JP3091411B2 - Photomask manufacturing method and photomask - Google Patents
Photomask manufacturing method and photomaskInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は薄膜を用いたマスク
保護部材がフォトレジスト用のフォトマスクに装着され
たフォトマスクの製造方法及びフォトマスクに関し、特
に投影露光用のフォトマスクの製造方法及びフォトマス
クに関する。The present invention relates to relates to a method and photomask manufacturing a photomask in which the mask protective member is attached to the photomask for photoresist using a thin film, particularly a manufacturing method and the photo of the photo mask for the projection exposure trout
On click.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、投影露光を行う場合には、マスク
部材のマスクパターン面に、一般にペリクルと呼ばれる
防塵用のマスク保護部材が装着される。2. Description of the Related Art Conventionally, when performing projection exposure, a dust-protecting mask protection member generally called a pellicle is mounted on a mask pattern surface of a mask member.
【０００３】図１４はマスク保護部材を使用した投影露
光処理の概念図である。マスク部材８１のパターン面８
１ａには、パターン８１ｂが形成されている。パターン
面８１ａには、マスク保護部材８２が接着されている。
マスク保護部材８２は、フレーム８２ａおよび薄膜８２
ｂとから構成されている。薄膜８２ｂは、透明の膜であ
り、フレーム８２ａの厚み分（数ｍｍ程度）だけパター
ン８１ｂから離れて位置し、パターン面８１ａを保護す
る。FIG. 14 is a conceptual diagram of a projection exposure process using a mask protection member. Pattern surface 8 of mask member 81
1a, a pattern 81b is formed. A mask protection member 82 is adhered to the pattern surface 81a.
The mask protection member 82 includes a frame 82a and a thin film 82.
b. The thin film 82b is a transparent film, is positioned apart from the pattern 81b by the thickness of the frame 82a (about several mm), and protects the pattern surface 81a.
【０００４】このようにマスク保護部材８２がマスク部
材８１に装着されると、マスク部材８１の上方から光Ｌ
10を照射して露光を行う。このとき、パターン面８１ａ
上のパターン８１ｂは、光線Ｌ11で示すようにレンズ８
３で集光され、ウェーハ８４の面上に転写される。ま
た、薄膜８２ｂの表面にゴミ８５が付着している場合、
ゴミ８５はレンズ８３の焦点とずれているため、光線Ｌ
12で示すようにウェーハ８４の面上ではピントが合わ
ず、転写されない。すなわち、マスク保護部材８２を装
着することにより、パターン８１ｂのみを転写すること
ができる。When the mask protection member 82 is mounted on the mask member 81 in this manner, light L
Exposure is performed by irradiating 10 . At this time, the pattern surface 81a
Pattern 81b of the above, as shown by ray L 11 lens 8
The light is condensed at 3 and transferred onto the surface of the wafer 84. When dust 85 is attached to the surface of the thin film 82b,
Since the dust 85 is out of focus of the lens 83, the light L
As shown at 12 , the wafer 84 is not focused on the surface thereof and is not transferred. That is, by attaching the mask protection member 82, only the pattern 81b can be transferred.
【０００５】図１５はマスク保護部材８２をマスク部材
８１に装着する従来の方法を示す図である。マスク保護
部材８２をマスク部材８１に装着する場合、まず、マス
ク保護部材装着治具８６の段部８６ａ上に、マスク保護
部材８２を薄膜８２ｂを下にして載置する。段部８６ａ
は、フレーム８２ａとほぼ同じ形状であり、両者は密着
している。また、マスク保護部材装着治具８６の中央部
には、薄膜８２ｂへの接触を避けるために、貫通孔８６
ｂが形成されている。FIG. 15 is a view showing a conventional method for mounting the mask protecting member 82 on the mask member 81. When mounting the mask protection member 82 on the mask member 81, first, the mask protection member 82 is mounted on the step portion 86a of the mask protection member mounting jig 86 with the thin film 82b facing down. Step 86a
Has substantially the same shape as the frame 82a, and both are in close contact with each other. In order to avoid contact with the thin film 82b, a through hole 86 is formed at the center of the mask protection member mounting jig 86.
b is formed.
【０００６】このようにマスク保護部材８２を段部８６
ａに載置すると、次に、パターン面８１ａを下に向けて
マスク部材８１を上方からフレーム８２ａに押しつけ
る。この押しつける作業は、手動によって行われる。フ
レーム８２ａの上面には、接着剤８２ｃが塗布されてい
るので、パターン面８１ａにフレーム８２ａが接着され
る。As described above, the mask protection member 82 is
Then, the mask member 81 is pressed against the frame 82a from above with the pattern surface 81a facing downward. This pressing operation is performed manually. Since the adhesive 82c is applied to the upper surface of the frame 82a, the frame 82a is bonded to the pattern surface 81a.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかし、マスク部材８
１とフレーム８２ａとを接着するとき、薄膜８２ｂに
は、マスク部材８１から空気圧を受け、薄膜８２ｂは下
方に膨らもうとする。However, the mask member 8
When the film 1 is bonded to the frame 82a, the thin film 82b receives air pressure from the mask member 81, and the thin film 82b tries to expand downward.
