JP3114564B2

JP3114564B2 - 積層電子部品の製造方法

Info

Publication number: JP3114564B2
Application number: JP07119696A
Authority: JP
Inventors: 恭重清水; 恵一中尾; 涼木村; 康晴福井
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1995-05-18
Filing date: 1995-05-18
Publication date: 2000-12-04
Anticipated expiration: 2015-12-04
Also published as: JPH08316091A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はエレクトロニクス分野で
用いられる積層電子部品の製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】積層コンデンサ、ＬＣチップ部品、多層
基板等に代表される積層電子部品は、セラミックグリー
ンシート上に所定の内部電極となる電極パターンを印刷
した後、複数枚積層した状態で焼結し、電極パターンが
内部に焼き付けられた構成となっている。ここでは、一
般的に製造されている積層セラミックコンデンサの製造
方法を代表例として、図４〜図１１を参照して詳細を説
明する。

【０００３】まず、図４は一般的なセラミックグリーン
シートの製造工程を示しており、ポリエステルフィルム
等のベースフィルム５の一方の面上に、強誘電粉末をブ
チラール樹脂等の有機バインダー中に分散し混合溶剤で
適度に希釈したセラミックスラリー１８をナイフブレー
ド１７により所定の厚みに塗布した後、ドライヤー１９
で十分乾燥させて長尺状のベースフィルム付きセラミッ
クグリーンシート２０をロール状に巻取る。このベース
フィルム付きセラミックグリーンシート２０は、図５に
示すようにベースフィルム５とその上に乾燥させたセラ
ミックスラリー１８、すなわちセラミックグリーンシー
ト６とで構成されている。

【０００４】次に、このようにして得られたベースフィ
ルム付きセラミックグリーンシート２０を順次必要寸法
にカッティングした後、セラミックグリーンシート６を
ベースフィルム５から剥離して、その上に図６に示した
スクリーン印刷方式により、作業台上２４にセットした
セラミックグリーンシート６にペースト状の導電性塗料
２３を印刷して所定の形状の電極パターン７を形成す
る。そして電極パターン７を印刷したセラミックグリー
ンシート６を乾燥させて必要枚数積層して加熱、加圧処
理を施してセラミック積層体を得たのち、この積層体を
焼成してチップ化し、端部に外部電極を形成した構造に
なっている。

【０００５】ところで、電極パターン７を印刷するため
のスクリーン方式は、セラミックグリーンシート６に対
してスクリーン２２を近接した状態でスキージ２１を押
し下げて移動させるために、スクリーン２２を構成して
いるシルクがスキージ２１移動方向に伸びてしまい、ス
クリーン２２のパターン面積よりも前方方向が大きくな
ってしまう。この傾向は、使用時間とともにさらに大き
くなり、印刷寸法精度や印刷厚みを著しく劣化させる原
因になるおそれがあった。さらに、スクリーン印刷方式
では、一般にスクリーン２２メッシュの開口部の面積に
対して広く印刷され、その分を考慮してスクリーン２２
メッシュを設計したとしても、希望する容量に命中させ
ることは困難であるという課題もあった。

【０００６】しかも、上述したような現象、すなわち電
極パターン７の印刷精度や印刷厚みが劣化すると、印刷
後に行う積層時において積層ずれを発生させたり、焼成
後には層間剥離（デラミネーション）を誘発させたりす
るおそれがあり、致命的欠陥を招く原因ともなってい
た。

【０００７】以上述べたようなスクリーン印刷方式にま
つわる課題を解決するために、図７に示したようなグラ
ビア印刷方式による電極パターン７の形成方法が提案さ
れている（特公平５−２５３８１号公報、特開平３−１
０８３０７号公報参照）。

【０００８】グラビア印刷方式とは、図７のように剛体
ロール（以下グラビアロールと呼ぶ）８と、このグラビ
アロール８上の過剰塗料を掻きとるためのドクターブレ
ード１１及びセラミックグリーンシート６をグラビアロ
ール８の表面に接圧させるための圧胴１５から構成され
ている。ここで使用するセラミックグリーンシート６は
ベースフィルム５がまだ付いている状態である。

