JP3107071B2 - 電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体 - Google Patents
電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体Info
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子部品の外観検査
方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに
実現させるためのプログラムを記録した記録媒体に関
し、特に、電子部品のパッケージ等の表面にできた欠陥
を外観から検査するための、電子部品の外観検査方法、
外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現さ
せるためのプログラムを記録した記録媒体に関する。
方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに
実現させるためのプログラムを記録した記録媒体に関
し、特に、電子部品のパッケージ等の表面にできた欠陥
を外観から検査するための、電子部品の外観検査方法、
外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現さ
せるためのプログラムを記録した記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、電子部品の外観検査方法とし
て、電子部品のパッケージ表面にできた小さな穴（以
下、ボイドとする）等の製造工程上の欠陥を自動的に検
出する検査方法や検査装置がある。
て、電子部品のパッケージ表面にできた小さな穴（以
下、ボイドとする）等の製造工程上の欠陥を自動的に検
出する検査方法や検査装置がある。
【０００３】第１従来例の検査方法として、特開平５−
２８０９５８号公報には、検査対象の表面を撮影した画
像を、複数の単位領域に分割し、これら各単位領域にお
ける濃淡レベルの平均値で二値化処理し、撮影画像の反
射率が小さい領域の形状から、欠陥の有無を判定する方
法が開示されており、当該公報記載の技術を第１従来例
として説明する。
２８０９５８号公報には、検査対象の表面を撮影した画
像を、複数の単位領域に分割し、これら各単位領域にお
ける濃淡レベルの平均値で二値化処理し、撮影画像の反
射率が小さい領域の形状から、欠陥の有無を判定する方
法が開示されており、当該公報記載の技術を第１従来例
として説明する。
【０００４】図９は第１従来例の欠陥検査装置のブロッ
ク構成図である。
ク構成図である。
【０００５】図９において、レーザー光源２０から出射
した走査ビームは検査対象１０の表面に照射される。こ
の反射光は受光器２８へ導かれ、画像信号ａ１，ａ２と
して出力される。画像信号ａ１，ａ２は加算手段３２、
Ａ／Ｄ変換手段３４、濃度変換手段３６、微分フィルタ
３８を経て欠陥の輪郭を強調した信号ａ５として出力さ
れる。この信号ａ５は欠陥アドレス検出手段４０によっ
て欠陥アドレス信号Ａｄが求められる一方、信号ａ５は
２値化処理手段４２で２値化処理され、欠陥領域抽出手
段４８で欠陥アドレスＡｄを基準として欠陥領域を抽出
して欠陥画像信号Ａ２として出力される。
した走査ビームは検査対象１０の表面に照射される。こ
の反射光は受光器２８へ導かれ、画像信号ａ１，ａ２と
して出力される。画像信号ａ１，ａ２は加算手段３２、
Ａ／Ｄ変換手段３４、濃度変換手段３６、微分フィルタ
３８を経て欠陥の輪郭を強調した信号ａ５として出力さ
れる。この信号ａ５は欠陥アドレス検出手段４０によっ
て欠陥アドレス信号Ａｄが求められる一方、信号ａ５は
２値化処理手段４２で２値化処理され、欠陥領域抽出手
段４８で欠陥アドレスＡｄを基準として欠陥領域を抽出
して欠陥画像信号Ａ２として出力される。
【０００６】この欠陥の判定方法としては、検査対象１
０の微分画像に基づいて欠陥のアドレスを求め、２値化
処理手段４２において、微分画像全体の濃淡レベル分布
から求められた第１の閾値ＴＨ１と、注目画素の近傍領
域の濃淡レベル平均値から得られた第２の閾値ＴＨ２と
から、ＴＨ３＝ＴＨ１−ｋ（ＴＨ１−ＴＨ２）として第
３の閾値ＴＨ３を求め、欠陥領域抽出手段４８におい
て、閾値ＴＨ３より濃淡レベルが小さい画素の位置に対
応する検査対象１０の表面に欠陥があると判断してい
た。
０の微分画像に基づいて欠陥のアドレスを求め、２値化
処理手段４２において、微分画像全体の濃淡レベル分布
から求められた第１の閾値ＴＨ１と、注目画素の近傍領
域の濃淡レベル平均値から得られた第２の閾値ＴＨ２と
から、ＴＨ３＝ＴＨ１−ｋ（ＴＨ１−ＴＨ２）として第
３の閾値ＴＨ３を求め、欠陥領域抽出手段４８におい
て、閾値ＴＨ３より濃淡レベルが小さい画素の位置に対
応する検査対象１０の表面に欠陥があると判断してい
た。
【０００７】図１０は図９の検査装置における各領域の
概念図である。
概念図である。
【０００８】図１０は、図９における検査対象１０を、
より具体的な電子部品２に置換した例を示したものであ
る。受光器２８の撮影画像は、電子部品２のパッケージ
２ａと端子２ｂの一部の領域を含んでいる。この内、パ
ッケージ２ａのみを含む領域が検査対象領域Ｒｔとな
る。撮影画像として撮影されたパッケージ２ａの画像に
は、パッケージ２ａにできた欠陥であるボイドＢと、パ
ッケージ２ａに捺印された捺印文字Ｔと、パッケージ２
ａ表面又は反射光によって生じたむらＰとが含まれてい
る、図１１は図９の欠陥検査装置における濃淡レベルＬ
ｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。図
１１は、図１０中のＸ−Ｘ線に沿ってレベルを見たもの
であり、撮影画像の濃淡レベルＬｃの左側の急激な凹部
はボイドＢを、右側のなだらかな凹部はむらＰを、中央
の３箇所の突起部分は捺印文字Ｔをそれぞれ示す。
より具体的な電子部品２に置換した例を示したものであ
る。受光器２８の撮影画像は、電子部品２のパッケージ
２ａと端子２ｂの一部の領域を含んでいる。この内、パ
ッケージ２ａのみを含む領域が検査対象領域Ｒｔとな
る。撮影画像として撮影されたパッケージ２ａの画像に
は、パッケージ２ａにできた欠陥であるボイドＢと、パ
ッケージ２ａに捺印された捺印文字Ｔと、パッケージ２
ａ表面又は反射光によって生じたむらＰとが含まれてい
る、図１１は図９の欠陥検査装置における濃淡レベルＬ
ｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。図
１１は、図１０中のＸ−Ｘ線に沿ってレベルを見たもの
であり、撮影画像の濃淡レベルＬｃの左側の急激な凹部
はボイドＢを、右側のなだらかな凹部はむらＰを、中央
の３箇所の突起部分は捺印文字Ｔをそれぞれ示す。
【０００９】ボイドＢでは、ピーク幅が狭く、濃淡レベ
ルＬｃが急激に変化するのに対し、むらＰはボイドＢに
比べピーク幅が広く、濃淡レベルＬｃが少しずつ変化す
る。又、捺印文字Ｔでは、ピーク幅は狭いが濃淡レベル
Ｌｃはパッケージ領域より高くなる。
ルＬｃが急激に変化するのに対し、むらＰはボイドＢに
比べピーク幅が広く、濃淡レベルＬｃが少しずつ変化す
る。又、捺印文字Ｔでは、ピーク幅は狭いが濃淡レベル
Ｌｃはパッケージ領域より高くなる。
【００１０】図１１中、濃淡レベルＬｃが二値化レベル
Ｌｓより大きい“１”レベルの領域がボイドがなく正常
と判定される領域、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓ
より小さい“０”レベルの領域が「ボイド有り」と判定
される領域である。
Ｌｓより大きい“１”レベルの領域がボイドがなく正常
と判定される領域、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓ
より小さい“０”レベルの領域が「ボイド有り」と判定
される領域である。
【００１１】図１１から明かな通り、むらＰでは、濃淡
レベルＬｃが広い範囲に亙って少し低下しているが、濃
淡レベルＬｃの平均値として求められる二値化レベルＬ
ｓもなだらかに変化している。
レベルＬｃが広い範囲に亙って少し低下しているが、濃
淡レベルＬｃの平均値として求められる二値化レベルＬ
ｓもなだらかに変化している。
【００１２】又、第２従来例の欠陥検査方法として、よ
り単純な処理方法として、パッケージ表面を撮影した画
像を、この画像全体に亙って一定の二値化レベルで二値
化処理し、撮影画像の反射率が小さい、二値化画像の
“０”レベルの領域の面積が予め設定した値以上の場合
に、「ボイド有り」と判定する方法がある。
り単純な処理方法として、パッケージ表面を撮影した画
像を、この画像全体に亙って一定の二値化レベルで二値
化処理し、撮影画像の反射率が小さい、二値化画像の
“０”レベルの領域の面積が予め設定した値以上の場合
に、「ボイド有り」と判定する方法がある。
【００１３】図１２は第２従来例の欠陥検査装置におけ
る濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性
線図である。図１２は、図１１と同様に図１０に示すパ
ッケージ２ａの撮影画像に対応したものであり、図１２
から明かな通り、二値化レベルＬｓは全領域に亙って一
定である。
る濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性
線図である。図１２は、図１１と同様に図１０に示すパ
ッケージ２ａの撮影画像に対応したものであり、図１２
から明かな通り、二値化レベルＬｓは全領域に亙って一
定である。
【００１４】このようにして、従来の欠陥検査方法及び
装置は、電子部品のパッケージ表面のボイド等の欠陥の
有無を判定していた。
装置は、電子部品のパッケージ表面のボイド等の欠陥の
有無を判定していた。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
欠陥検査方法及び装置には、以下のような問題があっ
た。
欠陥検査方法及び装置には、以下のような問題があっ
た。
【００１６】検査対象として電子部品２を用いた場合、
パッケージ２ａの画像信号ａ１，ａ２においては、図１
１，図１２に示すように、パッケージ２ａ表面に照射さ
れる照射光源１の光強度が方向や場所により異なってい
たり、パッケージ２ａの樹脂成分や表面状態が均一でな
かったり、パッケージ２ａの金型等から付着するしみ等
によって、表面の反射率が部分的に異なる場合がしばし
ばあり、このような場合は、撮影領域の一部において、
パッケージ２ａの画像信号ａ１，ａ２の濃淡レベルＬｃ
が他の部分と全体的に異なる、むらＰが発生し易くな
る。
パッケージ２ａの画像信号ａ１，ａ２においては、図１
１，図１２に示すように、パッケージ２ａ表面に照射さ
れる照射光源１の光強度が方向や場所により異なってい
たり、パッケージ２ａの樹脂成分や表面状態が均一でな
かったり、パッケージ２ａの金型等から付着するしみ等
によって、表面の反射率が部分的に異なる場合がしばし
ばあり、このような場合は、撮影領域の一部において、
パッケージ２ａの画像信号ａ１，ａ２の濃淡レベルＬｃ
が他の部分と全体的に異なる、むらＰが発生し易くな
る。
【００１７】よって、このむらＰとボイドＢとの濃淡画
像の濃淡レベルがほぼ同じ場合には、むらＰも二値化処
理後に“０”レベルの領域と判定されてしまうので、パ
ッケージ２ａにボイドがないにも拘らず、「ボイド有
り」と誤判定し易い問題があった。
像の濃淡レベルがほぼ同じ場合には、むらＰも二値化処
理後に“０”レベルの領域と判定されてしまうので、パ
ッケージ２ａにボイドがないにも拘らず、「ボイド有
り」と誤判定し易い問題があった。
【００１８】第１従来例の欠陥検査装置では、図１１に
示すように、各単位領域における濃淡レベルＬｃの平均
値を二値化レベルＬｓとして用いて二値化処理していた
が、この方法では、図１１中の捺印文字Ｔ付近では、捺
印文字Ｔの濃淡レベルＬｃが高いので、この濃淡レベル
Ｌｃの平均値である二値化レベルＬｓもこれに伴って必
要以上に高くなってしまい、この捺印文字Ｔ付近で「ボ
イド有り」と誤判定する問題があった。
示すように、各単位領域における濃淡レベルＬｃの平均
値を二値化レベルＬｓとして用いて二値化処理していた
が、この方法では、図１１中の捺印文字Ｔ付近では、捺
印文字Ｔの濃淡レベルＬｃが高いので、この濃淡レベル
Ｌｃの平均値である二値化レベルＬｓもこれに伴って必
要以上に高くなってしまい、この捺印文字Ｔ付近で「ボ
イド有り」と誤判定する問題があった。
【００１９】又、第２従来例の欠陥検査装置では、図１
２に示すように、単純に検査対象領域Ｒｔ全体に亙って
一定の二値化レベルＬｓで二値化処理していたが、この
方法では、図１２のむらＰ付近では、濃淡レベルＬｃが
全体的に低下するので、このむらＰ付近で「ボイド有
り」と誤判定する問題があった。
２に示すように、単純に検査対象領域Ｒｔ全体に亙って
一定の二値化レベルＬｓで二値化処理していたが、この
方法では、図１２のむらＰ付近では、濃淡レベルＬｃが
