JP3072099B1 - Sealing resin composition and semiconductor sealing device - Google Patents

Sealing resin composition and semiconductor sealing device

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JP3072099B1
JP3072099B1 JP11230591A JP23059199A JP3072099B1 JP 3072099 B1 JP3072099 B1 JP 3072099B1 JP 11230591 A JP11230591 A JP 11230591A JP 23059199 A JP23059199 A JP 23059199A JP 3072099 B1 JP3072099 B1 JP 3072099B1
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優 土井
晴臣 細川
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Abstract

【要約】 【課題】 特にハロゲン(塩素、臭素)化合物および金
属酸化物を含有しない、新奇なリン系難燃剤の使用によ
り、難燃性、成形性および信頼性のよい、封止用樹脂組
成物および半導体封止装置を提供する。 【解決手段】(A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹
脂、(C)次式で示される有機リン化合物および (D)無機充填剤を必須成分とし、樹脂組成物全体に対
して、前記(C)有機リン化合物を10〜50重量%、
また前記(D)無機充填剤を40〜95重量%の割合で
含有してなる封止用樹脂組成物である。また、この封止
用樹脂組成物の硬化物によって半導体チップを封止して
なる半導体封止装置である。
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To use a novel phosphorus-based flame retardant that does not particularly contain a halogen (chlorine, bromine) compound and a metal oxide, and has a flame-retardant, moldable and reliable resin composition for sealing. And a semiconductor sealing device. (A) an epoxy resin, (B) a phenolic resin, (C) an organic phosphorus compound represented by the following formula: (D) an inorganic filler is an essential component, and the organic phosphorus compound (C) is 10 to 50% by weight based on the entire resin composition;
The sealing resin composition contains the inorganic filler (D) in a ratio of 40 to 95% by weight. Further, the present invention is a semiconductor sealing device in which a semiconductor chip is sealed with a cured product of the sealing resin composition.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ハロゲン(塩素、
臭素)化合物および金属酸化物を添加することなしに、
優れた難燃性を有し、また、成形性および信頼性に優れ
た封止用樹脂組成物および半導体封止装置に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a halogen (chlorine,
Bromine) without the addition of compounds and metal oxides,
The present invention relates to an encapsulating resin composition and a semiconductor encapsulating device having excellent flame retardancy, and excellent in moldability and reliability.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置では、その封止樹脂に難燃性
をもたせることが一般的であり、難燃の処方として、ハ
ロゲン(塩素、臭素)化合物および金属酸化物を単独も
しくは併用することで難燃効果を現している。具体的に
は、臭素化エポキシ樹脂と三酸化アンチモンの組合せが
一般的である。しかし、封止用樹脂組成物の難燃効果を
現すために添加されるハロゲン(塩素、臭素)化合物、
特に臭素化エポキシ樹脂およびその難燃効果を助けるた
めに添加される金属酸化物、特に三酸化アンチモンは、
半導体装置の信頼性を低下させるという欠点があった。
そればかりか、最近では環境への悪影響も指摘され始め
ている。このため、成形性、信頼性に優れた、ハロゲン
(塩素、臭素)化合物および金属酸化物を含有しない封
止用樹脂組成物の開発が強く要望されており、その代替
材として、リン系難燃剤、金属水和物などの検討が広く
進められている。しかし、金属水和物は、十分な成形性
が確保できないばかりか、成形品の吸湿特性の劣化を招
き、半導体封止装置の信頼性を大きく低下させてしまう
欠点があった。そのため、ハロゲン(塩素、臭素)化合
物および金属酸化物を含有せずに、成形性、耐湿性およ
び信頼性に優れた封止用の樹脂組成物の開発が強く要望
されてきた。
2. Description of the Related Art In a semiconductor device, it is general that a sealing resin is provided with flame retardancy. As a flame retardant formulation, a halogen (chlorine, bromine) compound and a metal oxide are used alone or in combination. Shows the flame retardant effect. Specifically, a combination of a brominated epoxy resin and antimony trioxide is generally used. However, halogen (chlorine, bromine) compounds added to exhibit the flame retardant effect of the sealing resin composition,
Metal oxides, especially antimony trioxide, added especially to help the brominated epoxy resin and its flame retardant effect,
There is a disadvantage that the reliability of the semiconductor device is reduced.
Not only that, but the negative effects on the environment have recently been pointed out. For this reason, there is a strong demand for the development of a sealing resin composition which is excellent in moldability and reliability and does not contain a halogen (chlorine, bromine) compound and a metal oxide. Studies on metal hydrates and the like have been widely promoted. However, metal hydrates have the drawbacks that not only cannot sufficient moldability be ensured, but also that the hygroscopic characteristics of the molded article are deteriorated, and the reliability of the semiconductor encapsulation device is greatly reduced. Therefore, there has been a strong demand for the development of a sealing resin composition which does not contain a halogen (chlorine, bromine) compound and a metal oxide and has excellent moldability, moisture resistance and reliability.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記欠点を
解消し、上記要望に応えるためになされたもので、ハロ
ゲン(塩素、臭素)化合物および金属酸化物を含有する
ことなく、十分な難燃性を付与しつつ、成形性および信
頼性に優れた、封止用樹脂組成物および半導体封止装置
を提供しようとするものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks and to meet the above-mentioned demands, and contains a halogen (chlorine, bromine) compound and a metal oxide without containing a halogen compound. An object of the present invention is to provide a sealing resin composition and a semiconductor sealing device which are excellent in moldability and reliability while imparting flammability.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、樹脂組成物
に、特定の有機リン化合物を適当な比率で配合すること
によって、十分な難燃性、成形性とともに信頼性が向上
し、上記目的が達成されることを見いだし、本発明を完
成させたものである。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have made intensive studies to achieve the above object, and as a result, by adding a specific organic phosphorus compound to a resin composition in an appropriate ratio, a sufficient amount of the compound has been obtained. The inventors have found that the above-mentioned object is achieved by improving reliability together with excellent flame retardancy and moldability, thereby completing the present invention.

