逆向きの螺旋溝80a、bは、上から見て、表面22の周りを時計方向に回転する右手型螺旋溝80aと、表面22の周りを反時計方向に回転する左手型螺旋溝80bとで構成される。螺旋溝80a、bは、コンポーネント表面22の実質的な連続区分83である溝なし部分81を分割及び短縮するように互いにクロスし交差することができる。1つの態様では、螺旋溝80a、bを含む表面22には、約0.1cm(0.04インチ)より大きな長さ又は周囲を溝80a、b間にもつ連続区分83は実質的に存在しない。例えば、連続区分83の平均長さ又は周囲は、約0.05cm(0.02インチ)未満でよい。1つの態様では、連続区分83の平均長さ又は周囲は、0cmより若干上から、約0.1cm(0.04インチ)以下までの範囲でよい。別の態様では、表面22上の溝80a、b間の連続区分83は、約0.1cm2(1000分の1600平方インチ)の面積を越えず、例えば、この面積は、約0.001cm2(1000分の225平方インチ)から約0.1cm2(1000分の1600平方インチ)までの範囲でよい。互いに逆の螺旋溝80a、bは、より不連続な表面を形成し、表面22へのプロセス残留物の付着を改善する。
図2A及び図2Bは、互いに逆の螺旋溝構成を有するコンポーネント100の実施形態を示す。例えば、図2Aは、円筒形状コンポーネント100の区分、この場合には、チャンバーシールド120の円筒形状区分の実施形態を示し、コンポーネント100の内面22には互いに逆の螺旋溝80a、bが形成されている。この実施形態では、互いに逆の螺旋溝80a、bは、シールド120の中心軸94の周りを螺旋状に進みながらシールド120の表面22を横切って垂直方向に延び、シールド表面22の少なくとも一部分に及ぶ溝の渦巻きを形成する。シールド120の中心軸94は、通常、例えば、図1に示すように、プロセスチャンバー106の中心軸と一致する。例えば、第1の螺旋溝80aは、この螺旋溝80aがコンポーネント100の表面22の周りを時計方向に回転し、螺旋溝80aの長さ/巻回を増加していくような右手型オリエンテーションを含むことができる。第2の螺旋溝80bは、この螺旋溝がコンポーネントの表面22の周りを反時計方向に回転し、螺旋溝の長さ/巻回を増加していくような左手型オリエンテーションを含むことができる。1つの態様では、螺旋溝80a、bは、シールド120の底部103のようなシールド120の一端に向かって位置した出発点82a、bで始まり、シールド120の中心軸の周りを上方に回転し、シールド120の頂部101のようなシールド120の反対端に向かって位置した螺旋終了点84a、bで終わる。中心軸94に対して各溝80a、bで形成される適当な渦巻きの角度は、例えば、少なくとも約45°、約45°から約75°、又は少なくとも約60°である。各螺旋溝80a、bの螺旋アーム99a、b間の適当な間隔sは、約0.25cm(0.1インチ)から約1.3cm(0.5インチ)まで、例えば、約0.6cm(0.25インチ)でよい。
図2Bは、互いに逆の螺旋溝80a、bが頂面34に形成されたリング形状のコンポーネント100の別の実施形態を示している。このリング形状のコンポーネント100は、例えば、保持クランプ、堆積リング128、及び保持クランプ20の少なくとも1つのようなプロセスキット139のコンポーネントを含むことができる。互いに逆の螺旋溝80a、bの各々は、コンポーネント100の表面22の周りを回転して、コンポーネント100の中心85に向かって位置する螺旋出発点82a、bから、コンポーネントの周囲87に向かって位置する螺旋停止点84a、bまで溝半径rを増加させる。ここに示す態様では、螺旋溝80a、bは、コンポーネント100の中心軸94に対して同心上であり、又、互いに逆の螺旋溝80a、bは、通常、表面22上の多数の点において互いに十字交差及び交差して、連続表面セグメントを分割する。各螺旋溝80a、bの螺旋アーム99a、b間の適当な間隔は、約0.25cm(0.1インチ)から約1.3cm(0.5インチ)でよく、例えば、約0.6cm(0.25インチ)でよい。従って、リング形状コンポーネントにおける互いに逆の螺旋溝80a、bは、該溝80a、bの実質的に水平で且つ外方に螺旋状に進むパターンを形成し、コンポーネントの表面22へのプロセス残留物の付着を改善する。
更に別の態様では、表面22は、表面22の連続区分を更に分割するために、例えば、図2Cに示すように、1つ以上のリング形状溝92を更に含むことができる。このリング形状溝92は、通常、シールド120の中心軸94のようなコンポーネント100の中心軸と同心上で、それを包囲する。リング形状溝92は、互いに同心上であると共に、表面22を横切って軸方向又は半径方向に離間されてもよい。又、リング形状溝92は、連続する直線的又は半径方向の表面区分を分割するために、表面22に沿った複数の点で、互いに逆の螺旋溝80a、bを横断しそれに交差するのが望ましい。1つの態様では、リング形状溝92は、円筒形状コンポーネント100の表面22に沿って、例えば、シールド120の軸方向長さlに沿って、垂直方向に離間させることができる。別の態様では、リング形状溝92は、リング形状コンポーネント100の表面22に沿って、例えば、プロセスキット139のリング形状コンポーネント100の半径rに沿って、半径方向に離間させることができる。リング形状溝92間の間隔は、最適な残留物付着を与えるように選択される。例えば、シールド120上の隣接するリング形状溝92間の適当な間隔は、約0.25cm(0.1インチ)から約1.3cm(0.5インチ)でよく、例えば、約0.6cm(0.25インチ)でよい。
コンポーネント100における互いに逆の螺旋溝80a、bは、表面22におけるその深さがコンポーネント100へのプロセス残留物の付着を改善するに充分なものであるのが望ましい。例えば、表面22における互いに逆の螺旋溝80a、bの適当な深さは、少なくとも約0.25ミリメートルで、約1.5mm以下であり、例えば、約0.25mmから約1.5mmでよい。溝80a、bの深さは、通常、コンポーネント100の材料組成に基づき、ギザギザ付けにより形成できる深さより大きくてもよい。1つの態様では、第1の螺旋溝80aの深さは、第2の螺旋溝80bの深さと異なる。溝80a、bの深さは、表面22の少なくとも1つの領域では少なくとも約0.25mmであるのが望ましいが、溝80a、bは、表面22の別の領域では0.25mmより浅くてもよい。或いは又、溝80a、bは、溝80a、bの全長に沿って少なくとも約0.25mmの深さを実質的に全体的に含んでもよい。又、第1及び第2の螺旋溝80a、bは、隣接する螺旋アーム99a、b間に互いに異なる間隔を含んでもよい。
1つの態様において、表面22は、例えば、図2Cに示すように、第1及び第2のテクスチャ加工された特徴部98a、b、例えば、互いに逆の螺旋溝80a、bを備え、これらは、表面22の第1のテクスチャ加工パターン領域96aに第1のテクスチャ加工パターン95aを形成すると共に、表面22の第2のテクスチャ加工パターン領域96bに第2のテクスチャ加工パターン95bを形成する。例えば、第1のテクスチャ加工パターン95aは、各螺旋溝80a、bの螺旋アーム99a、b間の第1深さ及び第1間隔の1つ以上を含んでもよく、これは、第2のテクスチャ加工パターン95bにおける第2深さ及び第2間隔以外のものである。又、第1のテクスチャ加工パターン95aにおける螺旋アーム99a、bの密度は、第2のテクスチャ加工パターン95b以外のものでよい。1つの態様において、表面22は、その互いに逆の螺旋溝80a、bの深さが、表面22の第1領域96aにおける第1深さから、表面22の第2領域96bにおける第2深さまで変化する。表面22にわたって螺旋溝80a、bの深さを変化させることで、異なるチャンバー場所における残留物の付着に対して溝を最適なものにすることができる。例えば、大量のプロセス堆積物を経験する領域、例えば、プロセスチャンバー106のプロセスゾーンに接近した領域では、螺旋溝80a、bは、多量の残留物を受け容れるために大きな深さを含むことができる。別の例として、大きな残留物堆積量を経験しない領域は、僅かな堆積量を受け入れるために、あまり深くない、浅い溝80a、bを含むことができる。又、深さは、チャンバー106の異なる領域に生じる残留堆積物の典型的な組成及び構造に基づいて最適化することもできる。又、使用するプロセス及びコンポーネントの形式に基づいて、間隔及び深さを最適化することもできる。
