JP3104290B2 - Ｎｏｘ センサ - Google Patents
Ｎｏｘ センサInfo
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- JP3104290B2 JP3104290B2 JP03132884A JP13288491A JP3104290B2 JP 3104290 B2 JP3104290 B2 JP 3104290B2 JP 03132884 A JP03132884 A JP 03132884A JP 13288491 A JP13288491 A JP 13288491A JP 3104290 B2 JP3104290 B2 JP 3104290B2
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- JP
- Japan
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- oxygen
- chamber
- sensor
- chambers
- concentration
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- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＮＯX センサに関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】或る雰囲気中に含有される窒素酸化物例
えば、エンジン等の内燃機関から排出される排気ガス中
に含まれるＮＯ、ＮＯ2 等の窒素酸化物（以下「Ｎ
ＯX 」という）の濃度を検出するセンサとしてＮＯX セ
ンサがある。このＮＯX センサは、濃淡電池式のセンサ
で、ガス中の酸素濃度を検出するＯ2 センサを基本とし
て構成されている。
えば、エンジン等の内燃機関から排出される排気ガス中
に含まれるＮＯ、ＮＯ2 等の窒素酸化物（以下「Ｎ
ＯX 」という）の濃度を検出するセンサとしてＮＯX セ
ンサがある。このＮＯX センサは、濃淡電池式のセンサ
で、ガス中の酸素濃度を検出するＯ2 センサを基本とし
て構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の濃淡
電池式のＮＯX センサは、被測定ガス中の任意のＮＯX
濃度変化に対する出力変化が当該ガス中の酸素の分圧の
影響を受けるために一定ではなく、被測定ガス中の酸素
分圧が既知であることが必要であり、この酸素分圧を検
出するためのセンサを必要とし、しかも、検出された酸
素分圧に基づいてＮＯX 濃度を補正する必要があり、Ｎ
ＯX 濃度を検出することが困難である。また、高酸素分
圧領域における任意のＮＯX 濃度変化による出力変化が
小さく、検出感度が低下する等の問題がある。
電池式のＮＯX センサは、被測定ガス中の任意のＮＯX
濃度変化に対する出力変化が当該ガス中の酸素の分圧の
影響を受けるために一定ではなく、被測定ガス中の酸素
分圧が既知であることが必要であり、この酸素分圧を検
出するためのセンサを必要とし、しかも、検出された酸
素分圧に基づいてＮＯX 濃度を補正する必要があり、Ｎ
ＯX 濃度を検出することが困難である。また、高酸素分
圧領域における任意のＮＯX 濃度変化による出力変化が
小さく、検出感度が低下する等の問題がある。
【０００４】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、窒素酸化物の濃度を簡単に検出することが可能なＮ
ＯX センサを提供することを目的とする。
で、窒素酸化物の濃度を簡単に検出することが可能なＮ
ＯX センサを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、酸素イオン伝導性固体電解質部材に
より大気を導入する第１室と被測定ガスを導入する第
２、第３室とを形成し、第１室と第２及び第３室との隔
壁を挟んで夫々電極を設けて第１、第２の酸素センサを
形成し、第２、第３室の各側壁の内外面に夫々電極を設
けてこれらの各室内の酸素を室外に汲み出す第１、第２
の酸素ポンプを形成し、前記第２室と第３室とを酸素イ
オンの伝導を遮断する絶縁部材により画成し、前記第３
室内に導入された被測定ガス中の窒素酸化物を窒素と酸
素とに分解する触媒を設け、前記第１の酸素センサの出
力を設定値に保持すべく前記第１の酸素ポンプを制御
し、前記第２の酸素センサの出力を前記設定値とすべく
前記第２の酸素ポンプを制御し、これらの第１及び第２
の酸素ポンプの制御電流の差により前記窒素酸化物の濃
度を検出するように構成したものである。
に本発明によれば、酸素イオン伝導性固体電解質部材に
より大気を導入する第１室と被測定ガスを導入する第
２、第３室とを形成し、第１室と第２及び第３室との隔
壁を挟んで夫々電極を設けて第１、第２の酸素センサを
形成し、第２、第３室の各側壁の内外面に夫々電極を設
けてこれらの各室内の酸素を室外に汲み出す第１、第２
の酸素ポンプを形成し、前記第２室と第３室とを酸素イ
オンの伝導を遮断する絶縁部材により画成し、前記第３
室内に導入された被測定ガス中の窒素酸化物を窒素と酸
素とに分解する触媒を設け、前記第１の酸素センサの出
力を設定値に保持すべく前記第１の酸素ポンプを制御
し、前記第２の酸素センサの出力を前記設定値とすべく
前記第２の酸素ポンプを制御し、これらの第１及び第２
の酸素ポンプの制御電流の差により前記窒素酸化物の濃
度を検出するように構成したものである。
【０００６】
【作用】第１室に大気を、第２、第３室に被測定ガスを
導入し、第１室と第２室間に設けられた第１の酸素セン
サにより当該第２室内の酸素濃度を検出し、当該酸素濃
度が常に設定値となるように当該第２室内の第１の酸素
ポンプを制御する。第３室内に導入された被測定ガス中
に含有される窒素酸化物は、触媒の作用により窒素と酸
素とに分解され、従って、当該第３室内の酸素量は、第
２室内の酸素量よりも前記分解された分量だけ増加す
る。第１室と第３室との間に設けられた第２の酸素セン
サの出力が前記設定値となるように当該第３室の第２の
酸素ポンプを制御する。そして、第２、第１の酸素ポン
プの制御電流の差を検出する。この検出せる電流差によ
り被測定ガス中の窒素酸化物の濃度を検出する。
導入し、第１室と第２室間に設けられた第１の酸素セン
サにより当該第２室内の酸素濃度を検出し、当該酸素濃
度が常に設定値となるように当該第２室内の第１の酸素
ポンプを制御する。第３室内に導入された被測定ガス中
に含有される窒素酸化物は、触媒の作用により窒素と酸
素とに分解され、従って、当該第３室内の酸素量は、第
２室内の酸素量よりも前記分解された分量だけ増加す
る。第１室と第３室との間に設けられた第２の酸素セン
サの出力が前記設定値となるように当該第３室の第２の
酸素ポンプを制御する。そして、第２、第１の酸素ポン
プの制御電流の差を検出する。この検出せる電流差によ
り被測定ガス中の窒素酸化物の濃度を検出する。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。図１においてＮＯX センサ１の本体２は、細
長い箱形をなし、中央の隔壁２ａを挟んで両側に細長い
室３と、当該室３よりも小さい２つの室４、５とが長手
方向に沿って設けられており、室３は、一端が隔壁６に
より閉塞され、他端が開口され、室４の閉塞端２ｄの一
部は隔壁７により形成されている。また、室４と５と
は、隔壁８により画成され、且つ同じ形状及び大きさに
形成されている。
詳述する。図１においてＮＯX センサ１の本体２は、細
長い箱形をなし、中央の隔壁２ａを挟んで両側に細長い
室３と、当該室３よりも小さい２つの室４、５とが長手
方向に沿って設けられており、室３は、一端が隔壁６に
より閉塞され、他端が開口され、室４の閉塞端２ｄの一
部は隔壁７により形成されている。また、室４と５と
は、隔壁８により画成され、且つ同じ形状及び大きさに
形成されている。
【０００８】本体２は、酸素イオン伝導性固体電解質部
材により形成されており、隔壁６〜８は、前記酸素イオ
ンの流れを遮断する絶縁部材により形成されている。酸
