JP3097385B2

JP3097385B2 - 光ファイバアレイ

Info

Publication number: JP3097385B2
Application number: JP05095177A
Authority: JP
Inventors: 俊昭柿井; 一道宮部
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 1993-03-31
Filing date: 1993-03-31
Publication date: 2000-10-10
Anticipated expiration: 2015-10-10
Also published as: JPH06289236A; TW319393U; TW268101B; TW261665B

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光並列伝送に用いるＬ
ＤアレイやＰＤアレイと結合する、光ファイバを精度良
く配置した光ファイバアレイに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、シリコン（以下、単にＳｉとい
う）をエッチング加工して形成したＶ溝で光ファイバを
挟み込んで位置決めする構造の光ファイバアレイが知ら
れている（１９８５年，１０月発行、Ｊｏｕｒｎａｌ
ｏｆＬｉｇｈｗａｖｅＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｖｏ
ｌ．ＬＴ−３Ｎｏ．５，１１５９頁）。また、特開平４
−８６８０２号公報には、２つのＬ字型磁石を対向させ
て光ファイバを挟み込む構造の光ファイバアレイが知ら
れている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の光ファイバガイ
ド用Ｖ溝は、Ｓｉエッチィング加工により形成している
ために、Ｖ溝先端で応力集中が発生し、Ｓｉアレイが欠
けてしまうという問題を有していた。また、ＬＤアレイ
やＰＤアレイと光ファイバアレイを調心固定する場合
は、ハンダ接合やＹＡＧレーザを用いるために、光ファ
イバアレイにも熱が伝導し、２００℃以上に加熱され
る。

【０００４】そのために、部品組立状態によりミクロン
オーダーで歪が発生し、結合部が劣化したり、光ファイ
バアレイ周辺の接着剤からガス発生が起こったり、或い
は結露して特性が劣化する等の問題を有していた。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、従来の光
ファイバアレイが有していた課題、即ちエッチィン
グＶ溝Ｓｉの欠け、割れ、光ファイバのハーメチィ
ックシールによる固定、熱変形対策、レンズ内
蔵光ファイバアレイなどについて種々検討した結果、

【０００６】(1) 外周部に金属スリーブの形成＋光フ
ァイバ及び該プレートと金属スリーブの隙間の一断面は
すべてハンダでシール固定の組合せ、更に、(2) 研削
加工による光ファイバガイド溝の形成、(3) 完全なハ
ーメチィックシール固定のため上下プレートに隙間の形
成によりハンダ流入の容易さ、(4) 陽極接合による上下
の光ファイバアレイプレートの固定とハーメチィックシ
ール固定及び熱歪対策、(5) ハウジングにアンバー合
金を用いることによる低熱膨張対策、(6) ＧＩ光ファ
イバをＳＭ光ファイバの先端に融着接続し、一定長の光
ファイバアレイ先端に設けることによりＮＡを変化させ
たり、コリメート光を形成できること、(7) カーボン
コートファイバを用いる熱歪対策とハンダ接合を可能と
する等の手段を講ずることにより、本発明を完成するに
至った。

【０００７】すなわち、本発明は、基本的に下記の実施
態様に示される構造により特徴ずけられる。光ファ
イバを位置決め保持する光ファイバアレイにおいて、光
ファイバガイド穴を形成する光ファイバアレイの上下プ
レートが陽極接合で接合されており、且つ光ファイバは
上下プレートから形成される光ファイバガイド穴に収納
され、その外周部に金属スリーブが形成された状態に
て、光ファイバの先端から光ファイバガラス部の一部ま
でハンダで固定され、残部は有機接着剤で固定されてい
る光ファイバアレイを提供する。また、 (イ) ハンダと有機接着剤との境界部が、光ファイバア
レイの上面に設けた窓部或いは光ファイバの上面露出部
に設けてある点にも特徴を有する。（ロ）光ファイバとしてカーボンコートファイバを用い
る点にも特徴を有する。また、（ハ）ハンダがＰｂ−Ｓｎ系合金であり、かつ添加材と
して少なくともＺｎ、Ｓｂ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｃｕの
いずれかである点にも特徴を有する。更に、