【０００９】電極パターン７の印刷は、グラビアロール
８の表面上に彫刻あるいはエッチング等により設けられ
た凹状の凹み１２で形成される。図８はグラビアロール
８上に設けられた凹状の凹み１２の配列例である。この
凹状の凹み１２部分にのみスラリー状の導電性塗料１０
を埋設させて、グラビアロール８の表面上に圧胴１５で
接圧されているセラミックグリーンシート６上へ導電性
塗料１０とセラミックグリーンシート６の表面張力を利
用して、すなわち、両者のぬれ性により凹状の凹み１２
から導電性塗料１０を転写させて電極パターン７を形成
するものである。電極パターン７の形成後は連続してド
ライヤーに送り込まれ、導電性塗料１０を十分に乾燥さ
せてから巻取り、印刷工程を終了する。

【００１０】グラビアロール８は一般的に金属類、ガラ
ス類、セラミックス類、合成樹脂類等の固くて変形の起
こしにくい材質のものが用いられる。そのために経時的
な変化が少なく、グラビアロール８の表面上に設けられ
ている凹状の凹み１２の精度も極めて安定している。従
って、このような性質を利用することにより、スクリー
ン印刷方式の課題であるスクリーン２２の伸びによる寸
法精度の劣化や印刷厚みの安定性を図ることにより設計
通りの容量を確保し、印刷コストをも低減可能であると
いった方法である。

【００１１】ここで、グラビアロール８の表面上に形成
され、電極パターン７となる凹状の凹み１２に関して詳
細を説明する。通常、この凹状の凹み１２は、１個の電
極パターンに対して１個の凹みを形成するのは少なく、
図９に示したようなセル１６と呼ばれる小部屋を多数設
けて１個の電極パターンを形成する。このセル１６は形
状的に様々な形状のものがあるが、一般的には図９のピ
ラミッド型、図１０の格子型、図１１の斜線型及びこれ
らの形状を応用したものを機械的、化学的に設けて使用
される。また、導電性塗料１０の入る空間部分であるセ
ル１６は、セル１６とセル１６とをつなぐ土手２５で仕
切られている。印刷される厚みは、セル１６の形状、セ
ル１６の容積、１インチ当たりのセル１６の個数及び土
手２５の幅でコントロールする。

【００１２】グラビア印刷方式は、以上述べたように、
セル１６内に埋設させたスラリー状の導電性塗料１０を
被印刷物に対して強制的に転写させるものではなく物理
的に転写させるため、スクリーン印刷方式で使用してい
るようなペースト状の導電性塗料２３ではセル１６から
離れないために印刷ができない。グラビア印刷用の導電
性塗料１０は相当流動性があり、スクリーン印刷で使用
するペースト状の導電性塗料２３とは性状的に異なり、
グラビア印刷方式の特徴的なところでもある。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】図７に示したグラビア
印刷方式は、グラビアロール８の表面上にセラミックグ
リーンシート６を圧胴１５により接圧させて、セル１６
の空間に埋め込まれた導電性塗料１０をセラミックグリ
ーンシート６上に転写させなければ電極パターン７を形
成することができない。従って、単に印刷される厚みは
セル１６だけでコントロールできないのが実情である。
すなわち、セル１６から導電性塗料１０がスムーズに抜
けるための塗料調整と、セラミックグリーンシート６上
の表面張力を考慮しておかなければ所望する印刷厚みは
得られない。特に、セラミックグリーンシート６と導電
性塗料１０のぬれ性が適度にマッチングしないと、セラ
ミックグリーンシート６上に転移された導電性塗料１０
が玉状になったり、必要以上に流れてしまったり、ある
いはセラミックグリーンシート６を溶解したりして所定
の形状の電極パターン７を得られないだけでなく、ショ
ート不良、絶縁不良と予想外の欠陥を招く原因ともなり
かねない。

【００１４】このような状態を回避するために、導電性
塗料１０中の溶剤比率を可能な限り下げて対策を講じる
のであるが、このようにして調合される導電性塗料１０
は粘度が高くなりすぎて、今度はセル１６中からの導電
性塗料１０の転写が不安定となり、部分的に転写量のバ
ラツキが発生する。その結果、セル１６からの転写物の
集合体である電極パターン７の表面に微小な凹凸やうね
りが発生したり、あるいはセル１６から転写された状態
での導電性塗料１０のレベリング性が悪くなり、セル１
６の形状がそのまま残ることもある。場合によってはセ
ル１６からほとんど導電性塗料１０が転写されないこと
もあり、そのため電極パターン７の印刷厚みに変動が生
じ、そのことによる容量変動や焼成時の層間剥離を誘発
するおそれがある。

