JP3049306B2 - Optical module and method of manufacturing the same - Google Patents

Optical module and method of manufacturing the same

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JP3049306B2
JP3049306B2 JP7287651A JP28765195A JP3049306B2 JP 3049306 B2 JP3049306 B2 JP 3049306B2 JP 7287651 A JP7287651 A JP 7287651A JP 28765195 A JP28765195 A JP 28765195A JP 3049306 B2 JP3049306 B2 JP 3049306B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、光モジュールお
よびその製造方法に関し、特に、光モジュールに対して
光を入出力する光コネクタの接続取り扱いを容易にする
光モジュールおよびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical module and a method for manufacturing the same, and more particularly, to an optical module for facilitating connection handling of an optical connector for inputting and outputting light to and from the optical module and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】 光モジュールの従来例を図3を参照し
て説明する。図3に示される光モジュールは、パッケー
ジ5内の所定位置に発光素子4を搭載した後、実際にこ
の発光素子4に電気端子42を介して通電発光させて放
射光が光ファイバ芯線9に入射する状態をモニタしなが
ら入射光量が最大となる様に光ファイバ芯線9の調芯固
定をするというものである。4を受光素子とした場合、
光ファイバ芯線9を介して導入された光により受光素子
4を照射し、受光素子4への入射光量を電気端子42を
介して得られる電気出力をモニタしながら入射光量が最
大となる様に光ファイバ芯線9の調芯固定をする。光フ
ァイバ芯線9の調芯固定は、光ファイバ芯線9をこれを
保護するパイプ内に封止材料10により接着し、或はろ
う付けすることにより接着封止される。光ファイバ芯線
9はガラスより成るので、ろう付けする場合は光ファイ
バ芯線9にメタルコーティングを施すことが行なわれ
る。
2. Description of the Related Art A conventional example of an optical module will be described with reference to FIG. In the optical module shown in FIG. 3, after the light emitting element 4 is mounted at a predetermined position in the package 5, the light emitting element 4 is actually energized to emit light through the electric terminal 42, and the radiated light enters the optical fiber core wire 9. The optical fiber core wire 9 is aligned and fixed so that the amount of incident light is maximized while monitoring the state of the optical fiber. When 4 is a light receiving element,
The light receiving element 4 is illuminated with the light introduced through the optical fiber core wire 9, and the amount of light incident on the light receiving element 4 is monitored so as to maximize the amount of incident light while monitoring the electric output obtained via the electric terminal 42. The fiber core wire 9 is aligned and fixed. To align and fix the optical fiber core wire 9, the optical fiber core wire 9 is bonded and sealed with a sealing material 10 in a pipe for protecting the optical fiber core wire 9 or by brazing. Since the optical fiber core 9 is made of glass, a metal coating is performed on the optical fiber core 9 when brazing.

【0003】図4を参照して光モジュールの他の従来例
を説明する。発光素子或は受光素子4をパッケージ5内
に搭載した後、ガラス窓13により封止する。この場
合、光ファイバ芯線9はフェルール20にその中心を貫
通して取り付けられている。ファイバ芯線9の先端はフ
ェルール20の先端中心に露出しているので、このフェ
ルール20の先端をガラス窓13に係合して発光素子或
は受光素子4との間の光の入出力光量が最大となる様に
ガラス窓13の外側からモニタして光ファイバ芯線9の
調芯固定をする。
Another conventional optical module will be described with reference to FIG. After mounting the light emitting element or the light receiving element 4 in the package 5, it is sealed with a glass window 13. In this case, the optical fiber core wire 9 is attached to the ferrule 20 through its center. Since the distal end of the fiber core wire 9 is exposed at the center of the distal end of the ferrule 20, the distal end of the ferrule 20 is engaged with the glass window 13 so that the amount of input / output light between the light emitting element and the light receiving element 4 is maximized. The optical fiber core wire 9 is aligned and fixed by monitoring from the outside of the glass window 13 such that