【０００８】光ファイバはシリコン、ガラス、セラ
ミック製等の上下プレートから形成されるガイド穴に収
納され、その外周部に金属スリーブが形成され、光ファ
イバ及び該プレートと金属スリーブの隙間の一断面はす
べてハンダでシール固定されている光ファイバアレイを
も提供する。また、（イ）金属スリーブがＮｉ−Ｆｅ系アンバー合金製であ
る点にも特徴を有する。また、（ロ）光ファイバガイド穴から流入したハンダが、該プ
レートと金属スリーブの隙間に連続して流入している構
造になっている点にも特徴を有する。また、（ハ）光ファイバをクランプする上下プレート間に隙間
がある点にも特徴を有する。また、

【０００９】光ファイバを保持するＶ溝の底部の少
なくとも片面はＲ面を有するアレイプレートにより構成
され、光ファイバがアレイプレートによりサンドイッチ
クランプされている光ファイバアレイをも提供する。ま
た、（イ）Ｖ溝底部のＲが５μｍ以上である点にも特徴を有
する。また、（ロ）アレイプレートがＳｉで形成され、Ｖ溝面側が金
属コーティングされ、光ファイバの先端がハンダで上下
のアレイプレートと固定されている点にも特徴を有す
る。また、（ハ）上下のアレイプレート外側に、上下プレート及び
光ファイバを加圧する板バネを備えている点にも特徴を
有する。また、（ニ）該板バネがＮｉ−Ｆｅ系アンバー合金である点に
も特徴を有する。更に、

【００１０】光ファイバガイド穴を形成する光ファ
イバアレイの上下プレートが陽極接合で接合されている
光ファイバアレイをも提供する。また、（イ）光ファイバは、少なくとも一方がＳｉで形成さ
れ、他方がガラスまたはガラス薄膜を形成したＳｉで形
成されている点にも特徴を有する。また、（ロ）光ファイバと上下ブレートとの隙間が、光ファイ
バとアレイプレートのＶ溝斜辺と光ファイバとの隙間よ
り大きい点にも特徴を有する。更に、

【００１１】光ファイバガイド穴を形成するアレイ
プレートの他に、Ｎｉ−Ｆｅ系アンバー合金が光ファイ
バ心線部固定部の一部に使用されている光ファイバアレ
イをも提供する。また、（イ）アンバー合金プレートとアレイプレートが光ファ
イバ心線部を挟み込むように形成されている点にも特徴
を有する。また、（ロ）アンバー合金が角スリーブ形状をしており、その
内部に光ファイバを保持するアレイプレートが一部挿入
されている点にも特徴を有する。更に、

【００１２】基幹光ファイバが単一モード光ファイ
バで構成され、その先端に一定長の分布屈折率型光ファ
イバが融着接続されて光ファイバアレイ先端部に位置決
め収納されている光ファイバアレイをも提供する。ま
た、（イ）基幹光ファイバ、分布屈折率型光ファイバの少な
くとも一方がカーボン光ファイバである点にも特徴を有
する。また、（ロ）少なくとも単一モード光ファイバと分布屈折率型
光ファイバとの融着部を位置決めする光ファイバアレイ
プレートの光ファイバガイド穴部が、他のガイド穴部よ
り大きく拡大されている点にも特徴を有する。更に、
光ファイバを固定する接着剤は、２６０℃×１０秒の
加熱においてガス発生量が重量比１％以下である光ファ
イバアレイをも提供する。

【００１３】以下、本発明を図面などを参考にして更に
詳細に説明する。図１は、本発明のサンドイッチ型光フ
ァイバアレイの構造を示す模式図である。図１−（イ）
はその横断面を示す模式図であり、図１−（ロ）は縦断
面図であり、図１−（ハ）はその斜視図である。図１に
おいて、１は光ファイバ、２はテープ状光ファイバ、３
はＳｉウエハー、４はＶ溝、５は窓部、６はハンダ、７
は心線部、８はアンバー合金ハウジング、９はアンバー
合金角スリーブ、１０は耐熱性接着剤である。

