JP3083093B1 - 運転状態表示灯付き機械装置関係機器の電源回路開閉装置 - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 機械装置の運転状態を表示する表示灯の所定
色別部の点灯表示を光検知し当該機械装置関係機器のそ
の後の動作の要否に応じてその電源回路を開閉する、運
転中でも容易に取り付け可能で安価な運転状態表示灯付
き機械装置関係機器の電源回路開閉装置を得る。 【解決手段】 電源用コンセントＳ₁ から直流電圧を発
生する電源部２０、硫化カドミウム光検知素子１１によ
り光検知して検知信号を出力する光検知信号発生部３
０、検知信号を受けて駆動信号を出力する駆動信号発生
部４０、駆動信号を受けてＣＲＴディスプレイ装置９の
電源用コンセントＳ₂ への通電を開閉する電源回路開閉
部６０ａ及び駆動信号を受けて動作するタイマ部５０を
設けて運転状態表示灯付き機械装置関係機器の電源回路
開閉装置の電気回路を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
等の運転状態を運転者に色別して点灯表示する表示灯の
所定の表示を光検知し、それに伴う関係機器への電力、
ガス、水等の供給の要否に応じその供給を開始又は停止
するようにして省エネルギー又は省資源化を図る、運転
状態表示灯付き機械装置関係機器の電源回路開閉装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場におけるダイシング装
置、ダイボンド装置、ワイヤボンド装置、テスター等の
半導体製造装置の設置台数は数十台から数百台にも及
び、その運転維持や保守、監視等に関係する関係機器の
運転時に消費されるエネルギーも大きい。しかも、これ
ら関係機器の中には、必要でないときにも動作して無駄
なエネルギーを消費しているケースが見られ、より安価
な半導体装置の製造を図る一環として、その省エネルギ
ー又は省資源対策が求められている。関係機器の一例と
して、半導体製造装置のトラブル発生時にエラーメッセ
ージを表示するＣＲＴディスプレイ装置（以下、単にＣ
ＲＴという）の省エネルギー化の問題がある。

【０００３】図５は、従来の表示灯付き製造装置の外観
を示す側面図である。図５において、１は表示灯付き製
造装置（以下、単に製造装置という）であり、以下の部
品２〜１０を含んで構成される。２は製造装置本体部で
あり、内部に製造機械（図示せず）が内蔵されている。
３は製造装置本体部２の製造機械へ投入される被加工部
材（図示せず）がセットされるローダ部、４は加工済み
部材（図示せず）が集められるアンローダ部、５は製造
装置本体部２の内部に設けられた製造機械の動作を制御
するコントローラ、６は関係機器電源用スイッチ、７ａ
は関係機器電源用コンセント、８は製造装置１の運転状
態を運転者に視覚的に知らせるために設けられた表示灯
であり、アクリル製樹脂の表示筒が運転中の状態に対応
して赤色部８ａ、緑色部８ｂ、黄色部８ｃに区分され、
その内部にそれぞれの区分色部８ａ，８ｂ，８ｃが個別
に点灯表示されるように電球（図示せず）が配置され、
コントローラ５に接続されている。９は表示灯８の赤色
部８ａが点灯した際にエラーメッセージの詳細内容が表
示されるＣＲＴであり、自身の電源スイッチ９ａを持
ち、ＣＲＴ電源コード９ｂが関係機器電源用コンセント
７ａに接続されている。なお、コントローラ５と表示灯
８とは接続線１０ｃで、関係機器電源用スイッチ６と関
係機器電源用コンセント７ａとは接続線１０ｂで、関係
機器電源用スイッチ６とコントローラ５とは接続線１０
ａで、それぞれ製造装置本体部２内部で接続されてい
る。

【０００４】表示灯８の各区分色部８ａ〜８ｃは、それ
ぞれ次の場合に点灯される。即ち、赤色部８ａ…トラブ
ル発生時に点灯・点滅（フレーム送りミス、金線の断線
などのエラーメッセージの詳細がＣＲＴ９に表示され
る）、緑色部８ｂ…自動運転状態時に点灯（正常運転状
態を示す）、黄色部８ｃ…被加工部材無し又は加工済み
部材満杯時に点灯・点滅（ローダ部３に被加工部材が無
い又はアンローダ部４が加工済み部材で満杯の状態であ
り、オペレータ・コールを示す）となり、赤色部８ａが
点灯・点滅する場合は、運転者は早急にＣＲＴ９のエラ
ーメッセージ内容を確認して所要の処置を行う。また、
黄色部８ｃが点灯・点滅する場合は、運転者はその製造
装置１のローダ部３又はアンローダ部４をチェックし、
被加工部材の供給或いは加工済み部材の運び出しを行
う。ここで、緑色部８ｂが点灯しているときは正常な状
態にあることを示している。以上のように、ＣＲＴ９の
画面を見る必要があるのは赤色部８ａが点灯したトラブ
ル発生時のみ（製造装置１の立ち上げ時、マニュアル操
作時は除く）であるにも拘らず、ＣＲＴ９の電源スイッ
チ９ａをオンした後のＣＲＴ９の画像が表示されるまで
のタイムラグや、ＣＲＴ９の電源を頻繁にオン・オフ操
作した場合の発生サージによる製造装置１の誤動作発生
への危惧などから、実際は、トラブル発生時には速やか
にＣＲＴ９のエラーメッセージ内容を見て必要な手を打
ち生産への障碍を除きたいと言う生産現場サイドの要望
に応えて、ＣＲＴ９の画面は各区分色部８ａ〜８ｃの点
灯の如何に拘らず連続表示されている。

