JP3048818B2 - Semiconductor laser device - Google Patents

Semiconductor laser device

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JP3048818B2
JP3048818B2 JP6014311A JP1431194A JP3048818B2 JP 3048818 B2 JP3048818 B2 JP 3048818B2 JP 6014311 A JP6014311 A JP 6014311A JP 1431194 A JP1431194 A JP 1431194A JP 3048818 B2 JP3048818 B2 JP 3048818B2
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    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、光ディスク装置の光
源や、変位測定器,ポインタ,LD励起固体レーザなど
の光源に利用できる半導体レーザ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor laser device which can be used as a light source of an optical disk device, or a light source such as a displacement measuring device, a pointer, and an LD-excited solid-state laser.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、半導体レーザ装置としては、レー
ザダイオードとその光出力を検出する出力検出用フォト
ダイオードとを備えた構成のものや、この構成にさらに
メディアからの読み取り信号を検出する信号検出用のフ
ォトダイオードを内蔵したものがある。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a semiconductor laser device, a semiconductor laser device having a structure including a laser diode and an output detecting photodiode for detecting an optical output thereof, and a signal detecting device for detecting a signal read from a medium in addition to this structure. Some have a built-in photodiode.

【0003】半導体レーザとフォトダイオードとを備え
た半導体レーザ装置を上方から見た様子を図4(A)に示
し、上記半導体レーザ装置を側方から見た様子を図4
(B)に示す。図4(B)に示すように、この半導体レーザ
装置は、外装パッケージ47に固定されたステム43に
半導体レーザチップ41と光出力検出用フォトダイオー
ド42とが取り付けられている。図4(A)に示すよう
に、電流注入端子44が上記半導体レーザチップ41に
ワイヤボンドされており、この電流注入端子44から注
入された電流が半導体レーザチップ41を駆動する。4
5は上記フォトダイオード42の出力端子であり、46
は半導体レーザチップ41とフォトダイオード42に共
通なコモン端子である。この半導体レーザ装置の等価回
路を図4(C)に示す。図4(C)に示す破線で囲んだ部分
が外装パッケージ47に取り付けられて一体になってい
る。
FIG. 4A shows a semiconductor laser device having a semiconductor laser and a photodiode as viewed from above, and FIG. 4A shows the semiconductor laser device as viewed from the side.
It is shown in (B). As shown in FIG. 4B, in this semiconductor laser device, a semiconductor laser chip 41 and a light output detection photodiode 42 are mounted on a stem 43 fixed to an outer package 47. As shown in FIG. 4A, a current injection terminal 44 is wire-bonded to the semiconductor laser chip 41, and the current injected from the current injection terminal 44 drives the semiconductor laser chip 41. 4
5 is an output terminal of the photodiode 42;
Is a common terminal common to the semiconductor laser chip 41 and the photodiode 42. FIG. 4C shows an equivalent circuit of this semiconductor laser device. A portion surrounded by a broken line shown in FIG. 4C is attached to the exterior package 47 to be integrated.

【0004】図5に示すように、上記半導体レーザ装置
51は、配線基板54に半田付けでもって接続される。
半導体レーザ装置51の電流注入端子44は、半田付け
部55で配線基板54の配線60に接続され、コモン端
子46は半田付け部56で配線59に接続され、出力端
子45は半田付け部57で配線58に接続される。
As shown in FIG. 5, the semiconductor laser device 51 is connected to a wiring board 54 by soldering.
The current injection terminal 44 of the semiconductor laser device 51 is connected to the wiring 60 of the wiring board 54 at the soldering section 55, the common terminal 46 is connected to the wiring 59 at the soldering section 56, and the output terminal 45 is connected to the wiring section 57 at the soldering section 57. Connected to wiring 58.

【0005】上記半導体レーザ装置51は、配線58と
59と60を介して、配線基板54に接続された駆動回
路53に接続される。そして、この駆動回路53は、配
線59と60を介して半導体レーザ装置51に駆動電流
を供給する。
The semiconductor laser device 51 is connected to a drive circuit 53 connected to a wiring board 54 via wirings 58, 59 and 60. The drive circuit 53 supplies a drive current to the semiconductor laser device 51 via the wirings 59 and 60.

【0006】上記駆動回路53と上記半導体レーザ装置
51とを接続する配線59と60の間に接続されたサー
ジ吸収用コンデンサ52は、半導体レーザ装置51の近
傍に配置されて、駆動回路53からのサージ電流を吸収
し、半導体レーザ装置51にサージ電流が加わることを
防止する。
[0006] A surge absorbing capacitor 52 connected between wirings 59 and 60 connecting the drive circuit 53 and the semiconductor laser device 51 is disposed near the semiconductor laser device 51 and receives a signal from the drive circuit 53. The surge current is absorbed to prevent the surge current from being applied to the semiconductor laser device 51.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
半導体レーザ装置は、サージ電流を吸収するためにコン
デンサ52を半導体レーザ装置51と別体に配線基板5
4に設ける必要があるから、サージ電流対策のために部
品点数が増加する上に、組み立て工数も増大するという
問題がある。
However, in the above-described conventional semiconductor laser device, the capacitor 52 is provided separately from the semiconductor laser device 51 to absorb the surge current.
4, there is a problem that the number of parts is increased and the number of assembling steps is increased in order to prevent surge current.