【００１４】図２は、図１のサンドイッチ型光ファイバ
アレイに限定されずに、光ファイバ及び上下プレート２
０と金属スリーブ２１との隙間形成によるハンダ固定の
状態を示す光ファイバアレイの構造を示す模式図であ
る。

【００１５】図２−（イ）はその横断面を示す模式図で
あり、図２−（ロ）は図２−（イ）におけるＡ−Ａ’の
縦断面図であり、図１−（ハ）はその光ファイバアレイ
のＬＤモジュール固定の状態を示す模式図である。図２
において、１は光ファイバ、３はＳｉウエハー、６はハ
ンダ、７は心線部、８はアンバー合金ハウジング、１０
は耐熱性接着剤、２０は上下プレートの隙間、２１は角
スリーブ又はプレススリーブである。

【００１６】図３は、本発明の光ファイバアレイに用い
るバネ性スリーブ及びＳｉウエハー加工の状況を示す模
式図である。図３−（ａ）は角スリーブ型バネ性スリー
ブの斜視図を示し、図３−（ｂ）はプレス型バネ性スリ
ーブの斜視図を示し、図３−（ｃ）は加工に供するＳｉ
ウエハーのＶ溝形成を示す斜視図並びにダイヤモンド製
Ｖ字ブレードを用いるＶ溝の研削加工の状態を示す概略
図であり、図３−（ｄ）はＶ溝形成したＳｉウエハーの
切断処理の状態を示す斜視図である。図３において、３
はＳｉウエハー、４はＶ溝、５は窓部、１１はダイヤモ
ンド製Ｖ字ブレードである。

【００１７】図４は、本発明の陽極接合型光ファイバア
レイの構造を示す模式図である。図４において、２はテ
ープ状光ファイバ、３はＳｉウエハー、４はＶ溝、５は
窓部、１２はプレート型アンバー合金、１３は陽極接合
面、１４はガラスまたはガラス蒸着したＳｉウエハーで
ある。

【００１８】図５−（イ）〜（ニ）は、本発明の陽極接
合型光ファイバアレイにおける各種Ｖ溝構成例を示すＳ
ｉウエハーの横断面を示す断面図である。図５におい
て、１は光ファイバ、３はＳｉウエハー、４はＶ溝、１
４はガラスまたはガラス蒸着したＳｉウエハーである。

【００１９】図６は、本発明の先端分布屈折率型ＳＭ光
ファイバアレイの外観を示す模式図である。図６−
（イ）はその平面図であり、図５−（ロ）は縦断面図で
ある。図６において、２’は多心光ファイバテープ、１
５はＧＩ光ファイバ、１６はＳＭ光ファイバ、１７は融
着部対応Ｖ溝拡大部、１８はＶ溝アレイプレートであ
る。

【００２０】（１）ハーメチックシール：ＬＤアレイモジュール等の信頼性は管理上重要な課題で
あるが、光ファイバをハンダ固定することにより実現で
きる。また、ハンダが光ファイバ被覆部まで接触する
と、被覆が溶解し、多量のガス発生が生じるので、ハン
ダは光ファイバガラス部のみを固定するのが良い（実施
態様）。

【００２１】ハンダは超音波振動を与えながら光ファイ
バ先端から送り込むのが普通であるが、その後の被覆部
の接着固定時に空気逃げを実現するには、エアベントが
必要であり、そのために、例えば図１の（ロ）に示すよ
うに窓部５或いは光ファイバの露出部を設けておくと良
い〔実施態様−（イ）〕。即ち、窓部５或いは光ファ
イバの露出部でハンダと接着剤の境界を作ることにな
る。さらに、このような窓部或いは光ファイバの露出部
を設けておく効果として、更に窓部或いは光ファイバの
露出部で隙間が広がるので、ハンダ上昇の上限ストップ
になるし、従って光ファイバの位置制御につながる。