【0005】即ち、本発明は、(A)エポキシ樹脂、
(B)フェノール樹脂、(C)次の一般式で示される有
機リン化合物および
That is, the present invention provides (A) an epoxy resin,
(B) a phenolic resin, (C) an organic phosphorus compound represented by the following general formula, and

【化3】 (但し、式中、Rは水素原子又はアルキル基を、nは2
〜10の整数を表す) (D)無機充填剤を必須成分とし、樹脂組成物に対し
て、前記(C)有機リン化合物を10〜50重量%、ま
た前記(D)無機充填剤を40〜95重量%の割合で含
有してなることを特徴とする封止用樹脂組成物であり、
また、この封止用樹脂組成物の硬化物によって、半導体
チップを封止してなることを特徴とする半導体封止装置
である。
Embedded image (Where R is a hydrogen atom or an alkyl group, and n is 2
(D represents an integer from 10 to 10) (D) The inorganic filler is an essential component, and the (C) organic phosphorus compound is 10 to 50% by weight, and the (D) inorganic filler is 40 to 50% by weight based on the resin composition. A sealing resin composition characterized by being contained at a ratio of 95% by weight,
Further, there is provided a semiconductor encapsulating apparatus characterized in that a semiconductor chip is encapsulated with a cured product of the encapsulating resin composition.

【0006】以下、本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0007】本発明に用いる(A)エポキシ樹脂として
は、その分子中にエポキシ基を少なくとも2個有する化
合物である限り、分子構造および分子量など特に制限は
なく、一般に封止用材料として使用されるものを広く包
含することができる。例えば、ビフェニル型、ビスフェ
ノール型の芳香族系、シクロヘキサン誘導体等脂肪族
系、また、次の一般式で示されるようなものが挙げられ
る。
The epoxy resin (A) used in the present invention is not particularly limited in molecular structure and molecular weight as long as it is a compound having at least two epoxy groups in its molecule, and is generally used as a sealing material. Can be widely encompassed. For example, biphenyl type and bisphenol type aromatics, aliphatics such as cyclohexane derivatives, and those represented by the following general formulas may be mentioned.