【0008】そこで、この発明の目的は、部品点数を増
加させることなく、かつ、組み立て工数を増加させるこ
となくサージ電流対策ができる半導体レーザ装置を提供
することにある。
An object of the present invention is to provide a semiconductor laser device capable of taking measures against surge current without increasing the number of parts and without increasing the number of assembling steps.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明の半導体レーザ装置は、誘電体部と
この誘電体部を挟む電極を含むセラミックコンデンサチ
ップと、半導体レーザチップとを備え、上記半導体レー
ザチップの電気的接続を要する一方の面が上記セラミッ
クコンデンサチップの一方の電極面に電気的に接続され
るように、上記一方の電極面に上記半導体レーザチップ
がマウントされており、上記半導体レーザチップの電気
的接続を要する他方の面が上記セラミックコンデンサチ
ップの他方の電極面にワイヤボンディングで電気的に接
続されていて、上記半導体レーザチップをマウントする
上記一方の電極面と、上記ワイヤボンディングを施す上
記他方の電極面とが平行であることを特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor laser device comprising: a ceramic capacitor chip including a dielectric portion, an electrode sandwiching the dielectric portion; and a semiconductor laser chip. The semiconductor laser chip is mounted on the one electrode surface so that one surface of the semiconductor laser chip that requires electrical connection is electrically connected to one electrode surface of the ceramic capacitor chip. The other surface of the semiconductor laser chip that requires electrical connection is electrically connected to the other electrode surface of the ceramic capacitor chip by wire bonding, and the one electrode surface for mounting the semiconductor laser chip, The other electrode surface on which the wire bonding is performed is parallel to the other electrode surface.

【0010】また、請求項2の発明は、請求項1に記載
の半導体レーザ装置において、上記セラミックコンデン
サチップの他方の電極は、上記誘電体部に対向している
と共に互いに絶縁されている2つの分割電極を有し、上
記セラミックコンデンサチップの一方の電極に、上記半
導体レーザチップからのレーザ光を受光するフォトダイ
オードチップがマウントされて、上記フォトダイオード
チップの電気的接続を要する一方の面が上記一方の電極
に電気的に接続されており、上記フォトダイオードチッ
プの電気的接続を要する他方の面が上記2つの分割電極
の一方に電気的に接続されており、上記半導体レーザチ
ップの電気的接続を要する他方の面が上記2つの分割電
極の他方に電気的に接続されていることを特徴としてい
る。
According to a second aspect of the present invention, in the semiconductor laser device according to the first aspect, the other electrode of the ceramic capacitor chip faces the dielectric portion and is insulated from each other. A photodiode chip that has split electrodes and receives laser light from the semiconductor laser chip is mounted on one electrode of the ceramic capacitor chip, and one surface of the photodiode chip that requires electrical connection is The photodiode chip is electrically connected to one of the electrodes, and the other surface of the photodiode chip that requires electrical connection is electrically connected to one of the two divided electrodes; The other surface that needs to be described above is electrically connected to the other of the two divided electrodes.

【0011】また、請求項3の発明は、請求項1に記載
の半導体レーザ装置において、上記セラミックコンデン
サチップと半導体レーザチップを含む半導体レーザ本体
が、パッケージ内に収納されていることを特徴としてい
る。
According to a third aspect of the present invention, in the semiconductor laser device of the first aspect, the semiconductor laser body including the ceramic capacitor chip and the semiconductor laser chip is housed in a package. .

【0012】また、請求項4の発明は、請求項2に記載
の半導体レーザ装置において、上記セラミックコンデン
サチップと半導体レーザチップとフォトダイオードチッ
プを含む半導体レーザ本体が、パッケージ内に収納され
ていることを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, in the semiconductor laser device according to the second aspect, the semiconductor laser body including the ceramic capacitor chip, the semiconductor laser chip, and the photodiode chip is housed in a package. It is characterized by.

【0013】[0013]

【作用】請求項1の発明の半導体レーザ装置は、上記セ
ラミックコンデンサチップの一方の電極に上記半導体レ
ーザチップがマウントされて、セラミックコンデンサチ
ップに半導体レーザチップが一体になっており、かつ、
上記半導体レーザチップの電気的接続を要する一方の面
が上記一方の電極に電気的に接続されている。
According to a first aspect of the present invention, in the semiconductor laser device, the semiconductor laser chip is mounted on one electrode of the ceramic capacitor chip, and the semiconductor laser chip is integrated with the ceramic capacitor chip.
One surface of the semiconductor laser chip that requires electrical connection is electrically connected to the one electrode.

【0014】すなわち、上記半導体レーザチップは、セ
ラミックコンデンサチップに一体になっている上に電気
的接続もなされている。
That is, the semiconductor laser chip is integrated with a ceramic capacitor chip and is also electrically connected.

【0015】そして、駆動回路から上記半導体レーザチ
ップに向かうサージ電流は上記セラミックコンデンサチ
ップに吸収される。
The surge current flowing from the drive circuit toward the semiconductor laser chip is absorbed by the ceramic capacitor chip.