全体的に低下するので、このむらＰ付近で「ボイド有
り」と誤判定する問題があった。
【００２０】ここにおいて本発明は、電子部品のパッケ
ージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受
けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外
観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュ
ータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体
を提供する。
ージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受
けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外
観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュ
ータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体
を提供する。
【００２１】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明は次の新規な特徴的手法及び手段を採用す
る。
め、本発明は次の新規な特徴的手法及び手段を採用す
る。
【００２２】本発明の電子部品の外観検査方法の第１の
特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮
影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に
分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃
淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位
領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、
最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフ
セット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二
値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座
標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域
（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間
演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標におけ
る各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値
化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル
（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標に欠
陥が存在すると判定することにある。
特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮
影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に
分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃
淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位
領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、
最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフ
セット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二
値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座
標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域
（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間
演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標におけ
る各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値
化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル
（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標に欠
陥が存在すると判定することにある。
【００２３】本発明の電子部品の外観検査方法の第２の
特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮
影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に
分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃
淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位
領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、
最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフ
セット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二
値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座
標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域
（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間
演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標におけ
る各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値
化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル
（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標を求
め、求められた座標が連続する領域（図７のＲｌ１，Ｒ
ｌ２）にラベルを付与し、ラベルが付与された領域（Ｒ
ｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上である場
合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）内に
欠陥が有ると判定することにある。
特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮
影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に
分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃
淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位
領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、
最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフ
セット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二
値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座
標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域
（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間
演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標におけ
る各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値
化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル
（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標を求
め、求められた座標が連続する領域（図７のＲｌ１，Ｒ
ｌ２）にラベルを付与し、ラベルが付与された領域（Ｒ
ｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上である場
合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）内に
欠陥が有ると判定することにある。
【００２４】本発明の電子部品の外観検査装置の第１の
特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮
影する撮像手段（図１の１０３）と、撮影した画像を複
数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域
（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬ
ｃ）の分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布
算出手段（図１の１０６）と、各単位領域（Ｒｕ）内に
おける濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レ
ベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引
いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４
のＬｓ）を求めるサンプリング座標別二値化レベル算出
手段（図１の１０７）と、撮影した画像の各座標におけ
る二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）
における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によ
りそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段（図
１の１０８）と、撮影した画像の各座標における各濃淡
レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル
（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が
各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標に欠陥が存在す
ると判定する二値化手段（図１の１０９）とを具備する
ことにある。
特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮
影する撮像手段（図１の１０３）と、撮影した画像を複
数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域
（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬ
ｃ）の分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布
算出手段（図１の１０６）と、各単位領域（Ｒｕ）内に
おける濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レ
ベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引
いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４
のＬｓ）を求めるサンプリング座標別二値化レベル算出
手段（図１の１０７）と、撮影した画像の各座標におけ
る二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）