【0008】[0008]

【化4】 (但し、式中、nは1以上の整数を表す) これらのエポキシ樹脂は、単独もしくは2種類以上混合
して用いることができる。
Embedded image (In the formula, n represents an integer of 1 or more.) These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more.

【0009】本発明に用いる(B)フェノール樹脂とし
ては、前記(A)のエポキシ樹脂と反応し得るフェノー
ル性水酸基を2個以上有するものであれば、特に制限す
るものではない。具体的なものとしては、例えば、次の
式に示されるものがある。
The phenolic resin (B) used in the present invention is not particularly limited as long as it has two or more phenolic hydroxyl groups capable of reacting with the epoxy resin (A). As a concrete example, there is, for example, one represented by the following equation.

【0010】[0010]

【化5】 (但し、式中、nは1以上の整数を表す)Embedded image (Where n represents an integer of 1 or more)

【化6】 (但し、式中、nは1以上の整数を表す)等が挙げら
れ、これらの樹脂は、単独もしくは2種類以上混合して
用いることができる。
Embedded image (Where n represents an integer of 1 or more). These resins can be used alone or in combination of two or more.

【0011】フェノール樹脂の配合割合は、前述したエ
ポキシ樹脂のエポキシ基(a)とフェノール樹脂のフェ
ノール性水酸基(b)との当量比(a)/(b)の値が
0.1〜10の範囲内であることが望ましい。当量比が
0.1未満あるいは10を超えると、耐熱性、成形作業
性および硬化物の電気特性が悪くなり、いずれの場合も
好ましくない。従って上記の範囲内に限定するのがよ
い。
The compounding ratio of the phenol resin is such that the value of the equivalent ratio (a) / (b) between the epoxy group (a) of the epoxy resin and the phenolic hydroxyl group (b) of the phenol resin is 0.1 to 10; It is desirable to be within the range. If the equivalent ratio is less than 0.1 or exceeds 10, heat resistance, molding workability, and electrical properties of the cured product are deteriorated, and any case is not preferable. Therefore, it is better to limit to the above range.

【0012】本発明に用いる(C)の有機リン化合物と
しては、次の構造式化7に示されるものであるが、化8
のものが難燃性の面で好ましい。
The organophosphorus compound (C) used in the present invention is represented by the following structural formula (7).
Are preferred in terms of flame retardancy.

【0013】[0013]

【化7】 (但し、式中、Rは水素原子又はアルキル基を、nは2
〜10の整数を表す)
Embedded image (Where R is a hydrogen atom or an alkyl group, and n is 2
Represents an integer from 10 to 10)

【化8】 上記の有機リン化合物の配合割合は、全体の樹脂組成物
に対して10〜50重量%含有することが望ましい。こ
の割合が10重量%未満では、充分な難燃効果が得られ
ず、また50重量%を超えると、封止樹脂の特性が悪く
なり、実用に適さず好ましくない。
Embedded image The compounding ratio of the above organic phosphorus compound is desirably 10 to 50% by weight based on the whole resin composition. If the proportion is less than 10% by weight, a sufficient flame-retardant effect cannot be obtained, and if it exceeds 50% by weight, the properties of the sealing resin deteriorate, which is not suitable for practical use and is not preferred.