【００１５】逆に、セル１６中からの転写性を改良する
ために溶剤成分比率を高くすると、今度はセラミックグ
リーンシート６を溶解させたり、電極パターン７内部に
むらが発生したりして容量を低下させてしまうといった
課題があった。

【００１６】また、量産性向上のために印刷速度を速く
すると、セル１６から導電性塗料１０の転写が追いつか
ず、やはり電極パターン７にむら等を発生させて容量を
低下させてしまう。

【００１７】以上のような傾向を改善するためには、若
干導電性塗料１０を問題のない範囲で高粘度側にシフト
させるとともに、セル１６からの転写率を一層向上させ
ることが望ましい。一般的にはグラビア印刷方式の場
合、セル１６からの転写率は５０〜６０％程度なのであ
るが、導電性塗料１０を高粘度側にシフトすると上述し
たように転写率が極端に低下してしまい、必要膜厚が確
保できなくなり問題が生じている。

【００１８】そこで本発明はかかる問題を解決するため
になされたものであり、セル内に埋設されている導電性
塗料を強制的に引き出し、比較的高粘度塗料であって
も、また、高速度印刷であってもセルから均一に引き出
すことができ、さらに転写率をも著しく向上させるもの
である。その結果、セルからの転写物の集合体である電
極パターンの微小な凹凸やうねりを解消し、かつ、厚み
むらを軽減、抑制して問題のない電極パターンを形成す
ることにより、量産性、信頼性にすぐれた積層電子部品
を提供することを目的とするものである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、セラミックグリーンシート上に所定の電極
パターンをグラビア印刷により設ける印刷工程と、前記
電極パターンを乾燥させ複数枚積層した後、加圧、圧着
して所定の形状に切断し、焼成を行う工程とを備えた積
層電子部品の製造方法において、圧胴内に固定されて設
けられた永久磁石により前記グラビア印刷時に剛体ロー
ルの表面に印加磁界を付与するとともに、前記印加磁界
の方向を前記剛体ロールの表面に対して垂直方向に付与
するものである。

【００２０】また、圧胴の支持体である鉄心上に被覆さ
れて設けられた表面にＮ極とＳ極の極性を持ったゴム磁
石により前記グラビア印刷時に剛体ロールの表面に印加
磁界を付与するとともに、前記印加磁界の方向を前記剛
体ロールの表面に対して平行方向に付与するものであ
る。

【００２１】

【００２２】

【００２３】

【作用】このようにしてグラビア印刷方式による積層電
子部品を製造すれば、セル内に埋設されている導電性塗
料を強制的に引き出し、比較的高粘度塗料であっても高
速度印刷であってもセルから均一に導電性塗料を引き出
すことが可能となり転写率を著しく向上させることがで
きる。その結果、セルからの転写物の集合体である電極
パターンの微小な凹凸やうねりを解消し、さらに、厚み
むらを軽減、抑制して問題のない電極パターンを形成す
ることができ、量産性、信頼性に優れた積層電子部品の
製造が可能となる。

【００２４】

【実施例】

（実施例１）以下に本発明の第１の実施例について具体
的に説明する。具体的な説明に際しては積層セラミック
コンデンサの製造方法を例として説明する。

【００２５】まず、図４に示した従来のセラミックグリ
ーンシート製造装置を用いて、主面側を離形形処理した
厚さ４０μｍのポリエステルフィルム５上にセラミック
スラリー１８をナイフブレードコーティング方式により
所定の厚みに塗布する。セラミックスラリー１８は下記
に示す組成で、ボールミル分散して調合した塗料を用
い、ナイフブレード１７とポリエステルフィルム５の隙
間を７０μｍにして塗布した。

【００２６】アルミナ＋ホウケイ酸ガラス粉末５５重量部ブチラール樹脂＋可塑剤５重量部溶剤（酢酸ｎブチル）４０重量部ここで使用するポリエステルフィルム５、セラミックス
ラリー１８は従来より公知の材料が使用可能であり限定
されるものではない。同様に、セラミックスラリー１８
の塗布方式としては、ナイフブレードコーティング方式
に限らず、リバースロールコーター方式、ノズルコータ
ー方式、グラビアコーター方式等いずれの方式を適用し
ても何ら差し支えはない。