互いに逆の各螺旋溝80a、bにおける螺旋アーム99a、b間の間隔sと、表面22のエリア当りの螺旋アーム99a、bの数も、コンポーネント100の異なるテクスチャ加工パターン領域96a、bにおいて残留物の最適な付着を与えるように、コンポーネント100の表面22にわたって変化させることができる。例えば、かなりの残留物堆積を経験するテクスチャ加工パターン領域96a、bにおいては、螺旋アーム99a、b間の間隔sをより狭くし且つ螺旋アーム99a、bの密度をより高くすることで、高い密度の螺旋溝アーム99a、bに伴う大量のプロセス残留物を良好に受け容れることができる。通常、低い残留物堆積量しか経験しないテクスチャ加工パターン領域96a、bでは、螺旋アーム99a、b間の間隔sをより広くし且つ螺旋アーム99a、bの密度をより低くしてもよい。又、表面22に形成されたリング形状溝92は、表面にわたるその間隔及び深さを、希望の残留物付着特性に基づいて変化させてもよい。
シールド120の区分に第1及び第2のテクスチャ加工パターン95a、bを有する表面22の態様が図2Cに例示されている。この実施形態では、各螺旋溝80a、bにおける隣接螺旋アーム99a、b間の間隔が、表面22の第1のテクスチャ加工パターン領域96aにおいて互いにより接近し、該領域は、シールド120の中間部97に向かって位置していて、プロセスチャンバー106内のプロセスゾーンに接近している。シールド120の頂部101に向かって位置した表面22の第2のテクスチャ加工パターン領域96bは、螺旋アーム99a、bの密度が低いと共に、これらアーム99a、b間の間隔が大きい。というのは、このより遠隔の領域は、経験するプロセス残留物の量が少ないからである。シールド120の底部103に向かって位置している第3のテクスチャ加工パターン領域96cも、同様に、隣接する螺旋アーム99a、b間の間隔を広くすることができる。又、互いに逆の各螺旋溝80a、bの螺旋アーム99a、bの深さも、シールド120の中間部97に向かう大きな深さから、シールド120の頂部101及び底部103に向かう浅い深さまで変化させることができる。別の態様では、リング形状のコンポーネント100、例えば、堆積リング12は、最大の堆積レベルを経験するリング表面22のほぼ中間部に大きな深さを有する螺旋アーム99a、bと、残留物の堆積がより軽いリング形状コンポーネント100の中心85及び周囲87に向かって小さな深さを有する浅い螺旋アーム99a、bとを備えている。1つの態様では、リング形状コンポーネント100における螺旋アームパターンは、一般に、非常に大きな間隔を間にもつ比較的深く且つ広いアーム99a、bを有する表面22の中間部の周りの「粗野な」パターンから、より接近離間された比較的浅く且つ薄いアーム99a、bを有するリング形状コンポーネント100の中心85及び周囲87に向かう「微細な」パターンまで変化させることができる。
1つの態様では、第1のテクスチャ加工パターン領域96aにおける螺旋アーム99a、bの深さは、第2のテクスチャ加工パターン領域96bにおける深さの少なくとも約2倍であり、第2のテクスチャ加工パターン領域96bにおける隣接螺旋アーム99a、b間の第2間隔は、第1のテクスチャ加工パターン領域96aにおける間隔の少なくとも約1.7倍である。例えば、互いに逆の各螺旋溝80a、bの螺旋アーム99a、bの深さは、第1のテクスチャ加工パターン領域96aにおける第1の大きな深さ、少なくとも約0.8mm(0.02インチ)、例えば、約0.8mm(0.03インチ)乃至約1.3mm(0.05インチ)から、第2のテクスチャ加工パターン領域96bにおける第2の小さな深さ、約0.6mm(0.025インチ)未満、例えば、約0.4mm(0.015インチ)乃至約0.6mm(0.025インチ)まで変化させることができる。互いに逆の各螺旋溝80a、bにおける隣接螺旋アーム99a、b間の間隔sは、第1のテクスチャ加工パターン領域96aにおける第1の小さな間隔、約1.5mm未満、例えば、約1mm(0.04インチ)乃至約1.5mm(0.06インチ)から、第2のテクスチャ加工パターン領域96bにおける第2の大きな間隔、少なくとも約1.8mm(0.07インチ)、例えば、約1.8mm(0.07インチ)乃至約2.8mm(0.11インチ)まで変化させることができる。1つの態様では、深さ及び間隔の1つ以上は、実質的に急激な値の変化を伴わずに実質的に連続的な形態で第1の値から第2の値へ変化する。
互いに逆の螺旋溝80a、bを含む表面22は、適当な方法、例えば、互いに逆の螺旋溝80a、bを表面22に彫刻及び/又はミリングすることのできる加工方法により形成することができる。例えば、互いに逆の螺旋溝80a、bは、コンピュータ数値制御(CNC)加工方法によりコンポーネント構造体11の表面22にカットすることができる。CNC方法では、希望の溝形状及び深さがコンピュータコントローラにプログラムされ、該コントローラが、表面22に溝80a、bをカットする切削装置、例えば、回転ブレードを制御する。コンピュータコントローラは、コンポーネント表面22の所定の量及び形状をカットして希望の溝80a、bを形成するように切削装置に命令するプログラムコードを備えている。希望の溝形状を形成するための、当業者が知り得る他の方法を使用することもできる。又、当業者に知られた他のミリング及びカッティング方法を使用して希望の溝を形成できると共に、当業者に知られた他の金属整形方法、例えば、レーザカッティング及び屈曲方法を使用することもできる。
1つの態様では、CNC加工方法は、例えば、図3に示すように、回転切削ブレード73で構成された切削ブレード73を、希望の溝80a、bを形成するパターンで表面22にわたり横断させる。回転切削ブレード73は、直径が約1.3cm(0.5インチ)から約10cm(4インチ)の比較的小直径dの二重アングルブレードで構成されるのが望ましく、又、希望サイズの溝80a、bを形成するように、約45°から約90°の角度、更に、約65°未満、例えば、約60°の比較的先鋭な包含角αを含むのが望ましい。表面22に対する回転切削ブレードのrpm及び圧力は、希望の溝形状を与えるように選択できる。切削ブレード73は、丸み付けされた溝80a、bを表面22に形成すると共に、表面22の極微クラック及び破砕の発生を減少するために、半径の付いた、丸み付けされた尖端75を備えるのが望ましい。セラミックを含む表面22の場合には、切削ブレード73は、適当な研磨材を伴うグラインダーホイール、例えば、ダイアモンド被覆されたグラインダーツールで構成されてもよい。
別の態様では、CNC加工方法は、非回転切削エッジを含む切削ブレード73を、表面22にわたって横断させて、希望の溝形状及びサイズを形成する。非回転切削エッジは、希望の形状及びサイズの溝80a、bが形成されるまで、表面22に対して予め選択された圧力で、希望の回数、表面22を横断することができる。切削ブレード73は、コンポーネントの表面22を研磨し切削するために、硬度の高い材料で構成される。例えば、金属表面22を有するコンポーネントの場合には、切削ブレード73は、炭化タングステンで作られた尖端75を含むことができる。セラミック表面22を有するコンポーネントの場合には、切削ブレード73は、ダイアモンド及び炭化ボロンの少なくとも1つで構成できる。或いは又、溝80a、bを軟セラミックプリフォームに形成して、その後に、プリフォームをシンタリングし、溝形成中にセラミックにクラックが入ったり又は割れたりするおそれを少なくすることもできる。CNC方法は、希望の形状及びパラメータをCNCコンピュータプログラムに入力するのを許容して、CNCコンピュータが正しい加工パラメータを効率的に且つ自動的に評価して、溝80a、bを形成する適切な切削ステップを実行できるようにすることにより、最終的な溝形状の良好な制御を許容する。