【0014】本発明に用いる(D)の無機充填剤として
は、シリカ粉末、アルミナ粉末、タルク、炭酸カルシウ
ム、酸化チタンおよびガラス繊維等が挙げられ、これら
は、単独もしくは2種類以上混合して用いることができ
る。これらのなかでも特にシリカ粉末やアルミナ粉末が
好ましい。無機充填剤の配合割合は、全体の樹脂組成物
に対して40〜95重量%の割合で含有することが望ま
しい。その割合が40重量%未満では、耐熱性、半田耐
熱性、機械的特性および成形性が悪くなり、また、95
重量%を超えると、かさばりが大きくなり成形性に劣り
実用に適さない。
Examples of the inorganic filler (D) used in the present invention include silica powder, alumina powder, talc, calcium carbonate, titanium oxide and glass fiber, and these may be used alone or as a mixture of two or more. be able to. Among these, silica powder and alumina powder are particularly preferred. The inorganic filler is desirably contained in a proportion of 40 to 95% by weight based on the whole resin composition. If the proportion is less than 40% by weight, heat resistance, solder heat resistance, mechanical properties and moldability are deteriorated.
If the content exceeds% by weight, the bulk becomes large and the moldability is poor, which is not suitable for practical use.

【0015】本発明の封止用樹脂組成物は、前述した
(A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹脂、(C)有
機リン化合物および(D)無機充填剤を主成分とする
が、本発明の目的に反しない限度において、また必要に
応じて例えば、天然ワックス類、合成ワックス類、直鎖
脂肪族の金属塩、酸アミド類、エステル類、パラフィン
系等の離型剤、エラストマー等の低応力化成分、カーボ
ンブラック等の着色剤、シランカップリング剤等の無機
充填剤の処理剤、種々の硬化促進剤などを適宜、添加配
合することができる。
The encapsulating resin composition of the present invention comprises the above-mentioned (A) epoxy resin, (B) phenolic resin, (C) organic phosphorus compound and (D) inorganic filler as main components. To the extent not contrary to the purpose of the above, and if necessary, for example, low release agents such as natural waxes, synthetic waxes, linear aliphatic metal salts, acid amides, esters, paraffinic release agents, elastomers, etc. A stressing component, a coloring agent such as carbon black, a treating agent for an inorganic filler such as a silane coupling agent, various curing accelerators, and the like can be appropriately added and blended.

【0016】本発明の封止用樹脂組成物を成形材料とし
て調製する場合の一般的な方法としては、前述したエポ
キシ樹脂、フェノール樹脂、有機リン化合物、無機充填
剤およびその他の成分を配合し、ミキサー等によって十
分均一に混合した後、さらに熱ロールによる溶融混合処
理、またはニーダ等による混合処理を行い、次いで冷却
固化させ、適当な大きさに粉砕して成形材料とすること
ができる。こうして得られた成形材料は、半導体封止を
はじめとする電子部品あるいは電気部品の封止、被覆、
絶縁等に適用すれば、優れた特性と信頼性を付与させる
ことができる。
A general method for preparing the encapsulating resin composition of the present invention as a molding material is to mix the aforementioned epoxy resin, phenol resin, organic phosphorus compound, inorganic filler and other components, After sufficiently mixing with a mixer or the like, a melt-mixing process using a hot roll or a mixing process using a kneader or the like is performed, and then the mixture is solidified by cooling and pulverized to an appropriate size to obtain a molding material. The molding material obtained in this way is used for sealing and coating electronic parts or electric parts including semiconductor encapsulation.
When applied to insulation or the like, excellent characteristics and reliability can be imparted.

【0017】本発明の半導体装置は、上記のようにして
得られた封止用樹脂を用いて、半導体チップを封止する
ことにより容易に製造することができる。封止の最も一
般的な方法としては、低圧トランスファー成形方がある
が、射出成形、圧縮成形および注型などによる封止も可
能である。封止用樹脂組成物を封止の際に加熱して硬化
させ、最終的にはこの組成物の硬化物によって封止され
た半導体封止装置が得られる。加熱による硬化は、15
0℃以上に加熱して硬化させることが望ましい。封止を
行う半導体装置としては、例えば、集積回路、大規模集
積回路、トランジスタ、サイリスタおよびダイオード等
で特に限定されるものではない。
The semiconductor device of the present invention can be easily manufactured by sealing a semiconductor chip using the sealing resin obtained as described above. The most common method of sealing is low pressure transfer molding, but sealing by injection molding, compression molding, casting or the like is also possible. The sealing resin composition is heated and cured at the time of sealing, and finally a semiconductor sealing device sealed with a cured product of this composition is obtained. Curing by heating is 15
Desirably, the composition is cured by heating to 0 ° C. or higher. As a semiconductor device for sealing, for example, an integrated circuit, a large-scale integrated circuit, a transistor, a thyristor, a diode, and the like are not particularly limited.

