JP3092192B2 - フロンガス処理装置 - Google Patents
フロンガス処理装置Info
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- JP3092192B2 JP3092192B2 JP03094248A JP9424891A JP3092192B2 JP 3092192 B2 JP3092192 B2 JP 3092192B2 JP 03094248 A JP03094248 A JP 03094248A JP 9424891 A JP9424891 A JP 9424891A JP 3092192 B2 JP3092192 B2 JP 3092192B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフロンガスの処理装置に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体、精密機械、冷媒発泡関連工業等
において用いられるフロンガスは、オゾン層破壊の原因
となる。そのため、様々なフロンガスの処理方法が研究
されている。例えば、助燃剤（例えばメタン）を用いて
フロンを燃焼させる燃焼・熱分解法、加熱された触媒に
よりフロンを分解する触媒分解法、水の臨界点（３７４
℃、２１８気圧）以上で分解する超臨界水法、高周波誘
導による高温プラズマで分解するプラズマ分解法などが
ある。しかし、これらフロン処理方法は、いずれも高温
・高圧での処理を要し、処理装置が高価かつ複雑となっ
てしまう。
において用いられるフロンガスは、オゾン層破壊の原因
となる。そのため、様々なフロンガスの処理方法が研究
されている。例えば、助燃剤（例えばメタン）を用いて
フロンを燃焼させる燃焼・熱分解法、加熱された触媒に
よりフロンを分解する触媒分解法、水の臨界点（３７４
℃、２１８気圧）以上で分解する超臨界水法、高周波誘
導による高温プラズマで分解するプラズマ分解法などが
ある。しかし、これらフロン処理方法は、いずれも高温
・高圧での処理を要し、処理装置が高価かつ複雑となっ
てしまう。
【０００３】そこで近年、放電によってフロンを分解す
る放電分解法が注目されている。放電分解法は、放電電
極と誘導電極とを誘電体を介して互いに対向配設し、こ
れら電極間にパルス電圧を印加することにより、電極間
の間隙に放電を生じさせ、そこを通過するフロンガスを
分解するものである。この処理法によれば、常温・常圧
でかつ電気的手段のみでフロンガスを分解処理できるた
め、処理装置を簡単かつ安価に製作できる。
る放電分解法が注目されている。放電分解法は、放電電
極と誘導電極とを誘電体を介して互いに対向配設し、こ
れら電極間にパルス電圧を印加することにより、電極間
の間隙に放電を生じさせ、そこを通過するフロンガスを
分解するものである。この処理法によれば、常温・常圧
でかつ電気的手段のみでフロンガスを分解処理できるた
め、処理装置を簡単かつ安価に製作できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来は、強
くかつ安定した放電を発生させるために、放電・誘導両
電極間に時間幅の極めて短かいパルス電圧を印加するの
が良いとされていた。しかしながら、本発明者等の認識
によれば、このような短パルスを印加してフロンガスを
処理した場合、十分なフロンの分解率が得られないこと
がわかった。
くかつ安定した放電を発生させるために、放電・誘導両
電極間に時間幅の極めて短かいパルス電圧を印加するの
が良いとされていた。しかしながら、本発明者等の認識
によれば、このような短パルスを印加してフロンガスを
処理した場合、十分なフロンの分解率が得られないこと
がわかった。
【０００５】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
で、その目的はフロンガスの分解率を高めることができ
るフロンガス処理装置を提供することにある。
で、その目的はフロンガスの分解率を高めることができ
るフロンガス処理装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、棒状の放電電極と誘電体を内面に形成した
円筒状の誘導電極とを同軸となるように設け、これら電
極間で放電を生じさせることにより、そこを通過するフ
ロンガスを分解するフロンガス処理装置において、上記
放電電極と誘導電極間に方形波パルス電圧を印加する方
形波パルス電圧電源を接続し、方形波パルス電圧電源
を、上記放電電極と誘導電極間に接続される直流電源と
直流電源に、それぞれ直列と並列接続される回転式スパ