【0016】従って、請求項1の発明によれば、部品点
数を増加させることなく、かつ、組み立て工数を増加さ
せることなく、駆動回路からのサージ吸収対策を実施す
ることができる。また、半導体レーザチップをマウント
するセラミックコンデンサチップの一方の電極面とワイ
ヤボンディングを施す他方の電極面とが平行になってい
るから、セラミックコンデンサチップへの半導体レーザ
チップのマウント面とワイヤボンディング面とを同一方
向にして、簡単な工程で、半導体レーザチップとセラミ
ックコンデンサチップとを一体にでき、半導体レーザへ
のサージ電流対策ができる。
Therefore, according to the first aspect of the present invention, it is possible to take measures against surge absorption from the drive circuit without increasing the number of parts and without increasing the number of assembly steps. In addition, since one electrode surface of the ceramic capacitor chip on which the semiconductor laser chip is mounted and the other electrode surface on which wire bonding is performed are parallel, the mounting surface of the semiconductor laser chip on the ceramic capacitor chip and the wire bonding surface And the semiconductor laser chip and the ceramic capacitor chip can be integrated by a simple process, and the surge current to the semiconductor laser can be prevented.

【0017】請求項2の発明の半導体レーザ装置は、上
記セラミックコンデンサチップの一方の電極に半導体レ
ーザチップとフォトダイオードチップとがマウントされ
ると共に電気的に接続されて一体になっており、かつ、
上記セラミックコンデンサチップの他方の電極の互いに
絶縁されている他方と一方の分割電極に上記半導体レー
ザチップとフォトダイオードチップがそれぞれ接続され
ている。
According to a second aspect of the present invention, a semiconductor laser chip and a photodiode chip are mounted and electrically connected to one electrode of the ceramic capacitor chip, and are integrated.
The semiconductor laser chip and the photodiode chip are connected to the other and one split electrode of the other electrode of the ceramic capacitor chip which are insulated from each other.

【0018】即ち、上記半導体レーザチップおよび上記
フォトダイオードチップは、セラミックコンデンサチッ
プに一体になっている上に電気的接続もなされている。
That is, the semiconductor laser chip and the photodiode chip are integrated with a ceramic capacitor chip and are also electrically connected.

【0019】そして、駆動回路から上記半導体レーザチ
ップに向かうサージ電流は上記セラミックコンデンサチ
ップに吸収される。また、上記半導体レーザチップから
のレーザ光を上記フォトダイオードチップでモニタでき
る。
The surge current from the drive circuit toward the semiconductor laser chip is absorbed by the ceramic capacitor chip. Further, laser light from the semiconductor laser chip can be monitored by the photodiode chip.

【0020】従って、請求項2の発明によれば、部品点
数を増加させることなく、かつ、組み立て工数を増加さ
せることなく、駆動回路からのサージ吸収対策を実施で
きる上に半導体レーザチップからのレーザ光をモニタで
きる。
Therefore, according to the second aspect of the present invention, it is possible to take measures against surge absorption from the drive circuit without increasing the number of parts and without increasing the number of assembling steps. Light can be monitored.

【0021】また、請求項3の発明の半導体レーザ装置
は、請求項1に記載の半導体レーザ装置のセラミックコ
ンデンサチップと半導体レーザチップを含む半導体レー
ザ本体がパッケージ内に収納されている。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a semiconductor laser device including the ceramic capacitor chip and the semiconductor laser chip of the semiconductor laser device of the first aspect housed in a package.

【0022】したがって、請求項3の発明によれば、上
記半導体レーザ本体の保護を図ることができる。
Therefore, according to the third aspect of the present invention, the semiconductor laser body can be protected.

【0023】また、請求項4の発明の半導体レーザ装置
は、請求項2に記載の半導体レーザ装置のセラミックコ
ンデンサチップと半導体レーザチップとフォトダイオー
ドチップを含む半導体レーザ本体がパッケージ内に収納
されている。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a semiconductor laser device according to the second aspect, wherein the semiconductor laser body including the ceramic capacitor chip, the semiconductor laser chip, and the photodiode chip is housed in a package. .

【0024】したがって、請求項4の発明によれば、上
記半導体レーザ本体の保護を図ることができる。
Therefore, according to the present invention, the semiconductor laser body can be protected.

【0025】[0025]

【実施例】以下、この発明を図示の実施例により詳細に
説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the illustrated embodiments.

【0026】<第1実施例>図1に、この発明の半導体
レーザ装置の第1実施例を示す。この第1実施例は、セ
ラミックの誘電体2とこの誘電体2を挟んだ2つの電極
3と4とを有するサージ吸収用コンデンサチップC1を
備えている。このコンデンサチップC1の電極3上に、
シリコンサブマウント基台5を介して、半導体レーザチ
ップ1が搭載されて固定されている。上記半導体レーザ
1の積層方向に向いた面が上記シリコンサブマウント基
台5に密着されており、上記半導体レーザ1の積層方向
に向いたもう一方の面1aは、上記コンデンサチップC
1のもう一方の電極4に、金線6でワイヤボンドされて
いる。この実施例の等価回路を図1(e)に示す。半導体
レーザ1とコンデンサチップC1とが並列に接続されて
いる。
<First Embodiment> FIG. 1 shows a first embodiment of the semiconductor laser device of the present invention. The first embodiment includes a surge absorbing capacitor chip C1 having a ceramic dielectric 2 and two electrodes 3 and 4 sandwiching the dielectric 2. On the electrode 3 of this capacitor chip C1,
The semiconductor laser chip 1 is mounted and fixed via a silicon submount base 5. The surface facing the stacking direction of the semiconductor laser 1 is in close contact with the silicon submount base 5, and the other surface 1a facing the stacking direction of the semiconductor laser 1 is connected to the capacitor chip C.
One other electrode 4 is wire-bonded with a gold wire 6. FIG. 1E shows an equivalent circuit of this embodiment. The semiconductor laser 1 and the capacitor chip C1 are connected in parallel.

