JP3071228B2 - チャック用回転流体圧力シリンダ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、旋盤等に於て工作物を
把持して回転するチャックを流体圧力によって締付駆動
する回転流体圧力シリンダ装置に関し、詳しくは、チャ
ックによる締付力を可変とするものに関する。

【０００２】

【従来の技術】工作機械による切削加工では、加工時間
を短縮して能率を向上させる為、まず大きな切削代で荒
加工を行ない、次いで小さな切削代で仕上加工を行なう
という加工工程が採られる。工作物を回転駆動されるチ
ャックに把持して切削加工を行なう旋盤では、チャック
による工作物の把持は、荒加工等重切削の際には大きな
締付力を必要とする一方、仕上加工の際にも重切削の際
と同じ締付力のままでは該締付力に起因する工作物の変
形で加工精度に狂いを生じる虞がある為、仕上加工時に
は荒加工時より締付力を小さく変更する必要がある。

【０００３】この荒加工から仕上加工に移行する際の締
付力変更は、作業効率上工作物をチャックに把持したま
まの状態でしかも回転中に行なえることが望ましく、こ
のようなチャックの締付力変更を可能とするものとし
て、本出願人は先に特開昭６２−２２８３０７号に示す
構成を提案した。これは、作動流体として例えば油を利
用し、その圧力（油圧）によってチャックを把持駆動す
ると共に、作用油圧を変化させることでその締付力を可
変として構成したものである。

【０００４】その一例の概念構成を図１３に示す。図示
構成は、ポンプＰからの高圧の作動油が、高圧と低圧の
異なる出口油圧に設定された高圧減圧弁２Ａ及び低圧減
圧弁２Ｂと、該減圧弁２Ａ，２Ｂからの油圧を択一的に
出力するよう切換える高低圧切換弁２Ｃと、を備えた変
圧機構２に供給され、該変圧機構２からの圧油をチャッ
ク開閉切換弁３が、シリンダ４のピストンＰＳによって
隔絶される左右何れかのシリンダ室４Ａ，４Ｂ（把持側
シリンダ室４Ａ，解除側シリンダ室４Ｂ）に油路６Ａ，
６Ｂ（把持側油路６Ａ，解除側油路６Ｂ）を介して選択
的に供給し得るようになっており、又、ピストンＰＳは
ロッドＲを介してチャックＣに連結されて、該ピストン
ＰＳの図中左側への移動によってチャックＣが工作物Ｗ
の外径を把持する側に駆動されるようになっているもの
である。

【０００５】シリンダ４は、回転可能に構成されてお
り、チャック開閉切換弁３からシリンダ室４Ａ，４Ｂに
至る油路６Ａ，６Ｂは、その途中で回転継手５を介して
接続され、該回転継手よりシリンダ４側の油路６Ａ，６
Ｂには、夫々、圧力保持機構７（把持側圧力保持機構７
Ａ，解除側圧力保持機構７Ｂ）と、圧力開放機構８（把
持側圧力開放機構８Ａ，解除側圧力開放機構８Ｂ）がシ
リンダ４に一体に設けられている。これら把持側及び解
除側の油路構成は全く同様に構成されており、以下特に
区別せずに説明するが、図中符号の末尾にＡを付したも
のが把持側、Ｂを付したものが解除側を示している。

【０００６】圧力保持機構７は、回転継手５よりシリン
ダ４側の油路６に逆止弁７１を油圧供給側を一次側とし
て介設すると共に、該逆止弁７１と対向させてそのポペ
ット弁を押圧して開放操作可能なプランジャ７２を設け
て構成されており、該プランジャ７２を逆止弁７１開放
操作側に駆動する油圧室はパイロット通路７１Ｐによっ
て他方側の圧力保持機構７よりシリンダ４側の油路６に
接続されている。又、圧力開放機構８は、圧力保持機構
７の逆止弁７１を挟む油路６の上流側と下流側（油圧供
給側とシリンダ４側）とを連通させるバイパス通路７１
Ｂに、油圧供給側を一次側として逆止弁８１を介設する
と共に、該逆止弁８１と対向させてそのポペット弁を押
圧して開放操作可能なプランジャ８２を設けて構成さ
れ、該プランジャ８２を逆止弁８１開放操作側に駆動す
る油圧室には、ポンプＰからの油圧がパイロット用切換
弁９を介して供給乃至供給停止されるようになってい
る。

【０００７】上記の如き構成により、変圧機構２からの
圧油をチャック開閉切換弁３により油路６Ａ，６Ｂの何
れかを介してシリンダ室４Ａ，４Ｂの何れかに供給する
と共に他方のシリンダ室４Ａ，４Ｂ内の油を排出させる
ことにより、シリンダ室４Ａ，４Ｂに供給される油圧に
応じた締付力でチャックＣが工作物Ｗの外径を把持す
る。即ち、図示状態は、変圧機構２の高低圧切換弁２Ｃ
は低圧減圧弁２Ｂ側に切換えられると共に、チャック開
閉切換弁３は変圧機構２からの油圧を開放側シリンダ室
４Ｂに至る開放側油路６Ｂに供給する側に切換えられて
おり、解除側圧力保持機構７Ｂの逆止弁７１を介して開
放側シリンダ室４Ｂに圧油が供給され、又、該開放側油
路６Ｂの圧力がパイロット通路７１Ｐを介して把持側圧
力保持機構７Ａのプランジャ７２に作用し、該プランジ
ャ７２を移動駆動して逆止弁７１を開放させて把持側シ
リンダ室４Ａ内の油は把持側油路６Ａを介して排出可能
になっており、この時、チャックＣは開いている。