【００２２】ところで、光ファイバはハンダ固定時に２
００℃以上の熱作用を受けるので、光ファイバ表面のク
ラックが急成長し、光ファイバが破断し易くなるが、光
ファイバとして予めカーボンコートしてあるものを用い
ると、クラックの成長を抑制できる〔実施態様−
（ロ）〕。

【００２３】そのためには、光ファイバを構成するガラ
スの接合に適するハンダが必要である。そのハンダとし
て通常のＰｂ−Ｓｎ系合金に、Ｚｎ、Ｓｂ、Ａｌ、Ｔ
ｉ、Ｓｉ、Ｃｕなどの添加材を加えることにより、酸素
を媒介にした接合が可能となる〔実施態様−
（ハ）〕。

【００２４】その場合に、ハンダに対する上記添加材の
配合量はハンダ１００重量部当たり０．０１〜５重量
部、好ましくは０．０５〜１．５重量部である。添加材
の配合量が０．０１重量部未満の場合、ガラスに対する
充分な接合力が得られないし、また５重量部を越えて配
合しても接合力が向上しないし、むしろハンダ自体の性
状を損なう。

【００２５】光ファイバアレイは、ＬＤモジュールにハ
ンダで固定するが、完全にハーメチィックシールが必要
とする場合には、図２に示されるように角スリーブ又は
プレススリーブ２１とＳｉウエハー３やガラスアレイ１
４との隙間２０が重要である。

【００２６】そこで、図２−（イ）、（ロ）に示すよう
に光ファイバ先端から注入したハンダ６がこの隙間２０
に回り込むように設計しておけば、Ａ−Ａ’断面は完全
にハーメチィックシールされ、ＬＤモジュールと角スリ
ーブ又はプレススリーブ２１の外周をハンダでシール固
定するようにすると、図２−（ハ）に示すように全体を
ハーメチィックシールすることができる。すなわち、上
下プレートに隙間２０があると、ハンダがスリーブに流
入し易いものである〔実施態様、−（イ）、
（ロ）、（ハ）〕。

【００２７】接着剤も耐熱性がもちろん要求され、２６
０℃×１０秒の加熱で重量比減１％を越えるものはＬＤ
レンズ等に再付着して劣化の恐れがあるので、２６０℃
×１０秒の加熱でガス発生量が重量比１％以下である接
着剤、例えばエポキシ系接着剤が望ましい（実施態様
）。

【００２８】（２）光ファイバアレイ構造：図１の（ロ）に示すように、アンバー合金で同様にハウ
ジングを形成し、窓部５或いは光ファイバの上面露出部
を作るとハンダ固定も容易になる〔実施態様−
（イ）〕。光ファイバアレイ構造とは、基本的に図１に
示すサンドイッチ型と図３に示す陽極接合型とに区分さ
れる。

【００２９】サンドイッチ型とは、図５に示されるよう
にＳｉ−Ｖ溝のアレイプレート１８で光ファイバを挟み
込む構造である（実施態様）。この場合、光ファイバ
を保持するＶ溝の底部の少なくとも片面はＲ面を有する
アレイプレートにより構成されている必要がある。すな
わち、Ｓｉ−Ｖ溝のアレイプレート１８、１８のＶ溝の
底部は両面がＲ面を有しても或いは片面のみＲ面を有し
ており他の面がフラットであっても同様の効果が期待で
きる。更にその外周よりアンバー合金でバネ加圧するこ
とにより光ファイバの組立てが容易になる〔実施態様
−（ハ）〕。

【００３０】アンバー合金は、Ｎｉ−Ｆｅ系合金である
〔実施態様−（ニ）〕。例えば、４２％Ｎｉの場合に
熱膨張率が４．４×１０^−６（３０〜３００℃）で小さ
く、３６％Ｎｉの場合に熱膨張率が２．０×１０^−６程
度まで低膨張化できて、光ファイバアレイをＬＤモジュ
ールに固定する時に、熱を印加しても変形が少ないとい
う利点を有している。