【００２７】次に、ポリエステルフィルム５上に形成し
たセラミックスラリー１８をドライヤー１９で十分乾燥
させて長尺状のベースフィルム付きセラミックグリーン
シート２０を得る。以上のようにして得られた長尺状の
ベースフィルム付きセラミックグリーンシート２０は、
図１に示すグラビア印刷装置に移送される。このベース
フィルム付きセラミックグリーンシート２０は図５のよ
うにベースフィルム５とセラミックグリーンシート６と
で構成されている。

【００２８】図１に示したグラビア印刷装置に移送され
たベースフィルム付きセラミックグリーンシート２０
は、速度５０ｍ／分で順次繰り出され、グラビアロール
８の表面上からベースフィルム付きセラミックグリーン
シート２０を介し配備してある圧胴１５により一定の圧
力で接圧される。この時セラミックグリーンシート６側
はグラビアロール８の表面上に接触するように繰り出さ
れている。

【００２９】上述した圧胴１５は、非磁性の材質である
１８−８ステンレスパイプ２内に永久磁石１を配備し、
１８−８ステンレスパイプ２上に硬度７５度のウレタン
ゴム４を被覆したもので、このウレタンゴム４部だけが
ベアリング３を介して回転する構造となっている。１８
−８ステンレスパイプ２内に配備されている永久磁石１
は常に固定状態で、ウレタンゴム４部を通過してグラビ
アロール８の表面上に５００Ｇの垂直磁界が印加される
ように配備してある。

【００３０】この垂直磁界により、グラビアロール８の
表面の凹み１２内部に埋設されている導電性塗料１０を
強制的に引き上げる。そして、引き上げられた凹み１２
からの転写物である導電性塗料１０の集合体をセラミッ
クグリーンシート６上に電極パターン７として形成す
る。電極パターン７の形成は、圧胴１５によりセラミッ
クグリーンシート６がグラビアロール８の表面上に接圧
されている間にグラビアロール８の表面上に形成されて
いる凹み１２から導電性塗料１０が転写された時に形成
される。

【００３１】グラビアロール８の表面の凹み１２内部に
導電性塗料１０を埋設させるには、グラビアロール８を
インキパン９に投入されている導電性塗料１０に浸し、
グラビアロール８の表面に接圧されているドクターブレ
ード１１により過剰な導電性塗料１０を掻きとると、凹
み１２部にのみ導電性塗料１０が埋設される。図１中の
記載番号１０ａは凹み１２中に埋設された導電性塗料１
０の状態を示している。

【００３２】電極パターン７形成後はドライヤーに連続
して搬送され乾燥し、ロール状に巻き取られて印刷工程
を終了する。

【００３３】ここで、凹み１２の形状は図１０の格子型
を用いた。また、凹み１２の寸法は１インチ当たり１５
０個の格子を形成したものを使用し、深さは２５μｍ、
土手２５の幅は１０μｍである。ここで用いた凹み１２
の形状、凹み１２の寸法、深さ、及び土手２５の幅は何
ら限定されるものではなく、所望する電極パターン７が
得られるものであればいかような形状であってもよい。
さらに、凹み１２の製作方法は機械的に彫刻されたも
の、塑性変形を利用したもの、化学的に処理された方法
であっても何ら差し支えはない。また、グラビアロール
８の材質に関しても、金属類、ガラス類、セラミックス
類、合成樹脂等の剛体ロールを用いることも可能であ
る。

【００３４】さらに、導電性塗料１０は、粒径０．４〜
１．０μｍのＮｉ粉末を１００重量部として分散剤１重
量部、セルロース系樹脂３重量部と、酢酸ｎブチルをボ
ールミルで混合分散して、Ｂ型粘度計で８００ｃｐｓと
なるように調合した。

【００３５】なお、本実施例の圧胴１５内部に用いた永
久磁石１は、特に限定したものではなく、グラビアロー
ル８の表面に対して垂直磁界が付与される構造であれば
よく、ソレノイドコイル等を永久磁石１の代わりに配備
した圧胴であってもよい。

【００３６】以上のようにして、圧胴１５の内部に永久
磁石１を配備したグラビア印刷方式によりセラミックグ
リーンシート６上に形成した電極パターン７を１００個
抜き取り、蛍光Ｘ線装置を用いてセラミックグリーンシ
ート６上の電極パターン７の塗着量を測定した。測定結
果を図３に示す。図３は電極パターン７を１００個測定
後、最大塗着量●と最小塗着量○をばらつきとし、１０
０個の平均塗着量を＊で表示した。

