JP3107018B2 - プラズマディスプレイおよびその製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイおよびその製造方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、プラズマディス
プレイおよびその製造方法に係わり、特に、プラズマデ
ィスプレイのバス電極、およびその形成方法に関する。
プレイおよびその製造方法に係わり、特に、プラズマデ
ィスプレイのバス電極、およびその形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来一般に用いられているプラズマディ
スプレイの構造を、図２に基づき説明する。表示面とな
る前面ガラス基板１ａには、ＳｎＯ2，ＩＴＯ等でスト
ライプ状に透明維持電極２ａと透明走査電極２ｂが図示
紙面に垂直で、互いに平行に形成されている。それぞれ
透明電極２ａ、２ｂ上にはＩＴＯ等の表面抵抗値が比較
的高いため、この抵抗値を下げるためニッケル、クロ
ム、銅等の金属でバス電極９が形成されている。電極上
には所要電荷を保持及び電極を保護するための鉛ガラス
のグレーズ層６ａと、電極保護と放電特性を良くするた
めの酸化マグネシウム薄膜１１が形成されている。裏面
ガラス基板１ｂには、紙面に平行に、Ｃｒ等の金属によ
りストライプ状のデータ電極３が形成されている。電極
上には電極を保護する役割と反射率を上げるための役割
を果たす白グレース層６ｂが形成されている。さらにそ
の上に、隔壁４が形成されている。隔壁４は２枚のガラ
ス基板１ａ、１ｂ間のギャップを維持する機能と、隣接
画素からの発光漏れや紫外線の影響を除く機能を持つ。
隔壁４内には紫外線により赤、青、緑の単色発光を呈す
る蛍光体８が形成されている。
スプレイの構造を、図２に基づき説明する。表示面とな
る前面ガラス基板１ａには、ＳｎＯ2，ＩＴＯ等でスト
ライプ状に透明維持電極２ａと透明走査電極２ｂが図示
紙面に垂直で、互いに平行に形成されている。それぞれ
透明電極２ａ、２ｂ上にはＩＴＯ等の表面抵抗値が比較
的高いため、この抵抗値を下げるためニッケル、クロ
ム、銅等の金属でバス電極９が形成されている。電極上
には所要電荷を保持及び電極を保護するための鉛ガラス
のグレーズ層６ａと、電極保護と放電特性を良くするた
めの酸化マグネシウム薄膜１１が形成されている。裏面
ガラス基板１ｂには、紙面に平行に、Ｃｒ等の金属によ
りストライプ状のデータ電極３が形成されている。電極
上には電極を保護する役割と反射率を上げるための役割
を果たす白グレース層６ｂが形成されている。さらにそ
の上に、隔壁４が形成されている。隔壁４は２枚のガラ
ス基板１ａ、１ｂ間のギャップを維持する機能と、隣接
画素からの発光漏れや紫外線の影響を除く機能を持つ。
隔壁４内には紫外線により赤、青、緑の単色発光を呈す
る蛍光体８が形成されている。
【０００３】図３に示すようにバス電極９は、発光体８
からの発光を妨げないように、各透明電極２ａ、２ｂの
端部に透明電極２ａ、２ｂより細く形成されている。ま
た、バス電極９は低抵抗値化と、コントラストの向上の
ため黒色が要求される。
からの発光を妨げないように、各透明電極２ａ、２ｂの
端部に透明電極２ａ、２ｂより細く形成されている。ま
た、バス電極９は低抵抗値化と、コントラストの向上の
ため黒色が要求される。
【０００４】バス電極９の形成方法の一つにスクリーン
印刷法がある。この方法は、厚膜形成法の一種で、被印
刷物のガラス基板上にバス電極の形状にパターニングさ
れたスクリーン版を配置し、スクリーン上にバス電極の
材料となるペーストを置き、スキージングによりガラス
基板上にペーストを転移させる方法である。
印刷法がある。この方法は、厚膜形成法の一種で、被印
刷物のガラス基板上にバス電極の形状にパターニングさ
れたスクリーン版を配置し、スクリーン上にバス電極の
材料となるペーストを置き、スキージングによりガラス
基板上にペーストを転移させる方法である。
【０００５】また、他のバス電極を形成する方法に特開
平５−１８３２５９号公報に示されたものもある。これ
は、図５に示すように、絶縁基板２１上に形成した導体
回路パターン２５上に基板全体を覆うようにレジスト２
４を被覆し、次いで、導体回路パターン２５付近のレジ
スト２４を除去して導体回路パターン２５を露出させ、