【0004】図5を参照するに、上述の光モジュール
は、何れも、光ファイバ芯線9をテープ光ファイバ6の
形にして光モジュールから或る一定の長さに延伸し、そ
の端部に光コネクタ15を取り付ける構成を採用するも
のである。この様に光モジュールからテープ光ファイバ
6が延伸している光モジュールは、一般に、ピグテール
型光モジュールと呼ばれている。光モジュールは、結
局、或る一定の長さに延伸するテープ光ファイバ6に光
コネクタ15を結合し、これに他方の光コネクタ16を
結合し、これを介して外部と光の入出力をすることにな
る。
Referring to FIG. 5, in each of the above-described optical modules, the optical fiber core wire 9 is formed into a tape optical fiber 6 and extends from the optical module to a certain length. A configuration in which the connector 15 is attached is adopted. Such an optical module in which the tape optical fiber 6 extends from the optical module is generally called a pigtail type optical module. In the optical module, the optical connector 15 is connected to the tape optical fiber 6 extending to a certain length, and the other optical connector 16 is connected to the optical connector 15 to input / output light to / from the outside through the optical connector. Will be.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】以上の光モジュール
は、発光素子を実際に発光させ、或は受光素子に光を入
射して光ファイバの調芯固定を行うものであり、加工の
工数が多くなる。そして、光ファイバをパイプ内に固定
することは容易なことではない。また、光モジュールの
従来例は、何れも、ピグテール型になるが、テールとな
る光ファイバの余長取り扱い処理をしなければならず、
これは光モジュールのユーザーにとって扱い易い形態と
はいい難い。
The above-mentioned optical module is for causing the light emitting element to actually emit light or for inputting light to the light receiving element to align and fix the optical fiber. Become. And, it is not easy to fix the optical fiber in the pipe. In addition, the conventional examples of the optical module are all pigtail type, but the extra length of the tail optical fiber must be handled.
This is not easy to handle for the user of the optical module.

【0006】この発明は、上述の通りの解決されるべき
課題を解消した光モジュールおよびその製造方法を提供
するものである。
An object of the present invention is to provide an optical module and a method of manufacturing the same, which have solved the problems to be solved as described above.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】光ファイバ6を介して発
光素子或は受光素子4に光を入出力する光モジュールに
おいて、2本のV溝31を形成したV溝付取り付け基板
3を具備し、V溝31を基準としてV溝付取り付け基板
3に位置決め固定される発光素子或は受光素子4を具備
し、V溝付取り付け基板3が取り付け固定されるパッケ
ージ5を具備し、2本のガイドピン1がV溝31に嵌合
整合した状態においてパッケージ5の窓孔51に取り付
けこれを封止する封止用ガラス窓2を具備する光モジュ
ールを構成した。
An optical module for inputting and outputting light to and from a light emitting element or a light receiving element via an optical fiber is provided with a mounting substrate having a V-groove formed with two V-grooves. , A light-emitting element or a light-receiving element 4 positioned and fixed to the V-groove mounting substrate 3 with reference to the V-groove 31, a package 5 to which the V-groove mounting substrate 3 is mounted and fixed, and two guides. An optical module having a sealing glass window 2 for mounting the pin 1 in the window hole 51 of the package 5 in a state where the pin 1 is fitted and aligned with the V groove 31 and sealing the window hole 51 is formed.

