JP3074938B2 - 炭素量測定装置 - Google Patents
炭素量測定装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高濃度の塩酸を含む溶
液中の炭素量を測定する炭素量測定装置に関する。
液中の炭素量を測定する炭素量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料液中の有機体炭素濃度を測定する場
合、従来より全有機体炭素計（ＴＯＣ計）が使用されて
いる。ＴＯＣ計による全有機体炭素濃度の測定方法を図
２により説明する。シリンジ１４により試料容器から試
料液１０を吸い上げ、４方弁１３を切り替えた後、所定
量の試料液１０をＴＣ燃焼管１５に送出する。試料液中
の炭素成分（Ｃ）はＴＣ燃焼管１５において酸化触媒の
下で高純度空気１１により高温で酸化（燃焼）され、全
てＣＯ2となる。このＣＯ2を含む試料液の燃焼ガス（測
定ガス）はＩＣ反応器１６及び除湿・ガス処理部２１を
通過して赤外線ガス分析部（ＮＤＩＲ）２２に送られ、
そこでＣＯ2濃度が測定される。このＣＯ2濃度の値を基
に、制御部２３が試料液中の全炭素（ＴＣ）量を算出す
る。次に、４方弁１３を切り替え、所定量の試料液１０
をシリンジ１４により今度はＩＣ反応器１６に送出す
る。ＩＣ反応器１６において、試料液中の無機体炭素
（ＩＣ）はそこに貯留されている酸と反応してＣＯ2と
なる。以後は上記のＴＣ量測定の場合と同様、このＣＯ
2の濃度がＮＤＩＲ２２により測定され、制御部２３に
よりＩＣ量が算出される。このようにして測定されたＴ
Ｃ量及びＩＣ量から、全有機体炭素（ＴＯＣ）量は、 ＴＯＣ＝ＴＣ−ＩＣ として算出される。
合、従来より全有機体炭素計（ＴＯＣ計）が使用されて
いる。ＴＯＣ計による全有機体炭素濃度の測定方法を図
２により説明する。シリンジ１４により試料容器から試
料液１０を吸い上げ、４方弁１３を切り替えた後、所定
量の試料液１０をＴＣ燃焼管１５に送出する。試料液中
の炭素成分（Ｃ）はＴＣ燃焼管１５において酸化触媒の
下で高純度空気１１により高温で酸化（燃焼）され、全
てＣＯ2となる。このＣＯ2を含む試料液の燃焼ガス（測
定ガス）はＩＣ反応器１６及び除湿・ガス処理部２１を
通過して赤外線ガス分析部（ＮＤＩＲ）２２に送られ、
そこでＣＯ2濃度が測定される。このＣＯ2濃度の値を基
に、制御部２３が試料液中の全炭素（ＴＣ）量を算出す
る。次に、４方弁１３を切り替え、所定量の試料液１０
をシリンジ１４により今度はＩＣ反応器１６に送出す
る。ＩＣ反応器１６において、試料液中の無機体炭素
（ＩＣ）はそこに貯留されている酸と反応してＣＯ2と
なる。以後は上記のＴＣ量測定の場合と同様、このＣＯ
2の濃度がＮＤＩＲ２２により測定され、制御部２３に
よりＩＣ量が算出される。このようにして測定されたＴ
Ｃ量及びＩＣ量から、全有機体炭素（ＴＯＣ）量は、 ＴＯＣ＝ＴＣ−ＩＣ として算出される。
【０００３】ここで、例えば一部の廃液等のように試料
液中に塩酸が含まれている場合には、ＴＣ燃焼管１５に
おける燃焼酸化反応により（以下、この部分を総称して
酸化反応部と呼ぶ）、塩化水素（ＨＣｌ）、塩素（Ｃ
ｌ）、塩素酸ガス（Ｃｌ０2）等の腐食性のガス（以
下、これらを塩酸ガスと呼ぶ）が発生する。これらの塩
酸ガスは、ＮＤＩＲ２２によるＣＯ2濃度測定の際に測
定値に影響を与えたり、酸化反応部以降の流路や除湿・
ガス処理部２１及びＮＤＩＲ２２の各部分を腐食させた
りする。このようなことを避けるため、従来のＴＯＣ計
では、（１）試料液を予め希釈しておく、（２）酸化反
応部から出たガスを硝酸銀のような銀イオンを含む溶液
や塩化第一鉄溶液で洗気する、（３）酸化反応部から出
