JP3107515U - Wayfa Box career - Google Patents

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Abstract

【課題】カバーとキャリア本体との間に一収納空間を形成させて該ウェイファ・ボックスを収納し、キャリアの垂直方向及び水平方向の耐震効果を得ることができるウェイファ・ボックスのキャリアを提供する。
【解決手段】少なくとも一個のウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、キャリア本体上に設けられ、キャリアとの間に収納空間を形成して該ウェイファ・ボックスを収容するカバーと、キャリア本体上に取付けられ、斜方向にショック・アブソーバを有し、これによりキャリアの耐震効果を得るショック・プルーフ装置とを備える。
【選択図】図１A carrier for a wafer box is provided in which a storage space is formed between a cover and a carrier body to store the wafer box, and the vertical and horizontal earthquake resistance effects of the carrier can be obtained.
A carrier body on which at least one wafer box is mounted, a cover provided on the carrier body, forming a storage space between the carrier and housing the wafer box, and mounted on the carrier body And a shock proof device having a shock absorber in an oblique direction, thereby obtaining an earthquake resistance effect of the carrier.
[Selection] Figure 1

Description

本考案は、キャリア本体と、カバーと、ショック・プルーフ装置とを備えてなるウェイファ・ボックスのキャリアである。本考案により提供されたウェイファ・ボックスのキャリアを利用すれば、ウェイファ・ボックスのキャリアをより安全かつ便利にウェイファ・ボックスを運送することができる。   The present invention is a carrier for a wafer box comprising a carrier body, a cover, and a shock proof device. If the carrier of the wafer box provided by the present invention is used, the carrier of the wafer box can be transported more safely and conveniently.

一般に１２”前開式ウェイファ・ボックスは、半導体前段の製造プロセスに使用された統一制ウェイファ・ボックス（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ、Ｆｏｕｐ）で、ウェイファ・ボックスが比較的傷を受けて瑕疵を生ずるようなことが容易でないのが利点であり、また他に室外から半導体後段の封測工場に搬送する過程において外界と接触しなければならず、そしてチップへの切片プロセス及び封装テストに用いられる運送用ウェイファ・ボックス（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ：ＦＯＳＢ）があり、その中ＦＯＳＢは室外に搬送する時に通常プッシング・カーに置く必要があるが、一般のプッシング・カーの車両部分は防震の設計があるにもかかわらず効果が悪く、たとえ市場に既に存在している既存の防震キャスタを使用しても、なお震動方向が僅かに単一の垂直方向のみに局限されている問題が存在している。   Generally, a 12 "front-open type wafer box is a unified opener pod (Front Opening Unified pod, Foop) used in the manufacturing process of the front stage of the semiconductor. In addition, it must be in contact with the outside world in the process of being transported from outside the room to the sealing factory behind the semiconductor, and the transport wafer used for the chip sectioning process and the sealing test. Although there is a box (Front Opening Shipping Box: FOSB), the FOSB usually needs to be placed in a pushing car when transported outside the room, but the vehicle part of a general pushing car has a seismic design Ineffective, even if already on the market Using an existing BoShin casters are still problems vibration direction is slightly localized to only a single vertical direction is present.

図１は先行技術の耐震キャスタの側面見取図である。この図に示すようにこの耐震キャスタ１０には、ショック・アブソーバ１１とローラ１２とが備えてあり、ローラ１２の軸心１３は挟長凹溝において、プッシング・カーを搭載した時の耐震効果に到達するように単一の垂直方向ＶＤ移動を進行する。   FIG. 1 is a side view of a prior art seismic caster. As shown in this figure, the earthquake-resistant caster 10 is provided with a shock absorber 11 and a roller 12. The shaft center 13 of the roller 12 is a narrow groove, which is effective for the earthquake-proof effect when a pushing car is mounted. Proceed with a single vertical VD movement to reach.

しかしながら、該プッシング・カーに対して水平移動を行った時、必ず水平方向の震動が起こる。従って、単一の垂直方向ＶＤのショック・アブソーバ１１の設計は極めて理想的でない。   However, horizontal motion always occurs when the pusher car is moved horizontally. Therefore, the design of a single vertical VD shock absorber 11 is not very ideal.

また、一般にトラックを利用して後段の製造プロセスに運送する場合、通常不透明な薄黒色の金属真空袋でウェイファ・ボックスを封装し、緩衝材に合わせて紙箱に装入されるので、運送して来たウェイファに破片が発生すると、この破片は前段結束後の運送前に既に破れたものか、又は工人が不当の方式で搬送したための破片であるか見当がつかない。   In general, when transporting to a subsequent manufacturing process using a truck, the wafer box is usually sealed with an opaque, light black metal vacuum bag and loaded into a paper box according to the cushioning material. When fragments are generated in the incoming wayfa, it is unclear whether the fragments have already been broken before transporting after the previous stage bundling, or if the fragments have been transported in an illegal manner by the engineer.

