JP3042501B2 - 音叉型圧電ジャイロセンサ - Google Patents
音叉型圧電ジャイロセンサInfo
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- JP3042501B2 JP3042501B2 JP10170347A JP17034798A JP3042501B2 JP 3042501 B2 JP3042501 B2 JP 3042501B2 JP 10170347 A JP10170347 A JP 10170347A JP 17034798 A JP17034798 A JP 17034798A JP 3042501 B2 JP3042501 B2 JP 3042501B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、位置検出を行うジ
ャイロスコープに用いて好適な音叉型圧電ジャイロセン
サに関する。
ャイロスコープに用いて好適な音叉型圧電ジャイロセン
サに関する。
【０００２】
【従来の技術】ジャイロスコープは、航空機や大型船
舶、宇宙衛星などにおける位置の確認用として使用され
てきた。最近では、民生用の分野としてカーナビゲーシ
ョンやＶＴＲやスチルカメラの手振れの検出などにも使
用されている。最近、光ファイバージャイロセンサや圧
電型ジャイロセンサが開発され、実用化され始めてい
る。圧電ジャイロセンサの原理は１９５０年頃の研究に
遡り、音叉や音片を利用したものなどが開発されてき
た。圧電ジャイロセンサの測定精度は光ファイバージャ
イロセンサに比較して劣るものの、軽量小型で安価な点
が他のジャイロセンサと大きく異なっている。
舶、宇宙衛星などにおける位置の確認用として使用され
てきた。最近では、民生用の分野としてカーナビゲーシ
ョンやＶＴＲやスチルカメラの手振れの検出などにも使
用されている。最近、光ファイバージャイロセンサや圧
電型ジャイロセンサが開発され、実用化され始めてい
る。圧電ジャイロセンサの原理は１９５０年頃の研究に
遡り、音叉や音片を利用したものなどが開発されてき
た。圧電ジャイロセンサの測定精度は光ファイバージャ
イロセンサに比較して劣るものの、軽量小型で安価な点
が他のジャイロセンサと大きく異なっている。
【０００３】圧電ジャイロセンサは、振動している物体
に角速度が加わると、この振動と直角方向にコリオリ力
が生じることを利用したものである。圧電ジャイロセン
サとしては種々のものがあり、例えば、スペリー音叉ジ
ャイロ、ワトソン音叉ジャイロ、音片ジャイロ、円筒型
振動ジャイロといったものが提案されている。また、最
近では、ＬｉＴａＯ３の単結晶や圧電セラミックによる
音叉型圧電ジャイロセンサが提案されており、このセン
サは音片型圧電ジャイロセンサに比べて長さ方向の寸法
を短くできるという長所を有している。
に角速度が加わると、この振動と直角方向にコリオリ力
が生じることを利用したものである。圧電ジャイロセン
サとしては種々のものがあり、例えば、スペリー音叉ジ
ャイロ、ワトソン音叉ジャイロ、音片ジャイロ、円筒型
振動ジャイロといったものが提案されている。また、最
近では、ＬｉＴａＯ３の単結晶や圧電セラミックによる
音叉型圧電ジャイロセンサが提案されており、このセン
サは音片型圧電ジャイロセンサに比べて長さ方向の寸法
を短くできるという長所を有している。
【０００４】図５（ａ）に示すように、圧電セラミック
からなる音叉型ジャイロセンサは、図示されない仮想平
面内に位置して該仮想平面に平行な励振駆動を行う駆動
側アーム３１と、該駆動側アーム３１と並列して前記仮
想平面内に位置し、該仮想平面に垂直な振動を感知する
検出側アーム３２とを具備している。図５（ｃ）に、音
叉型圧電ジャイロセンサの面内屈曲振動を引き起こすた
めの電極配置図を示す。図５（ｂ）および５（ｃ）に示
される太い矢印のベクトルＰは、分極方向を示してい
る。また、図５（ｃ）の駆動側アーム３１内の細い矢印
は、電界の方向を示すものである。駆動側アーム３１に
おける面内屈曲振動は、図５（ｂ）に示す一点鎖線で示