【0027】上記コンデンサチップC1の電極3は上記
半導体レーザチップ1のコモン電極を兼ねており、コン
デンサチップC1の電極4は半導体レーザチップ1の駆
動電流注入電極を兼ねている。
The electrode 3 of the capacitor chip C1 also serves as a common electrode of the semiconductor laser chip 1, and the electrode 4 of the capacitor chip C1 also serves as a drive current injection electrode of the semiconductor laser chip 1.

【0028】この実施例は、通常、駆動用ICで構成さ
れた駆動回路が、上記コンデンサチップC1の電極4と
電極3に接続され、この駆動回路から上記半導体レーザ
チップ1に駆動電流が注入されると、半導体レーザチッ
プ1の光出射面からレーザ光7を出射する。
In this embodiment, a drive circuit composed of a drive IC is usually connected to the electrodes 4 and 3 of the capacitor chip C1, and a drive current is injected from the drive circuit into the semiconductor laser chip 1. Then, the laser light 7 is emitted from the light emission surface of the semiconductor laser chip 1.

【0029】そして、上記駆動回路からサージ電流が出
力された場合には、上記コンデンサチップC1に上記サ
ージ電流が吸収されて、半導体レーザチップ1は上記サ
ージ電流から保護される。
When a surge current is output from the drive circuit, the capacitor chip C1 absorbs the surge current, and the semiconductor laser chip 1 is protected from the surge current.

【0030】上記実施例は、半導体レーザチップ1をサ
ージ電流吸収用のコンデンサチップC1に一体に固定し
たから、サージ電流吸収用のコンデンサを別部品として
設ける必要がある従来例と異なり、部品点数及び組み立
て工数の増大を招くことなく駆動回路からのサージ電流
から半導体レーザチップを保護することができる。
In the above embodiment, since the semiconductor laser chip 1 is integrally fixed to the surge current absorbing capacitor chip C1, the number of parts and the number of parts are different from the conventional example in which a surge current absorbing capacitor must be provided as a separate component. The semiconductor laser chip can be protected from a surge current from the drive circuit without increasing the number of assembly steps.

【0031】<第2実施例>図2に、この発明の半導体
レーザ装置の第2実施例を示す。この第2実施例は、セ
ラミックの誘電体22とこの誘電体22を挟む電極23
及び24A,24Bを含むコンデンサチップC2を備え
ている。上記電極24Aと24Bは、上記誘電体22の
突き出し部22aを挟んでいる。上記コンデンサチップ
C2の電極23上にはシリコンサブマウント基台25を
介して半導体レーザチップ21が搭載されて固定されて
いる。この半導体レーザチップ21の積層方向に向いた
面が上記シリコンサブマウント基台25に密着させられ
ており、上記半導体レーザチップ21の積層方向のもう
一方の面21aは金線26によって上記電極24Aにワ
イヤボンドされている。また、上記電極23上には上記
シリコンサブマウント基台25に隣接して、フォトダイ
オードチップ28が搭載されて固定されている。このフ
ォトダイオードチップ28は、上記半導体レーザチップ
21の光出力を検出するためのフォトダイオードであ
る。このフォトダイオードチップ28の上面28Aは受
光面と出力端子29を含んでいる。上記出力端子29は
金線30で上記電極24Bにワイヤボンドされている。
この第2実施例の等価回路を図2(B)に示す。半導体レ
ーザチップ21とフォトダイオードチップ28にそれぞ
れコンデンサが並列に接続されている。この第2実施例
のコンデンサチップC2の電極23は上記半導体レーザ
チップ21およびフォトダイオードチップ28のコモン
端子を兼ねており、電極24Aは半導体レーザチップ2
1の電流注入端子を兼ねており、電極24Bはフォトダ
イオードチップ28の出力端子を兼ねている。
<Second Embodiment> FIG. 2 shows a second embodiment of the semiconductor laser device of the present invention. In the second embodiment, a ceramic dielectric 22 and an electrode 23 sandwiching the dielectric 22 are used.
, And a capacitor chip C2 including 24A and 24B. The electrodes 24A and 24B sandwich the protrusion 22a of the dielectric 22. The semiconductor laser chip 21 is mounted and fixed on the electrode 23 of the capacitor chip C2 via a silicon submount base 25. The surface of the semiconductor laser chip 21 facing the stacking direction is in close contact with the silicon submount base 25, and the other surface 21a of the semiconductor laser chip 21 in the stacking direction is connected to the electrode 24A by a gold wire 26. Wire bonded. A photodiode chip 28 is mounted and fixed on the electrode 23 adjacent to the silicon submount base 25. The photodiode chip 28 is a photodiode for detecting the optical output of the semiconductor laser chip 21. The upper surface 28A of the photodiode chip 28 includes a light receiving surface and an output terminal 29. The output terminal 29 is wire-bonded to the electrode 24B with a gold wire 30.
FIG. 2B shows an equivalent circuit of the second embodiment. Capacitors are connected in parallel to the semiconductor laser chip 21 and the photodiode chip 28, respectively. The electrode 23 of the capacitor chip C2 of the second embodiment also serves as a common terminal of the semiconductor laser chip 21 and the photodiode chip 28, and the electrode 24A is
The electrode 24B also serves as the output terminal of the photodiode chip 28.

【0032】この第2実施例は、図2(B)に示す等価回
路を1つの一体部品で実現している。
In the second embodiment, the equivalent circuit shown in FIG. 2B is realized by one integrated component.

【0033】上記第2実施例は、上記電極23と24
A,24Bとの間に駆動回路(図示せず)を接続して半導
体レーザチップ21を駆動すると、半導体レーザチップ
21はレーザ光を出射する。このレーザ光の一部が上記
フォトダイオードチップ28の受光面に入射し、フォト
ダイオードチップ28は上記レーザ光の光量に応じた電
流を出力端子をなす電極23から出力する。また、上記
駆動回路からサージ電流が出力された場合には、上記コ
ンデンサチップC2に上記サージ電流が吸収されるか
ら、上記半導体レーザチップ21をサージ電流から保護
できる。
In the second embodiment, the electrodes 23 and 24
When the semiconductor laser chip 21 is driven by connecting a drive circuit (not shown) between the semiconductor laser chip A and the semiconductor laser chip 24B, the semiconductor laser chip 21 emits laser light. Part of the laser light is incident on the light receiving surface of the photodiode chip 28, and the photodiode chip 28 outputs a current corresponding to the amount of the laser light from the electrode 23 serving as an output terminal. Further, when a surge current is output from the drive circuit, the surge current is absorbed by the capacitor chip C2, so that the semiconductor laser chip 21 can be protected from the surge current.

【0034】この第2実施例によれば、上記サージ電流
を吸収するコンデンサチップC2に半導体レーザチップ
21を一体にマウントし、かつ、上記コンデンサチップ
C2にフォトダイオードチップ28を一体にマウントし
たから、サージ電流に対する保護機能とレーザ光のモニ
タ機能とを併せ持つ半導体レーザ装置を一体化された1
個の部品で実現することができる。
According to the second embodiment, the semiconductor laser chip 21 is integrally mounted on the capacitor chip C2 for absorbing the surge current, and the photodiode chip 28 is integrally mounted on the capacitor chip C2. 1 integrated with a semiconductor laser device having both protection function against surge current and monitoring function of laser light
It can be realized with individual components.

【0035】一般的に、レーザダイオード単体での駆動
することは少なく、レーザダイオードとその光出力検出
用フォトダイオードとを併用して、常時レーザダイオー
ドの光出力を制御して使用されることが圧倒的に多いか
ら、この第2実施例は実用的に優れている。
In general, it is rare that the laser diode alone is driven, and it is overwhelming that the laser diode and the light output detecting photodiode are used in combination and the light output of the laser diode is constantly controlled and used. Therefore, the second embodiment is practically excellent.

【0036】<第3実施例>図3に第3実施例を示す。
この第3実施例は、セラミックの誘電体32とこの誘電
体32を挟む電極33及び分割電極34A,34Bを有
するコンデンサチップC3を備えている。上記コンデン
サチップC3の電極33上にシリコンサブマウント基台
35を介して半導体レーザチップ31が搭載されて固定
されている。この半導体レーザチップ31の積層方向に
向いた上面31aは金線36でコンデンサチップC3の
分割電極34Aにワイヤボンドされている。また、上記
半導体レーザチップ31に隣接して光検出用のフォトダ
イオードチップ38が上記シリコンサブマウント基台3
5上に搭載されて固定されている。上記フォトダイオー
ドチップ38の受光面を含む上面38Aは金線39で分
割電極34Bにワイヤボンドされている。図3(A)に
示した半導体レーザ装置本体Rは、図3(B)に示すよう
に、筒状の金属パッケージPに挿入されて、上記金属パ
ッケージP内に収納されて固定されている。この金属パ
ッケージPの軸方向長さは4〜5mmであり、外径は3
mmである。この金属パッケージPの軸方向が、上記半
導体レーザチップ31の光出射面に垂直なZ軸方向をな
し、上記金属パッケージPの径方向に延びる直交するX
軸とY軸とを含む面が上記光出射面に含まれている。
<Third Embodiment> FIG. 3 shows a third embodiment.
The third embodiment includes a capacitor chip C3 having a ceramic dielectric 32, electrodes 33 sandwiching the dielectric 32, and divided electrodes 34A and 34B. The semiconductor laser chip 31 is mounted and fixed on the electrode 33 of the capacitor chip C3 via a silicon submount base 35. The upper surface 31a of the semiconductor laser chip 31 facing in the laminating direction is wire-bonded to the divided electrode 34A of the capacitor chip C3 by a gold wire 36. Further, a photodiode chip 38 for light detection is provided adjacent to the semiconductor laser chip 31 and is connected to the silicon submount base 3.
5 and is fixed. The upper surface 38A including the light receiving surface of the photodiode chip 38 is wire-bonded to the divided electrode 34B by a gold wire 39. The semiconductor laser device body R shown in FIG. 3A is inserted into a cylindrical metal package P, housed in the metal package P, and fixed, as shown in FIG. 3B. The axial length of the metal package P is 4 to 5 mm, and the outer diameter is 3 mm.
mm. The axial direction of the metal package P forms a Z-axis direction perpendicular to the light emitting surface of the semiconductor laser chip 31, and extends perpendicular to the radial direction of the metal package P.
A plane including the axis and the Y axis is included in the light emitting plane.

