JP3081421U - Vacuum apparatus for thermal evaporation of organic electroluminescence diode - Google Patents
Vacuum apparatus for thermal evaporation of organic electroluminescence diodeInfo
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】有機エレクトロルミネッセンスダイオードの蒸
着作業のプラズマエッチングと有機フイルム蒸着及び金
属フイルム蒸着等の作業プロセスを結合し、作業キャビ
ネット内部の真空清潔度の保持と蒸着基の位置決め及び
搬送を行う装置を提供する。
【解決手段】有機エレクトロルミネッセンスダイオード
の熱蒸着真空装置において、真空キャビネットユニット
は、プラズマエッチング真空キャビネット１Ａと、有機
フイルム蒸着キャビネット１Ｂと、金属フイルム蒸着キ
ャビネット１Ｃを含み、空気抜き取り装置と、冷凍ポン
プと、タービン真空分子ポンプを含み、更にテストピー
スのローディング装置などを含む。
(57) [Summary] (Problems corrected) [Problem] To combine the plasma etching and the organic film deposition and the metal film deposition in the deposition process of the organic electroluminescence diode to maintain and clean the vacuum inside the work cabinet. An apparatus for positioning and transporting a base is provided. In a thermal evaporation vacuum apparatus for an organic electroluminescence diode, a vacuum cabinet unit includes a plasma etching vacuum cabinet (1A), an organic film evaporation cabinet (1B), and a metal film evaporation cabinet (1C). , A turbine vacuum molecular pump, and a test piece loading device.
Description
【０００１】[0001]
本考案は有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置、特に有 機エレクトロルミネッセンスダイオードの蒸着作業のプラズマエッチングと有機 フィルム蒸着及び金属フィルム蒸着等の作業プロセスを結合し、三つのキャビネ ットを一体とした方式で蒸着作業を行い、且つ、空気抜き取り装置や真空メカニ カルアーム及びテストピースローディング装置を備え、作業キャビネット内部の 真空清潔度の保持と蒸着基の位置決め及び搬送を行う装置に関する。 The present invention combines the thermal etching vacuum equipment for organic electroluminescent diodes, in particular, the plasma etching of organic electroluminescent diode deposition and the work processes such as organic film deposition and metal film deposition, and integrates three cabinets. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a device that performs a vapor deposition operation by a method, includes an air bleeding device, a vacuum mechanical arm, and a test piece loading device, and maintains vacuum cleanness inside a work cabinet and positions and transports a vapor deposition base.
【０００２】[0002]
有機エレクトロルミネッセンス（ＯＥＬ）のディスプレー技術は次世代の平面 ディスプレー技術に期待されている。無機発光ダイオード（ＬＥＤ）の整流と発 光の特性を備え、モニターに応用されており、発光性・広角性・高輝度・低消費 電力等の長所があるため、次期ディスプレー技術の新寵児となることが見込まれ ている。有機エレクトロルミネッセンスダイオードに使われている有機化合物材 料は、自己発光する材質に属し、従ってＬＣＤのようにパネルの後ろにバックラ イト光源を付ける必要がなく、大幅に消費電力を節約することができ、しかも厚 みが薄く、僅か２ｍｍ程度であり、且つ映像信号に対する反応スピードが早い。 有機エレクトロルミネッセンスダイオードは材料の系統区分により二種類に分け ることができる。一番目は、顔料を主体とした発光ダイオードＯＬＥＤ又はＯＥ Ｌ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｅｌｅｃｔｒｏ ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）と呼ばれ、 その長所は省エネ・軽薄短小・高輝度・広角性・操作温度の範囲が広い・発光効 率が高い・製造プロセスが簡単である等である。二つ目は、高分子を主体とした 発光ダイオードＰＬＥＤ（Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｄｅｖｉｃｅ）である。ＯＬＥＤは 真空製造プロセスを必要とし、設備コストが比較的高い、ＰＬＥＤはＣＤ−Ｒと 同様に回転式塗布方式を採用し、設備コストが比較的安い、というそれぞれ異な る特色がある。ＯＬＥＤにはカラー化し易いことと製造プロセスが安定している という長所があるが、一方駆動電圧が高い、製造プロセスにおける生産性が低く 投資資金が大きい等の欠点がある。今後ＯＬＥＤは次第に高単価・高付加価値の カラー製品へと発展し、ＰＬＥＤは大量生産で低価格のモノクロディスプレー商 品へと発展するだろう。従って、如何にしてＯＬＥＤの生産品質を落とさず、コ ストを下げ、且つその他の商品よりさらに市場競争力のあるものにするかが、今 後の発展目標となる。 The display technology of organic electroluminescence (OEL) is expected to be the next generation flat display technology. It has the rectification and emission characteristics of inorganic light emitting diodes (LEDs) and is applied to monitors. It has advantages such as light emission, wide angle, high brightness, and low power consumption. Is expected. The organic compound materials used in organic electroluminescence diodes belong to self-luminous materials, so there is no need to mount a backlight source behind the panel as in LCDs, which can greatly reduce power consumption. In addition, the thickness is small, about 2 mm, and the response speed to the video signal is fast. Organic electroluminescent diodes can be classified into two types according to the material classification. The first is called a light-emitting diode OLED or OEL (Organic Electro Luminescence) mainly composed of pigments. Its advantages are energy saving, light and light, small size, high brightness, wide angle, wide operating temperature range, and high luminous efficiency. -The manufacturing process is simple. The second is a light emitting diode PLED (Polymer Device) mainly composed of a polymer. OLEDs require a vacuum manufacturing process and have relatively high equipment costs, while PLEDs employ a rotary coating method like CD-Rs and have relatively low equipment costs. OLEDs have the advantages that they are easy to colorize and that the manufacturing process is stable, but they have disadvantages such as high driving voltage, low productivity in the manufacturing process, and large investment funds. In the future, OLEDs will gradually evolve into high-priced, high-value-added color products, and PLEDs will evolve into mass-produced, low-priced monochrome display products. Therefore, the goal of future development is how to keep OLED production quality low, reduce costs, and make it more market-competitive than other products.