【０００８】この状態から、荒加工の際に適用される工
作物Ｗを大きな締付力で把持するには、変圧機構２の高
低圧切換弁２Ｃを高圧減圧弁２Ａ側に切換えると共にチ
ャック開閉切換弁３を変圧機構２からの圧油を把持側油
路６Ａに供給するよう切換え、変圧機構２からの高圧油
を把持側油路６Ａに供給すると、圧油は把持側圧力保持
機構７Ａの逆止弁７１を介して把持側シリンダ室４Ａに
流入し、この把持側油路６Ａ内の油圧がパイロット通路
７１Ｐを介して解除側圧力保持機構７Ｂのプランジャ７
２に作用して逆止弁７１を開放させる。その結果、把持
側シリンダ室４Ａ内に圧油が供給されると共に解除側シ
リンダ室４Ｂ内の油は解除側油路６Ｂを介して排出さ
れ、ピストンＰＳは図中左側に移動駆動されてチャック
Ｃを把持駆動する。把持側圧力保持機構７Ａのプランジ
ャ７２は解除側油路６Ｂの圧力低下によって逆止弁７１
を開放操作しない位置に退避するが、逆止弁７１は把持
側シリンダ室４Ａに圧油が流入している間はその圧力差
によって開放状態にあり、その上流と下流側（チャック
開閉切換弁３側とシリンダ４側）の圧力が変圧機構２か
らの出力油圧で一定となって把持側シリンダ室４Ａへの
圧油の流入が停止した段階で閉止状態となる。この時、
チャックＣは変圧機構２からの出力油圧（高圧減圧弁２
Ａの出口圧）に応じた締付力即ち荒加工の際に適用され
る大きな締付力で工作物Ｗを把持する。

【０００９】この大きな締付力で工作物Ｗを把持した状
態での荒加工が終了した後、仕上加工に移行する際に
は、変圧機構２の高低圧切換弁２Ｃを低圧を出力する低
圧減圧弁２Ｂ側に切換えると共に、パイロット用切換弁
９を切換えて把持側油路６Ａ及び解除側油路６Ｂの両方
の圧力開放機構８（把持側圧力開放機構８Ａ，解除側圧
力開放機構８Ｂ）のプランジャ８２，８２を移動駆動し
て逆止弁８１，８１を開放させる。その結果、シリンダ
室４Ａ内の油圧は低圧減圧弁２Ｂ側の出口油圧に低下
し、チャックＣによる工作物Ｗを把持する締付力は変圧
機構２からの圧力（低圧減圧弁２Ｂの出口圧）に応じた
仕上加工用の小さな締付力に変更されるものである。

【００１０】

【従来技術の課題】上記の如き従来構成では、荒加工工
程から仕上加工工程に移行する際の締付力変更時に、例
えば停電等によって圧油の供給が停止した場合、把持側
油路６Ａを介しての油圧の供給が停止することとなって
把持側シリンダ室４Ａ内の圧油は把持側圧力開放機構８
Ａの逆止弁８１を介して供給側に逃げる状態となる。こ
れは、把持側圧力開放機構８Ａのプランジャ８２の作動
油圧低下によって逆止弁８１がプランジャ８２を押し戻
しつつ閉塞状態となることによって阻止されるが、この
圧力供給停止から逆止弁８１が閉塞に至る迄に要する時
間は逆止弁８１の復帰スプリングの付勢力に依存し、強
い程迅速に閉塞状態とすることができる。しかし、この
逆止弁８１の復帰スプリングの付勢力はプランジャ８２
による押圧操作力との関係で設定されるものであって無
闇に強くすることはできず、圧力供給停止から逆止弁８
１閉塞迄にタイムラグが生ずることは避けられない。更
に、油路６Ａには、把持側シリンダ室４Ａからの圧油の
逃げを規制するものは何ら備えられていないものであっ
た。

【００１１】その結果、締付力変更中に圧油の供給が停
止されると、この油圧供給停止から逆止弁８１が閉塞さ
れる迄のタイムラグの間にシリンダ室４Ａ内の圧油が逆
止弁８１を介して逃げ、チャックＣによる工作物Ｗを把
持する締付力が低下してしまうという問題がある。更
に、チャックＣが高速回転中である場合には、逆止弁８
１及びプランジャ８２は作用する遠心力によってその移
動抵抗が増加し、逆止弁８１閉鎖に至るタイムラグが一
層増大する。つまり、締付力変更中に油圧の供給が停止
されるような事態が生ずると、チャックＣによる工作物
Ｗを把持する締付力が低下して保持が不安定となる虞が
あり、安全性確保の為にはチャックＣの回転を停止して
締付力変更を行なわなければならず、これが効率向上の
障害となっていた。尚、前記圧力開放機構８を逆止弁８
１のみとすると共に該逆止弁８１を油圧供給側の圧力が
シリンダ４側より所定量低圧となった時バイパス通路７
１Ｂを閉ざす圧力バランスとして設定し、変圧機構２か
ら常時所定の油圧を供給し油圧供給側とシリンダ４側の
圧力が等しい時には常時開放する構成も考えられるが、
その場合も油圧供給停止から逆止弁８１が閉塞される迄
のタイムラグの間にシリンダ室４Ａ内の圧油が逆止弁８
１を介して逃げてチャックＣによる工作物Ｗを把持する
締付力が低下するという問題は前述の場合と同様であ
り、更にこの構成では締付力変更時のみでなく工作物把
持作用中常にその危険を有するものである。

【００１２】

【発明の目的】本発明は、上記の如き事情に鑑み、流体
圧供給側の圧力を低下させることによってシリンダ側の
圧力を所定低圧に低下させてチャックによる工作物把持
締付力を小さく変化させることができると共に、油圧の
供給が停止して流体圧供給側の圧力が低下した場合には
逆止弁を迅速に閉塞させることによってシリンダからの
圧油の流出を防いでチャックの把持締付力を維持するこ
とができ、チャックの回転中でも締付力変更を安全に行
なえ、作業効率の向上に寄与できるチャック用回転流体
圧力シリンダ装置の提供、を目的とする。

【００１３】

【発明の構成】このため、本発明に係るチャック用回転
流体圧力シリンダ装置は、チャックを把持駆動するシリ
ンダへ流体圧力発生源から圧力流体を供給する流体通路
に、流体圧供給側の圧力によって開放作動するチェック
弁と、該チェック弁を強制的に開放操作可能なプランジ
ャとにより構成される把持ロック機構を介設したものに
於て、把持ロック機構のチェック弁を迂回するバイパス
通路を形成し、該バイパス通路に、流体圧供給側に復帰
スプリングによってシール付勢される逆止弁と、該逆止
弁を開放側に移動操作可能な操作部材を介設し、逆止弁
と操作部材の受圧面積比と復帰スプリングによる復帰力
とを流体圧供給側の圧力がシリンダ側より所定量低圧の
時バランスするよう設定すると共に、逆止弁の開放時に
流体圧供給側とシリンダ側とが所定の流通抵抗を有する
抵抗通路を介して連通状態となるよう構成したものであ
る。