たガスを銀、スズ等の金属のペレット（小粒）が充填さ
れたカラムを通過させる、等の対策を講じていた。
液中に塩酸が含まれている場合には、ＴＣ燃焼管１５に
おける燃焼酸化反応により（以下、この部分を総称して
酸化反応部と呼ぶ）、塩化水素（ＨＣｌ）、塩素（Ｃ
ｌ）、塩素酸ガス（Ｃｌ０2）等の腐食性のガス（以
下、これらを塩酸ガスと呼ぶ）が発生する。これらの塩
酸ガスは、ＮＤＩＲ２２によるＣＯ2濃度測定の際に測
定値に影響を与えたり、酸化反応部以降の流路や除湿・
ガス処理部２１及びＮＤＩＲ２２の各部分を腐食させた
りする。このようなことを避けるため、従来のＴＯＣ計
では、（１）試料液を予め希釈しておく、（２）酸化反
応部から出たガスを硝酸銀のような銀イオンを含む溶液
や塩化第一鉄溶液で洗気する、（３）酸化反応部から出
たガスを銀、スズ等の金属のペレット（小粒）が充填さ
れたカラムを通過させる、等の対策を講じていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のＴＯＣ計におけ
る上記各方策では、通常の廃液等のように、せいぜい数
％程度の塩酸しか含まれない試料液に対しては有効であ
るが、試料液にそれ以上の高濃度の塩酸が含まれる場合
には、それらの方策では全く不十分であった。例えば、
電子工業においては半導体基板のエッチングのために高
純度かつ高濃度（濃度１０％以上）の塩酸を含む液を使
用するが、ＴＯＣ計でそのような試料液のＴＯＣ量を測
定しようとすると、酸化反応部において多量の塩酸ガス
が発生し、従来のような銀イオン溶液、塩化第一鉄溶
液、銀、スズペレット等では十分に除去することができ
ない。また、電子工業において用いられる濃塩酸のＴＯ
Ｃ量は一般に１ｐｐｍ以下という極微量であるため、試
料液を予め希釈することは測定精度の点から困難であ
る。さらに、このようにＴＯＣ量が微量であるため、高
感度測定を行なう必要があることから、一方では、通常
よりも多量の試料を注入する必要があるのに対し、他方
では、多量の試料からは多量の塩酸ガスが発生し、銀イ
オン溶液等で除去しきれずにＮＤＩＲ２２に入る塩酸ガ
スがＣＯ2濃度測定の妨害成分となって測定誤差を生じ
る。また、流路等を腐食させるという問題も当然ある。
本発明はこのような課題を解決するために成されたもの
であり、その目的とするところは、高濃度の塩酸を含む
試料液であっても、測定装置を傷めることなく、高感度
に測定を行なうことのできる炭素量測定装置を提供する
ことにある。
る上記各方策では、通常の廃液等のように、せいぜい数
％程度の塩酸しか含まれない試料液に対しては有効であ
るが、試料液にそれ以上の高濃度の塩酸が含まれる場合
には、それらの方策では全く不十分であった。例えば、
電子工業においては半導体基板のエッチングのために高
純度かつ高濃度（濃度１０％以上）の塩酸を含む液を使
用するが、ＴＯＣ計でそのような試料液のＴＯＣ量を測
定しようとすると、酸化反応部において多量の塩酸ガス
が発生し、従来のような銀イオン溶液、塩化第一鉄溶
液、銀、スズペレット等では十分に除去することができ
ない。また、電子工業において用いられる濃塩酸のＴＯ
Ｃ量は一般に１ｐｐｍ以下という極微量であるため、試
料液を予め希釈することは測定精度の点から困難であ
る。さらに、このようにＴＯＣ量が微量であるため、高
感度測定を行なう必要があることから、一方では、通常
よりも多量の試料を注入する必要があるのに対し、他方
では、多量の試料からは多量の塩酸ガスが発生し、銀イ
オン溶液等で除去しきれずにＮＤＩＲ２２に入る塩酸ガ
スがＣＯ2濃度測定の妨害成分となって測定誤差を生じ
る。また、流路等を腐食させるという問題も当然ある。
