JP3060614B2 - 画像表示装置 - Google Patents
画像表示装置Info
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- JP3060614B2 JP3060614B2 JP3173327A JP17332791A JP3060614B2 JP 3060614 B2 JP3060614 B2 JP 3060614B2 JP 3173327 A JP3173327 A JP 3173327A JP 17332791 A JP17332791 A JP 17332791A JP 3060614 B2 JP3060614 B2 JP 3060614B2
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- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- phosphor
- display device
- image display
- electron beam
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばカラーディスプ
レイ装置等の薄型の画像表示装置に関するものである。
レイ装置等の薄型の画像表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、薄型のディスプレイ装置として、
例えばジャパン・ディスプレイ（ＪＡＰＡＮ ＤＩＳＰ
ＬＡＹ ’８６ Ｐ５１２〜５１５）に微小冷陰極をエ
ミッション源として用いたマイクロチップ型のディスプ
レイ装置が提案されている。このディスプレイ装置は、
図６に示すように、半導体製造プロセスにより基板５１
上に形成した直径１．０ミクロン以下のモリブデン等よ
りなる円錐状の陰極５２をエミッション源とし、この陰
極５２の下に設けられる電極５３と上記陰極５２の周囲
を取り囲むようにして設けられる絶縁性層５４上に形成
されるゲート電極５５とをＸ−Ｙマトリックスとなし
て、いわゆるＸ−Ｙ駆動するように構成されたものであ
る。
例えばジャパン・ディスプレイ（ＪＡＰＡＮ ＤＩＳＰ
ＬＡＹ ’８６ Ｐ５１２〜５１５）に微小冷陰極をエ
ミッション源として用いたマイクロチップ型のディスプ
レイ装置が提案されている。このディスプレイ装置は、
図６に示すように、半導体製造プロセスにより基板５１
上に形成した直径１．０ミクロン以下のモリブデン等よ
りなる円錐状の陰極５２をエミッション源とし、この陰
極５２の下に設けられる電極５３と上記陰極５２の周囲
を取り囲むようにして設けられる絶縁性層５４上に形成
されるゲート電極５５とをＸ−Ｙマトリックスとなし
て、いわゆるＸ−Ｙ駆動するように構成されたものであ
る。
【０００３】このディスプレイ装置では、円錐状の陰極
５２とゲート電極５５との間に１０6 Ｖ／ｃｍ以上の電
界をかけると電界放出が起こり、上記陰極５２の先端部
より電子ビームが引き出される。そして、この電子ビー
ムをＸ−Ｙ駆動により選択的にガラスパネル５６の内面
に形成された蛍光スクリーン５７に照射させることによ
って、画像表示をするようになっている。
５２とゲート電極５５との間に１０6 Ｖ／ｃｍ以上の電
界をかけると電界放出が起こり、上記陰極５２の先端部
より電子ビームが引き出される。そして、この電子ビー
ムをＸ−Ｙ駆動により選択的にガラスパネル５６の内面
に形成された蛍光スクリーン５７に照射させることによ
って、画像表示をするようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、輝点の形成
される蛍光スクリーン５７上の点においては、電子ビー
ム入射による局所的温度上昇により、蛍光体からガスＧ
が発生する。発生したガスＧは、陰極５２の表面に吸着
し、仕事関数の増大により電子ビームの不安定化を招く
ばかりか、真空パネル内の真空度の低下をきたし、画質
の低下を誘発する。
される蛍光スクリーン５７上の点においては、電子ビー
ム入射による局所的温度上昇により、蛍光体からガスＧ
が発生する。発生したガスＧは、陰極５２の表面に吸着
し、仕事関数の増大により電子ビームの不安定化を招く
ばかりか、真空パネル内の真空度の低下をきたし、画質
の低下を誘発する。
【０００５】このため、高排気量の真空ポンプを利用し
て強制的にガスＧを排気することが行われるが、ガスＧ
の発生地点より排気口５８までは距離があるため、確実
に排気することができない。したがって、排気量を大き
くすることも考えられるが、排気量は、ガスＧの発生地
点から排気口５８に至るまでの排気コンダクタンスによ
って律速されており、蛍光スクリーン５７と陰極５２間
の狭い空間を一定値以上の高真空に保つことは自ずと限
界がある。
て強制的にガスＧを排気することが行われるが、ガスＧ
の発生地点より排気口５８までは距離があるため、確実
に排気することができない。したがって、排気量を大き
くすることも考えられるが、排気量は、ガスＧの発生地
点から排気口５８に至るまでの排気コンダクタンスによ
って律速されており、蛍光スクリーン５７と陰極５２間
の狭い空間を一定値以上の高真空に保つことは自ずと限
界がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上述
の従来の実情に鑑みて提案されたものであって、蛍光体
から発生するガスの陰極への吸着を防止し、輝度の安定
化を図り高画質化を可能となす画像表示装置を提供する
ことを目的とする。
の従来の実情に鑑みて提案されたものであって、蛍光体
から発生するガスの陰極への吸着を防止し、輝度の安定
化を図り高画質化を可能となす画像表示装置を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明は、蛍光体が形成されてなる前面パネル
と、この前面パネルの対向面に電子ビームを発する微小
冷陰極が配列されてなる陰極パネルとからなる画像表示
装置において、上記前面パネルの蛍光体上には、脱ガス
防止用のＳｉＮ薄膜とチャージアップ防止用の導電膜と
が積層形成されていることを特徴とするものである。
めに、本発明は、蛍光体が形成されてなる前面パネル
と、この前面パネルの対向面に電子ビームを発する微小
冷陰極が配列されてなる陰極パネルとからなる画像表示
装置において、上記前面パネルの蛍光体上には、脱ガス
防止用のＳｉＮ薄膜とチャージアップ防止用の導電膜と
が積層形成されていることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】本発明では、蛍光体より発生するガスが陰極パ
ネル側に移行しないように脱ガス防止用の薄膜が前面パ
ネルの蛍光体上に形成されているので、上記蛍光体より
発生したガスはこの薄膜によって上記陰極パネル側へ移
行するのが妨げられる。したがって、陰極へのガスの吸
着がなくなり、電子ビームの安定化が図れ、輝度が向上
する。
ネル側に移行しないように脱ガス防止用の薄膜が前面パ
ネルの蛍光体上に形成されているので、上記蛍光体より
発生したガスはこの薄膜によって上記陰極パネル側へ移
行するのが妨げられる。したがって、陰極へのガスの吸
着がなくなり、電子ビームの安定化が図れ、輝度が向上
する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を適用した実施例について図面
を参照しながら説明する。本実施例の画像表示装置は、
図１に示すように、内壁面に蛍光体ストライプが形成さ
れた前面パネル１と、エミッション源となる陰極パネル
２とを有して構成されている。上記前面パネル１は、エ
ミッション源と対向するガラスプレート３の内壁面３ａ
にＩＴＯ（酸化インジウム錫）等の透明アノード電極
（図示は省略する。）を有し、この透明アノード電極上
に赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），黒色（ＢＫ）の蛍光体スト
ライプ４を所定パターンに形成して蛍光画面を構成して
いる。
を参照しながら説明する。本実施例の画像表示装置は、
図１に示すように、内壁面に蛍光体ストライプが形成さ
れた前面パネル１と、エミッション源となる陰極パネル
２とを有して構成されている。上記前面パネル１は、エ
ミッション源と対向するガラスプレート３の内壁面３ａ
にＩＴＯ（酸化インジウム錫）等の透明アノード電極
（図示は省略する。）を有し、この透明アノード電極上
に赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），黒色（ＢＫ）の蛍光体スト
ライプ４を所定パターンに形成して蛍光画面を構成して
いる。
【００１０】そしてさらに、上記蛍光体ストライプ４上
には、蛍光体より発生したガスを陰極パネル２側へ移行
させないように防止する脱ガス防止用の薄膜５が全面に
亘って形成されている。上記薄膜５は、例えばＳｉＮ等
よりなり、反応性スパッタやプラズマＣＶＤ等の手法に
よって被着形成され、その膜厚は例えば０．５〜３．０
μｍ程度に選ばれる。膜厚が０．５μｍ未満であると、
陰極パネル２側へのガスの移行を防止できなくなり、逆
に３．０μｍを越えると電子ビームが蛍光体ストライプ
４に届かなくなる。なお、上記薄膜５は、後述の数個〜
数十個の集合よりなる陰極に対向しない領域、つまり電
子ビームが照射されない領域には、形成しなくても大き
な支障はない。
には、蛍光体より発生したガスを陰極パネル２側へ移行
させないように防止する脱ガス防止用の薄膜５が全面に
亘って形成されている。上記薄膜５は、例えばＳｉＮ等
よりなり、反応性スパッタやプラズマＣＶＤ等の手法に
よって被着形成され、その膜厚は例えば０．５〜３．０
μｍ程度に選ばれる。膜厚が０．５μｍ未満であると、
陰極パネル２側へのガスの移行を防止できなくなり、逆
に３．０μｍを越えると電子ビームが蛍光体ストライプ
４に届かなくなる。なお、上記薄膜５は、後述の数個〜
数十個の集合よりなる陰極に対向しない領域、つまり電
子ビームが照射されない領域には、形成しなくても大き
な支障はない。
【００１１】一方、陰極パネル２は、微小冷陰極からな
複数の画素がマトリックス配置されることにより構成さ
れている。微小冷陰極は、図２に示すように、エミッシ