【0018】[0018]

【作用】本発明の封止用樹脂組成物および半導体封止装
置は、樹脂成分として特定の有機リン化合物を用いたこ
とにより、目的とする特性が得られるものである。即
ち、該当有機リン化合物を適当な比率で配合することに
より、十分な成形性を保ちながら、樹脂組成物に優れた
難燃性を付与し、その化合物の安定性から半導体装置に
おいて信頼性を向上させることができる。
According to the sealing resin composition and the semiconductor sealing device of the present invention, desired characteristics can be obtained by using a specific organic phosphorus compound as a resin component. That is, by blending the relevant organic phosphorus compound in an appropriate ratio, the resin composition is given excellent flame retardancy while maintaining sufficient moldability, and the reliability of the semiconductor device is improved from the stability of the compound. Can be done.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】次に、本発明を実施例によって説
明するが、本発明はこれらの実施例によって限定される
ものではない。以下の実施例および比較例において
「%」とは「重量%」を意味する。
Next, the present invention will be described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following Examples and Comparative Examples, “%” means “% by weight”.

【0020】実施例1 クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量2
00)14%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノ
ール当量105)11%、前記の化8に示した有機リン
化合物7%、溶融シリカ粉末71%およびエステル系ワ
ックス類0.3%を配合し常温で混合し、さらに90〜
95℃で混練してこれを冷却粉砕して成形材料を作成し
た。この成形材料を175℃に加熱した金型内にトラン
スファー注入し、硬化させて成形品(封止品)を成形し
た。この成形品について燃焼性および高温放置特性の試
験を行った。その結果を表1に示す。
Example 1 Cresol novolak type epoxy resin (epoxy equivalent 2
00) 14%, 11% of a novolak type phenol resin (phenol equivalent 105), 7% of the organic phosphorus compound shown in Chemical formula 8, 71% of fused silica powder, and 0.3% of ester waxes were blended at room temperature. Mix, then 90-
The mixture was kneaded at 95 ° C. and cooled and pulverized to prepare a molding material. This molding material was transfer-injected into a mold heated to 175 ° C. and cured to mold a molded product (sealed product). This molded article was tested for flammability and high-temperature storage characteristics. Table 1 shows the results.

【0021】実施例2 クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量2
00)14%に、ノボラック型フェノールアラルキル樹
脂(フェノール当量175)11%、前記の化8に示し
た有機リン化合物5%、溶融シリカ粉末72%およびエ
ステル系ワックス類0.3%を実施例1と同様に混合、
混練、粉砕して成形材料を製造した。また、実施例1と
同様にして成形品をつくり、この成形品について燃焼性
および高温放置特性の試験を行った。その結果を表1に
示す。
Example 2 Cresol novolak type epoxy resin (epoxy equivalent 2
00) 14%, 11% of a novolak type phenol aralkyl resin (phenol equivalent: 175), 5% of the organic phosphorus compound shown in Chemical formula 8, 7% of fused silica powder, and 0.3% of ester waxes. Mixed as well,
The mixture was kneaded and pulverized to produce a molding material. A molded article was prepared in the same manner as in Example 1, and the molded article was tested for flammability and high-temperature storage characteristics. Table 1 shows the results.