本発明はこのような課題を解決するために成されたもの
であり、その目的とするところは、高濃度の塩酸を含む
試料液であっても、測定装置を傷めることなく、高感度
に測定を行なうことのできる炭素量測定装置を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明では、酸化反応部において試料液中の
炭素を酸化して二酸化炭素に変換し、二酸化炭素測定部
において二酸化炭素濃度を測定することにより、試料液
中の炭素量を測定する炭素量測定装置において、酸化反
応部から送出されるガスを、２価のスズイオンを含む溶
液中を通過させた後、二酸化炭素測定部に送出するよう
にしたことを特徴とする。
に成された本発明では、酸化反応部において試料液中の
炭素を酸化して二酸化炭素に変換し、二酸化炭素測定部
において二酸化炭素濃度を測定することにより、試料液
中の炭素量を測定する炭素量測定装置において、酸化反
応部から送出されるガスを、２価のスズイオンを含む溶
液中を通過させた後、二酸化炭素測定部に送出するよう
にしたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】試料液中に塩酸が含まれる場合、酸化反応部に
おいて塩酸から塩化水素（ＨＣｌ）、塩素（Ｃｌ）、塩
素酸ガス（Ｃｌ０2）等のガス（塩酸ガス）が発生す
る。なお、ここでいう酸化反応部とは、触媒の存在下で
試料液を高温で酸化させる（燃焼させる）高温酸化部
（上記ＴＯＣ計の例ではＴＣ燃焼管１５）をいう。これ
らの塩酸ガスは２価のスズイオンを含む溶液中で還元さ
れ、その溶液中に吸収される。この２価のスズイオンを
含む溶液が塩化水素ガス等の塩酸ガスを吸収する能力
は、従来の銀イオンを含む溶液や塩化第一鉄溶液のそれ
に対して１０倍以上であるため、高濃度の塩酸を含む試
料液であっても、酸化反応部において生成される塩酸ガ
スの全量を吸収し、二酸化炭素測定部へそれらのガスを
送出させない。従って、酸化反応部以降の流路や二酸化
炭素部等各部の腐食が防止され、また、二酸化炭素測定
部では妨害のない正確な二酸化炭素濃度の測定を行なう
ことができる。
おいて塩酸から塩化水素（ＨＣｌ）、塩素（Ｃｌ）、塩
素酸ガス（Ｃｌ０2）等のガス（塩酸ガス）が発生す
る。なお、ここでいう酸化反応部とは、触媒の存在下で
試料液を高温で酸化させる（燃焼させる）高温酸化部
（上記ＴＯＣ計の例ではＴＣ燃焼管１５）をいう。これ
らの塩酸ガスは２価のスズイオンを含む溶液中で還元さ
れ、その溶液中に吸収される。この２価のスズイオンを
含む溶液が塩化水素ガス等の塩酸ガスを吸収する能力
は、従来の銀イオンを含む溶液や塩化第一鉄溶液のそれ
に対して１０倍以上であるため、高濃度の塩酸を含む試
料液であっても、酸化反応部において生成される塩酸ガ
スの全量を吸収し、二酸化炭素測定部へそれらのガスを
送出させない。従って、酸化反応部以降の流路や二酸化
炭素部等各部の腐食が防止され、また、二酸化炭素測定
部では妨害のない正確な二酸化炭素濃度の測定を行なう
ことができる。
【０００７】
【実施例】本発明の一実施例である全有機体炭素計（Ｔ
ＯＣ計）を図１及び図２により説明する。本実施例のＴ
ＯＣ計は、図２に示した従来の基本的なＴＯＣ計に図１
に示すような塩酸ガス吸収部１８を付加したものであ
り、この塩酸ガス吸収部１８を使用する場合と使用しな
い場合とを切り替えることができるように、ＩＣ反応器
１６と除湿・ガス処理部２１との間に流路切替弁２０を
設けている。
ＯＣ計）を図１及び図２により説明する。本実施例のＴ
ＯＣ計は、図２に示した従来の基本的なＴＯＣ計に図１
に示すような塩酸ガス吸収部１８を付加したものであ