【０００３】 ＯＬＥＤには真空製造プロセスを採用する。そのなかで、製品品質に最も明ら かに影響のある製造プロセスは、熱蒸着真空フィルム系統下における製造プロセ スで、その中には、プラズマエッチング（Ｐｌａｓｍａ ｅｔｃｈｉｎｇ）・有 機フィルム蒸着（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｆｉｌｍ）及び金属フィルム蒸着（Ｍｅｔａ ｌ Ｆｉｌｍ）の製造プロセスが含まれる。しかも各製造プロセスに必要な設備 費用が非常に高く、膨大な資金を持つメーカーのみが負担できるものである。そ して商業化して量産しようとすれば、その設備費用はさらに天文学的な数字に近 くなる。有機エレクトロルミネッセンス技術がこれほど急速に発展している理由 として、その製造プロセスが発光ダイオードより易しいほか、主として非常に多 くのメーカー及び学術部門が研究開発を行っていることが挙げられる。一方コス ト面の関係で、設備は一般に量産作業に使用され、研究機構や学術部門の開発作 業にはなかなか利用されていないが、これらの部門では実体的設備の補助がなけ れば、その技術を発展させる事はできない。さらに大事なことは、マーケットで の優勢を失うことになる。[0003] OLEDs employ a vacuum manufacturing process. Among them, the production process that has the most obvious influence on product quality is the production process under the thermal evaporation vacuum film system, including plasma etching and organic film deposition. ) And metal film deposition (Metal Film) manufacturing processes. Moreover, the equipment costs required for each manufacturing process are very high, and can only be borne by manufacturers with huge funds. If it were to be commercialized and mass-produced, its equipment costs would be even closer to astronomical figures. The reasons why organic electroluminescence technology is developing so rapidly are that the manufacturing process is easier than light emitting diodes, and that mainly a large number of manufacturers and academic departments are conducting R & D. On the other hand, due to cost considerations, the equipment is generally used for mass production work and is not readily used for development work at research institutes and academic departments. Technology cannot be developed. More importantly, you lose market dominance.
【０００４】[0004]
このように、従来の作業方式では、まだ設備コストが高すぎる、普遍的に一般 研究機構の専用とすることができない、等の欠点があり、よい設計とは言えない ので、改良が待たれていた。 As described above, the conventional working method has the drawbacks that the equipment cost is still too high and that it cannot be universally dedicated to general research institutes, and it is not a good design. Was.
【０００５】 本考案者は、上述の従来の有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空作業にお ける各項の欠点に鑑み、極力その改良に努め、且つ長年にわたって苦心研究の末 、ついに本考案のような有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置の研究開 発に成功した。In view of the above-mentioned drawbacks in the conventional organic electroluminescence thermal vapor deposition vacuum work, the present inventors have made efforts to improve as much as possible, and after many years of painstaking research, have finally found an organic light emitting device such as the present invention. We succeeded in research and development of an electroluminescence thermal evaporation vacuum system.
【０００６】[0006]
本考案の目的は、即ち三つのキャビネットを一体とした方式で蒸着作業を行い、 従来の作業工程を一貫化できるのみならず、同時に莫大な設備コストを節約でき る有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。 The purpose of the present invention is to provide an organic electroluminescence thermal vapor deposition vacuum device that not only can perform the conventional work process but also can save enormous equipment costs by performing the vapor deposition work by integrating three cabinets. To provide.
【０００７】 本考案のもう一つの目的は、各キャビネットの内部に真空メカニカルアーム（ Ａｎｇｌｅ−Ｕ−Ｌｉｎｅａｒ Ｗｏｂｂｌｅ Ｓｔｉｃｋ Ｗｉｔｈ ｏｐｔ ｉｏｎａｌ ｊａｗ）を設け、キャビネット内部で揺動・伸縮・前進及び上下４ ５度に挟み、基材を置いたサンプルケースを正確な位置に位置決めすることがで きる有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a vacuum mechanical arm (Angle-U-Linear Wobble Stick With opti-ional jaw) inside each cabinet, and to swing, expand and contract, advance and move up and down 45 degrees inside the cabinet. It is an object of the present invention to provide an organic electroluminescence thermal vapor deposition vacuum apparatus which can position a sample case in which a base material is placed between the sample cases at an accurate position.
【０００８】 また、本考案のもう一つの目的は、サマリウム（Ｓａｍａｒｉｕｍ：Ｓｍ）及 びコバルト（Ｃｏｂａｌｔ）の材料で製造したマグネチックプッシングバーで、 真空密閉空間下で移動し、さらに蒸着基材を移動する事ができる有機エレクトロ ルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide a magnetic pushing bar made of a material of samarium (Samarium: Sm) and cobalt (Cobalt), which is moved under a vacuum-tight space, and furthermore, a base material for vapor deposition. It is an object of the present invention to provide an organic electroluminescence thermal evaporation vacuum apparatus which can be moved.
【０００９】 また、本考案のもう一つの目的は、各キャビネットに空気抜き取り装置を設け 、各キャビネットで内部作業を行う時、該キャビネット内部が清潔な真空を確保 できる有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。[0009] Another object of the present invention is to provide an organic electroluminescence thermal evaporation vacuum apparatus which is provided with an air bleeding device in each cabinet and which can maintain a clean vacuum inside the cabinet when working inside each cabinet. To provide.