【0022】実施例3 クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量20
0)10%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノー
ル当量105)5%、前記の化8に示した有機リン化合
物2%、溶融シリカ粉末80%およびエステル系ワック
ス類0.2%を実施例1と同様に混合、混練、粉砕して
成形材料を製造した。また、実施例1と同様にして成形
品をつくり、この成形品について燃焼性および高温放置
特性の試験を行った。その結果を表1に示す。
Example 3 Cresol novolak epoxy resin (epoxy equivalent: 20)
0) 10%, 5% of novolak type phenol resin (phenol equivalent: 105), 2% of the organic phosphorus compound shown in Chemical formula 8, 80% of fused silica powder, and 0.2% of ester waxes as in Example 1. Similarly, mixing, kneading and pulverization were performed to produce a molding material. A molded article was prepared in the same manner as in Example 1, and the molded article was tested for flammability and high-temperature storage characteristics. Table 1 shows the results.

【0023】実施例4 クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量20
0)10%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノー
ル当量105)5%、前記の化7に示した有機リン化合
物(n=2、R=CH3 )2%、溶融シリカ粉末80%
およびエステル系ワックス類0.2%を実施例1と同様
に混合、混練、粉砕して成形材料を製造した。また、実
施例1と同様にして成形品をつくり、この成形品につい
て燃焼性および高温放置特性の試験を行った。その結果
を表1に示す。
Example 4 Cresol novolak epoxy resin (epoxy equivalent: 20)
0) 10%, 5% of novolak type phenol resin (phenol equivalent 105), 2% of organic phosphorus compound (n = 2, R = CH 3 ) shown in Chemical formula 7, 80% of fused silica powder
And 0.2% of ester waxes were mixed, kneaded and pulverized in the same manner as in Example 1 to produce a molding material. A molded article was prepared in the same manner as in Example 1, and the molded article was tested for flammability and high-temperature storage characteristics. Table 1 shows the results.

【0024】比較例1 クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量2
00)14%に、臭素化エポキシ樹脂(エポキシ当量2
70)3%、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール
当量105)9%、溶融シリカ粉末70%、三酸化アン
チモン1%およびエステル系ワックス類0.3%を実施
例1と同様に混合、混練、粉砕して成形材料を製造し
た。また、実施例1と同様にして成形品をつくり、この
成形品について燃焼性および高温放置特性の試験を行っ
た。その結果を表1に示す。
Comparative Example 1 Cresol novolak type epoxy resin (epoxy equivalent 2
00) 14% with a brominated epoxy resin (epoxy equivalent 2
70) 3%, 9% of novolak type phenol resin (phenol equivalent 105), 70% of fused silica powder, 1% of antimony trioxide and 0.3% of ester waxes were mixed, kneaded and pulverized in the same manner as in Example 1. To produce a molding material. A molded article was prepared in the same manner as in Example 1, and the molded article was tested for flammability and high-temperature storage characteristics. Table 1 shows the results.

【0025】比較例2 クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量20
0)17%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノー
ル当量105)10%、溶融シリカ粉末71%およびエ
ステル系ワックス類0.3%を実施例1と同様に混合、
混練、粉砕して成形材料を製造した。また、実施例1と
同様にして成形品をつくり、この成形品について燃焼性
および高温放置特性の試験を行った。その結果を表1に
示す。
Comparative Example 2 Cresol novolak epoxy resin (epoxy equivalent: 20)
0) 17%, 10% of novolak type phenol resin (phenol equivalent 105), 71% of fused silica powder and 0.3% of ester waxes were mixed in the same manner as in Example 1,
The mixture was kneaded and pulverized to produce a molding material. A molded article was prepared in the same manner as in Example 1, and the molded article was tested for flammability and high-temperature storage characteristics. Table 1 shows the results.

【0026】[0026]

【表1】 *1:トランスファー成形によって120×12×1.
6mmおよび120×12×3.2mmの成形品をつく
り、175℃、8時間放置した後、UL−94V耐炎性
試験規格に基づき燃焼性の試験を行った。
[Table 1] * 1: 120 × 12 × 1. By transfer molding.
After forming molded articles of 6 mm and 120 × 12 × 3.2 mm, and left at 175 ° C. for 8 hours, a flammability test was performed based on UL-94V flame resistance test standard.