り、この塩酸ガス吸収部１８を使用する場合と使用しな
い場合とを切り替えることができるように、ＩＣ反応器
１６と除湿・ガス処理部２１との間に流路切替弁２０を
設けている。
【０００８】図１に示すように、塩酸ガス吸収部１８に
はスクラバー３１、検知管３４、固体吸収管３６、及
び、ポンプ３９等のスクラバー液交換システムが設けら
れている。スクラバー３１は、ガラス製容器の内部に８
％塩化第一スズ（ＳｎＣｌ2）溶液（スクラバー液）３
２を装填し、上部からスクラバー液３２内に散気管３３
を挿入したものである。なお、塩化第一スズ溶液３２に
は、塩化第一スズ結晶（ＳｎＣｌ2・２Ｈ2Ｏ）が加水分
解して白色沈澱を生ずるのを防止するために少量の塩酸
を加えておくとよい。検知管３４は、ガラス管の内部に
有機色素を含む塩酸ガス検知剤３５を固定したものであ
る。固体吸収管３６は、ガラス管の内部に径約１〜２ｍ
ｍの粒状の銅（銅ペレット）３７を充填したもので、管
の下部にガス導入口が、上部に排出口が設けられてい
る。
はスクラバー３１、検知管３４、固体吸収管３６、及
び、ポンプ３９等のスクラバー液交換システムが設けら
れている。スクラバー３１は、ガラス製容器の内部に８
％塩化第一スズ（ＳｎＣｌ2）溶液（スクラバー液）３
２を装填し、上部からスクラバー液３２内に散気管３３
を挿入したものである。なお、塩化第一スズ溶液３２に
は、塩化第一スズ結晶（ＳｎＣｌ2・２Ｈ2Ｏ）が加水分
解して白色沈澱を生ずるのを防止するために少量の塩酸
を加えておくとよい。検知管３４は、ガラス管の内部に
有機色素を含む塩酸ガス検知剤３５を固定したものであ
る。固体吸収管３６は、ガラス管の内部に径約１〜２ｍ
ｍの粒状の銅（銅ペレット）３７を充填したもので、管
の下部にガス導入口が、上部に排出口が設けられてい
る。
【０００９】本ＴＯＣ計で塩酸濃度の高い（濃度が数％
以上の）試料液１０の有機体炭素量を測定する場合は、
流路切替弁２０を塩酸ガス吸収部１８側（図１の実線）
に切り替える。試料容器からシリンジ１４で吸引された
試料液１０は、４方弁１３の切り替えにより、ＴＣ燃焼
管１５又はＩＣ反応器１６へ送出され、そこで試料液１
０中の炭素成分（ＴＣ燃焼管１５では全炭素、ＩＣ反応
器１６では無機体炭素）が二酸化炭素（ＣＯ2）に変換
される。しかし、ＴＣ燃焼管１５で燃焼される場合、試
料液１０に塩酸が含まれていると塩化水素（ＨＣｌ）、
塩素（Ｃｌ）、塩素酸ガス（Ｃｌ０2）等のガス（塩酸
ガス）が発生し、本来の測定対象であるＣＯ2と一緒に
除湿・ガス処理部２１及びＮＤＩＲ２２へ送出されてし
まう。本実施例ではそれを防止するために、塩酸ガス吸
収部１８で予め塩酸ガスを除去する。
以上の）試料液１０の有機体炭素量を測定する場合は、
流路切替弁２０を塩酸ガス吸収部１８側（図１の実線）
に切り替える。試料容器からシリンジ１４で吸引された
試料液１０は、４方弁１３の切り替えにより、ＴＣ燃焼
管１５又はＩＣ反応器１６へ送出され、そこで試料液１
０中の炭素成分（ＴＣ燃焼管１５では全炭素、ＩＣ反応
器１６では無機体炭素）が二酸化炭素（ＣＯ2）に変換
される。しかし、ＴＣ燃焼管１５で燃焼される場合、試
料液１０に塩酸が含まれていると塩化水素（ＨＣｌ）、
塩素（Ｃｌ）、塩素酸ガス（Ｃｌ０2）等のガス（塩酸
ガス）が発生し、本来の測定対象であるＣＯ2と一緒に
除湿・ガス処理部２１及びＮＤＩＲ２２へ送出されてし
まう。本実施例ではそれを防止するために、塩酸ガス吸
収部１８で予め塩酸ガスを除去する。
【００１０】塩酸ガスを含んだ測定ガスは、まず、流路
切替弁２０からスクラバー３１に送られ、その散気管３
３により塩化第一スズ溶液３２中に細かい泡として放出
される。測定ガス中に含まれる塩酸ガスはこの泡の表面
