JP3037840B2 - ホットプレス装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、積層プリント配線板な
どの多層基板のプレス成形に用いられるホットプレス装
置に関し、特に減圧下でプレス加工を実施するホットプ
レス装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、複数のステーに固定された固定
盤、ステーに摺動自在に取り付けられた可動盤、固定盤
と可動盤との間に配設された複数の熱板及びこれらを収
納する容器とを備えたホットプレス装置が知られてお
り、例えばプリント配線板などの多層基板のプレス成形
に使用されていた。これら従来のホットプレス装置で
は、熱板間に挿入された被加工物をプレス成形する際に
は、容器内を減圧して被加工物の揮発性成分を除去し、
ボイド等の不具合を防止していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ホットプレス装置では、容器の内部全体を減圧していた
ために、容器のシャッタは耐真空性の強固なものが必要
とされ、しかもこの強固なシャッタを開閉するための動
力装置など付帯設備が必要であった。また、減圧容積が
大きいので、減圧に要する時間が長時間となりホットプ
レス装置の稼働効率を向上させるうえで問題とされてい
た。

【０００４】そこで、本発明はこのような問題を解決す
るために、強固なシャッタおよびこれを開閉する動力装
置を不要とするとともに、減圧容積を減少させて稼働効
率を向上可能なホットプレス装置を提供することを目的
とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明は以下の構成を採用した。すなわち、本発明
のホットプレス装置は、固定盤と、該固定盤に相対向し
て配され上昇および下降可能な可動盤と、該可動盤を上
下駆動する可動盤駆動機構と、前記固定盤と可動盤との
間に配設され前記可動盤の上昇および下降に応じて互い
の相対距離を近接および離隔させる複数の熱板と、該複
数の熱板間に挿入された被加工物を加熱する加熱手段と
を備え、前記被加工物をホットプレスするホットプレス
装置において、前記各熱板に、可撓性膜状の上面部材お
よび下面部材と、該上面部材および下面部材間に形成さ
れた密封室と、該密封室内に前記上面部材に沿って配設
されて前記被加工物を支持する支持部材とを設けるとと
もに、前記密封室内に圧力流体を給排して前記密封室内
の圧力を昇降させる圧力流体給排手段と、前記各熱板の
外周に沿って配され、前記可動盤の上昇に応じて前記各
熱板が互いに近接した際には上下方向に沿って互いに密
に連接して前記各熱板を収納する密閉室を形成する外周
部材と、該形成された密閉室を減圧する減圧手段とを設
けたことを特徴とする。

【０００６】

【作用】上記構成のホットプレス装置においては、ホッ
トプレス作業に先だって熱板の上面部材上に被加工物が
載置される。被加工物は上面部材に沿って配設された支
持部材で支持される。可動盤を上昇させて各熱板を近接
させると、被加工物は隣接する熱板間において、下方の
熱板の上面部材と上方の熱板の下面部材との間に挟持さ
れる。また、各熱板の近接と併せて、外周部材は上下方
向に密に連接して密閉室を形成する。この際圧力流体給
排手段を操作して密封室内の圧力流体を排出すると、可
撓性膜状の下面部材は被加工物の形状に応じて「凹」状
に変形する。このため被加工物の厚さによらず上下に隣
接する各熱板の間隔を設定値に一定させることができ
る。このため、被加工物の厚さによらず可動盤−固定盤
間の距離も設定値に一定できるので、外周部材による密
閉室の形成が可能となる。

【０００７】続いて、減圧手段を操作して密閉室を所望
の真空度まで減圧し、圧力流体給排手段にて密封室内に
圧力流体を供給して密封室内を昇圧させる。この密封室
内の圧力に応じて上面部材および下面部材が膨出する。
上面部材および下面部材は、被加工物の表面に沿って密
着変形して被加工物を包囲するとともに、被加工物に密
封室内の圧力に応じたプレス力を及ぼす。この被加工物
のプレスと並行して、加熱手段にて被加工物を加熱す
る。

【０００８】外周部材にて密閉室を形成し、この内部の
みを減圧する。このため、ホットプレス装置の容器全体
を減圧する場合と比較して減圧容積はきわめて少なくな
り、減圧に要する時間も短縮される。したがって、ホッ
トプレス装置の稼働効率は向上する。しかも、強固なシ
ャッタおよびシャッタ開閉用の動力装置は不要となるの
で、装置は簡素化、小型化される。

