JP3096850B2 - Scanning microscope - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は走査型電子顕微鏡及び走査型レーザ顕微鏡
に関する。The present invention relates to a scanning electron microscope and a scanning laser microscope.
電子線を走査して試料から発生する信号を取り出して
試料像を表示する走査型電子顕微鏡や、レーザ光を走査
して試料から発生する信号を取り出して試料像を表示す
る走査型レーザ顕微鏡において、試料から発生する信号
を検出し、ディジタル量に変換するAD変換器と、前記AD
変換器の出力を入力とするCPUから設定可能な参照テー
ブルを装備し、前記CPUが前記参照テーブルによって変
換された値を信号強度として読み込んだ値を画像メモリ
に転送し、試料像を表示されるようにしたものである。In a scanning electron microscope that scans an electron beam to extract a signal generated from a sample and displays a sample image, and a scanning laser microscope that scans a laser beam to extract a signal generated from a sample and displays a sample image, An AD converter that detects a signal generated from a sample and converts the signal into a digital quantity;
Equipped with a reference table that can be set from a CPU that receives the output of the converter as an input, the CPU transfers the value read by the reference table as a signal strength as a signal strength to an image memory, and a sample image is displayed. It is like that.
従来、CPUが試料からの信号を取り込み画像メモリに
書き込んで試料像を表示する走査型顕微鏡において、 試料からの信号をAD変換器により、ディジタル量に変
換して、前記CPUが取り込み、前記画像メモリのデータ
長の中で試料像の階調として許されているデータ範囲に
変換して前記画像メモリに書き込むという動作を行って
いた。Conventionally, in a scanning microscope in which a CPU captures a signal from a sample and writes the signal into an image memory to display a sample image, a signal from the sample is converted into a digital amount by an AD converter, and the CPU captures the signal, and captures the image. The data length is converted into a data range permitted as the gradation of the sample image and written into the image memory.
CPUの管理下にある画像メモリは、装置オペレータに
測定条件を表示したり、操作メニューを表示するために
も使用されている。そのため、前記画像メモリのデータ
長の内の一部は文字表示色として使用される。The image memory under the control of the CPU is also used for displaying measurement conditions to an apparatus operator and for displaying an operation menu. Therefore, a part of the data length of the image memory is used as a character display color.
一方、前記AD変換器はあるビット長をもっており、前
記画像メモリのビット長と同じ長さにしても、そのまま
転送した場合には、文字表示色の領域にもデータが及ん
でしまう。そのためCPUが前記AD変換器の出力を、前記
画像メモリのデータ長の内で試料像に必要なデータ範囲
に変換して書き込むという動作が必要で像表示速度が遅
くなるという欠点があった。On the other hand, the A / D converter has a certain bit length. Even if the length is the same as the bit length of the image memory, if the data is transferred as it is, the data extends to the character display color area. Therefore, there is a disadvantage that the CPU needs to perform an operation of converting the output of the AD converter into a data range necessary for the sample image within the data length of the image memory and writing the data, and the image display speed is reduced.
上記目的を達成するために本発明が採用する手段は、
参照テーブルを装備し、試料からの信号をディジタル量
に変換するAD変換器の出力が、参照テーブルの入力に接
続されており、前記参照テーブルの内容はCPUから書き
込み可能で、前記参照テーブルの出力値が、前記AD変換
器の出力値を前記参照テーブルに従って変換された値に
なっており、前記CPUが前記参照テーブルの出力値を画
像メモリに転送するだけで、試料像が表示されるように
構成されている走査型顕微鏡である。Means adopted by the present invention to achieve the above object is:
Equipped with a reference table, the output of the AD converter that converts the signal from the sample into a digital quantity is connected to the input of the reference table, the contents of the reference table can be written from the CPU, and the output of the reference table The value is a value obtained by converting the output value of the AD converter according to the reference table, and the CPU simply transfers the output value of the reference table to the image memory, so that the sample image is displayed. It is a scanning microscope configured.
画像メモリを装備し、画像メモリのデータ長の一部
は、文字表示範囲として確保されており、一部は試料像
の濃淡像あるいはカラー像として確保されている。CPU
はあらかじめAD変換器のデータ長から前記画像メモリの
データ長の内、試料像として確保されているデータ範囲
に変換するテーブルを計算し、その値を前記AD変換器と
接続されている参照テーブルに書き込む。An image memory is provided, and a part of the data length of the image memory is secured as a character display range, and a part is secured as a grayscale image or a color image of a sample image. CPU
Calculates in advance a table for converting the data length of the AD converter from the data length of the image memory into a data range secured as a sample image, and stores the value in a reference table connected to the AD converter. Write.
電子ビームあるいはレーザビームを走査し、試料から
発生する二次信号を前記AD変換器でディジタル量を得、
前記参照テーブルにより変換される。Scan the electron beam or laser beam, obtain the digital signal by the AD converter secondary signal generated from the sample,
It is converted by the reference table.
前記CPUは前記ビームの走査を実施しながら前記参照
テーブルの出力値を前記画像メモリに転送する動作を一
画像分繰り返すだけで試料像が表示できる。The CPU can display the sample image only by repeating the operation of transferring the output value of the reference table to the image memory for one image while scanning the beam.
第１図は本発明の実施例を示したものである。CPU1は
まずAD変換器２のデータ長から、画像メモリ３のデータ
長の内、試料表示色として設定されているデータ範囲に
変換するテーブルを計算する。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. First, the CPU 1 calculates a table for converting the data length of the AD converter 2 into the data range set as the sample display color in the data length of the image memory 3.
例としてAD変換器２はnbitで画像メモリ３の内、試料
表示色範囲をａからｂまでとすると ここで ADC :AD変換器の出力値 TABLEI:i番目のテーブルの値 とするテーブルが計算される。上記変換例の他にも、非
線形な変換例も考えられる。このように計算したテーブ
ルを変換テーブル４に信号線ｎを介して設定する。As an example, if the AD converter 2 has n bits and the sample display color range in the image memory 3 is a to b, Here, a table is calculated, where ADC is the output value of the AD converter. TABLE I is the value of the i-th table. In addition to the above conversion examples, non-linear conversion examples are also conceivable. The table calculated in this way is set in the conversion table 4 via the signal line n.
図示していないビーム走査系に対してCPU1がビーム位
置を指定し、図示していない試料から発生する二次信号
を図示していない検出器が電気信号ｌに変換する。The CPU 1 designates a beam position for a beam scanning system (not shown), and a detector (not shown) converts a secondary signal generated from a sample (not shown) into an electric signal l.
AD変換器２は電気信号ｌをディジタル量ｍに変換す
る。The AD converter 2 converts the electric signal 1 into a digital quantity m.
変換テーブル４はディジタル量ｍを入力とする変換
を、前記計算値に従ってTABLEmなる値を信号線Ｐに出力
する。The conversion table 4 outputs a value of TABLEm to the signal line P in accordance with the above-mentioned calculated value in the conversion using the digital quantity m as an input.
CPU1は信号線Ｐの値を画像メモリ３に転送する。 The CPU 1 transfers the value of the signal line P to the image memory 3.
前記走査系に対するビーム位置指定と、前記データ転
送までを一画面分繰り返すことにより、表示器４に試料
像が表示される。By repeating the beam position designation for the scanning system and the data transfer for one screen, a sample image is displayed on the display 4.
第１図は本発明の実施例を示す図である。 １……CPU ２……AD変換器 ３……画像メモリ ４……変換テーブル ５……表示器 ｌ……検出器からの信号 ｍ……AD変換された信号 ｎ……変換テーブル４に対する設定信号 Ｐ……変換テーブル４の変換出力信号 FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention. 1 ... CPU 2 ... AD converter 3 ... Image memory 4 ... Conversion table 5 ... Display unit 1 ... Signal from detector m ... AD converted signal n ... Setting signal for conversion table 4 P: Conversion output signal of conversion table 4
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 37/28 H01J 37/22 H01J 37/252 G01N 29/22 501 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 37/28 H01J 37/22 H01J 37/252 G01N 29/22 501
Claims (3)
と、前記検出器からの電気信号をディジタル量に変換す
るAD変換器と、前記AD変換器の出力を入力とするCPUか
ら設定可能な参照テーブルとからなり、前記CPUが前記
参照テーブルによって変換された値を信号強度として読
み込んだ値を画像メモリに転送し、試料像を表示する走
査型顕微鏡であって、前記参照テーブルには、あらかじ
め前記CPUによって計算された、前記AD変換器のデータ
長から前記画像メモリのデータ長の内の前記試料像とし
て確保されているデータ範囲に変換するテーブルが書き
込まれていることを特徴とする走査型顕微鏡。1. A detector that detects a signal generated from a sample, an AD converter that converts an electric signal from the detector into a digital value, and a CPU that receives an output of the AD converter as an input. A scanning microscope comprising a reference table, wherein the CPU transfers a value read by the CPU as a signal intensity with the value converted by the reference table to an image memory, and displays a sample image. A scanning type wherein a table for converting the data length of the AD converter calculated by the CPU into a data range secured as the sample image within the data length of the image memory is written. microscope.
る請求項１記載の走査型顕微鏡。2. The scanning microscope according to claim 1, wherein said scanning microscope is a scanning electron microscope.
ある請求項１記載の走査型顕微鏡。3. The scanning microscope according to claim 1, wherein said scanning microscope is a scanning laser microscope.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02239590A JP3096850B2 (en) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | Scanning microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02239590A JP3096850B2 (en) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | Scanning microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04121937A JPH04121937A (en) | 1992-04-22 |
| JP3096850B2 true JP3096850B2 (en) | 2000-10-10 |
Family
ID=17047038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02239590A Expired - Lifetime JP3096850B2 (en) | 1990-09-10 | 1990-09-10 | Scanning microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3096850B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9943634B2 (en) | 2009-03-10 | 2018-04-17 | Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh | Device for connecting multi-functional disposable cassette to extracorporeal blood treatment apparatus |
-
1990
- 1990-09-10 JP JP02239590A patent/JP3096850B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9943634B2 (en) | 2009-03-10 | 2018-04-17 | Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh | Device for connecting multi-functional disposable cassette to extracorporeal blood treatment apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04121937A (en) | 1992-04-22 |
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