かつ、露出部分における導体回路パターン２５とメッキ
レジスト２４の高さをほぼ同一面となし、その後導体回
路パターン２５上に化学メッキ２２、２３を施す方法で
ある。
平５−１８３２５９号公報に示されたものもある。これ
は、図５に示すように、絶縁基板２１上に形成した導体
回路パターン２５上に基板全体を覆うようにレジスト２
４を被覆し、次いで、導体回路パターン２５付近のレジ
スト２４を除去して導体回路パターン２５を露出させ、
かつ、露出部分における導体回路パターン２５とメッキ
レジスト２４の高さをほぼ同一面となし、その後導体回
路パターン２５上に化学メッキ２２、２３を施す方法で
ある。
【０００６】また、特開平８−２２２１２８号公報に示
されるものもある。これは、図６に示すように、透明電
極３１の表面を含めてガラス基板３０の上に表面の全体
を被覆するように、無電解メッキ法によってニッケル３
２を析出させた後、酸性の銅メッキ溶液を用いる電解メ
ッキ法によって、銅３３をニッケル３２よりも厚く析出
させて、ニッケル３２からなる下地層、銅３３からなる
主導電層、該主導電層を囲むニッケル３４からなる被覆
層によって金属膜３５を形成するものである。なお、図
６中３０ａはシリカ（ＳｉＯ2）である。
されるものもある。これは、図６に示すように、透明電
極３１の表面を含めてガラス基板３０の上に表面の全体
を被覆するように、無電解メッキ法によってニッケル３
２を析出させた後、酸性の銅メッキ溶液を用いる電解メ
ッキ法によって、銅３３をニッケル３２よりも厚く析出
させて、ニッケル３２からなる下地層、銅３３からなる
主導電層、該主導電層を囲むニッケル３４からなる被覆
層によって金属膜３５を形成するものである。なお、図
６中３０ａはシリカ（ＳｉＯ2）である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来の技術にあっては、次に示す欠点があった。すな
わち、スクリーン印刷法の場合には、スクリーン版が伸
縮性を有するために、形成されるバス電極のパターンは
スクリーン版のパターンとは異なったものとなる。これ
を回避するためには、スクリーン版の伸縮性を考慮して
スクリーン版の設計を行う必要があるが、それは非常に
困難な作業である。また、スクリーン版は使用毎に不可
逆的に変形を起こすために、使用回数及びパターンの精
細度により寿命が短くなる。また、この方法によって形
成されたバス電極の形状は、図４に示すように、波状に
なりがちである。これはペーストがスクリーン版を通過
するときに、斜のメッシュ部分がペーストの転移を妨害
するためである。前記諸理由により高精細なパターンの
場合、バス電極の断線を起こす確率が高くなる。また、
このスクリーン印刷法の場合、印刷後焼成工程が必要と
なるが、焼成工程で基板変形を起こす等の欠点もあっ
た。
た従来の技術にあっては、次に示す欠点があった。すな
わち、スクリーン印刷法の場合には、スクリーン版が伸
縮性を有するために、形成されるバス電極のパターンは
スクリーン版のパターンとは異なったものとなる。これ
を回避するためには、スクリーン版の伸縮性を考慮して
スクリーン版の設計を行う必要があるが、それは非常に
困難な作業である。また、スクリーン版は使用毎に不可
逆的に変形を起こすために、使用回数及びパターンの精
細度により寿命が短くなる。また、この方法によって形
成されたバス電極の形状は、図４に示すように、波状に
なりがちである。これはペーストがスクリーン版を通過
するときに、斜のメッシュ部分がペーストの転移を妨害
するためである。前記諸理由により高精細なパターンの
場合、バス電極の断線を起こす確率が高くなる。また、
このスクリーン印刷法の場合、印刷後焼成工程が必要と
なるが、焼成工程で基板変形を起こす等の欠点もあっ
た。
【０００８】また、前記特開平５−１８３２５９号公報
に示す方法の場合、透明電極となる導体回路パターン２
５上に化学メッキによりニッケル等の金属２２、２３を
付着させる方法であり、金属付着部分は黒色を施すこと
ができるものの、透明電極２５まで黒色化できるもので
はなく、得られるパネルを絶縁基板（ガラス表示面）２
１側から見たときに所望するコントラスト感が得にくい
という欠点があった。
に示す方法の場合、透明電極となる導体回路パターン２
５上に化学メッキによりニッケル等の金属２２、２３を
付着させる方法であり、金属付着部分は黒色を施すこと