【0037】したがって、上記半導体レーザチップ31
の光出射面31aから上記金属パッケージPの外側かつ
Z方向にレーザ光37Aが出射され、上記金属パッケー
ジPの内側に出射されたレーザ光37Bは光検出用のフ
ォトダイオードチップ38に受光される。
Therefore, the semiconductor laser chip 31
The laser light 37A is emitted from the light emitting surface 31a of the metal package P to the outside of the metal package P and in the Z direction, and the laser light 37B emitted to the inside of the metal package P is received by the photodiode chip 38 for light detection.

【0038】上記第3実施例は、コンデンサチップC3
と半導体レーザチップ31と光検出用フォトダイオード
38とを一体部品とし、この一体部品である半導体レー
ザ装置本体Rを円筒形の金属パッケージP内に収納した
ので、サージ電流を吸収できて、かつ、レーザ光出力を
検出でき、その上、上記一体化した部品(半導体レーザ
チップ31やフォトダイオードチップ38、金線36
等)を保護きる。
In the third embodiment, the capacitor chip C3
And the semiconductor laser chip 31 and the photodetecting photodiode 38 as an integral component, and the semiconductor laser device body R, which is an integral component, is housed in a cylindrical metal package P, so that surge current can be absorbed, and The laser beam output can be detected, and the integrated components (semiconductor laser chip 31, photodiode chip 38, gold wire 36
Etc.) can be protected.

【0039】上記第3実施例では、半導体レーザ装置本
体Rを金属パッケージPに収納したが、プラスチックパ
ッケージに収納してもよい。また、半導体レーザ装置本
体Rを樹脂モールドしてもよい。また、上記金属パッケ
ージPの外径はφ2〜4mmの範囲で選択してもよい。
さらに、金属パッケージPの寸法は、上記した値に限定
する必要はない。
In the third embodiment, the semiconductor laser device main body R is housed in the metal package P, but may be housed in a plastic package. Further, the semiconductor laser device main body R may be resin-molded. The outer diameter of the metal package P may be selected in the range of φ2 to 4 mm.
Further, the dimensions of the metal package P need not be limited to the above values.

【0040】尚、上記実施例では、半導体チップおよび
フォトダイオードチップを金線でワイヤボンドしたが、
このワイヤボンドは金線に限るものではなく他の導電性
の良い導線を用いれば良い。
In the above embodiment, the semiconductor chip and the photodiode chip are wire-bonded with gold wires.
This wire bond is not limited to a gold wire, and another conductive wire having good conductivity may be used.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項1の発
明の半導体レーザ装置は、セラミックコンデンサチップ
の一方の電極に半導体レーザチップがマウントされて、
セラミックコンデンサチップに半導体レーザチップが一
体になっており、かつ、半導体レーザチップの電気的接
続を要する一方の面が一方の電極に電気的に接続されて
いる。すなわち、上記半導体レーザチップは、セラミッ
クコンデンサチップに一体になっている上に電気的接続
もなされている。そして、駆動回路から上記半導体レー
ザチップに向かうサージ電流は上記セラミックコンデン
サチップに吸収される。
As is clear from the above, the semiconductor laser device according to the first aspect of the present invention has a semiconductor laser chip mounted on one electrode of a ceramic capacitor chip.
The semiconductor laser chip is integrated with the ceramic capacitor chip, and one surface of the semiconductor laser chip that requires electrical connection is electrically connected to one electrode. That is, the semiconductor laser chip is integrated with the ceramic capacitor chip and is also electrically connected. Then, a surge current flowing from the drive circuit toward the semiconductor laser chip is absorbed by the ceramic capacitor chip.

【0042】従って、請求項1の発明によれば、部品点
数を増加させることなく、かつ、組み立て工数を増加さ
せることなく、駆動回路からのサージ吸収対策を実施す
ることができる。また、半導体レーザチップをマウント
するセラミックコンデンサチップの一方の電極面とワイ
ヤボンディングを施す他方の電極面とが平行になってい
るから、セラミックコンデンサチップへの半導体レーザ
チップのマウント面とワイヤボンディング面とを同一方
向にして、簡単な工程で、半導体レーザチップとセラミ
ックコンデンサチップとを一体にでき、半導体レーザへ
のサージ電流対策ができる。
Therefore, according to the first aspect of the present invention, it is possible to take measures against surge absorption from the drive circuit without increasing the number of parts and without increasing the number of assembly steps. In addition, since one electrode surface of the ceramic capacitor chip on which the semiconductor laser chip is mounted and the other electrode surface on which wire bonding is performed are parallel, the mounting surface of the semiconductor laser chip on the ceramic capacitor chip and the wire bonding surface And the semiconductor laser chip and the ceramic capacitor chip can be integrated by a simple process, and the surge current to the semiconductor laser can be prevented.

【0043】また、請求項2の発明の半導体レーザ装置
は、セラミックコンデンサチップの一方の電極に半導体
レーザチップとフォトダイオードチップとがマウントさ
れると共に電気的に接続されて一体になっており、か
つ、セラミックコンデンサチップの他方の電極の互いに
絶縁されている他方と一方の分割電極に上記半導体レー
ザチップとフォトダイオードチップがそれぞれ接続され
ている。すなわち、半導体レーザチップおよびフォトダ
イオードチップは、セラミックコンデンサチップに一体
になっている上に電気的接続もなされている。そして、
駆動回路から上記半導体レーザチップに向かうサージ電
流は上記セラミックコンデンサチップに吸収される。ま
た、半導体レーザチップからのレーザ光をフォトダイオ
ードチップでモニタできる。
In the semiconductor laser device according to the present invention, the semiconductor laser chip and the photodiode chip are mounted and electrically connected to one electrode of the ceramic capacitor chip, and are integrated. The semiconductor laser chip and the photodiode chip are respectively connected to the other electrode and one split electrode of the other electrode of the ceramic capacitor chip which are insulated from each other. That is, the semiconductor laser chip and the photodiode chip are integrated with the ceramic capacitor chip and are also electrically connected. And
Surge current from the drive circuit toward the semiconductor laser chip is absorbed by the ceramic capacitor chip. Further, laser light from the semiconductor laser chip can be monitored by the photodiode chip.

【0044】従って、請求項2の発明によれば、部品点
数を増加させることなく、かつ、組み立て工数を増加さ
せることなく、駆動回路からのサージ吸収対策を実施で
きる上に半導体レーザチップからのレーザ光をモニタで
きる。
Therefore, according to the second aspect of the present invention, it is possible to take measures against surge absorption from the drive circuit without increasing the number of parts and the number of assembling steps, and to reduce the laser beam from the semiconductor laser chip. Light can be monitored.

【0045】また、請求項3の発明の半導体レーザ装置
は、請求項1に記載の半導体レーザ装置のセラミックコ
ンデンサチップと半導体レーザチップを含む半導体レー
ザ本体がパッケージ内に収納されている。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a semiconductor laser device including the ceramic capacitor chip and the semiconductor laser chip of the semiconductor laser device of the first aspect housed in a package.

【0046】したがって、請求項3の発明によれば、上
記半導体レーザ本体の保護を図ることができる。
Therefore, according to the third aspect of the present invention, the semiconductor laser body can be protected.

【0047】また、請求項4の発明の半導体レーザ装置
は、請求項2に記載の半導体レーザ装置のセラミックコ
ンデンサチップと半導体レーザチップとフォトダイオー
ドチップを含む半導体レーザ本体がパッケージ内に収納
されている。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a semiconductor laser device according to the second aspect, wherein the semiconductor laser body including the ceramic capacitor chip, the semiconductor laser chip, and the photodiode chip is housed in a package. .

【0048】したがって、請求項4の発明によれば、上
記半導体レーザ本体の保護を図ることができる。
Therefore, according to the fourth aspect of the present invention, the semiconductor laser body can be protected.

【0049】このように、この発明は、半導体レーザと
サージ吸収用コンデンサとが一体であり、かつ、電気的
接続がなされているから、半導体レーザとサージ吸収用
コンデンサを別々に基板上に装着して並列に接続しなけ
ればならない従来例の欠点を解消できる。つまり、この
発明によれば、従来に比べて、少ない部品点数と少ない
組立工程で半導体レーザへのサージ電流に対する対策を
行うことができる。
As described above, according to the present invention, since the semiconductor laser and the surge absorbing capacitor are integrated and electrically connected, the semiconductor laser and the surge absorbing capacitor are separately mounted on the substrate. The disadvantage of the prior art, which must be connected in parallel, can be eliminated. That is, according to the present invention, a countermeasure against a surge current to the semiconductor laser can be performed with a smaller number of parts and a smaller number of assembling steps than in the related art.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 図1(A)はこの発明の半導体レーザ装置の第
1実施例の上面図であり、図1(B)は上記第1実施例の
正面図であり、図1(C)は上記第1実施例の側面図であ
り、図1(D)は上記第1実施例の斜視図であり、図1
(E)は上記第1実施例の等価回路図である。
FIG. 1A is a top view of a first embodiment of a semiconductor laser device according to the present invention, FIG. 1B is a front view of the first embodiment, and FIG. FIG. 1D is a side view of the first embodiment, and FIG. 1D is a perspective view of the first embodiment.
(E) is an equivalent circuit diagram of the first embodiment.

【図2】 図2(A)はこの発明の第2実施例の斜視図で
あり、図2(B)は上記第2実施例の等価回路図である。
FIG. 2A is a perspective view of a second embodiment of the present invention, and FIG. 2B is an equivalent circuit diagram of the second embodiment.