即ち、如何なる過程においてもすべてウェイファの状況をはっきり見るのが容易でないばかりでなく、このよく保護されていない品質のいくつかの問題についてどうしてよいか見当がつかない。また後段工場内に使用されているプッシング・カーにおいては、トラックを利用して該プッシング・カーを運送すると、該プッシング・カー上に前記耐震効果の情況が発生しており、改善しなければならない所である。   That is, not only is it not easy to clearly see the situation of the wafer in any process, but I have no idea what to do with some of this unprotected quality issue. Moreover, in the pushing car used in the latter-stage factory, when the pushing car is transported using a truck, the situation of the seismic effect is generated on the pushing car and must be improved. It is a place.

本考案の主たる目的は、カバーを該キャリア本体上に取付けることにより、該カバーと該キャリア本体との間に一収納空間を形成させて該ウェイファ・ボックスを収容することにある。   The main object of the present invention is to accommodate the wafer box by forming a storage space between the cover and the carrier body by mounting a cover on the carrier body.

本考案の次の目的は、ショック・プルーフ装置の一斜方向ショック・アブソーバを使用することにより該キャリアの垂直方向及び水平方向の耐震効果を得ることにある。   The next object of the present invention is to obtain the vertical and horizontal seismic effect of the carrier by using the one-shock shock absorber of the shock proof device.

本考案の又次の目的は、カバーの第一及び第二のカバー・プレートを運用して該キャリア内の第一及び第二のウェイファ・ボックスを被せることにある。   A further object of the invention is to operate the first and second cover plates of the cover to cover the first and second wafer boxes in the carrier.

上記目的を達成するために提供される本考案のウェイファ・ボックスのキャリアは、少なくとも一個のウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、このキャリア本体上に設けられ、該キャリアとの収納空間を形成して該ウェイファ・ボックスを収容するカバーと、該キャリア本体上に取付けられ、傾斜方向にショック・アブソーバを有し、これにより該キャリアの耐震効果を得るショック・プルーフ装置とを備えてなる（請求項1に対応）。   A carrier of a wafer box of the present invention provided to achieve the above object is provided with a carrier body on which at least one wafer box is mounted, and is provided on the carrier body to form a storage space with the carrier. And a shock proof device that is mounted on the carrier body and has a shock absorber in an inclined direction, thereby obtaining a seismic effect of the carrier. 1).

上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、該キャリアのカバーは、該キャリア内の第一及び第二のウェイファ・ボックスを被せる第一及び第二のカバー・プレートを有すると共に、このカバーは淡黄色の透明カバーである（請求項２に対応）。   In the wafer box carrier of the present invention, the carrier cover has first and second cover plates for covering the first and second wafer boxes in the carrier, and the cover is light yellow. Transparent cover (corresponding to claim 2).

また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、該ウェイファ・ボックスはＦｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ：ＦＯＳＢであり、そして該第一のカバープレートは該第二のカバープレートの開閉を固定する固定部材を有しており、該第一及び該第二のカバープレートには、該第一及び第二のカバープレートを第一及び第二の開閉位置に回転するように、それぞれ第一及び第二のカバー・プレート軸が取付けられてあり、前記第二のカバープレートには、該第二のカバープレートを接続する接続板片が取付けられてあり、前記第二の開閉位置は水平位置であり、該第一及び前記第二のカバープレートは該第一及び該第二のカバープレートの開閉に寄与するようにそれぞれ第一及び第二の開閉ハンドルを備え、該カバープレートは該第一のカバープレートを支持するための支持気圧棒を備え、該キャリア本体は該第二のカバープレートが滑入して隠されるように収容される収容底槽を備え、該キャリア本体は該第二のウェイファ・ボックスが該キャリア本体に置き易いように活動隔板を備え、及び、該キャリア本体は該キャリア本体を押動するプッシュ・ロッドを有しており、かつ該第一及び第二のカバー・プレートはいずれも抗静電処理が施されている（請求項３に対応）。   In the carrier of the present invention, the wafer box is a front opening shipping box (FOSB), and the first cover plate has a fixing member for fixing the opening and closing of the second cover plate. And the first and second cover plates respectively rotate the first and second cover plates to first and second open / close positions, respectively. A shaft is attached, the second cover plate is attached with a connecting plate piece for connecting the second cover plate, the second open / close position is a horizontal position, and the first and The second cover plate includes first and second opening / closing handles to contribute to opening and closing of the first and second cover plates, respectively. The cover plate includes a support air pressure rod for supporting the first cover plate, and the carrier body includes an accommodation bottom tank that is accommodated so that the second cover plate is slid and hidden. The body includes an active diaphragm to facilitate placement of the second wafer box on the carrier body, and the carrier body has a push rod that pushes the carrier body and the first Both the second cover plate and the second cover plate are subjected to anti-static treatment (corresponding to claim 3).