ができるものの、透明電極２５まで黒色化できるもので
はなく、得られるパネルを絶縁基板（ガラス表示面）２
１側から見たときに所望するコントラスト感が得にくい
という欠点があった。
【０００９】また、前記特開平８−２２１２８号公報に
示す方法の場合にも、無電解メッキによりニッケル３２
を付着させる方法であるため、透明電極３１までも黒色
化できるものではなく、前述の特開平５−１８３２５９
号公報に示す方法と同様に、所望するコントラスト感が
得にくいという欠点があった。
示す方法の場合にも、無電解メッキによりニッケル３２
を付着させる方法であるため、透明電極３１までも黒色
化できるものではなく、前述の特開平５−１８３２５９
号公報に示す方法と同様に、所望するコントラスト感が
得にくいという欠点があった。
【００１０】この発明は、前記事情に鑑みてなされたも
ので、高精細なパターンにおけるバス電極の位置精度の
向上と断線の低下が実現でき、また、バス電極に金属を
使用したときに生じるコントラスト感の低下を防止でき
るプラズマディスプレイおよびその製造方法を提供する
ことを目的とする。
ので、高精細なパターンにおけるバス電極の位置精度の
向上と断線の低下が実現でき、また、バス電極に金属を
使用したときに生じるコントラスト感の低下を防止でき
るプラズマディスプレイおよびその製造方法を提供する
ことを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、第１の請求項に係わる発明のプラズマディスプレの
製造方法では、ガラス基板上に形成された透明電極上
に、バス電極をメッキにより形成するに際して、前記透
明電極を覆うようにレジストを被覆し、その後、前記被
覆したレジストのうちバス電極を形成すべき透明電極よ
りも狭い部分を除去し、そのレジストを除去した部分に
電着で金属をメッキし、さらにレジストを剥離してバス
電極を形成することを特徴とする。請求項２に係わる発
明のプラズマディスプレイの製造方法は、前記メッキす
る金属にニッケルを用いることを特徴とする。請求項３
に係わる発明のプラズマディスプレイの製造方法は、前
記透明電極にＳｎＯ2を用いることを特徴とする。ま
た、請求項４に係わる発明のプラズマディスプレイは、
ガラス基板と、該ガラス基板上に形成された透明電極
と、該透明電極上に金属を電着でメッキされてなるバス
電極を備えることを特徴とする。本発明によれば、バス
電極を形成するにあたり、レジストを除去した部分に金
属を電着によりメッキするものであり、金属を酸化させ
て黒色化するほか、無電解メッキ法では不可能であっ
た、透明電極を還元させて黒色化させることができる。
そのため、ガラス表示面から見たとき、黒色を呈する効
果が得られ、コントラストの強いディスプレイが得られ
る。
め、第１の請求項に係わる発明のプラズマディスプレの
製造方法では、ガラス基板上に形成された透明電極上
に、バス電極をメッキにより形成するに際して、前記透
明電極を覆うようにレジストを被覆し、その後、前記被
覆したレジストのうちバス電極を形成すべき透明電極よ
りも狭い部分を除去し、そのレジストを除去した部分に
電着で金属をメッキし、さらにレジストを剥離してバス
電極を形成することを特徴とする。請求項２に係わる発
明のプラズマディスプレイの製造方法は、前記メッキす
る金属にニッケルを用いることを特徴とする。請求項３
に係わる発明のプラズマディスプレイの製造方法は、前
記透明電極にＳｎＯ2を用いることを特徴とする。ま
た、請求項４に係わる発明のプラズマディスプレイは、
ガラス基板と、該ガラス基板上に形成された透明電極
と、該透明電極上に金属を電着でメッキされてなるバス
電極を備えることを特徴とする。本発明によれば、バス
電極を形成するにあたり、レジストを除去した部分に金
属を電着によりメッキするものであり、金属を酸化させ
て黒色化するほか、無電解メッキ法では不可能であっ
た、透明電極を還元させて黒色化させることができる。
そのため、ガラス表示面から見たとき、黒色を呈する効
果が得られ、コントラストの強いディスプレイが得られ
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明を、実施の形態に
より図面を参照して説明する。図１（ａ）〜（ｆ）は本
発明の実施の形態を示す図である。ガラス基板１０１上