【０００５】しかし、上記のように、緑色部８ｂや黄色
部８ｃが点灯しているときのＣＲＴ９の表示は不要であ
り、これらの状態時にＣＲＴ９の電源をオフした場合の
工場全体での節電効果は大きい。例えば、設置台数を約
６００台とすれば、おおよそ、約３０（Ｗ／台）×６０
０台×２４時間×３０（日／月）×１０^-3×１４（円／
ＫＷ・時）＝約１８４（万円／月）の節電となる。更
に、必要なとき以外にＣＲＴ９の電源をオフすると、Ｃ
ＲＴ９の焼き付き防止及び寿命の延長効果もある。

【０００６】以上のことから、（１）．休み時間や食事
時間などに電源スイッチ９ａを必ずオフする。（２）．
表示灯８の赤色部８ａが点灯したときにＣＲＴの電源を
自動的にオンし、緑色部８ｂが点灯したときはＣＲＴの
電源を自動的にオフする電気回路を製造装置本体２内に
組み込む。の二点につき検討を行った。しかし、（１）
項の施策を実際に行うのは、設置台数が多いため作業が
大変であり、消し忘れしがちであること。（２）項の施
策は、既設の製造装置１では改造工事が大掛かりとなり
改造作業だけで２〜３時間／台を要する上、製造装置１
の電源（図示せず）を必ずオフする必要があり、実際問
題としてできない等の問題がある。なお、ＣＲＴの節電
効果とＣＲＴデイスプレイ部の長寿命化を図った技術と
しては、例えば、特開平２−１２０７９４号公報に、正
面方向での人の存在を検知するセンサと、視覚情報を表
示する表示部と、前記センサからの出力信号にもとづい
て前記表示部のオン・オフを制御する電源回路とを有す
ることを特徴とするセンサ付きディスプレイ装置の技術
が開示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】検討した上記（２）項
の施策は、電気回路の如何はさておき、メーカで新規に
製造する場合に適用するのであれば問題はないと思われ
るが、既設の製造装置１の改造工事として適用した場合
は上記のように様々な問題があり、実際問題として適用
は難しい。また、上記特開平２−１２０７９４号公報開
示の技術を上記製造装置１に適用した場合は、トラブル
発生を示す赤色部８ａの点灯に気付いた運転者が製造装
置１に駆け付けてＣＲＴ９の正面に立ったことをセンサ
が検知してから電源回路がオンし、暫くしてから表示部
にエラーメッセージが表示される。この画像が出るまで
のタイムラグが通常５〜１０秒程度あり、緊急事態にお
いては作業者に苛立たしさを与えるため、殊の外嫌われ
る。更に、製造装置１の稼働中に作業者が近くの通路を
行き来することも多く、ＣＲＴ９の正面部を通過するこ
ともしばしばある。このような場合にもその都度センサ
が検知して電源回路がオンしＣＲＴ９が動作したので
は、頻繁な電源回路のオン・オフによる発生サージによ
り製造装置１が誤動作する確率が高くなって好ましくな
い。