素イオン伝導性固体電解質部材は、例えば、酸化ジルコ
ニウム（ＺｒＯ2 ）に少量の酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ
3 ）を固溶したものがある。隔壁６は、室３の一端にお
いて中央の隔壁２ａの先端と側壁２ｂの先端との間を遮
断絶縁し、隔壁７は、室４の閉塞端２ｄと中央の隔壁２
ａの先端との間を絶縁し、隔壁８は、一端が中央の隔壁
２ａを、他端が側壁２ｃを夫々貫通して室４と５とを絶
縁しており、隔壁２ａと側壁２ｂ、２ｃとの間及び室４
と５との間における酸素イオンの伝導を遮断している。
また、側壁２ｃには室４、５に連通する孔２ｅ、２ｆが
穿設されており、これらの孔２ｅ、２ｆは、同径とされ
ている。
材により形成されており、隔壁６〜８は、前記酸素イオ
ンの流れを遮断する絶縁部材により形成されている。酸
素イオン伝導性固体電解質部材は、例えば、酸化ジルコ
ニウム（ＺｒＯ2 ）に少量の酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ
3 ）を固溶したものがある。隔壁６は、室３の一端にお
いて中央の隔壁２ａの先端と側壁２ｂの先端との間を遮
断絶縁し、隔壁７は、室４の閉塞端２ｄと中央の隔壁２
ａの先端との間を絶縁し、隔壁８は、一端が中央の隔壁
２ａを、他端が側壁２ｃを夫々貫通して室４と５とを絶
縁しており、隔壁２ａと側壁２ｂ、２ｃとの間及び室４
と５との間における酸素イオンの伝導を遮断している。
また、側壁２ｃには室４、５に連通する孔２ｅ、２ｆが
穿設されており、これらの孔２ｅ、２ｆは、同径とされ
ている。
【０００９】中央の隔壁２ａの室４、５内の壁面には電
極１１、１３が設けられており、当該隔壁２ａの室３内
の壁面にはこれらの電極１１、１３と対抗して電極１
２、１４が設けられている。更に、側壁２ｃの室４、５
内の壁面には電極１５、１７が設けられており、当該側
壁２ｃの外面には電極１５、１７と対抗して電極１６、
１８が設けられている。これらの電極１１〜１８は、例
えば、白金（Ｐｔ）により形成されている。また、側壁
２ｃの室４内の壁面にはＮＯX を分解するための触媒例
えば、Ｃｕ／ゼオライト触媒２０が設けられている。こ
のＣｕ／ゼオライト触媒２０は、室４内の酸素濃度が過
剰な状態においても導入された排気ガス中に含有される
ＮＯX を、Ｎ2 とＯ2 とに分解する。また、この側壁２
ｃにはヒータ２３が内蔵されており、昇温特性の改善、
Ｃｕ／ゼオライト触媒２０及びセンサ温度の安定化を図
るようになっている。
極１１、１３が設けられており、当該隔壁２ａの室３内
の壁面にはこれらの電極１１、１３と対抗して電極１
２、１４が設けられている。更に、側壁２ｃの室４、５
内の壁面には電極１５、１７が設けられており、当該側
壁２ｃの外面には電極１５、１７と対抗して電極１６、
１８が設けられている。これらの電極１１〜１８は、例
えば、白金（Ｐｔ）により形成されている。また、側壁
２ｃの室４内の壁面にはＮＯX を分解するための触媒例
えば、Ｃｕ／ゼオライト触媒２０が設けられている。こ
のＣｕ／ゼオライト触媒２０は、室４内の酸素濃度が過
剰な状態においても導入された排気ガス中に含有される
ＮＯX を、Ｎ2 とＯ2 とに分解する。また、この側壁２
ｃにはヒータ２３が内蔵されており、昇温特性の改善、
Ｃｕ／ゼオライト触媒２０及びセンサ温度の安定化を図
るようになっている。
【００１０】電極１１、１２とこれらの両電極間に介在
された隔壁２ａ、電極１３、１４とこれらの両電極間に
介在された隔壁２ａとにより夫々酸素センサ２５、２６
が形成される。また、電極１５、１６とこれらの両電極
間に介在された側壁２ｃ、電極１７、１８とこれらの両
電極間に介在された側壁２ｃとにより夫々酸素ポンプ２
７、２８が形成される。そして、これらの酸素センサ２
５、２６は、ＮＯX 検出回路の電圧検出部に、酸素ポン
プ２７、２８は、当該ＮＯX 検出回路のポンプ電流制御
部（何れも図示せず）に接続される。
された隔壁２ａ、電極１３、１４とこれらの両電極間に
介在された隔壁２ａとにより夫々酸素センサ２５、２６