1つの態様では、表面22は、互いに逆の螺旋溝80a、bを形成した後に、これら溝のエッジを丸み付けして、縁、角及び他の鋭い遷移部を含み得る先鋭なエッジ76を表面22から除去するように更に処理される。先鋭なエッジ76の除去は、蓄積したプロセス残留物がコンポーネントの表面22から剥がれ又は剥がれ落ちるのを減少するために望まれる。溝80a、bの先鋭なエッジ76は、ストレス集中器として働いて、その上に横たわる残留堆積物に割れやクラックを生じさせ、最終的に、残留物が剥がれて、基板上に堆積し、基板を汚染する結果となる。1つの態様では、例えば、図4に示すように、コンポーネント表面22は、先鋭なエッジ76が実質的に存在しないようにされる。表面22は、例えば、表面22の化学的エッチング、電気化学的グレイニング(graining)、又はグリットブラスティング(grit blasting)により、先鋭なエッジ76を除去するように処理できる。例えば、化学的エッチング方法では、溝80a、bを含む表面22を、例えば、HF又はHNO3の少なくとも一方のような化学的エッチング剤の溶液に浸漬して、先鋭なエッジ76及びエッジを侵食することができる。電気化学的なグレイニング方法では、表面22を、HCl溶液のような電気化学的グレイニングバス溶液に浸漬し、次いで、この溶液に電流を通して、表面22の先鋭なエッジ及びエッジを電気化学的に侵食除去する。グリットブラスティング方法では、圧縮空気を使用してグリット粒子を表面22に向けて推進させ、先鋭なエッジ76を除去する。適当なグリットブラスティング及び電気化学的グレイニングプロセス及びパラメータは、例えば、2004年6月7日に出願され、アプライド・マテリアルズに共通に譲渡された、参考としてその全体をここに援用する「Textured Chamber Surface」と題するブルックナー氏等の米国特許第10/863,151号に説明されている。1つの態様では、溝80a、b間の連続区分83の面積を充分小さく保持し、溝間のこれら区分83を実質的に丸み付けして、溝80a、b間に円弧状の表面セグメントを形成する。例えば、各連続区分83の面積は、約0.6mm2(1000分の100平方インチ)未満でよい。これら方法の種々の組合せも可能であることが当業者に明らかであろう。
又、表面22は、1つ以上の粗面領域86を設けるように処理することもできる。例えば、表面22は、互いに逆の螺旋溝80a、b間の表面22の連続区分83を粗面化して、これら区分へのプロセス残留物の付着性を向上させるように処理できる。粗面領域86の適当な平均粗面性は、少なくとも約3.2マイクロメートル(125マイクロインチ)、例えば、約1.6マイクロメートル(63マイクロインチ)から約12.5マイクロメートル(500マイクロインチ)でよい。表面22は、例えば、表面の電気化学的グレイニング及びグリットブラスティングの少なくとも一方で粗面化することができる。1つの実施形態では、表面の粗面化ステップは、先鋭なエッジ76の除去及び丸み付けとは個別に実行される。別の形態では、表面22の領域86は、先鋭なエッジ76を丸み付けするために実行されるステップの間に、希望の粗面性へと粗面化される。
互いに逆の螺旋溝80a、bを含む表面22を有するコンポーネント100は、他のテクスチャ加工されたコンポーネントパーツに勝る多数の効果を発揮する。例えば、螺旋溝80a、bを含む表面22は、グリットブラスティング又は電子ビームスキャニングのみにより粗面化される表面よりも高い粗面性を有する。周期的な溝パターンを含むことのできる螺旋溝80a、bの繰り返しパターンは、良好な付着性を与えるために、堆積残留物膜における局部的ストレスを最小にする。又、表面上の丸み付けされたエッジ76及び他のエッジは、膜の剥がれ落ちを防止するために、堆積残留物膜の局部的な極微クラック発生を減少する上で助けとなる。又、螺旋溝80a、bを有するコンポーネント表面22は、電子ビームを走査することにより形成された表面のような他の表面より、洗浄を容易に行うことができる。というのは、開放した螺旋溝80a、bは、残留物をそこから容易に除去できるからである。これは、例えば、2004年6月17日に出願され、アプライド・マテリアルズに共通に譲渡された、参考としてその全体をここに援用する「Electrochemical Removal of Tantalum-Containing Materials」と題するワン氏等の米国特許出願第10/870,716号に説明された洗浄方法のような電気化学的洗浄方法について特に言えることである。又、この方法の融通性は、表面の種々の領域に異なる深さ及び異なる密度を有するように螺旋溝を最適化すると共に、異なるコンポーネントに対しても最適化するのを許容する。更に、溝80a、bを形成する機械的切削方法は、金属表面22を有するコンポーネント100、及びセラミック表面22を有するコンポーネントに適用できねばならない。従って、この方法及び互いに逆の螺旋溝を有するコンポーネントは、基板104を処理するためのコンポーネントパーツの最適化において多数の効果を発揮する。
別の態様では、コンポーネント100は、例えば、図5A及び5Bに示すように、プロセス残留物による基板104の汚染を減少するようにテクスチャ加工された表面22を有する基板保持クランプ20で構成される。基板保持クランプ20は、基板支持体114の基板受け入れ面180に基板104を固定できると共に、基板104へのプロセス残留物の堆積を減少することもできる。図示された態様では、基板保持クランプ20は、リング24を備え、このリングは、基板104の周りの環状外側部分26と、基板104の周囲上に少なくとも部分的に延びるオーバーハング張出部30とを有する。基板104の頂面105は、リング24の実質的に円形の開口37を通して露出される。リング24の環状外側部分26は、支持体114に配置された基板104の周囲28を少なくとも部分的に取り巻いて、支持体114に基板104を少なくとも部分的に固定するのに充分な大きさの直径31を有する内壁33を備えている。オーバーハング張出部30は、環状外側部分26から内方に延びて、基板104の周辺39を少なくとも部分的にカバーすると共に、基板104の周辺39上に約1ミリメートル乃至約1.5ミリメートル延びて、基板104の周辺39に着座することもできる。保持クランプ20の頂面34は、チャンバー106のプロセスゾーン109を向き、保持クランプ20のオーバーハング張出部30及び環状部分26の両方を横切って延びる。頂面34は、基板104の頂面105と実質的に平行でよい。オーバーハング張出部30は、基板104にプロセス残留物が堆積することから基板104の周囲部分を保護できると共に、処理中に基板支持体114の基板受け入れ面180に基板104を固定するように基板104を保持即ち「クランプ」することもできる。
保持クランプ20は、更に、該保持クランプ20をプロセスチャンバー106の一部分に接続するための構造エレメントも含むことができる。例えば、図5Bに示すように、保持クランプ20は、1つ以上の下方に延びる壁33a、bを含むことができる。第1の下方に延びる壁33aは、基板104の側部を保護するために、基板104の外周28を取り巻き且つそれに隣接する内径31の第1環状壁で構成できる。オーバーハング張出部30は、この第1の下方に延びる壁33aから半径方向内方に延びてもよい。第2の下方に延びる壁33bは、第1の下方に延びる壁33aに対して同心上で外部にある第2の環状壁で構成することができ、これら第1及び第2の壁33a、b間には接続スペース49が残される。この接続スペース49は、例えば、図1に示すように、支持体114の一部分を受け入れて、保持クランプ20を支持体114に接続することができる。又、第2の下方に延びる壁33bは、基板支持体114の内部を少なくとも部分的にカバーしてその腐食を防止するに充分な距離だけ下方に延びることもできる。
保持クランプの少なくとも一部分にギザギザ付き露出面22を含むテクスチャ加工された表面22を形成することにより、改善された処理結果が生じることが分かった。ギザギザ付き露出面22は、1つ以上の硬化エッジ56を保持クランプ20の表面に押し付け、例えば、硬化エッジをその表面上に転がして、表面上に特徴部35のパターンを刻印又はエンボスすることにより形成できる。特徴部35のパターンは、ギザギザ付き露出面22上のくぼみと突起で構成できる。図5A及び図5Bに示す例では、特徴部35は、ギザギザ付き露出面22における複数の突起及びくぼみを含み、これらは、持ち上がった峰42及びくぼんだ皺44即ちチャンネルを構成する。持ち上がった峰42及びくぼんだ皺44は、ギザギザ付き露出面22の平均高さを表わす中心線46に周りの振幅を構成し、ギザギザ付き露出面22への残留物の付着を改善する。峰42及び皺44の振幅は、中心線即ち平均表面高さからの峰高さ又は溝深さの最大のずれを構成する。1つの態様では、1つ以上の峰42は、中心線46より上の振幅を構成し、これは、少なくとも約0.5ミリメートルで且つ約2.5ミリメートル未満であり、例えば、約1ミリメートルから約1.5ミリメートルである。皺44は、ギザギザ付き露出面22にくぼみを設けるために、中心線46より下に延びるチャンネル又はトレンチをギザギザ付き露出面22に構成する。例えば、1つ以上の溝は、中心線46より下の振幅が少なくとも約0.5ミリメートルで且つ約2.5ミリメートル未満であり、例えば、約1ミリメートルから約1.5ミリメートルである。