【００３７】（実施例２）以下本発明の第２の実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。図２は本発明の第
２の実施例を示すグラビア印刷方式の図である。図中の
グラビア印刷方式の構成は実施例１で説明した図１と同
様であるが、図１の構成と異なるのは、グラビアロール
８上にある圧胴１５の構成を外周部に磁界が発生するよ
うにした点である。

【００３８】もう少し圧胴１５部の構成の詳細について
説明すると、圧胴１５の支持体である鉄心１４上に表面
がＮ極とＳ極の磁極を持ったゴム磁石１３を被覆して作
成した圧胴１５を配備した。磁界の強さは、実施例１と
同様にグラビアロール８の表面上において５００Ｇの強
度で印加できる強さである。この構成の場合、磁界はグ
ラビアロール８の表面に対して垂直に作用する力よりも
Ｎ極とＳ極が隣接して配備されているので、磁界の発生
方向としては若干傾斜する方向で作用することとなる。

【００３９】このように構成した圧胴１５をグラビアロ
ール８上に配備して電極パターン７を形成した。ここ
で、使用するセラミックグリーンシート６、印刷速度、
導電性塗料１０、グラビアロール８の表面上の凹み１２
の形状等の印刷条件は、実施例１の印刷条件と全く同様
にしてセラミックグリーンシート６上に電極パターン７
を形成した。

【００４０】以上のようにして作成した電極パターン７
を実施例１と全く同様にして、１００個抜き取り蛍光Ｘ
線装置で塗着量を測定した。測定結果を図３に示す。図
３は電極パターン７を１００個測定後、最大塗着量▲と
最小塗着量△をばらつきとし、１００個の平均塗着量を
＊でプロットした。

【００４１】（比較例１）実施例１と全く同様にして、
図１に示したグラビア印刷方式により電極パターン７を
形成した。ここで、圧胴１５は単に鉄心上にゴムを被覆
した従来から公知のものを使用した他は実施例１と全く
同様の印刷条件で電極パターン７を形成した。

【００４２】形成した電極パターン７は、ここでも実施
例１と全く同様にして１００個抜き取り、蛍光Ｘ線装置
で塗着量を測定した。図３に測定結果を示す。図３は電
極パターン７を１００個測定後、最大塗着量■と最小塗
着量□をばらつきとし、１００個の平均塗着量を＊でプ
ロットした。

【００４３】なお、本実施例１、実施例２、比較例で使
用した磁性粉末はＮｉ粉末を使用したが、Ｎｉ粉末に限
らずフェライト粉末、酸化鉄粉末等の磁性粉末を利用す
るものであればあらゆるものに応用可能である。また、
本実施例では積層セラミックコンデンサの製造方法を例
にして説明したが、積層セラミックコンデンサの他、Ｌ
Ｃチップ部品、セラミック多層基板、チップインダクタ
ンス及びチップコンデンサ等の積層電子部品の製造方法
にも適用可能である。

【００４４】本実施例の積層電子部品の製造方法によれ
ば、グラビアロール８上に配備してある圧胴部からグラ
ビアロール表面上に磁界を付与することにより、従来方
式である比較例に比べて著しく塗着量が向上し、その塗
着量のばらつきも極めて小さいことが図３より分かる。

【００４５】ここで、実施例１と実施例２において電極
パターン７の塗着量において効果の違いが若干異なって
いる。実施例１の方が実施例２よりもばらつきが小さ
い。これは、実施例１では圧胴１５の内部に設けた永久
磁石１が固定化しているため磁界が安定しており、か
つ、磁界方向がグラビアロール８の表面に対して垂直に
作用する構成になっている。一方、圧胴表面にゴム磁石
１３を配備した実施例２では、Ｎ極とＳ極が隣接してい
るため磁界方向はグラビアロール８の表面に対して傾向
的には平行方向に付与されることとなり、実質的には磁
力が軽減する。また、圧胴１５が回転しているために磁
界が変化しやすいことも考慮される。その結果、電極パ
ターン７の形成時において若干転写率にばらつきが発生
するものと考えられる。しかし、凹み１２から導電性塗
料１０を物理的に引き出すのではなくて、強制的に引き
出すため安定度は高い。

【００４６】いずれにしても、実施例１で示した圧胴１
５の構成にすれば、電極パターン７の塗着量にして１５
％、ばらつきは３．５倍、実施例２では塗着量にして１
３％、ばらつきは１．９倍と比較例に比べて向上してい
る。塗着量が向上しているということは凹み１２からの
導電性塗料１０の転移率が向上したことを意味してお
り、ばらつきが小さいことはセルからの転写率が安定し
ていることを示している。