における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によ
りそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段（図
１の１０８）と、撮影した画像の各座標における各濃淡
レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル
（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が
各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標に欠陥が存在す
ると判定する二値化手段（図１の１０９）とを具備する
ことにある。
【００２５】本発明の電子部品の外観検査装置の第２の
特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮
影する撮像手段（図１の１０３）と、撮影した画像を複
数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域
（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬ
ｃ）の分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布
算出手段（図１の１０６）と、各単位領域（Ｒｕ）内に
おける濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レ
ベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引
いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４
のＬｓ）を求めるサンプリング座標別二値化レベル算出
手段（図１の１０７）と、撮影した画像の各座標におけ
る二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）
における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によ
りそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段（図
１の１０８）と、撮影した画像の各座標における各濃淡
レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル
（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が
各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標を求める二値化
手段（図１の１０９）と、求められた座標が連続する領
域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）にラベルを付与するラベル
付け手段（図１の１１０）と、ラベルが付与された領域
（Ｒｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上であ
る場合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）
内に欠陥が有ると判定する判定手段（図１の１１１）と
を具備することにある。
特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮
影する撮像手段（図１の１０３）と、撮影した画像を複
数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域
（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬ
ｃ）の分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布
算出手段（図１の１０６）と、各単位領域（Ｒｕ）内に
おける濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レ
ベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引
いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４
のＬｓ）を求めるサンプリング座標別二値化レベル算出
手段（図１の１０７）と、撮影した画像の各座標におけ
る二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）
における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によ
りそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段（図
１の１０８）と、撮影した画像の各座標における各濃淡
レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル
（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が
各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標を求める二値化
手段（図１の１０９）と、求められた座標が連続する領
域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）にラベルを付与するラベル
付け手段（図１の１１０）と、ラベルが付与された領域
（Ｒｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上であ
る場合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）
内に欠陥が有ると判定する判定手段（図１の１１１）と
を具備することにある。
【００２６】本発明の電子部品の外観検査処理をコンピ
ュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒
体の第１の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面
の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５
のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影し
た画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求
め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）
の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定
されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）
における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した
画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、
各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基
づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各
座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標に
おける二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃
淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい
座標に欠陥が存在すると判定することをコンピュータに
実現させることにある。
ュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒
体の第１の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面
の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５
のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影し
た画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求
め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）
の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定
されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）
における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した
画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、
各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基
づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各
座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標に
おける二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃
淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい
座標に欠陥が存在すると判定することをコンピュータに
実現させることにある。
【００２７】本発明の電子部品の外観検査処理をコンピ
ュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒
体の第２の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面
の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５
のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影し
た画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求
め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）
の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定
されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）
における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した
画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、
各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基
づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各
座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標に
おける二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃
淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい
座標を求め、求められた座標が連続する領域（図７のＲ
ｌ１，Ｒｌ２）にラベルを付与し、ラベルが付与された
領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上
である場合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ
２）内に欠陥が有ると判定することをコンピュータに実
現させることにある。
ュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒
体の第２の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面
の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５
のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影し
た画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求
め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）
の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定
されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）
における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した
画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、
各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基
づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各
座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標に
おける二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃
淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい
座標を求め、求められた座標が連続する領域（図７のＲ
ｌ１，Ｒｌ２）にラベルを付与し、ラベルが付与された
領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上
である場合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ
２）内に欠陥が有ると判定することをコンピュータに実
現させることにある。
【００２８】このような手法及び手段を採用したことに
より、本発明の電子部品の外観検査方法、外観検査装置
及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプ
ログラムを記録した記録媒体は、各単位領域毎に二値化
レベルを求め、これに基づいて各座標における二値化レ
ベルを補間演算により決定するので、局所的なむらＰや
捺印文字Ｔによる影響を排除して、欠陥の有無を確実に
判定できる。
より、本発明の電子部品の外観検査方法、外観検査装置
及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプ
ログラムを記録した記録媒体は、各単位領域毎に二値化
レベルを求め、これに基づいて各座標における二値化レ
ベルを補間演算により決定するので、局所的なむらＰや
捺印文字Ｔによる影響を排除して、欠陥の有無を確実に
判定できる。
【００２９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態
の電子部品の外観検査装置のブロック構成図である。
の電子部品の外観検査装置のブロック構成図である。
【００３０】照射光源１０１は、照射光を照射する。
【００３１】電子部品１０２は、照射光源１０１からの
照射光を、表面の反射率に応じて反射する。
照射光を、表面の反射率に応じて反射する。
【００３２】ＣＣＤカメラ１０３は、電子部品１０２か
らの反射光を一定領域に亙って撮像し、アナログ画像信
号Ｓａとして出力する。
らの反射光を一定領域に亙って撮像し、アナログ画像信
号Ｓａとして出力する。
【００３３】ＣＣＤカメラ１０３からのアナログ画像信
号Ｓａは、Ａ／Ｄ変換手段１０４によりＡ／Ｄ変換さ
れ、ディジタル濃淡画像データＤｂとして出力される。
号Ｓａは、Ａ／Ｄ変換手段１０４によりＡ／Ｄ変換さ
れ、ディジタル濃淡画像データＤｂとして出力される。
【００３４】濃淡画像データ記憶手段１０５は、ディジ
タル濃淡画像データＤｂを内部に一旦格納する。
タル濃淡画像データＤｂを内部に一旦格納する。
【００３５】単位領域内濃淡レベル分布算出手段１０６
は、ディジタル濃淡画像データＤｂを読み出し、予め検
査対象領域Ｒｔ内に設定された複数のサンプリング座標
Ｃｓ（図５）を中心とした各単位領域Ｒｕ（図５）内に
おけるディジタル画像濃淡レベルＬｃ（図４）の分布
を、例えばヒストグラム表記すること等によって算出
し、単位領域別濃淡レベル分布データＤｃとして出力す
る。
は、ディジタル濃淡画像データＤｂを読み出し、予め検
査対象領域Ｒｔ内に設定された複数のサンプリング座標
Ｃｓ（図５）を中心とした各単位領域Ｒｕ（図５）内に
おけるディジタル画像濃淡レベルＬｃ（図４）の分布
を、例えばヒストグラム表記すること等によって算出
し、単位領域別濃淡レベル分布データＤｃとして出力す
る。
【００３６】サンプリング座標別二値化レベル算出手段
１０７は、単位領域別濃淡レベル分布データＤｃが供給
され、各単位領域Ｒｕ（図５）内の最多頻度の濃淡レベ
ルＬｃ（図４）を検索し、検索した濃淡レベルＬｃ（図
４）から予め設定したオフセット値を引いた値をサンプ
リング座標Ｃｓ（図５）における二値化レベルＬｓ（図
４）とし、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄ
として出力する。
１０７は、単位領域別濃淡レベル分布データＤｃが供給
され、各単位領域Ｒｕ（図５）内の最多頻度の濃淡レベ
ルＬｃ（図４）を検索し、検索した濃淡レベルＬｃ（図
４）から予め設定したオフセット値を引いた値をサンプ
リング座標Ｃｓ（図５）における二値化レベルＬｓ（図
４）とし、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄ
として出力する。
【００３７】画素座標別二値化レベル算出手段１０８
は、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄが供給
され、サンプリング座標Ｃｓ（図５）における二値化レ
ベルＬｓ（図４）に基づいて補間演算し、検査対象領域
Ｒｔ（図５）内の各画素座標について二値化レベルＬｓ
（図４）を算出し、画素座標別二値化レベルデータＤｅ
として出力する。
は、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄが供給
され、サンプリング座標Ｃｓ（図５）における二値化レ
ベルＬｓ（図４）に基づいて補間演算し、検査対象領域
Ｒｔ（図５）内の各画素座標について二値化レベルＬｓ
（図４）を算出し、画素座標別二値化レベルデータＤｅ
として出力する。
【００３８】二値化手段１０９は、画素座標別二値化レ
ベルデータＤｅとディジタル濃淡画像データＤｂとが供
給され、各画素座標について、濃淡レベルＬｃ（図４）
が当該画素座標の二値化レベルＬｓ（図４）以上であれ
ば当該画素座標における二値化データを“１”レベル
に、濃淡レベルＬｃ（図４）が二値化レベルＬｓ（図
４）よりも小さければ当該画素座標における二値化デー
タを“０”レベルにした二値化画像を作成し、二値化画
像データＤｆとして出力する。
ベルデータＤｅとディジタル濃淡画像データＤｂとが供
給され、各画素座標について、濃淡レベルＬｃ（図４）
が当該画素座標の二値化レベルＬｓ（図４）以上であれ
ば当該画素座標における二値化データを“１”レベル
に、濃淡レベルＬｃ（図４）が二値化レベルＬｓ（図
４）よりも小さければ当該画素座標における二値化デー
タを“０”レベルにした二値化画像を作成し、二値化画
像データＤｆとして出力する。
【００３９】ラベル付け手段１１０は、二値化画像デー
タＤｆが供給され、二値化データの“０”レベルが連続
する領域毎に同一名称のラベルを付与してラベル付け領
域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）とし、各ラベル付け領域
（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）毎に面積を算出し、ラベルデ
ータＤｇとして出力する。
タＤｆが供給され、二値化データの“０”レベルが連続
する領域毎に同一名称のラベルを付与してラベル付け領
域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）とし、各ラベル付け領域
（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）毎に面積を算出し、ラベルデ
ータＤｇとして出力する。
【００４０】判定手段１１１は、ラベルデータＤｇが供
給され、予め設定した面積値よりも面積の大きいラベル
付け領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）が１つでも有れば、
「ボイド有り」と判定し、ボイド有りの場合のみ判定信
号Ｓｈを出力する。
給され、予め設定した面積値よりも面積の大きいラベル
付け領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）が１つでも有れば、
「ボイド有り」と判定し、ボイド有りの場合のみ判定信
号Ｓｈを出力する。
【００４１】図２は図１の電子部品の外観検査装置にお
ける各領域の概念図である。
ける各領域の概念図である。
【００４２】図２において、ＣＣＤカメラ１０３の撮影
画像は、電子部品１０２のパッケージ１０２ａと端子１
０２ｂの一部の領域を含んでいる。この内、パッケージ
１０２ａのみを含む領域が検査対象領域Ｒｔとなる。撮
影画像として撮影されたパッケージ１０２ａの画像に
は、パッケージ１０２ａにできた欠陥であるボイドＢ
と、パッケージ１０２ａに捺印された捺印文字Ｔと、パ
ッケージ１０２ａ表面又は反射光によって生じたむらＰ
とが含まれている、図３は図１の電子部品の外観検査装
置における検査処理フローチャートである。
画像は、電子部品１０２のパッケージ１０２ａと端子１
０２ｂの一部の領域を含んでいる。この内、パッケージ
１０２ａのみを含む領域が検査対象領域Ｒｔとなる。撮
影画像として撮影されたパッケージ１０２ａの画像に
は、パッケージ１０２ａにできた欠陥であるボイドＢ
と、パッケージ１０２ａに捺印された捺印文字Ｔと、パ
ッケージ１０２ａ表面又は反射光によって生じたむらＰ
とが含まれている、図３は図１の電子部品の外観検査装
置における検査処理フローチャートである。
【００４３】図１の照射光源１０１から出射した照射光
は、パッケージ１０２ａ表面で反射され、ＣＣＤカメラ
１０３へ入射した光は、Ａ／Ｄ変換手段１０４によって
アナログ／ディジタル変換され、各画素座標における濃
淡レベルＬｃを示すディジタル濃淡画像データＤｂとし
て濃淡画像データ記憶手段１０５に一旦蓄積される（ス
テップＳ３０１）。
は、パッケージ１０２ａ表面で反射され、ＣＣＤカメラ
１０３へ入射した光は、Ａ／Ｄ変換手段１０４によって
アナログ／ディジタル変換され、各画素座標における濃
淡レベルＬｃを示すディジタル濃淡画像データＤｂとし
て濃淡画像データ記憶手段１０５に一旦蓄積される（ス
テップＳ３０１）。
【００４４】図１の単位領域内濃淡レベル分布算出手段
１０６は、濃淡画像データ記憶手段１０５に蓄積された
ディジタル濃淡画像データＤｂを読み出す（ステップＳ
３０２）。
１０６は、濃淡画像データ記憶手段１０５に蓄積された
ディジタル濃淡画像データＤｂを読み出す（ステップＳ
３０２）。
【００４５】図１の単位領域内濃淡レベル分布算出手段
１０６は、読み出したディジタル濃淡画像データＤｂか
ら、図５に示す検査対象領域Ｒｔ内に予め設定された複
数のサンプリング座標Ｃｓを中心とする各単位領域Ｒｕ
のそれぞれについて、図６に示すような濃淡レベルＬｃ
の分布を求め、各単位領域Ｒｕの単位領域別濃淡レベル
分布データＤｃとして出力する（ステップＳ３０３）。
１０６は、読み出したディジタル濃淡画像データＤｂか
ら、図５に示す検査対象領域Ｒｔ内に予め設定された複
数のサンプリング座標Ｃｓを中心とする各単位領域Ｒｕ
のそれぞれについて、図６に示すような濃淡レベルＬｃ
の分布を求め、各単位領域Ｒｕの単位領域別濃淡レベル
分布データＤｃとして出力する（ステップＳ３０３）。
【００４６】又、図５において捺印文字Ｔを含む単位領
域Ｒｕの面積が小さすぎると、捺印文字Ｔの濃淡レベル
Ｌｃが、この単位領域Ｒｕの最多頻度の分布データとな
り、二値化レベルＬｓが本来設定すべきレベルよりも高
くなり、誤判定の原因となってしまうので、単位領域Ｒ
ｕの面積は、捺印文字Ｔが存在する単位領域Ｒｕにおい
ても、捺印文字Ｔ以外の濃淡レベルＬｃが最多頻度とな
るように設定しておく。
域Ｒｕの面積が小さすぎると、捺印文字Ｔの濃淡レベル
Ｌｃが、この単位領域Ｒｕの最多頻度の分布データとな
り、二値化レベルＬｓが本来設定すべきレベルよりも高
くなり、誤判定の原因となってしまうので、単位領域Ｒ
ｕの面積は、捺印文字Ｔが存在する単位領域Ｒｕにおい
ても、捺印文字Ｔ以外の濃淡レベルＬｃが最多頻度とな
るように設定しておく。
【００４７】図１のサンプリング座標別二値化レベル算