【図3】 図3(A)はこの発明の第3実施例の半導体レ
ーザ装置本体の斜視図であり、図3(B)は上記第3実施
例の斜視図である。
FIG. 3A is a perspective view of a semiconductor laser device body according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a perspective view of the third embodiment.

【図4】 図4(A)は従来の半導体レーザ装置の上面図
であり、図4(B)は従来例の側面図であり、図4(C)は
従来例の等価回路図である。
4 (A) is a top view of a conventional semiconductor laser device, FIG. 4 (B) is a side view of the conventional example, and FIG. 4 (C) is an equivalent circuit diagram of the conventional example.

【図5】 従来の半導体レーザ装置をサージ電流から保
護するための構造を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing a structure for protecting a conventional semiconductor laser device from surge current.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,21,31…半導体レーザチップ、2,22,32
…誘電体部、3,4,23,33…電極、5,25,3
5…シリコンサブマウント基台、6,26,30,3
6,39…金線、7,37A,37B…レーザ光、C
1,C2,C3…セラミックコンデンサチップ、24
A,34A,24B,34B…分割電極、P…金属パッ
ケージ。
1, 21, 31 ... semiconductor laser chip, 2, 22, 32
... Dielectric part, 3,4,23,33 ... Electrode, 5,25,3
5. Silicon submount base, 6, 26, 30, 3
6, 39: gold wire, 7, 37A, 37B: laser beam, C
1, C2, C3 ... ceramic capacitor chip, 24
A, 34A, 24B, 34B: divided electrodes, P: metal package.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 5/00 - 5/50 H01L 33/00 H01L 27/04 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01S 5/00-5/50 H01L 33/00 H01L 27/04

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 誘電体部とこの誘電体部を挟む電極を含
むセラミックコンデンサチップと、半導体レーザチップ
とを備え、 上記半導体レーザチップの電気的接続を要する一方の面
が上記セラミックコンデンサチップの一方の電極面に電
気的に接続されるように、上記一方の電極面に上記半導
体レーザチップがマウントされており、 上記半導体レーザチップの電気的接続を要する他方の面
が上記セラミックコンデンサチップの他方の電極面にワ
イヤボンディングで電気的に接続されていて、 上記半導体レーザチップをマウントする上記一方の電極
面と、上記ワイヤボンディングを施す上記他方の電極面
とが平行であることを特徴とする半導体レーザ装置。
1. A ceramic capacitor chip including a dielectric portion and an electrode sandwiching the dielectric portion, and a semiconductor laser chip, wherein one surface of the semiconductor laser chip that requires electrical connection is one of the ceramic capacitor chips. The semiconductor laser chip is mounted on the one electrode surface so that the semiconductor laser chip is electrically connected to the electrode surface of the ceramic capacitor chip. A semiconductor laser electrically connected to an electrode surface by wire bonding, wherein the one electrode surface on which the semiconductor laser chip is mounted and the other electrode surface on which the wire bonding is performed are parallel to each other; apparatus.
【請求項2】 請求項1に記載の半導体レーザ装置にお
いて、 上記セラミックコンデンサチップの他方の電極は、上記
誘電体部に対向していると共に互いに絶縁されている2
つの分割電極を有し、 上記セラミックコンデンサチップの一方の電極に、上記
半導体レーザチップからのレーザ光を受光するフォトダ
イオードチップがマウントされて、上記フォトダイオー
ドチップの電気的接続を要する一方の面が上記一方の電
極に電気的に接続されており、 上記フォトダイオードチップの電気的接続を要する他方
の面が上記2つの分割電極の一方に電気的に接続されて
おり、 上記半導体レーザチップの電気的接続を要する他方の面
が上記2つの分割電極の他方に電気的に接続されている
ことを特徴とする半導体レーザ装置。
2. The semiconductor laser device according to claim 1, wherein the other electrode of the ceramic capacitor chip faces the dielectric portion and is insulated from each other.
A photodiode chip for receiving laser light from the semiconductor laser chip is mounted on one electrode of the ceramic capacitor chip, and one surface of the ceramic capacitor chip that requires electrical connection is The other surface of the photodiode chip, which is required to be electrically connected, is electrically connected to one of the two divided electrodes, and is electrically connected to the one electrode. A semiconductor laser device, wherein the other surface requiring connection is electrically connected to the other of the two divided electrodes.
【請求項3】 請求項1に記載の半導体レーザ装置にお
いて、 上記セラミックコンデンサチップと半導体レーザチップ
を含む半導体レーザ本体が、パッケージ内に収納されて
いることを特徴とする半導体レーザ装置。
3. The semiconductor laser device according to claim 1, wherein the semiconductor laser body including the ceramic capacitor chip and the semiconductor laser chip is housed in a package.
【請求項4】 請求項2に記載の半導体レーザ装置にお
いて、 上記セラミックコンデンサチップと半導体レーザチップ
とフォトダイオードチップを含む半導体レーザ本体が、
パッケージ内に収納されていることを特徴とする半導体
レーザ装置。
4. The semiconductor laser device according to claim 2, wherein the semiconductor laser body including the ceramic capacitor chip, the semiconductor laser chip, and the photodiode chip comprises:
A semiconductor laser device housed in a package.
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