【００１０】 また、本考案のもう一つの目的は、三つのキャビネットを一体とした真空キャ ビネットユニットにおいて、該各キャビネットの間が高真空ゲートバルブによっ て連結され、各段階の蒸着作業がそれぞれ該キャビネットの内部で順調に行われ るようにした有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにあ る。Another object of the present invention is to provide a vacuum cabinet unit integrating three cabinets, in which the cabinets are connected by a high vacuum gate valve, and the vapor deposition work at each stage is performed separately. An object of the present invention is to provide an organic electroluminescence thermal evaporation vacuum apparatus which can be smoothly performed inside the cabinet.
【００１１】 また、本考案のもう一つの目的は、各キャビネットの内部において、必要に応 じで膜の厚みを測定する監視システム・温度調節検査器及び真空計などを設けた 有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置を提供することにある。Another object of the present invention is to provide an organic electroluminescence thermal evaporation system provided with a monitoring system for measuring the thickness of a film, a temperature control inspection device, a vacuum gauge, and the like as necessary within each cabinet. It is to provide a vacuum device.
【００１２】 さらにまた、本考案のもう一つの目的は、三つのキャビネットを一体とした真 空キャビネットユニットにおいて、テストピースの取り出し及びメンテナンスが 行い易いように、各キャビネット内部に遮蔽板を設け、熱蒸着の際に錫箔の上に 残留した蒸着フィルムを清掃及び保守し易いようにした有機エレクトロルミネッ センス熱蒸着真空装置を提供することにある。Still another object of the present invention is to provide a vacuum cabinet unit in which three cabinets are integrated so that a shield plate is provided inside each cabinet so that test pieces can be easily taken out and maintained. An object of the present invention is to provide an organic electroluminescence thermal vapor deposition vacuum apparatus which makes it easy to clean and maintain a vapor deposition film remaining on a tin foil during vapor deposition.
【００１３】[0013]
図１（Ａ）、図１（Ｂ）、図２及び図３を同時に参照しながら本考案を説明す る。 図１（Ａ）は本考案の有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置の立体図 であり、図１（Ｂ）は該有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置の平面図 であり、図２は該有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置の周辺設備配置 図であり、図３は該有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置の立体斜視図 である。本考案の提供する有機エレクトロルミネッセンス熱蒸着真空装置は主と して、真空キャビネットユニット（１）と、空気抜き取り装置（２）及びテスト ピースローディング装置（３）とからなる。 The present invention will be described with reference to FIGS. 1A, 1B, 2 and 3. FIG. FIG. 1 (A) is a three-dimensional view of the organic electroluminescence thermal evaporation vacuum apparatus of the present invention, FIG. 1 (B) is a plan view of the organic electroluminescence thermal evaporation vacuum apparatus, and FIG. 2 is the organic electroluminescence heating apparatus. FIG. 3 is a three-dimensional perspective view of the organic electroluminescence thermal evaporation vacuum apparatus. The organic electroluminescence thermal evaporation vacuum apparatus provided by the present invention mainly comprises a vacuum cabinet unit (1), an air bleeding unit (2) and a test piece loading unit (3).
【００１４】 真空キャビネットユニット（１）はプラズマエッチング真空キャビネット（１ Ａ）と、有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）及び金属フィルム蒸着キャビネ ット（１Ｃ）の三つのキャビネットの一体組み合わせによって構成され、各キャ ビネットの間は高真空ゲートバルブ（１１）及び（１２）によって連結されてい る。プラズマエッチング真空キャビネット（１Ａ）の外側には、蝶番つきキャッ プ（１Ａ３）が設けられ、且つプラズマエッチング真空キャビネット（１Ａ）の 外側の適当な位置に真空抜きバルブ（１Ａ４）が設けられている。有機フィルム 蒸着キャビネット（１Ｂ）には、揺動・伸縮・前進及び上下４５度に挟むことの できる真空メカニカルアーム（１Ｂ１）が設けられ、且つ該キャビネット（１Ｂ ）の外側には、蝶番つきキャップ（１Ｂ３）及び数個のローディングホール（１ Ｂ２）が設けられ、且つ該キャビネット（１Ｂ）の外側の適当な位置に真空抜き バルブ（１Ｂ４）が設けられている。金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）に は、揺動・伸縮・前進及び上下４５度に挟むことのできる真空メカニカルアーム （１Ｃ１）が設けられ、且つ該キャビネット（１Ｃ）の外側には、蝶番つきキャ ップ（１Ｃ３）及び数個のローディングホール（１Ｃ２）が設けられ、且つ該キ ャビネット（１Ｃ）の外側の適当な位置に真空抜きバルブ（１Ｃ４）が設けられ ている。The vacuum cabinet unit (1) is composed of an integrated combination of a plasma etching vacuum cabinet (1A) and three cabinets of an organic film deposition cabinet (1B) and a metal film deposition cabinet (1C). The vignettes are connected by high vacuum gate valves (11) and (12). A hinged cap (1A3) is provided outside the plasma etching vacuum cabinet (1A), and a vacuum release valve (1A4) is provided at an appropriate position outside the plasma etching vacuum cabinet (1A). The organic film deposition cabinet (1B) is provided with a vacuum mechanical arm (1B1) capable of swinging, expanding and contracting, advancing, and sandwiching at 45 degrees up and down, and a hinged cap (1B) is provided outside the cabinet (1B). 1B3) and several loading holes (1B2) are provided, and a vacuum release valve (1B4) is provided at an appropriate position outside the cabinet (1B). The metal film deposition cabinet (1C) is provided with a vacuum mechanical arm (1C1) capable of swinging, expanding and contracting, advancing, and sandwiching vertically 45 degrees, and a hinged cap is provided outside the cabinet (1C). A pump (1C3) and several loading holes (1C2) are provided, and a vacuum release valve (1C4) is provided at an appropriate position outside the cabinet (1C).