【０００８】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたもので、新規製造中の機械装置は勿
論、既設の機械装置であっても短時間で容易に取り付け
ることができ、かつ、機械装置の運転状態を色別表示す
る表示灯の所定色部の点灯が検知され、運転者が、例え
ばＣＲＴに表示されるエラーメッセージ等の情報を見る
必要がある場合のみＣＲＴの電源回路をオンすることに
より、機械装置を誤動作させることなく、高い節電効果
が得られる表示灯付き機械装置関係機器の電源回路開閉
装置を提供することを目的としている。更に、上記表示
灯の所定色部の点灯が検知されたときに、機械装置関係
機器の内で運転を停止して差し支えない機器の電源回路
をオフすることにより、電気のみならず、ガス、水等の
資源の無駄な消費を無くすることができる表示灯付き機
械装置関係機器の電源回路開閉装置を提供することを目
的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明に係る運転状態
表示灯付き機械装置関係機器の電源回路開閉装置は、機
械装置の運転状態を色別して点灯表示する表示灯が設け
られた機械装置関係機器の電源回路開閉装置であって、
表示灯の所定の色別部が点灯表示されたことを光検知し
て検知信号を出力する検知信号発生部、検知信号発生部
の検知信号を受けて駆動信号を出力する駆動信号発生
部、駆動信号発生部の駆動信号を受けて機械装置関係機
器のその後の動作の要否に応じその電源回路を開路し又
は閉路する電源回路開閉部を備えたものである。また、
検知信号発生部を光検知素子を含めて構成したものであ
る。また、光検知素子を表示灯の所定の色別部に取り付
けられた硫化カドミウム光検知素子としたものである。
また、電源回路開閉部を零電圧スイッチ回路付きソリッ
ドステートリレーを含めて構成したものである。また、
運転状態表示灯付き機械装置関係機器をＣＲＴディスプ
レイ装置としたものである。また、駆動信号発生部が表
示灯の所定の色別部の消灯に対応した駆動信号を出力し
た時、その信号を受けて時限動作を開始し、所定の遅延
時間が経過した後に機械装置関係機器の電源回路を開路
する信号を発生するタイマ部を備えたものである。更
に、機械装置関係機器を、ガス、油、水等機械装置の運
転に必要な流体を供給するポンプ又はファン駆動用電動
機又は電磁弁としたものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
一実施の形態の表示灯付き製造装置を図に基づき説明す
る。図１は、この発明の実施の形態１である表示灯付き
製造装置の側面図、図２は、図１の表示灯付き製造装置
におけるＣＲＴの電源回路開閉装置の電気回路図であ
る。なお、各図中、同一符号は従来例におけるものと同
一又は同等のものを示す。以下同じ。図１において、１
１は表示灯８のアクリル樹脂製表示筒の赤色部８ａの表
面にビニールテープ等で取り付けられ、製造装置１の稼
働中における赤色部８ａの点灯を光検知する硫化カドミ
ウム光検知素子（以下、ＣｄＳという）、１２はＣｄＳ
１１の光検知による抵抗変化に基づいて所定の電圧を発
生しＣＲＴ９に供給するＣＲＴ９の電源回路開閉装置本
体であり、その容器の底面に両面テープを貼って製造装
置本体部２の上面に接着取り付けている。１２ａは電源
回路開閉装置本体１２の電源用コードであり、製造装置
本体部２の側面に設けたコンセント７ａに接続されてい
る。１１ａはＣｄＳ１１と電源回路開閉装置本体１２と
を接続するＣｄＳ用コードである。この場合、ＣＲＴ９
の電源用コード９ｂは電源回路開閉装置本体１２の電源
用コンセント（図示せず）に接続されている。なお、本
実施の形態１における表示灯付き製造装置関係機器に
は、ＣＲＴ９が該当する。

【００１１】図１に示す構成及び上記説明より明らかの
ように、本電源回路開閉装置を既設の製造装置１に取り
付けるには、予め、ＣｄＳ１１を表示灯８の赤色部８ａ
に、電源回路開閉装置本体１２を製造装置本体部２上に
取り付けてＣｄＳ用コード１１ａのプラグ（図示せず）
を電源回路開閉装置本体１２のコンセントＳ₃ に差し込
んでおき、製造装置１の正常運転中に、電源用コンセン
ト７ａに差し込まれていたＣＲＴ９の電源用コード９ｂ
を抜いて電源回路開閉装置本体１２のコンセントＳ₂ に
差し込み、電源回路開閉装置本体１２の電源用コード１
２ａを電源用コンセント７ａに差し込めばよい。これら
の作業に要する時間は、電源回路開閉装置本体１２及び
ＣｄＳ１１の取り付けも含めて約１０分／台の短時間内
で行うことができ、ＣＲＴ９の電源用コード９ｂと電源
用コード１２ａの差し替え、差し込み作業のみであれ
ば、約１分／台以内でできる。

【００１２】以上のように構成された製造装置１におい
て、稼働中に何らかの原因によりトラブルが発生して表
示灯８の赤色部８ａが点灯・点滅すると、即座にＣｄＳ
１１がその光を検知して抵抗が変化し、それに基づき電
源回路開閉装置本体１２が所定の電圧を発生してＣＲＴ
９に供給しディスプレイ画面が表示される。表示灯８の
赤色部８ａの点灯・点滅を発見した運転者は、発見し次
第製造装置１に駆け付けてＣＲＴ９の前に立つが、ディ
スプレイ画面は電源オンした後約５〜１０秒程度で既に
立ち上がっているので、運転者は即座にエラーメッセー
ジの詳細を読み取って必要な対策行動をとることができ
る。

【００１３】次に、ＣＲＴの電源回路開閉装置の電気回
路図の構成につき説明する。図２において、電源回路開
閉装置の電気回路は、大きくは電源部２０、検知信号発
生部３０、駆動信号発生部４０、タイマ部５０、電源回
路開閉部６０ａを主体にして構成される。先ず、単相１
００Ｖの電源用コンセントＳ₁ はヒューズＦを介して電
源トランスＴＲの一次端子に接続され、電源トランスＴ
Ｒの二次端子はダイオードスタックＤＳに接続され、そ
の出力側は３端子レギュレータ（日立製７８００シリー
ズ、１７８０５Ｐ型使用）ＶＳの入力端子に接続され
て、出力端子側に安定した５Ｖの直流電圧が得られる。
Ｃ₁ は、一方の端子がダイオードスタックＤＳの二次側
に接続され他方の端子は接地Ｅされたリップル電圧濾過
用のコンデンサである。そして、電源トランスＴＲ、ダ
イオードスタックＤＳ、コンデンサＣ₁ 及び３端子レギ
ュレータＶＳで電源部２０が構成される。

【００１４】表示灯８の赤色部８ａの表面に取り付けら
れたＣｄＳ１１はＣｄＳ用コード１１ａによりＣｄＳ用
コンセントＳ₃ に接続され、その一方の端子は抵抗Ｒ₁
を介して接地Ｅされ、他方の端子は３端子レギュレータ
ＶＳの出力側に接続されて、ＣｄＳ１１、ＣｄＳ用コー
ド１１ａ、ＣｄＳ用コンセントＳ₃ 及び抵抗Ｒ１により
検知信号発生部３０が構成される。そして、３端子レギ
ュレータＶＳの出力電圧を電源とする電圧比較器（三菱
製Ｍ５１２０１Ｌ型使用）ＶＣの入力端子がＣｄＳ用コ
ンセントＳ₃ を介したＣｄＳ１１と抵抗Ｒ₁ との間に接
続されて入力電圧が印加されるようにし、３端子レギュ
レータＶＳの出力ラインと接地Ｅ間に設けられた可変抵
抗Ｒ_V の中間端子を電圧比較器ＶＣの基準電圧端子に接
続して基準電圧が印加されるようになっている。ここ
で、基準電圧は可変抵抗Ｒ_V を調整して決めるが、表示
灯８の赤色部８ａが点灯していないときは基準電圧を入
力電圧よりも高くし、トラブルが発生して赤色部８ａの
点灯光を受けＣｄＳ１１の抵抗値が減少した時は、入力
電圧が基準電圧よりも高くなるように調整される。可変
抵抗Ｒ_V 及び電圧比較器ＶＣにより駆動信号発生部４０
が構成される。

【００１５】電圧比較器ＶＣの出力端子には、信号電圧
反転用インバータ（以下、単にインバータという）ＩＶ
₁ 、ＩＶ₂ が直列接続され、インバータＩＶ₁ の出力側
は、逆流防止用ダイオードＤ、インバータＩＶ₄ 、ＩＶ
₅ の順に直列接続されてトグルスイッチＴＳ₁ のオート
端子に接続される。トグルスイッチＴＳ₁ のマニュアル
端子は接地Ｅされる。そして、トグルスイッチＴＳ₁ の
出力端子（オフ）はソリッドステートリレーＳＳＲ
₁ （三菱製ＳＷ１ＤＢ型使用）のマイナス（−）側入力
端子に、ソリッドステートリレーＳＳＲ₁ のプラス
（＋）側入力端子は３端子レギュレータＶＳの出力ライ
ンにそれぞれ接続される。ソリッドステートリレーＳＳ
Ｒ₁ の出力端子は、一方が単相１００Ｖ電源の一方のヒ
ューズＦが接続されたラインに、他方が電源用コンセン
トＳ₂ の一方の端子に、また、電源用コンセントＳ₂ の
他方の端子は単相１００Ｖ電源の他方のラインにそれぞ
れ接続されている。そして、電源用コンセントＳ₂ にＣ
ＲＴ９の電源用コード９ｂが接続される。なお、上記ソ
リッドステートリレーＳＳＲ₁ としては、ＣＲＴ９の電
源をオン又はオフする際のサージ電圧発生を防止するた
め、電圧波高値が零レベルとなった時に回路をオン又は
オフする零電圧スイッチ式ソリッドステートリレーを適
用している。ここで、トグルスイッチＴＳ₁ 及びソリッ
ドステートリレーＳＳＲ₁ により電源回路開閉部６０ａ
が構成される。

【００１６】次に、インバータＩＶ₂ の出力側はコンデ
ンサＣ₂ を介してタイマＴＭのトリガ端子に、タイマＴ
Ｍの電源端子は３端子レギュレータＶＳの出力ライン
に、リセット端子はインバータＩＶ₁ の出力側に、放電
端子及びスレッショルド端子は共に３端子レギュレータ
ＶＳの出力ラインと接地ライン間に直列接続された抵抗
Ｒ₅ とコンデンサＣ₃ との間に、出力端子はインバータ
ＩＶ₃ の入力側にそれぞれ接続されている。ここで、抵
抗Ｒ₅ 及びコンデンサＣ₃ はタイマＴＭの遅延時間を決
定するＣＲ時定数素子であり、その値を適宜選ぶことに
よって赤色部８ａの点灯・点滅が開始された後に、例え
ば２時間の間、ＣＲＴ９をオン状態に維持してトラブル
解決への対応ができるようにする。コンデンサＣ₂ は、
トラブルが発生して表示灯８の赤色部８ａが点灯・点滅
するときにもＣＲＴ９のオン状態を確実に保持する機能
（駆動信号の変化を伝達し、タイムアップ前に再トリガ
をかけてタイマ時間を遅延させる機能）を持っている。
Ｒ₄ は、３端子レギュレータＶＳの出力ラインとコンデ
ンサＣ₂ の出力側間に設けられた、コンデンサＣ₂ の出
力側電位を所定値に保つプルアップ抵抗である。そし
て、タイマＴＭ、コンデンサＣ₂ 、プルアップ抵抗
Ｒ₄ 、ダイオードＤ、抵抗Ｒ₅ 及びコンデンサＣ₃ によ
りタイマ部５０が構成される。なお、抵抗Ｒ₂ 、Ｒ₃ 、
Ｒ₆ 、Ｒ₇ 、Ｒ₈ は、３端子レギュレータＶＳの出力ラ
インと、インバータＩＶ₁ 、ＩＶ₂ 、ＩＶ₃ 、ＩＶ₄ 、
ＩＶ₅ の出力側との間に設けられた、各出力側電位を所
定値に保つプルアップ抵抗である。

【００１７】以上のように構成されたＣＲＴの電源回路
開閉装置の電気回路において、電源用コンセントＳ₁ が
単相１００Ｖ電源に接続されると、その電圧が電源トラ
ンスＴＲの一次側に印加され、二次側で降圧されダイオ
ードスタックＤＳで直流に変換されて３端子レギュレー
タＶＳの入力端子に印加される。この際、リップル電圧
はコンデンサＣ₁ である程度濾過され直流電圧波形は平
滑状態に近くなる。そして、３端子レギュレータＶＳの
出力端子に安定した５Ｖの直流電圧が得られる。また、
電圧比較器ＶＣには基準電圧３Ｖが印加されるように可
変抵抗Ｒ_V が調整され、製造装置１が正常運転している
ときの出力端子は低レベルの電圧（以下、電圧Ｌとい
う）になっている。この場合、ＣｄＳ１１と抵抗Ｒ₁ と
の間の電圧約２．５Ｖが電圧比較器ＶＣの入力端子に印
加されている。

【００１８】今、製造装置１に何らかのトラブルが発生
して表示灯８の赤色部８ａが点灯すると、その点灯光を
受けたＣｄＳ１１の抵抗が急激に低下し、電圧比較器Ｖ
Ｃの入力電圧が増加して基準電圧を越える値に達する。
そうすると、電圧比較器ＶＣは直ちにそれを検知して出
力端子が高レベルの電圧（以下、電圧Ｈという）にな
る。そして、この出力電圧ＨはインバータＩＶ₁ →ＩＶ
₄ →ＩＶ₅ の順に各インバータＩＶ₁ 、ＩＶ₄ 、ＩＶ₅
の出力側がそれぞれ電圧Ｌ→電圧Ｈ→電圧Ｌと反転され
て、オート接続されているトグルスイッチＴＳ₁ を介し
てソリッドステートリレーＳＳＲ₁ のマイナス（−）側
入力端子に電圧Ｌが印加される。これにより、ソリッド
ステートリレーＳＳＲ₁ の出力端子間が導通され、コン
セントＳ２に電源用コード９ｂで接続されたＣＲＴ９の
電源回路がオンとなって画面が表示される。

【００１９】一方、表示灯８の赤色部８ａが消灯する
と、ＣｄＳ１１の抵抗が急激に増加して電圧比較器ＶＣ
の入力電圧が減少し基準電圧を下回る。そうすると、電
圧比較器ＶＣは直ちにそれを検知して出力端子の電圧が
電圧Ｌに低下する。そして、この出力電圧Ｌはインバー
タＩＶ₁ で電圧Ｈに反転され、タイマＴＭのリセット端
子の電圧も電圧Ｈとなってリセットから解除される。こ
の時を同じくしてインバータＩＶ₁ の出力電圧Ｈはイン
バータＩＶ₂ に伝達されて反転され、その出力電圧はコ
ンデンサＣ₂ を介してタイマＴＭのトリガ端子に電圧Ｌ
のパルスを与え、時限動作を開始する。この場合、タイ
マＴＭの出力端子は電圧Ｈとなり、インバータＩＶ₃ で
反転されて電圧Ｌとなっている。この時、インバータＩ
Ｖ₁ は電圧Ｈを出力しているが、ダイオードＤによりイ
ンバータＩＶ₁ の出力電圧ＨとインバータＩＶ₃ の出力
電圧Ｌが分離され、インバータＩＶ₄ へはインバータＩ
Ｖ₃の出力電圧Ｌが印加されるので、この出力電圧Ｌは
インバータＩＶ₄ →ＩＶ₅ の順に各インバータＩＶ₄ 、
ＩＶ₅ の出力側がそれぞれ電圧Ｈ→電圧Ｌと反転され
る。これにより、表示灯８の赤色部８ａが消灯しても、
タイマ部５０の抵抗Ｒ₅とコンデンサＣ₃ との時定数で
決まる時間だけ電源回路開閉部６０ａのオン状態が維持
され、ＣＲＴ９の画面表示が継続される。タイマＴＭが
タイムアップした後は、タイマＴＭの出力電圧は電圧Ｌ
となり、インバータＩＶ₃ →ＩＶ₄ →ＩＶ ₅ の順に各イ
ンバータＩＶ₃ 、ＩＶ₄ 、ＩＶ₅ の出力側がそれぞれ電
圧Ｈ→電圧Ｌ→電圧Ｈと反転されて、オート接続されて
いるトグルスイッチＴＳ₁ を介してソリッドステートリ
レーＳＳＲ₁ のマイナス（−）側入力端子に電圧Ｈが印
加される。これにより、ソリッドステートリレーＳＳＲ
₁ の出力端子間の導通が遮断され、ＣＲＴ９の電源回路
はオフとなって画面の表示は消える。

【００２０】実施の形態２．以下、この発明の実施の形
態２の表示灯付き製造装置を図に基づき説明する。図３
は、この発明の実施の形態２である表示灯付き製造装置
の側面図、図４は、図３の表示灯付き製造装置における
関係機器の電源回路開閉装置の電気回路図である。図３
において、２ａは製造装置１（例えば、ダイボンド装
置）の処理部（図示せず）に酸化防止用窒素ガスや還元
用水素ガス等の処理用ガスが加圧供給される通路となる
ガス供給用配管であり、その途中にガスの供給、遮断を
電磁気的に行う電磁弁２ｂが配置されている。１２ｂは
電源回路開閉装置本体１２の単相１００Ｖ電源用コンセ
ントＳ₄ に接続される電源用中間コード、１３は電源用
中間コード１２ｂにより印加される電圧をトランスとダ
イオードスタック（いずれも図示せず）による公知の方
法により降圧・整流して所定電圧の直流電圧を発生する
直流電圧発生器であり、発生した直流電圧が直流電源用
コード１３ａを介して電磁弁２ｂの電磁コイル（図示せ
ず）に供給される。なお、本実施の形態２における表示
灯付き製造装置関係機器には、ＣＲＴ９、ガス供給用配
管２ａ及び電磁弁２ｂ並びに直流電圧発生器１３が該当
する。

【００２１】以上のように構成された製造装置１におい
て、稼働中にトラブルが発生して表示灯８の赤色部８ａ
が点灯・点滅すると、即座にＣｄＳ１１がその光を検知
し抵抗が変化して検知信号発生部３０（図示せず）が検
知信号を発生するのは実施の形態１におけるのと同様で
あるが、この場合、本実施の形態２においては、電源回
路開閉装置本体１２に設けた電源用コンセントＳ₂ 、Ｓ
₄ （図示せず）の内、電源用コンセントＳ₂ には所定の
単相１００Ｖの電圧が印加されＣＲＴ９に供給される
が、電源用コンセントＳ₄ の方ではそれまで印加されて
いた電圧が遮断されるようになっている。したがって、
トラブル発生に伴う製造装置１の運転の停止と共に電磁
弁２ｂへの直流電圧の供給が遮断されるので、製造装置
１の処理部に運転中供給されていた処理用ガスの供給は
停止されることとなり、従来、トラブル時にも製造装置
１の内外に放出されていた処理ガスの無用な放出が無く
なり、無駄な電力と資源の消費が防止される。

【００２２】次に、関係機器の電源回路開閉装置の電気
回路の構成につき説明する。図４において、ＣＲＴ９へ
の電圧供給回路は図２におけるのと同一であるが、本図
においては、トラブル発生に伴う製造装置１の運転の停
止に伴う電磁弁２ｂへの直流電圧の供給を遮断するよう
にするための回路が付加されている。即ち、図２におけ
ると同様に相互に接続されたトグルスイッチＴＳ₂ 、ソ
リッドステートリレーＳＳＲ₂ 及び電源用コンセントＳ
₄ を新たに設けて、インバータＩＶ₄ の出力側ラインを
トグルスイッチＴＳ₂ のオート側入力端子に、３端子レ
ギュレータＶＳの出力ラインをソリッドステートリレー
ＳＳＲ₂ のプラス（＋）側入力端子に、単相１００Ｖ電
源のヒューズＦが接続された一方のラインをソリッドス
テートリレーＳＳＲ₂ の一方の出力端子に、単相１００
Ｖ電源の他方のラインを電源用コンセントＳ₄ の他方の
端子にそれぞれ接続して、これら全体の回路構成要素が
電源回路開閉装置本体１２の容器中に収納されている。
ここで、トグルスイッチＴＳ₂ 及びソリッドステートリ
レーＳＳＲ₂ により上記付加された電源回路開閉部６０
ｂが構成される。

【００２３】以上のように構成された関係機器の電源回
路開閉装置の電気回路において、電源用コンセントＳ₁
が単相１００Ｖ電源に接続されると、上記実施の形態１
で説明したのと同じく、製造装置１の正常運転時には電
源用コンセントＳ₂ に電圧が印加されておらず、ＣＲＴ
９の画面の表示は消えている。この場合、インバータＩ
Ｖ₄ の出力側ラインが電圧Ｌ状態にあるので、このライ
ンにトグルスイッチＴＳ₂ を介して接続されたソリッド
ステートリレーＳＳＲ₂ のマイナス（−）側入力端子も
電圧Ｌとなり、ソリッドステートリレーＳＳＲ₂ の出力
側が導通されて電源用コンセントＳ₄ には単相１００Ｖ
の電圧が印加されている。この電圧は電源用中間コード
１２ｂを介して直流電圧発生器１３に印加され、直流電
圧発生器１３で発生した所要の直流電圧が直流電源用コ
ード１３ａを介して電磁弁２ｂの電磁コイル（図示せ
ず）に供給されることにより、電磁弁２ｂの弁（図示せ
ず）が開かれ所要の処理用ガスがガス供給用配管２ａ内
を流れて製造装置１の処理部（図示せず）に供給され
る。

【００２４】今、製造装置１に何らかのトラブルが発生
して表示灯８の赤色部８ａが点灯・点滅すると、上記実
施の形態１で説明したのと同じく、電源用コンセントＳ
₂ に単相１００Ｖの電圧が印加されＣＲＴ９の画面が表
示される。この場合、インバータＩＶ₄ の出力側ライン
が電圧Ｈ状態にあるので、このラインにトグルスイッチ
ＴＳ₂ を介して接続されたソリッドステートリレーＳＳ
Ｒ₂ のマイナス（−）側入力端子も電圧Ｈとなり、ソリ
ッドステートリレーＳＳＲ₂ の出力側の導通が遮断され
て直流電圧発生器１３及び電磁弁２ｂの電源回路は開路
される。即ち、トラブル発生により製造装置１が停止す
るのに自動的に連動して、製造装置関係機器である電磁
弁２ｂの電磁コイルへの電圧供給が断たれ弁が閉じられ
るので、供給用配管２ａ内の処理用ガスの流れが遮断さ
れ製造装置１の内外へ無駄に漏出されるのが防止され
る。

【００２５】上記実施の形態１及び実施の形態２おい
て、運転状態表示灯付き製造装置は半導体製造装置を主
体にして説明したが、この発明が適用される対象は半導
体製造装置に限られず、運転状態を視覚的に点灯表示す
る表示灯が装備された機械装置であれば、他の産業分野
で使用される如何なる装置であってもよいことは勿論で
ある。また、機械装置関係機器として、製造装置に取り
付けられたＣＲＴや処理用ガスの供給・遮断をする電磁
弁で例示したが、これに限らず、機械装置の運転、保
守、監視等に関係する機器であれば、必ずしも機械装置
本体に取り付けられていなくてもよい。例えば、機械装
置が設置されている機械室の空調装置（クーラや換気扇
等）の冷媒の供給・排出・循環を行うポンプやファン等
の駆動用電動機であってもよく、本発明を適用して同様
の効果が得られる。更に、検知信号発生部は硫化カドミ
ウム光検知素子を用いて構成した例を示したが、要は表
示灯の光を検知できるものであればよく、セレン化カド
ミウム光検知素子、フォトダイオード素子、太陽電池、
フォトトランジスタ等を用いて構成するものであっても
よい。また、上記実施の形態２おいて、直流励磁式の電
磁弁を用いたもので説明したが、これに限らず、交流励
磁式の電磁弁を適用してもよい。この場合は、直流電圧
発生器１３が不要となることは勿論である。

【００２６】

【発明の効果】この発明は以上のように構成されている
ので、以下に示す効果を奏する。運転状態表示灯付き機
械装置関係機器の電源回路開閉装置を、表示灯の所定の
色別部が点灯表示されたことを光検知して検知信号を出
力する検知信号発生部、検知信号を受けて駆動信号を出
力する駆動信号発生部、駆動信号を受けて機械装置関係
機器のその後の動作の要否に応じその電源回路を開閉す
る電源回路開閉部を備えた構成としたので、色別部が点
灯表示されたときに動作が必要な、又は動作が不要な機
械装置関係機器に対応してその電源回路が開閉されるこ
ととなり、節電や省資源の効果が得られる。また、本電
源回路開閉装置は、既設の機械装置にも運転を停止させ
ることなく容易に取り付けることができる。また、光検
知を表示灯の所定の色別部に取り付けた硫化カドミウム
光検知素子で行うようにしたので、本電源回路開閉装置
を安価に得られる。また、電源回路開閉部を零電圧スイ
ッチ回路付きソリッドステートリレーを含んで構成した
ので、本電源回路開閉装置を開閉させた場合のサージ電
圧発生がなく、機械装置の誤動作が防止される。また、
運転状態表示灯付き機械装置関係機器をＣＲＴデスプレ
イ装置とし表示灯の所定の色別部が点灯表示されたとき
のみ、その電源回路を閉路するようにしたので、節電効
果と共にディスプレイ部を長寿命化できる。更に、運転
状態表示灯付き機械装置関係機器の電源回路開閉装置
に、表示灯の所定の色別部の消灯に対応した駆動信号を
受けて時限動作を開始し、所定の遅延時間が経過した後
にＣＲＴディスプレイ装置の電源回路を開路する信号を
出力するタイマ部を備えたので、機械装置のトラブルが
解消された後でも、暫くの間ＣＲＴディスプレイ装置に
よる機械装置の監視運転を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１である表示灯付き製
造装置の側面図である。

【図２】 図１の表示灯付き製造装置におけるＣＲＴの
電源回路開閉装置の電気回路図である。

【図３】 この発明の実施の形態２である表示灯付き製
造装置の側面図である。

【図４】 図３の表示灯付き製造装置におけるＣＲＴの
電源回路開閉装置の電気回路図である。

【図５】 従来の表示灯付き製造装置の側面図である。

【符号の説明】

１：表示灯付き製造装置 ２ｂ：電磁弁 ８：表示
灯 ８ａ：赤色部 ９：ＣＲＴディスプレイ装置 １１：硫化カドミウム
光検知素子 １２：電源回路開閉装置本体 ３０：検知信号発生部 ４０：駆動信号発生部 ５０：タイマ部 ６０ａ，６０ｂ：電源回路開閉部 ＳＳＲ₁ 、ＳＳＲ₂ ：ソリッドステートリレー Ｓ₁ 、Ｓ₂ ：電源用コンセント

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 機械装置の運転状態を色別して点灯表示
   する表示灯が設けられた運転状態表示灯付き機械装置関
   係機器の電源回路開閉装置であって、上記表示灯の所定
   の色別部が点灯表示されたことを光検知して検知信号を
   出力する検知信号発生部、上記検知信号発生部の検知信
   号を受けて駆動信号を出力する駆動信号発生部、上記駆
   動信号発生部の駆動信号を受けて上記機械装置関係機器
   のその後の動作の要否に応じその電源回路を開路し又は
   閉路する電源回路開閉部を備えたことを特徴とする運転
   状態表示灯付き機械装置関係機器の電源回路開閉装置。
2. 【請求項２】 検知信号発生部は光検知素子を含んで構
   成されていることを特徴とする請求項１記載の運転状態
   表示灯付き機械装置関係機器の電源回路開閉装置。
3. 【請求項３】 光検知素子は表示灯の所定の色別部に取
   り付けられた硫化カドミウム光検知素子であることを特
   徴とする請求項２記載の運転状態表示灯付き機械装置関
   係機器の電源回路開閉装置。
4. 【請求項４】 電源回路開閉部は零電圧スイッチ回路付
   きソリッドステートリレーを含んで構成されていること
   を特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項記
   載の運転状態表示灯付き機械装置関係機器の電源回路開
   閉装置。
5. 【請求項５】 運転状態表示灯付き機械装置関係機器は
   ＣＲＴディスプレイ装置であることを特徴とする請求項
   １ないし請求項４のいずれか１項記載の運転状態表示灯
   付き機械装置関係機器の電源回路開閉装置。
6. 【請求項６】 駆動信号発生部が表示灯の所定の色別部
   の消灯に対応した駆動信号を出力した時、その信号を受
   けて時限動作を開始し、所定の遅延時間が経過した後に
   機械装置関係機器の電源回路を開路する信号を出力する
   タイマ部を備えたことを特徴とする請求項５記載の運転
   状態表示灯付き機械装置関係機器の電源回路開閉装置。
7. 【請求項７】 機械装置関係機器は、ガス、油、水等機
   械装置の運転に必要な流体を供給するポンプ又はファン
   駆動用電動機又は電磁弁であることを特徴とする請求項
   １ないし請求項４のいずれか１項記載の運転状態表示灯
   付き機械装置関係機器の電源回路開閉装置。