される中心線を境として、左右どちらか一方が伸びたと
きに他方が縮むといった動作を繰り返すよう、交流電界
を加えることで行われる。
からなる音叉型ジャイロセンサは、図示されない仮想平
面内に位置して該仮想平面に平行な励振駆動を行う駆動
側アーム３１と、該駆動側アーム３１と並列して前記仮
想平面内に位置し、該仮想平面に垂直な振動を感知する
検出側アーム３２とを具備している。図５（ｃ）に、音
叉型圧電ジャイロセンサの面内屈曲振動を引き起こすた
めの電極配置図を示す。図５（ｂ）および５（ｃ）に示
される太い矢印のベクトルＰは、分極方向を示してい
る。また、図５（ｃ）の駆動側アーム３１内の細い矢印
は、電界の方向を示すものである。駆動側アーム３１に
おける面内屈曲振動は、図５（ｂ）に示す一点鎖線で示
される中心線を境として、左右どちらか一方が伸びたと
きに他方が縮むといった動作を繰り返すよう、交流電界
を加えることで行われる。
【０００５】面垂直振動を検出するための検出側アーム
３２の斜視図を図６（ａ）に、平面図を図６（ｂ）に、
電極構成を図６（ｃ）を示す。図６（ｂ）、６（ｃ）に
おける太い矢印のベクトルＰは、分極方向を示してい
る。また、図６（ｃ）に示される検出側アーム３２内の
細い矢印は、瞬時の電界ベクトルを示している。駆動側
アーム３１を励振駆動させた状態で、図６（ａ）のｚ軸
を軸線としてΩなる角速度をもって音叉型圧電ジャイロ
センサを回転させると、コリオリ力Ｆｃが発生し、検出
側アーム３２は前記仮想平面に垂直な振動を起こす。こ
のとき、図６（ｂ）に示すように、検出側アーム３１
は、一点鎖線で示した中央線を境として、どちらか一方
が伸びて他方が縮んだときに検出側アーム３２内に電界
が生じるよう、図６（ｃ）に示すように電極４４、４
５、４６、４７が装備されている。このようにしてコリ
オリ力Ｆｃは、検出側アーム３２内に発生する出力電圧
として計測される。
３２の斜視図を図６（ａ）に、平面図を図６（ｂ）に、
電極構成を図６（ｃ）を示す。図６（ｂ）、６（ｃ）に
おける太い矢印のベクトルＰは、分極方向を示してい
る。また、図６（ｃ）に示される検出側アーム３２内の
細い矢印は、瞬時の電界ベクトルを示している。駆動側
アーム３１を励振駆動させた状態で、図６（ａ）のｚ軸
を軸線としてΩなる角速度をもって音叉型圧電ジャイロ
センサを回転させると、コリオリ力Ｆｃが発生し、検出
側アーム３２は前記仮想平面に垂直な振動を起こす。こ
のとき、図６（ｂ）に示すように、検出側アーム３１
は、一点鎖線で示した中央線を境として、どちらか一方
が伸びて他方が縮んだときに検出側アーム３２内に電界
が生じるよう、図６（ｃ）に示すように電極４４、４
５、４６、４７が装備されている。このようにしてコリ
オリ力Ｆｃは、検出側アーム３２内に発生する出力電圧
として計測される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の音叉
型圧電ジャイロセンサには、下記の問題があった。すな
わち、駆動側アーム３１においては、電極４０、４１、
４２、４３の幅に比べて電極間距離が長いため、駆動電
界に曲がりが生じて分散しやすくなり、能率良く励振駆
動ができないという問題を有していた。また、検出側ア
ーム３２においては、面垂直振動の検出に寄与するのは
曲がった電界ベクトルの中で前記仮想平面に垂直な方向
の成分のみであり、圧電活性部の一部しか検出に貢献で
きず、検出感度が低いという問題も有していた。
型圧電ジャイロセンサには、下記の問題があった。すな
わち、駆動側アーム３１においては、電極４０、４１、
４２、４３の幅に比べて電極間距離が長いため、駆動電
界に曲がりが生じて分散しやすくなり、能率良く励振駆
動ができないという問題を有していた。また、検出側ア
ーム３２においては、面垂直振動の検出に寄与するのは
曲がった電界ベクトルの中で前記仮想平面に垂直な方向
の成分のみであり、圧電活性部の一部しか検出に貢献で
きず、検出感度が低いという問題も有していた。
【０００７】本発明は、上記事情を鑑みてなされたもの