また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、該ショック・プルーフ装置はローラを備え、該斜方向ショック・アブソーバは第一の位置決軸と該ローラとの間に固定的に設置され、そして、当該斜方向ショック・アブソーバは該第一の位置決軸を第一の回転軸とし、該ショック・プルーフ装置には１固定基座及び２回動板片があり、該２回動板片は該固定基座と該ローラとの間に固定的に設置され、該回動板片は該固定基座に設けられてある第二の位置決軸を第二の回転軸心とし、そして該ローラには該回動板片を連接するローラ軸が設けられてあり、前記ショック・プルーフ装置の該２回動板片には該２回動板片の運動強度を補強する補強リングが設けられていると共に、該固定基座には前記第一の位置決軸を固定する位置決軸板が設けられてあり、及び、該ローラには前記斜方向ショック・アブソーバを固定的に設置する延長軸心が備えられてある（請求項４に対応）。   In the carrier of the present invention, the shock proof device includes a roller, the oblique shock absorber is fixedly installed between the first positioning shaft and the roller, and The oblique shock absorber has the first positioning axis as a first rotation axis, and the shock proof device has one fixed base and two rotating plate pieces, A fixed base is disposed between the fixed base and the roller, and the rotating plate piece has a second positioning axis provided on the fixed base as a second rotational axis, and the roller Is provided with a roller shaft for connecting the rotating plate pieces, and the two rotating plate pieces of the shock proof device are provided with a reinforcing ring for reinforcing the motion strength of the two rotating plate pieces. And a position for fixing the first positioning shaft to the fixed base. Axis plate Yes provided, and, in the roller (corresponding to claim 4) which extend axis is are provided to place the oblique shock absorber fixedly.

また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、該キャリアはプッシング・カーであり、このキャリア本体は該キャリアを運送車両上に固定させる位置決機構を備え、及び、該キャリア本体には、当該キャリア本体の側部が打撃されないように第一及び第二の防衝撃辺条が取付けられてある（請求項５に対応）。   In the carrier of the present invention, the carrier is a pushing car, the carrier body is provided with a positioning mechanism for fixing the carrier on a transport vehicle, and the carrier body includes the carrier. First and second shock-proof edges are attached so that the side of the main body is not hit (corresponding to claim 5).

また上記本考案のウェイファ・ボックスは、少なくとも１ウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、該キャリア本体上に設けられ、当該キャリアとの間に収納空間を形成して該ウェイファ・ボックスを収容するカバーと、該キャリアに耐震効果を得らさせるよう該キャリア本体上に取付けられたショック・プルーフ装置と、を備えてなる（請求項６に対応）。   The wafer box according to the present invention includes a carrier body on which at least one waya box is mounted, and a cover that is provided on the carrier body and that forms a storage space between the carrier body and accommodates the wafer box. And a shock proof device mounted on the carrier body so as to obtain an earthquake resistance effect for the carrier (corresponding to claim 6).

また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、前記ショック・プルーフ装置は耐震効果が得られるように、斜方向ショック・アブソーバを備えている（請求項７に対応）。   In the carrier of the present invention, the shock proof device is provided with an oblique shock absorber so as to obtain a seismic effect (corresponding to claim 7).

また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、少なくとも１ウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、該キャリア本体上に取付けられたショック・プルーフ装置と、該キャリアに耐震効果を得らさせるよう該ショック・プルーフ装置上に取付けられた斜方向ショック・アブソーバと、を備えてなる（請求項８に対応）。   Further, in the carrier of the above-described wafer box of the present invention, the carrier body on which at least one waya box is mounted, the shock proof device mounted on the carrier body, and the shock so that the carrier has an anti-seismic effect. An oblique shock absorber mounted on the proof device (corresponding to claim 8).

また上記本考案のウェイファ・ボックスのキャリアにおいて、該ウェイファ・ボックスのキャリアはさらに、該キャリア本体上に取付けられ、該カバーと該キャリア本体との間に該ウェイファ・ボックスのキャリアを収容するための収納空間が形成されている（請求項９に対応）。   In the above-described wafer box carrier of the present invention, the carrier of the wafer box is further mounted on the carrier body, and the carrier of the wafer box is received between the cover and the carrier body. A storage space is formed (corresponding to claim 9).