ークギャップスイッチからなる第１スイッチと第２スイ
ッチとで構成し、かつ上記放電電極と誘導電極間に、立
上がり時間が数十ｎｓ〜数十μｓ、デューティ比が１／
１０〜９／１０であり、かつ電圧が１６ｋＶ以上で周波
数が約２００Ｈｚの方形波パルス電圧を印加すべく、第
１スイッチと第２スイッチを交互に導通させるようにし
たものである。
に本発明は、棒状の放電電極と誘電体を内面に形成した
円筒状の誘導電極とを同軸となるように設け、これら電
極間で放電を生じさせることにより、そこを通過するフ
ロンガスを分解するフロンガス処理装置において、上記
放電電極と誘導電極間に方形波パルス電圧を印加する方
形波パルス電圧電源を接続し、方形波パルス電圧電源
を、上記放電電極と誘導電極間に接続される直流電源と
直流電源に、それぞれ直列と並列接続される回転式スパ
ークギャップスイッチからなる第１スイッチと第２スイ
ッチとで構成し、かつ上記放電電極と誘導電極間に、立
上がり時間が数十ｎｓ〜数十μｓ、デューティ比が１／
１０〜９／１０であり、かつ電圧が１６ｋＶ以上で周波
数が約２００Ｈｚの方形波パルス電圧を印加すべく、第
１スイッチと第２スイッチを交互に導通させるようにし
たものである。
【０００７】
【作用】放電電極と誘導電極間に方形波パルス電圧電源
を接続して、立上がり時間が数十ｎｓ〜数十μｓ、デュ
ーティ比が１／１０〜９／１０であり、かつ電圧が１６
ｋＶ以上で周波数が約２００Ｈｚの方形波パルス電圧を
印加すると、その方形波パルスの立ち上がり時および立
ち下がり時、両電極間に急峻な電流が流れて放電が起こ
り、フロンガスが分解される。１６ｋＶ以上の高電圧の
方形波パルス電圧を両電極間に印加することに起因し
て、フロンガスを高い割合で分解することができる。方
形波パルス電圧電源は、直流電源と交互に導通される２
つのスイッチのみという簡単な構成であるため、高電圧
の方形波パルス電圧を容易に発生することができる。
を接続して、立上がり時間が数十ｎｓ〜数十μｓ、デュ
ーティ比が１／１０〜９／１０であり、かつ電圧が１６
ｋＶ以上で周波数が約２００Ｈｚの方形波パルス電圧を
印加すると、その方形波パルスの立ち上がり時および立
ち下がり時、両電極間に急峻な電流が流れて放電が起こ
り、フロンガスが分解される。１６ｋＶ以上の高電圧の
方形波パルス電圧を両電極間に印加することに起因し
て、フロンガスを高い割合で分解することができる。方
形波パルス電圧電源は、直流電源と交互に導通される２
つのスイッチのみという簡単な構成であるため、高電圧
の方形波パルス電圧を容易に発生することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【０００９】図１および図２は、本発明のフロンガス処
理装置の一実施例を示したものである。図において、１
０はタングステンなどの耐酸化性金属材料からなる棒状
の放電電極である。放電電極１０の外周側には、これと
同軸となるように略円筒状の誘導電極１１が設けられ、
この誘導電極１１の内面には、アルミナなどからなる耐
酸性の誘電体１２が取り付けられている。
理装置の一実施例を示したものである。図において、１
０はタングステンなどの耐酸化性金属材料からなる棒状
の放電電極である。放電電極１０の外周側には、これと
同軸となるように略円筒状の誘導電極１１が設けられ、
この誘導電極１１の内面には、アルミナなどからなる耐
酸性の誘電体１２が取り付けられている。
【００１０】放電電極１０および誘導電極１１には、高
圧ケーブル１３，１３を介して方形波パルス電圧電源１
４が接続されている。方形波パルス電圧電源１４は、方
形波のパルス電圧を繰り返し放電電極１０および誘導電
極１１間に印加するもので、これにより、誘電体１２を
介した両電極１０，１１間の空隙にコロナ放電を発生さ
せる。
圧ケーブル１３，１３を介して方形波パルス電圧電源１
４が接続されている。方形波パルス電圧電源１４は、方
形波のパルス電圧を繰り返し放電電極１０および誘導電
極１１間に印加するもので、これにより、誘電体１２を
介した両電極１０，１１間の空隙にコロナ放電を発生さ
せる。
【００１１】図３には、この方形波パルス電圧電源１４
の具体例が示されている。
の具体例が示されている。
【００１２】直流電圧源１５の両端に、それぞれ導線１
６，１６を介して出力端子１７，１７が接続されてお
り、これら出力端子１７，１７間に放電・誘導の両電極
１０，１１が接続されている。電極１０，１１は電源１
４にとっては容量型の負荷であるため、これら電極１
０，１１の充放電作用により方形波パルス電圧を印加す
べく、直流電圧源１５と負荷とを結ぶ直列回路に第１の
スイッチ１８が直列に、第２のスイッチ１９が並列にそ