が形成される。また、電極１５、１６とこれらの両電極
間に介在された側壁２ｃ、電極１７、１８とこれらの両
電極間に介在された側壁２ｃとにより夫々酸素ポンプ２
７、２８が形成される。そして、これらの酸素センサ２
５、２６は、ＮＯX 検出回路の電圧検出部に、酸素ポン
プ２７、２８は、当該ＮＯX 検出回路のポンプ電流制御
部（何れも図示せず）に接続される。
【００１１】このＮＯX センサ１は、被測定ガスの雰囲
気中例えば、エンジンの排気ガス通路に配設され、室３
には他端から酸素濃度の基準となる大気が導入され、室
４、５内には孔２ｅ、２ｆを通して排気ガスが導入され
る。そして、室４内のＣｕ／ゼオライト触媒２０は、当
該室４内に導入された排気ガスに含有されるＮＯX を、
Ｎ2 とＯ2 とに分解し、酸素センサ２５は、電極１１と
１２とにより当該室４内の酸素濃度と大気が導入されて
いる室３の酸素濃度との差（酸素濃度差）により生じた
電位差を検出する。また、酸素ポンプ２７は、室４から
室外（排気ガス通路側）に酸素を汲み出して当該室４内
の酸素量を制御する。
気中例えば、エンジンの排気ガス通路に配設され、室３
には他端から酸素濃度の基準となる大気が導入され、室
４、５内には孔２ｅ、２ｆを通して排気ガスが導入され
る。そして、室４内のＣｕ／ゼオライト触媒２０は、当
該室４内に導入された排気ガスに含有されるＮＯX を、
Ｎ2 とＯ2 とに分解し、酸素センサ２５は、電極１１と
１２とにより当該室４内の酸素濃度と大気が導入されて
いる室３の酸素濃度との差（酸素濃度差）により生じた
電位差を検出する。また、酸素ポンプ２７は、室４から
室外（排気ガス通路側）に酸素を汲み出して当該室４内
の酸素量を制御する。
【００１２】室５は、通常の酸素センサの構造を有し、
酸素センサ２６は、電極１３と１４とにより当該室５内
に導入された排気ガスに含有される酸素濃度と室３内の
大気中の酸素濃度との差（酸素濃度差）により生じた電
位差を検出する。また、酸素ポンプ２８は、酸素ポンイ
プ２７と同様に室５内の酸素を室外に汲み出して当該室
５内の酸素量を制御する。
酸素センサ２６は、電極１３と１４とにより当該室５内
に導入された排気ガスに含有される酸素濃度と室３内の
大気中の酸素濃度との差（酸素濃度差）により生じた電
位差を検出する。また、酸素ポンプ２８は、酸素ポンイ
プ２７と同様に室５内の酸素を室外に汲み出して当該室
５内の酸素量を制御する。
【００１３】以下に作用を説明する。ＮＯX センサ１の
室４、５内には夫々孔２ｅ、２ｆから同一の排気ガスが
同量導入される。室５側の酸素センサ２６は、室３に導
入された大気中の酸素濃度と孔２ｆを通して室５内に導
入された排気ガス中の酸素濃度との濃度差に応じた電位
差Ｖ2 を発生する。そして、大気中の酸素濃度は、酸素
濃度の基準値とされる。前記ポンプ電流制御部は、前記
電位差Ｖ2 が常に設定値α（Ｖ）となるように酸素ポン
プ２８の電極１７、１８間に流す電流即ち、ポンプ電流
ＩP2を制御して室５内の酸素量を制御する。この室５内
の酸素は、側壁２ｃを通して室外に汲み出される。
室４、５内には夫々孔２ｅ、２ｆから同一の排気ガスが
同量導入される。室５側の酸素センサ２６は、室３に導
入された大気中の酸素濃度と孔２ｆを通して室５内に導
入された排気ガス中の酸素濃度との濃度差に応じた電位
差Ｖ2 を発生する。そして、大気中の酸素濃度は、酸素
濃度の基準値とされる。前記ポンプ電流制御部は、前記
電位差Ｖ2 が常に設定値α（Ｖ）となるように酸素ポン
プ２８の電極１７、１８間に流す電流即ち、ポンプ電流
ＩP2を制御して室５内の酸素量を制御する。この室５内
の酸素は、側壁２ｃを通して室外に汲み出される。
【００１４】一方、室４側の酸素センサ２５は、室３に
導入された大気中の酸素濃度と室４内の酸素濃度との濃
度差に応じた電位差Ｖ1 を発生する。また、当該室４内
に導入された排気ガスに含有されるＮＯX は、Ｃｕ／ゼ
オライト触媒２０の作用によりＮ2 とＯ2 とに分解され
る。従って、室４内の酸素量は、導入された排気ガス中
の酸素と、前記ＮＯX の分解により発生した酸素とが存