したがって、ウェイファ・ボックスのキャリアがウェイファ・ボックスを運送する時の安定性及び透明化を向上させて、単一垂直方向の耐震の局限及びテープ緊縛の情況を克服するために考案人により実験及び研究を重ねた結果、ついに効果的に前記問題、即ち、ウェイファ・ボックスのプッシング・カーが単一の垂直方向のみに防震できる欠点を解消した他、ウェイファ・ボックスのキャリアが同時に垂直方向及び水平方向の耐震機能を同時に兼備することができた。   Therefore, experiment and research by the inventor to overcome the situation of single vertical seismic localization and tape binding, improving the stability and transparency when the carrier of wayfa box transports the wayfa box. As a result, the above problem, that is, the problem that the pusher car of the wayfa box can be quake-proofed only in a single vertical direction, is eliminated, and the carrier of the wayfa box is simultaneously installed in the vertical and horizontal directions. We were able to combine the earthquake resistance function at the same time.

本考案は上記アイディアの解説から判るように、運用されたウェイファ・ボックスのキャリアを観察すると、確かにカバーを該キャリア本体上に取付けることにより、該カバーと該キャリア本体との間に収納空間が形成されて該ウェイファ・ボックスを収容できる。かつ、斜方向ショック・アブソーバを具備していることにより、キャリアの垂直方向及び水平方向への耐震効果を得ることができる。
以下、実施例を挙げて添付図面を参照しながら、その技術的手段を詳細に説明する。 As can be seen from the above explanation of the idea, when the carrier of the operated wafer box is observed, the storage space is surely provided between the cover and the carrier body by attaching the cover on the carrier body. Formed to accommodate the wafer box. In addition, since the oblique direction shock absorber is provided, it is possible to obtain a seismic effect in the vertical and horizontal directions of the carrier.
Hereinafter, the technical means will be described in detail with reference to the accompanying drawings by way of examples.

図２は、本考案に係るウェイファ・ボックスのキャリアの好適な実施例の立体見取図である。この図２に示すように、該ウェイファ・ボックスのキャリア２０は、少なくとも１ウェイファ・ボックス２２を搭載するキャリア本体２１と、キャリア本体２１上に取付けられ、キャリア２１との間にウェイファ・ボックス２２を収容するための収納空間２４が形成されているカバー２３と、キャリア本体２１上に取付けられ、キャリア２０に耐震効果を得させるように斜方向ショック・アブソーバ２６が取付けられているショック・プルーフ装置２５とを備えてなる。   FIG. 2 is a three-dimensional sketch of a preferred embodiment of the carrier of the wafer box according to the present invention. As shown in FIG. 2, the carrier 20 of the wafer box includes a carrier body 21 on which at least one wafer box 22 is mounted, and is mounted on the carrier body 21, and the wafer box 22 is interposed between the carrier 21 and the carrier body 21. A cover 23 in which a storage space 24 for storage is formed, and a shock proof device 25 which is mounted on the carrier body 21 and in which an oblique shock absorber 26 is mounted so that the carrier 20 can obtain an anti-seismic effect. And comprising.

図３は、図2のウェイファ・ボックスのキャリアの活動隔板を反転した立体見取図である。この図３に示すように、キャリア２０のカバー２３は、キャリア２０内の第一及び第二のウェイファ・ボックス２２、２３を被せるための第一及び第二のカバー３０、３１を有し、そして淡黄色透明カバーをなしている。この淡黄色透明カバーにより、破片の有否及び適当に数え上げた数量をはっきり見極めることができる。また、この黄色透明カバーの使用により、金属真空袋、ポリロン及び紙箱等の材料の消耗を最小限に低限することができる。   FIG. 3 is a three-dimensional sketch in which the active diaphragm of the carrier of the wafer box of FIG. 2 is inverted. As shown in FIG. 3, the cover 23 of the carrier 20 has first and second covers 30, 31 for covering the first and second wafer boxes 22, 23 in the carrier 20, and It has a light yellow transparent cover. With this light yellow transparent cover, it is possible to clearly determine the presence or absence of debris and the quantity counted appropriately. In addition, the use of this yellow transparent cover can minimize the consumption of materials such as metal vacuum bags, polylons, and paper boxes.