又、特徴部35のパターンにより設けられるギザギザ状の峰42及び皺44の数も、残留物の最適な付着を与えるように選択される。例えば、保持クランプ20は、約100から約150の峰42と、約100から約150の皺44とを含むことができる。峰42及び皺44を有するギザギザ付き露出面22は、プロセス残留物を収集できる特徴部35を設けて基板の汚染を減少すると共に基板104が支持体114に「くっつく」のを減少することにより、基板処理性能の改善を与える。
ギザギザ付き露出面22は、プロセス残留物の付着を改善する保持クランプ20の部分、例えば、チャンバー106内でエネルギが与えられたガスへ露出される表面に設けることができる。1つの態様では、ギザギザ付き露出面22は、オーバーハング張出部30の露出面の少なくとも一部分を含む。オーバーハング張出部30にギザギザ付き露出面22を設けることで、基板受け入れエリアに収集できる残留物の量を減少して、基板104の汚染及びくっつきを減少することができる。例えば、ギザギザ付き露出面22は、基板104に向かう残留物の流れを減少するために、オーバーハング張出部30の頂面34aの少なくとも一部分及び実質的にその全部を含むことができる。それに加えて又はそれとは別に、ギザギザ付き露出面は、外側環状部分26の頂面34bの少なくとも一部分を含んでもよい。1つの態様では、ギザギザ付き露出面22は、例えば、図5A及び図5Bに示すように、保持クランプ20の実質的に全頂面34にわたって延びる。
又、ギザギザ付き露出面22は、保持クランプ20の別の表面の少なくとも一部分、例えば、クランプ20の外部側面36の少なくとも一部分を含むこともできる。この外部側面36は、第2の外部側壁33bを下るように延び、保持クランプ20の頂面34に実質的に垂直でもよい。1つの態様では、保持クランプ20は、例えば、図5Bに示すように、頂面34を横切り且つ外部側面36の少なくとも一部分を下るように延びる実質的に連続的なギザギザ付き露出面22を含む。又、クランプ20の他の部分は、例えば、オーバーハング張出部30の内部側面38のようなギザギザ付き露出面22を含むこともできる。
1つの態様では、ギザギザ付き露出面22は、互いに同心上に配列された峰42及び皺44を含む。例えば、ギザギザ付き露出面22は、保持クランプ20の中央開口37を包囲する峰42及び皺44の半径方向パターンを頂面34の少なくとも一部分に含んでもよいし、例えば、図5Aに示すように、中央開口37と実質的に同軸的であってもよい。中央開口37を包囲する峰42及び皺44は、保持クランプ20の半径が増加するにつれて周囲長が増加し、中央開口37に接近した内部の峰42a及び皺44aは、保持クランプ20の周辺に向かう外部の峰42b及び皺44b内で同心上にネスト構成にされる。峰42及び皺44は、実質的に円形で、表面22上の中央開口37の周りにリングを形成できるのが好ましい。又、峰42及び皺44は、他の同心上の形状、例えば、同心上の楕円、又は他の長円形の形状を含んでもよい。又、峰42及び皺44は、例えば、図5Aに示すように、プロセス残留物を付着できる複数の特徴部35を設けるように、ギザギザ付き露出面22に沿って半径方向に交互配置することもできる。
同心上の峰42及び皺44を有するギザギザ付き露出面22を含む保持クランプ20は、基板104に向かうプロセス堆積物の流れを減少するのにギザギザ付き露出面22が特に適しているので、他の表面に勝る効果を発揮する。例えば、チャンバー106の周りで堆積物を再循環及びリフローできる高温プロセスでは、峰42及び皺44の同心上のパターンは、基板104に向かう堆積物の流れを減少する。同心上の皺44は、基板104に向かって再循環されるプロセス残留物を捕らえるためのトラップ又は濠として働き、一方、同心上の峰42は、基板104に向かって流れる残留物の進行を阻止するためのバリアとして働く。峰42及び皺44の円形対称性は、基板104に向かう残留物の半径方向流路を阻止することにより残留物の進行について最適な防止を与える。
峰42及び皺44は、峰42と皺44との間に望ましい距離を与えるようにギザギザ付き露出面22に沿って半径方向に離間することができる。1つの態様では、峰42及び皺44は、特徴部35の規則的に離間されたパターンを設けるように互いに周期的に離間される。例えば、峰42は、各峰42の最も高いポイントに対応するピーク41を含むことができ、又、峰及び皺44は、図5A及び5Bに示すように、皺44が隣接する峰42を分離する状態で、少なくとも約0.5ミリメートル且つ約2.5ミリメートル未満、例えば、少なくとも約1ミリメートル且つ約1.5ミリメートル未満のピーク・ピーク距離を隣接する峰42間に与えるように周期的に離間することができる。或いは又、隣接する峰42間の距離又は周期を、保持クランプ20の半径の増加と共に変化させることができる。
ギザギザ付き表面22を含む保持クランプ20を製造する方法では、望ましい形状を含む保持クランプ20が形成される。保持クランプ20の望ましい形状は、例えば、コンピュータ数値制御方法(CNC)のような整形方法により形成することができる。この方法では、コンピュータコントローラからの制御信号に応答して金属プリフォームを切削することのできるコンピュータ制御型切削装置を使用することにより望ましい形状が作られる。コンピュータコントローラは、基板104を取り巻くに充分な大きさの直径31をもつ環状部分26と、基板104に着座するように適応されるオーバーハング張出部30とを含むリングを有する保持クランプ20のような希望のクランプ形状を残すようにプリフォームの一部分を切削するべく切削装置に命令するプログラムコードを備えている。又、希望の形状を含む保持クランプ20を製造する他の方法、例えば、当業者に知られた鋳造、ドロップ鍛造、型抜き及び他の方法を使用することもできる。保持クランプ20を製造するのに適した金属は、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、チタン及び銅の少なくとも1つを含むことができる。1つの態様では、保持クランプは、ステンレス鋼で構成される。
希望のバルク形状を有する保持クランプ20が形成されると、クランプ20の少なくとも一部分、例えば、オーバーハング張出部30にギザギザ付き露出面22を形成するために、ギザギザ付けプロセスが実行される。例えば、図6A及び図6Bに示すように、クランプ20にギザギザ付き特徴部35を形成するために、硬化エッジ56を含むギザギザ付けツール50が設けられる。ギザギザ付けツール50の硬化エッジ56は、硬質材料で形成され、保持クランプ20の表面をくぼませることのできる形状を含む。1つの態様では、ギザギザ付けツール50は、保持クランプ20の表面を横切って走ることのできるホイール54に硬化エッジ56を有するギザギザ付けヘッド52を備えている。硬化エッジ56は、表面22を横切って引っ張られたときに表面22を押してくぼませる複数の歯58を備えている。歯58が表面22に押し付けられる領域は、皺44に対応するくぼみを形成する。表面22における峰42は、例えば、図6Bに示すように、歯58間のギャップ60に対応する。従って、歯58は、希望の振幅を有する溝42及び峰44を形成するのに充分な大きさのギザギザ付けホイール54の表面55の平均高さを表わす中心線53からの振幅を含むと共に、峰42間の希望のピーク・ピーク距離を与えるのに適した歯間距離も含むのが望ましい。歯の適当な振幅は、約0.5ミリメートルから約2.5ミリメートル、例えば、約1ミリメートルから約1.5ミリメートルでよく、又、適当なピーク・ピーク距離は、約0.5ミリメートルから約2.5ミリメートル、例えば、約1ミリメートルから約1.5ミリメートルでよい。ギザギザ付けプロセスの一実施形態では、保持クランプ20が、例えば、旋盤(図示せず)のような保持装置に固定される一方、ギザギザ付けヘッド52がクランプ表面を横切って移動される。或いは又、保持クランプ20の表面をギザギザ付けヘッド上で移動する一方、ギザギザ付けツール50を静止状態に保持して、ギザギザ付き露出面22を形成してもよい。
ギザギザ付けヘッド52における歯58の構成は、特徴部35の希望のパターンを設けるように選択される。例えば、図6Aに示す態様では、ギザギザ付けヘッド52は、ホイール54の移動方向に垂直な歯58を含む。又、ギザギザ付けヘッド52は、ホイールの移動に平行な歯58を含むこともできる。ホイール54は、同心上の峰42及び皺44の希望のパターンを形成するように歯58で刻印させる方向にクランプ20の表面22を横切って引っ張られる。例えば、適当な構成の歯58を有するギザギザ付けヘッド52を、表面22上の実質的な円経路において表面22を横切って引っ張って、同心上の峰42及び皺44を設けることができる。又、特徴部35の第2のパターンを、特徴部35の第1のパターンの上に刻印して、希望の表面構成を作成することもできる。例えば、溝及び峰の第1のパターンからオフセットされた峰及び皺を含む第2のパターンを形成することで、「ダイアモンド」パターンのギザギザ付き表面22を設けることができる。しかしながら、本質的に同心上の峰及び皺より成る単一パターンを有するギザギザ付き表面22は、基板104に向かうプロセス堆積物の流れの最適な阻止を与えるのに望ましいものである。