【００１５】 空気抜き取り装置（２）は有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）の下部に連 結された冷凍ポンプ（２１）及び金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の下部 に連結されたタービン真空分子ポンプ（２２）とを含み、冷凍ポンプ（２１）は 高真空ゲートバルブ（１３）によって有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）の 下部に連結され、タービン真空分子ポンプ（２２）は高真空ゲートバルブ（１４ ）によって金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の下部に連結されている。The air bleeding device (2) includes a refrigeration pump (21) connected to a lower part of the organic film deposition cabinet (1B) and a turbine vacuum molecular pump (22) connected to a lower part of the metal film deposition cabinet (1C). The refrigeration pump (21) is connected to the lower part of the organic film deposition cabinet (1B) by a high vacuum gate valve (13), and the turbine vacuum molecular pump (22) is deposited by a high vacuum gate valve (14). It is connected to the lower part of the cabinet (1C).
【００１６】 テストピースローディング装置（３）は２本のマグネチックプッシングバー（ ３ａ１）及び（３ｂ１）と、二つのサンプルケース（３ａ４）及び（３ｂ４）と 、サンプルラック（３ａ５）を含み、該マグネチックプッシングバー（３ａ１） 及び（３ｂ１）はパイプ状であり、マグネチックプッシングバー（３ａ１）及び （３ｂ１）の外縁にはマグネチックプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）の 外縁において滑走することのできるマグネットリング（３ａ２）及び（３ｂ２） を設け、また該マグネットプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）の内部には 別途にそれぞれプッシングバー（３ａ３）及び（３ｂ３）が設けられ、該プッシ ングバー（３ａ３）及び（３ｂ３）は前記マグネットリング（３ａ２）及び（３ ｂ２）のマグネットによって動かされる。サンプルケース（３ａ４）及び（３ｂ ４）はマグネットプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）の一端に固定され又 は取り外してマグネットプッシングバー（３ａ１）及び（３ｂ１）と分離するこ とができ、そしてサンプルラック（３ａ５）はサンプルケース（３ａ４）及び（ ３ｂ４）の上に置くことができる。真空キャビネットユニット（１）はプラズマ エッチング真空キャビネット（１Ａ）と、有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ ）及び金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）等三つのキャビネットの連結体で あり、そして前記空気抜き取り装置（２）は、前記プラズマエッチング真空キャ ビネット（１Ａ）と有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）及び金属フィルム蒸 着キャビネット（１Ｃ）の内部を真空にすることができる。そして前記サンプル ケース（３ａ４）を固定したマグネチックプッシングバー（３ａ１）の一端は、 前記サンプルケース（３ａ４）及びサンプルラック（３ａ５）を次々にプラズマ エッチングキャビネット（１Ａ）及び有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）に 運ぶことができる。もう一本のサンプルケース（３ｂ４）を固定したマグネチッ クプッシングバー（３ｂ１）の一端は、有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ） に設けられた真空メカニカルアーム（１Ｂ１）によって、前記マグネチックプッ シングバー（３ａ１）上のサンプルラック（３ａ５）を該マグネチックプッシン グバー（３ｂ１）に設けられたサンプルケース（３ｂ４）の上に受け止め、且つ サンプルラック（３ａ５）を次々に有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）及び 金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の内部に運ぶことができる。The test piece loading device (3) includes two magnetic pushing bars (3a1) and (3b1), two sample cases (3a4) and (3b4), and a sample rack (3a5). The tick pushing bars (3a1) and (3b1) are pipe-shaped, and can slide on the outer edges of the magnetic pushing bars (3a1) and (3b1) at the outer edges of the magnetic pushing bars (3a1) and (3b1). The magnet rings (3a2) and (3b2) are provided, and the pushing bars (3a3) and (3b3) are separately provided inside the magnet pushing bars (3a1) and (3b1), respectively. And (3b3) are the magnet rings (3a2) and (3b3). It is moved by the magnet of 2). The sample cases (3a4) and (3b4) are fixed to or removed from one end of the magnet pushing bars (3a1) and (3b1) and can be separated from the magnet pushing bars (3a1) and (3b1). The rack (3a5) can be placed on the sample cases (3a4) and (3b4). The vacuum cabinet unit (1) is a connected body of a plasma etching vacuum cabinet (1A) and three cabinets such as an organic film deposition cabinet (1B) and a metal film deposition cabinet (1C). The inside of the plasma etching vacuum cabinet (1A), the organic film deposition cabinet (1B), and the metal film deposition cabinet (1C) can be evacuated. One end of a magnetic pushing bar (3a1) to which the sample case (3a4) is fixed is connected to the sample case (3a4) and the sample rack (3a5) one after another by a plasma etching cabinet (1A) and an organic film deposition cabinet (1B). Can be carried to One end of the magnetic pushing bar (3b1) to which the other sample case (3b4) is fixed is fixed to the magnetic pushing bar (3a1) by the vacuum mechanical arm (1B1) provided in the organic film deposition cabinet (1B). The upper sample rack (3a5) is received on the sample case (3b4) provided on the magnetic pushing bar (3b1), and the sample rack (3a5) is successively placed on the organic film deposition cabinet (1B) and the metal film. It can be carried inside the evaporation cabinet (1C).
【００１７】 このほか、本考案の真空キャビネットユニットの内部を清潔な真空状態に保つ ため、別途周辺設備に合わせて乾式ポンプにより第一段階の空気抜き取り作業を 行ってもよい。In addition, in order to keep the inside of the vacuum cabinet unit of the present invention in a clean vacuum state, the first-stage air bleeding operation may be separately performed by a dry pump according to peripheral equipment.