ウェイファ・ボックス２２はＦｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ：ＦＯＳＢであり、第一のカバー３０には第二のカバープレート３１の開閉を固定する固定部材３３が備えられている。   The wafer box 22 is a front opening shipping box (FOSB), and the first cover 30 is provided with a fixing member 33 that fixes the opening and closing of the second cover plate 31.

図４は、図２のウェイファ・ボックスのキャリアのカバーが閉合を完成した後の立体見取図である。この図４に示すように、第一及び第二のカバープレート３０、３１を第一及び第二の開閉位置３４、３５に回転するように、それぞれ第一及び第二のカバー・プレート軸４０、４１が取付けられている。第二のカバープレート３１は、第二のカバープレート軸４１を接続する接続板片４２が取付けられており、第二の開閉位置は水平位置である。第一及び第二のカバープレート３０、３１の開閉に寄与するようにそれぞれ第一及び第二の開閉ハンドル４３、４４を備えている。   4 is a three-dimensional sketch after the cover of the carrier of the wafer box of FIG. 2 has been closed. As shown in FIG. 4, the first and second cover plate shafts 40, 40 are respectively rotated to rotate the first and second cover plates 30, 31 to the first and second open / close positions 34, 35, respectively. 41 is attached. The second cover plate 31 is provided with a connecting plate piece 42 for connecting the second cover plate shaft 41, and the second opening / closing position is a horizontal position. First and second opening / closing handles 43 and 44 are provided to contribute to the opening and closing of the first and second cover plates 30 and 31, respectively.

キャリア２０の第一のカバープレートには第一のカバープレート３０を支持する支持気圧棒３６（図３参照）が取付けられている。キャリア本体２１は第二のカバープレート３１が滑入して隠されるように収容される収容底槽３７を備え、該キャリア本体２１は又第二のウェイファ・ボックス３２が下層に位置する第二のウェイファ・ボックスがキャリア本体２１に置き易いように４個の活動隔板３８を備えている。キャリア本体２１は該キャリア本体を押動するプッシュ・ロッド３９を有しており、かつ、第一及び第二のカバー・プレート３０、３１はいずれも抗静電処理が施されている。   A support air pressure rod 36 (see FIG. 3) for supporting the first cover plate 30 is attached to the first cover plate of the carrier 20. The carrier main body 21 includes an accommodation bottom tank 37 that is accommodated so that the second cover plate 31 is slid and hidden, and the carrier main body 21 also includes a second wafer box 32 in the second layer. Four activity partitions 38 are provided so that the wafer box can be easily placed on the carrier body 21. The carrier body 21 has a push rod 39 that pushes the carrier body, and the first and second cover plates 30 and 31 are both subjected to anti-static treatment.

図５は、図２におけるショック・アブソーバ装置を分解した見取図である。キャリア２０のショック・プルーフ装置２５はローラ５０を備え、斜方向ショック・アブソーバ２６は第一の位置決軸５１とローラ５０との間に固定的に設置され、そして、斜方向ショック・アブソーバ２６は該第一の位置決軸５１を第一の回転軸心としている。ショック・プルーフ装置２５には１固定基座５２及び２回動板片５３があり、該２回動板片５３は固定基座とローラとの間に固定的に設置されている。回動板片５２には第二の位置決軸５４が取付けられてあり、回動板片５３は固定基座５２に設けられてある第二の位置決軸５４を第二の回転軸心とし、そして該ローラ５０には該回動板片５３を連接するローラ軸５５が設けられている。   FIG. 5 is an exploded sketch of the shock absorber device in FIG. The shock proof device 25 of the carrier 20 includes a roller 50, the oblique shock absorber 26 is fixedly installed between the first positioning shaft 51 and the roller 50, and the oblique shock absorber 26 is The first positioning shaft 51 is the first rotation axis. The shock proof device 25 has one fixed base 52 and two rotating plate pieces 53. The two rotating plate pieces 53 are fixedly installed between the fixed base and the roller. A second positioning shaft 54 is attached to the rotating plate piece 52, and the rotating plate piece 53 uses the second positioning shaft 54 provided on the fixed base 52 as a second rotation axis. The roller 50 is provided with a roller shaft 55 that connects the rotating plate piece 53.

キャリア２０のショック・プルーフ装置の２回動板片５３には該２回動板片５３の運動強度を補強する補強リング５６が設けられていると共に、固定基座５２には第一の位置決軸５１を固定する位置決軸板５７が設けられてある。また、ローラ５０には斜方向ショック・アブソーバ２６を固定的に設置する延長軸心５８が備えられてある。   The two-rotation plate piece 53 of the shock proof device of the carrier 20 is provided with a reinforcing ring 56 that reinforces the exercise strength of the two-rotation plate piece 53 and the fixed base 52 has a first positioning. A positioning shaft plate 57 for fixing the shaft 51 is provided. Further, the roller 50 is provided with an extension shaft 58 on which the oblique shock absorber 26 is fixedly installed.

