JPH04322718A - フロンガス処理装置 - Google Patents
フロンガス処理装置Info
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Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
関するものである。
において用いられるフロンガスは、オゾン層破壊の原因
となる。そのため、様々なフロンガスの処理方法が研究
されている。例えば、助燃剤 (例えばメタン) を用
いてフロンを燃焼させる燃焼・燃分解法、加熱された触
媒によりフロンを分解する触媒分解法、水の臨界点(3
74℃,218 気圧) 以上で分解する超臨界水法、
高周波誘導による高温プラズマで分解するプラズマ分解
法などがある。 しかし、これらフロン処理法は、いずれも高温・高圧で
の処理を要し、処理装置が高価かつ複雑となってしまう
。
る放電分解法が注目されている。放電分解法は、放電電
極と誘導電極とを誘電体を介して互いに対向配設し、こ
れら電極間にパルス電圧を印加することにより、電極間
の間隙に放電を生じさせ、そこを通過するフロンガスを
分解するものである。この処理法によれば、常温・常圧
でかつ電気的手段のみでフロンガスを分解処理できるた
め、処理装置を簡単かつ安価に製作できる。
くかつ安定した放電を発生させるために、放電・誘導両
電極間に時間幅の極めて短かいパルス電圧を印加するの
が良いとされていた。しかしながら、本発明者等の認識
によれば、このような短パルスを印加してフロンガスを
処理した場合、十分なフロンの分解率が得られないこと
がわかった。
で、その目的はフロンガスの分解率を高めることができ
るフロンガス処理装置を提供することにある。
に本発明は、放電電極と誘電体を介した誘導電極とを対
向配設し、これら電極間で放電を生じさせることにより
、そこを通過するフロンガスを分解するフロンガス処理
装置において、放電電極および誘導電極間に、方形波パ
ルス電圧を出力する方形波パルス電圧電源を接続したも
のである。
電源を接続して、方形波パルス電圧を印加すると、その
方形波パルスの立上り時および立下り時に両電極間で放
電が起こり、フロンガスが分解される。このとき方形波
のパルス電圧を印加することに起因して、フロンガスは
比較的高い割合で分解される。
て詳述する。
装置の一実施例を示したものである。図において、10
はタングステンなどの耐酸性金属材料からなる棒状の放
電電極である。放電電極10の外周側には、これと対向
するよう略円筒状の誘導電極11が設けられ、この誘導
電極11の内面には、アルミナなどからなる耐酸性の誘
電体12が取り付けられている。
圧ケーブル13,13を介して方形波パルス電圧電源1
4が接続されている。方形波パルス電圧電源14は、方
形波のパルス電圧を繰り返し放電電極10および誘導電
極11間に印加するもので、これにより、誘電体12を
介した両電極10,11間の空隙にコロナ放電を発生さ
せる。
の具体例が示されている。
6,16を介して出力端子17,17が接続されており
、これら出力端子17,17間に放電・誘導の両電極1
0,11が接続されている。電極10,11は電源14
にとっては容量型の負荷であるため、これら電極10,
11の充放電作用により方形波パルス電圧を印加すべく
、直流電圧源15と負荷とを結ぶ直列回路に第1のスイ
ッチ18が直列に、第2のスイッチ19が並列にそれぞ
れ接続されている。これらスイッチ18,19には、回
転式スパークギャップスイッチが用いられている。両ス
パークギャップスイッチ18,19の回転数は同一とさ
れており、これらスイッチ18,19が同一の周期で導
通状態となる。また、回転のタイミングは、スイッチ1
8,19が交互に導通状態となるように設定されている
(図4(a) ,(b) )。
動すると、まず第1のスイッチ18が導通状態となって
、放電電極10および誘導電極11間に電圧が印加され
る。この印加電圧の立上り時に、両電極10,11間に
は電流が流れて放電が生じる。そして次に、第2のスイ
ッチ19が導通状態となると、電極10,11間に充電
された電荷が放たれて接地電位に落とされる。このとき
には、上述とは逆に電流が流れて放電が生じる。かくし
て、放電電極10および誘導電極11間には図4(c)
に示すように方形波パルス電圧が印加され、この方形
波パルス電圧の立上り時および立下り時に図4(d)
に示すように放電が生じ、この放電により電極10,1
1間に流されるフロン含有ガスが分解される。
しては、その立上がり時間が数十ns の急峻なものか
ら数十μs 程度のもので、かつデューティ比が1/1
0〜9/10のものが使用できる。
導電極11間に、方形波パルス電圧電源14より方形波
パルス電圧を印加したため、従来のように短パルス電圧
を印加するものに比べ、フロンガスの分解効率を大幅に
向上することができる。
を分解した場合と方形波パルスを印加して分解した場合
との分解率の比較結果を下表に示す。但し、ここではフ
ロン12 を1%含むフロン含有ガスを放電電極および
誘導電極間に通し、周波数200Hzで放電を生じさせ
て、フロン含有ガスを分解処理した。
20kVのいずれも場合も、方形波パルスを印加した方
が、フロンガスを約3倍近い分解率で分解できた。これ
により方形波パルスを印加してフロンを分解した場合、
分解率を向上できることがわかる。なお、方形波パルス
の場合、約95%の最大分解率が得られた。
方形波パルス電圧を印加したことにより、エネルギー効
率の向上も図ることができる。すなわち、放電電極10
および誘導電極11は上述したように容量型の負荷であ
る。そのため、従来の如く短パルス電圧を印加するには
、抵抗を電極10,11に対して並列接続しなければな
らない。そのため、電極10,11間に短パルス電圧を
印加したとき、この抵抗に大部分の電流が流れて、熱エ
ネルギーに変換されてしまう。これに対して本実施例で
は、このような抵抗は何等必要とならないので、エネル
ギー効率を向上することができる。
して棒状の放電電極10の外周側に、円筒状の誘導電極
11を配設したが、平行平板電極など他の電極構造とし
てもよい。また、スイッチ18,19として回転式スパ
ークギャップスイッチを用いたが、その他のスイッチを
用いてもよい。
および誘導電極間に、方形波パルスを出力する方形波パ
ルス電圧電源を接続したので、フロンガスの分解率を高
めることができる。
概略断面図である。
波パルス電圧電源の例を示す図である。
である。
Claims (1)
- 【請求項1】 放電電極と誘電体を介した誘導電極と
を対向配設し、これら電極間で放電を生じさせることに
より、そこを通過するフロンガスを分解するフロンガス
処理装置において、上記放電電極および誘導電極間に、
方形波パルス電圧を出力する方形波パルス電圧電源を接
続したことを特徴とするフロンガス処理装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP03094248A JP3092192B2 (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | フロンガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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JP3092192B2 JP3092192B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=14105005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03094248A Expired - Fee Related JP3092192B2 (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | フロンガス処理装置 |
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---|---|
JP (1) | JP3092192B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001157816A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Mitsubishi Electric Corp | 排ガス処理装置 |
JP2007044628A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Osaka Prefecture Univ | 半導体プロセス用排ガス処理方法及び処理装置 |
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---|---|---|---|---|
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-
1991
- 1991-04-24 JP JP03094248A patent/JP3092192B2/ja not_active Expired - Fee Related
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