【００１４】

【発明の作用】上記構成によれば、抵抗通路を介して連
通状態にあるシリンダ側の圧力が追従し得る速さで流体
圧供給側の圧力を低下させることによりシリンダ側の圧
力を所定低圧に低下させてチャックによる工作物把持締
付力を小さく変化させることができる。一方、停電等に
よって流体圧供給側の圧力が急激に低下した場合には、
シリンダ側の圧力低下は抵抗通路を介して遅い為に流体
圧供給側とシリンダ側の圧力にアンバランスが生じ、更
に、シリンダ側の流体圧力は逆止弁を閉止側に駆動する
方向に作用することとなり、逆止弁が迅速に閉塞作動し
てシリンダ内の圧力低下を僅かに抑えてチャックの把持
締付力を維持する。

【００１５】

【発明の実施例】以下、本発明の実施例を図面に基いて
説明する。図１は、本発明に係るチャック用回転流体圧
力シリンダ装置の一実施例の外形斜視図であり、図２は
そのＡ−Ａ断面図、図３はＢ−Ｂ断面図、又、図５は油
圧回路構成の概念図である。尚、本実施例は流体として
油を用いるものである。図示チャック用回転流体圧力シ
リンダ装置１は、大径の胴部４１の一方側面（図中左側
面）に小径の軸部４２を同中心で延設形成した回転軸４
０を、その軸部４２にベアリング９１，９１を介して外
挿されたスリーブボディ５０によって回転自在に保持
し、該回転軸４０の胴部４１の側面に該胴部４１と同径
のシリンダボディ３１をボルト９２で結合して構成され
ている。

【００１６】シリンダボディ３１には、回転軸４０と対
向する側に円板状のシリンダ室３０が形成されており、
このシリンダ室３０内にピストン７０がその外周とシリ
ンダ室３０内壁との間にシール部材であるＯリング９３
を介して摺動可能に嵌挿されて、該ピストン７０がシリ
ンダ室３０内を把持側シリンダ室３０Ａと解除側シリン
ダ室３０Ｂとの二室に気密的に隔成している。

【００１７】ピストン７０は、その中心から左右に延設
形成された小径のピストンロッド７１，７２の一方（ピ
ストンロッド７２）が回転軸４０の中心を長手方向に貫
通すると共に他方（ピストンロッド７１）はシリンダボ
ディ３１を貫通し、更に、シリンダボディ３１側の側面
に植設されたガイドピン９４がシリンダボディ３１に形
成されたガイド孔３２に嵌合してその軸方向に摺動可能
として配設されており、シリンダボディ３１との間に形
成された両シリンダ室３０Ａ，３０Ｂへの詳しくは後述
する油路６３（６３Ａ，６３Ｂ）を介する作動油（油
圧）の供給乃至排出により、シリンダ室３０Ａ，３０Ｂ
間の圧力バランスに応じて移動駆動されるようになって
いるものである。本実施例では、把持側シリンダ室３０
Ａに油圧が把持側油路６３Ａを介して供給されてピスト
ン７０が図中左方向に移動駆動されると図示しないチャ
ックを外径把持駆動し、解除側シリンダ室３０Ｂに油圧
が解除側油路６３Ｂを介して供給されてピストン７０が
図中右方向に移動駆動されるとチャックを外径把持解除
駆動するようになっている。

【００１８】回転軸４０のスリーブボディ５０側の端面
には、ストッパ８０がボルト９５によって固定されてお
り、このストッパ８０は軸端側のベアリング９１の内輪
に当接して軸部４２がスリーブボディ５０から抜け落ち
ることを防いでいる。又、これと対応するスリーブボデ
ィ５０の側面にはスリーブカバー８１がストッパ８０に
外挿されてボルト９６によって固定され、両者の対向す
る面にはオイルの流出を防ぐラビリンス溝が形成されて
いる。

【００１９】回転軸４０の軸部４２は、前述の如くベア
リング９１，９１を介してスリーブボディ５０に支持さ
れているが、両者（４２，５０）の嵌合部は例えば数１
０ミクロンメータ程度の極めて微小な間隔に設定されて
おり、ここに、スリーブボディ５０側から回転軸４０側
に作動油を供給する回転継手５が構成されている。即
ち、スリーブボディ５０には、その外面所定位置から中
心に向けて供給路６１（把持側供給路６１Ａ，解除側供
給路６１Ｂ）が貫通形成されると共に、該供給路６１
Ａ，６１Ｂが開口する内周部位に円周方向に連続する環
状溝６２（把持側環状溝６２Ａ，解除側環状溝６２Ｂ）
が形成され、この環状溝６２Ａ，６２Ｂと対応する軸部
４２外周に、後述する圧力保持機構１０（把持側圧力保
持機構１０Ａ，解除側圧力保持機構１０Ｂ）及び圧力開
放機構２０（把持側圧力開放機構２０Ａ，解除側圧力開
放機構２０Ｂ）を介してシリンダ室３０（３０Ａ，３０
Ｂ）に連通する油路６３（把持側油路６３Ａ，解除側油
路６３Ｂ）及びバイパス油路６５（把持側バイパス油路
６５Ａ，解除側バイパス油路６５Ｂ）が開口形成されて
いるものである。ここで供給路６１から供給される圧油
は環状溝６２を介して油路６３及びバイパス油路６５内
に供給されるが、スリーブボディ５０と軸部４２の微小
な隙間を介する微量の油はベアリング９１，９１の潤滑
に供された後スリーブボディ５０の下側に設けられたド
レン溜り８２に至り、回収されるようになっている。

【００２０】回転軸４０の胴部４１内には、図２に示す
如く把持ロック機構としての二つの圧力保持機構１０
（１０Ａ，１０Ｂ）が中心を挟む対称位置に設けられる
と共に、図３に示す如く二つの圧力開放機構２０（２０
Ａ，２０Ｂ）が中心を挟む対称位置に設けられている。
これら圧力保持機構１０Ａ，１０Ｂと圧力開放機構２０
Ａ，２０Ｂは、図１の左側面図相当の概略図である図４
に示す如く、同一円周上に等角度（９０度）間隔で交互
に配置されているものである。回転継手５からシリンダ
室３０に至る油路６３及びバイパス油路６５と夫々に介
設された圧力保持機構１０及び圧力開放機構２０は、把
持側と解除側とが全く同じ構成となっており、以下特に
区別せずに説明するが、図中符号の末尾にＡを付したも
のが把持側、Ｂを付したものが解除側として示してあ
る。

【００２１】圧力保持機構１０は、回転継手からシリン
ダ室３０に至る油路６３にその油圧供給側（回転継手５
側）を一次側としてチェック弁１１を介設すると共に、
該チェック弁１１と対向させて該チェック弁１１を押圧
して開放操作可能なプランジャ１２を設けて構成されて
おり、該プランジャ１２をチェック弁１１開放操作側に
駆動する油圧室１３は、パイロット油路６４によって他
方側の圧力保持機構１０のチェック弁１１より油圧供給
側の油路６３に接続されている。この圧力保持機構１０
のチェック弁１１を挟む油路６３の上流側と下流側（油
圧供給側である回転継手５側とシリンダ室３０側）とが
バイパス通路としてのバイパス油路６５で結ばれ、この
バイパス油路６５に、圧力開放機構２０が介設されてい
る。

【００２２】圧力開放機構２０は、上述の圧力保持機構
１０と基本的には同様の構成であって、バイパス油路６
５に、油圧供給側を一次側として逆止弁２１を介設する
と共に、該逆止弁２１と対向させてそのポペット２２を
押圧して開放操作可能な操作部材としてのプランジャ２
３を設けて構成され、該プランジャ２３を逆止弁２１開
放操作側に駆動するチャンバ２５には、油圧供給側のバ
イパス油路６５が接続されているものである。以下、こ
の圧力開放機構２０をその拡大図である図６に基いてよ
り詳細に説明する。圧力開放機構２０は、回転軸４０の
胴部４１のシリンダ室３０側に所定深さで穿設された配
設穴４１Ａに円筒状のハウジング２４を嵌挿すると共
に、このハウジング２４の左右端部にプランジャ２３と
ポペット２２を内設して構成されている。ハウジング２
４の内周には、その軸方向中央に内周を小径とした隔壁
２４Ａが形成されており、該隔壁２４Ａのポペット２２
と対向する側の壁面には、後述するポペット２２先端の
シール面２２Ａと合致するテーパ状の弁座２４Ｂが形成
されている。配設穴４１Ａの開口部は、回転軸４０のシ
リンダ室３０側の側面４１Ｂにボルト９７によって固定
された押えカバー８３によって支持された封塞リング８
４によって閉塞され、該封塞リング８４の内端部がハウ
ジング２４の端部に当接して該ハウジング２４は移動不
能となっている。

【００２３】プランジャ２３は、ハウジング２４の端部
内周に摺動可能に嵌合する大径部２３Ａから隔壁２４Ａ
内周に摺動可能に嵌合する小径部２３Ｂが突設されると
共に、その中央軸方向に連通油路２３Ｃが貫通穿設され
て形成されており、ハウジング２４の配設穴４１Ａ底面
側に摺動移動可能に嵌挿されている。小径部２３Ｂの先
端は更に一段小径化されており、連通油路２３Ｃは先端
部近傍で屈曲されてこの段部に開口されている。又、こ
のプランジャ２３の背面（図中左側面）と配設穴４１Ａ
の底面との間にチャンバ２５が形成され、該チャンバ２
５には前述の如く同じ側の圧力保持機構１０より油圧供
給側のバイパス油路６５が接続されている。尚、プラン
ジャ２３を貫通してチャンバ２５と先端側を連通する連
通油路２３Ｃは後述するポペット２２の先端側に圧油を
供給する為のものであり、同機能であれば構成は適宜変
更可能である。図５はプランジャ２３を貫通させること
なくハウジング２４の側部から直接ポペット２２側に供
給する図になっている。又、プランジャ２３の大径部２
３Ａ側面と小径部２３Ｂの外周及び隔壁２４Ａのプラン
ジャ２３側の壁面に囲まれた空間部２８は、油排出通路
であるドレン通路６６に接続されて大気圧となってい
る。

【００２４】ポペット２２は、先端に先細りのテーパ状
のシール面２２Ａが形成された略円柱状であって、先端
テーパ部２２Ａを隔壁２４Ａに向けてハウジング２４の
シリンダ室３０側の端部に摺動可能に嵌挿されている。
又、先端シール面２２Ａの所定部位にシールリング溝２
２Ｂが形成されてここにシールリング２２Ｃが装着さ
れ、更に、このシールリング溝２２Ｂより背面側（図中
右側）で且つハウジング２４内周面によって閉塞されな
い部位と背面側とを連通する抵抗通路としての小径通路
２２Ｄが穿設されている。ポペット２２の背面側には、
封塞リング８４との間に油室２６が形成されてこの油室
２６には圧力保持機構１０よりシリンダ室３０側に連通
するバイパス油路６５が接続されると共に、該油室２６
内に復帰スプリング２７が介設されており、ポペット２
２はこの復帰スプリング２７によってその先端シール面
２２Ａがハウジング２４の弁座２４Ｂと密着する側に押
圧付勢されている。

【００２５】つまり、ポペット２２，ハウジング２４，
復帰スプリング２７によって逆止弁２１が構成され、該
逆止弁２１はプランジャ２３内の連通油路２３Ｃによっ
て連通するチャンバ２５を一次側とし油室２６を二次側
として配置されていることとなる。ここで、ポペット２
２の背面側外周は該ポペット２２が復帰スプリング２７
の付勢力に抗して移動された場合でもハウジング２４の
内周と気密的な嵌合状態にあり、チャンバ２５と油室２
６とは小径通路２２Ｄを介してのみ連通状態となるよう
に設定されている。チャンバ２５にはシリンダ室３０Ａ
側と連通するバイパス油路６５が接続されると共に油室
２６は油圧供給側のバイパス油路６５に接続されている
ことから、結局、上記逆止弁２１は圧力保持機構１０を
迂回するバイパス油路６５内に油圧供給側を一次側とし
て介設されていることとなる。

【００２６】上記の如く構成された把持側圧力開放機構
２０では、チャンバ２５に油圧が作用していない状態で
は、図６に示す如くプランジャ２３は図中左側に位置す
ると共に、ポペット２２は復帰スプリング２７の押圧付
勢力でシール面２２Ａがハウジング２４の弁座２４Ｂに
押圧されてシール状態にあり、従って、バイパス油路６
５を閉塞した状態にある。この状態から、チャンバ２５
に油圧が作用すると、プランジャ２３はポペット２２側
（図中右側）に移動駆動され、その先端がポペット２２
に当接してこれを押圧し、該ポペット２２をそのシール
面２２Ａがハウジング２４の弁座２４Ｂから離れる側に
移動させる。その結果、シール面２２Ａと弁座２４Ｂと
のシール状態は解除されることとなり、この時、チャン
バ２５と油室２６とは小径通路２２Ｄを介して連通状態
となる。つまり、バイパス油路６５が小径通路２２Ｄを
介して連通状態となる。