【００３１】図２−（ｂ）に示すように、プレス成形し
たバネ性スリーブにしても良いしまた角スリーブにして
用いても良い〔実施態様−（ロ）〕。更に、図２の
（ｃ）に示すように、アレイＶ溝をダイヤモンド刃を用
いた研削加工で形成することにより、Ｖ溝底部に５μｍ
以上のＲ部を付けることができる〔実施態様−
（イ）〕。

【００３２】そのために、従来のエッチィングＶ溝では
応力集中欠けが多発していたのを防止できる。図３の
（Ｃ）では、Ｖ字ダイアモンドブレード（刃）を用いて
ウエハーに連続加工したチップをひっくり返している状
態を示す。特に、図３の（ｄ）に示すように、連続加工
したチップをひっくり返して光ファイバをサンドイッチ
するので、同一ピッチで高精度に位置決めできる〔実施
態様−（ロ）〕。

【００３３】図４に陽極接合型の光ファイバアレイ外観
図を示すが、上下アレイを完全に一体化できるので、側
面のハーメッチシールは完全になる〔実施態様−
（ニ）〕。陽極接合はシリコンウエハー（単にＳｉとい
う）３とパイレックスガラス、アミノ珪酸ガラス等のガ
ラス又はガラス蒸着したＳｉ１４等を接合し、約４００
℃、１０００Ｖ程度印加することにより接合を行うもの
である〔実施態様、−（イ）〕。

【００３４】光ファイバと上下プレートとの隙間が、光
ファイバとアレイプレートのＶ溝斜辺と光ファイバとの
隙間より大きいようにすることが望ましい〔実施態様
−（ロ）〕。このように光ファイバと上下プレートとの
隙間が、光ファイバとアレイプレートのＶ溝斜辺と光フ
ァイバとの隙間より大きくないと、高精度位置決めの点
で好ましくない。

【００３５】ガラス１４内部のＮａイオンが電界により
移動し、Ｓｉ−Ｏ結合が発生する。ＳｉとＳｉを結合す
る場合は、図４に示されるように片面のＳｉにガラスを
薄膜蒸着したもの１４を用いると、５０〜６０Ｖの低電
圧でも接合できる。この場合に、予め上下プレート１２
を陽極接合した後に、光ファイバ１を挿入することにな
り作業が楽にできる〔実施態様−（イ）〕。

【００３６】図４（イ）〜（ニ）に示すように、陽極接
合型光ファイバアレイにおけるＶ溝形状は各種タイプに
適用できる。特に、Ｖ溝に光ファイバを押しつけて固定
する場合は、上プレートと光ファイバのクリアランスを
大きく取れ、挿入作業性もより楽になる〔実施態様、
−（ロ）〕。また、ガラス１４は透明なのでハンダ充
填具合の観察も容易になる。また、次に説明するよう
に、図５に示されるＧＩ光ファイバ１５付きＳＭ光ファ
イバ１６の位置確認も容易になる（実施態様）。

【００３７】（３）ＬＤアレイモジュール：また、光ファイバガイド穴を形成するアレイプレート
の他に、Ｎｉ−Ｆｅ系アンバー合金が光ファイバ心線部
固定部の一部に使用されている光ファイバアレイとする
のが望ましい（実施態様）。

【００３８】Ｎｉ−Ｆｅ系アンバー合金が光ファイバ心
線部固定部の一部に使用されていないと、熱変形歪みの
点で好ましくない。更に、アンバー合金プレートとアレ
イプレートが光ファイバ心線部を挟み込むように形成さ
れるのが望ましい〔実施態様−（イ）〕。この場合
に、この構造を採用することにより剛性向上の点で良
い。

【００３９】また、アンバー合金が角スリーブ形状を
し、かつその内部に光ファイバを保持するアレイプレー
トが一部挿入されるようにすることにより、信頼性の点
で良い〔実施態様−（ロ）〕。

【００４０】ＬＤアレイモジュールに光ファイバアレイ
を調心結合する際に、集光用には従来はセルフォックレ
ンズ（商品名）を用いて個別に作成していたために、Ｌ
Ｄとセルフォックレンズ調心固定及びセルフォックレン
ズと光ファイバアレイとの調心固定という２段階の調心
を実施していた。そのために、作業が大変でコストアッ
プとなり、かつ損失増も大きかった。