であって、励振駆動を能率良く駆動できる駆動側アーム
を備えた音叉型圧電ジャイロセンサの提供を目的とす
る。また、本発明の別の目的としては、コリオリ力を高
感度で感知できる検出側アームを備えた音叉型圧電ジャ
イロセンサとすることも目的とする。
であって、励振駆動を能率良く駆動できる駆動側アーム
を備えた音叉型圧電ジャイロセンサの提供を目的とす
る。また、本発明の別の目的としては、コリオリ力を高
感度で感知できる検出側アームを備えた音叉型圧電ジャ
イロセンサとすることも目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の音叉型圧電ジャ
イロセンサは、上記課題を解決するために以下の手段を
採用した。すなわち、請求項１記載の音叉型圧電ジャイ
ロセンサは、圧電材料からなり、仮想平面内に並列され
た駆動側アームと検出側アームとを有するコ字形状の音
叉型圧電ジャイロセンサにおいて、前記駆動側アーム
が、前記仮想平面に平行かつ該駆動側アームの厚み方向
の中央に配置され、中央部分にて分断された駆動側内部
電極と、該駆動側内部電極に相対向する外面に配置され
た複数の駆動側外部電極とを備えると共に、前記検出側
アームに近い側の内側部分と離れた側の外側部分とに分
割したときの分極方向が互いに逆向きとされ、前記検出
側アームが、前記仮想平面に平行な検出側内部電極と、
該検出側内部電極に相対向するよう外面に配置された複
数の検出側外部電極とを備えると共に、その厚み方向の
分極処理が一様とされていることを特徴とする。
イロセンサは、上記課題を解決するために以下の手段を
採用した。すなわち、請求項１記載の音叉型圧電ジャイ
ロセンサは、圧電材料からなり、仮想平面内に並列され
た駆動側アームと検出側アームとを有するコ字形状の音
叉型圧電ジャイロセンサにおいて、前記駆動側アーム
が、前記仮想平面に平行かつ該駆動側アームの厚み方向
の中央に配置され、中央部分にて分断された駆動側内部
電極と、該駆動側内部電極に相対向する外面に配置され
た複数の駆動側外部電極とを備えると共に、前記検出側
アームに近い側の内側部分と離れた側の外側部分とに分
割したときの分極方向が互いに逆向きとされ、前記検出
側アームが、前記仮想平面に平行な検出側内部電極と、
該検出側内部電極に相対向するよう外面に配置された複
数の検出側外部電極とを備えると共に、その厚み方向の
分極処理が一様とされていることを特徴とする。
【０００９】請求項１記載の音叉型圧電ジャイロセンサ
によれば、駆動側アームにおける電極間距離は従来の半
分となり、駆動電界の曲がりによる分散が抑えられる。
また、検出側アームにおいては、その内部に発生する電
界ベクトルは検出側外部電極および検出側内部電極と直
交し、圧電活性部のほとんどがコリオリ力の検出に使用
される。
によれば、駆動側アームにおける電極間距離は従来の半
分となり、駆動電界の曲がりによる分散が抑えられる。
また、検出側アームにおいては、その内部に発生する電
界ベクトルは検出側外部電極および検出側内部電極と直
交し、圧電活性部のほとんどがコリオリ力の検出に使用
される。
【００１０】請求項２記載の音叉型圧電ジャイロセンサ
は、請求項１記載の音叉型圧電ジャイロセンサにおい
て、前記検出側アームには、前記仮想平面に平行かつ厚
み方向の中央部分に位置するよう検出側内部電極が設け
られ、該検出側内部電極から相対向する前記検出側外部
電極にかける分極処理が互いに逆向きとされ、該外部電
極間にて出力電圧が検出されるよう電気的結線がなされ
ていることを特徴とする。
は、請求項１記載の音叉型圧電ジャイロセンサにおい
て、前記検出側アームには、前記仮想平面に平行かつ厚
み方向の中央部分に位置するよう検出側内部電極が設け
られ、該検出側内部電極から相対向する前記検出側外部
電極にかける分極処理が互いに逆向きとされ、該外部電
極間にて出力電圧が検出されるよう電気的結線がなされ
ていることを特徴とする。
【００１１】上記請求項２記載の音叉型圧電ジャイロセ
ンサによれば、請求項１記載の検出側アームに比較し
て、検出側アームの出力インピーダンスおよび出力電圧