【0008】そして、更に、ガイドピン1を介してパッ
ケージ5に結合する光コネクタ15を具備する光モジュ
ールを構成した。また、光コネクタ15はパッケージ5
のガイドピン1が嵌合する2本のガイドピン嵌合孔7を
有し、2本のガイドピン嵌合孔7の中心線の間の間隔は
2本のガイドピン1の中心線の間の間隔に等しく構成さ
れ、2本のガイドピン嵌合孔7を基準として光ファイバ
6を光コネクタ15に取り付け、ガイドピン嵌合孔7お
よび光モジュールのガイドピン1を仲立ちとして光ファ
イバ芯線先端が発光素子或は受光素子4に正確に整合調
整したものである光モジュールを構成した。
Further, an optical module having an optical connector 15 connected to the package 5 via the guide pin 1 is constructed. The optical connector 15 is a package 5
Has two guide pin fitting holes 7 into which the two guide pins 1 fit. The distance between the center lines of the two guide pin fitting holes 7 is between the center lines of the two guide pins 1. The optical fiber 6 is attached to the optical connector 15 with reference to the two guide pin fitting holes 7 and the tip of the optical fiber core wire emits light by using the guide pin fitting hole 7 and the guide pin 1 of the optical module as an intermediate. An optical module which was precisely adjusted and adjusted to the element or the light receiving element 4 was constructed.

【0009】更に、発光素子或は受光素子4はアレイ型
素子であり、光ファイバ6は多芯テープ光ファイバであ
る光モジュールを構成した。ここで、光ファイバ6を介
して発光素子或は受光素子4に光を入出力する光モジュ
ールの製造方法において、V溝付取り付け基板3に2本
のV溝31を形成し、V溝31を基準として発光素子或
は受光素子4をV溝付取り付け基板3に位置決め固定
し、パッケージ5にV溝付取り付け基板3を固定し、封
止用ガラス窓2にガイドピン1をV溝31に嵌合整合す
る状態に取り付け、ガイドピン1がV溝31に嵌合整合
した状態において封止用ガラス窓2をパッケージ5の窓
孔51に取り付けこれを封止する光モジュールの製造方
法を構成した。
Further, the light emitting element or the light receiving element 4 is an array type element, and the optical fiber 6 constitutes an optical module which is a multi-core tape optical fiber. Here, in the method of manufacturing an optical module for inputting / outputting light to / from the light emitting element or the light receiving element 4 via the optical fiber 6, two V grooves 31 are formed in the mounting substrate 3 with V grooves, and the V grooves 31 are formed. As a reference, the light emitting element or the light receiving element 4 is positioned and fixed on the mounting substrate 3 with the V-groove, the mounting substrate 3 with the V-groove is fixed on the package 5, and the guide pin 1 is fitted into the glass window 2 for sealing in the V-groove 31. A method of manufacturing an optical module is provided in which the sealing glass window 2 is attached to the window hole 51 of the package 5 and sealed with the guide pins 1 fitted and aligned in the V-grooves 31 while the guide pins 1 are fitted and aligned in the V-grooves 31.

【0010】そして、先の光モジュールの製造方法にお
いて、更に、光コネクタ15に光モジュールのガイドピ
ン1が嵌合する2本のガイドピン嵌合孔7を形成し、2
本のガイドピン嵌合孔7の中心線の間の間隔は2本のガ
イドピンの中心線の間の間隔に正確に等しく調整し、2
本のガイドピン嵌合孔7を基準として光ファイバ6を光
コネクタに取り付け、ガイドピン嵌合孔7および光モジ
ュールのガイドピン1を仲立ちとして光ファイバ芯線先
端を発光素子或は受光素子に正確に整合調整する光モジ
ュールの製造方法を構成した。
In the above-described method for manufacturing an optical module, two guide pin fitting holes 7 for fitting the guide pins 1 of the optical module into the optical connector 15 are further formed.
The distance between the center lines of the two guide pin fitting holes 7 is adjusted to be exactly equal to the distance between the center lines of the two guide pins.
The optical fiber 6 is attached to the optical connector with the guide pin fitting hole 7 as a reference, and the guide pin fitting hole 7 and the guide pin 1 of the optical module are used as intermediates so that the tip of the optical fiber core wire can be accurately placed on the light emitting element or the light receiving element. A method for manufacturing an optical module to be aligned and adjusted is configured.