【００４１】本発明では、図６に示されるように前述し
た光ファイバアレイにＧＩ光ファイバ１５を一定長融着
したＳＭ光ファイバ１６を用いることにより、ＮＡの変
換や光のコリメート系などの目的に応じて光処理を光フ
ァイバアレイに内蔵した形で実現できる（実施態様
）。

【００４２】ＧＩ光ファイバ１５とＳＭ光ファイバ１６
とは融着接続時に自動調心して融着する。外径は等しい
方が好ましいが、２０〜３０％程度の差は、融着時にガ
ラスの自己調心が作用するので問題は少ない。

【００４３】なお、同様に、カーボンコート光ファイバ
を用いると信頼上好ましい〔実施態様−（イ）〕。こ
の場合に、融着時の熱でカーボンを除去をすることによ
り、ＧＩ光ファイバ１５とＳＭ光ファイバ１６の融着部
が容易に識別でき、画像処理を用いた自動切断、研磨シ
ステムもやり易くなる〔実施態様〕。

【００４４】ＧＩ光ファイバ１６は目的に応じてΔｎや
コア径を設定すればよく、専用のものを用意するとよ
い。外径まで全てコア材でも勿論構わない。また、融着
部はサブミクロンオーダーで外径が変化する場合が多い
ので、図６に示すように、ガイド溝（融着部対応Ｖ溝拡
大部）１７に逃げ部を作っておくと、高精度な位置決め
をやり易い〔実施態様−（ロ）〕。逃げ部をＳＭ光フ
ァイバ１６側全体に拡げてもよい。先端のＧＩ光ファイ
バ１５を正確に位置決めすればよい。

【００４５】なお、光ファイバ位置決めに関しては、多
心光コネクタ等でも実施されているが、本発明では調心
永久固定でかつハーメチックシールを実現するものであ
り、従来の多心光コネクタとは全く異なるものである。

【００４６】

【実施例】本発明は下記の実施例により具体的に説明す
るが、これらは本発明の範囲を制限しない。シリコンウ
エハーにダイアモンドブレードでＶ溝加工を行い、サン
ドイッチ型と陽極接合型のアレイプレートを作成した。
Ｖ溝の偏心は±０．３μｍで加工した。

【００４７】また、図１に示すようにアンバー合金を用
いてハウジングをそれぞれ作成し、光ファイバをＳｂ−
Ｐｂ系合金でＺｎ、Ｓｂ、Ａｌ、Ｔｉ等を含有するハン
ダで先端を約４ｍｍ程度固定し、他の部分をエポキシ系
耐熱性接着剤（２６０℃×１０秒加熱下のガス発生量が
０．１％である）でアンバー合金窓部５より注入して固
定した。

【００４８】光ファイバはカーボンコートされた１８心
光ファイバであり、ピッチは２５０μｍのもので実施し
た。また、光ファイバ外径は１２５±０．３μｍのもの
を使用し、コア偏心もすべて０．３μｍ以内のものを用
いて組立後、１心と１８心目を基準にして他の光ファイ
バの偏心を測定すると、平均０．４μｍで最大でも０．
８μｍとすべて１．０μｍ以内に抑えることができた。

【００４９】陽極接合型では、シリコンウエハーとパイ
レックスとを４００℃、１０００Ｖで接合した。また、
サンドイッチ型では、Ｖ溝底部Ｒは２０μｍのサイズで
加工したので、取扱時や衝撃テストでも割れるものは１
ケもなかった。

【００５０】

【発明の効果】以上の通り、本発明の特定の光ファイバ
アレイの構造を採用したので、以下の効果が得られる。
光ファイバアレイの外周を金属スリーブで覆ったの
で、ハンダによる気密固定が容易になる。光ファイ
バアレイの一断面がすべてハンダでシール固定されるの
で、ハーメチックシールを実現できる。金属スリー
ブとしてアンバー合金を用いることにより、熱変形を低
減できる。Ｒ付きＶ溝ガイドを用いるので、シリコ
ンウエハーの割れを防止でき、量産性の高いＶ溝加工の
光ファイバアレイにできる。レンズ内蔵の光ファイ
バアレイとすることにより、従来のＬＤモジュールとの
調心工程を１回で完了できる。