【０００８】図１６は薄膜８２ｂの膨らみの原理を示す
図である。マスク部材８１をマスク保護部材８２に上方
から接近させると、空気８７の圧力が薄膜８２ｂに加わ
る。この空気圧は、当然、マスク部材８１の移動速度が
速いほど高くなる。この空気圧によって、薄膜８２ｂは
下方に膨らむことになる。FIG. 16 is a diagram showing the principle of bulging of the thin film 82b. When the mask member 81 approaches the mask protection member 82 from above, the pressure of the air 87 is applied to the thin film 82b. This air pressure naturally increases as the moving speed of the mask member 81 increases. This air pressure causes the thin film 82b to expand downward.
【０００９】ところが、マスク保護部材８２内部の空気
はフレーム８２ａと薄膜８２ｂに囲まれているために、
マスク部材による空気圧を逃すことができず、その空気
圧は薄膜８２ｂを押し下げようとする。このとき、マス
ク保護部材装着治具８６の中心には前述したように貫通
孔８６ｂが形成されているため、薄膜８２ｂは容易に膨
らんでしまう。このためマスク保護部材８２は、薄膜８
２ｂは膨らんだ状態でマスク部材８１に装着されてしま
う。薄膜８２ｂの中心点Ｐ0 の膨らみは、平らな状態よ
りも数百μｍ程度、大きいときには１０００μｍ程度に
もなる。However, since the air inside the mask protection member 82 is surrounded by the frame 82a and the thin film 82b,
The air pressure by the mask member cannot be released, and the air pressure tends to push down the thin film 82b. At this time, since the through hole 86b is formed at the center of the mask protection member mounting jig 86 as described above, the thin film 82b easily swells. For this reason, the mask protection member 82 is
2b is mounted on the mask member 81 in an expanded state. The bulge of the center point P 0 of the thin film 82b is about several hundred μm as compared with a flat state, and about 1000 μm when larger.
【００１０】このように薄膜８２ｂが膨らんだ状態で
は、マスク保護部材８２の装着後の欠陥検査のときに、
検査装置の検出部と薄膜８２ｂが接触して、薄膜８２ｂ
に傷が付き、薄膜８２自体の透過率を低下させてしまっ
たり、検査装置の検出部を汚染してしまうという問題が
あった。In the state where the thin film 82b is swollen in this way, when inspecting for defects after mounting the mask protection member 82,
The detecting section of the inspection device comes into contact with the thin film 82b, and the thin film 82b
And the transmittance of the thin film 82 itself is reduced, and the detection unit of the inspection device is contaminated.
【００１１】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、マスク保護部材をマスク部材に装着するとき
の薄膜の膨らみを防止することのできるフォトマスクの
製造方法及びフォトマスクを提供することを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and a photomask which can prevent the thin film from swelling when the mask protection member is mounted on the mask member .
An object is to provide a manufacturing method and a photomask .
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、薄膜を用いたマスク保護部材を装着した
フォトレジスト用のフォトマスクの製造方法において、
前記マスク保護部材のフレームを前記フォトマスクに圧
接させるとき、前記フォトマスク側から受ける空気圧に
抗する圧力を、前記フォトマスクの反対側から前記薄膜
の湾曲を制御するように前記薄膜に付与するマスク保護
部材の装着工程を有することを特徴とするフォトマスク
の製造方法が提供される。According to the present invention, in order to solve the above problems, a mask protection member using a thin film is mounted.
In a method for manufacturing a photomask for a photoresist,
When is pressed against the frame of the mask protective member to the photomask, mask applying pressure against the air pressure received from the photomask side, in the thin film so as to control the curvature of the thin film from the opposite side of the photomask protection
A photomask having a member mounting process.
The method of manufacturing is provided.
【００１３】このようなフォトマスクの製造方法では、
マスク保護部材のフレームをフォトマスクに圧接させる
とき、マスク部材側から受ける空気圧に抗する圧力を薄
膜の湾曲をフォトマスクの反対側から付与して制御する
ように薄膜に付与するので、薄膜の膨らみが防止され
る。また、空気噴射用の配管を取り付けられたロボット
ハンドによって前記マスク保護部材を搬送し、前記マス
ク保護部材を前記フォトマスクに圧接させるときに、前
記配管からの空気を前記マスク保護部材の薄膜に噴射す
ることもできる。さらに、上記の製造方法によって製造
されたフォトマスクが提供される。また、マスク保護部
材の薄膜の膨らみ高さが２５０μｍ以下が望ましい。 In such a method of manufacturing a photomask ,
When is pressed against the frame of the mask protective member to the photomask, since imparting pressure against the air pressure received from the mask member side to a thin film to control by giving a curvature of the thin film from the opposite side of the photomask, bulging of the thin film Is prevented. In addition, a robot equipped with air injection piping
The mask protection member is transported by a hand, and the
When pressing the protection member against the photomask,
Injecting air from the pipe to the thin film of the mask protection member
You can also. Furthermore, it is manufactured by the above manufacturing method.
A provided photomask is provided. Also, the mask protection section
The swelling height of the thin film of the material is desirably 250 μm or less.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一形態を図面に基
づいて説明する。図２は本発明で使用されるマスク保護
部材装着治具の一例の外観を示す斜視図である。また、
図３はマスク保護部材装着治具の平面図である。さら
に、図４は図３のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。マスク
保護部材装着治具１は、アルミニウム合金に黒色アルマ
イト処理を施したものを材料とする基台１０を中心に構
成されている。基台１０の上面には、マスク保護部材に
合わせた形状（ここでは４角形）の凹部１１が形成され
ている。この凹部１１の開口面と底面１１ｂとの中間に
は、段部１１ａが形成されている。この段部１１ａに
は、後述のマスク保護部材２のフレーム２１が載置され
る。また、図４に示すように、底面１１ｂの角部１１ｃ
は、曲面形成されており、埃が溜まりにくいようになっ
ている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a perspective view showing an external appearance of an example of a mask protection member mounting jig used in the present invention . Also,
FIG. 3 is a plan view of the mask protection member mounting jig. FIG. 4 is a sectional view taken along line XX of FIG. The mask protection member mounting jig 1 is mainly configured with a base 10 made of a material obtained by subjecting an aluminum alloy to a black alumite treatment. On the upper surface of the base 10, a concave portion 11 having a shape (in this case, a quadrangle) adapted to the mask protection member is formed. A step 11a is formed between the opening surface of the recess 11 and the bottom surface 11b. A frame 21 of the mask protection member 2 described later is placed on the step 11a. As shown in FIG. 4, a corner 11c of the bottom surface 11b is formed.
Has a curved surface, so that dust hardly accumulates.
【００１５】基台１０には、凹部１１と連通する３個の
孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃが形成されている。これらの
孔１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、後述のマスク保護部材２
を凹部１１にセットしたり取り外したりするときに、手
を挿入するために形成されている。孔１２ａ，１２ｂ，
１２ｃは、基台１０の底面まで貫通している。The base 10 is formed with three holes 12a, 12b, 12c communicating with the recess 11. These holes 12a, 12b, and 12c are provided in the mask protection member 2 described later.
It is formed so that a hand can be inserted when the user sets or removes the concave portion 11. Holes 12a, 12b,
12 c penetrates to the bottom surface of the base 10.
【００１６】基台１０の上面には、４本のマスク位置決
めピン１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが設けられてい
る。各マスク位置決めピン１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１
３ｄは、図３に示すように、マスク位置決めピン１３
ａ，１３ｂの軸芯を結ぶ直線Ｌ 1 と、マスク位置決めピ
ン１３ｃ，１３ｄの軸芯を結ぶ直線Ｌ2 が、互いにほぼ
直交するように設けられている。On the upper surface of the base 10, four masks are positioned.
Female pins 13a, 13b, 13c and 13d are provided.
You. Each mask positioning pin 13a, 13b, 13c, 1
3d is a mask positioning pin 13 as shown in FIG.
A straight line L connecting the axes of a and 13b 1And the mask positioning pin
Straight line L connecting the axes of the shafts 13c and 13dTwoBut almost each other
They are provided so as to be orthogonal.
【００１７】また、基台１０の上面には、４本の伸縮ピ
ン１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが設けられている。
伸縮ピン１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、図示され
ていないバネ機構によって、上下方向に伸縮可能に取り
付けられている。また、伸縮ピン１４ａ，１４ｂは、図
３に示すように、直線Ｌ1 よりも凹部１１側に位置する
ように設けられている。一方、伸縮ピン１４ｂ，１４ｃ
は、直線Ｌ2 よりも凹部１１側に位置するように設けら
れている。On the upper surface of the base 10, four extendable pins 14a, 14b, 14c, 14d are provided.
The extendable pins 14a, 14b, 14c, 14d are attached to be vertically extendable by a spring mechanism (not shown). The telescopic pins 14a, 14b, as shown in FIG. 3, are provided so as to be positioned in the recess 11 than the straight line L 1. On the other hand, telescopic pins 14b, 14c
It is provided so as to be positioned in the recess 11 than the straight line L 2.
【００１８】凹部１１の底面１１ｂには、４個の小径の
孔１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが形成されている。
各孔１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄは、図４に示すよ
うに、基台１０の底面まで貫通している。Four small holes 15a, 15b, 15c and 15d are formed in the bottom surface 11b of the concave portion 11.
Each of the holes 15a, 15b, 15c, 15d penetrates to the bottom of the base 10, as shown in FIG.
【００１９】次に、このような構成のマスク保護部材装
着治具１を使用して、マスク部材にマスク保護部材を装
着する手順を説明する。図５はマスク保護部材装着治具
１にマスク保護部材をセットする状態を示す斜視図であ
る。マスク保護部材装着治具１の凹部１１には、ほぼ同
形状のマスク保護部材２を載置する。マスク保護部材２
は、フレーム２１および薄膜２２から構成されている。
フレーム２１は、金属製であり、このフレーム２１の一
方の枠面にニトロセルロース等で形成された薄膜２２が
貼られている。また、フレーム２１の薄膜２２と反対側
の枠面２１ａには、接着剤が塗布されている。Next, a procedure for mounting the mask protection member on the mask member using the mask protection member mounting jig 1 having such a configuration will be described. FIG. 5 is a perspective view showing a state where the mask protection member is set on the mask protection member mounting jig 1. The mask protection member 2 having substantially the same shape is placed in the concave portion 11 of the mask protection member mounting jig 1. Mask protection member 2
Is composed of a frame 21 and a thin film 22.
The frame 21 is made of metal, and a thin film 22 made of nitrocellulose or the like is attached to one frame surface of the frame 21. An adhesive is applied to the frame surface 21a of the frame 21 opposite to the thin film 22.
【００２０】このマスク保護部材２は、図に示すよう
に、薄膜２２を下側にして凹部１１に嵌め込むようにし
て、段部１１ａ上に載置する。これにより、マスク保護
部材２は、マスク保護部材装着治具１にセットされる。
また、このとき、伸縮ピン１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１
４ｄの頂点は、マスク保護部材２の上面２１ａよりも多
少高い位置にある。As shown in the figure, the mask protection member 2 is placed on the step 11a with the thin film 22 facing down and fitted into the concave portion 11. Thereby, the mask protection member 2 is set on the mask protection member mounting jig 1.
At this time, the telescopic pins 14a, 14b, 14c, 1
The vertex of 4d is located at a position slightly higher than the upper surface 21a of the mask protection member 2.
【００２１】図６はマスク保護部材装着治具１にマスク
保護部材２をセットした状態を示す斜視図である。この
状態では、マスク保護部材２を図面左上方向に押して、
凹部１１の左上方向の側面に密着するように位置決めす
る。こうして位置決めしたマスク保護部材２の上から
は、図７に示すように、露光用のパターン面３１を下に
向けてマスク部材３を載置する。ここで、マスク部材３
としては、レチクル部材等も含まれる。FIG. 6 is a perspective view showing a state in which the mask protection member 2 is set on the mask protection member mounting jig 1. In this state, push the mask protection member 2 in the upper left direction in the drawing,
It is positioned so as to be in close contact with the upper left side surface of the recess 11. As shown in FIG. 7, the mask member 3 is placed with the pattern surface 31 for exposure facing downward from above the mask protection member 2 thus positioned. Here, the mask member 3
Includes a reticle member and the like.
【００２２】図８はマスク部材３をマスク保護部材２上
に載置した状態を示す斜視図である。ただし、この状態
ではマスク部材３は、伸縮ピン１４ａ，１４ｂ，１４
ｃ，１４ｄに支持されており、マスク保護部材２とはま
だ接していない。ここで、マスク部材３を左上方向に押
して、マスク位置決めピン１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１
３ｄに当接させて位置決めを行う。FIG. 8 is a perspective view showing a state in which the mask member 3 is placed on the mask protection member 2. However, in this state, the mask member 3 includes the telescopic pins 14a, 14b, 14
c, 14d and not in contact with the mask protection member 2 yet. Here, the mask member 3 is pushed in the upper left direction, and the mask positioning pins 13a, 13b, 13c, 1
Positioning is performed by contacting 3d.
【００２３】この位置決めが完了すると、マスク部材３
の四隅を上方から押す。この押す力によって、マスク部
材３は、伸縮ピン１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの力
に抗して下降し、そのパターン面がマスク保護部材２の
上面２１ａと接触する。こうして、マスク保護部材２の
上面２１ａに塗布された接着剤の接着力により、マスク
部材３のパターン面にマスク保護部材２が装着される。When the positioning is completed, the mask member 3
Press the four corners from above. Due to this pressing force, the mask member 3 descends against the force of the extendable pins 14a, 14b, 14c, 14d, and its pattern surface comes into contact with the upper surface 21a of the mask protection member 2. Thus, the mask protection member 2 is mounted on the pattern surface of the mask member 3 by the adhesive force of the adhesive applied to the upper surface 21a of the mask protection member 2.
【００２４】図９はマスク部材３のパターン面にマスク
保護部材が装着された状態を示す斜視図である。マスク
部材３のパターン面３１には、薄膜２２がほとんど膨ら
むことなくマスク保護部材２が装着されている。これ
は、マスク部材３とマスク保護部材２の装着作業時の空
気圧の作用のためである。FIG. 9 is a perspective view showing a state in which a mask protection member is mounted on the pattern surface of the mask member 3. The mask protection member 2 is mounted on the pattern surface 31 of the mask member 3 with almost no swelling of the thin film 22. This is due to the effect of air pressure when the mask member 3 and the mask protection member 2 are mounted.
【００２５】図１はマスク部材３とマスク保護部材２の
装着作業時の空気圧の作用を説明する概念図である。マ
スク保護部材装着治具１にマスク保護部材２をセットし
た状態で、その上方からパターン３２を有するパターン
面３１を下に向けてマスク部材３を接近させると、空気
圧４が薄膜２２に加わる。しかし、凹部１１は、薄膜２
２との間でほぼ密閉されているので、凹部１１の底面１
１ｂ側からは、空気圧４に対抗する空気圧５が薄膜２２
に加わる。このため、マスク保護部材２がマスク部材３
に装着されるときに、薄膜２２は下方にほとんど膨らむ
ことがない。FIG. 1 is a conceptual diagram for explaining the action of air pressure when the mask member 3 and the mask protection member 2 are mounted. With the mask protection member 2 set on the mask protection member mounting jig 1 and the mask member 3 approached from above with the pattern surface 31 having the pattern 32 facing downward, air pressure 4 is applied to the thin film 22. However, the recesses 11 are
2 and the bottom surface 1 of the recess 11
1b, the air pressure 5 opposing the air pressure 4 is applied to the thin film 22.
Join. For this reason, the mask protection member 2 is
When mounted on the thin film 22, the thin film 22 hardly swells downward.
【００２６】また、凹部１１の底面１１ｂには、外部と
連通する小径の孔１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが形
成されているので、マスク保護部材２をマスク保護部材
装着治具にセットするときの余分な空気は孔１５ａ，１
５ｂ，１５ｃ，１５ｄから抜くことができる。Since small diameter holes 15a, 15b, 15c, and 15d communicating with the outside are formed in the bottom surface 11b of the recess 11, the mask protection member 2 is set to a mask protection member mounting jig. Excess air is in holes 15a, 1
5b, 15c, and 15d.