図６は、図２におけるウェイファ・ボックスのキャリアの位置決機構の立体見取図である。図６に示すように、キャリア２０はプッシング・カーであり、そして該キャリア本体２１は、該キャリア２０を一運送車両上に固定させる２位置決機構６０を備えている。キャリア本体２０には、当該キャリア本体の側部が打撃されないように第一及び第二の防衝撃辺条４５、４６が取付けられてある。また、該固定基座５２には、第一及び第二の回転方向Ｔ１、Ｔ２がある。   FIG. 6 is a three-dimensional sketch of the carrier positioning mechanism of the wafer box in FIG. As shown in FIG. 6, the carrier 20 is a pushing car, and the carrier body 21 includes a two-positioning mechanism 60 that fixes the carrier 20 on a single transportation vehicle. The carrier body 20 is provided with first and second shock-proof edges 45 and 46 so that the side of the carrier body is not hit. The fixed base 52 has first and second rotational directions T1 and T2.

なお、本考案の他のアスペクトによれば、本考案に係る他のウェイファ・ボックスのキャリアは、少なくとも１ウェイファ・ボックス２２を搭載するキャリア本体２１と、キャリア本体２１上に設けられ、当該キャリア本体２１との間に収納空間を形成してウェイファ・ボックス２２を収容するカバー２３と、該キャリア２０に耐震効果を得らさせるようキャリア本体２１上に取付けられたショック・プルーフ装置２５とを備えてなる。当然として、この場合のキャリア２０のショック・プルーフ装置２５は耐震効果を得る斜方向ショック・アブソーバ２６を備えている。   According to another aspect of the present invention, the carrier of another wayfa box according to the present invention is provided on the carrier body 21 and the carrier body 21 on which at least one wayfa box 22 is mounted. A cover 23 for accommodating the wafer box 22 by forming a storage space between the carrier 21 and a shock proof device 25 mounted on the carrier body 21 so that the carrier 20 can obtain an anti-seismic effect. Become. As a matter of course, the shock proof device 25 of the carrier 20 in this case is provided with an oblique shock absorber 26 for obtaining an earthquake resistance effect.

なお、本考案の他のアスペクトによれば、本考案に係る他のウェイファ・ボックスのキャリアは、少なくとも１ウェイファ・ボックス２２を搭載するキャリア本体２１と、キャリア本体２１上に取付けられたショック・プルーフ装置２５と、キャリア２０に耐震効果を得らさせるよう該ショック・プルーフ装置２５上に取付けられた斜方向ショック・アブソーバ２６とを備えてなる。当然として、この場合のキャリア２０はキャリア本体２１に取付けられたカバー２３を備えてもよく、このカバー２３とキャリア本体２１との間に収納空間２４を形成させてウェイファ・ボックスを収容することができる。   According to another aspect of the present invention, the carrier of another wayfa box according to the present invention includes a carrier main body 21 on which at least one wayfa box 22 is mounted, and a shock proof attached on the carrier main body 21. It comprises a device 25 and an oblique shock absorber 26 mounted on the shock proof device 25 so as to allow the carrier 20 to obtain a seismic effect. As a matter of course, the carrier 20 in this case may be provided with a cover 23 attached to the carrier body 21, and a storage space 24 may be formed between the cover 23 and the carrier body 21 to accommodate the wafer box. it can.

要するに本考案は確実に一新規の方式で、該キャリア本体上に取付けられたカバーを利用すれば、該カバーとキャリア本体との間に収納空間を形成することにより該ウェイファ・ボックスを収容することができる。同時に、運用されたショック・プルーフ装置の一斜方向のショック・アブソーバは十分にキャリアの垂直方向及び水平方向の耐震効果を得ることができ、工業上の生産に極めて適合する。   In short, the present invention is certainly a novel method, and if a cover mounted on the carrier body is used, the wafer box can be accommodated by forming a storage space between the cover and the carrier body. Can do. At the same time, the oblique shock absorber in the oblique direction of the operated shock proof device can sufficiently obtain the vertical and horizontal seismic effect of the carrier and is very suitable for industrial production.