【0027】*2:成形材料を用いて2本のアルミ配線
を有するシリコン製チップ(テスト素子)を銅フレーム
に接着し、175℃で2分間トランスファー成形して、
DIP−14の成形品をつくり、175℃において4時
間後硬化させた後、200℃の恒温槽に保管し、所定時
間毎に取り出して導通試験を行った。
* 2: A silicon chip (test element) having two aluminum wirings was adhered to a copper frame using a molding material, and transfer molded at 175 ° C. for 2 minutes.
A molded article of DIP-14 was made and post-cured at 175 ° C. for 4 hours, then stored in a thermostat at 200 ° C., taken out every predetermined time, and subjected to a conduction test.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上の説明および表1から明らかなよう
に、本発明の封止用樹脂組成物および半導体封止装置
は、難燃性に優れているにもかかわらず、高温放置特性
に優れ、その結果、電極の腐食による断線不良を著しく
低減することができ、長期にわたる信頼性を保証するこ
とができた。
As is clear from the above description and Table 1, the encapsulating resin composition and the semiconductor encapsulating apparatus of the present invention have excellent high-temperature storage characteristics despite excellent flame retardancy. As a result, disconnection failure due to corrosion of the electrode can be significantly reduced, and long-term reliability can be guaranteed.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI //(C08K 13/02 3:36 5:5313) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08L 63/00 - 63/10 C08G 59/62 C08K 3/36 C08K 5/5313 H01L 23/29 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 identification symbol FI // (C08K 13/02 3:36 5: 5313) (58) Investigated field (Int.Cl. 7 , DB name) C08L 63 / 00-63/10 C08G 59/62 C08K 3/36 C08K 5/5313 H01L 23/29

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール
樹脂、(C)次の一般式で示される有機リン化合物およ
び 【化1】 (但し、式中、Rは水素原子又はアルキル基を、nは2
〜10の整数を表す) (D)無機充填剤を必須成分とし、樹脂組成物に対し
て、前記(C)有機リン化合物を10〜50重量%、ま
た前記(D)無機充填剤を40〜95重量%の割合で含
有してなることを特徴とする封止用樹脂組成物。
(A) an epoxy resin, (B) a phenolic resin, (C) an organic phosphorus compound represented by the following general formula, and (Where R is a hydrogen atom or an alkyl group, and n is 2
(D represents an integer from 10 to 10) (D) The inorganic filler is an essential component, and the (C) organic phosphorus compound is 10 to 50% by weight, and the (D) inorganic filler is 40 to 50% by weight based on the resin composition. A resin composition for encapsulation, comprising 95% by weight.
【請求項2】 (D)無機質充填剤が、シリカ粉末であ
る請求項1記載の封止用樹脂組成物。
2. The sealing resin composition according to claim 1, wherein (D) the inorganic filler is a silica powder.
【請求項3】 (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール
樹脂、(C)次の一般式で示される有機リン化合物およ
び 【化2】 (但し、式中、Rは水素原子又はアルキル基を、nは2
〜10の整数を表す) (D)無機充填剤を必須成分とし、樹脂組成物に対し
て、前記(C)有機リン化合物を10〜50重量%、ま
た前記(D)無機充填剤を40〜95重量%の割合で含
有した封止用樹脂組成物の硬化物によって、半導体チッ
プを封止してなることを特徴とする半導体封止装置。
3. An epoxy resin, (B) a phenolic resin, (C) an organic phosphorus compound represented by the following general formula, and (Where R is a hydrogen atom or an alkyl group, and n is 2
(D represents an integer from 10 to 10) (D) The inorganic filler is an essential component, and the (C) organic phosphorus compound is 10 to 50% by weight, and the (D) inorganic filler is 40 to 50% by weight based on the resin composition. A semiconductor sealing device, wherein a semiconductor chip is sealed with a cured product of a sealing resin composition contained at a ratio of 95% by weight.
【請求項4】 (D)無機質充填剤が、シリカ粉末であ
る請求項3記載の半導体封止装置。
4. The semiconductor sealing device according to claim 3, wherein (D) the inorganic filler is a silica powder.
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