JP3059210B2 - Method and apparatus for dipping glass substrate - Google Patents
Method and apparatus for dipping glass substrateInfo
- Publication number
- JP3059210B2 JP3059210B2 JP2324685A JP32468590A JP3059210B2 JP 3059210 B2 JP3059210 B2 JP 3059210B2 JP 2324685 A JP2324685 A JP 2324685A JP 32468590 A JP32468590 A JP 32468590A JP 3059210 B2 JP3059210 B2 JP 3059210B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- dipping
- corner
- pair
- clamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は液晶セル等として用いるガラス基板をデイッ
ピング槽に浸漬する方法及び装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method and an apparatus for immersing a glass substrate used as a liquid crystal cell or the like in a dipping tank.
（従来の技術） 処理液やコーティング液を満たしたデイッピング槽に
ガラス基板を浸漬するには従来から複数枚のガラス基板
をカセットに収納したままデイッピング槽に浸していた
ため、カセットの汚れでガラス基板が汚れたり、コーテ
ィングむらが生じていた。(Prior art) In order to immerse a glass substrate in a dipping bath filled with a processing solution or a coating solution, a plurality of glass substrates have conventionally been immersed in a dipping bath while housed in a cassette. Dirty and uneven coating occurred.
そこで、実公昭62−34635号公報に開示される装置に
あっては、ケース内に収納した複数枚のガラス基板のガ
イド体に沿って引き出し、このガラス基板の一側端をチ
ャッキング手段の固定保持部と可動保持部とで挟持し、
狭持した部分と反対側の側端からガラス基板をデイッピ
ング槽に浸漬せしめるようにしている。Therefore, in the apparatus disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 62-34635, a plurality of glass substrates housed in a case are pulled out along a guide body, and one end of the glass substrate is fixed to a chucking means. Sandwiched between the holding part and the movable holding part,
The glass substrate is immersed in a dipping tank from the side end opposite to the sandwiched portion.
（発明が解決しようとする課題） 上述した従来のデイッピング装置によると、チャッキ
ング手段によって把持する部分の面積が大きいため、ガ
ラス基板のうち利用できない部分が多くなり歩留まりが
悪くなる。またガラス基板を把持する際にチャッキング
手段がガラス基板に当たるとガラス基板が破損する不利
がある。(Problems to be Solved by the Invention) According to the above-described conventional dipping apparatus, since the area of the portion to be gripped by the chucking means is large, an unusable portion of the glass substrate increases, and the yield is deteriorated. In addition, there is a disadvantage that the glass substrate is damaged if the chucking means hits the glass substrate when gripping the glass substrate.
また、従来のデイッピング装置にあっては、チャッキ
ング手段の固定保持部と可動保持部とでガラス基板を把
持するようにしているが、一方の保持部しか動かないた
め、把持する時に必ずガラス基板が動いて欠けが生じや
すく、また移動時にガラス基板が動き、治具への収納が
スムーズにいかなくなる。Further, in the conventional dipping apparatus, the glass substrate is gripped by the fixed holding portion and the movable holding portion of the chucking means. When the glass substrate moves, the glass substrate moves and the jig is not smoothly accommodated.
更に、従来のデイッピング装置にあってはガラス基板
の形状及び寸法が変更された時の対応が効果的ではな
い。Furthermore, the conventional dipping apparatus is not effective in responding to changes in the shape and dimensions of the glass substrate.
（課題を解決するための手段） 上記課題を解決すべく本願のガラス基板のデイッピン
グ方法は、複数枚の矩形状ガラス基板の１つの角部が上
端となるようにし、しかも平行にセットした状態でチャ
ッキング機構を備えた搬送装置によりデイッピング槽ま
で搬送して浸漬せしめるようにしたデイッピング方法に
おいて、前記矩形状ガラス基板またはチャッキング機構
のいずれかをガラス基板の表面と平行な方向に移動せし
めてチャッキング機構のクランプ爪間に矩形状ガラス基
板の上端角部を臨ませ、この後チャッキング機構によっ
て矩形状ガラス基板の上端角部を把持するようにした。(Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned problems, the glass substrate dipping method of the present invention is arranged such that one corner of a plurality of rectangular glass substrates is located at an upper end and is set in parallel. In a dipping method in which a transfer device provided with a chucking mechanism is used to convey and immerse the substrate to a dipping tank, either the rectangular glass substrate or the chucking mechanism is moved in a direction parallel to the surface of the glass substrate to perform chucking. The upper end corner of the rectangular glass substrate was made to face between the clamp claws of the king mechanism, and then the upper end corner of the rectangular glass substrate was gripped by the chucking mechanism.