また上記実施例は、本考案の技術的手段をより具体的に説明するために挙げたもので、当然本考案の技術的思想はこれに限定されるべきでなく、添付クレームの範囲を逸脱しない限り、当業者による単純な設計変更、付加、修飾、置換等はいずれも本考案の技術的範囲に属する。   Further, the above-described embodiments are given to explain the technical means of the present invention more specifically. Naturally, the technical idea of the present invention should not be limited to this, and does not depart from the scope of the appended claims. Insofar, simple design changes, additions, modifications, substitutions, etc. by those skilled in the art are all within the technical scope of the present invention.

従来技術の耐震キャスタの側面見取図である。It is a side sketch of a conventional earthquake-resistant caster. 本考案に係るウェイファ・ボックスのキャリアの好適な実施例の立体見取図である。FIG. 3 is a three-dimensional sketch of a preferred embodiment of the carrier of the wafer box according to the present invention. 図２におけるウェイファ・ボックスのキャリアの活動隔片が反転された立体見取図である。FIG. 3 is a three-dimensional sketch in which the activity piece of the carrier of the wafer box in FIG. 2 is inverted. 図２におけるウェイファ・ボックスのキャリアのカバー閉合完成後の立体見取図である。FIG. 3 is a three-dimensional sketch after completion of cover closing of the carrier of the wafer box in FIG. 2. 図２におけるショック・プルーフ装置の分解見取図である。FIG. 3 is an exploded sketch of the shock proof device in FIG. 2. 図２におけるウェイファ・ボックスのキャリアの位置決機構の立体見取図である。FIG. 3 is a three-dimensional sketch of the carrier positioning mechanism of the wafer box in FIG. 2.

符号の説明Explanation of symbols

１０ キャスタ
１１ ショックアブゾーバ
１２ ローラ
２０ キャリア
２２, ３２ ウエイファ ボックス
３０, ３１ 第１、第２のカバー
４０, ４１ 第１、第２のカバプレート軸 10 Casters 11 Shock absorbers 12 Rollers 20 Carriers 22 and 32 Wafer boxes 30 and 31 First and second covers 40 and 41 First and second cover plate shafts

Claims (9)