れぞれ接続されている。これらスイッチ１８，１９に
は、回転式スパークギャップスイッチが用いられてい
る。両スパークギャップスイッチ１８，１９の回転数は
同一とされており、これらスイッチ１８，１９が同一の
周期で導通状態となる。また、回転のタイミングは、ス
イッチ１８，１９が交互に導通状態となるように設定さ
れている（図４(a) ，(b) ）。
６，１６を介して出力端子１７，１７が接続されてお
り、これら出力端子１７，１７間に放電・誘導の両電極
１０，１１が接続されている。電極１０，１１は電源１
４にとっては容量型の負荷であるため、これら電極１
０，１１の充放電作用により方形波パルス電圧を印加す
べく、直流電圧源１５と負荷とを結ぶ直列回路に第１の
スイッチ１８が直列に、第２のスイッチ１９が並列にそ
れぞれ接続されている。これらスイッチ１８，１９に
は、回転式スパークギャップスイッチが用いられてい
る。両スパークギャップスイッチ１８，１９の回転数は
同一とされており、これらスイッチ１８，１９が同一の
周期で導通状態となる。また、回転のタイミングは、ス
イッチ１８，１９が交互に導通状態となるように設定さ
れている（図４(a) ，(b) ）。
【００１３】このため今、スイッチ１８，１９を回転駆
動すると、まず第１のスイッチ１８が導通状態となっ
て、放電電極１０および誘導電極１１間に電圧が印加さ
れる。この印加電圧の立上り時に、両電極１０，１１間
には電流が流れて放電が生じる。そして次に、第２のス
イッチ１９が導通状態となると、電極１０，１１間に充
電された電荷が放たれて接地電位に落とされる。このと
きには、上述とは逆に電流が流れて放電が生じる。かく
して、放電電極１０および誘導電極１１間には図４(c)
に示すように方形波パルス電圧が印加され、この方形波
パルス電圧の立上り時および立下り時に図４(d) に示す
ように放電が生じ、この放電により電極１０，１１間に
流されるフロン含有ガスが分解される。
動すると、まず第１のスイッチ１８が導通状態となっ
て、放電電極１０および誘導電極１１間に電圧が印加さ
れる。この印加電圧の立上り時に、両電極１０，１１間
には電流が流れて放電が生じる。そして次に、第２のス
イッチ１９が導通状態となると、電極１０，１１間に充
電された電荷が放たれて接地電位に落とされる。このと
きには、上述とは逆に電流が流れて放電が生じる。かく
して、放電電極１０および誘導電極１１間には図４(c)
に示すように方形波パルス電圧が印加され、この方形波
パルス電圧の立上り時および立下り時に図４(d) に示す
ように放電が生じ、この放電により電極１０，１１間に
流されるフロン含有ガスが分解される。
【００１４】ここで印加する方形波パルス電圧として
は、その立ち上がり時間が数十ｎｓの急峻なものから数
十μｓ程度のもので、デューティ比が１／１０〜９／１
０であり、かつ電圧が１６ｋＶ以上で周波数が約２００
Ｈｚのものを使用している。
は、その立ち上がり時間が数十ｎｓの急峻なものから数
十μｓ程度のもので、デューティ比が１／１０〜９／１
０であり、かつ電圧が１６ｋＶ以上で周波数が約２００
Ｈｚのものを使用している。
【００１５】本実施例によれば、放電電極１０および誘
導電極１１間に、方形波パルス電圧電源１４より方形波
パルス電圧を印加したため、従来のように短パルス電圧
を印加するものに比べ、フロンガスの分解効率を大幅に
向上することができる。
導電極１１間に、方形波パルス電圧電源１４より方形波
パルス電圧を印加したため、従来のように短パルス電圧
を印加するものに比べ、フロンガスの分解効率を大幅に
向上することができる。
【００１６】すなわち、短パルス電圧を印加してフロン
を分解した場合と方形波パルスを印加して分解した場合
との分解率の比較結果を下表に示す。但し、ここではフ
ロン12 を１％含むフロン含有ガスを放電電極および誘
導電極間に通し、周波数２００Ｈｚで放電を生じさせ
て、フロン含有ガスを分解処理した。
を分解した場合と方形波パルスを印加して分解した場合
との分解率の比較結果を下表に示す。但し、ここではフ
ロン12 を１％含むフロン含有ガスを放電電極および誘
導電極間に通し、周波数２００Ｈｚで放電を生じさせ
て、フロン含有ガスを分解処理した。
【００１７】
【表１】
【００１８】この表では、パルス電圧が、−１６ｋＶ、
−２０ｋＶのいずれの場合も方形波パルスを印加した方
が、フロンガスを約３倍に近い分解率で分解できた。こ
れにより方形波パルスを印加してフロンを分解した場
合、分解率を向上できることがわかる。なお、方形波パ
ルスの場合、約９５％の最大分解率が得られた。つま
り、放電電極と誘導電極間に方形波パルス電圧電源を接