また、本願のガラス基板のデイッピング装置は、複数
枚の矩形状ガラス基板の１つの角部が上端となるように
し、しかも平行にセットした状態でチャッキング機構を
備えた搬送装置によりデイッピング槽まで搬送して浸漬
せしめるようにしたデイッピング装置において、前記ガ
ラス基板の上端角部を把持する前記チャッキング機構は
互いに反対方向に往復動する一対のスライド部材を有
し、これら一対のスライド部材の一方にはガラス基板の
一面側に当接するクランプ爪を、他方には前記クランプ
爪と対向する位置にてガラス基板の他面側に当接するク
ランプ爪を設けた。In addition, the glass substrate dipping apparatus of the present invention is such that one corner portion of a plurality of rectangular glass substrates is set at the upper end, and furthermore, is transported to the dipping tank by a transport device having a chucking mechanism while being set in parallel. In the dipping apparatus, the chucking mechanism that grips the upper end corner of the glass substrate has a pair of slide members that reciprocate in opposite directions, and one of the pair of slide members has A clamp claw contacting one surface of the glass substrate was provided, and a clamp claw contacting the other surface of the glass substrate at a position facing the clamp claw was provided on the other side.
前記前記ガラス基板の上端角部を把持する前記チャッ
キング機構は、ガラス基板の一面側に当接するクランプ
爪と、前記クランプ爪と対向する位置にてガラス基板の
他面側に当接するクランプ爪を有し、これらクランプ爪
のうち一方のクランプ爪のガラス基板と当接する面は平
坦面とし、他方のクランプ爪の周囲には弾性リングを巻
回した構成とすることができる。The chucking mechanism that grips the upper corner portion of the glass substrate includes a clamp claw that contacts one surface of the glass substrate and a clamp claw that contacts the other surface of the glass substrate at a position facing the clamp claw. A surface of one of the clamp claws that contacts the glass substrate may be a flat surface, and an elastic ring may be wound around the other clamp claw.
また、前記ガラス基板をセットするセット治具は、基
台に対し一対のアングル状アーム傾斜角調整可能に支持
し、これら一対のアーム間にガラス基板の下縁部が嵌り
込む溝を形成したロッドを架設した構成とすることがで
きる。A setting jig for setting the glass substrate is supported on a base such that a pair of angled arms can be adjusted in inclination angle, and a rod having a groove into which a lower edge portion of the glass substrate fits is formed between the pair of arms. Can be constructed.
（作用） １つの角部が上端となるように治具上にセットされた
複数のガラス基板は、搬送装置のチャッキング機構によ
りその上端角部を把持され、搬送装置に吊り下げられた
状態でデイッピング槽上まで搬送され、次いでガラス基
板は上端角部を除いてデイッピング槽内に浸漬される。(Operation) The plurality of glass substrates set on the jig such that one corner is at the upper end are gripped by the chucking mechanism of the transfer device, and are suspended in the transfer device. The glass substrate is transported to the top of the dipping tank, and then the glass substrate is immersed in the dipping tank except for a corner at the upper end.
（実施例） 以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて説明す
る。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
第１図は本発明に係るガラス基板のデイッピング装置
の正面図、第２図は同ガラス基板のデイッピング装置の
平面図、第３図は同ガラス基板のデイッピング装置の側
面図である。FIG. 1 is a front view of a glass substrate dipping apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of the glass substrate dipping apparatus, and FIG. 3 is a side view of the glass substrate dipping apparatus.
デイッピング装置は中央部をデイッピングステーショ
ンS1、正面から見て右側を投入ステーションS2、左側を
取り出しステーションS3とし、これら各ステーション間
における矩形状ガラス基板Ｇの搬送及び受け渡しを搬送
装置１にて行なうようにしている。The dipping apparatus is a dipping station S1 at the center, a loading station S2 on the right side as viewed from the front, and an unloading station S3 on the left side, and the transfer and transfer of the rectangular glass substrate G between these stations is performed by the transfer device 1. Like that.
搬送装置１はレール２に沿って左右方向に移動可能と
された移動体３にシリンダユニット等によって昇降動す
るアーム４を設け、このアーム４にチャッキング機構５
を取り付けている。The transfer device 1 is provided with an arm 4 that moves up and down by a cylinder unit or the like on a moving body 3 that can move in the left-right direction along the rail 2.
Is installed.
チャッキング機構５は平面図である第４図、側面図で
ある第５図及び正面図である第６図に示すように、アー
ム４先端に下向きコ字状の支持板６を取付け、この支持
板６に前後方向のガイドロッド7,8を架設し、ガイドロ
ッド７にスライド部材９を、ガイドロッド８にスライド
部材10をそれぞれ摺動自在に係合している。As shown in FIG. 4 which is a plan view, FIG. 5 which is a side view, and FIG. 6 which is a front view, the chucking mechanism 5 has a downwardly U-shaped support plate 6 attached to the tip of the arm 4. The front and rear guide rods 7 and 8 are laid on the plate 6, and the slide member 9 is slidably engaged with the guide rod 7, and the slide member 10 is slidably engaged with the guide rod 8.
これらスライド部材9,10は複数のプレート9a…,10a…
間にクランプ爪11…,12…を挟持してなり、スライド部
材９のクランプ爪11の周囲には弾性リング13を巻回し、
スライド部材10のクランプ爪12はガラス基板Ｇと当接す
る面を平坦面としている。このような構成とすることに
より、複数のガラス基板Ｇ・・・をピッチ間隔を狭くし
且つガラス基板Ｇの１つの上端角部を把持するようにし
てもガラス基板同士が接触したり落下することがなくな
る。These slide members 9 and 10 are composed of a plurality of plates 9a ..., 10a ...
Clamp claws 11 ..., 12 ... are sandwiched between them, and an elastic ring 13 is wound around the clamp claws 11 of the slide member 9,
The clamp claw 12 of the slide member 10 has a flat surface in contact with the glass substrate G. With such a configuration, even if the pitch interval of the plurality of glass substrates G is reduced and one upper corner of the glass substrate G is gripped, the glass substrates may come into contact with each other or fall. Disappears.
またスライド部材9,10の上面略中央にはブラケット1
4,15を固設し、これらブラケット14,15間にスプリング1
6,16を張設し、更にブラケット14,15上面の対向位置に
ローラ17,18を取り付け、これらローラ17,18をロータリ
アクチュエータ19にて回転するカム20に当接せしめ、楕
円状カム20の回転によりスライド部材9,10が互いに反対
方向に摺動するようにし、この摺動によりクランプ爪1
1,12が開閉しガラス基板Ｇのクランプ及びアンクランプ
を行なうようにしている。A bracket 1 is provided at the approximate center of the upper surfaces of the slide members 9 and 10.
4 and 15 fixed, and a spring 1 between these brackets 14 and 15
6 and 16 are further stretched, and rollers 17 and 18 are further mounted on the upper surfaces of the brackets 14 and 15 at opposing positions. The rollers 17 and 18 are brought into contact with the cam 20 which is rotated by the rotary actuator 19, so that the elliptical cam 20 is The rotation causes the slide members 9 and 10 to slide in opposite directions.
1, 12 open and close to clamp and unclam the glass substrate G.
一方、ガラス基板の投入ステーションS2には前後方向
のレール21を配置し、このレール21に第１テーブル22を
係合し、スクリューシャフト23をモータ24で回転させる
ことで第１テーブル22を前後に移動せしめるようにし、
また第１テーブル22上には左右方向のレール25を配置
し、このレール25に第２テーブル26を係合し、スクリュ
ーシャフト27をモータ28で回転させることで第２テーブ
ル26を左右に移動せしめるようにしている。尚、第２テ
ーブル26の移動量は第１テーブル22の移動量に比べて極
めて少なくて足りる。On the other hand, a rail 21 in the front-rear direction is arranged at the glass substrate loading station S2, and the first table 22 is engaged with the rail 21 and the screw shaft 23 is rotated by the motor 24 to move the first table 22 forward and backward. Let them move,
A left-right rail 25 is arranged on the first table 22, and the second table 26 is engaged with the rail 25, and the screw shaft 27 is rotated by the motor 28 to move the second table 26 left and right. Like that. The amount of movement of the second table 26 is extremely small compared to the amount of movement of the first table 22.
また、ガラス基板の取り出しステーションS3には前後
方向のレール31を配置し、このレール13にテーブル32を
係合し、スクリューシャフト33をモータ34で回転させる
ことでテーブル32を前後に移動せしめるようにしてい
る。更に装置中央のデイッピング槽Ｄよりも下方位置に
はダクト35を配置し、埃等を排除するようにしている。Further, a rail 31 in the front-rear direction is arranged at the glass substrate removal station S3, a table 32 is engaged with the rail 13, and the screw shaft 33 is rotated by a motor 34 so that the table 32 can be moved back and forth. ing. Further, a duct 35 is disposed below the dipping tank D at the center of the apparatus to remove dust and the like.
一方、ガラス基板Ｇはセット治具40に１つの角部が上
端となるよう複数枚が平行にセットされ、この治具40ご
と前記第２テーブル26上に載置される。そして、セット
治具40は第６図及び第７図に示すように、基台41に対し
一対のアングル状アーム42,42を軸42aを中心に揺動自在
に支持し、これら一対のアーム間42,42にガラス基板Ｇ
の下縁部が嵌り込む溝43aを形成したロッド43を架設
し、更に基台41とアーム42間にナットとスクリューシャ
フトからなるアームの角度調整機構44を設け、矩形状ガ
ラス基板Ｇの形状が変更されてもアーム42の角度を調整
するだけで常にガラス基板Ｇの１つの角部が一定の位置
に来るようにし、搬送装置１の変更なくデイッピング作
業を行なえるようにしている。On the other hand, a plurality of glass substrates G are set in parallel on a setting jig 40 such that one corner is at the upper end, and the jig 40 is placed on the second table 26. As shown in FIGS. 6 and 7, the set jig 40 supports a pair of angled arms 42, 42 swingably about a shaft 42a with respect to a base 41. Glass substrate G on 42,42
A rod 43 having a groove 43a into which a lower edge portion is fitted is erected, and an angle adjusting mechanism 44 of an arm including a nut and a screw shaft is provided between the base 41 and the arm 42, and the shape of the rectangular glass substrate G is Even if it is changed, one corner of the glass substrate G is always kept at a fixed position only by adjusting the angle of the arm 42, so that the dipping operation can be performed without changing the transfer device 1.
以上において、複数枚のガラス基板Ｇをセット治具40
に１つの角部が上端となるようにセットし、このセット
治具40を前端位置まで移動している第２テーブル26上に
載置する。この後、第１テーブル22をモータ24の駆動に
より装置の奥の方に移動せしめる。この時、搬送装置１
は投入ステーションS2側に移動してきており、第１テー
ブル22が最も後退した位置において、各ガラス基板Ｇは
側方から見てチャッキング機構５の各クランプ爪11,12
間に位置する。しかし、各ガラス基板Ｇの上端角部は第
６図のＧ′に示すように左右方向においてクランプ爪1
1,12の位置からずれている。In the above, a plurality of glass substrates G are set in the jig 40
The set jig 40 is placed on the second table 26 which is moving to the front end position. Thereafter, the first table 22 is moved toward the back of the apparatus by driving the motor 24. At this time, the transfer device 1
Has moved to the loading station S2 side, and at the position where the first table 22 is most retracted, the respective glass substrates G are viewed from the side and the respective clamp claws 11, 12 of the chucking mechanism 5 are moved.
Located between. However, the upper end corner of each glass substrate G is clamped in the left-right direction as shown by G 'in FIG.
It is shifted from the position of 1,12.
この後、第２テーブル26を移動させることで、各ガラ
ス基板Ｇの上端角部を第６図に示すようにクランプ爪1
1,12間に臨ませ、次いで前記したようにロータリアクチ
ュエータ19に楕円状カム20を回転せしめクランプ爪11,1
2を閉じ方向に移動せしめてガラス基板Ｇの上端角部を
クランプ爪11,12にて挟持する。ここで、ガラス基板Ｇ
の上端角部を下方からクランプ爪11,12間に臨ませず側
方から臨ませるようにしたのは、下方から臨ませる際に
万一クランプ爪にガラス基板Ｇの上端角部が当るとガラ
ス基板の逃げ場がないため、ガラス基板が破損するが、
側方から挿入するようにすればガラス基板が傾くことに
よりこれを回避できるからである。またクランプ爪12は
そのクランプ爪11側を短辺とする台形状としておけば、
ガラス基板がクランプ爪11,12の間に円滑に入り易いの
で好都合である。Thereafter, the second table 26 is moved so that the upper end corner of each glass substrate G is clamped as shown in FIG.
1 and 12, then rotate the elliptical cam 20 to the rotary actuator 19 as described above, and clamp claws 11 and 1
2 is moved in the closing direction, and the upper corner portion of the glass substrate G is clamped by the clamp claws 11 and 12. Here, the glass substrate G
The upper end corner of the glass substrate G is not exposed between the clamp claws 11 and 12 from below but from the side so that if the upper end corner of the glass substrate G hits the clamp claw when approaching from below. Since there is no place to escape the substrate, the glass substrate is damaged,
This is because if the glass substrate is inserted from the side, this can be avoided by tilting the glass substrate. Also, if the clamp claw 12 is formed in a trapezoidal shape with the clamp claw 11 side as a short side,
This is convenient because the glass substrate easily enters between the clamp claws 11 and 12.
このようにして搬送装置１のチャッキング機構５にて
ガラス基板Ｇの上端角部を把持したならば、搬送装置１
を上昇せしめ、セット治具40からガラス基板Ｇを取り上
げ、そのままの状態で、搬送装置１によりガラス基板Ｇ
のデイッピングステーションS1のデイッピング槽Ｄ上ま
で搬送し、而る後、搬送装置のアーム４を下降せしめ、
ガラス基板Ｇの上端角部を除いてデイッピング槽Ｄ内に
浸漬せしめる。When the upper end corner of the glass substrate G is gripped by the chucking mechanism 5 of the transfer device 1 in this manner, the transfer device 1
The glass substrate G is picked up from the set jig 40 and the glass substrate G
Is transferred to the dipping tank D of the dipping station S1, and then the arm 4 of the transfer device is lowered.
The glass substrate G is immersed in the dipping tank D except for the upper end corner.
そして、所定時間が経過したならば、アーム４を上昇
せしめ、さらに搬送装置１によりガラス基板Ｇを取り出
しステーションS3まで搬送して取り出し一連のデイッピ
ング作業を終了する。When a predetermined time has elapsed, the arm 4 is raised, and the glass substrate G is further conveyed to the pick-up station S3 by the transfer device 1, and a series of dipping operations is completed.
（効果） 以上に説明したように本発明によれば、ガラス基板を
デイッピング槽に浸漬するにあたり、その上端角部を把
持して行なうようにしたので、ガラス基板を無駄なく利
用することができ歩留まりが向上するとともに、ガラス
基板の把持及び受け渡しが円滑に行われる。(Effect) As described above, according to the present invention, the glass substrate is immersed in the dipping tank by gripping the corner at the upper end thereof, so that the glass substrate can be used without waste and the yield can be increased. Is improved, and the holding and delivery of the glass substrate are performed smoothly.
又、互いに反対方向に往復動する一対のスライド部材
に設けたクランプ爪にてガラス基板を把持するようにし
たので、把持する際にガラス基板の傾きが小さく、欠け
等が生じにくい。In addition, since the glass substrate is gripped by the clamp claws provided on the pair of slide members that reciprocate in opposite directions, the glass substrate has a small inclination when gripping, and is less likely to chip.
また、一対のクランプ爪のうち一方のクランプ爪のガ
ラス基板と当接する面を平坦面とし、他方のクランプ爪
の周囲に弾性リングを巻回したので、隣接するガラス基
板同士が接触したり落下することがない。In addition, the surface of one of the clamp claws, which is in contact with the glass substrate, is made flat, and an elastic ring is wound around the other clamp claw, so that adjacent glass substrates come into contact with each other or fall. Nothing.
更に、ガラス基板をセットするセット治具の構造を、
基台に対し一対のアングル状アームを傾斜角調整可能に
支持し、これら一対のアーム間にガラス基板の下縁部が
嵌り込む溝を形成したロッドを架設するようにしたの
で、ガラス基板の形状や寸法が変わっても簡単に対処で
きる。Furthermore, the structure of the set jig for setting the glass substrate
A pair of angled arms are supported on the base so that the inclination angle can be adjusted, and a rod having a groove into which the lower edge of the glass substrate fits is erected between the pair of arms. It can easily cope with changes in dimensions and dimensions.
第１図は本発明に係るガラス基板のデイッピング装置の
正面図、第２図は同ガラス基板のデイッピング装置の平
面図、第３図は同ガラス基板のデイッピング装置の側面
図、第４図はチャッキング機構の平面図、第５図はチャ
ッキング機構の側面図、第６図はチャッキング機構によ
ってセット治具にセットされているガラス基板を把持し
ている状態を示す正面図、第７図はセット治具のロッド
を示す図である。 尚、図面中１は搬送装置、４はアーム、５はチャッキン
グ機構、9,10はスライド部材、11,12はクランプ爪、13
は弾性リング、20はカム、22は第１テーブル、26は第２
テーブル、40はセット治具、42はアングル状アーム、43
はロッド、44は角度調整機構、Ｄはデイッピング槽、Ｇ
はガラス基板、S1はデイッピングステーション、S2は投
入ステーション、S3は取り出しステーションである。1 is a front view of a glass substrate dipping apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of the glass substrate dipping apparatus, FIG. 3 is a side view of the glass substrate dipping apparatus, and FIG. FIG. 5 is a plan view of the king mechanism, FIG. 5 is a side view of the chucking mechanism, FIG. 6 is a front view showing a state where the glass substrate set on the set jig is gripped by the chucking mechanism, and FIG. It is a figure showing a rod of a set jig. In the drawings, 1 is a transfer device, 4 is an arm, 5 is a chucking mechanism, 9 and 10 are slide members, 11 and 12 are clamp claws, 13
Is an elastic ring, 20 is a cam, 22 is a first table, 26 is a second table
Table, 40 is a set jig, 42 is an angled arm, 43
Is a rod, 44 is an angle adjustment mechanism, D is a dipping tank, G
Is a glass substrate, S1 is a dipping station, S2 is a loading station, and S3 is a removal station.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−32642（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−194467（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭63−45875（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B05C 3/02 - 3/109 B05C 13/00,13/02 B05D 1/18 B05D 7/00 B65G 49/04 H05K 3/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-1-32642 (JP, A) JP-A 62-194467 (JP, U) JP-B 63-45875 (JP, B2) (58) Field (Int.Cl. 7 , DB name) B05C 3/02-3/109 B05C 13 / 00,13 / 02 B05D 1/18 B05D 7/00 B65G 49/04 H05K 3/02
Claims (2)
上端となるようにし、しかも平行にセットした状態でチ
ャッキング機構を備えた搬送装置によりデイッピング槽
まで搬送して浸漬せしめるようにしたデイッピング装置
において、前記ガラス基板の上端角部を把持する前記チ
ャッキング機構は互いに反対方向に往復動する一対のス
ライド部材を有し、これら一対のスライド部材の一方に
はガラス基板の一面側に当接するクランプ爪を、他方に
は前記クランプ爪と対向する位置にてガラス基板の他面
側に当接するクランプ爪を設け、更に前記ガラス基板を
セットするセット治具は、基台に対し一対のアングル状
アームを傾斜角調整可能に支持し、これら一対のアーム
間にガラス基板の下縁部が嵌り込む溝を形成したロッド
を架設したことを特徴とするガラス基板のデイッピング
装置。1. A method in which one corner of a plurality of rectangular glass substrates is set as an upper end, and furthermore, is transported to a dipping tank by a transporting device equipped with a chucking mechanism in a state of being set in parallel so as to be immersed. In the dipping apparatus, the chucking mechanism that grips the upper end corner of the glass substrate has a pair of slide members that reciprocate in opposite directions, and one of the pair of slide members includes one side of the glass substrate. A clamp claw that abuts, and a clamp claw that abuts on the other surface of the glass substrate at a position facing the clamp claw on the other side, and a set jig for setting the glass substrate further includes a pair of jigs with respect to a base. The angled arm is supported so that the inclination angle can be adjusted, and a rod having a groove into which the lower edge of the glass substrate fits is provided between the pair of arms. Dipping apparatus for a glass substrate according to symptoms.
グ装置において、前記ガラス基板の上端角部を把持する
前記チャッキング機構は、ガラス基板の一面側に当接す
るクランプ爪と、前記クランプ爪と対向する位置にてガ
ラス基板の他面側に当接するクランプ爪を有し、これら
クランプ爪のうち一方のクランプ爪のガラス基板と当接
する面は平坦面とし、他方のクランプ爪の周囲には弾性
リングを巻回したことを特徴とするガラス基板のデイッ
ピング装置。2. The glass substrate dipping apparatus according to claim 1, wherein the chucking mechanism for gripping a corner at an upper end of the glass substrate includes a clamp claw abutting on one surface side of the glass substrate; At the opposing position, it has clamp claws that contact the other side of the glass substrate. One of these clamp claws is in contact with the glass substrate, and the surface that makes contact with the glass substrate is flat. A glass substrate dipping device characterized by winding a ring.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2324685A JP3059210B2 (en) | 1990-11-26 | 1990-11-26 | Method and apparatus for dipping glass substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2324685A JP3059210B2 (en) | 1990-11-26 | 1990-11-26 | Method and apparatus for dipping glass substrate |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04190867A JPH04190867A (en) | 1992-07-09 |
| JP3059210B2 true JP3059210B2 (en) | 2000-07-04 |
Family
ID=18168583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2324685A Expired - Fee Related JP3059210B2 (en) | 1990-11-26 | 1990-11-26 | Method and apparatus for dipping glass substrate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3059210B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105396759A (en) * | 2015-12-07 | 2016-03-16 | 济南利江自动化设备有限公司 | Clamping and overturning mechanism |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117139045B (en) * | 2023-10-30 | 2024-02-20 | 江苏恒丰新材料制造有限公司 | Rust-proof oil drop device for stainless steel plate production |
-
1990
- 1990-11-26 JP JP2324685A patent/JP3059210B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105396759A (en) * | 2015-12-07 | 2016-03-16 | 济南利江自动化设备有限公司 | Clamping and overturning mechanism |
| CN105396759B (en) * | 2015-12-07 | 2018-07-03 | 济南利江自动化设备有限公司 | A kind of clamping switching mechanism |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04190867A (en) | 1992-07-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2622046B2 (en) | Substrate transfer device | |
| JP4025069B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
| JPH10316242A (en) | Substrate conveying device and method | |
| CN212623568U (en) | Full-automatic double-sided exposure machine | |
| JP3059210B2 (en) | Method and apparatus for dipping glass substrate | |
| CN210579503U (en) | Transmission mechanism of covering machine | |
| JP3210154B2 (en) | Substrate attitude converter | |
| JP3049981B2 (en) | Electrode formation system for chip parts | |
| JPH05301710A (en) | Method for carrying substrate in substrate-treating system and device therefor | |
| JP3687389B2 (en) | Substrate processing equipment | |
| JPH08139153A (en) | Single wafer processing system, wafer transfer system and cassette | |
| JP3531044B2 (en) | Method for transferring glass substrate for liquid crystal display device and apparatus used for the method | |
| JP2000183126A (en) | Automatic substrate take-out apparatus | |
| JP3766177B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate cleaning apparatus | |
| JPH07193114A (en) | Substrate supporting device and substrate positioning device | |
| JPH0545489B2 (en) | ||
| JP2926592B2 (en) | Substrate processing equipment | |
| JP3777050B2 (en) | Substrate processing system | |
| JP2801140B2 (en) | Substrate transfer device | |
| JPH0648848Y2 (en) | Cassette Alignment Device for Dual Cassette Type Substrate Processing Equipment | |
| JP2564432Y2 (en) | Adjustment jig for substrate transfer | |
| JP2859118B2 (en) | Substrate transfer device | |
| JP2782408B2 (en) | Substrate processing equipment | |
| JP3645484B2 (en) | Electronic component mounting equipment | |
| JPS63213355A (en) | Substrate transfer device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |