JP3098873B2 - 光ファイバ母材の製造装置 - Google Patents
光ファイバ母材の製造装置Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、火炎加水分解反応によ
ってガラス微粒子を生成し、出発材上に堆積させて多孔
質ガラス体を得る光ファイバ母材の製造方法に係り、特
に反応室内の気流の乱れを抑制することによって外径、
屈折率分布の微小変動のない高品質光ファイバ母材を得
ることのできる光ファイバ母材の製造装置に関する。
ってガラス微粒子を生成し、出発材上に堆積させて多孔
質ガラス体を得る光ファイバ母材の製造方法に係り、特
に反応室内の気流の乱れを抑制することによって外径、
屈折率分布の微小変動のない高品質光ファイバ母材を得
ることのできる光ファイバ母材の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、光ファイバにおいては、光は光
ファイバのコアとクラッドの境界面で全反射しながらコ
アの中を伝搬していく。この伝搬の仕方は、コアの屈折
率分布によって差が生じ、ステップインデックス形、グ
レーデッドインデックス形ともコア径が数１０μｍ以上
になると、光の入射角によって光の通路が異なり多数の
光路が生じる。また、コアの外径を５〜１５μｍ程度に
すると、光がコアとクラッドの境界面で反射しないでコ
アの中を直進し光路が一つとなる。このような光ファイ
バがシングルモード光ファイバである。
ファイバのコアとクラッドの境界面で全反射しながらコ
アの中を伝搬していく。この伝搬の仕方は、コアの屈折
率分布によって差が生じ、ステップインデックス形、グ
レーデッドインデックス形ともコア径が数１０μｍ以上
になると、光の入射角によって光の通路が異なり多数の
光路が生じる。また、コアの外径を５〜１５μｍ程度に
すると、光がコアとクラッドの境界面で反射しないでコ
アの中を直進し光路が一つとなる。このような光ファイ
バがシングルモード光ファイバである。
【０００３】このような光ファイバにおいては、入射し
た光の強さが減衰することなく出射されるのが理想的で
あるが、光が光ファイバのコアの中を伝搬していく間に
種々の原因で伝送損失を生じる。光ファイバ中を伝搬し
ていく間に光の強さが弱くなっていく度合が光ファイバ
の伝送損失である。光ファイバの伝送損失は、紫外線領
域における電子遷移による吸収、赤外領域における分子
振動による吸収、波長の４乗に反比例するレイリー散
乱、不純物特に水（水酸イオン・ＯＨ基）による吸収が
主なものであり、これら全体の和として波長依存性を有
している。
た光の強さが減衰することなく出射されるのが理想的で
あるが、光が光ファイバのコアの中を伝搬していく間に
種々の原因で伝送損失を生じる。光ファイバ中を伝搬し
ていく間に光の強さが弱くなっていく度合が光ファイバ
の伝送損失である。光ファイバの伝送損失は、紫外線領
域における電子遷移による吸収、赤外領域における分子
振動による吸収、波長の４乗に反比例するレイリー散
乱、不純物特に水（水酸イオン・ＯＨ基）による吸収が
主なものであり、これら全体の和として波長依存性を有
している。
【０００４】また、光ファイバは、伝送帯域が広いほど
情報の伝送容量が大きい。すなわち、伝送帯域が広いほ
ど多くの信号を一度に送ることができる。この伝送帯域
は、長さ１Ｋｍの光ファイバの片端に直流から高周波ま
での帯域をもつ振幅一定の信号を入力し、出力端での受
信信号の振幅が６ｄＢ低下した周波数の値で示したもの
である。
情報の伝送容量が大きい。すなわち、伝送帯域が広いほ
ど多くの信号を一度に送ることができる。この伝送帯域
は、長さ１Ｋｍの光ファイバの片端に直流から高周波ま
での帯域をもつ振幅一定の信号を入力し、出力端での受
信信号の振幅が６ｄＢ低下した周波数の値で示したもの
である。
【０００５】このような光ファイバ母材の製造は、従
来、図４に示す如くハイブリッド法に基づく光ファイバ
母材の製造装置によって製造されている。図中、１は反
応室、２はトーチ、３はガラス種棒、４はガラス微粒子
含有火炎、５はスート、６は排気ダクトである。
来、図４に示す如くハイブリッド法に基づく光ファイバ
母材の製造装置によって製造されている。図中、１は反
応室、２はトーチ、３はガラス種棒、４はガラス微粒子
含有火炎、５はスート、６は排気ダクトである。
【０００６】すなわち、反応室１内の下方に配置したト
ーチ２に、ガラス原料としてのＳｉＣｌ４、ド−プ原料
としてのＧｅＣｌ４を供給し、トーチ２からその上方の
タ−ゲットとしてのガラス種棒３に向けてガラス微粒子
含有火炎４を噴射し、ガラス微粒子のスート５をガラス
種棒３の先端に付着、堆積させることにより多孔質の光
ファイバ母材を形成する。そして、この多孔質の光ファ
イバ母材を、反応室１において、電気炉（図示していな
い）で加熱したＨｅ，Ｃｌ２、Ｏ２などの脱水作用およ
びド−パント揮発作用を有する高温のガスを導入し、こ
の高温のガス雰囲気中でスート５を図４に図示の矢印Ｆ
に示す如く回転させながらガラス種棒３を図４に図示の
矢印Ｇに示す如く右方に移動しつつ脱水、透明化し、長
尺で透明の光ファイバ母材を形成するものである。
ーチ２に、ガラス原料としてのＳｉＣｌ４、ド−プ原料
としてのＧｅＣｌ４を供給し、トーチ２からその上方の
タ−ゲットとしてのガラス種棒３に向けてガラス微粒子
含有火炎４を噴射し、ガラス微粒子のスート５をガラス
種棒３の先端に付着、堆積させることにより多孔質の光
ファイバ母材を形成する。そして、この多孔質の光ファ
イバ母材を、反応室１において、電気炉（図示していな
い）で加熱したＨｅ，Ｃｌ２、Ｏ２などの脱水作用およ
びド−パント揮発作用を有する高温のガスを導入し、こ
の高温のガス雰囲気中でスート５を図４に図示の矢印Ｆ
に示す如く回転させながらガラス種棒３を図４に図示の
矢印Ｇに示す如く右方に移動しつつ脱水、透明化し、長
尺で透明の光ファイバ母材を形成するものである。
【０００７】トーチ２から噴射されたガラス微粒子含有
火炎４によってガラス種棒３の先端にコアスート５を堆
積する際に発生する腐食性ガス及び残余スートは、排気
ダクト６から図示されていない排気ガス処理装置に送ら
れる。
火炎４によってガラス種棒３の先端にコアスート５を堆
積する際に発生する腐食性ガス及び残余スートは、排気
ダクト６から図示されていない排気ガス処理装置に送ら
れる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来方法にお
いては、トーチ２から噴射されたガラス微粒子含有火炎
４によってガラス種棒３の先端にコアスート５を堆積す
る際に発生する腐食性ガス及び残余スートの量と排気ダ
クト６の排気能力とが一致せず、排気ダクト６の排気能
力が発生する腐食性ガス及び残余スートの量を上回って
おり、排気ダクト６のラッパ状に拡がった開口部に排気
ダクト６の開口部外周から反応室１内の汚れていない空
気が図４に図示の矢印Ｈに示す如く排気ダクト６内に回
り込み排気ダクト６に流れ込む。この排気ダクト６の開
口部に開口部外周から排気ダクト６内に反応室１内の汚
れていない空気が図４に図示の矢印Ｈに示す如く回り込
むと、反応室１内に乱流が生じる。この乱流が生じる
と、トーチ２から噴射されるガラス微粒子含有火炎４が
不規則に揺らぎ、このガラス微粒子含有火炎４の不規則
な揺らぎがガラス微粒子の均一な堆積を阻害し、光ファ
イバ母材の外径、屈折率差、ＲＩ分布の長手方向での微
小変動をもたらし製造される光ファイバ母材の品質を低
下させるという問題点を有している。
いては、トーチ２から噴射されたガラス微粒子含有火炎
４によってガラス種棒３の先端にコアスート５を堆積す
る際に発生する腐食性ガス及び残余スートの量と排気ダ
クト６の排気能力とが一致せず、排気ダクト６の排気能
力が発生する腐食性ガス及び残余スートの量を上回って
おり、排気ダクト６のラッパ状に拡がった開口部に排気
ダクト６の開口部外周から反応室１内の汚れていない空
気が図４に図示の矢印Ｈに示す如く排気ダクト６内に回
り込み排気ダクト６に流れ込む。この排気ダクト６の開
口部に開口部外周から排気ダクト６内に反応室１内の汚
れていない空気が図４に図示の矢印Ｈに示す如く回り込
むと、反応室１内に乱流が生じる。この乱流が生じる
と、トーチ２から噴射されるガラス微粒子含有火炎４が
不規則に揺らぎ、このガラス微粒子含有火炎４の不規則
な揺らぎがガラス微粒子の均一な堆積を阻害し、光ファ
イバ母材の外径、屈折率差、ＲＩ分布の長手方向での微
小変動をもたらし製造される光ファイバ母材の品質を低
下させるという問題点を有している。
【０００９】この反応室１内に乱流は、排気ダクト６の
排気口を小さくする等排気ダクト６の排気能力をガラス
微粒子含有火炎４の噴射によって発生する腐食性ガス及
び残余スートの量より下げることによって、ある程度の
改善はできる。しかし、排気ダクト６の排気能力をガラ
ス微粒子含有火炎４の噴射によって発生する腐食性ガス
及び残余スートの量より下げると、ガラス微粒子含有火