【０００９】

【実施例】次に、本発明を一層明らかにするために、好
適な一実施例を図面を参照して説明する。 （実施例１）図１に概略構成を示すように、本実施例の
ホットプレス装置１０は、上下方向に所定距離を隔てて
対向配置されている上盤１２および下盤１４、上盤１２
と下盤１４とを連結する胴１６および胴１６に設置され
ている扉１８とで構成される容器２０を備えている。こ
の容器２０内には、下盤１４の中心部に配設されている
油圧シリンダ２２、油圧シリンダ２２に挿通するラム２
４、ラム２４に固着されてラム２４の上下動に応じて上
昇および下降する可動盤２６、可動盤２６と相対向して
上盤１２に固定されている固定盤２８、可動盤２６と固
定盤２８との間に所定間隔で配されている複数枚の熱板
３０および各熱板３０の外周に沿って配設されている外
周部材３２が収納されている。各熱板３０とその外周の
外周部材３２とは、図示省略した連結部材を介して連結
されている。同様に図示を省略しているが、これら各熱
板３０および外周部材は、周知のホットプレス装置と同
様に爪を介して段板によって支持されている。なお、こ
れも図示を省略しているが、上盤１２と下盤１４との間
には複数本のステーが立設されており、これらのステー
は可動盤２６の外縁部を挿通している。このため可動盤
２６はステーに沿って正確に上昇および下降可能となっ
ている。

【００１０】図２に示すように、熱板３０の外郭は矩形
枠状の枠金具３４で構成されている。この枠金具３４に
は、フランジ部３６ａ、３６ｂが上下内側に突出して設
けられている。これらフランジ部３６ａ、３６ｂは、そ
れぞれ周方向に沿って連続しており、その内縁に上側開
口部３８ａおよび下側開口部３８ｂを形成している。ま
た、これら上側開口部３８ａおよび下側開口部３８ｂに
沿って上面部材４０ａおよび下面部材４０ｂが配設され
ている。

【００１１】図３に示すように、上面部材４０ａおよび
下面部材４０ｂは、フッ素系ゴム製の外膜４２で方形平
板の袋状に形成されており、その内部に導電液４４が封
入されている。また、外膜４２の端縁部４６には、外膜
４２を貫いて電極４８が取り付けられており、この電極
４８を介して導電液４４に電流を通電可能である。

【００１２】図２に示すように、上面部材４０ａおよび
下面部材４０ｂの縁部は押え金具５０と枠金具３４とで
液密に挟圧されている。これにより、上面部材４０ａお
よび下面部材４０ｂ間に密封室５２が形成されている。
この密封室５２内には、複数の貫通孔５４を備えた板状
の支持部材５６が、上面部材４０ａに沿って設置されて
いる。このため、上面部材４０ａの密封室５２の内部方
向へ向かう変形は、支持部材５６によって阻止される。
さらに、上面部材４０ａおよび下面部材４０ｂの電極４
８が設けられている端縁部４６は、枠金具３４を貫いて
枠金具３４の外へ突出している。この端縁部４６は、そ
れぞれ上部保護ケース５８ａおよび下部保護ケース５８
ｂ内に収納されており、電極４８は上部および下部保護
ケース５８ａ、５８ｂを挿通して高周波電源（図示省
略）に接続されている。これにより、電極４８を介して
高周波電圧を上面部材４０ａおよび下面部材４０ｂ内の
導電液４４に印加可能である。

【００１３】図３に示すように、１枚の熱板３０に属す
る上面部材４０ａおよび下面部材４０ｂには同電位が印
加され、しかも隣接する熱板３０間では電位差を有する
ようになっている。このため、高周波電源から電極４８
に通電した際には、隣接する熱板３０間では、上方に位
置する熱板３０の下面部材４０ｂと下方に位置する熱板
３０の上面部材４０ａ間に電位差を生じるが、同一の熱
板３０の上面部材４０ａと下面部材４０ｂとの間には電
位差は生じない。これにより、上方に位置する熱板３０
の下面部材４０ｂと下方に位置する熱板３０の上面部材
４０ａ間に挟持された物体を、高周波誘電加熱可能であ
る。すなわち、電極４８を含めた上面部材４０ａおよび
下面部材４０ｂとで、本発明にいう加熱手段を構成して
いることになる。