少なくとも一個のウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、
前記キャリア本体上に設けられ、該キャリアとの間に収納空間を形成して該ウェイファ・ボックスを収容するカバーと、
前記キャリア本体上に取付、斜方向にショック・アブソーバを有し、これにより該キャリアの耐震効果を得るショック・プルーフ装置とを備えてなるウェイファ・ボックスのキャリア。 A carrier body carrying at least one wayfa box; and
A cover that is provided on the carrier body and that forms a storage space with the carrier to accommodate the wafer box;
A carrier for a wafer box comprising a shock proof device mounted on the carrier body and having a shock absorber in an oblique direction so as to obtain a seismic effect of the carrier. 前記カバーは前記キャリア内の第一及び第二のウェイファ・ボックスを被せる第一及び第二のカバー・プレートを有すると共に、このカバーは淡黄色の透明カバーである請求項１記載のウェイファ・ボックスのキャリア。   2. The wafer box of claim 1, wherein the cover has first and second cover plates for covering first and second wafer boxes in the carrier, and the cover is a light yellow transparent cover. Career. 前記ウェイファ・ボックスはＦｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ（ＦＯＳＢ）であり、そして前記第一のカバープレートは第二のカバープレートの開閉を固定する固定部材を有しており、
前記第一及び第二のカバープレートには、該第一及び第二のカバープレートを第一及び第二の開閉位置に回転するように、それぞれ第一及び第二のカバー・プレート軸が取付けられてあり、
前記第二のカバープレートには、前記第二のカバープレートを接続する接続板片が取付けられてあり、前記第二の開閉位置は水平位置であり、
前記第一及び前記第二のカバープレートは該第一及び該第二のカバープレートの開閉に寄与するようにそれぞれ第一及び第二の開閉ハンドルを備え、
前記第一カバープレートは該第一のカバープレートを支持するための支持気圧棒を備え、前期キャリア本体は該第二のカバープレートが滑入して隠されるように収容される収容底槽を備え、
前記キャリア本体は該第二のウェイファ・ボックスが該キャリア本体に置き易いように活動隔板を備え、及び、
前記キャリア本体は該キャリア本体を押動するプッシュ・ロッドを有しており、かつ該第一及び第二のカバー・プレートはいずれも抗静電処理が施されている請求項２記載のウェイファ・ボックスのキャリア。 The wafer box is a front opening shipping box (FOSB), and the first cover plate has a fixing member for fixing opening and closing of the second cover plate,
First and second cover plate shafts are attached to the first and second cover plates, respectively, so as to rotate the first and second cover plates to the first and second open / close positions. And
The second cover plate is attached with a connecting plate piece for connecting the second cover plate, and the second opening / closing position is a horizontal position,
The first and second cover plates are respectively provided with first and second opening / closing handles so as to contribute to the opening and closing of the first and second cover plates,
The first cover plate includes a support bar for supporting the first cover plate, and the carrier body includes a storage bottom tank that is stored so that the second cover plate is slid and hidden. ,
The carrier body includes an active divider to facilitate placement of the second wafer box on the carrier body; and
3. The wafer and Box career. 前記ショック・プルーフ装置はローラを備え、斜方向ショック・アブソーバは第一の位置決軸と該ローラとの間に固定的に設置され、
そして、斜方向ショック・アブソーバは該第一の位置決軸を第一の回転軸とし、
前記ショック・プルーフ装置には１固定基座及び２回動板片があり、該２回動板片は前記固定基座と前記ローラとの間に固定的に設置され、該回動板片は該固定基座に設けられてある第二の位置決軸を第二の回転軸心とし、そして該ローラには該回動板片を連接するローラ軸が設けられてあり、
前記ショック・プルーフ装置の前記２回動板片には該２回動板片の運動強度を補強する補強リングが設けられていると共に、該固定基座には前記第一の位置決軸を固定する位置決軸板が設けられてあり、及び、
前記ローラには前記斜方向ショック・アブソーバを固定的に設置する延長軸心が備えられてある請求項１記載のウェイファ・ボックスのキャリア。 The shock proof device includes a roller, and the oblique shock absorber is fixedly installed between the first positioning shaft and the roller.
The oblique shock absorber uses the first positioning axis as the first rotation axis,
The shock proof device has one fixed base and two rotating plate pieces, and the two rotating plate pieces are fixedly installed between the fixed base and the roller. The second positioning shaft provided on the fixed base is a second rotational axis, and the roller is provided with a roller shaft that connects the rotating plate pieces,
A reinforcing ring that reinforces the exercise strength of the two rotating plate pieces is provided on the two rotating plate pieces of the shock proof device, and the first positioning shaft is fixed to the fixed base. A positioning shaft is provided, and
2. A carrier for a wafer box according to claim 1, wherein said roller is provided with an extension shaft for fixedly installing said oblique shock absorber. 前記キャリアはプッシング・カーであり、該キャリア本体は該キャリアを運送車両上に固定させる位置決機構を備え、及び、
前記キャリア本体には、当該キャリア本体の側部が打撃されないように第一及び第二の防衝撃辺条が取付けられてある請求項１記載のウェイファ・ボックスのキャリア。 The carrier is a pushing car, and the carrier body includes a positioning mechanism for fixing the carrier on a carrying vehicle; and
2. The carrier of a wafer box according to claim 1, wherein first and second shock-proof edges are attached to the carrier body so that the side of the carrier body is not hit. 少なくとも１ウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、
前記キャリア本体上に設けられ、キャリア本体との間に収納空間を形成して該ウェイファ・ボックスを収容するカバーと、
前記キャリアに耐震効果を得らさせるよう該キャリア本体上に取付けられたショック・プルーフ装置と、
を備えてなるウェイファ・ボックスのキャリア。 A carrier body carrying at least one way box;
A cover that is provided on the carrier body and that forms a storage space between the carrier body and accommodates the wafer box;
A shock proof device mounted on the carrier body so as to provide the carrier with an anti-seismic effect;
Weifa box carrier with 前記ショック・プルーフ装置は耐震効果が得られるように、斜方向ショック・アブソーバを備えている請求項６記載のウェイファ・ボックスのキャリア。   7. The carrier of a wafer box according to claim 6, wherein the shock proof device is provided with an oblique shock absorber so as to obtain a seismic effect. 少なくとも１ウェイファ・ボックスを搭載するキャリア本体と、
前記キャリア本体上に取付けられたショック・プルーフ装置と、
該キャリアに耐震効果を得らさせるよう該ショック・プルーフ装置上に取付けられた斜方向ショック・アブソーバと、
を備えてなるウェイファ・ボックスのキャリア。 A carrier body carrying at least one way box;
A shock proof device mounted on the carrier body;
An oblique shock absorber mounted on the shock proof device to cause the carrier to have a seismic effect;
Weifa box carrier with 前記ウェイファ・ボックスのキャリアはさらに、前記キャリア本体上に取付けられ、前記カバーと前記キャリア本体との間に該ウェイファ・ボックスのキャリアを収容するための収納空間が形成されている請求項８記載のウェイファ・ボックスのキャリア。   9. The carrier of the wafer box is further mounted on the carrier body, and a storage space for receiving the carrier of the wafer box is formed between the cover and the carrier body. Wayfa box career.
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