続し、立上がり時間が数十ｎｓ〜数十μｓ、デューティ
比が１／１０〜９／１０であり、かつ電圧が１６ｋＶ以
上で周波数が約２００Ｈｚの方形波パルス電圧を印加す
ると、その方形波パルスの立ち上がり時および立ち下が
り時、両電極間に急峻な電流が流れて放電が起こる。こ
の放電によりフロンガスを高い割合で分解することがで
きる。また、方形波パルス電圧電源は、直流電源と交互
に導通される２つのスイッチのみという簡単な構成であ
るため、高電圧の方形波パルス電圧を容易に発生するこ
とができる。
−２０ｋＶのいずれの場合も方形波パルスを印加した方
が、フロンガスを約３倍に近い分解率で分解できた。こ
れにより方形波パルスを印加してフロンを分解した場
合、分解率を向上できることがわかる。なお、方形波パ
ルスの場合、約９５％の最大分解率が得られた。つま
り、放電電極と誘導電極間に方形波パルス電圧電源を接
続し、立上がり時間が数十ｎｓ〜数十μｓ、デューティ
比が１／１０〜９／１０であり、かつ電圧が１６ｋＶ以
上で周波数が約２００Ｈｚの方形波パルス電圧を印加す
ると、その方形波パルスの立ち上がり時および立ち下が
り時、両電極間に急峻な電流が流れて放電が起こる。こ
の放電によりフロンガスを高い割合で分解することがで
きる。また、方形波パルス電圧電源は、直流電源と交互
に導通される２つのスイッチのみという簡単な構成であ
るため、高電圧の方形波パルス電圧を容易に発生するこ
とができる。
【００１９】また、本実施例では、電極１０，１１間に
方形波パルス電圧を印加したことにより、エネルギー効
率の向上も図ることができる。すなわち、放電電極１０
および誘導電極１１は上述したように容量型の負荷であ
る。そのため、従来の如く短パルス電圧を印加するに
は、抵抗を電極１０，１１に対して並列接続しなければ
ならない。そのため、電極１０，１１間に短パルス電圧
を印加したとき、この抵抗に大部分の電流が流れて、熱
エネルギーに変換されてしまう。これに対して本実施例
では、このような抵抗は何等必要とならないので、エネ
ルギー効率を向上することができる。
方形波パルス電圧を印加したことにより、エネルギー効
率の向上も図ることができる。すなわち、放電電極１０
および誘導電極１１は上述したように容量型の負荷であ
る。そのため、従来の如く短パルス電圧を印加するに
は、抵抗を電極１０，１１に対して並列接続しなければ
ならない。そのため、電極１０，１１間に短パルス電圧
を印加したとき、この抵抗に大部分の電流が流れて、熱
エネルギーに変換されてしまう。これに対して本実施例
では、このような抵抗は何等必要とならないので、エネ
ルギー効率を向上することができる。
【００２０】なお、上記実施例では、コロナ放電電極と
して棒状の放電電極１０の外周側に、円筒状の誘導電極
１１を同軸となるように設けたが、平行平板電極など他
の電極構造としてもよい。また、スイッチ１８、１９と
して回転式スパークギャップスイッチを用いたが、その
他のスイッチを用いてもよい。
して棒状の放電電極１０の外周側に、円筒状の誘導電極
１１を同軸となるように設けたが、平行平板電極など他
の電極構造としてもよい。また、スイッチ１８、１９と
して回転式スパークギャップスイッチを用いたが、その
他のスイッチを用いてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、放電電極
および誘導電極間に、方形波パルスを出力する方形波パ
ルス電圧電源を接続したので、フロンガスの分解率を高
めることができる。
および誘導電極間に、方形波パルスを出力する方形波パ
ルス電圧電源を接続したので、フロンガスの分解率を高
めることができる。
【図１】本発明のフロンガス処理装置の一実施例を示す
概略断面図である。
概略断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明のフロンガス処理装置に用いられる方形
波パルス電圧電源の例を示す図である。
波パルス電圧電源の例を示す図である。
【図４】方形波パルス電圧電源による動作波形を示す図
である。
である。
１０ 放電電極 １１ 誘導電極 １２ 誘電体 １４ 方形波パルス電圧電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−39167（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−46598（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−182721（ＪＰ，Ａ) 電気学会放電研究会資料、ＥＤ−90、 Ｎｏ．194−199（1990）小田、高橋、増 田、ｐ21−28 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 53/32 B01D 53/34 - 53/90 B01J 19/08 H05H 1/30