炎４の噴射によって発生する腐食性ガス及び残余スート
を十分に捕集できなくなり光ファイバ母材の品質の低下
を招いてしまう。
排気口を小さくする等排気ダクト６の排気能力をガラス
微粒子含有火炎４の噴射によって発生する腐食性ガス及
び残余スートの量より下げることによって、ある程度の
改善はできる。しかし、排気ダクト６の排気能力をガラ
ス微粒子含有火炎４の噴射によって発生する腐食性ガス
及び残余スートの量より下げると、ガラス微粒子含有火
炎４の噴射によって発生する腐食性ガス及び残余スート
を十分に捕集できなくなり光ファイバ母材の品質の低下
を招いてしまう。
【００１０】本発明は、排気ダクトによる腐食性ガスの
排気の際に生じる気流の乱れを防止し、光ファイバ母材
の長手方向での外径、屈折率差、ＲＩ分布の微小変動を
抑制することのできる光ファイバ母材の製造方法及び光
ファイバ母材の製造装置を提供することを目的としてい
る。
排気の際に生じる気流の乱れを防止し、光ファイバ母材
の長手方向での外径、屈折率差、ＲＩ分布の微小変動を
抑制することのできる光ファイバ母材の製造方法及び光
ファイバ母材の製造装置を提供することを目的としてい
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願請求項１に記載の光ファイバ母材の製造装置
は、ガラス微粒子流を放射してターゲットにコアスート
を堆積させるトーチと、このコアスート堆積箇所近傍で
排気ガス処理室に接続される排気ダクト管を備えてなる
光ファイバ母材の製造装置において，前記排気ダクト管
内を壁面によって外管室と内管室とに仕切って内管と外
管の二重管構造とし、前記外管室と内管室とを隔離する
壁面に外管から内管へ気流を流通せしめる複数の連通孔
を形成し、前記内管には排気ガス処理装置を接続され、
前記外管には排気ガス処理装置方向の所定位置にて反応
室外部の外気を前記内管の排気能力が該内管に吸い込ま
れる腐食性ガス及び残余スートの量を上回ったときに前
記内管の排気能力に応じて外管室に導入する吸気ダクト
が接続され、前記内管の内径はトーチ側から排気ガス処
理装置方向へ向かって縮径して形成したものである。
に、本願請求項１に記載の光ファイバ母材の製造装置
は、ガラス微粒子流を放射してターゲットにコアスート
を堆積させるトーチと、このコアスート堆積箇所近傍で
排気ガス処理室に接続される排気ダクト管を備えてなる
光ファイバ母材の製造装置において，前記排気ダクト管
内を壁面によって外管室と内管室とに仕切って内管と外
管の二重管構造とし、前記外管室と内管室とを隔離する
壁面に外管から内管へ気流を流通せしめる複数の連通孔
を形成し、前記内管には排気ガス処理装置を接続され、
前記外管には排気ガス処理装置方向の所定位置にて反応
室外部の外気を前記内管の排気能力が該内管に吸い込ま
れる腐食性ガス及び残余スートの量を上回ったときに前
記内管の排気能力に応じて外管室に導入する吸気ダクト
が接続され、前記内管の内径はトーチ側から排気ガス処
理装置方向へ向かって縮径して形成したものである。
【００１２】そして、内管と外管のそれぞれにダンパと
ダンパ調整器を設け、吸・排気の調節ができるようにす
るのが好ましい。
ダンパ調整器を設け、吸・排気の調節ができるようにす
るのが好ましい。
【００１３】
【作用】ガラス微粒子流を放射してターゲットにコアス
ートを堆積させるトーチと、このコアスート堆積箇所近
傍で排気ガス処理室に接続される排気ダクト管を備えて
なる光ファイバ母材の製造装置において，前記排気ダク
ト管内を壁面によって外管室と内管室とに仕切って内管
と外管の二重管構造とし、前記外管室と内管室とを隔離
する壁面に外管から内管へ気流を流通せしめる複数の連
通孔を形成し、前記内管には排気ガス処理装置を接続さ
れ、前記外管には排気ガス処理装置方向の所定位置にて
前記内管の排気能力が該内管に吸い込まれる腐食性ガス
及び残余スートの量を上回ったときに前記内管の排気能
力に応じて反応室外部の外気を外管室に導入する吸気ダ
クトが接続され、前記内管の内径はトーチ側から排気ガ
ス処理装置方向へ向かって縮径して形成してあるため、
トーチからガラス微粒子含有火炎を放射しガラス種棒に
コアスートを堆積させ、腐食性ガス及び残余スートを排
気ダクトから排気させて光ファイバ母材を製造する際
に、内管の腐食性ガス及び残余スートを排気する能力
が、内管に吸い込まれる量を上回ったときに、内管の排
気能力に応じて反応室外部から外管室に外気を導入する
ので、コアスートを堆積する際に発生する腐食性ガス及