で塩化第一スズ溶液３２中の２価のスズイオンにより還
元され、錯体を形成して塩化第一スズ溶液３２中に吸収
される。測定ガスはその後検知管３４及び固体吸収管３
６を通過し、流路切替弁２０を経て除湿・ガス処理部２
１及びＮＤＩＲ２２に送出される。
切替弁２０からスクラバー３１に送られ、その散気管３
３により塩化第一スズ溶液３２中に細かい泡として放出
される。測定ガス中に含まれる塩酸ガスはこの泡の表面
で塩化第一スズ溶液３２中の２価のスズイオンにより還
元され、錯体を形成して塩化第一スズ溶液３２中に吸収
される。測定ガスはその後検知管３４及び固体吸収管３
６を通過し、流路切替弁２０を経て除湿・ガス処理部２
１及びＮＤＩＲ２２に送出される。
【００１１】従来のＴＯＣ計でも、試料に少量の塩酸が
含まれる場合を考慮して、それにより発生する塩酸ガス
を除去するために上記同様のスクラバーを用いたものが
あったが、そこでは硝酸銀溶液又は塩化第一鉄溶液を用
いていた。しかし、硝酸銀溶液や塩化第一鉄溶液の塩酸
ガス吸収能力は高くないため、高濃度の塩酸を含む試料
を測定する場合には測定ガス中の塩酸ガスを十分吸収す
ることができず、ＮＤＩＲ２２におけるＣＯ2濃度測定
時に干渉を起こしたり、流路、部品等を腐食させるとい
う問題が生じる。それに対し本実施例のＴＯＣ計ではス
クラバー３１中の溶液として塩化第一スズ溶液３２を用
いているが、塩化第一スズ溶液３２中の２価のスズイオ
ンは塩酸ガスを吸収する能力が従来用いられていた銀イ
オン等のそれの１０倍以上である。このため、測定ガス
中の塩酸ガスは本実施例のスクラバー３１によりほぼ完
全に除去される。
含まれる場合を考慮して、それにより発生する塩酸ガス
を除去するために上記同様のスクラバーを用いたものが
あったが、そこでは硝酸銀溶液又は塩化第一鉄溶液を用
いていた。しかし、硝酸銀溶液や塩化第一鉄溶液の塩酸
ガス吸収能力は高くないため、高濃度の塩酸を含む試料
を測定する場合には測定ガス中の塩酸ガスを十分吸収す
ることができず、ＮＤＩＲ２２におけるＣＯ2濃度測定
時に干渉を起こしたり、流路、部品等を腐食させるとい
う問題が生じる。それに対し本実施例のＴＯＣ計ではス
クラバー３１中の溶液として塩化第一スズ溶液３２を用
いているが、塩化第一スズ溶液３２中の２価のスズイオ
ンは塩酸ガスを吸収する能力が従来用いられていた銀イ
オン等のそれの１０倍以上である。このため、測定ガス
中の塩酸ガスは本実施例のスクラバー３１によりほぼ完
全に除去される。
【００１２】本実施例のＴＯＣ計の塩酸ガス吸収能力を
従来のＴＯＣ計のそれと比較するため、ＴＯＣを０．３
〜０．８ｐｐｍ含む濃度３６％の試薬級の塩酸を試料液
１０として用意し、双方のＴＯＣ計で測定を行なった。
従来のＴＯＣ計では測定ガス中の塩酸ガスを十分に除去
することができないため、ＮＤＩＲ２２におけるＣＯ2
濃度測定時に干渉ピークを生じ、正確なＣＯ2濃度の測
定を行なうことができなかった。一方、本実施例のＴＯ
Ｃ計では、合計４０ｍｌ（２５０μｌ×１６０回）の上
記試料液１０のＴＯＣ測定を行なっても、ＮＤＩＲ２２
における干渉は起こらず、また、流路、部品等の腐食も
生じなかった。
従来のＴＯＣ計のそれと比較するため、ＴＯＣを０．３
〜０．８ｐｐｍ含む濃度３６％の試薬級の塩酸を試料液
１０として用意し、双方のＴＯＣ計で測定を行なった。
従来のＴＯＣ計では測定ガス中の塩酸ガスを十分に除去
することができないため、ＮＤＩＲ２２におけるＣＯ2
濃度測定時に干渉ピークを生じ、正確なＣＯ2濃度の測
定を行なうことができなかった。一方、本実施例のＴＯ
Ｃ計では、合計４０ｍｌ（２５０μｌ×１６０回）の上
記試料液１０のＴＯＣ測定を行なっても、ＮＤＩＲ２２