【００４７】従来方式である比較例では、セルからの導
電性塗料の転写メカニズムがセラミックグリーンシート
と導電性塗料のぬれ性に起因した物理的な現象を期待し
たものであるため、セラミックグリーンシートの表面が
微妙に変化したり、導電性塗料も微妙に変化すると、そ
の微妙な変化そのものが転写率そのものに作用してしま
う。セラミックグリーンシートの全長、全幅に渡って全
て均質であることを望むのは不可能であり導電性塗料に
ついても同様である。従って、連続的に送り込まれてく
るセラミックグリーンシートの場所によっては、セルか
らの転写率も変化しやすいと言わざるを得ない。その結
果、転写率も低く、ばらつきも発生しやすい。

【００４８】なお、実施例１で示した構成の圧胴１５
は、永久磁石１を圧胴１５の内部に配備するため、圧胴
１５の直径が大きくなりやすく製作コストも割高にな
る。一方、圧胴１５の外周面にゴム磁石１３を配備した
実施例２の方式では、圧胴自体の大きさは比較的コンパ
クト化が可能であり、製作コストも安価である。しか
し、性能的には図３に示したように圧胴１５の内部に永
久磁石１を配備した実施例１の方式の方が高い。

【００４９】いずれにしても、昨今の積層電子部品の小
型化、高精度化、高品質化に対応を図る意味で、製品の
要求特性に適応した方式を選択することが望ましい。

【００５０】

【発明の効果】以上のように本発明は、グラビアロール
上に配備してある圧胴部からグラビアロールの表面に印
加磁界を付与することにより、グラビアロール上に設け
てあるセルから導電性塗料を強制的に引き上げることに
より転写率を著しく向上させることができる。

【００５１】また、形成される電極パターンの塗着量の
ばらつきも小さくなり、このことにより、量産性、信頼
性に優れた積層電子部品の製造方法を可能にすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例における、圧胴の構成を
示す模式概略図

【図２】本発明の第２の実施例における、圧胴の構成を
示す模式概略図

【図３】本発明と従来例とを比較して示す電極パターン
の塗布量を示す説明図

【図４】一般的なセラミックグリーンシートの製造工程
を示す概略図

【図５】ベースフィルム付きセラミックグリーンシート
の概略簡易図

【図６】一般的なスクリーン印刷方式の概略図

【図７】一般的なグラビア印刷方式による電極パターン
形成の模式概略図

【図８】グラビアロール上に形成された電極パターンの
模式図

【図９】代表的なピラミッド型セル形状の模式図

【図１０】代表的な格子型セル形状の模式図

【図１１】代表的な斜線型セル形状の模式図

【符号の説明】

１永久磁石２１８−８ステンレスパイプ３ベアリング４ゴム５ポリエステルフィルム６セラミックグリーンシート７電極パターン８グラビアロール９インキパン１０導電性塗料１０ａセル内部にある導電性塗料１３ゴム磁石１４支持体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者福井康晴大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (56)参考文献特開平３−108307（ＪＰ，Ａ) 特開平６−188146（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01G 4/00 - 4/40 H01G 13/00 - 13/06

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】セラミックグリーンシート上に所定の電
極パターンをグラビア印刷により設ける印刷工程と、前
記電極パターンを乾燥させ複数枚積層した後、加圧、圧
着して所定の形状に切断し、焼成を行う工程とを備えた
積層電子部品の製造方法において、圧胴内に固定されて
設けられた永久磁石により前記グラビア印刷時に剛体ロ
ールの表面に印加磁界を付与するとともに、前記印加磁
界の方向を前記剛体ロールの表面に対して垂直方向に付
与する積層電子部品の製造方法。
【請求項２】セラミックグリーンシート上に所定の電
極パターンをグラビア印刷により設ける印刷工程と、前
記電極パターンを乾燥させ複数枚積層した後、加圧、圧
着して所定の形状に切断し、焼成を行う工程とを備えた
積層電子部品の製造方法において、圧胴の支持体である
鉄心上に被覆されて設けられた表面にＮ極とＳ極の極性
を持ったゴム磁石により前記グラビア印刷時に剛体ロー
ルの表面に印加磁界を付与するとともに、前記印加磁界
の方向を前記剛体ロールの表面に対して平行方向に付与
する積層電子部品の製造方法。