【００５１】カーボンコートファイバを用いること
により、信頼性の高い光ファイバアレイが得られる。
陽極接合型光ファイバアレイにより、側面ハーメチッ
クシールをより確実にし、熱変形しにくい構造を実現し
た。アンバー合金ハウジングでサンドイッチアレイ
を加圧することにより、光ファイバの取付けが容易にな
った。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のサンドイッチ型光ファイバアレイの構
造を示す模式図である。

【図２】図２は、光ファイバ及び上下プレートと金属ス
リーブの隙間形成によるハンダ固定の状態を示す光ファ
イバアレイの構造を示す模式図である。

【図３】本発明の光ファイバアレイに用いるバネ性スリ
ーブ及びＳｉウエハー加工の状況を示す模式図である。

【図４】本発明の陽極接合型光ファイバアレイの構造を
示す模式図である。

【図５】本発明の陽極接合型光ファイバアレイにおける
各種Ｖ溝構成例を示すＳｉウエハーの状態を示す断面図
である。

【図６】本発明の先端分布屈折率型ＳＭ光ファイバアレ
イの外観を示す模式図である。

【符号の説明】

１光ファイバ１’カーボンコート型光ファイバ２テープ状光ファイバ２’多心光ファイバテープ３Ｓｉウエハー４Ｖ溝５窓部６ハンダ７心線部８アンバー合金ハウジング９アンバー合金角スリーブ１０耐熱性接着剤１１ダイヤモンド製Ｖ字ブレード（刃）１２プレート型アンバー合金１３陽極接合面１４ガラス又はガラス蒸着したＳｉウエハー１５ＧＩ光ファイバ１６ＳＭ光ファイバ１７融着部対応Ｖ溝拡大部１８Ｖ溝アレイプレート２０上下プレートの隙間２１角スリーブ又はプレススリーブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭63−115108（ＪＰ，Ａ) 特開平１−229207（ＪＰ，Ａ) 特開平４−265477（ＪＰ，Ａ) 特開平１−72104（ＪＰ，Ａ) 特開平２−13911（ＪＰ，Ａ) 実開平１−94905（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02B 6/00 - 6/54

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】光ファイバを位置決め保持する光ファイ
バアレイにおいて、光ファイバガイド穴を形成する光フ
ァイバアレイの上下プレートが陽極接合で接合されてお
り、且つ光ファイバは上下プレートから形成される光フ
ァイバガイド穴に収納され、その外周部に金属スリーブ
が形成された状態にて、光ファイバ及び該プレートと金
属スリーブの隙間の一断面はすべてハンダでシール固定
されていることを特徴とする光ファイバアレイ。
【請求項２】光ファイバを位置決め保持する光ファイ
バアレイにおいて、光ファイバは、少なくとも一方にガ
イド溝を有する上下プレートに挟まれた状態にて収納さ
れ、その外周部に金属スリーブが形成された状態にて、
光ファイバ及び該プレートと金属スリーブの隙間の一断
面はすべてハンダでシール固定されていることを特徴と
する光ファイバアレイ。
【請求項３】光ファイバの先端から光ファイバガラス
部の一部までハンダで固定され、残部は有機接着剤で固
定されていることを特徴とする請求項１記載の光ファイ
バアレイ。
【請求項４】光ファイバアレイプレートは、少なくと
も一方がＳｉで形成され、他方がガラス又はガラス薄膜
を形成したＳｉで形成されていることを特徴とする、請
求項１又は３記載の光ファイバアレイ。
【請求項５】ハンダと有機接着剤との境界部が、光フ
ァイバアレイの上面に設けた窓部或いは光ファイバの上
面露出部に設けてあることを特徴とする、請求項３記載
の光ファイバアレイ。