が高くなる。
ンサによれば、請求項１記載の検出側アームに比較し
て、検出側アームの出力インピーダンスおよび出力電圧
が高くなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態につい
て、図面を参照して以下に説明する。図１、２に示す音
叉型圧電ジャイロセンサは、圧電材料からなり、図示さ
れない仮想平面内に並列された駆動側アーム２１と検出
側アーム２２とを備えている。この駆動側アーム２１
は、前記仮想平面に平行かつ該駆動側アーム２１の厚み
方向の中央に配置され、中央部分にて分断された駆動側
内部電極１７’および１７”と、該駆動側内部電極１
７’および１７”に相対向する外面に配置された複数の
駆動側外部電極１１、１２、１３、１４とを備えてい
る。そして、検出側アーム２２に近い側の内側部分と離
れた側の外側部分とに分割したときの分極方向は、互い
に逆向きとされている。そして、駆動側内部電極１７’
および１７”は共に電気端子２４に結線され、また、駆
動側外部電極１１、１２、１３、１４は全て電気端子２
３に結線されている。
て、図面を参照して以下に説明する。図１、２に示す音
叉型圧電ジャイロセンサは、圧電材料からなり、図示さ
れない仮想平面内に並列された駆動側アーム２１と検出
側アーム２２とを備えている。この駆動側アーム２１
は、前記仮想平面に平行かつ該駆動側アーム２１の厚み
方向の中央に配置され、中央部分にて分断された駆動側
内部電極１７’および１７”と、該駆動側内部電極１
７’および１７”に相対向する外面に配置された複数の
駆動側外部電極１１、１２、１３、１４とを備えてい
る。そして、検出側アーム２２に近い側の内側部分と離
れた側の外側部分とに分割したときの分極方向は、互い
に逆向きとされている。そして、駆動側内部電極１７’
および１７”は共に電気端子２４に結線され、また、駆
動側外部電極１１、１２、１３、１４は全て電気端子２
３に結線されている。
【００１３】検出側アーム２２は、前記仮想平面に平行
な検出側内部電極１８と、該検出側内部電極１８に相対
向するよう外面に配置された複数の検出側外部電極１
５、１６とを備えると共に、その厚み方向の分極処理が
一様とされている。検出側内部電極１８は電気端子２６
に結線され、検出側外部電極１５および１６は共に電気
端子２５に結線されている。
な検出側内部電極１８と、該検出側内部電極１８に相対
向するよう外面に配置された複数の検出側外部電極１
５、１６とを備えると共に、その厚み方向の分極処理が
一様とされている。検出側内部電極１８は電気端子２６
に結線され、検出側外部電極１５および１６は共に電気
端子２５に結線されている。
【００１４】図２に示す電気端子２３、２４間に、この
音叉型圧電ジャイロセンサが有する共振周波数で交流電
界を加えると、駆動側アーム２１において、駆動側内部
電極１７’を有する右半分もしくは駆動側内部電極１
７”を有する左半分のどちらか一方が圧電横効果により
縮むと同時に他方が伸び、このような伸縮動作が交互に
繰り返されることで、励振駆動が行われる。この励振駆
動が起きている状態で、図１に示すｚ軸を軸線として角
速度Ωで音叉型圧電ジャイロセンサ全体を回転させる
と、コリオリ力Ｆｃが励振方向と直交する方向、すなわ
ち前記仮想平面に垂直な方向に作用する。すると、検出
側アーム２２は、検出側内部電極１８を境として一方が
伸びると同時に他方が縮み、圧電横効果による出力電圧
が発生する。そしてこの出力電圧は電気端子２５、２６
において検出される。このようにしてコリオリ力Ｆｃ
は、電気端子２５、２６間における出力電圧として計測
される。
音叉型圧電ジャイロセンサが有する共振周波数で交流電
界を加えると、駆動側アーム２１において、駆動側内部
電極１７’を有する右半分もしくは駆動側内部電極１
７”を有する左半分のどちらか一方が圧電横効果により
縮むと同時に他方が伸び、このような伸縮動作が交互に
繰り返されることで、励振駆動が行われる。この励振駆
動が起きている状態で、図１に示すｚ軸を軸線として角
速度Ωで音叉型圧電ジャイロセンサ全体を回転させる