ョン源となる陰極６と、この陰極６より電子ビームを引
き出すためのゲート電極７と、上記陰極６に電位を与え
る制御線８と、この制御線８とゲート電極７とを絶縁す
る絶縁層９とを有してなり、これらが半導体製造プロセ
スによりガラスよりなるベースプレート１０上に形成さ
れてなっている。
複数の画素がマトリックス配置されることにより構成さ
れている。微小冷陰極は、図２に示すように、エミッシ
ョン源となる陰極６と、この陰極６より電子ビームを引
き出すためのゲート電極７と、上記陰極６に電位を与え
る制御線８と、この制御線８とゲート電極７とを絶縁す
る絶縁層９とを有してなり、これらが半導体製造プロセ
スによりガラスよりなるベースプレート１０上に形成さ
れてなっている。
【００１２】上記陰極６は、例えばモリブデンやタング
ステンあるいはランタンヘキサボライド（ＬａＢ6 ）等
によって直径１．０ミクロン以下の微小な円錐状の突起
として形成され、その突起の先端部より電界の印加によ
って電子ビームが放出されるようになっている。これら
陰極６は、数個〜数十個よりなる集合体として１画素を
構成し、上記蛍光体の各ドットにそれぞれ対応してマト
リックス状に設けられている。一方、ゲート電極７は、
陰極６を中心としてその周囲を円弧状に取り囲むように
して形成された絶縁層９上に形成され、それぞれの陰極
６に対応した位置には各陰極６の先端より電子ビームを
上記蛍光体ストライプ４へ向かって放出させるための円
弧状の電子ビーム放出用孔７ａが形成されている。上記
ゲート電極７は、上記制御線８とによってマトリックス
構造をなすように配置され、その交点に上記数個〜数十
個よりなる集合体の陰極６を対向させるようになってい
る。
ステンあるいはランタンヘキサボライド（ＬａＢ6 ）等
によって直径１．０ミクロン以下の微小な円錐状の突起
として形成され、その突起の先端部より電界の印加によ
って電子ビームが放出されるようになっている。これら
陰極６は、数個〜数十個よりなる集合体として１画素を
構成し、上記蛍光体の各ドットにそれぞれ対応してマト
リックス状に設けられている。一方、ゲート電極７は、
陰極６を中心としてその周囲を円弧状に取り囲むように
して形成された絶縁層９上に形成され、それぞれの陰極
６に対応した位置には各陰極６の先端より電子ビームを
上記蛍光体ストライプ４へ向かって放出させるための円
弧状の電子ビーム放出用孔７ａが形成されている。上記
ゲート電極７は、上記制御線８とによってマトリックス
構造をなすように配置され、その交点に上記数個〜数十
個よりなる集合体の陰極６を対向させるようになってい
る。
【００１３】上記のようにして構成された画像表示装置
においては、制御線８に電位信号を供給すると、ゲート
電極７と陰極６間に１０6 Ｖ／ｃｍ以上の電界がかか
り、当該陰極６の先端部より電子ビームが引き出され
る。そして、引き出された電子ビームは、蛍光体ストラ
イプ４に入射され、蛍光体ドットを発光させる。このと
き、輝点の形成される蛍光体ストライプ４上の点におい
ては、電子ビーム入射による局所的温度上昇によって蛍
光体よりガスＧが発生する。しかしながら、蛍光体スト
ライプ４上にはこの蛍光体ストライプ４を覆って脱ガス
防止用の薄膜５が形成されているので、発生したガスＧ
はこの薄膜５によって陰極パネル２側へ移行することな
く、上記蛍光体ストライプ４を通して排気口（図示は省
略する。）へと排気される。したがって、上記蛍光体よ
り発生したガスＧの陰極６への吸着が無くなり、電子ビ
ームの安定化により高輝度が望める。
においては、制御線８に電位信号を供給すると、ゲート
電極７と陰極６間に１０6 Ｖ／ｃｍ以上の電界がかか
り、当該陰極６の先端部より電子ビームが引き出され
る。そして、引き出された電子ビームは、蛍光体ストラ
イプ４に入射され、蛍光体ドットを発光させる。このと
き、輝点の形成される蛍光体ストライプ４上の点におい
ては、電子ビーム入射による局所的温度上昇によって蛍
光体よりガスＧが発生する。しかしながら、蛍光体スト
ライプ４上にはこの蛍光体ストライプ４を覆って脱ガス
防止用の薄膜５が形成されているので、発生したガスＧ
はこの薄膜５によって陰極パネル２側へ移行することな
く、上記蛍光体ストライプ４を通して排気口（図示は省
略する。）へと排気される。したがって、上記蛍光体よ
り発生したガスＧの陰極６への吸着が無くなり、電子ビ
ームの安定化により高輝度が望める。
【００１４】本発明を適用した画像表示装置において
は、脱ガス防止用の薄膜５を設けることによる電子ビー
ムの蛍光体ストライプ４への入射のしずらさを解消する
ため、蛍光体ストライプ４に電子ビームが容易に届くよ
うにチャージアップ防止用の薄い導電膜を前面パネル１
に設ける。かかる導電膜には、例えばＡｕ等よりなる数
十〜数百オングストローム程度の薄膜を用いる。上記導
電膜１１は、例えば図３に示すように脱ガス防止の薄膜
５上に形成してもよいし、あるいは図４に示すようにガ
ラスプレート３と蛍光体ストライプ４間に形成してもよ
い。なお、ガラスプレート３と蛍光体ストライプ４間に
導電膜１１を形成する場合には、当該導電膜１１には透
明な材料を使用する。さらには、上記導電膜１１は、図
５に示すように、蛍光体ストライプ４と脱ガス防止用の
薄膜５との間に設けるようにしてもよい。
は、脱ガス防止用の薄膜５を設けることによる電子ビー
ムの蛍光体ストライプ４への入射のしずらさを解消する
ため、蛍光体ストライプ４に電子ビームが容易に届くよ
うにチャージアップ防止用の薄い導電膜を前面パネル１
に設ける。かかる導電膜には、例えばＡｕ等よりなる数
十〜数百オングストローム程度の薄膜を用いる。上記導
電膜１１は、例えば図３に示すように脱ガス防止の薄膜
５上に形成してもよいし、あるいは図４に示すようにガ
ラスプレート３と蛍光体ストライプ４間に形成してもよ
い。なお、ガラスプレート３と蛍光体ストライプ４間に
導電膜１１を形成する場合には、当該導電膜１１には透
明な材料を使用する。さらには、上記導電膜１１は、図
５に示すように、蛍光体ストライプ４と脱ガス防止用の
薄膜５との間に設けるようにしてもよい。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の画像表示装置においては、蛍光体より発生するガス
が陰極パネル側へ移行しないように前面パネルの蛍光体
上に脱ガス防止用の薄膜を設けているので、発生したガ
スの陰極への吸着が防止でき、安定した電子ビームを常
に蛍光体ストライプに照射することができる。したがっ
て、輝度の安定化を図ることができると同時に、真空パ
ネル内の真空度を維持することができ、高画質化を達成
することができる。
明の画像表示装置においては、蛍光体より発生するガス
が陰極パネル側へ移行しないように前面パネルの蛍光体
上に脱ガス防止用の薄膜を設けているので、発生したガ
スの陰極への吸着が防止でき、安定した電子ビームを常
に蛍光体ストライプに照射することができる。したがっ
て、輝度の安定化を図ることができると同時に、真空パ
ネル内の真空度を維持することができ、高画質化を達成
することができる。
【図１】画像表示装置の基本構成を示す概略的な断面図
である。
である。
【図２】微小冷陰極を一部破断して示す要部拡大斜視図
である。
である。
【図３】本発明を適用した画像表示装置の一例を示す概
略的な断面図である。
略的な断面図である。
【図４】本発明を適用した画像表示装置の他の例を示す
概略的な断面図である。
概略的な断面図である。
【図５】本発明を適用した画像表示装置のさらに他の例
を示す概略的な断面図である。
を示す概略的な断面図である。
【図６】従来の画像表示装置の一例を示す概略的な断面
図である。
図である。
１・・・前面パネル ２・・・陰極パネル ４・・・蛍光体ストライプ ５・・・脱ガス防止用の薄膜 ６・・・陰極 ７・・・ゲート電極
Claims (1)
- 【請求項１】 蛍光体が形成されてなる前面パネルと、
この前面パネルの対向面に電子ビームを発する微小冷陰
極が配列されてなる陰極パネルとからなる画像表示装置
において、 上記前面パネルの蛍光体上には、脱ガス防止用のＳｉＮ
薄膜とチャージアップ防止用の導電膜とが積層形成され
ていることを特徴とする画像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3173327A JP3060614B2 (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | 画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3173327A JP3060614B2 (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | 画像表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04370634A JPH04370634A (ja) | 1992-12-24 |
| JP3060614B2 true JP3060614B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=15958380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3173327A Expired - Fee Related JP3060614B2 (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | 画像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3060614B2 (ja) |
-
1991
- 1991-06-19 JP JP3173327A patent/JP3060614B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04370634A (ja) | 1992-12-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000328 |
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