び残余スートを排気ダクト内にスムーズに誘導すること
ができ、排気ダクトによる腐食性ガスの排気の際に生じ
る気流の乱れを防止でき、光ファイバ母材の長手方向で
の外径、屈折率差、ＲＩ分布の微小変動を抑制すること
ができる。
ートを堆積させるトーチと、このコアスート堆積箇所近
傍で排気ガス処理室に接続される排気ダクト管を備えて
なる光ファイバ母材の製造装置において，前記排気ダク
ト管内を壁面によって外管室と内管室とに仕切って内管
と外管の二重管構造とし、前記外管室と内管室とを隔離
する壁面に外管から内管へ気流を流通せしめる複数の連
通孔を形成し、前記内管には排気ガス処理装置を接続さ
れ、前記外管には排気ガス処理装置方向の所定位置にて
前記内管の排気能力が該内管に吸い込まれる腐食性ガス
及び残余スートの量を上回ったときに前記内管の排気能
力に応じて反応室外部の外気を外管室に導入する吸気ダ
クトが接続され、前記内管の内径はトーチ側から排気ガ
ス処理装置方向へ向かって縮径して形成してあるため、
トーチからガラス微粒子含有火炎を放射しガラス種棒に
コアスートを堆積させ、腐食性ガス及び残余スートを排
気ダクトから排気させて光ファイバ母材を製造する際
に、内管の腐食性ガス及び残余スートを排気する能力
が、内管に吸い込まれる量を上回ったときに、内管の排
気能力に応じて反応室外部から外管室に外気を導入する
ので、コアスートを堆積する際に発生する腐食性ガス及
び残余スートを排気ダクト内にスムーズに誘導すること
ができ、排気ダクトによる腐食性ガスの排気の際に生じ
る気流の乱れを防止でき、光ファイバ母材の長手方向で
の外径、屈折率差、ＲＩ分布の微小変動を抑制すること
ができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１、図２には、本発明に係る光ファイバ母材の製造装置
の一実施例が示されている。
１、図２には、本発明に係る光ファイバ母材の製造装置
の一実施例が示されている。
【００１５】図において、１は反応室で、光ファイバ母
材を連続的に製造していく場所である。すなわち、この
反応室１は、ガラス原料としてのＳｉＣｌ４、ド−プ原
料としてのＧｅＣｌ４を供給し、ガラス微粒子含有火炎
を噴射して、ガラス微粒子のスートを堆積させ、光ファ
イバ母材を形成した後、この光ファイバ母材を、Ｈｅ，
Ｃｌ２、Ｏ２などの透明化作用、脱水作用およびド−パ
ント揮発抑制作用を有するガスを導入して、高温下でス
ートを脱水、透明化し、長尺で透明の光ファイバ母材を
形成するところである。２はトーチで、反応室１内の下
方に配置されている。このトーチ２は、供給されるガラ
ス原料としてのＳｉＣｌ４、ド−プ原料としてのＧｅＣ
ｌ４をガラス微粒子含有火炎４として噴射するものであ
る。すなわち、このトーチ２は、ＳｉＣｌ４の蒸気を可
燃ガス（Ｈ2 ）と酸素を用いて加水分解してＳｉＯ２ス
ートを発生させ、種になる石英棒（ガラス種棒３）の先
端にＳｉＯ２スートを堆積させるためのものである。３
はガラス種棒で、トーチ２から噴射されるガラス微粒子
含有火炎４によって発生するガラス微粒子のスート５を
堆積させるものである。すなわち、ガラス種棒３を図１
に図示の矢印Ａに示す如き方向に回転しながら図１に図
示の矢印Ｂに示す如き方向に移動していくと、トーチ２
から供給されるＳｉＯ２スートが連続的に堆積されて成
長していく。
材を連続的に製造していく場所である。すなわち、この
反応室１は、ガラス原料としてのＳｉＣｌ４、ド−プ原
料としてのＧｅＣｌ４を供給し、ガラス微粒子含有火炎
を噴射して、ガラス微粒子のスートを堆積させ、光ファ
イバ母材を形成した後、この光ファイバ母材を、Ｈｅ，
Ｃｌ２、Ｏ２などの透明化作用、脱水作用およびド−パ
ント揮発抑制作用を有するガスを導入して、高温下でス
ートを脱水、透明化し、長尺で透明の光ファイバ母材を
形成するところである。２はトーチで、反応室１内の下
方に配置されている。このトーチ２は、供給されるガラ
ス原料としてのＳｉＣｌ４、ド−プ原料としてのＧｅＣ
ｌ４をガラス微粒子含有火炎４として噴射するものであ
る。すなわち、このトーチ２は、ＳｉＣｌ４の蒸気を可
燃ガス（Ｈ2 ）と酸素を用いて加水分解してＳｉＯ２ス
ートを発生させ、種になる石英棒（ガラス種棒３）の先
端にＳｉＯ２スートを堆積させるためのものである。３
はガラス種棒で、トーチ２から噴射されるガラス微粒子
含有火炎４によって発生するガラス微粒子のスート５を
堆積させるものである。すなわち、ガラス種棒３を図１