【００１４】また、図２に示すように、枠金具３４およ
び押え金具５０を共通に貫通して、矢印Ｂ側に水供給孔
６０が、矢印Ａ側に水排出孔６２が設けられている。こ
の水供給孔６０には、供給管６４が接続されており、水
排出孔６２には排出管６６が接続されている。

【００１５】この供給管６４の、矢印Ｘ方向に沿った両
側には前述の上部保護ケース５８ａおよび下部保護ケー
ス５８ｂが配されており、供給管６４と上部保護ケース
５８ａおよび下部保護ケース５８ｂとの間は第１シール
部材６８を介して気密に接続されている。さらに上部保
護ケース５８ａは、第１板部材７０に嵌装されている第
２シール部材７２を介して、第１板部材７０と気密に接
続している。同様に、下部保護ケース５８ｂは、第２板
部材７４に嵌装されている第３シール部材７６を介し
て、第２板部材７４と気密に接続している。この第２板
部材７４には、パッキン７８が一端を露出させて埋設さ
れている。さらに、矢印Ａ側に位置する排出管６６は第
３板部材８０および第４板部材８２に嵌装された第４シ
ール部材８４を介して、第３板部材８０および第４板部
材８２と気密に接続している。また、第４板部材８２に
は、パッキン８６が一端を露出させて埋設されている。

【００１６】図５に示すように、これら第１〜第４板部
材７０、７４、８０、８２および第１〜第４シール部材
６８、７２、７６、８４は熱板３０の外周に沿って配設
されて、熱板３０を取り囲んでいる外周部材３２を構成
している。なお、外周部材３２と熱板３０の枠金具３４
とは図示省略した連結部材を介して連結されている。ま
た、図５は熱板３０と外周部材３２との相対位置をしめ
すもので、詳細な部分は省略されている。

【００１７】図２に示すように、各熱板３０および各熱
板３０に連結されている外周部材３２は、可動盤２６の
上昇および下降に応じて昇降し、上下方向に沿った相対
位置を変更可能である。可動盤２６が下降位置にある場
合、各熱板３０は矢印Ｘ方向に沿って互いに離隔してお
り、各外周部材３２も同様に互いに離隔している。ま
た、外周部材３２の矢印Ｘ方向に沿った長さＰは、同方
向に沿った熱板３０の厚さＱよりもわずかに長く、第１
板部材７０および第３板部材８０、第２板部材７４およ
び第４板部材８２は、それぞれ矢印Ｘ方向に沿って熱板
３０の厚さＱよりもわずかに突出している。

【００１８】一方、可動盤２６が設定位置まで上昇した
場合は、図６に示すように、各熱板３０は相互に近接
し、各外周部材３２は上下方向に沿って互いに密に連接
する。また、最下段に位置する外周部材３２は可動盤２
６と密に接合可能であり、最上段に位置する外周部材３
２は固定盤２８と密に接合可能である。したがって、可
動盤２６が設定位置まで上昇した際には、外周部材３
２、可動盤２６および固定盤２８にて密閉室Ｒを形成可
能である。この際、上述したように外周部材３２の長さ
Ｐと熱板３０の厚さＱとに差があるため、上下に近接す
る各熱板３０間には空隙Ｓが形成される。このため、上
に位置する熱板３０の下面部材４０ｂと下に位置する熱
板３０の上面部材４０ａ間に形成される空間は、空隙Ｓ
を介して熱板３０の周囲空間と連通する。