【００２７】ここで、圧力開放機構２０は、夫々の構成
要素の油圧受圧面積を、プランジャの大径部をＳ１，プ
ランジャの小径部をＳ２，ポペット２２のシール面２２
Ａより先端側をＳ３，ポペット２２の背面側をＳ５，こ
のポペット２２の背面側（Ｓ５）からポペット２２のシ
ール面２２Ａより先端側（Ｓ３）を差し引いた残りをＳ
４（即ちＳ４＝Ｓ５−Ｓ３），とすると共に復帰スプリ
ング２７の付勢力をＦとし、バイパス油路６５の上流
（油圧供給側：即ちチャンバ２５）の圧力をＰＰ，バイ
パス油路６５の下流（シリンダ室３０側：即ち油室２
６）の圧力をＰＣとした場合、ＰＰ＝ＰＣとなる通常使
用時に於て、 ＰＰ（Ｓ１＋Ｓ３＋Ｓ４−Ｓ２）＞ＰＣ・Ｓ５＋Ｆ …式１ Ｓ４＝Ｓ５−Ｓ３ であるから、 ＰＰ（Ｓ１＋Ｓ５−Ｓ２）＞ＰＣ・Ｓ５＋Ｆ …式２ となって逆止弁２１は開放状態となるように設定されて
いる。又、できれば上述の式１に加えて更に、後述する
高圧減圧弁２Ａの出口圧力をＰ１，低圧減圧弁２Ｂの出
口圧力をＰ２とした場合（Ｐ１＞Ｐ２）、 Ｐ２（Ｓ１＋Ｓ３＋Ｓ４−Ｓ２）−Δα＝Ｐ１・Ｓ５＋Ｆ …式３ を満たすように設定することが望ましい。

【００２８】上記の如く設定された圧力開放機構２０
は、その逆止弁２１が油圧供給側圧力：ＰＰの変化（低
下）状況に応じて作用が異なり、次にこの作用を図１２
のグラフによって説明する。まず、油圧供給側圧力：Ｐ
Ｐとシリンダ室３０側圧力：ＰＣがＰＰ＝ＰＣであって
圧力開放機構２０の逆止弁２１が開放している状態か
ら、油室２６の油がポペット２２の小径通路２２Ｄを介
してチャンバ２５に流れて両者の圧力が等しい状態を維
持し得るように徐々に油圧供給側圧力：ＰＰを低下させ
た場合には、シリンダ室３０側圧力：ＰＣは油圧供給側
圧力：ＰＰに追従して（ＰＣ＝ＰＰを維持して）低下
し、従って、前述の式２から、 ＰＰ（Ｓ１＋Ｓ５−Ｓ２）−ＰＰ・Ｓ５＞Ｆ ＰＰ（Ｓ１−Ｓ２）＞Ｆ 従って、 ＰＰ＞Ｆ／（Ｓ１−Ｓ２） であって、図１２中破線で ＰＰ＝Ｆ／（Ｓ１−Ｓ２） …式４ を示した低速降圧臨界圧力線より下側の領域で逆止弁２
１が作動してバイパス油路６５を閉塞する。

【００２９】次に、上記の場合とは異り、圧力開放機構
２０の逆止弁２１が開放してＰＰ＝ＰＣの状態から油圧
供給側圧力：ＰＰが急激に低下した場合には、シリンダ
室３０側の油圧は該シリンダ室３０側の油がポペット２
２の小径通路２２Ｄを通って油圧供給側に至ることによ
って低下するが、シリンダ室３０側の油圧は油圧供給側
の低下に追従することができずに油圧供給側圧力：ＰＰ
とシリンダ室３０側圧力：ＰＣとに差が生ずる。つま
り、シリンダ室３０側の油はポペット２２の小径通路２
２Ｄを通らなければ油圧供給側に移動できないことから
シリンダ室３０側の油圧（ＰＣ）が油圧供給側の油圧
（ＰＰ）低下に追従できずに両者の間に圧力差を生ずる
ものである。この場合には、ＰＰ＝ＰＣがＰＰ≠ＰＣと
なる為、前述の式２から、 ＰＰ＞（ＰＣ・Ｓ５＋Ｆ）／（Ｓ１＋Ｓ５−Ｓ２） であって、図１２中二点鎖線で ＰＰ＝（ＰＣ・Ｓ５＋Ｆ）／（Ｓ１＋Ｓ５−Ｓ２） …式５ を示した高速降圧臨界圧力線より下側の領域で逆止弁２
１が作動してバイパス油路６５を閉塞する。

【００３０】更に、この油圧供給停止によって上流側
（チャンバ２５）の圧力が無くなった（ＰＰ＝０）際の
逆止弁２１の作動時には、前述の式１乃至式２から、ポ
ペット２２は（ＰＣ・Ｓ５＋Ｆ）の力で弁座２４Ｂ側に
移動付勢されることとなる。つまり、ポペット２２は復
帰スプリング２７の付勢力：Ｆとポペット２２の背面側
の受圧面積：Ｓ５にシリンダ室３０側（即ち油室２６）
の圧力：ＰＣを乗じた力：ＰＣ・Ｓ５を合算した力で弁
座２４Ｂ側に移動付勢されるものであり、これにより、
ポペット２２が移動してそのシール面２２Ａが弁座２４
Ｂに当接してシール状態となる（即ち逆止弁２１が閉塞
する）迄の時間（タイムラグ）が短縮されるものであ
る。ポペット２２の移動付勢力はシリンダ室３０側の圧
力：ＰＣが高い程大きくなり、従って、ＰＣが高い程タ
イムラグを短縮化できる。即ち、上記の如き圧力開放機
構２０では、例えば、図１２に示すＰＰ＝ＰＣ＝Ｐ１の
状態からＰＰ＝ＰＣを維持し得るよう徐々に油圧供給側
圧力：ＰＰを低下させれば、シリンダ室３０側圧力：Ｐ
Ｃも低下して前述の式４が成り立つ圧力（低速臨界圧
力）となった時点で逆止弁２１が閉塞状態となる。一
方、ＰＰ＝ＰＣ＝Ｐ１の状態からＰＰを前述の式５が成
り立つ圧力：ＰＸ（高速降圧臨界圧力）以下に急激に低
下させた場合には、逆止弁２１は即座に閉塞状態となっ
てシリンダ室３０側圧力：ＰＣを略Ｐ１に保持するする
ように作用する。尚、ＰＰ＝ＰＣを維持し得る油圧供給
側圧力：ＰＰの圧力低下速度は、ポペット２２の小径通
路２２Ｄの流路面積に依存し、適宜設定することが可能
である。