に図示の矢印Ａに示す如き方向に回転しながら図１に図
示の矢印Ｂに示す如き方向に移動していくと、トーチ２
から供給されるＳｉＯ２スートが連続的に堆積されて成
長していく。
【００１６】１０は排気ダクトで、反応室１の上部に設
けられている。この排気ダクト１０は、トーチ２から噴
射されたガラス微粒子含有火炎４によってガラス種棒３
の先端にスート５を堆積する際に発生する腐食性ガス及
び残余スートを排気するものであり、図２に示す如き構
成を有している。すなわち、排気ダクト１０は、内管２
０と外管３０の二重管構造を有している。内管２０は、
断面が四角形状の筒状部２１を有し、この筒状部２１の
下端部には、裾がラッパ状に拡がった開口部２２が設け
られている。この筒状部２１の上端部には、トーチ２か
ら噴射されたガラス微粒子含有火炎４によってガラス種
棒３の先端にスート５を堆積する際に発生する腐食性ガ
ス及び残余スートの処理を行う排気ガス処理装置（図示
されていない）が接続されている。２３は内管室で、ガ
ラス種棒３の先端にスート５を堆積する際に発生する腐
食性ガス及び残余スートを誘導する通路である。
けられている。この排気ダクト１０は、トーチ２から噴
射されたガラス微粒子含有火炎４によってガラス種棒３
の先端にスート５を堆積する際に発生する腐食性ガス及
び残余スートを排気するものであり、図２に示す如き構
成を有している。すなわち、排気ダクト１０は、内管２
０と外管３０の二重管構造を有している。内管２０は、
断面が四角形状の筒状部２１を有し、この筒状部２１の
下端部には、裾がラッパ状に拡がった開口部２２が設け
られている。この筒状部２１の上端部には、トーチ２か
ら噴射されたガラス微粒子含有火炎４によってガラス種
棒３の先端にスート５を堆積する際に発生する腐食性ガ
ス及び残余スートの処理を行う排気ガス処理装置（図示
されていない）が接続されている。２３は内管室で、ガ
ラス種棒３の先端にスート５を堆積する際に発生する腐
食性ガス及び残余スートを誘導する通路である。
【００１７】２４は連通孔で、円形状の穴によって構成
されており、内管室２３と外管室３３とを連通するもの
である。この連通孔２４は、内管２０の壁面２５に反応
室１の上部から略１／３の位置から下端部まで全域に渡
って複数個設けられている。この連通孔２４の径は、吸
気ダクト３４、３５の先端の吸気口３６、３７から導入
した外気を外管室３１から内管２０の壁面２５内部の内
管室２３に導入できるだけの大きさを有していればよ
い。
されており、内管室２３と外管室３３とを連通するもの
である。この連通孔２４は、内管２０の壁面２５に反応
室１の上部から略１／３の位置から下端部まで全域に渡
って複数個設けられている。この連通孔２４の径は、吸
気ダクト３４、３５の先端の吸気口３６、３７から導入
した外気を外管室３１から内管２０の壁面２５内部の内
管室２３に導入できるだけの大きさを有していればよ
い。
【００１８】外管３０は、内管２０と所定間隔を隔てて
内管２０を覆うように反応室１上部に設けられている。
３１は外管室で、反応室１の外部から外気を外管３０内
に導入するためのものである。３２は筒状部で、断面が
四角形に形成されている。３４、３５は吸気ダクトで、
一端が筒状部３２の上端部に接続されており外管室３１
と連通している。この吸気ダクト３４と吸気ダクト３５
は、外管３０の筒状部３２の互いに対向した位置に設け
られている。この吸気ダクト３４、３５は、反応室１の
上部壁面を這うように取り付けられており、吸気ダクト
３４、３５の他端が反応室１の両側壁面を貫通し、外部
に突出して設けられている。このように吸気ダクト３
４、３５は、反応室１から吸気ダクト３４、３５の外部
に突出した先端の吸気口３６、３７から外気を導入する
誘導路になっている。この吸気ダクト３４、３５への吸
気口３６、３７からの外気の導入は、自然吸気でも強制
吸気であってもよい。
内管２０を覆うように反応室１上部に設けられている。
３１は外管室で、反応室１の外部から外気を外管３０内
に導入するためのものである。３２は筒状部で、断面が
四角形に形成されている。３４、３５は吸気ダクトで、
一端が筒状部３２の上端部に接続されており外管室３１
と連通している。この吸気ダクト３４と吸気ダクト３５
は、外管３０の筒状部３２の互いに対向した位置に設け
られている。この吸気ダクト３４、３５は、反応室１の
上部壁面を這うように取り付けられており、吸気ダクト
３４、３５の他端が反応室１の両側壁面を貫通し、外部
に突出して設けられている。このように吸気ダクト３
４、３５は、反応室１から吸気ダクト３４、３５の外部
に突出した先端の吸気口３６、３７から外気を導入する
誘導路になっている。この吸気ダクト３４、３５への吸
気口３６、３７からの外気の導入は、自然吸気でも強制
吸気であってもよい。
【００１９】このように構成されるものであるから、ト
ーチ２から噴射されたガラス微粒子含有火炎４によって
ガラス種棒３の先端にコアスート５を堆積する際に発生
する腐食性ガス及び残余スートは、図１に図示の矢印Ｃ
に示す如く、真っ直ぐ上に上昇し、排気ダクト１０に吸
い込まれていく。排気ダクト１０においては、腐食性ガ
ス及び残余スートは内管２０の内管室２３に導入され
る。この内管室２３に導入された腐食性ガス及び残余ス
ートは、真っ直ぐ上に上昇していく。このとき、排気ダ
クト１０の内管２０の排気能力が吸い込まれる腐食性ガ
ス及び残余スートの量を上回ってる場合、吸気ダクト３
４、３５の吸気口３６、３７から導入された外気が内管
２０の壁面２５に設けられた連通孔２４を介して図２に
図示の矢印Ｄに示す如く、内管室２３内に吸い込まれ
る。
ーチ２から噴射されたガラス微粒子含有火炎４によって
ガラス種棒３の先端にコアスート５を堆積する際に発生
する腐食性ガス及び残余スートは、図１に図示の矢印Ｃ
に示す如く、真っ直ぐ上に上昇し、排気ダクト１０に吸
い込まれていく。排気ダクト１０においては、腐食性ガ
ス及び残余スートは内管２０の内管室２３に導入され
る。この内管室２３に導入された腐食性ガス及び残余ス
ートは、真っ直ぐ上に上昇していく。このとき、排気ダ
クト１０の内管２０の排気能力が吸い込まれる腐食性ガ
ス及び残余スートの量を上回ってる場合、吸気ダクト３
４、３５の吸気口３６、３７から導入された外気が内管
２０の壁面２５に設けられた連通孔２４を介して図２に
図示の矢印Ｄに示す如く、内管室２３内に吸い込まれ
る。
【００２０】したがって、従来のように排気ダクトの排
気能力が腐食性ガス及び残余スートの量を上回っている
場合、排気ダクトの開口部に排気ダクトの開口部外周か
ら反応室内の汚れていない空気が回り込んで排気ダクト
内に流れ込むと言う事がない。すなわち、腐食性ガス及
び残余スートの流れは整流され、反応室１内には乱流が
生じていない。
気能力が腐食性ガス及び残余スートの量を上回っている
場合、排気ダクトの開口部に排気ダクトの開口部外周か
ら反応室内の汚れていない空気が回り込んで排気ダクト
内に流れ込むと言う事がない。すなわち、腐食性ガス及
び残余スートの流れは整流され、反応室１内には乱流が
生じていない。
【００２１】なお、本実施例においては、吸気ダクトを
吸気ダクト３４、吸気ダクト３５と２本設けているが、
２本設けることは必ずしも必要なく、外気導入量が十分
確保できれば１本でもよく、また、外気導入量が十分確
保できれば吸気ダクトの径を小さくして３本、４本と複
数本設けてもよい。
吸気ダクト３４、吸気ダクト３５と２本設けているが、
２本設けることは必ずしも必要なく、外気導入量が十分
確保できれば１本でもよく、また、外気導入量が十分確
保できれば吸気ダクトの径を小さくして３本、４本と複
数本設けてもよい。
【００２２】図３には、内管の壁面に形成される連通孔
の別な実施例が示されている。本実施例は、図１に図示
の実施例が連通孔を、円形状の穴によって構成したのに
対し、連通孔４０をスリットによって構成したものであ
る。
の別な実施例が示されている。本実施例は、図１に図示
の実施例が連通孔を、円形状の穴によって構成したのに
対し、連通孔４０をスリットによって構成したものであ
る。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、ガラス微粒子流を放射
してターゲットにコアスートを堆積させるトーチと、こ
のコアスート堆積箇所近傍で排気ガス処理室に接続され
る排気ダクト管を備えてなる光ファイバ母材の製造装置
において，前記排気ダクト管内を壁面によって外管室と
内管室とに仕切って内管と外管の二重管構造とし、前記
外管室と内管室とを隔離する壁面に外管から内管へ気流
を流通せしめる複数の連通孔を形成し、前記内管には排
気ガス処理装置を接続され、前記外管には排気ガス処理
装置方向の所定位置にて反応室外部の外気を前記内管の
排気能力が該内管に吸い込まれる腐食性ガス及び残余ス
ートの量を上回ったときに前記内管の排気能力に応じて
外管室に導入する吸気ダクトが接続され、前記内管の内
径はトーチ側から排気ガス処理装置方向へ向かって縮径