【００１９】図１および図６に示すように、固定盤２８
および上盤１２を貫通して給排気孔８８が設けられてい
る。図１に示すように、この給排気孔８８には、排気側
バルブ９０を介して真空ポンプ９２に連通する排気管路
９４が接続されている。これにより、真空ポンプ９２を
稼働させれば、上記形成された密閉室Ｒ内の空気を排出
して密閉室Ｒ内を減圧することができる。また、排気管
路９４から分岐する給気管路９６は、給気側バルブ９８
および減圧弁１００を介してコンプレッサ１０２に接続
されている。これにより、給気管路９６、排気管路９４
および給排気孔８８を経て容器２０内に加圧空気を供給
可能である。このコンプレッサ１０２には加圧管路１０
４、加圧側バルブ１０６を介して水タンク１０８が接続
されており、コンプレッサ１０２から供給される加圧空
気によって水タンク１０８内を加圧可能である。さら
に、加圧側バルブ１０６と水タンク１０８との間から分
岐する調圧管路１１０には圧力調節弁１１２および電磁
開閉弁１１４が接続されており、水タンク１０８内の圧
力を調節可能となっている。

【００２０】また、水タンク１０８にはサクション側管
路１１６を介してポンプ１１８が接続されている。この
サクション側管路１１６には排水管路１２０および溢流
路１２２が接続されている。排水管路１２０は、ヘッダ
１２４にて複数本に分岐されており、各分岐配管１２６
は、それぞれに設けられている排水側バルブ１２８を介
して各熱板３０の排出管６６に並列的に接続されてい
る。一方、溢流路１２２は逆止弁１３０を介して給水管
路１３１に接続されている。この給水管路１３１はヘッ
ダ１３２にて複数本に分岐されており、各分岐配管１３
４は、それぞれに設けられている給水側バルブ１３６を
介して各熱板３０の供給管６４に並列的に接続されてい
る。これら熱板３０に接続されている各分岐管１２６、
１３４は、例えばフレキシブルホースなどの可撓性管体
によって構成されており、熱板３０の昇降移動を妨げな
い。さらに、給水管路１３１には、逆止弁１３０とヘッ
ダ１３２との中間に、ポンプ１１８の吐出側からの吐水
管路１３８が接続されている。この吐水管路１３８には
クーラ１４０が介装されている。

【００２１】この構成により、ポンプ１１８から吐出さ
れる水を吐水管路１３８、給水管路１３１、ヘッダ１３
２および給水側バルブ１３６を経て各熱板３０の密封室
５２に供給可能であると共に、密封室５２から排水側バ
ルブ１２８、ヘッダ１２４および排水管路１２０を経て
回収可能である。すなわち、ポンプ１１８→密封室５２
→ポンプ１１８の水循環経路が構成されている。また、
クーラ１４０にてポンプ１１８から吐出される水を冷却
可能であり、コンプレッサ１０２にて水タンク１０８を
加圧すれば上記循環する水を加圧して密封室５２内を昇
圧することが可能である。したがって、上記のポンプ１
１８を中心とする水循環路にて本発明の冷媒給排手段を
構成するとともに、コンプレッサ１０２を付加すること
により本発明の圧力流体給排手段を構成することにな
る。

【００２２】次に、上記構成のホットプレス装置１０を
使用して、被加工物１５０をホットプレスする場合につ
いて説明する。ただし、このホットプレス操作の説明
は、説明を簡略として理解を容易にするために、固定盤
２８と可動盤２６との間に一対の熱板３０が配設されて
いるものとして、その要部を示す図７〜図９に基づいて
行う。

【００２３】まず、排水側バルブ１２８を開くととも
に、電磁開閉弁１１４を開放して水タンク１０８を大気
と連通させることにより、熱板３０の密封室５２内を非
加圧状態とする。その後、排気側バルブ９０および加圧
側バルブ１０６を閉、給気側バルブ９８を開として、コ
ンプレッサ１０２を稼働させて容器２０内を加圧する。

【００２４】図７に示すように、この加圧により、各熱
板３０の上面部材４０ａおよび下面部材４０ｂが密封室
５２側へ押圧され、下面部材４０ｂが弾性変形し凹陥さ
れる。しかし、上面部材４０ａは支持部材５６にて支持
されているので凹陥しない。下面部材４０ｂの凹陥変形
により各熱板３０間に被加工物１５０の配設スペースが
確保される。これに続いて排水側バルブ１２８および給
水側バルブ１３６を閉じ、各熱板３０の下面部材４０ｂ
を凹陥状態に保持する。次いで、給気側バルブ９８を閉
じるとともに、排気側バルブ９０を開いて容器２０内を
略大気圧に減圧後、扉１８を開放して被加工物１５０を
搬入し上面部材４０ａ上に載置する。この際、被加工物
１５０は上面部材４０ａを介して支持部材５６によって
支承される。

【００２５】図８に示すように、被加工物１５０を上面
部材４０ａに載置した後、油圧シリンダ２２を操作して
可動盤２６を固定盤２８へ向かう方向に沿って上昇させ
ることにより、可動盤２６および固定盤２８間に各熱板
３０を重ねあわせる。この際、各外周部材３２は、可動
盤２６および固定盤２８間で挟圧されて上下方向に沿っ
て相互に密に連接するとともに、最下段に位置する外周
部材３２は可動盤２６と密に接合し、最上段に位置する
外周部材３２は固定盤２８と密に接合する。これによ
り、外周部材３２、可動盤２６および固定盤２８にて密
閉室Ｒが形成される。また、外周部材３２の長さＰと熱
板３０の厚さＱとの差により、各熱板３０間には空隙Ｓ
が形成され、上に位置する熱板３０の下面部材４０ｂと
下に位置する熱板３０の上面部材４０ａ間に形成される
空間は、空隙Ｓを介して熱板３０の周囲空間と連通す
る。

【００２６】次に、加圧側バルブ１０６を開いてコンプ
レッサ１０２により水タンク１０８を加圧するととも
に、排水側バルブ１２８および給水側バルブ１３６を開
き加圧された水を密封室５２内に導く。この際、ポンプ
１１８を稼働させて水を圧送してもよい。なお、この場
合、クーラ１４０は稼働させないことが望ましい。密封
室５２内への水の導入に併せて、真空ポンプ９２により
密閉室Ｒ内を設定された真空度まで減圧する。これによ
り、図９に示すように、密封室５２の内圧が上昇し、上
面部材４０ａおよび下面部材４０ｂが外側に向かって膨
出変形し、被加工物１５０を、その外面に沿って密着、
被覆する。ただし、最上部の熱板の上面部材４０ａおよ
び最下部の熱板３０の下面部材４０ｂの外方への膨出変
形は、それぞれ固定盤２８および可動盤２６にて規制さ
れる。

【００２７】さらに、電極４８を介して、上面部材４０
ａおよび下面部材４０ｂ内に封入されている導電液４４
に高周波電圧を印加する。隣接する下面部材４０ｂと上
面部材４０ａとの間に高周波電界が形成されるので、こ
れら下面部材４０ｂと上面部材４０ａ間に挟持されてい
る被加工物１５０は、高周波誘電により発熱する。被加
工物１５０自身の誘電発熱によるので、被加工物１５０
は均等に加熱される。この際、密封室５２内に封入され
ている水は、同電位の上面部材４０ａと下面部材４０ｂ
とに挟持されているので誘電発熱しない。隣接する上面
部材４０ａおよび下面部材４０ｂは、互いに、あるいは
被加工物１５０に密接するので、スパークは発生しな
い。

【００２８】この高周波誘電による被加工物１５０の加
熱を設定時間継続し、また、その間密封室５２内の水圧
によって被加工物１５０を押圧することにより、被加工
物１５０はホットプレスされる。被加工物１５０に下面
部材４０ｂおよび上面部材４０ａが密着して、被加工物
１５０の表面に沿って均等に加圧するので、被加工物１
５０は均一にプレスされる。ただし、上面部材４０ａお
よび下面部材４０ｂは、少なくとも被加工物１５０の上
下表面の略全域にわたって密着されればよく、必ずしも
被加工物１５０の側面に密着しなくともよい。

【００２９】設定時間を経過した後、導電液４４への高
周波電圧の印加を停止する。あわせて、ポンプ１１８お
よびクーラ１４０を稼働させて、密封室５２内へ冷却水
を給排して被加工物１５０を冷却する。その後、密閉室
Ｒ内を略大気圧まで昇圧するとともに、可動盤２６を固
定盤２８から離隔する方向に沿って移動させる。続い
て、扉１８を開いて、ホットプレスされた被加工物１５
０を取り出す。

【００３０】熱板３０の上面部材４０ａおよび下面部材
４０ｂを可撓性膜状として密封室５２を形成し、この密
封室５２に圧力流体としての水を給排して密封室５２内
の圧力を昇降させる。このため、被加工物１５０の厚さ
によらず、各熱板３０間の距離を、設定値に一定させる
ことが可能となる。これにより、可動盤２６が設定位置
まで上昇した際には、各熱板３０の外周に沿って配され
た外周部材３２を上下方向に沿って密に連接させて、可
動盤２６〜固定盤２８間に密閉室Ｒを形成できる。この
ため、ホットプレス時には密閉室Ｒのみを減圧するだけ
でよい。したがって、容器２０の内部全体を減圧する必
要はなくなる。また、扉１８を耐真空用として強固にす
る必要もなくなり、扉１８を開閉するための動力装置な
ど付帯設備も不要となるので、ホットプレス装置１０は
簡素化される。しかも、減圧容積が小さくなるので、減
圧に要する時間は短縮され、ホットプレス装置１０の稼
働効率は向上する。各熱板３０の密封室５２へ導く水の
圧力を個別に調整すれば、それぞれのプレスステージ毎
に異なった圧力で被加工物１５０をホットプレスするこ
ともできる。

【００３１】さらに、高周波誘電加熱により被加工物１
５０を加熱するので、被加工物１５０は短時間で均等に
昇温される。しかも、被加工物１５０のみを加熱するの
で、熱効率に優れている。そのうえ、被加工物１５０を
加熱するための熱媒を循環させるための配管やポンプ等
は不要となるので、装置は小型化される。 （実施例２）本実施例は、被加工物を加熱するための伝
熱媒体として水を使用する例であり、この点において実
施例１と異なる。

【００３２】図１０に示すように、本実施例のホットプ
レス装置２５０は、実施例１のホットプレス装置１０の
ポンプ１１８の吐出側に接続されている吐水管路１３８
に、クーラ１４０と並列にヒータ２５２を介装し、さら
にクーラ１４０からの出口側に三方切換弁２５４を設置
している。これにより、ポンプ１１８から供給される水
を加熱して給水管路１３１へ供給可能としている。した
がって、ポンプ１１８、吐水管路１３８、クーラ１４
０、ヒータ２５２、給水管路１３１および排水管路１２
０他で本発明の伝熱媒体給排手段を構成している。ま
た、図１１に示すように、熱板３０の上面部材２５６お
よび下面部材２５８を膜状のゴム製としている。これら
以外の構成は実施例１と同様であるので、それらには実
施例１と同じ符号を付して説明は省略する。

【００３３】このホットプレス装置２５０では、ポンプ
１１８から送出される流体を、三方切換弁２５４を操作
して、ヒータ２５２あるいはクーラ１４０の一方を選択
的に通過させて、各熱板３０の密封室５２に供給するこ
とが可能である。このため、ヒータ２５２側を連通させ
た際には熱板３０を介して被加工物１５０を加熱し、ク
ーラ１４０を連通させた際には熱板３０を介して被加工
物１５０を冷却可能となる。これにより、実施例１のホ
ットプレス装置１０と同様に、被加工物１５０を加熱し
てホットプレス可能であり、ホットプレス後の被加工物
１５０を冷却可能である。

【００３４】本実施例のホットプレス装置２５０は、実
施例１のホットプレス装置１０と同様に、各熱板３０間
の距離を設定値に一定させることが可能となり、可動盤
２６が設定位置まで上昇した際には、各熱板３０の外周
に沿って配された外周部材３２を上下方向に沿って密に
連接させて、可動盤２６〜固定盤２８間に密閉室Ｒを形
成できる。このため、ホットプレス時には密閉室Ｒのみ
を減圧するだけで、容器２０の内部全体を減圧する必要
はなくい。また、同様に、扉１８が簡素化され、扉１８
を開閉するための動力装置など付帯設備も不要となり、
ホットプレス装置２５０は簡素化される。しかも、減圧
容積が小さくなるので、減圧に要する時間は短縮され、
ホットプレス装置２５０の稼働効率は向上する。各熱板
３０の密封室５２へ導く水の圧力を個別に調整すれば、
それぞれのプレスステージ毎に異なった圧力で被加工物
１５０をホットプレスすることもできる。

【００３５】以上本発明の実施例１、２を説明したが、
本発明はこれら実施例に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲内で種々なる態様にて実現でき
る。例えば、上記実施例１、２では圧力流体および冷却
媒体として、実施例２ではさらに熱媒流体として水を用
いているが、油等の他の液体を使用してもよい。また、
熱容量の面で液体に劣るが、気体を用いることも可能で
ある。

【００３６】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明のホットプレ
ス装置では減圧容積はきわめて少なくなり、減圧に要す
る時間も短縮される。したがって、ホットプレス装置の
稼働効率は向上する。しかも、強固なシャッタおよびシ
ャッタ開閉用の動力装置は不要となるので、装置は簡素
化、小型化される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例１のホットプレス装置の構成図であ
る。

【図２】 実施例１のホットプレス装置の熱板付近の一
部断面図である。

【図３】 実施例１のホットプレス装置の熱板の上面部
材および下面部材の拡大断面図である。

【図４】 実施例１のホットプレス装置の熱板の上面部
材および下面部材への高周波電圧印加回路の説明図であ
る。

【図５】 実施例１のホットプレス装置の熱板と外周部
材との相対位置を示す平面図である。

【図６】 実施例１のホットプレス装置において可動盤
を上昇させて外周部材を上下方向に沿って連接させた状
態の説明図である。

【図７】 実施例１のホットプレス装置において下面部
材を凹陥させた状態の熱板の説明図である。

【図８】 図７の状態から熱板を近接させた際の熱板の
説明図である。

【図９】 さらに、図８の状態から密封室を加圧した際
の熱板の説明図である。

【図１０】 実施例２のホットプレス装置の構成図であ
る。

【図１１】 実施例２のホットプレス装置の熱板付近の
一部断面図である。

【符号の説明】

１０、２５０・・・ホットプレス装置、２６・・・可動
盤、２８・・・固定盤、３０・・・熱板、３２・・・外
周部材、４０ａ、２５６・・・上面部材、４０ｂ、２５
８・・・下面部材、４４・・・導電液、４８・・・電
極、５２・・・密封室、５６・・・支持部材、６０・・
・水供給孔、６２・・・水排出孔、８８・・・給排気
孔、９２・・・真空ポンプ、１０２・・・コンプレッ
サ、１０８・・・水タンク、１１８・・・ポンプ、１４
０・・・クーラ、２５２・・・ヒータ、Ｒ・・・密閉
室。

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定盤と、該固定盤に相対向して配され
   上昇および下降可能な可動盤と、該可動盤を上下駆動す
   る可動盤駆動機構と、前記固定盤と可動盤との間に配設
   され前記可動盤の上昇および下降に応じて互いの相対距
   離を近接および離隔させる複数の熱板と、該複数の熱板
   間に挿入された被加工物を加熱する加熱手段とを備え、
   前記被加工物をホットプレスするホットプレス装置にお
   いて、 前記各熱板に、 可撓性膜状の上面部材および下面部材と、 該上面部材および下面部材間に形成された密封室と、 該密封室内に前記上面部材に沿って配設されて前記被加
   工物を支持する支持部材とを設けるとともに、 前記密封室内に圧力流体を給排して前記密封室内の圧力
   を昇降させる圧力流体給排手段と、 前記各熱板の外周に沿って配され、前記可動盤の上昇に
   応じて前記各熱板が互いに近接した際には上下方向に沿
   って互いに密に連接して前記各熱板を収納する密閉室を
   形成する外周部材と、 該形成された密閉室を減圧する減圧手段とを設けたこと
   を特徴とするホットプレス装置。
2. 【請求項２】 前記上面部材および下面部材を、導電液
   を封入した袋状の可撓性膜部材とするとともに、 前記可撓性膜部材に封入されている導電液に高周波電圧
   を印加する電極と、 前記密封室に冷媒を給排する冷媒給排手段とを設けたこ
   とを特徴とする請求項１記載のホットプレス装置。
3. 【請求項３】 前記密封室に伝熱媒体を給排して前記熱
   板を加熱および冷却する伝熱媒体給排手段を設けたこと
   を特徴とする請求項１記載のホットプレス装置。