出手段１０７は、各単位領域Ｒｕの単位領域別濃淡レベ
ル分布データＤｃから、各単位領域Ｒｕ毎に、図６の濃
淡レベルＬｃの分布中の最多頻度の濃淡レベルＬｃをそ
れぞれ求め、それぞれの最多頻度の濃淡レベルＬｃから
予め設定したオフセット値を差し引いた値を、それぞれ
のサンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓと
し、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄとして
出力する（ステップＳ３０４）。
出手段１０７は、各単位領域Ｒｕの単位領域別濃淡レベ
ル分布データＤｃから、各単位領域Ｒｕ毎に、図６の濃
淡レベルＬｃの分布中の最多頻度の濃淡レベルＬｃをそ
れぞれ求め、それぞれの最多頻度の濃淡レベルＬｃから
予め設定したオフセット値を差し引いた値を、それぞれ
のサンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓと
し、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄとして
出力する（ステップＳ３０４）。
【００４８】このオフセット値は、サンプリング座標別
二値化レベル算出手段１０７において、ボイドＢの濃淡
レベルＬｃが“０”レベルに、パッケージ１０２ａ表面
のボイドＢ以外の領域の濃淡レベルＬｃが“１”レベル
になるように予め調整して設定しておく。
二値化レベル算出手段１０７において、ボイドＢの濃淡
レベルＬｃが“０”レベルに、パッケージ１０２ａ表面
のボイドＢ以外の領域の濃淡レベルＬｃが“１”レベル
になるように予め調整して設定しておく。
【００４９】ここで各単位領域Ｒｕの濃度レベルＬｃの
分布中、最多頻度の濃淡レベルＬｃは、パッケージ１０
２ａ表面の単位領域Ｒｕ内における平均的な濃淡レベル
Ｌｃを表す。
分布中、最多頻度の濃淡レベルＬｃは、パッケージ１０
２ａ表面の単位領域Ｒｕ内における平均的な濃淡レベル
Ｌｃを表す。
【００５０】図１の画素座標別二値化レベル算出手段１
０８は、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄが
示す、サンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓ
に基づいて、検査対象領域Ｒｔ内の全ての画素座標につ
いて二値化レベルＬｓを補間演算により求め、画素座標
別二値化レベルデータＤｅとして出力する（ステップＳ
３０５）。
０８は、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄが
示す、サンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓ
に基づいて、検査対象領域Ｒｔ内の全ての画素座標につ
いて二値化レベルＬｓを補間演算により求め、画素座標
別二値化レベルデータＤｅとして出力する（ステップＳ
３０５）。
【００５１】ここでは一例として、画素座標Ｃｄ＝
（Ｘ，Ｙ）における二値化レベルＬｓを、この画素座標
Ｃｄを囲む４つのサンプリング座標Ｃｓ＝（Ｘ１，Ｙ
１），（Ｘ２，Ｙ２），（Ｘ３，Ｙ３），（Ｘ４，Ｙ
４）のそれぞれの二値化レベルＬｓ１，Ｌｓ２，Ｌｓ
３，Ｌｓ４に基づき、以下の式から算出する。
（Ｘ，Ｙ）における二値化レベルＬｓを、この画素座標
Ｃｄを囲む４つのサンプリング座標Ｃｓ＝（Ｘ１，Ｙ
１），（Ｘ２，Ｙ２），（Ｘ３，Ｙ３），（Ｘ４，Ｙ
４）のそれぞれの二値化レベルＬｓ１，Ｌｓ２，Ｌｓ
３，Ｌｓ４に基づき、以下の式から算出する。
【００５２】Ｌｓ＝（１−α）（１−β）・Ｌｓ１＋α
（１−β）・Ｌｓ２＋（１−α）β・Ｌｓ３＋αβ・Ｌ
ｓ４ 但し、α＝（Ｘ−Ｘ１）／（Ｘ２−Ｘ１）， β＝（Ｙ−Ｙ１）／（Ｙ３−Ｙ１）とする。
（１−β）・Ｌｓ２＋（１−α）β・Ｌｓ３＋αβ・Ｌ
ｓ４ 但し、α＝（Ｘ−Ｘ１）／（Ｘ２−Ｘ１）， β＝（Ｙ−Ｙ１）／（Ｙ３−Ｙ１）とする。
【００５３】このようにして、ある画素座標Ｃｄを囲む
４つのサンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓから、
この画素座標Ｃｄの二値化レベルＬｓを補間演算して求
めている。ここで、ある画素座標Ｃｄを囲むサンプリン
グ座標Ｃｓの数が３つ以下の場合でも、同様に画素座標
Ｃｄの二値化レベルＬｓを求めることができる。
４つのサンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓから、
この画素座標Ｃｄの二値化レベルＬｓを補間演算して求
めている。ここで、ある画素座標Ｃｄを囲むサンプリン
グ座標Ｃｓの数が３つ以下の場合でも、同様に画素座標
Ｃｄの二値化レベルＬｓを求めることができる。
【００５４】もし仮に、画素座標Ｃｄの二値化レベルＬ
ｓを、サンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓから補
間演算して求めないで、画素座標Ｃｄの二値化レベルＬ
ｓをそのままサンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓ
とすれば、隣接し合う単位領域Ｒｕの境界で二値化レベ
ルＬｓが不連続となり急激に変化するので、この境界付
近のボイド面積の測定精度が低下してしまい、ボイドを
見逃したり、むらＰを「ボイド有り」と誤判定してしま
う問題がある。
ｓを、サンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓから補
間演算して求めないで、画素座標Ｃｄの二値化レベルＬ
ｓをそのままサンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓ
とすれば、隣接し合う単位領域Ｒｕの境界で二値化レベ
ルＬｓが不連続となり急激に変化するので、この境界付
近のボイド面積の測定精度が低下してしまい、ボイドを
見逃したり、むらＰを「ボイド有り」と誤判定してしま
う問題がある。
【００５５】そこで本発明では、この問題を解決する為
に、サンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓに
基づいて、画素座標Ｃｄにおける二値化レベルＬｓを補
間して求めることにより、検査対象領域Ｒｔ全体に亙っ
て二値化レベルＬｓを連続的かつ滑らかに変化させて急
激なレベル変化をなくしたので、隣接し合う単位領域Ｒ
ｕの境界付近においても「ボイド有り」と誤判定しなく
なっている。
に、サンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓに
基づいて、画素座標Ｃｄにおける二値化レベルＬｓを補
間して求めることにより、検査対象領域Ｒｔ全体に亙っ
て二値化レベルＬｓを連続的かつ滑らかに変化させて急
激なレベル変化をなくしたので、隣接し合う単位領域Ｒ
ｕの境界付近においても「ボイド有り」と誤判定しなく
なっている。
【００５６】図１の二値化手段１０９は、各画素座標Ｃ
ｄ毎に、ディジタル濃淡画像データＤｂが示す濃淡レベ
ルＬｃが、画素座標別二値化レベルデータＤｅが示す二
値化レベルＬｓより高いか低いかを判定基準として二値
化処理し、二値化画像データＤｆとして出力する。ここ
では各画素毎に、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓよ
り高い場合は“１”レベルと判定し、逆の場合は“０”
レベルと判定する（ステップＳ３０６）。
ｄ毎に、ディジタル濃淡画像データＤｂが示す濃淡レベ
ルＬｃが、画素座標別二値化レベルデータＤｅが示す二
値化レベルＬｓより高いか低いかを判定基準として二値
化処理し、二値化画像データＤｆとして出力する。ここ
では各画素毎に、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓよ
り高い場合は“１”レベルと判定し、逆の場合は“０”
レベルと判定する（ステップＳ３０６）。
【００５７】図１のラベル付け手段１１０は、図７に示
すように二値化画像データＤｆの“０”レベルが連続す
る各領域毎にラベルを付与して、これら各ラベル付け領
域Ｒｌ１，Ｒｌ２の位置と面積を示すラベルデータＤｇ
を出力する（ステップＳ３０７）。
すように二値化画像データＤｆの“０”レベルが連続す
る各領域毎にラベルを付与して、これら各ラベル付け領
域Ｒｌ１，Ｒｌ２の位置と面積を示すラベルデータＤｇ
を出力する（ステップＳ３０７）。
【００５８】図１の判定手段１１１は、図７の各ラベル
付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２毎に、ラベルデータＤｇが示す
各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積と、予め内部に
設定された面積とを比較し、ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒ
ｌ２の面積の方が設定された面積値より大きい場合に、
当該ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の位置に欠陥が存在
する判断して判定信号Ｓｈを出力する（ステップＳ３０
８）。
付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２毎に、ラベルデータＤｇが示す
各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積と、予め内部に
設定された面積とを比較し、ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒ
ｌ２の面積の方が設定された面積値より大きい場合に、
当該ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の位置に欠陥が存在
する判断して判定信号Ｓｈを出力する（ステップＳ３０
８）。
【００５９】図４は図１の電子部品の外観検査装置にお
ける濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標Ｃ
ｄ特性線図である。
ける濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標Ｃ
ｄ特性線図である。
【００６０】図４は、図２中のＩＩ−ＩＩ線に沿ってレ
ベルを見たものであり、左側の急激な凹部はボイドＢ
を、右側のなだらかな凹部はむらＰを、中央の３箇所の
突起部分は捺印文字Ｔをそれぞれ示す。
ベルを見たものであり、左側の急激な凹部はボイドＢ
を、右側のなだらかな凹部はむらＰを、中央の３箇所の
突起部分は捺印文字Ｔをそれぞれ示す。
【００６１】図４中、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬ
ｓより大きい“１”レベルの領域がボイドがなく正常と
判定される領域、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓよ
り小さい“０”レベルの領域が「ボイド有り」と判定さ
れる領域である。
ｓより大きい“１”レベルの領域がボイドがなく正常と
判定される領域、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓよ
り小さい“０”レベルの領域が「ボイド有り」と判定さ
れる領域である。
【００６２】本実施の形態では、各単位領域Ｒｕ中の最
多頻度の濃度レベルＬｃが、パッケージ１０２ａの正常
な濃度レベルとなるよう、各単位領域Ｒｕの面積が設定
されている限り、むらＰや捺印文字Ｔ等の影響を受けな
くなる。
多頻度の濃度レベルＬｃが、パッケージ１０２ａの正常
な濃度レベルとなるよう、各単位領域Ｒｕの面積が設定
されている限り、むらＰや捺印文字Ｔ等の影響を受けな
くなる。
【００６３】ここでもし単位領域Ｒｕの面積が小さすぎ
ると、捺印文字Ｔを含む単位領域Ｒｕでは、単位領域Ｒ
ｕ内の最多頻度の濃淡レベルＬｃが捺印文字Ｔの濃淡レ
ベルＬｃとなってしまい、本来設定したい二値化レベル
Ｌｓよりも実際の二値化レベルＬｓが高くなるので、捺
印文字Ｔ以外の全ての領域に亙って「ボイド有り」と誤
判定する問題があるので、単位領域Ｒｕの面積は、単位
領域Ｒｕ内の捺印文字Ｔの面積よりも捺印文字Ｔ以外の
領域の面積が大きくなるよう予め調整して設定してお
く。
ると、捺印文字Ｔを含む単位領域Ｒｕでは、単位領域Ｒ
ｕ内の最多頻度の濃淡レベルＬｃが捺印文字Ｔの濃淡レ
ベルＬｃとなってしまい、本来設定したい二値化レベル
Ｌｓよりも実際の二値化レベルＬｓが高くなるので、捺
印文字Ｔ以外の全ての領域に亙って「ボイド有り」と誤
判定する問題があるので、単位領域Ｒｕの面積は、単位
領域Ｒｕ内の捺印文字Ｔの面積よりも捺印文字Ｔ以外の
領域の面積が大きくなるよう予め調整して設定してお
く。
【００６４】このような原理に基づき、図４に示すよう
に、本実施の形態では、二値化レベルＬｓもむらＰの濃
淡レベルＬｃに追従して変化し、むらＰは二値化処理後
に“０”レベルと判定されないので、「ボイド有り」と
誤判定されなくなる。
に、本実施の形態では、二値化レベルＬｓもむらＰの濃
淡レベルＬｃに追従して変化し、むらＰは二値化処理後
に“０”レベルと判定されないので、「ボイド有り」と
誤判定されなくなる。
【００６５】図５は図１の電子部品の外観検査装置にお
ける各座標の概念図である。図５では、各単位領域Ｒｕ
の中心にサンプリング座標Ｃｓが存在するが、このサン
プリング座標Ｃｓは、各単位領域Ｒｕ内のどこにあって
も良い。
ける各座標の概念図である。図５では、各単位領域Ｒｕ
の中心にサンプリング座標Ｃｓが存在するが、このサン
プリング座標Ｃｓは、各単位領域Ｒｕ内のどこにあって
も良い。
【００６６】図７は図１の電子部品の外観検査装置にお
けるラベル付け結果の概念図である。二値化処理後、
“０”が連続する各領域にはそれぞれラベルが付与され
てラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２とされている。図７の
例では、判定手段１１１は、予め設定した面積が“３”
であった場合、ラベル付け領域Ｒｌ１にボイドが存在す
るという判定信号Ｓｈを出力する。
けるラベル付け結果の概念図である。二値化処理後、
“０”が連続する各領域にはそれぞれラベルが付与され
てラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２とされている。図７の
例では、判定手段１１１は、予め設定した面積が“３”
であった場合、ラベル付け領域Ｒｌ１にボイドが存在す
るという判定信号Ｓｈを出力する。
【００６７】以上のように、本実施の形態では、（１）
各単位領域Ｒｕの最多頻度の濃度レベルＬｃから各単位
領域Ｒｕの二値化レベルＬｓを求め、（２）この各単位
領域Ｒｕの二値化レベルＬｓから補間演算により各画素
座標における二値化レベルＬｓを求めるようにしたの
で、むらＰや捺印文字Ｔの影響を排除して、欠陥の有無
を確実に検出でき、誤判定を大幅に低減できる。
各単位領域Ｒｕの最多頻度の濃度レベルＬｃから各単位
領域Ｒｕの二値化レベルＬｓを求め、（２）この各単位
領域Ｒｕの二値化レベルＬｓから補間演算により各画素
座標における二値化レベルＬｓを求めるようにしたの
で、むらＰや捺印文字Ｔの影響を排除して、欠陥の有無
を確実に検出でき、誤判定を大幅に低減できる。
【００６８】次に、本実施の形態の変形例を説明する。
【００６９】第１の変形例として、図１のラベル付け手
段１１０において、図２の検査対象領域Ｒｔの一部に、
ラベル付けをしないようにしたマスク領域を設定しても
良い。
段１１０において、図２の検査対象領域Ｒｔの一部に、
ラベル付けをしないようにしたマスク領域を設定しても
良い。
【００７０】第２の変形例として、図１のラベル付け手
段１１０が図７のように各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ
２の面積を算出し、判定手段１１１において各ラベル付
け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積からボイドの有無を判定す
るのに代えて、ラベル付け手段１１０が、各ラベル付け
領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の外周上の最も離れた２点間の距離
を算出し、この距離が予め設定された閾値以上である場
合は、このラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２内にボイド有
りと判定しても良い。
段１１０が図７のように各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ
２の面積を算出し、判定手段１１１において各ラベル付
け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積からボイドの有無を判定す
るのに代えて、ラベル付け手段１１０が、各ラベル付け
領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の外周上の最も離れた２点間の距離
を算出し、この距離が予め設定された閾値以上である場
合は、このラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２内にボイド有
りと判定しても良い。
【００７１】第３の変形例として、図１のラベル付け手
段１１０が図７のようにラベル付けされた各ラベル付け
領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積を算出し、判定手段１１１に
おいて各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積からボイ
ドの有無を判定するのに代えて、ラベル付け手段１１０
が、各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積と、各ラベ
ル付け領域Ｒｌ１、Ｒｌ２の外周上の最も離れた２点間
の距離との両方を算出し、判定手段１１１にはこれら面
積と距離の両方について、予め閾値をそれぞれ設定して
おき、何れか一方がそれぞれの閾値より大きい場合は、
このラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２に「ボイド有り」と
判定しても良い。
段１１０が図７のようにラベル付けされた各ラベル付け
領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積を算出し、判定手段１１１に
おいて各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積からボイ
ドの有無を判定するのに代えて、ラベル付け手段１１０
が、各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積と、各ラベ
ル付け領域Ｒｌ１、Ｒｌ２の外周上の最も離れた２点間
の距離との両方を算出し、判定手段１１１にはこれら面
積と距離の両方について、予め閾値をそれぞれ設定して
おき、何れか一方がそれぞれの閾値より大きい場合は、
このラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２に「ボイド有り」と
判定しても良い。
【００７２】図８は本発明の第２の実施の形態の電子部
品の外観検査装置のブロック構成図である。本実施の形
態は、図１の第１の実施の形態の電子部品の外観検査装
置を、特にコンピュータ上に構成する場合に適した実施
の形態を説明している。
品の外観検査装置のブロック構成図である。本実施の形
態は、図１の第１の実施の形態の電子部品の外観検査装
置を、特にコンピュータ上に構成する場合に適した実施
の形態を説明している。
【００７３】本実施の形態の電子部品の外観検査装置
は、入力部２０１と、ＣＰＵ２０２と、メモリ２０３
と、照射光源２０４ａと、ＣＣＤカメラ２０４ｂと、Ａ
／Ｄコンバータ２０４ｃと、表示処理部２０５と、表示
部２０６と、外部記憶装置２０７と、インターフェース
部２０８と、バス２０９とから構成される。
は、入力部２０１と、ＣＰＵ２０２と、メモリ２０３
と、照射光源２０４ａと、ＣＣＤカメラ２０４ｂと、Ａ
／Ｄコンバータ２０４ｃと、表示処理部２０５と、表示
部２０６と、外部記憶装置２０７と、インターフェース
部２０８と、バス２０９とから構成される。
【００７４】入力部２０１は、各種操作キー等からな
る、キーボードやリモコン等の操作手段であり、次のＣ
ＰＵ２０２へ各種指示を付与する。この手段は、特にコ
ンピュータにおいては、アルファニューメリックキーボ
ードや専用の入力装置・マウス・リモコン等で実現され
る。
る、キーボードやリモコン等の操作手段であり、次のＣ
ＰＵ２０２へ各種指示を付与する。この手段は、特にコ
ンピュータにおいては、アルファニューメリックキーボ
ードや専用の入力装置・マウス・リモコン等で実現され
る。
【００７５】ＣＰＵ２０２は、マイクロコンピュータ等
からなり、内蔵され又は外部から供給されるプログラム
等により動作し各部を制御する。
からなり、内蔵され又は外部から供給されるプログラム
等により動作し各部を制御する。
【００７６】メモリ２０３は、ＲＡＭ等のメモリから構
成され、ＣＰＵ２０２の制御により各種データを格納す
る。この手段は、特にコンピュータにおいては、ＲＡＭ
やフラッシュメモリやハードディスク等の各種記録媒体
で実現される。
成され、ＣＰＵ２０２の制御により各種データを格納す
る。この手段は、特にコンピュータにおいては、ＲＡＭ
やフラッシュメモリやハードディスク等の各種記録媒体
で実現される。
【００７７】照射光源２０４ａは、照射光を照射する。
【００７８】ＣＣＤカメラ２０４ｂは、電子部品１０２
からの反射光を一定領域に亙って撮像し、アナログ画像
信号Ｓａとして出力する。
からの反射光を一定領域に亙って撮像し、アナログ画像
信号Ｓａとして出力する。
【００７９】Ａ／Ｄコンバータ２０４ｃは、ＣＣＤカメ
ラ２０４ｂからのアナログ画像信号Ｓａをアナログ／デ
ィジタル変換し、ディジタル濃淡画像データＤｂとして
バス２０９へ出力する。
ラ２０４ｂからのアナログ画像信号Ｓａをアナログ／デ
ィジタル変換し、ディジタル濃淡画像データＤｂとして
バス２０９へ出力する。
【００８０】表示処理部２０５は、バス２０９に接続さ
れ、バス２０９を介して送られてきた画像データを映像
信号Ｓｄｐへ変換出力する。
れ、バス２０９を介して送られてきた画像データを映像
信号Ｓｄｐへ変換出力する。
【００８１】表示部２０６はディスプレイ装置やモニタ
等の映像表示手段であり、映像信号Ｓｄｐを映像として
表示する。この手段は、特にコンピュータにおいては、
各種ディスプレイ装置等で実現される。
等の映像表示手段であり、映像信号Ｓｄｐを映像として
表示する。この手段は、特にコンピュータにおいては、
各種ディスプレイ装置等で実現される。
【００８２】外部記憶装置２０７は、ＣＰＵ２０２の各
種処理プログラムや、メモリ２０３に格納されているの
と同様なデータ等が格納されている記憶媒体であり、Ｃ
ＰＵ２０２の制御により各種データが書き込まれ読み出
される。この手段は、特にコンピュータにおいては、Ｒ
ＡＭやフラッシュメモリやハードディスク等の各種記録
媒体で実現される。
種処理プログラムや、メモリ２０３に格納されているの
と同様なデータ等が格納されている記憶媒体であり、Ｃ
ＰＵ２０２の制御により各種データが書き込まれ読み出
される。この手段は、特にコンピュータにおいては、Ｒ
ＡＭやフラッシュメモリやハードディスク等の各種記録
媒体で実現される。
【００８３】インターフェース部２０８は、ＣＰＵ２０
２と接続された外部とのインターフェースである。
２と接続された外部とのインターフェースである。
【００８４】バス２０９は、入力部２０１，ＣＰＵ２０
２，メモリ２０３，Ａ／Ｄコンバータ２０４ｃ、表示処
理部２０５，外部記憶装置２０７，インターフェース部
２０８を相互に接続する。
２，メモリ２０３，Ａ／Ｄコンバータ２０４ｃ、表示処
理部２０５，外部記憶装置２０７，インターフェース部
２０８を相互に接続する。
【００８５】本発明の第２の実施の形態の電子部品の外
観検査方法は、第１の実施の形態の電子部品の外観検査
方法と同様である。
観検査方法は、第１の実施の形態の電子部品の外観検査
方法と同様である。
【００８６】次に本発明の第２の実施の形態の電子部品
の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプロ
グラムを記録した記録媒体を説明する。
の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプロ
グラムを記録した記録媒体を説明する。
【００８７】第１の実施の形態の電子部品の外観検査方
法及び電子部品の外観検査装置では、電子部品の外観検
査処理をコンピュータに実現させるためのプログラム
を、専用の外観検査装置の制御プログラムとして内蔵し
ているが、本実施の形態では汎用のコンピュータ装置等
においてソフトウェアプログラム等で同様の処理を実現
している。
法及び電子部品の外観検査装置では、電子部品の外観検
査処理をコンピュータに実現させるためのプログラム
を、専用の外観検査装置の制御プログラムとして内蔵し
ているが、本実施の形態では汎用のコンピュータ装置等
においてソフトウェアプログラム等で同様の処理を実現
している。
【００８８】このソフトウェアプログラムの記録媒体と
して、メモリカード・フロッピーディスク・ハードディ
スク・ＣＤ−ＲＯＭ・ＤＶＤ−ＲＡＭ等の外部記録装置
１０７に格納しても良いし、データ記憶部１０３上に当
該プログラム専用の格納領域を設けて外部記録装置１０
７から読み込んだプログラムを格納しておいても良い。
して、メモリカード・フロッピーディスク・ハードディ
スク・ＣＤ−ＲＯＭ・ＤＶＤ−ＲＡＭ等の外部記録装置
１０７に格納しても良いし、データ記憶部１０３上に当
該プログラム専用の格納領域を設けて外部記録装置１０
７から読み込んだプログラムを格納しておいても良い。
【００８９】その他の構成や処理フローチャートは前記
第１の実施の形態の電子部品の外観検査方法、外観検査
装置及び外観検査処理方法をコンピュータに実現させる
ためのプログラムを記録した記録媒体と同様である。
第１の実施の形態の電子部品の外観検査方法、外観検査
装置及び外観検査処理方法をコンピュータに実現させる
ためのプログラムを記録した記録媒体と同様である。
【００９０】尚、前記各実施の形態では、ＣＣＤカメラ
１０３，２０４ａの撮影画像の画素毎に二値化処理した
が、処理を高速化するために複数の画素をまとめて二値
化処理しても構わない。
１０３，２０４ａの撮影画像の画素毎に二値化処理した
が、処理を高速化するために複数の画素をまとめて二値
化処理しても構わない。
【００９１】又、補間方法としては、任意の補間方法を
採用しても構わない。
採用しても構わない。
【００９２】更に、図５に示すように、各単位領域Ｒｕ
は互いに重なり合わないように設定したが、各単位領域
Ｒｕの大きさが一定以上となるよう設定し、これら各単
位領域Ｒｕが互いに重なり合うようにしても良い。この
ようにすれば、各単位領域Ｒｕの面積が必要以上に小さ
くなるのを避けることができ、捺印文字Ｔを「ボイド有
り」と誤判定する可能性が更に少なくなる。
は互いに重なり合わないように設定したが、各単位領域
Ｒｕの大きさが一定以上となるよう設定し、これら各単
位領域Ｒｕが互いに重なり合うようにしても良い。この
ようにすれば、各単位領域Ｒｕの面積が必要以上に小さ
くなるのを避けることができ、捺印文字Ｔを「ボイド有
り」と誤判定する可能性が更に少なくなる。
【００９３】
【発明の効果】以上のような手法及び手段を採用したこ
とにより、本発明の電子部品の外観検査方法、外観検査
装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるため
のプログラムを記録した記録媒体は、次のような効果を
発揮する。
とにより、本発明の電子部品の外観検査方法、外観検査
装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるため
のプログラムを記録した記録媒体は、次のような効果を
発揮する。
【００９４】第１点として、サンプリング座標により定
義される、予め設定した各単位領域内の濃淡レベルの分
布からサンプリング座標の二値化レベルを求めた後、各
画素座標の二値化レベルをサンプリング座標の二値化レ
ベルに基づいて補間演算により求めるので、捺印文字や
ボイド等の影響を受けず、むらに精度よく追従した連続
性のある二値化レベルを設定でき、むらを「ボイド有
り」と誤判定することが大幅に低減され、検査精度を大
幅に向上できる利点がある。
義される、予め設定した各単位領域内の濃淡レベルの分
布からサンプリング座標の二値化レベルを求めた後、各
画素座標の二値化レベルをサンプリング座標の二値化レ
ベルに基づいて補間演算により求めるので、捺印文字や
ボイド等の影響を受けず、むらに精度よく追従した連続
性のある二値化レベルを設定でき、むらを「ボイド有
り」と誤判定することが大幅に低減され、検査精度を大
幅に向上できる利点がある。
【００９５】第２点として、二値化処理により得られた
“０”レベルの領域をラベル付けし、このラベルの面積
に基づいてボイドの有無を最終的に判定するので、むら
を「ボイド有り」と誤判定することが大幅に低減され、
検査精度を大幅に向上できる利点がある。
“０”レベルの領域をラベル付けし、このラベルの面積
に基づいてボイドの有無を最終的に判定するので、むら
を「ボイド有り」と誤判定することが大幅に低減され、
検査精度を大幅に向上できる利点がある。
【図１】本発明の第１の実施の形態の電子部品の外観検
査装置のブロック構成図である。
査装置のブロック構成図である。
【図２】図１の電子部品の外観検査装置における各領域
の概念図である。
の概念図である。
【図３】図１の電子部品の外観検査装置における検査処
理フローチャートである。
理フローチャートである。
【図４】図１の電子部品の外観検査装置における濃淡レ
ベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標Ｃｄ特性線図
である。
ベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標Ｃｄ特性線図
である。
【図５】図１の電子部品の外観検査装置における各座標
の概念図である。
の概念図である。
【図６】図１の電子部品の外観検査装置における単位領
域Ｒｕ内の濃度レベルＬｃ分布概念図である。
域Ｒｕ内の濃度レベルＬｃ分布概念図である。
【図７】図１の電子部品の外観検査装置におけるラベル
付け結果の概念図である。
付け結果の概念図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態の電子部品の外観検
査装置のブロック構成図である。
査装置のブロック構成図である。
【図９】第１従来例の欠陥検査装置のブロック構成図で
ある。
ある。
【図１０】図９の欠陥検査装置における各領域の概念図
である。
である。
【図１１】図９の欠陥検査装置における濃淡レベルＬｃ
及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。
及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。
【図１２】第２従来例の欠陥検査装置における濃淡レベ
ルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図であ
る。
ルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図であ
る。
２ 電子部品 ２ａ パッケージ ２ｂ 端子 １０ 検査対象 ２０ レーザー光源 ２８ 受光器 ３２ 加算手段 ３４ Ａ／Ｄ変換手段 ３６ 濃度変換手段 ３８ 微分フィルタ ４０ 欠陥アドレス検出手段 ４２ ２値化処理手段 ４８ 欠陥領域抽出手段 １０１ 照射光源 １０２ 電子部品 １０２ａ パッケージ １０２ｂ 端子 １０３ ＣＣＤカメラ １０４ Ａ／Ｄ変換手段 １０５ 濃淡画像データ記憶手段 １０６ 単位領域内濃淡レベル分布算出手段 １０７ サンプリング座標別二値化レベル算出手段 １０８ 画素座標別二値化レベル算出手段 １０９ 二値化手段 １１０ ラベル付け手段 １１１ 判定手段 ２０１ 入力部 ２０２ ＣＰＵ ２０３ メモリ ２０４ａ 照射光源 ２０４ｂ ＣＣＤカメラ ２０４ｃ Ａ／Ｄコンバータ ２０５ 表示処理部 ２０６ 表示部 ２０７ 外部記憶装置 ２０８ インターフェース部 ２０９ バス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 G01N 21/88 G06T 7/00
Claims (15)
- 【請求項１】 検査対象物の表面の画像を撮影し、 前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各
単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布を
それぞれ求め、 前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻
度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を
差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求
め、 前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前
記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算
によりそれぞれ求め、 前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前
記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較
し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい
座標に欠陥が存在すると判定することを特徴とする電子
部品の外観検査方法。 - 【請求項２】 検査対象物の表面の画像を撮影し、 前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各
単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布を
それぞれ求め、 前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻
度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を
差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求
め、 前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前
記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算
によりそれぞれ求め、 前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前
記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較
し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい
座標を求め、 前記求められた座標が連続する領域にラベルを付与し、 前記ラベルが付与された領域の面積が予め設定された値
以上である場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠
陥が有ると判定することを特徴とする電子部品の外観検
査方法。 - 【請求項３】 前記撮影した画像の領域内に、前記ラベ
ルを付与する対象から除外される領域が設定されること
を特徴とする請求項２記載の電子部品の外観検査方法。 - 【請求項４】 前記ラベルが付与された領域の面積を求
め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代え
て、 前記ラベルが付与された領域毎の外周上の最も離れた２
点間の距離を求め、 前記距離が予め設定された値以上の場合は、前記ラベル
が付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴
とする請求項２又は３の何れかに記載の電子部品の外観
検査方法。 - 【請求項５】 前記ラベルが付与された領域の面積を求
め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代え
て、 前記ラベルが付与された領域の面積と、前記ラベルが付
与された領域の外周上の最も離れた２点間の距離とを求
め、 前記面積が予め設定された第１の値以上の場合、又は前
記距離が予め設定された第２の値以上の場合は、前記ラ
ベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを
特徴とする請求項２又は３の何れかに記載の電子部品の
外観検査方法。 - 【請求項６】 検査対象物の表面の画像を撮影する撮像
手段と、 前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各
単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布を
それぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布算出手段と、 前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻
度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を
差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求
めるサンプリング座標別二値化レベル算出手段と、 前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前
記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算
によりそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段
と、 前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前