と、コリオリ力Ｆｃが励振方向と直交する方向、すなわ
ち前記仮想平面に垂直な方向に作用する。すると、検出
側アーム２２は、検出側内部電極１８を境として一方が
伸びると同時に他方が縮み、圧電横効果による出力電圧
が発生する。そしてこの出力電圧は電気端子２５、２６
において検出される。このようにしてコリオリ力Ｆｃ
は、電気端子２５、２６間における出力電圧として計測
される。
【００１５】このような音叉型圧電ジャイロセンサとし
て、長さ８ｍｍ、厚さ１ｍｍで各アームの長さを４．５
ｍｍの寸法を有するものを試作し、感度特性を求めた結
果を図３に例示する。この音叉型圧電ジャイロセンサで
は、圧電材料としてＰＺＴ系セラミック（ＮＥＰＥＣ−
６、トーキン製）を使用した。駆動と検出の離調周波数
は約１００Ｈｚで、ほぼフラットな感度特性が得ること
ができた。ロックインアンプを用いて測定した本ジャイ
ロセンサの感度特性は、図３に示すように、本ジャイロ
センサが小型にも拘わらず高感度で良いリニアリティを
有することを示している。
て、長さ８ｍｍ、厚さ１ｍｍで各アームの長さを４．５
ｍｍの寸法を有するものを試作し、感度特性を求めた結
果を図３に例示する。この音叉型圧電ジャイロセンサで
は、圧電材料としてＰＺＴ系セラミック（ＮＥＰＥＣ−
６、トーキン製）を使用した。駆動と検出の離調周波数
は約１００Ｈｚで、ほぼフラットな感度特性が得ること
ができた。ロックインアンプを用いて測定した本ジャイ
ロセンサの感度特性は、図３に示すように、本ジャイロ
センサが小型にも拘わらず高感度で良いリニアリティを
有することを示している。
【００１６】上記の構成からなる音叉型圧電ジャイロセ
ンサによれば、駆動側アーム２１においては、電極間距
離は従来の半分となって駆動電界の曲がりによる分散が
抑えられるので、効率の良い励振駆動を行うことが可能
となる。また、検出側アーム２２においては、その内部
に発生する電界ベクトルに対して、検出側外部電極１
５、１６および検出側内部電極１８が直交するようにし
たことで、圧電活性部のほとんどが検出に使用されるの
で、コリオリ力Ｆｃの検出感度を高めることが可能とな
る。
ンサによれば、駆動側アーム２１においては、電極間距
離は従来の半分となって駆動電界の曲がりによる分散が
抑えられるので、効率の良い励振駆動を行うことが可能
となる。また、検出側アーム２２においては、その内部
に発生する電界ベクトルに対して、検出側外部電極１
５、１６および検出側内部電極１８が直交するようにし
たことで、圧電活性部のほとんどが検出に使用されるの
で、コリオリ力Ｆｃの検出感度を高めることが可能とな
る。
【００１７】次に、図４を参照して本発明の第２の実施
の形態について説明する。図４において図２と同一構成
要素には同一符号を付し、その説明を省略する。以下、
図２と異なる点についてのみ説明する。図４に示すよう
に、検出側アーム２２は、検出側内部電極１８を境とし
た分極方向が互いに逆向きとされている。また、検出側
外部電極１５、１６間にて出力電圧の検出がなされるよ
う、検出側外部電極１５は電気端子２５に、検出側外部
電極１６は電気端子２６に結線されている。この実施の
形態によれば、検出側アーム２２にコリオリ力Ｆｃが加
わると、第１の実施の形態に比較して、高い出力インピ
ーダンスおよび出力電圧が発生する。この音叉型圧電ジ
ャイロセンサにおいても、上述した第１の実施の形態と
同様の効果が得られる上に、検出側アーム２２での出力
電圧が高くなるので、コリオリ力Ｆｃをより高感度で検
出することが可能となる。
の形態について説明する。図４において図２と同一構成
要素には同一符号を付し、その説明を省略する。以下、
図２と異なる点についてのみ説明する。図４に示すよう
に、検出側アーム２２は、検出側内部電極１８を境とし
た分極方向が互いに逆向きとされている。また、検出側
外部電極１５、１６間にて出力電圧の検出がなされるよ
う、検出側外部電極１５は電気端子２５に、検出側外部
電極１６は電気端子２６に結線されている。この実施の
形態によれば、検出側アーム２２にコリオリ力Ｆｃが加
わると、第１の実施の形態に比較して、高い出力インピ
ーダンスおよび出力電圧が発生する。この音叉型圧電ジ
ャイロセンサにおいても、上述した第１の実施の形態と
同様の効果が得られる上に、検出側アーム２２での出力
電圧が高くなるので、コリオリ力Ｆｃをより高感度で検
出することが可能となる。
【００１８】
【発明の効果】上記の構成からなる音叉型圧電ジャイロ
センサによれば、駆動側アームにおいては、電極間距離
は従来の半分となって駆動電界の曲がりによる分散が抑
えられるので、効率の良い励振駆動を行うことが可能と
なる。また、検出側アームにおいては、その内部に発生
する電界ベクトルに対して、検出側外部電極および検出
側内部電極が直交するようにしたことで、圧電活性部の
ほとんどが検出に使用されるので、コリオリ力の検出感
度を高めることが可能となる。また、検出側アームにお
いて、検出側内部電極を境とした分極方向を互いに逆向
きとし、かつ検出側外部電極間にて出力電圧の検出を行
う構成をとることで、検出側アームでの出力電圧を高
め、コリオリ力Ｆｃをより高感度で検出することが可能
となる。
センサによれば、駆動側アームにおいては、電極間距離
は従来の半分となって駆動電界の曲がりによる分散が抑
えられるので、効率の良い励振駆動を行うことが可能と
なる。また、検出側アームにおいては、その内部に発生
する電界ベクトルに対して、検出側外部電極および検出
側内部電極が直交するようにしたことで、圧電活性部の
ほとんどが検出に使用されるので、コリオリ力の検出感
度を高めることが可能となる。また、検出側アームにお
いて、検出側内部電極を境とした分極方向を互いに逆向
きとし、かつ検出側外部電極間にて出力電圧の検出を行
う構成をとることで、検出側アームでの出力電圧を高
め、コリオリ力Ｆｃをより高感度で検出することが可能
となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図であって、
音叉型圧電ジャイロセンサの斜視図である。
音叉型圧電ジャイロセンサの斜視図である。
【図２】同音叉型圧電ジャイロセンサの電気的結線を示
す図であって、平面図である。
す図であって、平面図である。
【図３】試作された同音叉型圧電ジャイロセンサの感度
特性を示すグラフである。
特性を示すグラフである。
【図４】本発明の第２の実施の形態を示す図であって、
音叉型圧電ジャイロセンサにおける電気的結線を示す平
面図である。
音叉型圧電ジャイロセンサにおける電気的結線を示す平
面図である。
【図５】（ａ）は従来の音叉型圧電ジャイロセンサの斜
視図を示し、（ｂ）は同音叉型圧電ジャイロセンサの平
面図を示し、（ｃ）は同音叉型圧電ジャイロセンサの電
気的結線を示す平面図である。
視図を示し、（ｂ）は同音叉型圧電ジャイロセンサの平
面図を示し、（ｃ）は同音叉型圧電ジャイロセンサの電
気的結線を示す平面図である。
【図６】（ａ）は従来の音叉型圧電ジャイロセンサの斜
視図を示し、（ｂ）は同音叉型圧電ジャイロセンサの平
面図を示し、（ｃ）は同音叉型圧電ジャイロセンサの電
気的結線を示す平面図である。
視図を示し、（ｂ）は同音叉型圧電ジャイロセンサの平
面図を示し、（ｃ）は同音叉型圧電ジャイロセンサの電
気的結線を示す平面図である。
１１、１２、１３、１４・・・駆動側外部電極 １５、１６・・・検出側外部電極 １７’、１７”・・・駆動側内部電極 １８・・・検出側内部電極 ２１・・・駆動側アーム ２２・・・検出側アーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−351877（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−166444（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−170926（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−111132（