【００３１】次に、上記の如く構成された圧力保持機構
１０と圧力開放機構２０を含む全体の油圧回路構成を概
念図である図５に基いて説明する。流体圧力発生源であ
るポンプＰからの高圧の作動油は、高圧と低圧の異なる
出口油圧に設定された高圧減圧弁２Ａ及び低圧減圧弁２
Ｂと、該減圧弁２Ａ，２Ｂからの油圧を択一的に出力す
るよう切換える高低圧切換弁２Ｃと、を備えた変圧機構
２を経て、チャック開閉切換弁３によって把持側供給路
６１Ａ又は解除側供給路６１Ｂに択一的に供給される。
把持側供給路６１Ａは回転継手５及び把持側油路６３Ａ
を介してシリンダ室３０Ａに接続され、又、解除側供給
路６１Ｂは回転継手５及び解除側油路６３Ｂを介してシ
リンダ室３０Ｂに接続され、これら油路６３Ａ，６３Ｂ
には、既に詳説した圧力保持機構１０（１０Ａ，１０
Ｂ）が介設されると共に、該圧力保持機構１０を迂回す
るバイパス油路６５（６５Ａ，６５Ｂ）に圧力開放機構
２０（２０Ａ，２０Ｂ）が介設されている。尚、変圧機
構２の高圧減圧弁２Ａ及び低圧減圧弁２Ｂの出口圧力
は、高圧減圧弁２Ａからの高い油圧：Ｐ１がシリンダ室
３０Ａに供給されるとチャックが荒加工の際に適用され
る大きな締付力で工作物を把持すると共に、減圧弁２Ｂ
からの低い油圧：Ｐ２がシリンダ室３０Ａに供給される
とチャックが仕上加工の際に適用される小さい締付力で
工作物を把持するように設定されているものである。

【００３２】而して、上記の如く構成されたチャック用
回転流体圧力シリンダ装置１は、下記の如く作用する。
図示しないチャックで工作物を把持する場合には、チャ
ック開閉切換弁３を把持側供給路６１Ａ側に切換えて、
把持側シリンダ室３０Ａに圧油を供給する。この時、変
圧機構２の高低圧切換弁２Ｃは高圧減圧弁２Ａ側に切替
えておく。これは通常初期工程は重切削を行なう荒加工
工程であることによる。

【００３３】チャック開閉切換弁３からの圧油は回転継
手５を経て把持側圧力保持機構１０Ａのチェック弁１１
を介して把持側シリンダ室３０Ａに流入し、同時に把持
側油路６３Ａ内の油圧がパイロット油路６４Ａを介して
解除側圧力保持機構１０Ｂのプランジャ１２に作用して
そのチェック弁１１を開放させる。その結果、把持側シ
リンダ室３０Ａ内に圧油が流入すると共に解除側シリン
ダ室３０Ｂ内の油は解除側油路６３Ｂを介して排出さ
れ、ピストン７０は図中左側に移動駆動されることとな
ってチャックを把持駆動する。把持側圧力保持機構１０
Ａのプランジャ１２は、該プランジャ１２を移動駆動す
る油圧室１３にパイロット油路６４Ｂを介して作用する
解除側油路６３Ｂの圧力が低下することによってチェッ
ク弁１１を開放操作しない位置に退避するが、チェック
弁１１は把持側シリンダ室３０Ａに圧油が流入している
間はその圧力差によって開放状態にあり、その上流と下
流側（油圧供給側とシリンダ室３０Ａ側）の圧力が変圧
機構２からの出力油圧：Ｐ１で一定となって把持側シリ
ンダ室３０Ａへの圧油の流入が停止した段階で閉塞状態
となる。この時、チャックは変圧機構２からの出力油
圧：Ｐ１に応じた締付力即ち荒加工の際に適用される大
きな締付力で工作物を把持する。この状態では、把持側
圧力保持機構１０Ａを迂回するバイパス油路６５Ａに介
設された把持側圧力開放機構２０Ａは、チャンバ２５と
油室２６に同一油圧：Ｐ１が作用することとなり、前述
の各構成要素受圧面積の関係からポペット２２のシール
面２２Ａがハウジング２４の弁座２４Ｂから離れ、バイ
パス油路６５が連通した状態にある。この状態で変圧機
構２を介しての把持側供給路６１Ａへの油圧供給は油
圧：Ｐ１を維持して継続される。

【００３４】このチャックが変圧機構２からの出力油
圧：Ｐ１に応じた締付力で工作物を把持している状態
で、停電等によって把持側供給路６１Ａへの油圧供給が
停止し、把持側供給路６１Ａ内の油圧が急激に低下して
圧力が無くなる（ＰＰ＝０）と、把持側圧力開放機構２
０Ａのチャンバ２５内の油圧は無くなり（＝０）、その
結果、把持側圧力開放機構２０Ａの油室２６内の油圧
（把持側シリンダ室３０Ａ内の油圧）はＰ１のままで供
給側圧力：ＰＰが図１２に於る逆止弁閉塞臨界圧力：Ｐ
Ｘ１より低下することとなって逆止弁２１が閉塞状態と
なる。この時、把持側圧力開放機構２０Ａ内に於て、小
径通路２２Ｄを通過する際の流通抵抗によって流量が規
制される為に把持側シリンダ室３０Ａ内の油圧は急速に
低下することはなく、更に、前述の如くポペット２２の
背面（油室２６側の面）には把持側シリンダ室３０Ａ内
の圧力が作用してポペット２２は復帰スプリング２７に
よる復帰付勢力に加えてその背面に作用する油圧によっ
て迅速に移動駆動されることとなり、僅少のタイムラグ
で作動して（ポペット２２のシール面２２Ａがハウジン
グ２４の弁座２４Ｂに密着してシール状態となって）把
持側シリンダ室３０Ａからの油の流出を防いで当該把持
側シリンダ室３０Ａ内圧力を油圧供給停止前の圧力：Ｐ
１から僅かに少ない圧力に維持し、チャックによる工作
物把持力が低下することを防ぐことができる。

【００３５】荒加工工程が終了し、工作物を把持する締
付力を小さくして仕上加工工程に移行する際には、変圧
機構２の高低圧切換弁２Ｃを出口圧力の低い低圧減圧弁
２Ｂ側に切替え、把持側供給路６１Ａに供給される油圧
を低圧減圧弁２Ｂの出口圧力：Ｐ２に対応した低いもの
とする。ここで、把持側圧力開放機構２０Ａが前述の式
３が成立するように設定されていれば（図１２に於てＰ
２＝ＰＸ＋Δα）、油圧供給側圧力：ＰＰ（チャンバ２
５内の油圧）を一気に低圧減圧弁２Ｂの出口圧力：Ｐ２
迄低下させても把持側圧力開放機構２０Ａの逆止弁２１
は作動せずバイパス油路６５Ａを連通した状態が維持さ
れ、シリンダ室３０Ａ内の油圧は該把持側圧力開放機構
２０Ａを介して把持側供給路６１Ａにより供給される圧
力即ち低圧減圧弁２Ｂの出口圧力：Ｐ２となり、その結
果、チャックによる工作物把持力は仕上加工の際に適用
される小さな締付力となる。一方、式３が成立せず、 Ｐ２（Ｓ１＋Ｓ３＋Ｓ４−Ｓ２）＜Ｐ１・Ｓ５＋Ｆ の設定となっている場合には、油圧供給側圧力：ＰＰ
（チャンバ２５内の油圧）を一気に低圧減圧弁２Ｂの出
口圧力：Ｐ２付近迄低下させると把持側圧力開放機構２
０Ａの逆止弁２１は作動してバイパス油路６５Ａを閉塞
してシリンダ室３０Ａ内の油圧を維持するように作用し
てしまう為、油圧供給側圧力：ＰＰを ＰＰ＞（Ｐ１・Ｓ５＋Ｆ）／（Ｓ１＋Ｓ３＋Ｓ４−Ｓ２） の範囲で段階的乃至連続的に低下させることにより、シ
リンダ室３０Ａ内の油圧を低圧減圧弁２Ｂの出口圧力：
Ｐ２迄低下させることができる。

【００３６】この仕上加工の際に適用される小さな締付
力でチャックが工作物を把持している状態の時、停電等
によって把持側供給路６１Ａへの油圧供給が停止し、把
持側供給路６１Ａ内の油圧が急激に低下して圧力が無く
なった（ＰＰ＝０）場合には、前述のチャックがＰ１に
応じた荒加工の際に適用される大きな締付力で工作物を
把持している状態の時と同様に、把持側圧力開放機構２
０Ａの油室２６内の油圧（把持側シリンダ室３０Ａ内の
油圧）はＰ２のままで供給側圧力：ＰＰが図１２に於る
逆止弁閉塞臨界圧力：ＰＸ２より低下することとなって
逆止弁２１が直ちに閉塞状態となり、把持側シリンダ室
３０Ａ内圧力を油圧供給停止前の圧力：Ｐ２から僅かに
少ない圧力に維持し、チャックによる工作物把持力が低
下することを防ぐことができるものである。

【００３７】尚、圧力開放機構２０は、上記構成に限る
ものではなく、適宜変更可能なものである。この圧力開
放機構２０の他の実施例を図８乃至図１１に示す。図８
は、ポペット２２の先端側に圧油を供給する油路２４Ｃ
（上記実施例に於る連通油路２３Ｃ）を図５と同様にハ
ウジング２４の側部に形成すると共に、抵抗付与手段を
ポペット２２とハウジング２４との嵌合隙間（環状隙間
２８）として構成したものである。本構成によれば、環
状隙間２８の油路面積をより高精度に設定することがで
きる。

【００３８】図９は、ポペット２２の先端に、ハウジン
グ２４の隔壁２４Ａの内周に気密的に嵌合する円柱部２
２Ｆを小径部２２Ｅを介して延設すると共に、円柱部２
２Ｆにその上流側と下流側を連通する小径通路２２Ｇを
貫通形成したものである。本構成によれば、隔壁２４Ａ
の開口端部を弁座として利用できる為シール性が向上す
るものである。

【００３９】図１０は、ポペット２２を、ハウジング２
４の隔壁２４Ａの弁座２４Ｂに当接してシールする球体
２２Ｈと、小径通路２２Ｌが貫通形成された操作通路部
材２２Ｋと、に分割構成したものである。本構成によれ
ば、シール性を向上させることができる。

【００４０】図１１は、ポペット２２の前端部にハウジ
ング２４の隔壁２４Ａの内周に気密的に嵌合する円柱部
２４Ｆを延設すると共に、該円柱部２２Ｆの上流側と下
流側を通路溝２２Ｍで連通し、更にポペット２２の後端
部もハウジング２４の内周に気密的に嵌合させ、シール
部位より背面側（油室２６側）で且つハウジング２４内
周面によって閉塞されない部位と背面側とを連通する小
径通路２２Ｄを形成したものである。又、プランジャ２
３と隔壁２４Ａとの間に、該プランジャ２３をポペット
２２を押圧操作しない側に付勢するスプリング２９を介
設したものである。これにより、ハウジング２４へのポ
ペット２２の嵌合長さを長く構成でき、当該シリンダ装
置が回転中であって遠心力が作用している場合でも、ポ
ペット２２が円滑に摺動移動するよう成し得ると共に、
ポペット２２の遠心力の作用による傾きを防止してシー
ル性を向上させることができる。更に、スプリング２９
によってプランジャ２３が復帰付勢される為、油圧供給
側（チャンバ２５）の圧力が低下した際迅速に退避移動
してポペット２２によるシールを迅速に行なわせること
ができる。

【００４１】尚、上記実施例は、シリンダ室３０に作動
させる油圧を利用して圧力開放機構２０を作動させるよ
うに構成したものであるが、別の油圧源を利用して作動
させるよう構成することもできる。そうすれば、プラン
ジャ１２（又は２３）に作用する油圧をシリンダ室３０
に供給する油圧とは無関係に任意に大きく設定できる
為、逆止弁２１のリターンスプリング（ポペットを移動
させるスプリング）の付勢力を大きくしてより閉塞に要
する時間（タイムラグ）の短縮を図ることができる。