在することとなり、当該室４内の酸素量は、室５内の酸
素量に比べて前記分解されて発生した酸素量だけ増加す
る。
導入された大気中の酸素濃度と室４内の酸素濃度との濃
度差に応じた電位差Ｖ1 を発生する。また、当該室４内
に導入された排気ガスに含有されるＮＯX は、Ｃｕ／ゼ
オライト触媒２０の作用によりＮ2 とＯ2 とに分解され
る。従って、室４内の酸素量は、導入された排気ガス中
の酸素と、前記ＮＯX の分解により発生した酸素とが存
在することとなり、当該室４内の酸素量は、室５内の酸
素量に比べて前記分解されて発生した酸素量だけ増加す
る。
【００１５】前記ポンプ電流制御部は、酸素センサ２５
により検出された前記電位差Ｖ1 が、室５側の酸素セン
サ２６により検出された電位差Ｖ2 と等しくなるように
電極１５、１６間に流すポンプ電流ＩP1を制御し、室４
内の酸素を側壁２ｃを通して室外に汲み出す。このとき
のポンプ電流ＩP1は、前記ポンプ電流ＩP2よりも大きい
値となる。従って、室４側の酸素ポンプ２７のポンプ電
流ＩP1と室５側の酸素ポンプ２８のポンプ電流ＩP2とを
比較し、その差ΔＩP （＝ＩP1−ＩP2）を演算すること
により排気ガス中のＮＯX 濃度（ｐｐｍ）を検出するこ
とができる。
により検出された前記電位差Ｖ1 が、室５側の酸素セン
サ２６により検出された電位差Ｖ2 と等しくなるように
電極１５、１６間に流すポンプ電流ＩP1を制御し、室４
内の酸素を側壁２ｃを通して室外に汲み出す。このとき
のポンプ電流ＩP1は、前記ポンプ電流ＩP2よりも大きい
値となる。従って、室４側の酸素ポンプ２７のポンプ電
流ＩP1と室５側の酸素ポンプ２８のポンプ電流ＩP2とを
比較し、その差ΔＩP （＝ＩP1−ＩP2）を演算すること
により排気ガス中のＮＯX 濃度（ｐｐｍ）を検出するこ
とができる。
【００１６】尚、本実施例においては、ＮＯX センサ１
の室４内に導入したＮＯX をＮ2 とＯ2 とに分解する触
媒として、Ｃｕ／ゼオライト触媒を使用した場合につい
て記述したが、これに限るものではなく、ＮＯX をＮ2
とＯ2 とに分解可能な触媒であれば他の触媒を使用して
もよく、また、当該触媒とＣｕ／ゼオライト触媒とを併
用してもよい。
の室４内に導入したＮＯX をＮ2 とＯ2 とに分解する触
媒として、Ｃｕ／ゼオライト触媒を使用した場合につい
て記述したが、これに限るものではなく、ＮＯX をＮ2
とＯ2 とに分解可能な触媒であれば他の触媒を使用して
もよく、また、当該触媒とＣｕ／ゼオライト触媒とを併
用してもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、酸
素イオン伝導性固体電解質部材により大気を導入する第
１室と被測定ガスを導入する第２、第３室とを形成し、
第１室と第２及び第３室との隔壁を挟んで夫々電極を設
けて第１、第２の酸素センサを形成し、第２、第３室の
各側壁の内外面に夫々電極を設けてこれらの各室内の酸
素を室外に汲み出す第１、第２の酸素ポンプを形成し、
前記第２室と第３室とを酸素イオンの伝導を遮断する絶
縁部材により画成し、前記第３室内に導入された被測定
ガス中の窒素酸化物を窒素と酸素とに分解する触媒を設
け、前記第１の酸素センサの出力を設定値に保持すべく
前記第１の酸素ポンプを制御し、前記第２の酸素センサ
の出力を前記設定値とすべく前記第２の酸素ポンプを制
御し、これらの第１及び第２の酸素ポンプの制御電流の
差により前記窒素酸化物の濃度を検出するようにしたの
で、前記被測定ガス中に含有される窒素酸化物の濃度を
簡単に、且つ正確に検出することが可能となるという効
果がある。
素イオン伝導性固体電解質部材により大気を導入する第
１室と被測定ガスを導入する第２、第３室とを形成し、
第１室と第２及び第３室との隔壁を挟んで夫々電極を設
けて第１、第２の酸素センサを形成し、第２、第３室の
各側壁の内外面に夫々電極を設けてこれらの各室内の酸
素を室外に汲み出す第１、第２の酸素ポンプを形成し、
前記第２室と第３室とを酸素イオンの伝導を遮断する絶
縁部材により画成し、前記第３室内に導入された被測定
ガス中の窒素酸化物を窒素と酸素とに分解する触媒を設
け、前記第１の酸素センサの出力を設定値に保持すべく
前記第１の酸素ポンプを制御し、前記第２の酸素センサ
の出力を前記設定値とすべく前記第２の酸素ポンプを制
御し、これらの第１及び第２の酸素ポンプの制御電流の
差により前記窒素酸化物の濃度を検出するようにしたの
で、前記被測定ガス中に含有される窒素酸化物の濃度を
簡単に、且つ正確に検出することが可能となるという効
果がある。
【図１】本発明に係るＮＯX センサの一実施例を示す要
部断面図である。
部断面図である。
１ ＮＯX センサ ２ 本体 ３ 大気導入室 ４、５ 被測定ガス導入室 １１〜１８ 電極 ２０ 触媒 ２３ ヒータ ２５、２６ 酸素センサ ２７、２８ 酸素ポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 27/416 G01N 27/41
Claims (1)
- 【請求項１】 酸素イオン伝導性固体電解質部材により
大気を導入する第１室と被測定ガスを導入する第２、第
３室とを形成し、第１室と第２及び第３室との隔壁を挟
んで夫々電極を設けて第１、第２の酸素センサを形成
し、第２、第３室の各側壁の内外面に夫々電極を設けて
これらの各室内の酸素を室外に汲み出す第１、第２の酸
素ポンプを形成し、前記第２室と第３室とを酸素イオン
の伝導を遮断する絶縁部材により画成し、前記第３室内
に導入された被測定ガス中の窒素酸化物を窒素と酸素と
に分解する触媒を設け、前記第１の酸素センサの出力を
設定値に保持すべく前記第１の酸素ポンプを制御し、前
記第２の酸素センサの出力を前記設定値とすべく前記第
２の酸素ポンプを制御し、これらの第１及び第２の酸素
ポンプの制御電流の差により前記窒素酸化物の濃度を検
出することを特徴とするＮＯX センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03132884A JP3104290B2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | Ｎｏｘ センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03132884A JP3104290B2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | Ｎｏｘ センサ |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000181737A Division JP2001013104A (ja) | 2000-01-01 | 2000-06-16 | ＮＯｘセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04359143A JPH04359143A (ja) | 1992-12-11 |
| JP3104290B2 true JP3104290B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=15091811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03132884A Expired - Fee Related JP3104290B2 (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | Ｎｏｘ センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3104290B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1991
- 1991-06-04 JP JP03132884A patent/JP3104290B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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