ギザギザ付き表面22を有する保持クランプ20は、基板104にアルミニウムの層を形成するのに使用されるアルミニウムリフロープロセスのような高温プロセスに特に有益である。アルミニウムリフロープロセスの一例が、アプライド・マテリアルズに共通に譲渡された、参考としてその全体をここに援用する2003年12月9日付のユー氏等の米国特許第6,660,135号に説明されている。基板上にアルミニウムの均一層を形成するために、エネルギが与えられたスパッタリングガスをチャンバーに供給してターゲットから基板104にアルミニウム材料をスパッタリングする物理的気相堆積方法により、1つ以上の初期アルミニウム層を基板104上に堆積することができる。次いで、1つ以上のアルミニウム層を有する基板104にリフロープロセスを受けさせて、より均一なアルミニウム層を形成する。このリフロープロセスでは、アルミニウム層を有する基板104を充分高い温度に加熱し、アルミニウムが基板104の表面105の周りを移動して再分布するようにする。このリフロープロセスは、通常、基板104の表面105におけるチャンネル又は割れ目を埋めることができるので、より均一なアルミニウム層を形成する。典型的なリフロープロセスは、基板104を、少なくとも約250℃、例えば、約250℃から約500℃の温度に加熱することを含んでもよい。ギザギザ付き表面22を有する改良された保持クランプ20は、基板104に向かうプロセス残留物の流れを防止すると共に、遊離した残留物も収集し、基板104上への又は基板受け入れエリアの周りでの残留物の堆積を防止する。
ギザギザ付き表面22を有する改良された保持クランプ20は、ギザギザ付き表面22をもたない保持クランプ20に勝る改善された結果をもたらす。例えば、改良された保持クランプ20は、保持クランプ20の洗浄又は交換が必要となるまでに、少なくとも約30%も多いRFワット時のチャンバー処理を許容することができる。従って、ギザギザ付き表面22を有する改良された保持クランプ20は、保持クランプ20が故障するまでに、ギザギザ付き表面22をもたないクランプ20より実質的に多くの基板104のリフロー処理を許容し、従って、ギザギザ付き表面22をもたないクランプ20に勝る実質的に改善されたプロセス性能を発揮する。
多数の基板104を処理した後に、保持クランプ20の表面22を洗浄して、アルミニウム含有残留物のようなプロセス残留物を除去することができる。1つの態様では、アルミニウム含有残留物は、残留物を溶解できる洗浄溶液にクランプ20の表面22を露出するか、さもなければ、表面22から残留物を除去することにより、除去できる。例えば、表面22を洗浄溶液に浸漬することもできるし、或いは洗浄溶液を表面22にこすり付けるか又はスプレー掛けすることができる。洗浄溶液は、酸性溶液、例えば、H3PO4、HNO3及びHFの少なくとも1つで構成することができる。又、他の溶液、例えば、KOHを含む塩基性溶液や、任意であるが、H2O2を含む溶液を、単独で与えることもできるし、或いは酸性溶液に続いて与えることもできる。
洗浄プロセスの1つの態様では、ステンレス鋼で構成された保持クランプ20は、約6リッターの脱イオン水に約1kgのKOHを含む初期塩基性洗浄溶液にクランプ20の表面22を浸漬することによりアルミニウム含有残留物を除去するように洗浄される。別の態様では、20体積部(part by volume)のH3PO4、5体積部のHNO3、及び1体積部の脱イオン水で構成された初期酸性洗浄溶液に表面22を浸漬する一方、この溶液を約60℃から約70℃の温度に加熱する。更に別の態様では、1重量部(part by weight)のKOH、10重量部のH2O2、及び20重量部の脱イオン水で構成される初期洗浄溶液に表面22を浸漬する。これらいずれかの初期洗浄溶液に続いて、1つ以上の後続洗浄溶液、例えば、20体積%(% by volume)のHNO3、3体積%のHF及び残りが脱イオン水で構成された酸性洗浄溶液、それに続いて、50体積%のHNO3及び50体積%の脱イオン水で構成された酸性溶液に表面22を浸漬することができる。洗浄プロセスは、保持クランプ20を実質的に腐食せずにアルミニウム含有残留物を除去することができる。洗浄方法の一例が、2002年11月25日に出願されたワン氏等の「Method of Cleaning a Coated Process Chamber Component」と題する米国特許出願第10/304,535号に説明されており、これは、2004年5月27日に米国特許出願公告第2004/0099285号として公告され、アプライド・マテリアルズ社に共通に譲渡され、参考としてその全体をここに援用するものである。
更に別の態様において、保持クランプ20のような1つ以上のチャンバーコンポーネント100は、コンポーネント100の表面22へのプロセス残留物の付着を改善する複数の表面織りをもつ表面22を有するコンポーネント構造体11を含むことができる。例えば、表面22は、第1及び第2の表面テクスチャ加工パターン62a、bを備え、これらは、表面22にプロセス残留物を保持して処理済基板の汚染を防止するように協働することができる。第1及び第2の表面テクスチャ加工パターン62a、bを有するコンポーネント100の一実施例が図7に例示されている。この態様では、第1の表面テクスチャ加工パターン62aは、コンポーネント100の表面22にわたって半径方向に離間された複数の同心上の溝64を含む。第2の表面テクスチャ加工パターン62bは、電子ビーム織りプロセスにより形成されたくぼみ又はホールのような複数のテクスチャ加工されたくぼみ66を含み、これらは、表面22において隣接溝64間に形成される。
図示された態様では、テクスチャ加工された表面22は、表面22上の電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみ66にプロセス残留物を蓄積するのを許容し、処理済基板104の汚染を減少する。テクスチャ加工された表面22は、この表面22に同心溝64を形成することで更に向上され、これら溝64は、複数のくぼみ66が隣接する同心上の溝64間に位置されるように、表面22にわたって半径方向に離間されるのが望ましい。同心上の溝64は、プロセス堆積物を収集するためのエリアを与え、残留物が収集のために溝64へ「流れ落ちる(run-down)」のを許容する。又、同心上の溝64は、コンポート表面22の表面積を増加して、より多くの且つより広いテクスチャ加工された特徴部35を表面22上に形成するのを許容し、これは、表面22におけるホール又はくぼみ66の上を堆積物膜が「橋絡」するのを減少する。又、テクスチャ加工された表面22の大きな表面積は、残留物を付着できる面積も増大する。従って、同心上の溝64及び電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみ66を含む表面22は、基板104の処理中の性能改善を与えると共に、コンポーネント100の洗浄が要求されるまでにコンポーネント表面22に蓄積する残留物の量の増加を許容する。
1つの態様では、テクスチャ加工された表面22は、プロセス残留物の収集及び保持を向上させるために比較的深い同心上の溝64を備えている。例えば、溝64は、ギザギザ付けプロセスにより通常形成されるものより深くてよく、その深さdは、溝64の最下点から溝64間の表面領域70の最高点まで測定して、少なくとも約3ミリメートル、例えば、約3mmから約8mm、更に、少なくとも約4ミリメートル、例えば、約4mmから約6mmでよく、1つの態様では、約5mmでよい。同心上の溝64は、円形状又は楕円形状のようなリング形状を含むのが望ましい。溝64は、プロセスチャンバー106の中心軸でもよいコンポーネント100の中心軸の周りで同心的である。