【００４２】

【発明の効果】上記の如き本発明に係るチャック用回転
流体圧力シリンダ装置によれば、流体圧供給側の圧力を
所定の範囲で低下させることによってチャックによる工
作物把持締付力を小さく変化させることができると共
に、圧力供給が停止して流体圧供給側の圧力が急速に所
定圧力より低下した場合には、僅かなタイムラグで圧力
開放機構の逆止弁を閉塞することができ、シリンダ側の
圧力を保ってチャックの把持締付力を維持することがで
きる。その結果、チャックの回転中でも締付力変更を安
全に行なうことができ、作業効率の向上に寄与するもの
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るチャック用回転流体圧力シリンダ
装置の一実施例の外形を示す斜視図。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図。

【図３】図１のＢ−Ｂ断面図。

【図４】図１の左側面図相当の概略図。

【図５】油圧回路構成の概念図。

【図６】圧力開放機構の拡大断面図。

【図７】図６から作動した状態を示す図。

【図８】圧力開放機構の他の実施例の断面図相当の概念
図。

【図９】圧力開放機構の他の実施例の断面図相当の概念
図。

【図１０】圧力開放機構の他の実施例の断面図相当の概
念図。

【図１１】圧力開放機構の他の実施例の断面図相当の概
念図。

【図１２】圧力開放機構の逆止弁の作用を説明するグラ
フ

【図１３】圧力開放機構の他の実施例の断面図相当の概
念図。

【符号の説明】

１…チャック用回転流体圧力シリンダ装置 １０…圧力保持機構（把持ロック機構） １１…チェック弁 １２…プランジャ ２０…圧力開放機構 ２１…逆止弁 ２２…ポペット ２２Ａ…シール面 ２２Ｄ…小径通路（抵抗通路） ２２Ｅ…小径部（首部） ２２Ｆ…円柱部 ２２Ｇ…小径通路（抵抗通路） ２２Ｈ…球体（弁部材） ２２Ｋ…操作通路部材（通路部材） ２２Ｌ…小径通路（抵抗通路） ２３…プランジャ（操作部材） ２３Ａ…大径部 ２３Ｂ…小径部 ２４…ハウジング ２４Ａ…隔壁 ２４Ｂ…弁座（弁座面） ２７…復帰スプリング ２８…環状隙間（抵抗通路） ２９…スプリング（操作部材を流体圧供給側に付勢する
スプリング） ３０…シリンダ室（シリンダ） ６３…油路（流体通路） ６５…バイパス油路（バイパス通路） Ｐ…ポンプ（流体圧力発生源）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23B 31/30 F15B 13/01 F15B 20/00

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】チャックの把持作用を駆動するシリンダへ
   流体圧力発生源から圧力流体を供給する流体通路に、流
   体圧供給側の圧力によって開放作動するチェック弁と、
   該チェック弁を強制的に開放操作可能なプランジャとに
   より構成される把持ロック機構を介設したものに於て、 前記把持ロック機構のチェック弁を迂回するバイパス通
   路を形成し、該バイパス通路に、前記流体圧供給側に復
   帰スプリングによってシール付勢される逆止弁と、該逆
   止弁を開放側に移動操作可能な操作部材を介設し、前記
   逆止弁と前記操作部材との受圧面積に作用する流体圧力
   によって生じる作用力と前記復帰スプリングによる復帰
   力とによって前記逆止弁を閉塞させる力と開放させる力
   とが前記流体圧供給側の圧力を前記シリンダ側の圧力よ
   り所定量低くした時バランスするよう設定すると共に、
   前記逆止弁の開放時に前記流体圧供給側と前記シリンダ
   側とが所定の流通抵抗を有する抵抗通路を介して連通状
   態となるよう構成したこと、を特徴とするチャック用回
   転流体圧力シリンダ装置。
2. 【請求項２】上記逆止弁を、円筒状でその内部両端側を
   小径の隔壁で画成したハウジングの隔壁の開口端部に形
   成されたテーパ状の弁座面と、前記ハウジングの弁座面
   側の端部内周に摺動可能に嵌合配置されその端部に前記
   弁座面と対応するテーパ状シール面が形成されたポペッ
   トと、該ポペットを隔壁側に押圧付勢する復帰スプリン
   グと、により構成すると共に、上記操作部材を、前記ハ
   ウジング内に前記逆止弁と対向させて配置し、前記逆止
   弁の端部側に上記シリンダ側と連通する油室を、又、前
   記操作部材の端部側に上記流体圧供給側と連通するチャ
   ンバを夫々形成して構成したこと、を特徴とする請求項
   １記載のチャック用回転流体圧力シリンダ装置。
3. 【請求項３】上記逆止弁のポペットの先端側に前記隔壁
   の内周に気密を保って摺動可能に嵌合する円柱部を突設
   したこと、を特徴とする請求項２記載のチャック用回転
   流体圧力シリンダ装置。
4. 【請求項４】上記逆止弁に至る上記流体圧供給側の通路
   が上記操作部材を貫通して形成されていること、を特徴
   とする請求項２又は３記載のチャック用回転流体圧力シ
   リンダ装置。
5. 【請求項５】上記逆止弁のポペット外周と上記ハウジン
   グ内周の嵌合部を、前記ポペットの摺動移動によっても
   上記流体圧供給側と上記油室側は気密的な隔絶状態を維
   持するよう構成すると共に、前記ポペットに、そのシー
   ル面より油室側で且つ前記ハウジング内周面によって閉
   塞されない部位と前記油室側とを連通させて上記抵抗通
   路を形成したこと、を特徴とする請求項２又は３記載の
   チャック用回転流体圧力シリンダ装置。
6. 【請求項６】上記抵抗通路を、上記ポペットの弁座面を
   除く外周と上記ハウジングとの間の間隙によって形成し
   たこと、を特徴とする請求項２又は３記載のチャック用
   回転流体圧力シリンダ装置。
7. 【請求項７】上記ハウジングの隔壁と上記操作部材の間
   に該操作部材を上記流体圧供給側に押圧付勢するスプリ
   ングを介設して構成したこと、を特徴とする請求項２又
   は３記載のチャック用回転流体圧力シリンダ装置。
8. 【請求項８】上記ポペットを、弁座面と密着してシール
   する弁部材と、上記抵抗通路が形成された通路部材に分
   割構成したこと、を特徴とする請求項２記載のチャック
   用回転流体圧力シリンダ装置。
9. 【請求項９】上記ポペットから上記円柱部を小径の首部
   を介して突設し、前記円柱部に上記抵抗通路を上記流体
   圧力供給側と前記シール面側とを連通させて貫通形成し
   たこと、を特徴とする請求項３記載のチャック用回転流
   体圧力シリンダ装置。