に透明電極１０２としてのＳｎＯ2を用いて所定のパタ
ーンを形成する。次いで、透明電極１０２上を含むガラ
ス基板１０１全体を、レジスト１０３を塗布して覆う。
次いで、例えば、フォトリソグラフィ法で透明電極１０
２より狭い範囲で、バス電極を形成したい箇所のレジス
ト１０３を除去する。つまり、レジスト１０３に対して
所要箇所に露光した後、現像し、これによって、前記所
要箇所のレジスト１０３を除去する。次いで、レジスト
１０３を除去した部分１０３ａにニッケル１０４を電着
によりメッキする。その後、不要部分のレジスト１０３
を剥離することでバス電極１０５を得る。
より図面を参照して説明する。図１（ａ）〜（ｆ）は本
発明の実施の形態を示す図である。ガラス基板１０１上
に透明電極１０２としてのＳｎＯ2を用いて所定のパタ
ーンを形成する。次いで、透明電極１０２上を含むガラ
ス基板１０１全体を、レジスト１０３を塗布して覆う。
次いで、例えば、フォトリソグラフィ法で透明電極１０
２より狭い範囲で、バス電極を形成したい箇所のレジス
ト１０３を除去する。つまり、レジスト１０３に対して
所要箇所に露光した後、現像し、これによって、前記所
要箇所のレジスト１０３を除去する。次いで、レジスト
１０３を除去した部分１０３ａにニッケル１０４を電着
によりメッキする。その後、不要部分のレジスト１０３
を剥離することでバス電極１０５を得る。
【００１３】前記構成のプラズマディスプレイの製造方
法によれば、ニッケル１０４を電着によりメッキしたと
きに、ニッケル１０４が酸化されて黒色化されるととも
に、透明電極のＳｎＯ2が還元されＳｎとなって透明か
ら黒色に変化する。そして、ガラス基板１０１の側から
プラズマディスプレイの表示を見たとき、たとえ、ニッ
ケル１０４の金属光沢があっても、それは黒色化された
Ｓｎにより遮られ、結果的にコントラストのよいディス
プレが得られる。
法によれば、ニッケル１０４を電着によりメッキしたと
きに、ニッケル１０４が酸化されて黒色化されるととも
に、透明電極のＳｎＯ2が還元されＳｎとなって透明か
ら黒色に変化する。そして、ガラス基板１０１の側から
プラズマディスプレイの表示を見たとき、たとえ、ニッ
ケル１０４の金属光沢があっても、それは黒色化された
Ｓｎにより遮られ、結果的にコントラストのよいディス
プレが得られる。
【００１４】また、フォトリソグラフィ法を用いて形成
したレジストパターンの間にニッケル１０４を電着させ
るため、断線がなくまた直線性及び位置精度に優れたバ
ス電極１０４を透明電極１０２の黒色化と同時に形成で
きることとなる。
したレジストパターンの間にニッケル１０４を電着させ
るため、断線がなくまた直線性及び位置精度に優れたバ
ス電極１０４を透明電極１０２の黒色化と同時に形成で
きることとなる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、バス電極を形成するに
あたり、レジストを除去した部分に電着により金属をメ
ッキするものであり、金属を酸化させて黒色化するほ
か、無電解メッキ法では不可能であった、透明電極を還
元させて黒色化させることができる。そのため、ガラス
表示面から見たとき、黒色を呈する効果が得られ、コン
トラストの強いディスプレイが得られる。また、フォト
リソグラフィ法を用いて形成したレジスタパターンの間
に金属を電着させる方法であると、断線がなくまた直線
性及び位置精度に優れたバス電極を、透明電極の黒色化
と同時に形成できる。
あたり、レジストを除去した部分に電着により金属をメ
ッキするものであり、金属を酸化させて黒色化するほ
か、無電解メッキ法では不可能であった、透明電極を還
元させて黒色化させることができる。そのため、ガラス
表示面から見たとき、黒色を呈する効果が得られ、コン
トラストの強いディスプレイが得られる。また、フォト
リソグラフィ法を用いて形成したレジスタパターンの間
に金属を電着させる方法であると、断線がなくまた直線
性及び位置精度に優れたバス電極を、透明電極の黒色化
と同時に形成できる。
【図１】 本発明にかかるプラズマディスプレイの製造
方法の実施の形態を示す工程図である。
方法の実施の形態を示す工程図である。
【図２】 プラズマディスプレイの断面図である。
【図３】 ガラス表示面側から透明電極を見た図であ
る。
る。
【図４】 スクリーン印刷法でバス電極を形成したとき
の、ガラス表示面側から透明電極を見た図である。
