JP3081421U

JP3081421U - 有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置

Info

Publication number: JP3081421U
Application number: JP2001002570U
Authority: JP
Inventors: 林哲明; 周卓▲輝▼; 呂日▲清▼; 柯弘哲; 徐永裕; 林炳宏; 林▲進▼▲祥▼
Original assignee: 行政院國家科学委員会精密儀器發展中心
Priority date: 2001-04-26
Filing date: 2001-04-26
Publication date: 2001-11-02
Anticipated expiration: 2007-04-26

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】有機エレクトロルミネッセンスダイオードの蒸
着作業のプラズマエッチングと有機フイルム蒸着及び金
属フイルム蒸着等の作業プロセスを結合し、作業キャビ
ネット内部の真空清潔度の保持と蒸着基の位置決め及び
搬送を行う装置を提供する。【解決手段】有機エレクトロルミネッセンスダイオード
の熱蒸着真空装置において、真空キャビネットユニット
は、プラズマエッチング真空キャビネット１Ａと、有機
フイルム蒸着キャビネット１Ｂと、金属フイルム蒸着キ
ャビネット１Ｃを含み、空気抜き取り装置と、冷凍ポン
プと、タービン真空分子ポンプを含み、更にテストピー
スのローディング装置などを含む。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置、特に有機エレクトロルミネッセンスダイオードの蒸着作業のプラズマエッチングと有機フィルム蒸着及び金属フィルム蒸着等の作業プロセスを結合し、三つのキャビネットを一体とした方式で蒸着作業を行い、且つ、空気抜き取り装置や真空メカニカルアーム及びテストピースローディング装置を備え、作業キャビネット内部の真空清潔度の保持と蒸着基の位置決め及び搬送を行う装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

有機エレクトロルミネッセンス（ＯＥＬ）のディスプレー技術は次世代の平面ディスプレー技術に期待されている。無機発光ダイオード（ＬＥＤ）の整流と発光の特性を備え、モニターに応用されており、発光性・広角性・高輝度・低消費電力等の長所があるため、次期ディスプレー技術の新寵児となることが見込まれている。有機エレクトロルミネッセンスダイオードに使われている有機化合物材料は、自己発光する材質に属し、従ってＬＣＤのようにパネルの後ろにバックライト光源を付ける必要がなく、大幅に消費電力を節約することができ、しかも厚みが薄く、僅か２ｍｍ程度であり、且つ映像信号に対する反応スピードが早い。有機エレクトロルミネッセンスダイオードは材料の系統区分により二種類に分けることができる。一番目は、顔料を主体とした発光ダイオードＯＬＥＤ又はＯＥＬ（ＯｒｇａｎｉｃＥｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）と呼ばれ、その長所は省エネ・軽薄短小・高輝度・広角性・操作温度の範囲が広い・発光効率が高い・製造プロセスが簡単である等である。二つ目は、高分子を主体とした発光ダイオードＰＬＥＤ（ＰｏｌｙｍｅｒＤｅｖｉｃｅ）である。ＯＬＥＤは真空製造プロセスを必要とし、設備コストが比較的高い、ＰＬＥＤはＣＤ−Ｒと同様に回転式塗布方式を採用し、設備コストが比較的安い、というそれぞれ異なる特色がある。ＯＬＥＤにはカラー化し易いことと製造プロセスが安定しているという長所があるが、一方駆動電圧が高い、製造プロセスにおける生産性が低く投資資金が大きい等の欠点がある。今後ＯＬＥＤは次第に高単価・高付加価値のカラー製品へと発展し、ＰＬＥＤは大量生産で低価格のモノクロディスプレー商品へと発展するだろう。従って、如何にしてＯＬＥＤの生産品質を落とさず、コストを下げ、且つその他の商品よりさらに市場競争力のあるものにするかが、今後の発展目標となる。