Claims (1)
- 【請求項１】 棒状の放電電極と誘電体を内面に形成し
た円筒状の誘導電極とを同軸となるように設け、これら
電極間で放電を生じさせることにより、そこを通過する
フロンガスを分解するフロンガス処理装置において、上
記放電電極と誘導電極間に方形波パルス電圧を印加する
方形波パルス電圧電源を接続し、方形波パルス電圧電源
を、上記放電電極と誘導電極間に接続される直流電源と
直流電源に、それぞれ直列と並列接続される回転式スパ
ークギャップスイッチからなる第１スイッチと第２スイ
ッチとで構成し、かつ上記放電電極と誘導電極間に、立
上がり時間が数十ｎｓ〜数十μｓ、デューティ比が１／
１０〜９／１０であり、かつ電圧が１６ｋＶ以上で周波
数が約２００Ｈｚの方形波パルス電圧を印加すべく、第
１スイッチと第２スイッチを交互に導通させるようにし
たことを特徴とするフロンガス処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03094248A JP3092192B2 (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | フロンガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03094248A JP3092192B2 (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | フロンガス処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04322718A JPH04322718A (ja) | 1992-11-12 |
| JP3092192B2 true JP3092192B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=14105005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03094248A Expired - Fee Related JP3092192B2 (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | フロンガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3092192B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100420111C (zh) * | 2004-07-27 | 2008-09-17 | 三星电子株式会社 | 用于产生离子的陶瓷电极结构和使用它的离子发生装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001157816A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Mitsubishi Electric Corp | 排ガス処理装置 |
| JP2007044628A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Osaka Prefecture Univ | 半導体プロセス用排ガス処理方法及び処理装置 |
-
1991
- 1991-04-24 JP JP03094248A patent/JP3092192B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 電気学会放電研究会資料、ＥＤ−９０、Ｎｏ．１９４−１９９（１９９０）小田、高橋、増田、ｐ２１−２８ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100420111C (zh) * | 2004-07-27 | 2008-09-17 | 三星电子株式会社 | 用于产生离子的陶瓷电极结构和使用它的离子发生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04322718A (ja) | 1992-11-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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