の、ガラス表示面側から透明電極を見た図である。
【図５】 従来のプラズマディスプレイのバス電極の製
造方法を示す断面図である。
造方法を示す断面図である。
【図６】 従来のプラズマディスプレイのバス電極の他
の製造方法を示す断面図である。
の製造方法を示す断面図である。
１０１ ガラス基板 １０２ 透明電極 １０３ レジスト １０４ ニッケル １０５ バス電極
Claims (4)
- 【請求項１】 ガラス基板上に形成された透明電極上
に、バス電極をメッキにより形成するに際して、前記透
明電極を覆うようにレジストを被覆し、その後、前記被
覆したレジストのうちバス電極を形成すべき透明電極よ
りも狭い部分を除去し、そのレジストを除去した部分に
電着で金属をメッキし、さらにレジストを剥離してバス
電極を形成することを特徴とするプラズマディスプレイ
の製造方法。 - 【請求項２】 前記メッキする金属にニッケルを用いる
ことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイ
の製造方法。 - 【請求項３】 前記透明電極にＳｎＯ2を用いることを
特徴とする請求項１または２記載のプラズマディスプレ
イの製造方法。 - 【請求項４】 ガラス基板と、該ガラス基板上に形成さ
れた透明電極と、該透明電極上に金属を電着でメッキさ
れてなるバス電極を備えることを特徴とするプラズマデ
ィスプレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09304597A JP3107018B2 (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | プラズマディスプレイおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09304597A JP3107018B2 (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | プラズマディスプレイおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11144610A JPH11144610A (ja) | 1999-05-28 |
| JP3107018B2 true JP3107018B2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=17934928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09304597A Expired - Fee Related JP3107018B2 (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | プラズマディスプレイおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3107018B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010004092A (ko) * | 1999-06-28 | 2001-01-15 | 김영환 | 전해도금을 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성 방법 |
| KR100337883B1 (ko) * | 1999-11-15 | 2002-05-23 | 김순택 | 플라즈마 디스플레이 장치의 제조방법 |
| JP4990966B2 (ja) * | 2006-04-13 | 2012-08-01 | コーロン インダストリーズ インク | 金属電極の製造方法 |
| KR100987782B1 (ko) | 2006-04-28 | 2010-10-18 | 코오롱인더스트리 주식회사 | 금속 전극의 제조방법 |
-
1997
- 1997-11-06 JP JP09304597A patent/JP3107018B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11144610A (ja) | 1999-05-28 |
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