溝64の間隔は、それらの間に最適な数及び間隔のくぼみ66を与えるように選択される。例えば、溝64は、隣接溝64間の半径方向間隔rが、隣接くぼみ66間の巾wの少なくとも2倍、更に、隣接くぼみ66間の巾wの少なくとも約3倍となるように選択されてもよい。例えば、隣接溝64間の半径方向間隔rは、少なくとも約5ミリメートル、例えば、約5ミリメートルから約7ミリメートル、更に、約6ミリメートルでよく、一方、隣接くぼみ66間の巾wは、約3ミリメートル未満、例えば、約1ミリメートルから約3ミリメートル、更に、約2ミリメートルでよい。又、同心上の溝64は、図7に示すように、溝64間の表面領域70が、実質的に凹面プロフィールを含むように、表面22に形成されてもよい。表面領域70の凹面プロフィールは、溝64へと徐々にテーパー付けされて、溝64へ向かうプロセス残留物に対してダウンヒル「流れ」経路を与える。
同心上の溝64を形成する適当な方法は、例えば、カッティング及び/又はミリングツールを使用する加工方法を含む。例えば、同心上の溝64は、コンピュータ数値制御(CNC)加工方法によりコンポーネント構造体11の表面22にカットすることができる。CNC方法では、希望の溝形状及び深さがコンピュータコントローラにプログラムされ、このコントローラは、表面22に溝64をカットする切削装置、例えば、回転ブレードを制御する。このコンピュータコントローラは、コンポーネント表面22を所定量だけカットして希望の溝64を形成するように切削装置に命令するプログラムコードを備えている。当業者が知り得る、希望の溝形状を形成する他の方法も、使用できる。又、同心上の溝64を形成するのに使用される加工方法は、溝64間の凹面領域70も形成するのが望ましい。例えば、切削ツールは、徐々に傾斜した溝側壁72を形成する1つ以上のアングル状切削ブレードを含んでもよい。又、当業者に知られた他のミリング及びカッティング方法を使用して、希望の溝を形成することもできるし、当業者に知られた他の金属整形方法、例えば、レーザカッティング及び屈曲方法を使用することもできる。
1つの態様では、例えば、図8に示すように、表面22上に電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみ66を形成するために、コンポーネントの表面22にわたって電子ビーム40を走査することにより電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみ66が形成される。このテクスチャ加工されたくぼみ66は、例えば、Lavacoat(登録商標)プロセスにより形成することができ、これは、例えば、2003年9月2日に出願されたウェスト氏等の米国特許出願第10/653,713号−これは、2005年3月3日に「Fabricating and Cleaning Chamber Components Having Textured Surfaces」と題する米国特許出願公告第2005/0048876号として公告された−と、2002年3月13日に出願されたポピオルコウスキー氏等の米国特許出願第10/099,307号−これは、2003年8月18日に米国特許出願公告第2003/0173526号として公告された−と、2004年3月25日に米国特許出願公告第2004/0056211号として公告されて、2004年11月2日に発行されたポピオルコウスキー氏等の米国特許第6,812,471号とに説明されており、これらは全てアプライド・マテリアルズ社に共通に譲渡されたもので、参考としてここにそれら全件の全体を援用するものである。Lavacoat(登録商標)プロセスは、処理中に発生したプロセス堆積物が付着し得る複数のくぼみ66及び隆起67を含むことのできる電子ビームでテクスチャ加工された特徴部65を形成する。
Lavacoat(登録商標)でテクスチャ加工された表面22は、電子ビーム40のような電磁エネルギービーム40を発生し、このビームをコンポーネント100の表面22に向けることにより、形成することができる。電磁エネルギービームは、電子ビームであるのが好ましいが、陽子、中性子、X線等を含むこともできる。ビーム40は、通常、ビーム40が表面22と相互作用する時間周期中に表面22の領域に収束されて、表面22にテクスチャ加工された特徴部を形成する。ビーム40は、表面22の領域を、ある場合には表面材料の溶融温度まで急速に加熱することにより、特徴部65を形成すると考えられる。急速な加熱は、表面材料をある程度外方に放出させ、材料が放出された領域にくぼみ66を形成すると共に、放出された材料が再堆積するエリアに隆起67を形成することができる。領域内に希望の特徴部が形成された後に、ビーム40がコンポーネント表面22の異なる領域へ走査され、新たな領域に特徴部を形成する。1つの態様では、コンポーネント構造体11の表面22に同心上の溝64が形成された後に、コンポーネント100の表面22を電子ビーム40で走査し、隣接溝64間に希望の密度のテクスチャ加工されたくぼみ66を形成することができる。別の態様では、溝64は、電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみ66を形成した後に表面22に形成されてもよい。
電磁エネルギービーム40は、テクスチャ加工された特徴部65の希望のパターン、例えば、くぼみ66及び隆起67のハニカム状構造を形成するように、表面22にわたって走査させることができる。この方法により形成された特徴部55は、通常、顕微鏡的サイズである。例えば、くぼみは、表面22のベースレベル68から測定した深さdが約25マイクロメートル(0.001インチ)から約1524マイクロメートル(0.060インチ)である。くぼみ66の表面直径wは、約127マイクロメートル(0.005インチ)から約2540マイクロメートル(0.1インチ)、更に、約203マイクロメートル(0.008インチ)から約2261マイクロメートル(0.089インチ)でよい。隆起67は、ベースレベル68より上の高さhが約51マイクロメートル(0.002インチ)から約1524マイクロメートル(0.060インチ)、更に、約51マイクロメートル(0.002インチ)から約1168マイクロメートル(0.046インチ)である。Lavacoat(登録商標)でテクスチャ加工された表面22は、全表面の平均粗面性が約2500マイクロインチ(64マイクロメートル)から約4000マイクロインチ(102マイクロメートル)であり、表面22の平均粗面性は、表面22に沿った特徴部の平均線からの変位の絶対値の平均値として定義される。又、テクスチャ加工された表面22は、表面22に異なるレベルの織りを与えるために電磁エネルギービーム40で走査した後に更に粗面化することもでき、これは、例えば、参考としてここに援用する前記ポピオルコウスキー氏等及びウェスト氏等の特許出願に説明されている。例えば、表面22は、加圧ガスで表面22に向けてブラスティングビードを推進することによりビードブラストするか、或いは化学的に粗面化して、表面22上の顕微鏡的サイズの特徴部65の上に横たわる比較的微細な織りを形成することができる。電子ビームでテクスチャ加工された表面22は、プロセス堆積物の付着を改善し、処理済基板104の汚染を減少する。
1つの態様において、テクスチャ加工された表面22をもつコンポーネント100を有する適当なプロセスチャンバー106が図1に示されている。このチャンバー106は、チャンバー106間で基板104を移送するロボットアームメカニズムにより接続された相互接続チャンバーのクラスターを有する多チャンバープラットホーム(図示せず)の一部分である。図示された態様では、プロセスチャンバー106は、物理的気相堆積即ちPVDチャンバーとも称されるスパッタ堆積チャンバーで、材料、例えば、アルミニウム、タンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン、銅、タングステン、窒化タングステン、及びアルミニウムの1つ以上を基板104にスパッタ堆積できるものである。このようなチャンバーの1つの形式が、PVD Alチャンバーであり、その実施形態が、アプライド・マテリアルズに共通に譲渡された、参考としてここにその全体を援用する2003年12月9日付のユー氏等の米国特許第6,660,135号にも説明されている。チャンバー106は、プロセスゾーン109を包囲するエンクロージャー壁118を備え、この壁は、側壁164、底壁166及び天井168を含む。天井168を支持するために側壁164と天井168との間に支持リング130を配列することができる。又、チャンバーは、エンクロージャー壁118をスパッタリング環境からシールドするシールド120を有することもできる。このチャンバーシールド120は、チャンバー106の上部、例えば、チャンバー側壁164の上部及び天井168を保護するための上部シールド120aと、チャンバー106の下部、例えば、チャンバー側壁164の下部及び底壁166を保護するための下部シールド120bとの1つ以上を含むことができる。