して形成してあるため、トーチからガラス微粒子含有火
炎を放射しガラス種棒にコアスートを堆積させ、腐食性
ガス及び残余スートを排気ダクトから排気させて光ファ
イバ母材を製造する際に、内管の腐食性ガス及び残余ス
ートを排気する能力が、内管に吸い込まれる量を上回っ
たときに、内管の排気能力に応じて反応室外部から外管
室に外気を導入するので、コアスートを堆積する際に発
生する腐食性ガス及び残余スートを排気ダクト内にスム
ーズに誘導することができ、排気ダクトによる腐食性ガ
スの排気の際に生じる気流の乱れを防止でき、光ファイ
バ母材の長手方向での外径、屈折率差、ＲＩ分布の微小
変動を抑制することができる。
してターゲットにコアスートを堆積させるトーチと、こ
のコアスート堆積箇所近傍で排気ガス処理室に接続され
る排気ダクト管を備えてなる光ファイバ母材の製造装置
において，前記排気ダクト管内を壁面によって外管室と
内管室とに仕切って内管と外管の二重管構造とし、前記
外管室と内管室とを隔離する壁面に外管から内管へ気流
を流通せしめる複数の連通孔を形成し、前記内管には排
気ガス処理装置を接続され、前記外管には排気ガス処理
装置方向の所定位置にて反応室外部の外気を前記内管の
排気能力が該内管に吸い込まれる腐食性ガス及び残余ス
ートの量を上回ったときに前記内管の排気能力に応じて
外管室に導入する吸気ダクトが接続され、前記内管の内
径はトーチ側から排気ガス処理装置方向へ向かって縮径
して形成してあるため、トーチからガラス微粒子含有火
炎を放射しガラス種棒にコアスートを堆積させ、腐食性
ガス及び残余スートを排気ダクトから排気させて光ファ
イバ母材を製造する際に、内管の腐食性ガス及び残余ス
ートを排気する能力が、内管に吸い込まれる量を上回っ
たときに、内管の排気能力に応じて反応室外部から外管
室に外気を導入するので、コアスートを堆積する際に発
生する腐食性ガス及び残余スートを排気ダクト内にスム
ーズに誘導することができ、排気ダクトによる腐食性ガ
スの排気の際に生じる気流の乱れを防止でき、光ファイ
バ母材の長手方向での外径、屈折率差、ＲＩ分布の微小
変動を抑制することができる。
【図１】本発明に係る光ファイバ母材の製造方法及び光
ファイバ母材の製造装置の実施例を示す模式図である。
ファイバ母材の製造装置の実施例を示す模式図である。
【図２】図１に図示の排気ダクトの一部断面全体構成図
である。
である。
【図３】図１に図示の排気ダクトの連通孔の別な実施例
を示す図である。
を示す図である。
【図４】従来の光ファイバ母材の製造装置を示す模式図
である。
である。
１……………………………………………………………反
応室 ２……………………………………………………………ト
ーチ ３……………………………………………………………ガ
ラス種棒 ４……………………………………………………………ガ
ラス微粒子含有火炎 ５……………………………………………………………ス
ート １０…………………………………………………………排
気ダクト ２０…………………………………………………………内
管 ２３…………………………………………………………内
管室 ２４，４０…………………………………………………連
通孔 ３０…………………………………………………………外
管 ３１…………………………………………………………外
管室 ３４，３５…………………………………………………吸
気ダクト
応室 ２……………………………………………………………ト
ーチ ３……………………………………………………………ガ
ラス種棒 ４……………………………………………………………ガ
ラス微粒子含有火炎 ５……………………………………………………………ス
ート １０…………………………………………………………排
気ダクト ２０…………………………………………………………内
管 ２３…………………………………………………………内
管室 ２４，４０…………………………………………………連
通孔 ３０…………………………………………………………外
管 ３１…………………………………………………………外
管室 ３４，３５…………………………………………………吸
気ダクト
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス微粒子流を放射してターゲットに
コアスートを堆積させるトーチと、このコアスート堆積
箇所近傍で排気ガス処理室に接続される排気ダクト管を
備えてなる光ファイバ母材の製造装置において， 前記排気ダクト管内を壁面によって外管室と内管室とに