記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較
し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい
座標に欠陥が存在すると判定する二値化手段とを具備す
ることを特徴とする電子部品の外観検査装置。 - 【請求項７】 検査対象物の表面の画像を撮影する撮像
手段と、 前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各
単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布を
それぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布算出手段と、 前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻
度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を
差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求
めるサンプリング座標別二値化レベル算出手段と、 前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前
記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算
によりそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段
と、 前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前
記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較
し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい
座標を求める二値化手段と、 前記求められた座標が連続する領域にラベルを付与する
ラベル付け手段と、 前記ラベルが付与された領域の面積が予め設定された値
以上である場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠
陥が有ると判定する判定手段とを具備することを特徴と
する電子部品の外観検査装置。 - 【請求項８】 前記ラベル付け手段は、前記撮影した画
像の領域内に、前記ラベルを付与する対象から除外され
る領域を設定することを特徴とする請求項７記載の電子
部品の外観検査装置。 - 【請求項９】 前記判定手段は、 前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に
基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、 前記ラベルが付与された領域毎の外周上の最も離れた２
点間の距離を求め、 前記距離が予め設定された値以上の場合は、前記ラベル
が付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴
とする請求項７又は８の何れかに記載の電子部品の外観
検査装置。 - 【請求項１０】 前記判定手段は、 前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に
基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、 前記ラベルが付与された領域の面積と、前記ラベルが付
与された領域の外周上の最も離れた２点間の距離とを求
め、 前記面積が予め設定された第１の値以上の場合、又は前
記距離が予め設定された第２の値以上の場合は、前記ラ
ベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを
特徴とする請求項７又は８の何れかに記載の電子部品の
外観検査装置。 - 【請求項１１】 検査対象物の表面の画像を撮影し、 前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各
単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布を
それぞれ求め、 前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻
度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を
差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求
め、 前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前
記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算
によりそれぞれ求め、 前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前
記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較
し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい
座標に欠陥が存在すると判定することを特徴とする電子
部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるための
プログラムを記録した記録媒体。 - 【請求項１２】 検査対象物の表面の画像を撮影し、 前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各
単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布を
それぞれ求め、 前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻
度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を
差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求
め、 前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前
記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算
によりそれぞれ求め、 前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前
記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較
し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい
座標を求め、 前記求められた座標が連続する領域にラベルを付与し、 前記ラベルが付与された領域の面積が予め設定された値
以上である場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠
陥が有ると判定することを特徴とする電子部品の外観検
査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを
記録した記録媒体。 - 【請求項１３】 前記撮影した画像の領域内に、前記ラ
ベルを付与する対象から除外される領域が設定されるこ
とを特徴とする請求項１２記載の電子部品の外観検査処
理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録
した記録媒体。 - 【請求項１４】 前記ラベルが付与された領域の面積を
求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代
えて、 前記ラベルが付与された領域毎の外周上の最も離れた２
点間の距離を求め、 前記距離が予め設定された値以上の場合は、前記ラベル
が付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴
とする請求項１２又は１３の何れかに記載の電子部品の
外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログ
ラムを記録した記録媒体。 - 【請求項１５】 前記ラベルが付与された領域の面積を
求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代
えて、 前記ラベルが付与された領域の面積と、前記ラベルが付
与された領域の外周上の最も離れた２点間の距離とを求
め、 前記面積が予め設定された第１の値以上の場合、又は前
記距離が予め設定された第２の値以上の場合は、前記ラ
ベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを
特徴とする請求項１２又は１３の何れかに記載の電子部
品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプ
ログラムを記録した記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10338174A JP3107071B2 (ja) | 1998-11-27 | 1998-11-27 | 電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
| US09/449,145 US6597805B1 (en) | 1998-11-27 | 1999-11-24 | Visual inspection method for electronic device, visual inspecting apparatus for electronic device, and record medium for recording program which causes computer to perform visual inspecting method for electronic device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10338174A JP3107071B2 (ja) | 1998-11-27 | 1998-11-27 | 電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000161929A JP2000161929A (ja) | 2000-06-16 |
| JP3107071B2 true JP3107071B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=18315625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10338174A Expired - Lifetime JP3107071B2 (ja) | 1998-11-27 | 1998-11-27 | 電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
Country Status (2)
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| JP (1) | JP3107071B2 (ja) |
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| CN101571449A (zh) * | 2008-04-28 | 2009-11-04 | 深圳富泰宏精密工业有限公司 | 屏幕色阶测试装置及方法 |
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| JP2022548595A (ja) | 2019-09-16 | 2022-11-21 | アシュラント インコーポレイテッド | モバイルデバイスの完全性状態を判断するために機械学習を利用してモバイルデバイスの画像を処理するためのシステム、方法、装置、およびコンピュータプログラム製品 |
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-
1998
- 1998-11-27 JP JP10338174A patent/JP3107071B2/ja not_active Expired - Lifetime
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1999
- 1999-11-24 US US09/449,145 patent/US6597805B1/en not_active Expired - Lifetime
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