【０００３】ＯＬＥＤには真空製造プロセスを採用する。そのなかで、製品品質に最も明らかに影響のある製造プロセスは、熱蒸着真空フィルム系統下における製造プロセスで、その中には、プラズマエッチング（Ｐｌａｓｍａｅｔｃｈｉｎｇ）・有機フィルム蒸着（ＯｒｇａｎｉｃＦｉｌｍ）及び金属フィルム蒸着（ＭｅｔａｌＦｉｌｍ）の製造プロセスが含まれる。しかも各製造プロセスに必要な設備費用が非常に高く、膨大な資金を持つメーカーのみが負担できるものである。そして商業化して量産しようとすれば、その設備費用はさらに天文学的な数字に近くなる。有機エレクトロルミネッセンス技術がこれほど急速に発展している理由として、その製造プロセスが発光ダイオードより易しいほか、主として非常に多くのメーカー及び学術部門が研究開発を行っていることが挙げられる。一方コスト面の関係で、設備は一般に量産作業に使用され、研究機構や学術部門の開発作業にはなかなか利用されていないが、これらの部門では実体的設備の補助がなければ、その技術を発展させる事はできない。さらに大事なことは、マーケットでの優勢を失うことになる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

このように、従来の作業方式では、まだ設備コストが高すぎる、普遍的に一般研究機構の専用とすることができない、等の欠点があり、よい設計とは言えないので、改良が待たれていた。

【０００５】本考案者は、上述の従来の有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空作業における各項の欠点に鑑み、極力その改良に努め、且つ長年にわたって苦心研究の末、ついに本考案のような有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置の研究開発に成功した。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案の目的は、即ち三つのキャビネットを一体とした方式で蒸着作業を行い、従来の作業工程を一貫化できるのみならず、同時に莫大な設備コストを節約できる有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。

【０００７】本考案のもう一つの目的は、各キャビネットの内部に真空メカニカルアーム（Ａｎｇｌｅ−Ｕ−ＬｉｎｅａｒＷｏｂｂｌｅＳｔｉｃｋＷｉｔｈｏｐｔｉｏｎａｌｊａｗ）を設け、キャビネット内部で揺動・伸縮・前進及び上下４５度に挟み、基材を置いたサンプルケースを正確な位置に位置決めすることができる有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。

【０００８】また、本考案のもう一つの目的は、サマリウム（Ｓａｍａｒｉｕｍ：Ｓｍ）及びコバルト（Ｃｏｂａｌｔ）の材料で製造したマグネチックプッシングバーで、真空密閉空間下で移動し、さらに蒸着基材を移動する事ができる有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。

【０００９】また、本考案のもう一つの目的は、各キャビネットに空気抜き取り装置を設け、各キャビネットで内部作業を行う時、該キャビネット内部が清潔な真空を確保できる有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。

【００１０】また、本考案のもう一つの目的は、三つのキャビネットを一体とした真空キャビネットユニットにおいて、該各キャビネットの間が高真空ゲートバルブによって連結され、各段階の蒸着作業がそれぞれ該キャビネットの内部で順調に行われるようにした有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。

【００１１】また、本考案のもう一つの目的は、各キャビネットの内部において、必要に応じで膜の厚みを測定する監視システム・温度調節検査器及び真空計などを設けた有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。

【００１２】さらにまた、本考案のもう一つの目的は、三つのキャビネットを一体とした真空キャビネットユニットにおいて、テストピースの取り出し及びメンテナンスが行い易いように、各キャビネット内部に遮蔽板を設け、熱蒸着の際に錫箔の上に残留した蒸着フィルムを清掃及び保守し易いようにした有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。

【００１３】

【考案の実施の形態】

図１（Ａ）、図１（Ｂ）、図２及び図３を同時に参照しながら本考案を説明する。図１（Ａ）は本考案の有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置の立体図であり、図１（Ｂ）は該有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置の平面図であり、図２は該有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置の周辺設備配置図であり、図３は該有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置の立体斜視図である。本考案の提供する有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置は主として、真空キャビネットユニット（１）と、空気抜き取り装置（２）及びテストピースローディング装置（３）とからなる。

【００１４】真空キャビネットユニット（１）はプラズマエッチング真空キャビネット（１Ａ）と、有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）及び金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の三つのキャビネットの一体組み合わせによって構成され、各キャビネットの間は高真空ゲートバルブ（１１）及び（１２）によって連結されている。プラズマエッチング真空キャビネット（１Ａ）の外側には、蝶番つきキャップ（１Ａ３）が設けられ、且つプラズマエッチング真空キャビネット（１Ａ）の外側の適当な位置に真空抜きバルブ（１Ａ４）が設けられている。有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）には、揺動・伸縮・前進及び上下４５度に挟むことのできる真空メカニカルアーム（１Ｂ１）が設けられ、且つ該キャビネット（１Ｂ）の外側には、蝶番つきキャップ（１Ｂ３）及び数個のローディングホール（１Ｂ２）が設けられ、且つ該キャビネット（１Ｂ）の外側の適当な位置に真空抜きバルブ（１Ｂ４）が設けられている。金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）には、揺動・伸縮・前進及び上下４５度に挟むことのできる真空メカニカルアーム（１Ｃ１）が設けられ、且つ該キャビネット（１Ｃ）の外側には、蝶番つきキャップ（１Ｃ３）及び数個のローディングホール（１Ｃ２）が設けられ、且つ該キャビネット（１Ｃ）の外側の適当な位置に真空抜きバルブ（１Ｃ４）が設けられている。

【００１５】空気抜き取り装置（２）は有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）の下部に連結された冷凍ポンプ（２１）及び金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の下部に連結されたタービン真空分子ポンプ（２２）とを含み、冷凍ポンプ（２１）は高真空ゲートバルブ（１３）によって有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）の下部に連結され、タービン真空分子ポンプ（２２）は高真空ゲートバルブ（１４）によって金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の下部に連結されている。

【００１６】テストピースローディング装置（３）は２本のマグネチックプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）と、二つのサンプルケース（３ａ４）及び（３ｂ４）と、サンプルラック（３ａ５）を含み、該マグネチックプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）はパイプ状であり、マグネチックプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）の外縁にはマグネチックプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）の外縁において滑走することのできるマグネットリング（３ａ２）及び（３ｂ２）を設け、また該マグネットプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）の内部には別途にそれぞれプッシングバー（３ａ３）及び（３ｂ３）が設けられ、該プッシングバー（３ａ３）及び（３ｂ３）は前記マグネットリング（３ａ２）及び（３ｂ２）のマグネットによって動かされる。サンプルケース（３ａ４）及び（３ｂ４）はマグネットプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）の一端に固定され又は取り外してマグネットプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）と分離することができ、そしてサンプルラック（３ａ５）はサンプルケース（３ａ４）及び（３ｂ４）の上に置くことができる。真空キャビネットユニット（１）はプラズマエッチング真空キャビネット（１Ａ）と、有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）及び金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）等三つのキャビネットの連結体であり、そして前記空気抜き取り装置（２）は、前記プラズマエッチング真空キャビネット（１Ａ）と有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）及び金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の内部を真空にすることができる。そして前記サンプルケース（３ａ４）を固定したマグネチックプッシングバー（３ａ１）の一端は、前記サンプルケース（３ａ４）及びサンプルラック（３ａ５）を次々にプラズマエッチングキャビネット（１Ａ）及び有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）に運ぶことができる。もう一本のサンプルケース（３ｂ４）を固定したマグネチックプッシングバー（３ｂ１）の一端は、有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）に設けられた真空メカニカルアーム（１Ｂ１）によって、前記マグネチックプッシングバー（３ａ１）上のサンプルラック（３ａ５）を該マグネチックプッシングバー（３ｂ１）に設けられたサンプルケース（３ｂ４）の上に受け止め、且つサンプルラック（３ａ５）を次々に有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）及び金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の内部に運ぶことができる。

【００１７】このほか、本考案の真空キャビネットユニットの内部を清潔な真空状態に保つため、別途周辺設備に合わせて乾式ポンプにより第一段階の空気抜き取り作業を行ってもよい。

【００１８】

【実施例】

図４（Ａ）は該有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置のプラズマエッチングの作業状態図である。製造プロセスの第一歩は、プラズマエッチング真空キャビネット（１Ａ）の蝶番つきキャップ（１Ａ３）を開き、且つサンプルラック（３ａ５）の上に置かれたＩＴＯ基材Ｍを左側のマグネチックプッシングバー（３ａ１）のサンプルケース（３ａ４）の上に置き、同時に蝶番つきキャップ（１Ａ３）及び高真空ゲートバルブ（１１）を閉め、マグネットリング（３ａ２）を操作して、プッシングバー（３ａ３）をコントロールし、サンプルケース（３ａ４）をプラズマエッチング真空キャビネット（１Ａ）内部の適当な位置に位置決めする。このときプラズマエッチング（ＰｌａｓｍａＥｔｃｈｉｎｇ）作業を行い、基材の表面を清潔にし、付着力を強化する。

【００１９】図４（Ｂ）は該有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の有機フィルム蒸着の蒸着状態図である。プラズマエッチング作業を行い、基材Ｍが必要な清潔度に達したのち、高真空ゲートバルブ（１１）を開き、プッシングバー（３ａ３）が直線に沿って有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）に向かって押し進み、有機フィルムの蒸着（ＯｒｇａｎｉｃＦｉｌｍｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ）を行う。マグネットリング（３ａ２）を操作し、プッシングバー（３ａ３）が清潔後の基材Ｍを有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）に押し込んだあと、有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）の真空メカニカルアーム（１Ｂ１）（Ａｎｇｌｅ−Ｕ−ＬｉｎｅａｒＷｏｂｂｌｅＳｔｉｃｋｗｉｔｈｏｐｔｉｏｎａｌｊａｗ）により、基材Ｍを乗せたサンプルラック（３ａ５）を、蒸着位置に移動させる。マグネットリング（３ａ２）を操作し、プッシングバー（３ａ３）を有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）から離し、そのあと高真空ゲートバルブ（１１）及び（１２）を閉める。ローディングホール（１Ｂ２）には予め有機蒸着に必要な有機材料を入れて置くことができる。高真空ゲートバルブ（１３）を開き、このとき乾式ポンプ（２３）（図２の配置図参照）によって荒吸気を行い、圧力が１０^−２Ｔｏｒｒに達したとき、冷凍ポンプ（２１）（ＣｒｙｏｐｕｍｐＣＴＩＴｏｒｒ８型）が運転を開始する、このとき有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）の内部では高度の真空吸気を行い始め、１０^−６Ｔｏｒｒまで吸気した後、高真空ゲートバルブ（１３）及び（１２）を閉め、且つ電源を開いて回転及び４種類の染料加熱を行い、光学フィルムの熱蒸着を行う。蒸着の過程で同時にサーマルカプラー（Ｔｈｅｒｍａｌｃｏｕｐｌｅｒ）によって約６００〜８００℃になるよう温度調整を行う。有機フィルム蒸着が完成すると、高真空ゲートバルブ（１２）を開き、中度の真空範囲に維持しておく。

【００２０】図４（Ｃ）は該有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の基材置き換え図である。高真空ゲートバルブ（１２）が開いたあと、マグネットリング（３ｂ２）を操作して、右側のマグネチックプッシングバー（３ｂ１）内部のプッシングバー（３ｂ３）を有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）の内部に移動し、真空メカニカルアーム（１Ｂ１）によって基材Ｍを乗せたサンプルラック（３ａ５）を挟んでプッシングバー（３ｂ３）の上のサンプルケースに乗せる。次は金属フィルムの蒸着（ＭｅｔａｌＦｉｌｍｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ）作業である。

【００２１】図４（Ｄ）は該有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の金属蒸着状態図である。上記に続いて、真空メカニカルアーム（１Ｂ１）が基材Ｍを乗せたサンプルラック（３ａ５）を挟んでプッシングバー（３ｂ３）のサンプルケース（３ｂ４）の上まで移動させた後、マグネットリング（３ｂ２）を操作して、プッシングバー（３ｂ３）によってサンプルケース（３ｂ４）を金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）のなかに移動させ、高真空ゲートバルブ（１２）を閉め、金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の内部の真空メカニカルアーム（１Ｃ１）によって、基材Ｍを乗せたサンプルラック（３ａ５）を蒸着位置へ移動する。ローディングホール（１Ｃ２）には予め金属蒸着に必要な金属材料を入れておくとよい。高真空ゲートバルブ（１４）を開く。このとき乾式ポンプ（２４）（図２の配置図参照）で荒吸気を行い、圧力が１０^−２Ｔｏｒｒに達したとき、タービン真空分子ポンプ（２２）が運転を開始する。このとき金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の内部では高度の真空吸気を行い始め、１０^−６Ｔｏｒｒまで吸気した後、高真空ゲートバルブ（１４）を閉め、且つ電源を開いて回転及び金属材料加熱を行い、金属フィルムの熱蒸着を行う。蒸着の過程で同時にサーマルカプラー（Ｔｈｅｒｍａｌｃｏｕｐｌｅｒ）によって約６００〜８００℃になるよう温度調整を行う。金属フィルム蒸着が完成すると、真空抜きバルブ（１Ｃ４）を開き、蒸着を完成した基材Ｍを取り出して、作業は完成する。ここで注意すべきことは、各キャビネットにはすべて真空抜きバルブ（１Ａ４）・（１Ｂ４）及び（１Ｃ４）が設けられていることである。一過程が完成する毎に、安全を確保するため、各キャビネットは真空抜きバルブ（１Ａ４）・（１Ｂ４）及び（１Ｃ４）によりキャビネット内部と外部の気圧を均衡させなければならない。

【００２２】

【考案の効果】

本考案の提供する有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置は、製品品質を保持し、作業工程を簡素化するのみならず、さらに大幅に設備コストを下げることができる。また一方では、操作監視の人手を減らし、産業効率を上げることができ、従って設備コストが安く、一般学術機構又は研究部門が従来より入手し易くなる。

【００２３】上述の詳細な説明は、本考案の実行可能な実施例の具体的説明である。ただし該実施例は本考案の特許請求範囲を制限するものではない。本考案のテクニックや考え方の範囲を出ない同効性の実施又は変更、例えば、ローディングホール、メカニカルアーム、又は空気抜き取り装置の増減などの変化による同効性の実施例も、すべて本考案の特許請求範囲にあるものとする。

【００２４】以上を総合すると、本考案は空間形態において確かに新規性と進歩性があるのみならず、また従来の作業設備及び工程においても、前記のような多項目の機能を増進することができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（Ａ）は、本考案の有機エレクトロルミネ
ッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の立体斜視図であ
り、図１（Ｂ）は、該有機エレクトロルミネッセンスダ
イオードの熱蒸着真空装置の平面図である。

【図２】図２は、該有機エレクトロルミネッセンスダイ
オードの熱蒸着真空装置の周辺設備の配置図である。

【図３】図３は、該有機エレクトロルミネッセンスダイ
オードの熱蒸着真空装置の立体図である。

【図４】図４（Ａ）、は該有機エレクトロルミネッセン
スダイオードの熱蒸着真空装置のプラズマエッチング作
業表示図であり、図４（Ｂ）は、該有機エレクトロルミ
ネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の有機フィルム
蒸着表示図であり、図４（Ｃ）は、該有機エレクトロル
ミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の基材置き換
え表示図であり、図４（Ｄ）は、該有機エレクトロルミ
ネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の金属フィルム
蒸着表示図である。

【符号の説明】

１真空キャビネットユニット１Ａプラズマエッチング真空キャビネット１Ａ３蝶番つきキャップ１Ａ４真空抜きバルブ１Ｂ有機フィルム蒸着キャビネット１Ｂ２ローディングホール１Ｂ３蝶番つきキャップ１Ｂ４真空抜きバルブ１Ｃ金属フィルム蒸着キャビネット１Ｃ１真空メカニカルアーム１Ｃ２ローディングホール１Ｃ３蝶番つきキャップ１Ｃ４真空抜きバルブ１１高真空ゲートバルブ１２高真空ゲートバルブ１３高真空ゲートバルブ１４高真空ゲートバルブ２空気抜き取り装置２１冷凍ポンプ２２タービン真空分子ポンプ２３乾式ポンプ２４乾式ポンプ３テストピースローディング装置３ａ１マグネチックプッシングバー３ａ２マグネットリング３ａ３プッシングバー３ａ４サンプルケース３ａ５サンプルラック３ｂ１マグネチックプッシングバー３ｂ２マグネットリング３ｂ３プッシングバー３ｂ４サンプルケース

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【手続補正書】

【提出日】平成１３年６月２１日（２００１．６．２
１）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者徐永裕台湾新竹市金城一路52▲巷▼１弄13號３樓 (72)考案者林炳宏台湾台中縣沙鹿鎭成功西街７號 (72)考案者林▲進▼▲祥▼ 台湾新竹市中華路３段121▲巷▼29號５樓

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】有機エレクトロルミネッセンスダイオー
ドの熱蒸着真空装置において、真空キャビネットユニットと、該真空キャビネットユニ
ットの中にはさらに、外側に蝶番つきキャップを設けた
プラズマエッチング真空キャビネットと、真空メカニカ
ルアームを装着し、且つ外側に蝶番つきキャップ及び数
個のローディングホールを設けた有機フィルム蒸着キャ
ビネットと、真空メカニカルアームを装着し、且つ外側
に蝶番つきキャップ及び数個のローディングホールを設
けた金属フィルム蒸着キャビネットを含み、空気抜き取り装置と、該空気抜き取り装置にはさらに、
有機フィルム蒸着キャビネットの下部に連結した冷凍ポ
ンプと、金属フィルム蒸着キャビネットの下部に連結し
たタービン真空分子ポンプを含み、テストピースのローディング装置と、該ローディング装
置にはさらに、二本のパイプ状のマグネチックプッシン
グバーと、該マグネチックプッシングバーの外縁部に設
けたマグネチックプッシングバーにおいて滑走すること
のできるマグネットリングと、該マグネチックプッシン
グバーの内部に別途に設けられ、マクネットリングによ
って動かされるバーと、２本のマグネチックプッシング
バーの一端にそれぞれ固定されたサンプルケースと、二
つのサンプルケースの上に置くことのできるサンプルラ
ックとを含み、前記真空キャビネットユニットは前記プラズマエッチン
グ真空キャビネットと、有機フィルム蒸着キャビネット
と、金属フィルム蒸着キャビネット等三つのキャビネッ
トの連結体であり、そして前記空気抜き取り装置は前記
有機フィルム蒸着キャビネット及び金属フィルム蒸着キ
ャビネットの内部を真空にすることができ、そして前記
サンプルケースを固定したマグネチックプッシングバー
の一端は、前記サンプルケースのサンプルラックを次々
にプラズマエッチングキャビネット及び有機フィルム蒸
着キャビネットに運ぶことができ、もう一本のサンプル
ケースを固定したマグネチックプッシングバーの一端
は、有機フィルム蒸着キャビネットに設けられた真空メ
カニカルアームによって、前記マグネチックプッシング
バー上のサンプルラックを該マグネチックプッシングバ
ーに設けられたサンプルケースの上に受け止め、且つサ
ンプルラックを次々に有機フィルム蒸着キャビネット及
び金属フィルム蒸着キャビネットの内部に運ぶことがで
きることを特徴とする構造を持つ有機エレクトロルミネ
ッセンスダイオードの熱蒸着真空装置。
【請求項２】前記真空キャビネットに含まれる各キャ
ビネットの連結は高真空ゲートバルブによって連結され
ることを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロル
ミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置。
【請求項３】前記空気抜き取り装置と真空キャビネッ
トユニットの連結は高真空ゲートバルブによって連結さ
れることを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロ
ルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置。