【００１８】[0018]
図４（Ａ）は該有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の プラズマエッチングの作業状態図である。製造プロセスの第一歩は、プラズマエ ッチング真空キャビネット（１Ａ）の蝶番つきキャップ（１Ａ３）を開き、且つ サンプルラック（３ａ５）の上に置かれたＩＴＯ基材Ｍを左側のマグネチックプ ッシングバー（３ａ１）のサンプルケース（３ａ４）の上に置き、同時に蝶番つ きキャップ（１Ａ３）及び高真空ゲートバルブ（１１）を閉め、マグネットリン グ（３ａ２）を操作して、プッシングバー（３ａ３）をコントロールし、サンプ ルケース（３ａ４）をプラズマエッチング真空キャビネット（１Ａ）内部の適当 な位置に位置決めする。このときプラズマエッチング（Ｐｌａｓｍａ Ｅｔｃｈ ｉｎｇ）作業を行い、基材の表面を清潔にし、付着力を強化する。 FIG. 4A is a working state diagram of plasma etching of the thermal evaporation vacuum apparatus for the organic electroluminescent diode. The first step of the manufacturing process is to open the hinged cap (1A3) of the plasma etching vacuum cabinet (1A) and place the ITO substrate M placed on the sample rack (3a5) in the left magnetic pushing bar (3a1). Place it on the sample case (3a4), simultaneously close the hinged cap (1A3) and the high vacuum gate valve (11), operate the magnet ring (3a2) to control the pushing bar (3a3), and The case (3a4) is positioned at an appropriate position inside the plasma etching vacuum cabinet (1A). At this time, a plasma etching (Plasma Etching) operation is performed to clean the surface of the base material and enhance the adhesive force.
【００１９】 図４（Ｂ）は該有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の 有機フィルム蒸着の蒸着状態図である。プラズマエッチング作業を行い、基材Ｍ が必要な清潔度に達したのち、高真空ゲートバルブ（１１）を開き、プッシング バー（３ａ３）が直線に沿って有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）に向かっ て押し進み、有機フィルムの蒸着（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｆｉｌｍ ｅｖａｐｏｒａ ｔｉｏｎ）を行う。マグネットリング（３ａ２）を操作し、プッシングバー（３ ａ３）が清潔後の基材Ｍを有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）に押し込んだ あと、有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）の真空メカニカルアーム（１Ｂ１ ）（Ａｎｇｌｅ−Ｕ−Ｌｉｎｅａｒ Ｗｏｂｂｌｅ Ｓｔｉｃｋ ｗｉｔｈ ｏ ｐｔｉｏｎａｌ ｊａｗ）により、基材Ｍを乗せたサンプルラック（３ａ５）を 、蒸着位置に移動させる。マグネットリング（３ａ２）を操作し、プッシングバ ー（３ａ３）を有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）から離し、そのあと高真 空ゲートバルブ（１１）及び（１２）を閉める。ローディングホール（１Ｂ２） には予め有機蒸着に必要な有機材料を入れて置くことができる。高真空ゲートバ ルブ（１３）を開き、このとき乾式ポンプ（２３）（図２の配置図参照）によっ て荒吸気を行い、圧力が１０−２Ｔｏｒｒに達したとき、冷凍ポンプ（２１）（ Ｃｒｙｏ ｐｕｍｐ ＣＴＩ Ｔｏｒｒ ８型）が運転を開始する、このとき有 機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）の内部では高度の真空吸気を行い始め、１ ０−６Ｔｏｒｒまで吸気した後、高真空ゲートバルブ（１３）及び（１２）を閉 め、且つ電源を開いて回転及び４種類の染料加熱を行い、光学フィルムの熱蒸着 を行う。蒸着の過程で同時にサーマルカプラー（Ｔｈｅｒｍａｌ ｃｏｕｐｌｅ ｒ）によって約６００〜８００℃になるよう温度調整を行う。有機フィルム蒸着 が完成すると、高真空ゲートバルブ（１２）を開き、中度の真空範囲に維持して おく。FIG. 4B is a diagram showing a state of vapor deposition of an organic film by a vacuum apparatus for thermal vapor deposition of the organic electroluminescence diode. After performing the plasma etching work and the substrate M has reached the required cleanliness, the high vacuum gate valve (11) is opened, and the pushing bar (3a3) is pushed straight along the organic film deposition cabinet (1B). Then, the organic film is deposited (Organic Film evaporation). After operating the magnet ring (3a2) and the pushing bar (3a3) pushes the clean substrate M into the organic film deposition cabinet (1B), the vacuum mechanical arm (1B1) (1B) of the organic film deposition cabinet (1B) The sample rack (3a5) on which the base material M is placed is moved to the vapor deposition position by Angle-U-Linear Wobble Stick with optional jaw. Operate the magnet ring (3a2) to separate the pushing bar (3a3) from the organic film deposition cabinet (1B), and then close the high vacuum gate valves (11) and (12). An organic material required for organic vapor deposition can be put in the loading hole (1B2) in advance. Open the high vacuum gate bus Lube (13), this time performs rough intake by the dry pump (23) (see layout view of FIG. 2), when the pressure has reached 10 -2 Torr, frozen pump (21) ( The Cryo pump CTI Torr 8 type starts operation. At this time, high vacuum suction is started inside the organic film deposition cabinet (1B), and after suction to 10-6 Torr, the high vacuum gate valve (13) is started. ) And (12) are closed, and the power supply is opened to rotate and heat the four types of dyes to perform thermal evaporation of the optical film. During the vapor deposition process, the temperature is simultaneously adjusted to about 600 to 800 ° C. by a thermal coupler. When the organic film deposition is completed, open the high vacuum gate valve (12) and maintain it in a moderate vacuum range.
【００２０】 図４（Ｃ）は該有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の 基材置き換え図である。高真空ゲートバルブ（１２）が開いたあと、マグネット リング（３ｂ２）を操作して、右側のマグネチックプッシングバー（３ｂ１）内 部のプッシングバー（３ｂ３）を有機フィルム蒸着キャビネット（１Ｂ）の内部 に移動し、真空メカニカルアーム（１Ｂ１）によって基材Ｍを乗せたサンプルラ ック（３ａ５）を挟んでプッシングバー（３ｂ３）の上のサンプルケースに乗せ る。次は金属フィルムの蒸着（Ｍｅｔａｌ Ｆｉｌｍ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ ）作業である。FIG. 4 (C) is a diagram showing a substrate replacement of the thermal evaporation vacuum apparatus for the organic electroluminescence diode. After opening the high vacuum gate valve (12), operate the magnet ring (3b2) to move the pushing bar (3b3) inside the right magnetic pushing bar (3b1) inside the organic film deposition cabinet (1B). Then, the sample rack (3a5) on which the substrate M is placed is sandwiched by the vacuum mechanical arm (1B1), and the sample rack is placed on the sample case above the pushing bar (3b3). Next is a metal film evaporation operation.
【００２１】 図４（Ｄ）は該有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の 金属蒸着状態図である。上記に続いて、真空メカニカルアーム（１Ｂ１）が基材 Ｍを乗せたサンプルラック（３ａ５）を挟んでプッシングバー（３ｂ３）のサン プルケース（３ｂ４）の上まで移動させた後、マグネットリング（３ｂ２）を操 作して、プッシングバー（３ｂ３）によってサンプルケース（３ｂ４）を金属フ ィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）のなかに移動させ、高真空ゲートバルブ（１２ ）を閉め、金属フィルム蒸着キャビネット（１Ｃ）の内部の真空メカニカルアー ム（１Ｃ１）によって、基材Ｍを乗せたサンプルラック（３ａ５）を蒸着位置へ 移動する。ローディングホール（１Ｃ２）には予め金属蒸着に必要な金属材料を 入れておくとよい。高真空ゲートバルブ（１４）を開く。このとき乾式ポンプ（ ２４）（図２の配置図参照）で荒吸気を行い、圧力が１０−２Ｔｏｒｒに達した とき、タービン真空分子ポンプ（２２）が運転を開始する。このとき金属フィル ム蒸着キャビネット（１Ｃ）の内部では高度の真空吸気を行い始め、１０−６Ｔ ｏｒｒまで吸気した後、高真空ゲートバルブ（１４）を閉め、且つ電源を開いて 回転及び金属材料加熱を行い、金属フィルムの熱蒸着を行う。蒸着の過程で同時 にサーマルカプラー（Ｔｈｅｒｍａｌ ｃｏｕｐｌｅｒ）によって約６００〜８ ００℃になるよう温度調整を行う。金属フィルム蒸着が完成すると、真空抜きバ ルブ（１Ｃ４）を開き、蒸着を完成した基材Ｍを取り出して、作業は完成する。 ここで注意すべきことは、各キャビネットにはすべて真空抜きバルブ（１Ａ４） ・（１Ｂ４）及び（１Ｃ４）が設けられていることである。一過程が完成する毎 に、安全を確保するため、各キャビネットは真空抜きバルブ（１Ａ４）・（１Ｂ ４）及び（１Ｃ４）によりキャビネット内部と外部の気圧を均衡させなければな らない。FIG. 4D is a diagram showing a metal deposition state of the thermal evaporation vacuum apparatus for the organic electroluminescence diode. Following the above, the vacuum mechanical arm (1B1) is moved to above the sample case (3b4) of the pushing bar (3b3) across the sample rack (3a5) on which the substrate M is placed, and then the magnet ring (3b2) Then, the sample case (3b4) is moved into the metal film deposition cabinet (1C) by the pushing bar (3b3), the high vacuum gate valve (12) is closed, and the metal film deposition cabinet (1C) is moved. The sample rack (3a5) on which the substrate M is placed is moved to the deposition position by the internal vacuum mechanical arm (1C1). The loading hole (1C2) is preferably filled with a metal material required for metal deposition in advance. Open the high vacuum gate valve (14). At this time, rough suction is performed by the dry pump (24) (see the layout diagram of FIG. 2), and when the pressure reaches 10 −2 Torr, the turbine vacuum molecular pump (22) starts operating. At this time, a high degree of vacuum suction is started inside the metal film deposition cabinet (1C), and after suction to 10 −6 Torr, the high vacuum gate valve (14) is closed, and the power is opened to rotate and rotate the metal Heating is performed and thermal evaporation of the metal film is performed. At the same time, the temperature is adjusted to about 600 to 800 ° C. by a thermal coupler during the vapor deposition process. When the metal film deposition is completed, the vacuum release valve (1C4) is opened, and the substrate M on which the deposition has been completed is taken out to complete the operation. It should be noted here that all the cabinets are provided with vacuum release valves (1A4), (1B4) and (1C4). Each time a process is completed, each cabinet must equilibrate the air pressure inside and outside the cabinet with vacuum vent valves (1A4), (1B4) and (1C4) to ensure safety.
【００２２】[0022]
本考案の提供する有機エレクトロルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置 は、製品品質を保持し、作業工程を簡素化するのみならず、さらに大幅に設備コ ストを下げることができる。また一方では、操作監視の人手を減らし、産業効率 を上げることができ、従って設備コストが安く、一般学術機構又は研究部門が従 来より入手し易くなる。 The thermal evaporation vacuum system for organic electroluminescent diodes provided by the present invention not only maintains product quality and simplifies the work process, but also can greatly reduce equipment costs. On the other hand, manpower for operation monitoring can be reduced, and industrial efficiency can be increased. Therefore, equipment costs are low and general academic institutions or research departments are more readily available.
【００２３】 上述の詳細な説明は、本考案の実行可能な実施例の具体的説明である。ただし 該実施例は本考案の特許請求範囲を制限するものではない。本考案のテクニック や考え方の範囲を出ない同効性の実施又は変更、例えば、ローディングホール、 メカニカルアーム、又は空気抜き取り装置の増減などの変化による同効性の実施 例も、すべて本考案の特許請求範囲にあるものとする。The above detailed description is a specific description of a possible embodiment of the present invention. However, the embodiment does not limit the claims of the present invention. The patents of the present invention are also applicable to the implementation or modification of the same effect without departing from the scope of the technique and concept of the present invention, for example, the change of the loading hole, the mechanical arm, or the increase or decrease of the air bleeding device. It is in the claims.
【００２４】 以上を総合すると、本考案は空間形態において確かに新規性と進歩性があるの みならず、また従来の作業設備及び工程においても、前記のような多項目の機能 を増進することができるものである。[0024] Taken together, the present invention not only has the novelty and the inventive step in the space form, but also enhances the functions of the above-mentioned various items in the conventional work equipment and process. Can be done.
【図１】図１（Ａ）は、本考案の有機エレクトロルミネ
ッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の立体斜視図であ
り、図１（Ｂ）は、該有機エレクトロルミネッセンスダ
イオードの熱蒸着真空装置の平面図である。FIG. 1 (A) is a three-dimensional perspective view of a thermal evaporation vacuum apparatus for an organic electroluminescence diode of the present invention, and FIG. 1 (B) is a plan view of the thermal evaporation vacuum apparatus for the organic electroluminescence diode. It is.
【図２】図２は、該有機エレクトロルミネッセンスダイ
オードの熱蒸着真空装置の周辺設備の配置図である。FIG. 2 is a layout view of peripheral equipment of a thermal evaporation vacuum apparatus for the organic electroluminescent diode.
【図３】図３は、該有機エレクトロルミネッセンスダイ
オードの熱蒸着真空装置の立体図である。FIG. 3 is a three-dimensional view of a thermal evaporation vacuum apparatus of the organic electroluminescence diode.
【図４】図４（Ａ）、は該有機エレクトロルミネッセン
スダイオードの熱蒸着真空装置のプラズマエッチング作
業表示図であり、図４（Ｂ）は、該有機エレクトロルミ
ネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の有機フィルム
蒸着表示図であり、図４（Ｃ）は、該有機エレクトロル
ミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の基材置き換
え表示図であり、図４（Ｄ）は、該有機エレクトロルミ
ネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置の金属フィルム
蒸着表示図である。FIG. 4 (A) is a view showing a plasma etching operation of the thermal evaporation vacuum apparatus of the organic electroluminescence diode, and FIG. 4 (B) is an organic film of the thermal evaporation vacuum apparatus of the organic electroluminescence diode. FIG. 4 (C) is a substrate replacement view of the thermal evaporation vacuum apparatus of the organic electroluminescence diode, and FIG. 4 (D) is a view of the thermal evaporation vacuum apparatus of the organic electroluminescence diode. It is a metal film deposition display figure.
１ 真空キャビネットユニット １Ａ プラズマエッチング真空キャビネット １Ａ３ 蝶番つきキャップ １Ａ４ 真空抜きバルブ １Ｂ 有機フィルム蒸着キャビネット １Ｂ２ ローディングホール １Ｂ３ 蝶番つきキャップ １Ｂ４ 真空抜きバルブ １Ｃ 金属フィルム蒸着キャビネット １Ｃ１ 真空メカニカルアーム １Ｃ２ ローディングホール １Ｃ３ 蝶番つきキャップ １Ｃ４ 真空抜きバルブ １１ 高真空ゲートバルブ １２ 高真空ゲートバルブ １３ 高真空ゲートバルブ １４ 高真空ゲートバルブ ２ 空気抜き取り装置 ２１ 冷凍ポンプ ２２ タービン真空分子ポンプ ２３ 乾式ポンプ ２４ 乾式ポンプ ３ テストピースローディング装置 ３ａ１ マグネチックプッシングバー ３ａ２ マグネットリング ３ａ３ プッシングバー ３ａ４ サンプルケース ３ａ５ サンプルラック ３ｂ１ マグネチックプッシングバー ３ｂ２ マグネットリング ３ｂ３ プッシングバー ３ｂ４ サンプルケース 1 Vacuum Cabinet Unit 1A Plasma Etching Vacuum Cabinet 1A3 Hinged Cap 1A4 Vacuum Evacuation Valve 1B Organic Film Deposition Cabinet 1B2 Loading Hole 1B3 Hinged Cap 1B4 Vacuum Evacuation Valve 1C Metal Film Deposition Cabinet 1C1 Vacuum Mechanical Arm 1C2 Loading Hole 1C3 Hinged Cap 1C Vacuum release valve 11 High vacuum gate valve 12 High vacuum gate valve 13 High vacuum gate valve 14 High vacuum gate valve 2 Air extraction device 21 Refrigeration pump 22 Turbine vacuum molecular pump 23 Dry pump 24 Dry pump 3 Test piece loading device 3a1 Magnetic pushing Bar 3a2 Magnet ring 3a3 Pushing bar 3a4 Sample case 3a Sample rack 3b1 magnetic pushing bar 3b2 magnet ring 3b3 Pusshinguba 3b4 sample case
─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１３年６月２１日（２００１．６．２
１）[Submission Date] June 21, 2001 (2001.6.2)
1)
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing
【補正対象項目名】図４[Correction target item name] Fig. 4
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【図４】 FIG. 4
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 徐永裕 台湾新竹市金城一路52▲巷▼１弄13號３樓 (72)考案者 林炳宏 台湾台中縣沙鹿鎭成功西街７號 (72)考案者 林▲進▼▲祥▼ 台湾新竹市中華路３段121▲巷▼29號５樓 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Xu Yong-Yu 52 Hsin-gil, Hsinchu, Taiwan Lin ▲ Shin ▼ ▲ Sho ▼ Taiwan Hsinchu City China Road 3rd Section 121 ▲ Street ▼ 29 No. 5 Tower
Claims (3)
ドの熱蒸着真空装置において、 真空キャビネットユニットと、該真空キャビネットユニ
ットの中にはさらに、外側に蝶番つきキャップを設けた
プラズマエッチング真空キャビネットと、真空メカニカ
ルアームを装着し、且つ外側に蝶番つきキャップ及び数
個のローディングホールを設けた有機フィルム蒸着キャ
ビネットと、真空メカニカルアームを装着し、且つ外側
に蝶番つきキャップ及び数個のローディングホールを設
けた金属フィルム蒸着キャビネットを含み、 空気抜き取り装置と、該空気抜き取り装置にはさらに、
有機フィルム蒸着キャビネットの下部に連結した冷凍ポ
ンプと、金属フィルム蒸着キャビネットの下部に連結し
たタービン真空分子ポンプを含み、 テストピースのローディング装置と、該ローディング装
置にはさらに、二本のパイプ状のマグネチックプッシン
グバーと、該マグネチックプッシングバーの外縁部に設
けたマグネチックプッシングバーにおいて滑走すること
のできるマグネットリングと、該マグネチックプッシン
グバーの内部に別途に設けられ、マクネットリングによ
って動かされるバーと、２本のマグネチックプッシング
バーの一端にそれぞれ固定されたサンプルケースと、二
つのサンプルケースの上に置くことのできるサンプルラ
ックとを含み、 前記真空キャビネットユニットは前記プラズマエッチン
グ真空キャビネットと、有機フィルム蒸着キャビネット
と、金属フィルム蒸着キャビネット等三つのキャビネッ
トの連結体であり、そして前記空気抜き取り装置は前記
有機フィルム蒸着キャビネット及び金属フィルム蒸着キ
ャビネットの内部を真空にすることができ、そして前記
サンプルケースを固定したマグネチックプッシングバー
の一端は、前記サンプルケースのサンプルラックを次々
にプラズマエッチングキャビネット及び有機フィルム蒸
着キャビネットに運ぶことができ、もう一本のサンプル
ケースを固定したマグネチックプッシングバーの一端
は、有機フィルム蒸着キャビネットに設けられた真空メ
カニカルアームによって、前記マグネチックプッシング
バー上のサンプルラックを該マグネチックプッシングバ
ーに設けられたサンプルケースの上に受け止め、且つサ
ンプルラックを次々に有機フィルム蒸着キャビネット及
び金属フィルム蒸着キャビネットの内部に運ぶことがで
きることを特徴とする構造を持つ有機エレクトロルミネ
ッセンスダイオードの熱蒸着真空装置。1. A thermal evaporation vacuum apparatus for an organic electroluminescence diode, comprising: a vacuum cabinet unit; a plasma etching vacuum cabinet having a hinged cap on the outside; and a vacuum mechanical arm in the vacuum cabinet unit. An organic film deposition cabinet provided with a hinged cap and several loading holes on the outside, and a metal film deposition cabinet equipped with a vacuum mechanical arm and provided with a hinged cap and several loading holes on the outside. An air bleeding device, wherein the air bleeding device further comprises:
It includes a refrigerating pump connected to the lower part of the organic film deposition cabinet and a turbine vacuum molecular pump connected to the lower part of the metal film deposition cabinet. The loading device for the test piece, and the loading device further comprises two pipe-shaped magnets. A magnetic pushing bar, a magnetic ring slidable in the magnetic pushing bar provided on the outer edge of the magnetic pushing bar, and a bar separately provided inside the magnetic pushing bar and moved by the magnetic ring And a sample case fixed to one end of two magnetic pushing bars, and a sample rack that can be placed on the two sample cases, wherein the vacuum cabinet unit is the plasma etching vacuum cabinet. A combination of three cabinets such as an organic film deposition cabinet and a metal film deposition cabinet, and the air bleeding device can evacuate the organic film deposition cabinet and the metal film deposition cabinet, and One end of the magnetic pushing bar fixing the case, the sample rack of the sample case can be carried one after another to the plasma etching cabinet and the organic film deposition cabinet, and one end of the magnetic pushing bar fixing the other sample case. Receives the sample rack on the magnetic pushing bar above the sample case provided on the magnetic pushing bar by a vacuum mechanical arm provided on the organic film deposition cabinet. A thermal evaporation vacuum apparatus for an organic electroluminescence diode having a structure characterized in that it can be stopped and a sample rack can be successively carried into an organic film evaporation cabinet and a metal film evaporation cabinet.
ビネットの連結は高真空ゲートバルブによって連結され
ることを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロル
ミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置。2. The apparatus of claim 1, wherein the cabinets included in the vacuum cabinet are connected by a high vacuum gate valve.
トユニットの連結は高真空ゲートバルブによって連結さ
れることを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロ
ルミネッセンスダイオードの熱蒸着真空装置。3. The vacuum deposition apparatus of claim 1, wherein the air bleeding device and the vacuum cabinet unit are connected by a high vacuum gate valve.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001002570U JP3081421U (en) | 2001-04-26 | 2001-04-26 | Vacuum apparatus for thermal evaporation of organic electroluminescence diode |
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| JP2001002570U JP3081421U (en) | 2001-04-26 | 2001-04-26 | Vacuum apparatus for thermal evaporation of organic electroluminescence diode |
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| JP3081421U true JP3081421U (en) | 2001-11-02 |
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ID=43214186
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| JP2001002570U Expired - Lifetime JP3081421U (en) | 2001-04-26 | 2001-04-26 | Vacuum apparatus for thermal evaporation of organic electroluminescence diode |
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|---|---|
| JP (1) | JP3081421U (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018528904A (en) * | 2015-07-31 | 2018-10-04 | アール・ジエイ・レイノルズ・タバコ・カンパニー | Products and packages including power generators and output mechanisms, and related methods |
-
2001
- 2001-04-26 JP JP2001002570U patent/JP3081421U/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018528904A (en) * | 2015-07-31 | 2018-10-04 | アール・ジエイ・レイノルズ・タバコ・カンパニー | Products and packages including power generators and output mechanisms, and related methods |
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