における干渉は起こらず、また、流路、部品等の腐食も
生じなかった。
【００１３】ただし、塩化第一スズ溶液３２も塩酸ガス
の吸収により変質するため、塩酸ガス吸収能力がいずれ
はなくなる。この場合には、スクラバー３１を出た測定
ガス中に塩酸ガスが残留することがあり得るが、固体吸
収管３６中の銅ペレット３７がそれを確実に捕捉し、除
湿・ガス処理部２１やＮＤＩＲ２２に送出されることを
防止する。また、このとき、検知管３４中の塩酸ガス検
知剤３５の色が変化し、スクラバー３１中の塩化第一ス
ズ溶液３２を交換すべきことを知らせる。劣化した溶液
３２は電磁弁３８を通ってドレイン４１へ排出され、新
しい塩化第一スズ溶液（補充用スクラバー液）４０が貯
留槽からポンプ３９により汲み上げられ、スクラバー３
１に送入される。
の吸収により変質するため、塩酸ガス吸収能力がいずれ
はなくなる。この場合には、スクラバー３１を出た測定
ガス中に塩酸ガスが残留することがあり得るが、固体吸
収管３６中の銅ペレット３７がそれを確実に捕捉し、除
湿・ガス処理部２１やＮＤＩＲ２２に送出されることを
防止する。また、このとき、検知管３４中の塩酸ガス検
知剤３５の色が変化し、スクラバー３１中の塩化第一ス
ズ溶液３２を交換すべきことを知らせる。劣化した溶液
３２は電磁弁３８を通ってドレイン４１へ排出され、新
しい塩化第一スズ溶液（補充用スクラバー液）４０が貯
留槽からポンプ３９により汲み上げられ、スクラバー３
１に送入される。
【００１４】なお、図３に示すように、スクラバー３１
に電位差測定器４４を設け、塩化第一スズ溶液３２の２
価のスズイオンが塩酸ガスと反応して４価のスズイオン
に変化するときの電位の変化を検出することにより、塩
化第一スズ溶液３２の劣化を検出するようにしてもよ
い。この場合には、制御部４３（図２の制御部２３と共
用してもよい）により電磁弁３８及びポンプ３９を運転
させ、スクラバー３１内の塩化第一スズ溶液３２を自動
的に更新させることができる。
に電位差測定器４４を設け、塩化第一スズ溶液３２の２
価のスズイオンが塩酸ガスと反応して４価のスズイオン
に変化するときの電位の変化を検出することにより、塩
化第一スズ溶液３２の劣化を検出するようにしてもよ
い。この場合には、制御部４３（図２の制御部２３と共
用してもよい）により電磁弁３８及びポンプ３９を運転
させ、スクラバー３１内の塩化第一スズ溶液３２を自動
的に更新させることができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明の炭素量測定装置で用いる２価の
スズイオンを含む溶液が塩化水素ガス等のガスを吸収す
る能力は、従来の銀イオンを含む溶液や塩化第一鉄溶液
のそれに対して１０倍以上である。そのため、高濃度の
塩酸を含む試料液であっても、酸化反応部において生成
される塩化水素ガス等の腐食性ガスの全量を吸収するこ
とができ、二酸化炭素測定部へそれらのガスを送出させ
ない。従って、酸化反応部以降の流路や二酸化炭素部等
各部の腐食が防止され、また、二酸化炭素測定部では妨
害のない正確な二酸化炭素濃度の測定を行なうことがで
きる
スズイオンを含む溶液が塩化水素ガス等のガスを吸収す
る能力は、従来の銀イオンを含む溶液や塩化第一鉄溶液
のそれに対して１０倍以上である。そのため、高濃度の
塩酸を含む試料液であっても、酸化反応部において生成
される塩化水素ガス等の腐食性ガスの全量を吸収するこ
とができ、二酸化炭素測定部へそれらのガスを送出させ
ない。従って、酸化反応部以降の流路や二酸化炭素部等
各部の腐食が防止され、また、二酸化炭素測定部では妨
害のない正確な二酸化炭素濃度の測定を行なうことがで
きる
【図１】 本発明の一実施例である全有機体炭素量測定