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−221087（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−173853（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−316125（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−21643（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−72744（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−210856（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電材料からなり、仮想平面内に並列さ
れた駆動側アームと検出側アームとを有するコ字形状の
音叉型圧電ジャイロセンサにおいて、 前記駆動側アームは、前記仮想平面に平行かつ該駆動側
アームの厚み方向の中央に配置され、中央部分にて分断
された駆動側内部電極と、該駆動側内部電極に相対向す
る外面に配置された複数の駆動側外部電極とを備えると
共に、前記検出側アームに近い側の内側部分と離れた側
の外側部分とに分割したときの分極方向が互いに逆向き
とされ、 前記検出側アームは、前記仮想平面に平行な検出側内部
電極と、該検出側内部電極に相対向するよう外面に配置
された複数の検出側外部電極とを備えると共に、その厚
み方向の分極処理が一様とされていることを特徴とする
音叉型圧電ジャイロセンサ。 - 【請求項２】 請求項１記載の音叉型圧電ジャイロセン
サにおいて、 前記検出側アームには、前記仮想平面に平行かつ厚み方
向の中央部分に位置するよう検出側内部電極が設けら
れ、該検出側内部電極から相対向する前記検出側外部電
極にかける分極処理は互いに逆向きとされ、該外部電極
間にて出力電圧が検出されるよう電気的結線がなされて
いることを特徴とする音叉型圧電ジャイロセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10170347A JP3042501B2 (ja) | 1998-06-17 | 1998-06-17 | 音叉型圧電ジャイロセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10170347A JP3042501B2 (ja) | 1998-06-17 | 1998-06-17 | 音叉型圧電ジャイロセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000002545A JP2000002545A (ja) | 2000-01-07 |
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Family
ID=15903253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10170347A Expired - Fee Related JP3042501B2 (ja) | 1998-06-17 | 1998-06-17 | 音叉型圧電ジャイロセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3042501B2 (ja) |
-
1998
- 1998-06-17 JP JP10170347A patent/JP3042501B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
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|---|---|
| JP2000002545A (ja) | 2000-01-07 |
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