チャンバー106は、スパッタ堆積チャンバー106に基板を支持するための基板支持体114を備えている。この基板支持体114は、電気的に浮動であってもよいし、又はRF電源のような電源172によりバイアスされる電極170を備えてもよい。又、基板支持体114は、基板104が存在しないときに支持体114の上面134を保護することのできる可動シャッター円板104bのような他のウェハ104を支持することもできる。動作中に、基板104は、チャンバー106の側壁164の基板ロード入口(図示せず)を通してチャンバー106内に導入され、支持体114に載せられる。基板104をチャンバー106に入れたり出したりする間には、支持体114を支持体リフトベローにより上下できると共に、リフトフィンガーアッセンブリ(図示せず)を使用して支持体114上の基板を上下することができる。
又、支持体114は、支持体114の上面134の少なくとも一部分をカバーして支持体114の腐食を防止する保持クランプ20又は堆積リング128のような1つ以上のリングを含んでもよい。1つの態様において、堆積リング128は、基板104を少なくとも部分的に包囲し、基板104によりカバーされない支持体114の部分を保護する。保持クランプ20は、堆積リング128の少なくとも一部分を包囲してカバーし、堆積リング128及びその下に横たわる支持体114の両方への粒子の堆積を減少する。
スパッタリングガスのようなプロセスガスは、ガス配送システム112を経てチャンバー106へ導入され、ガス配送システムは、1つ以上のガスソース174を含むプロセスガス供給源を備え、各ガスソースは、マスフローコントローラのようなガス流量制御弁178を有するコンジット176に供給を行って、設定流量のガスを通過させる。コンジット176は、ガスを混合マニホールド(図示せず)に供給でき、ここで、ガスが混合されて、希望のプロセスガス組成が形成される。混合マニホールドは、チャンバー106に1つ以上のガス出口182を有するガス分配器180に供給を行う。プロセスガスは、ターゲットからの材料にエネルギー的に当たってそれをスパッタリングできるアルゴンやキセノンのような非反応性ガスで構成されてもよい。又、プロセスガスは、スパッタされた材料と反応して基板104に層を形成できる1つ以上の酸素含有ガス及び窒素含有ガスのような反応性ガスで構成されてもよい。消費されたプロセスガス及び副産物は、チャンバー106から排出装置122を通して排出され、この排出装置は、1つ以上の排出ポート184を含んでいて、消費されたプロセスガスを受け取ってその消費されたガスを排出コンジット186へ通過させ、ここには、チャンバー106内のガスの圧力を制御するためのスロットル弁188が設けられている。排出コンジット186は、1つ以上の排出ポンプ190へ供給を行う。通常、チャンバー106内のスパッタリングガスの圧力は、大気圧より低いレベルにセットされる。
スパッタリングチャンバー106は、更に、基板104の表面105を向いたスパッタリングターゲット124を備え、これは、基板104にスパッタリングされるべき材料、例えば、アルミニウム、銅、チタン、タンタル、及び窒化タンタルで構成される。ターゲット124は、環状絶縁材リング132によりチャンバー106から電気的に分離され、更に、電源192に接続することができる。ターゲット124は、チャンバー106に露出されるターゲットリム125を有するターゲットバッキングプレートを含んでもよい。又、スパッタリングチャンバー106は、スパッタリングされた材料からチャンバー106の壁118を保護するためのシールド120も有している。このシールド120は、チャンバー106の上下の領域をシールドする上下のシールド区分120a及び120bを有する壁状円筒形状を含むことができる。図1に示す態様では、シールド120は、支持リング130に取り付けられた上部区分120aと、保持クランプ20に固定された下部区分120bとを有する。上下のシールド区分120a、bを一緒にクランプするために、クランプリングを含むクランプシールド141を設けることもできる。又、内側及び外側シールドのような別のシールド構成にすることもできる。1つの態様では、電源192、ターゲット124及びシールド120の1つ以上は、ターゲット124から材料をスパッタリングするためにスパッタリングガスを付勢することのできるガスエナジャイザ116として動作する。電源192は、シールド120に対してターゲット124にバイアス電圧を印加する。印加電圧からチャンバー106に発生される電界でスパッタリングガスを付勢してプラズマを形成し、このプラズマは、ターゲット124にエネルギー的に当たって衝撃を与え、ターゲット124から基板104へと材料をスパッタリングさせる。又、電極170及び支持電極電源172を有する支持体114は、ターゲット124から基板104に向けてスパッタリングされたイオン化された材料を付勢し且つ加速することにより、ガスエナジャイザ116の一部分として動作してもよい。更に、電源192により電力供給されるガス付勢コイル135を設けることもでき、これは、エネルギが与えられたガス特性の向上、例えば、エネルギが与えられたガス密度の改善を与えるようにチャンバー106内に位置される。このガス付勢コイル135は、シールド120又はチャンバー106内の他の壁に取り付けられたコイル支持体137により支持することができる。
チャンバー106は、チャンバー106内の基板104を処理するようにチャンバー106のコンポーネントを操作するための命令セットを有するプログラムコードを備えたコントローラ194により制御される。例えば、コントローラ194は、チャンバー106内に基板104を位置させるように基板支持体114及び基板搬送装置の1つ以上を操作するための基板ポジショニング命令セットと、チャンバー106へのスパッタリングガスの流量をセットするように流量制御弁178を操作するためのガス流量制御命令セットと、チャンバー106内の圧力を維持するように排出スロットル弁188を操作するためのガス圧力制御命令セットと、ガス付勢電力レベルをセットするようにガスエナジャイザ116を操作するためのガスエナジャイザ制御命令セットと、チャンバー106内の温度を制御するための温度制御命令セットと、チャンバー106内のプロセスを監視するためのプロセス監視命令セットとを備えることができる。
チャンバー106において、テクスチャ加工された表面22を有するコンポーネント100は、例えば、ガス配送システム112の一部分、基板支持体114、ガスエナジャイザ116、チャンバーエンクロージャー壁118、シールド120、例えば、上下のシールド120a、b、ガス排出装置122、ターゲット124、ターゲットリム125、保持クランプ20(又はカバーリング)、堆積リング128、支持リング130、絶縁リング132、コイル135、コイル支持体137、プロセスキット139、シャッター円板104b、クランプシールド141、及び基板支持体114の表面134を含むことができる。又、テクスチャ加工された表面22を有するコンポーネント100は、エッチングチャンバー、前洗浄チャンバー、アッシングチャンバー、CVDチャンバー及び他のチャンバーのようなチャンバーのコンポーネントを含むこともできる。
本考案の実施形態を図示して説明したが、当業者であれば、本考案の範囲内で本考案を組み込んだ他の実施形態を案出することができよう。例えば、上述した以外の保持クランプ構成を提供することもできる。又、保持クランプは、ここに述べたもの以外のプロセスチャンバーの一部分であってもよい。又、ここに述べたものに加えて他のチャンバーコンポーネントに、上述した方法の1つにより、織りを入れることもできる。更に、前記実施形態について示した相対的又は位置的な用語は、交換可能である。それ故、実用新案登録請求の範囲は、本考案を例示するためにここに述べた好ましい態様、材料又は空間的配列の説明に限定されるものではない。
11…コンポーネント構造体、20…保持クランプ、22…テクスチャ加工された表面、24…リング、26…環状外側部分、28…周囲、30…オーバーハング張出部、33…内壁、34…頂面、35…特徴部、37…円形開口、39…周辺、40…電子ビーム、42…峰、44…溝、50…ギザギザ付けツール、52…ギザギザ付けヘッド、54…ギザギザ付けホイール、56…硬化エッジ、58…歯、60…ギャップ、62a、b…テクスチャ加工パターン、64…同心溝、66…テクスチャ加工されたくぼみ、67…隆起、70…表面領域、73…切削ブレード、75…尖端、76…先鋭なエッジ、80a、b…螺旋溝、92…溝、94…中心軸、95a、b…テクスチャ加工パターン、96a、b…テクスチャ加工パターン領域、99a、b…螺旋アーム、100…コンポーネント、104…基板処理装置、104…基板、106…基板処理チャンバー、112…ガス配送システム、114…基板支持体、116…ガスエナジャイザ、120…チャンバーシールド、122…排出装置、124…ターゲット、128…堆積リング、130…支持リング、135…コイル、139…プロセスキット、170…電極、174…ガスソース、176…コンジット、178…ガス流量制御弁、180…基板受け入れ面、184…排出ポート、186…排出コンジット、188…スロットル弁、190…排出ポンプ、192…電源
Claims (28)
- 基板処理チャンバー内でエネルギが与えられたガスに露出することのできるコンポーネントにおいて、
(a)互いに逆向きの第1及び第2の螺旋溝を含む表面を有するコンポーネント構造体を備え、
上記基板処理チャンバー内の上記エネルギが与えられたガス中で基板を処理する間に上記コンポーネント構造体の上記表面の上記螺旋溝にプロセス残留物が付着し、これにより、プロセス残留物による基板の汚染を減少するようにしたコンポーネント。 - 上記第1及び第2の螺旋溝は、
(1)少なくとも約45度の渦巻き角度、
(2)少なくとも約0.25mmの深さ、
(3)約1.5mm以下の深さ、又は
(4)丸み付けされたエッジ、
という特性の少なくとも1つを含む、請求項1に記載のコンポーネント。 - 上記第1及び第2の螺旋溝は、
(1)上記表面の第1領域における第1間隔及び上記表面の第2領域における第2間隔、又は
(2)上記表面の第1領域における第1深さ及び上記表面の第2領域における第2深さ、
のうちの少なくとも1つを有する、請求項1に記載のコンポーネント。 - 上記表面は、更に、
(1)互いに同心上で、且つ上記表面にわたり軸方向又は半径方向に離間されたリング形状の溝、
(2)約1.6マイクロメートルから約12.5マイクロメートルの平均粗面性を有する粗面化された領域、又は
(3)上記第1と第2の螺旋溝間にあり、実質的に連続的な区分である溝なし部分であって、その大きさが約0.1cm未満である溝なし部分、
のうちの少なくとも1つを有する、請求項1に記載のコンポーネント。 - 基板支持体、チャンバーエンクロージャー壁、プロセスキット、シールド、ガスエナジャイザ、ガス供給源、及びガス排出装置の少なくとも一部分を含む、請求項1に記載のコンポーネント。
- 請求項1に記載のコンポーネントを含む基板処理チャンバーにおいて、基板支持体、ガスエナジャイザ、ガス供給源、及びガス排出装置を備えた基板処理チャンバー。
- 基板処理チャンバー内でエネルギが与えられたガスに露出することのできるチャンバーコンポーネントにおいて、
(a)テクスチャ加工された表面を有するコンポーネント構造体を備え、該構造体は、
(i)互いに離間され且つ各々第1深さ及び第1密度を有する第1のテクスチャ加工された特徴部を有する第1のテクスチャ加工パターンと、
(ii)互いに離間され且つ各々第2深さ及び第2密度を有する第2のテクスチャ加工された特徴部を有する第2のテクスチャ加工パターンと、
を含み、上記第2深さ及び第2密度の少なくとも一方は、上記第1深さ及び第1密度以外のものであり、
これにより、基板の処理中にプロセス残留物が上記表面に付着して基板の汚染を減少するようにしたチャンバーコンポーネント。 - 上記第1のテクスチャ加工された特徴部は、第1深さ又は間隔をもつ螺旋アームを有する第1の螺旋溝を備え、更に、上記第2のテクスチャ加工された特徴部は、第2深さ又は間隔を有する第2の螺旋溝を備えた、請求項7に記載のコンポーネント。
- 上記第1又は第2の螺旋溝の各々は、第1領域における少なくとも約0.8mmから第2領域における約0.6mm未満の第2深さへと深さが連続的に変化すると共に、第1領域における約1.5mm未満の第1間隔から第2領域における少なくとも約1.8mmの第2間隔へと間隔が連続的に変化する螺旋アームを備えた、請求項8に記載のコンポーネント。
- 上記第1及び第2の螺旋溝は互いに逆向きである、請求項8に記載のコンポーネント。
- 請求項7に記載のコンポーネントを含む基板処理チャンバーにおいて、基板支持体、ガスエナジャイザ、ガス供給源、及びガス排出装置を備えた基板処理チャンバー。
- プロセスチャンバー内でエネルギが与えられたガスに露出することのできる基板処理チャンバーコンポーネントにおいて、
(a)コンポーネント構造体と、
(b)上記コンポーネント構造体の表面であって、(i)該表面にわたり半径方向に離間された複数の同心上の溝、及び(ii)該表面上で隣接する溝間に形成される電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみ、を含むような表面と、
を備え、プロセス残留物が上記表面に付着して、処理済基板の汚染を減少するようにしたコンポーネント。 - 上記隣接する同心上の溝は、電子ビームでテクスチャ加工された隣接くぼみ間の距離の少なくとも2倍程度の距離だけ分離される、請求項12に記載のコンポーネント。
- 上記隣接する同心上の溝間の距離は、約5ミリメートルから約7ミリメートルであり、上記溝間にある、電子ビームでテクスチャ加工された隣接くぼみ間の距離は、約1ミリメートルから約3ミリメートルである、請求項13に記載のコンポーネント。
- 上記表面における上記同心上の溝の深さは、約3ミリメートルから約8ミリメートルであり、上記表面における上記電子ビームでテクスチャ加工されたくぼみの深さは、約25マイクロメートルから約1524マイクロメートルである、請求項13に記載のコンポーネント。
- 凹面プロフィールを有する表面領域を隣接溝間に備えた、請求項12に記載のコンポーネント。
- 上記コンポーネントは、基板支持体、チャンバーエンクロージャー壁、ガス供給源、ガスエナジャイザ、及びガス排出装置の少なくとも一部分を含む、請求項12に記載のコンポーネント。
- 請求項12に記載のコンポーネントを含む基板処理チャンバーにおいて、基板支持体、プロセスガス供給源、ガスエナジャイザ、及びガス排出装置を備えた基板処理チャンバー。
- 基板処理チャンバー用の基板保持クランプにおいて、
(a)上記チャンバー内の基板を取り巻く環状部分、及び上記基板の周辺をカバーするオーバーハング張出部を含むリングと、
(b)上記オーバーハング張出部上のギザギザ付き露出面であって、離間されたギザギザ付き峰及び皺で構成されるギザギザ付き露出面と、
を備えた基板保持クランプ。 - 上記ギザギザ付き露出面は、上記オーバーハング張出部の表面であり、互いに半径方向に離間された同心上の峰及び皺で構成される、請求項19に記載のクランプ。
- 上記峰及び皺の各々は、中心線からの振幅が、少なくとも約0.5ミリメートルで、且つ約2.5ミリメートル未満である、請求項19に記載のクランプ。
- 隣接する峰は、そのピーク・ピーク距離が少なくとも約0.5ミリメートルで、且つ約2.5ミリメートル未満である、請求項19に記載のクランプ。
- 上記ギザギザ状の峰及び皺は、互いに周期的に離間される、請求項19に記載のクランプ。
- 上記リングは、ステンレス鋼、チタン、銅又はアルミニウムの少なくとも1つで構成される、請求項19に記載のクランプ。
- 基板処理チャンバー用の基板保持クランプにおいて、
(a)上記チャンバー内の基板を取り巻く環状部分、及び上記基板の周辺をカバーするように上記環状部分から内方に延びるオーバーハング張出部を含むリングであって、更に、(i)上記オーバーハング張出部及び環状部分にわたって延びる頂面、及び(ii)上記環状部分の外部側面を含むようなリングと、
(b)上記頂面及び外部側面上にあって、同心上で且つ半径方向に離間されたギザギザ状の峰及び皺を含むギザギザ付き露出面であって、上記ギザギザ状の峰及び皺は、中心線からの振幅が少なくとも約0.5ミリメートルで、且つ約2.5ミリメートル未満であり、更に、隣接するギザギザ状の峰は、そのピーク・ピーク距離が少なくとも約0.5ミリメートルで、且つ約2.5ミリメートル未満であるようなギザギザ付き露出面と、
を備えた基板保持クリップ。 - 上記外部側面は上記頂面に対して実質的に垂直である、請求項25に記載のクランプ。
- 上記環状部分は第1及び第2の下方に延びる環状壁を含む、請求項25に記載のクランプ。
- 上記第1壁は、上記基板の周辺に隣接し、上記第2壁は、上記第1壁に対して同心上に外側にある、請求項25に記載のクランプ。
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