【0011】また、先の光モジュールの製造方法におい
て、V溝付取り付け基板3はシリコンウェハに異方性エ
ッチングを施してV溝31を形成する光モジュールの製
造方法を構成した。
Further, in the above-described method for manufacturing an optical module, the method for manufacturing an optical module in which the V-groove 31 is formed by applying anisotropic etching to the silicon wafer for the mounting substrate 3 with V-grooves.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】この発明は、位置合せ用のV溝を
有する取り付け基板上のV溝を基準に設定されている所
定の位置に発光素子或は受光素子を搭載する。封止用の
ガラス窓にはガイドピンが貫通固定されているが、この
ガイドピンのガラス窓への固定時には高精度の位置合せ
は不要である。ここで、ピン間の距離は精度良く制御し
て取り付けられている。このガラス窓は、ガイドピンを
取り付け基板上のV溝に置いた位置で、接着、ろう付け
或は熔接によりパッケージに固定される。
According to the present invention, a light emitting element or a light receiving element is mounted at a predetermined position set on the basis of a V groove on a mounting substrate having a V groove for alignment. A guide pin is fixed through the glass window for sealing. When the guide pin is fixed to the glass window, high-precision alignment is not required. Here, the distance between the pins is controlled with high precision. The glass window is fixed to the package by bonding, brazing or welding at the position where the guide pin is placed in the V groove on the mounting substrate.

【0013】ガラス窓はパッケージと面で接触するので
封止は容易である。そして、光コネクタは、そのガイド
ピン嵌合孔がガイドピンに嵌合して光モジュールに結合
されるので、光コネクタの光ファイバ芯線は、ガイドピ
ンおよびV溝を介して発光素子或は受光素子に対して高
精度に位置合せをすることができ、結合に際して光ファ
イバの調芯工程は不要となる。
Since the glass window is in surface contact with the package, sealing is easy. Since the optical connector has the guide pin fitting hole fitted to the guide pin and is coupled to the optical module, the optical fiber core wire of the optical connector is connected to the light emitting element or the light receiving element via the guide pin and the V groove. Can be positioned with high accuracy, and the optical fiber alignment step is not required at the time of coupling.

【0014】シリコンウェハを異方性エッチングしてV
溝を刻設することにより1μm以下の精度の加工をする
ことができる。
Anisotropically etching a silicon wafer to obtain V
By engraving the groove, processing with an accuracy of 1 μm or less can be performed.

【0015】[0015]

【実施例】この発明の実施例を図1を参照して説明す
る。図1は光モジュールの実施例の構成部品の斜視図で
ある。図1において、4は発光素子或は受光素子であ
り、アレイ型の素子より成る。このアレイ型発光素子或
は受光素子4は、互に平行な2本のV溝31が形成され
た取り付け基板3の所定の位置に、その配列方向をV溝
31に直交して配列位置決めして搭載される。このアレ
イ型発光素子或は受光素子4の位置決めは、2本のV溝
31を基準にしてこれらとの間の所定の相互位置関係を
正確に満足するものでなければならない。この基準とな
るV溝31とアレイ型発光素子或は受光素子4の間の相
互位置決めは、フォトリソグラフィー技術によりV溝3
1を刻設するときに形成される位置合わせマークを使用
することにより高精度に実施することができる。
An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a perspective view of components of an embodiment of the optical module. In FIG. 1, reference numeral 4 denotes a light emitting element or a light receiving element, which comprises an array type element. The array type light emitting element or light receiving element 4 is arranged at a predetermined position of the mounting substrate 3 on which two mutually parallel V grooves 31 are formed, and the arrangement direction thereof is arranged orthogonal to the V grooves 31. Will be installed. The positioning of the array type light emitting element or the light receiving element 4 must satisfy a predetermined mutual positional relationship between the two V grooves 31 with reference to the two V grooves 31 accurately. The mutual positioning between the reference V-groove 31 and the array type light emitting element or the light receiving element 4 is determined by photolithography technology.
By using the alignment marks formed when engraving 1, a high-precision operation can be performed.