装置（ＴＯＣ計）の概略構成図。
装置（ＴＯＣ計）の概略構成図。
【図２】 実施例のＴＯＣ計の塩酸ガス吸収部の構成
図。
図。
【図３】 スクラバー液を自動的に更新する装置を備え
たスクラバーの構成図。
たスクラバーの構成図。
１０…試料液 １５…ＴＣ燃焼
管 １６…ＩＣ反応器 １８…塩酸ガス
吸収部 ２０…流路切替弁 ３１…スクラバ
ー ３２…塩化第一スズ溶液（スクラバー液） ３３…散気管 ３４…検知管 ３５…塩酸ガス
検知剤 ３６…固体吸収管 ３７…銅ペレッ
ト ３８…電磁弁 ３９…ポンプ ４４…電位差測定器
管 １６…ＩＣ反応器 １８…塩酸ガス
吸収部 ２０…流路切替弁 ３１…スクラバ
ー ３２…塩化第一スズ溶液（スクラバー液） ３３…散気管 ３４…検知管 ３５…塩酸ガス
検知剤 ３６…固体吸収管 ３７…銅ペレッ
ト ３８…電磁弁 ３９…ポンプ ４４…電位差測定器
Claims (1)
- 【請求項１】 酸化反応部において試料液中の炭素を酸
化して二酸化炭素に変換し、二酸化炭素測定部において
二酸化炭素濃度を測定することにより、試料液中の炭素
量を測定する炭素量測定装置において、 酸化反応部から送出されるガスを、２価のスズイオンを
含む溶液中を通過させた後、二酸化炭素測定部に送出す
るようにしたことを特徴とする炭素量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04148511A JP3074938B2 (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | 炭素量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04148511A JP3074938B2 (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | 炭素量測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322873A JPH05322873A (ja) | 1993-12-07 |
| JP3074938B2 true JP3074938B2 (ja) | 2000-08-07 |
Family
ID=15454406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04148511A Expired - Lifetime JP3074938B2 (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | 炭素量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3074938B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5617623B2 (ja) * | 2010-12-28 | 2014-11-05 | 株式会社島津製作所 | 全有機体炭素測定装置 |
| CN112147287B (zh) * | 2020-10-21 | 2024-01-23 | 西安热工研究院有限公司 | 一种烟气中HCl的在线测量系统及方法 |
-
1992
- 1992-05-15 JP JP04148511A patent/JP3074938B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05322873A (ja) | 1993-12-07 |
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