【００２７】次に、本形態のマスク保護部材装着治具１
を使用してマスク保護部材２を装着した場合の薄膜２２
の膨らみ状態を、従来のマスク保護部材装着治具を使用
した場合と比較する。Next, the mask protection member mounting jig 1 of the present embodiment.
The thin film 22 when the mask protection member 2 is mounted using
Is compared with the case where a conventional mask protection member mounting jig is used.
【００２８】図１０は本形態のマスク保護部材装着治具
１を使用してマスク保護部材２を装着した場合の薄膜２
２の膨らみ状態と、従来のマスク保護部材装着治具を使
用した場合とを比較した図である。ここでは、従来のマ
スク保護部材装着治具として、図１５で示した貫通孔８
６ｂを有するタイプのものを使用した。また、マスク部
材３の装着は手動によりなるべく動作速度が低速で、か
つ一定となるように行った。そして、この作業を、従来
のマスク保護部材装着治具および本形態のマスク保護部
材装着治具１ともに４個のサンプルについて行い、それ
ぞれ薄膜の頂点の膨らみ高さを測定した。FIG. 10 shows a thin film 2 when the mask protection member 2 is mounted using the mask protection member mounting jig 1 of the present embodiment.
FIG. 4 is a diagram comparing a swelling state of No. 2 with a case where a conventional mask protection member mounting jig is used. Here, a through hole 8 shown in FIG.
6b type was used. The mounting of the mask member 3 was performed manually so that the operating speed was as low as possible and constant. This operation was performed on four samples for both the conventional mask protection member mounting jig and the mask protection member mounting jig 1 of the present embodiment, and the swelling height of the top of the thin film was measured.
【００２９】その結果、図に示すような測定データが得
られた。ここで、特性Ｍ１は従来のマスク保護部材装着
治具によるものであり、特性Ｍ２は本形態のマスク保護
部材装着治具１によるものである。図からも分かるよう
に、従来のマスク保護部材装着治具では、膨らみ高さの
値が大きくかつサンプルによってばらつきがあるのに対
し、本形態のマスク保護部材装着治具１では、膨らみ高
さは２５０μｍ程度と小さく、サンプル毎のばらつきも
ない。As a result, measured data as shown in the figure was obtained. Here, the characteristic M1 is based on the conventional mask protection member mounting jig, and the characteristic M2 is based on the mask protection member mounting jig 1 of the present embodiment. As can be seen from the figure, in the conventional mask protection member mounting jig, the value of the swelling height is large and varies depending on the sample, whereas in the mask protection member mounting jig 1 of the present embodiment, the swelling height is It is as small as about 250 μm, and there is no variation between samples.
【００３０】また、この実験とは別に、マスク部材３の
装着の速度を速くしたときには、従来のマスク保護部材
装着治具では、膨らみ高さが１２３５μｍとなるのに対
し、本形態のマスク保護部材装着治具１では、膨らみ高
さは２７２μｍと、非常に小さかった。In addition to this experiment, when the mounting speed of the mask member 3 is increased, the swelling height of the conventional mask protection member mounting jig becomes 1235 μm, whereas the mask protection member of the present embodiment has a bulging height of 1235 μm. In the mounting jig 1, the bulging height was 272 μm, which was extremely small.
【００３１】次に、本発明の他の形態について説明す
る。図１１は本発明の第２の形態を説明する概略図であ
る。本形態のマスク保護部材装着治具４０では、図２で
示したマスク保護部材装着治具１を基本構成としてお
り、これと同一の構成については、同一符号を付して説
明を省略する。マスク保護部材装着治具４０には、凹部
１１の底面１１ｂを外部と連通させる空気孔４１が形成
されている。この空気孔４１の入口４１ａからは、例え
ば３０ｈＰａの清浄な空気４２を送り込み、噴き出し口
４１ｂから凹部１１内に供給する。空気４２を送り込む
機構としては、図示されていない圧力コンプレッサ、エ
アドライヤ、レギュレータ、電磁弁、フィルタ等を外部
に設けておく。Next, another embodiment of the present invention will be described. FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a second embodiment of the present invention. The mask protection member mounting jig 40 of the present embodiment has the basic configuration of the mask protection member mounting jig 1 shown in FIG. 2, and the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. Air holes 41 are formed in the mask protection member mounting jig 40 so that the bottom surface 11b of the concave portion 11 communicates with the outside. Clean air 42 of, for example, 30 hPa is sent from the inlet 41a of the air hole 41 and supplied into the recess 11 from the outlet 41b. As a mechanism for feeding the air 42, a pressure compressor, an air dryer, a regulator, a solenoid valve, a filter, and the like, which are not shown, are provided outside.
【００３２】また、伸縮ピン１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，
１４ｄには、それぞれ所定量の圧縮によってオン、オフ
するスイッチを設けておく。これらのスイッチは、空気
４２を送り込む電磁弁と連結しておき、スイッチがオン
になったときには電磁弁が開いて空気孔４１の入口４１
ａから空気４２が送り込まれるようにする。The telescopic pins 14a, 14b, 14c,
14d is provided with a switch that is turned on and off by a predetermined amount of compression. These switches are connected to a solenoid valve that feeds air 42, and when the switch is turned on, the solenoid valve opens and the inlet 41 of the air hole 41 is opened.
The air 42 is sent from a.
【００３３】このような構成のマスク保護部材装着治具
４０では、図５〜図８で示した手順と同じ手順でマスク
保護部材２をセットする。そして、マスク保護部材２を
図８と同様に上方から押すと、伸縮ピン１４ａ，１４
ｂ，１４ｃ，１４ｄが縮んでスイッチがオンになる。こ
れにより、電磁弁が開いて圧力コンプレッサからの空気
４２が空気孔４１の入口４１ａから送り込まれ、凹部１
１内に供給される。この供給された空気４２の圧力が、
図１で示した空気圧５と同じ作用を行い、マスク保護部
材２の薄膜２２の膨らみを防止する。In the mask protection member mounting jig 40 having such a configuration, the mask protection member 2 is set in the same procedure as that shown in FIGS. When the mask protection member 2 is pressed from above in the same manner as in FIG.
The switches are turned on when b, 14c and 14d contract. As a result, the solenoid valve is opened, and air 42 from the pressure compressor is sent from the inlet 41a of the air hole 41, and the concave 1
1 is supplied. The pressure of the supplied air 42 is
The same action as the air pressure 5 shown in FIG. 1 is performed to prevent the thin film 22 of the mask protection member 2 from expanding.
【００３４】なお、図１１のように空気孔４１を形成す
る手段以外にも、図１５に示した従来のマスク保護部材
装着治具８６の貫通孔８６ｂにステンレス配管等を取り
付けて、このステンレス配管によって、マスク保護部材
８２の薄膜８２ｂの下方から空気を送り込むようにして
もよい。In addition to the means for forming the air holes 41 as shown in FIG. 11, a stainless steel pipe or the like is attached to the through hole 86b of the conventional mask protection member mounting jig 86 shown in FIG. Thus, air may be sent from below the thin film 82b of the mask protection member 82.
【００３５】また、電磁弁の作動用のスイッチは、伸縮
ピン１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄと連動させなくて
も、マスク部材の位置を検出できるものであれば、他の
センサ等でもよい。The switch for operating the solenoid valve may be another sensor as long as it can detect the position of the mask member without interlocking with the telescopic pins 14a, 14b, 14c and 14d.
【００３６】図１２は本発明の第３の形態を説明する概
略図である。本形態では、オートペリクルマウンタと呼
ばれる自動装着装置への応用例を示す。この装置では、
ロボットハンド５０の爪５１，５２によって、薄膜２２
を上側にした状態でマーク保護部材２を掴んで搬送し、
パターン面３１が上向きにされたマスク部材３の上に載
置する。ロボットハンド５０には、エア配管５３が固定
されている。このエア配管５３には、図示されていない
エア供給機構部からの空気５４が供給される。この空気
５４は、マスク保護部材２をマスク部材３に圧接させる
ときに、エア配管５３のノズル５３ａを介して薄膜２２
上に噴射される。これにより、第２の形態と同様に、装
着時の薄膜２２の膨らみが防止される。FIG. 12 is a schematic diagram illustrating a third embodiment of the present invention. In the present embodiment, an application example to an automatic mounting device called an auto pellicle mounter will be described. In this device,
The thin film 22 is formed by the claws 51 and 52 of the robot hand 50.
With the mark on the upper side, the mark protection member 2 is gripped and transported,
It is placed on the mask member 3 with the pattern surface 31 facing upward. An air pipe 53 is fixed to the robot hand 50. Air 54 is supplied to the air pipe 53 from an air supply mechanism (not shown). When the mask protection member 2 is pressed against the mask member 3, the air 54 flows through the thin film 22 through the nozzle 53 a of the air pipe 53.
Injected above. This prevents swelling of the thin film 22 at the time of mounting, as in the second embodiment.
【００３７】なお、エア配管５３としては、ステンレス
以外にも、ビニルチューブ等の他のものでもよい。図１
３は本発明の第４の形態を説明する概略図である。本形
態では、マニュアルマウンタと呼ばれるマニュアル装着
装置への応用例を示す。マニュアル装着装置６０の基台
６１上には、押し上げ部材６２が設けられている。この
押し上げ部材６２は、基台６１下方のシリンダ機構部６
３によって上下動制御される。The air pipe 53 may be other than stainless steel, such as a vinyl tube. FIG.
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a fourth embodiment of the present invention. In this embodiment, an example of application to a manual mounting device called a manual mounter will be described. A push-up member 62 is provided on a base 61 of the manual mounting device 60. The push-up member 62 is connected to the cylinder mechanism 6 below the base 61.
3 is controlled to move up and down.
【００３８】押し上げ部材６２の上方には、支持部材６
４，６５によってマスク部材６６が支持されている。マ
スク部材６６は、手動で支持部材６４，６５間に載置さ
れている。マスク部材６６の上方には、支持部材６７に
よってマスク保護部材６８が支持されている。Above the push-up member 62, the support member 6
The mask member 66 is supported by 4 and 65. The mask member 66 is manually placed between the support members 64 and 65. Above the mask member 66, a mask protection member 68 is supported by a support member 67.
【００３９】基台６１上の機構は、カバー６９によって
密閉されている。このカバー６９は、作業状態が確認で
きるように、透明のアクリル板や塩化ビニール板等を材
料としている。また、カバー６９の前面部には、図示さ
れていない扉が形成されており、この扉を介して、マス
ク部材６６およびマスク保護部材６８のセット作業が行
われる。さらに、このカバー６９は、帯電防止処理が施
されていることが好ましい。The mechanism on the base 61 is closed by a cover 69. The cover 69 is made of a transparent acrylic plate, a vinyl chloride plate, or the like so that the work state can be checked. A door (not shown) is formed on the front surface of the cover 69, through which the mask member 66 and the mask protection member 68 are set. Further, it is preferable that the cover 69 is subjected to an antistatic treatment.
【００４０】カバー６９には、配管７０を介して排気ポ
ンプ７１が取り付けられている。排気ポンプ７１は、図
示されていない手動スイッチによって動作開始し、カバ
ー６９内部に設けられた圧力スイッチによって動作停止
が行われる。圧力スイッチは、カバー６９内の圧力が所
定値以下のときにオンとなる。An exhaust pump 71 is attached to the cover 69 via a pipe 70. The operation of the exhaust pump 71 is started by a manual switch (not shown), and the operation is stopped by a pressure switch provided inside the cover 69. The pressure switch is turned on when the pressure in the cover 69 is equal to or less than a predetermined value.
【００４１】このような構成のマニュアル装着装置６０
では、まず、カバー６９の図示されていない扉を開け
て、マスク部材６６およびマスク保護部材６８を作業者
が図のようにセットし、扉を閉じる。次いで、手動スイ
ッチをオンにすることにより、排気ポンプ７１を動作さ
せる。これにより、カバー６９内部の空気が配管７０を
介して排気される。The manual mounting device 60 having such a configuration is described.
Then, first, the door (not shown) of the cover 69 is opened, the operator sets the mask member 66 and the mask protection member 68 as shown in the figure, and closes the door. Next, the exhaust pump 71 is operated by turning on the manual switch. Thus, the air inside the cover 69 is exhausted through the pipe 70.
【００４２】カバー６９内部の気圧が所定値まで下がる
と、圧力スイッチがオンとなり、排気ポンプ７１の動作
が停止する。こうして、カバー６９内部の気圧は常時一
定に保持される。カバー６９内部の気圧としては、カバ
ー６９外部の気圧よりも例えば３０ｈＰａ低くなるよう
に設定する。When the pressure inside the cover 69 drops to a predetermined value, the pressure switch is turned on, and the operation of the exhaust pump 71 stops. Thus, the air pressure inside the cover 69 is always kept constant. The pressure inside the cover 69 is set to be lower than the pressure outside the cover 69 by, for example, 30 hPa.
【００４３】カバー６９内部の気圧が安定したところ
で、シリンダ機構部６３を駆動させる。このシリンダ機
構部６３の駆動により、押し上げ部材６２が上昇し、マ
スク部材６６を持ち上げ、上方のマスク保護部材６８に
圧接させる。これにより、マスク部材６６へのマスク保
護部材６８の装着が完了する。装着が完了したら、カバ
ー６９の扉を開けて、マスク部材６６を作業者が取り出
す。When the pressure inside the cover 69 is stabilized, the cylinder mechanism 63 is driven. The driving of the cylinder mechanism 63 raises the push-up member 62, lifts the mask member 66, and presses the mask member 66 against the upper mask protection member 68. Thus, the attachment of the mask protection member 68 to the mask member 66 is completed. When the mounting is completed, the door of the cover 69 is opened, and the operator takes out the mask member 66.
【００４４】このように、カバー６９内部の気圧を低く
して装着作業を行うことにより、装着作業時にマスク保
護部材６８の薄膜に膨らみが生じても、薄膜内部の圧力
より外気圧の方が若干高いため、マスク保護部材の装着
されたマスク部材６６をカバー６９から取り出したとき
には、外気圧とのバランスをとるために、薄膜の膨らみ
は消滅する。As described above, when the mounting operation is performed while reducing the air pressure inside the cover 69, even if the thin film of the mask protection member 68 swells during the mounting operation, the external pressure is slightly smaller than the internal pressure of the thin film. Since the height is high, when the mask member 66 on which the mask protection member is mounted is taken out of the cover 69, the bulge of the thin film disappears in order to balance with the outside air pressure.
【００４５】なお、このカバー６９で密閉する技術は、
図１２で示した自動装着装置においても、ロボットハン
ド５０がマスク保護部材を掴んだままで密閉できるよう
にすれば、同様の効果が得られる。The technique of sealing with the cover 69 is as follows.
In the automatic mounting apparatus shown in FIG. 12 as well, the same effect can be obtained if the robot hand 50 can seal while holding the mask protection member.
【００４６】また、本形態では、フォトマスク用のマス
ク保護部材付きのマスク部材の製造方法について述べた
が、Ｘ線等用のマスク保護部材付きのマスク部材の製造
方法にも本発明を適用することができる。[0046] Further, in this embodiment, the mass for a photomask
The method of manufacturing a mask member with a mask protection member has been described, but the manufacture of a mask member with a mask protection member for X-rays and the like has been described.
The present invention can be applied to a method .
【００４７】[0047]
【発明の効果】以上説明したように本発明では、マスク
保護部材のフレームをフォトマスクに圧接させるとき、
フォトマスク側から受ける空気圧に抗する圧力をフォト
マスクの反対側から薄膜の湾曲を制御するように薄膜に
付与するので、薄膜の膨らみおよび膨らみ量のバラツキ
を防止することができる。よって、欠陥検査のときの薄
膜と検査装置との接触をなくし、薄膜が傷付くことを防
止できる。As described above, according to the present invention, when the frame of the mask protecting member is pressed against the photomask ,
Photo pressure against the air pressure received from the photomask side
Since the thin film is provided so as to control the curvature of the thin film from the opposite side of the mask, the swelling of the thin film and the variation in the amount of swelling can be prevented. Therefore, contact between the thin film and the inspection device at the time of defect inspection can be eliminated, and the thin film can be prevented from being damaged.
【図１】マスク部材とマスク保護部材の装着作業時の空
気圧の作用を説明する概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating the action of air pressure during the mounting operation of a mask member and a mask protection member.
【図２】本発明で使用されるマスク保護部材装着治具の
一例の外観を示す斜視図である。[Figure 2] of the mask protective member mounting jig used in the present invention
It is a perspective view showing an example appearance.
【図３】マスク保護部材装着治具の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a mask protection member mounting jig.
【図４】図３のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line XX of FIG. 3;
【図５】マスク保護部材装着治具にマスク保護部材をセ
ットする状態を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a state where a mask protection member is set on a mask protection member mounting jig.
【図６】マスク保護部材装着治具にマスク保護部材をセ
ットした状態を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a state where the mask protection member is set on the mask protection member mounting jig.
【図７】マスク保護部材の上からマスク部材を載置する
方法を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a method of placing a mask member on a mask protection member.
【図８】マスク部材をマスク保護部材上に載置した状態
を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a state where the mask member is placed on a mask protection member.
【図９】マスク部材のパターン面にマスク保護部材が装
着された状態を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a state in which a mask protection member is mounted on a pattern surface of the mask member.
【図１０】本形態のマスク保護部材装着治具を使用して
マスク保護部材を装着した場合の薄膜の膨らみ状態と、
従来のマスク保護部材装着治具を使用した場合とを比較
した図である。FIG. 10 shows a swelling state of a thin film when a mask protection member is mounted using the mask protection member mounting jig of the present embodiment,
It is the figure which compared with the case where the conventional mask protection member mounting jig is used.
【図１１】本発明の第２の形態を説明する概略図であ
る。FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a second embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の第３の形態を説明する概略図であ
る。FIG. 12 is a schematic diagram illustrating a third embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第４の形態を説明する概略図であ
る。FIG. 13 is a schematic diagram illustrating a fourth embodiment of the present invention.
【図１４】マスク保護部材を使用した投影露光処理の概
念図である。FIG. 14 is a conceptual diagram of a projection exposure process using a mask protection member.
【図１５】マスク保護部材をマスク部材に装着する従来
の方法を示す図である。FIG. 15 is a view showing a conventional method of mounting a mask protection member on a mask member.
【図１６】薄膜の膨らみの原理を示す図である。FIG. 16 is a view showing the principle of bulging of a thin film.
１ マスク保護部材装着治具 ２ マスク保護部材 ３ マスク部材（フォトマスク） １０ 基台 １１ 凹部 １１ａ 段部 １１ｂ 底面 １３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ マスク位置決めピン １４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ 伸縮ピン １５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ 孔 ２１ フレーム ２２ 薄膜REFERENCE SIGNS LIST 1 mask protection member mounting jig 2 mask protection member 3 mask member (photomask) 10 base 11 recess 11 a step 11 b bottom surface 13 a, 13 b, 13 c, 13 d mask positioning pin 14 a, 14 b, 14 c, 14 d telescopic pin 15 a, 15 b , 15c, 15d hole 21 frame 22 thin film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−161094（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−186352（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−110200（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−38468（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−66945（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−79557（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−114445（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 1/00 - 1/16 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) References JP-A-6-161094 (JP, A) JP-A-4-186352 (JP, A) JP-A-6-110200 (JP, A) 38468 (JP, A) JP-A-4-66945 (JP, A) JP-A-5-79557 (JP, U) JP-A-61-114445 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. 7 , DB name) G03F 1/00-1/16
Claims (3)
フォトレジスト用のフォトマスクの製造方法において、 前記マスク保護部材のフレームを前記フォトマスクに圧
接させるとき、前記フォトマスク側から受ける空気圧に
抗する圧力を、前記フォトマスクの反対側から前記薄膜
の湾曲を制御するように前記薄膜に付与するマスク保護
部材の装着工程を有することを特徴とするフォトマスク
の製造方法。1. A method of manufacturing a photomask for photoresist on which a mask protective member using a thin film is mounted, wherein when a frame of the mask protective member is pressed against the photomask, it resists air pressure received from the photomask side. A mask protecting member for applying a pressure to the thin film so as to control the curvature of the thin film from the opposite side of the photomask.
ットハンドによって前記マスク保護部材を搬送し、前記
マスク保護部材を前記フォトマスクに圧接させるとき
に、前記配管からの空気を前記マスク保護部材の薄膜に
噴射することを特徴とする請求項１記載のフォトマスク
の製造方法。2. When the mask protection member is conveyed by a robot hand equipped with a pipe for air injection and the mask protection member is pressed against the photomask, air from the pipe is removed from the mask protection member. The method for manufacturing a photomask according to claim 1, wherein the photomask is sprayed on a thin film.
により製造されることを特徴とするフォトマスク。3. A photomask manufactured by the method according to claim 1. Description:
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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