【0016】ここで、パッケージ5の側面に形成される
窓孔51を閉塞する封止用ガラス窓2には、2本のガイ
ドピン1を平行にして貫通固定する。なお、窓孔51に
対するガラス窓2の固定位置は特に高精度であることは
要せず、後で説明される通り2本のガイドピン1それぞ
れの一方の端部をV溝31に嵌合した状態において窓孔
51を閉塞することができさえすれば充分である。
Here, two guide pins 1 are passed through and fixed to the sealing glass window 2 for closing the window hole 51 formed on the side surface of the package 5. The fixing position of the glass window 2 with respect to the window hole 51 does not need to be particularly high precision, and one end of each of the two guide pins 1 is fitted into the V groove 31 as described later. It is sufficient that the window hole 51 can be closed in the state.

【0017】アレイ型発光素子或は受光素子4をV溝3
1に対して正確に相互位置決め搭載したV溝付取り付け
基板3は、パッケージ5の底面52に接着固定される。
封止用ガラス窓2に貫通固定される2本のガイドピン1
それぞれの一方の端部をパッケージ5側面の窓孔51か
ら挿入し、V溝31にそれぞれ嵌合した状態において封
止用ガラス窓2をパッケージ5の側面に接着、ろう付け
或は熔接する。パッケージ5に蓋を熔接してパッケージ
5の封止は完了する。
The array type light emitting element or light receiving element 4 is
The V-grooved mounting substrate 3 accurately positioned relative to the mounting substrate 1 is bonded and fixed to the bottom surface 52 of the package 5.
Two guide pins 1 that are fixed through the glass window 2 for sealing
One end of each is inserted from the window hole 51 on the side surface of the package 5, and the sealing glass window 2 is bonded, brazed, or welded to the side surface of the package 5 in a state fitted in the V-groove 31. The lid is welded to the package 5 to complete the sealing of the package 5.

【0018】図2(a)はパッケージ5の封止が完了し
た光モジュールを示す。図示されるアレイ型発光素子或
は受光素子4は4個の素子より成る。これらの各素子は
配線41を介して出力端子42に接続している。そし
て、2本のガイドピン1の一方の端部をV溝31にそれ
ぞれ嵌合した状態において、他方の端部をパッケージ5
外部に突出している。
FIG. 2A shows the optical module in which the sealing of the package 5 is completed. The illustrated array type light emitting element or light receiving element 4 is composed of four elements. Each of these elements is connected to an output terminal 42 via a wiring 41. Then, one end of each of the two guide pins 1 is fitted into the V-groove 31, and the other end is connected to the package 5.
It protrudes outside.

【0019】次いで、図2(b)を参照して光モジュー
ルに嵌合結合する光コネクタ15を説明する。光ファイ
バ6は光コネクタ15先端において光ファイバ芯線9先
端を露出している。光ファイバ6は多芯のテープ光ファ
イバを使用すると好適である。ここで、7はパッケージ
5のガイドピン1が嵌合するガイドピン嵌合孔であり、
2本のガイドピン嵌合孔7の中心線の間の間隔は2本の
ガイドピン1の中心線の間の間隔に正確に等しく構成さ
れる。そして、2本のガイドピン嵌合孔7を基準として
光ファイバ6を光コネクタに取り付け、ガイドピン嵌合
孔7および光モジュールのガイドピン1を仲立ちとして
光ファイバ芯線9先端がアレイ型発光素子或は受光素子
4に正確に整合する様に予め調整する。
Next, the optical connector 15 fitted and coupled to the optical module will be described with reference to FIG. The optical fiber 6 exposes the optical fiber core wire 9 at the optical connector 15. The optical fiber 6 is preferably a multi-core tape optical fiber. Here, reference numeral 7 denotes a guide pin fitting hole into which the guide pin 1 of the package 5 fits.
The distance between the center lines of the two guide pin fitting holes 7 is exactly equal to the distance between the center lines of the two guide pins 1. The optical fiber 6 is attached to the optical connector with reference to the two guide pin fitting holes 7, and the tip of the optical fiber core wire 9 is arranged as an array type light emitting element or the like by the guide pin fitting hole 7 and the guide pin 1 of the optical module. Is adjusted in advance so as to accurately match the light receiving element 4.

【0020】光コネクタ15の2本のガイドピン嵌合孔
7にパッケージ5の外部に突出するガイドピン1が嵌合
して両者は相互に結合する。結局、光ファイバ6の芯線
9とアレイ型発光素子或は受光素子4とは、V溝31、
ガイドピン1、およびガイドピン嵌合孔7を基準として
整合位置合わせが行なわれることとなる。図1はこの発
明の1実施例に過ぎず、V溝およびガイドピンの形状は
図1に示される形状構造のものに限定されない。そし
て、組立ての手順も上述の手順の外に、先ず、ガイドピ
ン1をV溝に合わせて固定した後、封止用のガラス窓を
貫通固定することができる。
The guide pins 1 projecting out of the package 5 are fitted into the two guide pin fitting holes 7 of the optical connector 15, and they are mutually connected. After all, the core wire 9 of the optical fiber 6 and the array type light emitting element or light receiving element 4 are
The alignment is performed with reference to the guide pin 1 and the guide pin fitting hole 7. FIG. 1 shows only one embodiment of the present invention, and the shapes of the V-groove and the guide pin are not limited to those having the configuration shown in FIG. Then, in addition to the above-described procedure, the guide pin 1 is first fixed to the V-groove, and then the sealing glass window can be fixed through.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上の通りであって、この発明は、V溝
付取り付け基板にV溝を形成し、V溝を基準として発光
素子或は受光素子をV溝付取り付け基板に正確に位置決
め固定し、パッケージにV溝付取り付け基板を固定し、
封止用ガラス窓にガイドピンをV溝に嵌合整合する状態
において取り付け、ガイドピンがV溝に嵌合整合した状
態において封止用ガラス窓をパッケージの窓孔に取り付
けこれを封止する。一方において、光コネクタは、2本
のガイドピン嵌合孔の中心線の間の間隔は2本のガイド
ピンの中心線の間の間隔に正確に等しく構成され、そし
て、2本のガイドピン嵌合孔を基準として光ファイバを
光コネクタに取り付け、ガイドピン嵌合孔および光モジ
ュールのガイドピンを仲立ちとして光ファイバ芯線先端
がアレイ型発光素子或は受光素子に正確に整合調整す
る。この様にして、光モジュールと光コネクタはV溝、
ガイドピン、およびガイドピン嵌合孔を基準として整合
位置合わせが行なわれ、発光素子或は受光素子と光ファ
イバの芯線の整合位置合わせをすることができるので、
格別の調芯工程は不要である。そして、光モジュールの
封止も比較的容易である。また、光コネクタが光モジュ
ールに直接接続するので、ピグテール型の如く無駄な光
ファイバが付属せず、テールとなる光ファイバの余長取
り扱い処理は不要であるので、光モジュールのユーザー
にとって扱い易い光モジュールである。
As described above, according to the present invention, a V-groove is formed in a mounting substrate with a V-groove, and a light emitting element or a light-receiving element is accurately positioned and fixed on the mounting substrate with a V-groove based on the V-groove. And fix the mounting substrate with V-groove to the package,
A guide pin is attached to the sealing glass window in a state where the guide pin is fitted and aligned in the V-groove. In a state where the guide pin is fitted and aligned in the V-groove, the sealing glass window is attached to the window hole of the package and sealed. On the one hand, the optical connector is configured such that the spacing between the center lines of the two guide pin fitting holes is exactly equal to the spacing between the center lines of the two guide pins, and The optical fiber is attached to the optical connector with the mating hole as a reference, and the tip of the optical fiber core wire is accurately aligned and adjusted with the array type light emitting element or light receiving element by using the guide pin fitting hole and the guide pin of the optical module in the middle. In this way, the optical module and the optical connector have a V-groove,
Since the guide pin and the guide pin fitting hole are used as a reference for alignment, the light emitting element or the light receiving element and the core wire of the optical fiber can be aligned.
No special alignment process is required. And the sealing of the optical module is relatively easy. In addition, since the optical connector is directly connected to the optical module, there is no need for an unnecessary optical fiber as in the pigtail type, and no extra processing of the optical fiber serving as the tail is required, so that the optical module is easy to handle for the user of the optical module. Module.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明による光モジュールを構成する部品を
示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing components constituting an optical module according to the present invention.

【図2】この発明による光モジュールと光コネクタの平
面図。
FIG. 2 is a plan view of an optical module and an optical connector according to the present invention.

【図3】光モジュールの従来例を示す斜視図。FIG. 3 is a perspective view showing a conventional example of an optical module.

【図4】光モジュールの他の従来例を示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing another conventional example of an optical module.

【図5】従来のピグテール型光モジュールを示す図。FIG. 5 is a diagram showing a conventional pigtail type optical module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガイドピン 2 ガラス窓 3 V溝付取り付け基板 4 発光素子或は受光素子 5 パッケージ 6 テープ光ファイバ 7 ガイドピン嵌合孔 9 光ファイバ芯線 10 封止材料 15 光コネクタ 16 光コネクタ 20 フェルール 31 V溝 51 窓孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Guide pin 2 Glass window 3 Mounting substrate with V groove 4 Light emitting element or light receiving element 5 Package 6 Tape optical fiber 7 Guide pin fitting hole 9 Optical fiber core wire 10 Sealing material 15 Optical connector 16 Optical connector 20 Ferrule 31 V groove 51 Window hole

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光ファイバを介して発光素子或は受光素
子に光を入出力する光モジュールにおいて、 V溝を形成したV溝付取り付け基板を具備し、V溝を基
準としてV溝付取り付け基板に位置決め固定される発光
素子或は受光素子を具備し、V溝付取り付け基板が取り
付け固定されるパッケージを具備し、ガイドピンをV溝
に嵌合整合した状態に取り付けた封止用ガラス窓を具備
し、ガイドピンがV溝に嵌合整合した状態においてパッ
ケージの窓孔に取り付けこれを封止する封止用ガラス窓
を具備することを特徴とする光モジュール。
1. An optical module for inputting and outputting light to and from a light-emitting element or a light-receiving element via an optical fiber, comprising: a mounting substrate with a V-groove formed with a V-groove; A light-emitting element or a light-receiving element positioned and fixed at a position, a package to which a mounting substrate with a V-groove is mounted and fixed, and a sealing glass window with a guide pin fitted and aligned with the V-groove. An optical module, comprising: a sealing glass window which is attached to a window hole of a package in a state where the guide pin is fitted and aligned with the V groove and seals the same.
【請求項2】 請求項1に記載される光モジュールにお
いて、 更に、ガイドピンを介してパッケージに結合する光コネ
クタを具備することを特徴とする光モジュール。
2. The optical module according to claim 1, further comprising an optical connector coupled to the package via a guide pin.
【請求項3】 請求項2に記載される光モジュールにお
いて、 光コネクタはパッケージのガイドピンが嵌合する2本の
ガイドピン嵌合孔を有し、2本のガイドピン嵌合孔の中
心線の間の間隔は2本のガイドピンの中心線の間の間隔
に等しく構成され、2本のガイドピン嵌合孔を基準とし
て光ファイバを光コネクタに取り付け、ガイドピン嵌合
孔および光モジュールのガイドピンを仲立ちとして光フ
ァイバ芯線先端がアレイ型発光素子或は受光素子に正確
に整合調整したものであることを特徴とする光モジュー
ル。
3. The optical module according to claim 2, wherein the optical connector has two guide pin fitting holes into which the guide pins of the package fit, and the center line of the two guide pin fitting holes. Is set to be equal to the distance between the center lines of the two guide pins, the optical fiber is attached to the optical connector based on the two guide pin fitting holes, and the guide pin fitting hole and the optical module are mounted. An optical module characterized in that the tip end of an optical fiber core wire is precisely adjusted and adjusted to an array type light emitting element or a light receiving element by using a guide pin as an intermediary.
【請求項4】 請求項3に記載される光モジュールにお
いて、発光素子或は受光素子はアレイ型素子であり、光
ファイバは多芯テープ光ファイバであることを特徴とす
る光モジュール。
4. The optical module according to claim 3, wherein the light emitting element or the light receiving element is an array type element, and the optical fiber is a multi-core tape optical fiber.
【請求項5】 光ファイバを介して発光素子或は受光素
子に光を入出力する光モジュールの製造方法において、
V溝付取り付け基板にV溝を形成し、V溝を基準として
発光素子或は受光素子をV溝付取り付け基板に位置決め
固定し、パッケージにV溝付取り付け基板を固定し、封
止用ガラス窓にガイドピンをV溝に嵌合整合する状態に
取り付け、ガイドピンがV溝に嵌合整合した状態におい
て封止用ガラス窓をパッケージの窓孔に取り付けこれを
封止することを特徴とする光モジュールの製造方法。
5. A method of manufacturing an optical module for inputting and outputting light to a light emitting element or a light receiving element via an optical fiber,
A V-groove is formed on a mounting substrate with a V-groove, and a light emitting element or a light-receiving element is positioned and fixed on the mounting substrate with a V-groove based on the V-groove, and the mounting substrate with a V-groove is fixed to a package, and a glass window for sealing A guide pin is fitted in the V-groove in a state where the guide pin is fitted in the V-groove, and a sealing glass window is attached to the window hole of the package when the guide pin is fitted in the V-groove and sealed. Module manufacturing method.
【請求項6】 請求項5に記載される光モジュールの製
造方法において、 光コネクタにパッケージのガイドピンが嵌合する2本の
ガイドピン嵌合孔を形成し、2本のガイドピン嵌合孔7
の中心線の間の間隔は2本のガイドピンの中心線の間の
間隔に正確に等しく調整し、2本のガイドピン嵌合孔を
基準として光ファイバを光コネクタに取り付け、ガイド
ピン嵌合孔および光モジュールのガイドピンを仲立ちと
して光ファイバ芯線先端をアレイ型発光素子或は受光素
子に正確に整合調整することを特徴とする光モジュール
の製造方法。
6. The method for manufacturing an optical module according to claim 5, wherein two guide pin fitting holes for fitting the guide pins of the package are formed in the optical connector, and the two guide pin fitting holes are formed. 7
The distance between the center lines is adjusted exactly equal to the distance between the center lines of the two guide pins, and the optical fiber is attached to the optical connector based on the two guide pin fitting holes. A method for manufacturing an optical module, comprising: accurately aligning and adjusting an end of an optical fiber core wire with an array-type light-emitting element or a light-receiving element by using a hole and a guide pin of the optical module.
【請求項7】 請求項5および請求項6の内の何れかに
記載される光モジュールの製造方法において、V溝付取
り付け基板はシリコンウェハに異方性エッチングを施し
てV溝を形成することを特徴とする光モジュールの製造
方法。
7. The method for manufacturing an optical module according to claim 5, wherein the mounting substrate with a V-groove is formed by performing anisotropic etching on a silicon wafer to form a V-groove. A method for manufacturing an optical module, comprising:
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