仕切って内管と外管の二重管構造とし、前記外管室と内
管室とを隔離する壁面に外管から内管へ気流を流通せし
める複数の連通孔を形成し、前記内管には排気ガス処理
装置を接続され、前記外管には排気ガス処理装置方向の
所定位置にて反応室外部の外気を前記内管の排気能力が
該内管に吸い込まれる腐食性ガス及び残余スートの量を
上回ったときに前記内管の排気能力に応じて外管室に導
入する吸気ダクトが接続され、前記内管の内径はトーチ
側から排気ガス処理装置方向へ向かって縮径して形成さ
れたことを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。 - 【請求項２】 前記内管と前記外管のそれぞれにダンパ
とダンパ調整器を設け、吸・排気の調節ができるように
した請求項１に記載の光ファイバ母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26592592A JP3098873B2 (ja) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26592592A JP3098873B2 (ja) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06115966A JPH06115966A (ja) | 1994-04-26 |
| JP3098873B2 true JP3098873B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=17423998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26592592A Expired - Fee Related JP3098873B2 (ja) | 1992-10-05 | 1992-10-05 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3098873B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101765524B1 (ko) * | 2016-11-22 | 2017-08-07 | 우리네트워크 주식회사 | 사물인터넷을 활용하여 멀티경보가 가능한 휴대용 소화기 거치대 |
| WO2019097557A1 (en) * | 2017-11-17 | 2019-05-23 | Prysmian S.P.A. | Apparatus and method for manufacturing glass preforms for optical fibers |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116062983B (zh) * | 2023-02-17 | 2024-08-20 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种具有稳定气流场的沉积腔 |
-
1992
- 1992-10-05 JP JP26592592A patent/JP3098873B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101765524B1 (ko) * | 2016-11-22 | 2017-08-07 | 우리네트워크 주식회사 | 사물인터넷을 활용하여 멀티경보가 가능한 휴대용 소화기 거치대 |
| WO2019097557A1 (en) * | 2017-11-17 | 2019-05-23 | Prysmian S.P.A. | Apparatus and method for manufacturing glass preforms for optical fibers |
| US11370690B2 (en) | 2017-11-17 | 2022-06-28 | Prysmian S.P.A. | Apparatus and method for manufacturing glass preforms for optical fibers |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06115966A (ja) | 1994-04-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |