JP3058754B2 - Lead frame plating method - Google Patents

Lead frame plating method

Info

Publication number
JP3058754B2
JP3058754B2 JP4093317A JP9331792A JP3058754B2 JP 3058754 B2 JP3058754 B2 JP 3058754B2 JP 4093317 A JP4093317 A JP 4093317A JP 9331792 A JP9331792 A JP 9331792A JP 3058754 B2 JP3058754 B2 JP 3058754B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating
die pad
lead frame
mask
die
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP4093317A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH05263293A (en
Inventor
浩一 村田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shinko Electric Industries Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shinko Electric Industries Co Ltd filed Critical Shinko Electric Industries Co Ltd
Priority to JP4093317A priority Critical patent/JP3058754B2/en
Publication of JPH05263293A publication Critical patent/JPH05263293A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3058754B2 publication Critical patent/JP3058754B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はリードフレームのめっき
方法に関し、より詳細には半導体チップのダイ付け等の
ためのめっきを施して成るリードフレームのめっき方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of plating a lead frame, and more particularly to a method of plating a lead frame formed by plating a semiconductor chip with a die.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置等に用いられるリードフレー
ムではインナーリードのワイヤボンディング性を良好に
するためにインナーリード先端のボンディング部にめっ
きを施し、また、半導体チップのダイ付け性を良好にす
るためダイパッドにめっきを施すことがなされている。
これらのめっきはワイヤボンディング性やダイ付け性を
良好にするものであるから、ワイヤボンディングあるい
はダイ付けされる片面にのみ施せばよく、従来はリード
フレームの裏面側をめっき治具で被覆するとともに、所
定のめっきパターンを形成したマスクでリードフレーム
の表面側を被覆して部分的にめっきを施している。
2. Description of the Related Art In a lead frame used in a semiconductor device or the like, a bonding portion at the tip of an inner lead is plated to improve the wire bonding property of the inner lead, and the die attaching property of the semiconductor chip is improved. Plating is applied to die pads.
Since these platings improve wire bonding and die attachability, they need only be applied to one side to be wire-bonded or die-attached.Conventionally, the back side of the lead frame is covered with a plating jig, The surface side of the lead frame is covered with a mask having a predetermined plating pattern, and is partially plated.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の部分
めっきを施す際に従来リードフレームを所定のパターン
を形成したマスクおよびめっき治具でクランプしてめっ
きするようにしているのは、リードフレームのワイヤボ
ンディング面あるいはダイ付け面にめっきが必要である
ことに加えて、ワイヤボンディングの際にインナーリー
ドの裏面がヒータブロックに当接するとインナーリード
からヒータブロックにめっきが転写され、これがアセン
ブリ工程での不良発生の原因になること、および、めっ
きとモールド樹脂との密着性がわるいために、リードフ
レームの裏面側にめっきが付着しているとパッケージク
ラックが発生する原因になることから、リードフレーム
の裏面側にめっき液が回り込んでめっきが付着しないよ
うにするためである。
However, when the above-described partial plating is performed, the conventional lead frame is clamped and plated with a mask having a predetermined pattern and a plating jig. In addition to the need for plating on the wire bonding surface or die attaching surface, when the back surface of the inner lead comes into contact with the heater block during wire bonding, plating is transferred from the inner lead to the heater block, and this is used in the assembly process. Because of the cause of defects and poor adhesion between the plating and the mold resin, if the plating adheres to the back side of the lead frame, it may cause package cracks. This is to prevent the plating solution from flowing around the back side and causing the plating to adhere. .

【0004】近年は記憶容量の増大等により半導体チッ
プが大型化するのにともないリードフレームのダイパッ
ドが大型化する傾向にある。そして、この結果、上記の
ようなめっき方法によるととくにダイパッド部分でめっ
き液がその裏面側に漏れ出しやすくなるという問題が生
じている。すなわち、ダイパッドの表面側にめっきを施
す場合は、マスクはダイパッド部分では開放状態となっ
ているから、ダイパッドの裏面側のめっき治具による押
さえが十分でないとダイパッドの周縁部からめっき液が
ダイパッドの裏面側に回り込んでダイパッドの裏面にめ
っきが付着することになる。このような大型のダイパッ
ドを有する製品ではパッケージクラックの発生等はダイ
パッドからの影響が大きく、ダイパッドの裏面へのめっ
き液の回り込みを防止することが製品の信頼性を高める
うえで重要となる。そこで、本発明は上記問題点を解消
すべくなされたものであり、その目的とするところは、
部分めっきの際にダイパッドの裏面側へめっき液が回り
込むことを防止し、これによって好適にアセンブリで
き、かつ信頼性の高い製品を得ることのできるリードフ
レームのめっき方法を提供するにある。
In recent years, the die pad of a lead frame tends to increase in size as the semiconductor chip increases in size due to an increase in storage capacity and the like. As a result, according to the plating method as described above, there is a problem that the plating solution easily leaks to the rear surface of the die pad portion. In other words, when plating is performed on the front side of the die pad, the mask is open at the die pad portion. Therefore, if the plating jig on the back side of the die pad is not sufficiently pressed, the plating solution flows from the peripheral portion of the die pad to the die pad. The plating goes around the back side and the plating adheres to the back side of the die pad. In a product having such a large die pad, the occurrence of a package crack or the like is greatly affected by the die pad, and it is important to prevent the plating solution from flowing to the back surface of the die pad in order to enhance the reliability of the product. Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, and the purpose thereof is to
It is an object of the present invention to provide a plating method for a lead frame, which prevents a plating solution from flowing to the back side of a die pad during partial plating, thereby enabling a suitable assembly and obtaining a highly reliable product.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、ダイパッドを備
えたリードフレームを、リードフレームの裏面側を全面
にわたって被覆するめっき治具と所定のめっきパターン
を形成したマスクとの間に挟み込み、該マスクから露出
する前記リードフレーム少なくともダイパッドの表面
にめっきを施すリードフレームのめっき方法において、
インナーリードの先端部と、該先端部の内側に該先端部
と周縁部を離間して配置したダイパッドとを含む、イン
ナーリードの先端部の内側の領域を露出させて形成した
マスクによりインナーリードを押圧するとともに、該
スクに設けた被覆部により前記ダイパッド表面の周縁
部のめっきを施さなくてもよい部位を押圧してめっきを
施すことを特徴とする。また、前記被覆部により、方形
状に形成されたダイパッドの平行な二つの辺の周縁部を
各々押圧することを特徴とする。 また、前記被覆部によ
り、ダイパッドの一つの辺の複数個所を押圧することを
特徴とする。
The present invention has the following arrangement to achieve the above object. That is, the lead frame having a die pad, the entire surface of the back side of the lead frame
Sandwiched between a plating jig that covers over and a mask on which a predetermined plating pattern is formed, and exposed from the mask.
In the plating method of the lead frame is subjected at least plating on the surface of the die pad of the lead frame,
A tip portion of the inner lead; and a tip portion inside the tip portion.
And a die pad whose peripheral portion is spaced apart.
Formed by exposing the area inside the tip of the knurled lead
With pressing the inner leads by the mask, characterized in that plating by pressing a good site even without performing the plating of the periphery of the O Ri said die pad of the surface covering portion provided in said Ma <br/> disk And Also, due to the covering part,
Of the two parallel sides of the die pad
Each of them is pressed. In addition, the coating portion
And pressing multiple points on one side of the die pad.
Features.

【0006】[0006]

【作用】リードフレームに部分めっきを施す際に、ダイ
パッドの周縁部のめっきを施さなくてよい部位をめっき
治具とマスクに設けた被覆部とによりクランプすること
によってダイパッドとめっき治具との密着性を向上さ
せ、めっき液がダイパッドの裏面側に回り込むことを防
止する。これによってダイパッドの裏面にめっきが付着
することを防止し、パッケージクラックの発生やワイヤ
ボンディング等のアセンブリ工程での不良発生を防止す
る。
[Function] When partial plating is applied to a lead frame, a portion of the peripheral portion of the die pad that does not need to be plated is clamped by a plating jig and a covering portion provided on a mask , so that the die pad and the plating jig adhere to each other. The plating solution is prevented from flowing around the back surface of the die pad. This prevents plating from adhering to the back surface of the die pad, and prevents occurrence of package cracks and failures in assembly processes such as wire bonding.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図1は本発明に係るリードフレ
ームのめっき方法にしたがってリードフレームに部分め
っきを施す方法を示す説明図である。本発明にかかるリ
ードフレームのめっき方法は、リードフレームの裏面を
めっき治具で全面被覆しリードフレームの裏面側にめっ
き液が回り込まないようにする点は従来方法と共通であ
るが、リードフレームの表面側を所定のめっきパターン
を形成したマスクで被覆するとともにダイパッドの周縁
部の一部分を押さえる被覆部を設けてめっきすることを
特徴としている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an explanatory view showing a method of performing partial plating on a lead frame according to a lead frame plating method according to the present invention. The method of plating a lead frame according to the present invention is common to the conventional method in that the back surface of the lead frame is entirely covered with a plating jig to prevent the plating solution from flowing around the back surface of the lead frame. It is characterized in that the surface side is covered with a mask having a predetermined plating pattern formed thereon and plating is performed by providing a covering portion for pressing a part of the peripheral portion of the die pad.

【0008】図1はリードフレームをめっき治具とマス
クでクランプした状態をマスク側から見た状態を示す。
図で10がダイパッド、12がステージサポートバー、
14がインナーリードである。マスク16はインナーリ
ード14のワイヤボンディング部である先端部を露出さ
せ、その外側部分を覆うように配置している。18は長
方形状に形成されたダイパッド10の長辺の各周縁部を
それぞれクランプする被覆部である。被覆部18は図の
ようにダイパッド10の周縁部に若干かかるようにして
配置する。被覆部18はマスク16に固定支持し、マス
ク16でリードフレームをめっき治具にクランプする際
に、同時にダイパッド10を押圧するように配置する。
FIG. 1 shows a state in which a lead frame is clamped by a plating jig and a mask when viewed from the mask side.
In the figure, 10 is a die pad, 12 is a stage support bar,
14 is an inner lead. The mask 16 is arranged so as to expose a tip portion which is a wire bonding portion of the inner lead 14 and cover an outer portion thereof. Reference numeral 18 denotes a covering portion that clamps each peripheral edge of the long side of the die pad 10 formed in a rectangular shape. The covering portion 18 is arranged so as to slightly cover the periphery of the die pad 10 as shown in the figure. The coating portion 18 is fixedly supported on the mask 16, and is arranged so as to simultaneously press the die pad 10 when the lead frame is clamped to the plating jig by the mask 16.

【0009】被覆部18のクランプ面にはゴム等の弾性
体を設け、ダイパッド10をクランプする際にダイパッ
ド10の裏面へのめっき液の回り込みを防止するととも
に、ダイパッド10の周縁部の表面部分にもめっき液が
回り込まないようにする。めっきに際してはマスク16
および被覆部18によってリードフレームをめっき治具
にクランプしてめっきする。ダイパッド10は被覆部1
8でその周縁部を押圧することによってめっき治具との
密着性が向上し、ダイパッド10の裏面側にめっき液が
回り込むことを効果的に防止する。
An elastic body such as rubber is provided on the clamp surface of the covering portion 18 to prevent the plating solution from flowing to the back surface of the die pad 10 when the die pad 10 is clamped, and to be provided on the surface of the peripheral portion of the die pad 10. So that the plating solution does not flow around. When plating, use a mask 16
Then, the lead frame is clamped to the plating jig by the covering portion 18 and plated. The die pad 10 has the coating 1
By pressing the peripheral portion at 8, the adhesion to the plating jig is improved, and the plating solution is effectively prevented from flowing around the back surface of the die pad 10.

【0010】なお、図1で被覆部18がダイパッド10
にかかる部分(図の斜線部)についてはめっき液が回り
込まずめっきが施されない。したがって、被覆部18で
ダイパッド10をクランプする際には、半導体チップの
ダイ付けに支障とならないように被覆部位を設定する必
要がある。実施例では半導体チップのダイ付け範囲より
も外側部分のダイパッドの周縁部をクランプしてダイ付
けに支障がないようにしている。この被覆部18による
ダイパッド10の被覆部位はダイパッドの形状やステー
ジサポートバー12の取り付け位置に応じて効果的な位
置に適宜設定すればよく、ダイパッドの辺上を押さえる
方法の他にコーナー部を押さえる方法、辺上でも複数個
所で押さえる方法等の適宜方法を選択することができ
る。
Note that, in FIG.
The plating solution does not flow around the portion (hatched portion in the figure) corresponding to (1), and plating is not performed. Therefore, when the die pad 10 is clamped by the covering portion 18, it is necessary to set the covering portion so as not to hinder the die attachment of the semiconductor chip. In the embodiment, the periphery of the die pad outside the die attachment range of the semiconductor chip is clamped so as not to hinder the die attachment. The covering portion of the die pad 10 by the covering portion 18 may be appropriately set to an effective position according to the shape of the die pad and the mounting position of the stage support bar 12, and the corner portion may be pressed in addition to the method of pressing the side of the die pad. A suitable method such as a method or a method of pressing at a plurality of positions on the side can be selected.

【0011】本実施例の方法によってダイパッド10を
被覆部18で押さえながらめっきを行った場合は、ダイ
パッド10が大型化してもダイパッド10の押さえが効
果的になされるから、めっき液の回り込みを防止してダ
イパッド10の裏面にめっきが付着することを防止する
ことができる。これによって、ダイパッド10とモール
ド樹脂との密着性が向上し、モールド後にパッケージク
ラックが発生することを効果的に防止することが可能と
なる。実施例の方法によればダイパッド10の周縁部の
表面部分にもめっきが付着しないからモールド樹脂とダ
イパッド10との密着性がさらに向上する。また、ワイ
ヤボンディング等のアセンブリの際にヒータブロックに
めっきが転写されるといった問題も解消でき、アセンブ
リ工程での不良発生を解消することができる。
When plating is performed by pressing the die pad 10 with the covering portion 18 according to the method of the present embodiment, the die pad 10 is effectively pressed down even if the die pad 10 becomes large, so that the plating solution is prevented from flowing around. Thus, it is possible to prevent the plating from adhering to the back surface of the die pad 10. As a result, the adhesion between the die pad 10 and the mold resin is improved, and it is possible to effectively prevent the occurrence of package cracks after molding. According to the method of the embodiment, since the plating does not adhere to the surface of the peripheral portion of the die pad 10, the adhesion between the mold resin and the die pad 10 is further improved. Further, the problem that plating is transferred to the heater block at the time of assembly such as wire bonding can be solved, and the occurrence of defects in the assembly process can be solved.

【0012】[0012]

【発明の効果】本発明に係るリードフレームのめっき方
法によれば、上述したように、部分めっきの際にダイパ
ッドの裏面にめっきが付着することを好適に防止するこ
とができ、これによってパッケージクラックの発生を防
止するとともにアセンブリ工程での不良発生を防止する
ことができる等の著効を奏する。
According to the method for plating a lead frame according to the present invention, as described above, it is possible to preferably prevent the plating from adhering to the back surface of the die pad during the partial plating. In addition, it is possible to prevent the occurrence of defects and to prevent the occurrence of defects in the assembly process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】リードフレームをめっきする状態を示す説明図
である。
FIG. 1 is an explanatory view showing a state of plating a lead frame.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ダイパッド 12 ステージサポートバー 14 インナーリード 16 マスク 18 被覆部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Die pad 12 Stage support bar 14 Inner lead 16 Mask 18 Covering part

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ダイパッドを備えたリードフレームを
リードフレームの裏面側を全面にわたって被覆するめっ
き治具と所定のめっきパターンを形成したマスクとの間
に挟み込み、該マスクから露出する前記リードフレーム
少なくともダイパッドの表面にめっきを施すリードフ
レームのめっき方法において、インナーリードの先端部と、該先端部の内側に該先端部
と周縁部を離間して配置したダイパッドとを含む、イン
ナーリードの先端部の内側の領域を露出させて形成した
マスクによりインナーリードを押圧するとともに、該
スクに設けた被覆部により前記ダイパッド表面の周縁
部のめっきを施さなくてもよい部位を押圧してめっきを
施すことを特徴とするリードフレームのめっき方法。
1. A lead frame provided with a die pad ,
The lead frame sandwiched between a plating jig that covers the entire back surface side of the lead frame and a mask on which a predetermined plating pattern is formed, and exposed from the mask
A plating method for a lead frame, wherein plating is performed on at least the surface of the die pad, wherein the tip portion of the inner lead and the tip portion are provided inside the tip portion.
And a die pad whose peripheral portion is spaced apart.
Formed by exposing the area inside the tip of the knurled lead
With pressing the inner leads by the mask, of the lead frame, characterized in that plating by pressing a good site even without performing the plating of the periphery of the surface of the die pad Ri by the covering portion provided in said mask Plating method.
【請求項2】 前記被覆部により、方形状に形成された
ダイパッドの平行な二つの辺の周縁部を各々押圧するこ
とを特徴とする請求項1記載のリードフレームのめっき
方法。
2. A rectangular shape is formed by said covering portion.
Press the edges of the two parallel sides of the die pad
The plating of a lead frame according to claim 1, wherein
Method.
【請求項3】 前記被覆部により、ダイパッドの一つの
辺の複数個所を押圧することを特徴とする請求項1記載
のリードフレームのめっき方法。
3. The method according to claim 1, wherein the coating portion forms one of the die pads.
2. The method according to claim 1, wherein a plurality of sides are pressed.
Lead frame plating method.
JP4093317A 1992-03-19 1992-03-19 Lead frame plating method Expired - Fee Related JP3058754B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4093317A JP3058754B2 (en) 1992-03-19 1992-03-19 Lead frame plating method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4093317A JP3058754B2 (en) 1992-03-19 1992-03-19 Lead frame plating method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05263293A JPH05263293A (en) 1993-10-12
JP3058754B2 true JP3058754B2 (en) 2000-07-04

Family

ID=14078927

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4093317A Expired - Fee Related JP3058754B2 (en) 1992-03-19 1992-03-19 Lead frame plating method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3058754B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113130515A (en) * 2019-12-31 2021-07-16 格科微电子(上海)有限公司 Method for manufacturing optical fingerprint device
CN113270430A (en) * 2020-02-17 2021-08-17 格科微电子(上海)有限公司 Method for forming infrared cut-off light filtering film in optical fingerprint device

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05263293A (en) 1993-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001267482A (en) Lead frame pattern, semiconductor device using it, manufacturing method therefor
JPH0355859A (en) Semiconductor die bonding method, strip carrier and integrated circuit bonding tape
JP3058754B2 (en) Lead frame plating method
JPH0982870A (en) Semiconductor device, lead frame, and manufacture thereof
JPH0732216B2 (en) Semiconductor device
JPS58171838A (en) Lead frame for semiconductor device
JPS63131557A (en) Lead frame for resin seal type semiconductor device and resin type semiconductor device
JPS60113932A (en) Assembling process of resin sealed semiconductor device
JPH02213156A (en) Semiconductor frame
JP2002110884A (en) Lead frame laminate
JP2003188332A (en) Semiconductor device and its manufacturing method
JP3004085B2 (en) Semiconductor device
JPS6214698Y2 (en)
JP2503638B2 (en) Semiconductor device
JPH0442547A (en) Method of mounting components on printed board
JPH03129840A (en) Resin-sealed semiconductor device
JPH04213864A (en) Resin sealed type semiconductor device
JPH0653404A (en) Lead frame
JPH07283258A (en) Semiconductor device and manufacture thereof
JPH0720924Y2 (en) Semiconductor device
JPH0662539U (en) Semiconductor device
JPH06260578A (en) Lead frame for semiconductor device
JPH09116076A (en) Lead frame and semiconductor device
JPH09246290A (en) Semiconductor device
JPH0637123A (en) Semiconductor device

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees