JP3033480B2 - Ultrasonic probe - Google Patents

Ultrasonic probe

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JP3033480B2
JP3033480B2 JP29677495A JP29677495A JP3033480B2 JP 3033480 B2 JP3033480 B2 JP 3033480B2 JP 29677495 A JP29677495 A JP 29677495A JP 29677495 A JP29677495 A JP 29677495A JP 3033480 B2 JP3033480 B2 JP 3033480B2
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transmitting
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signal
receiving
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雅彦 橋本
公一 佐藤
明久 足立
恵作 山口
一▼吉▲ 入岡
渉 徳永
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は超音波診断装置に用
いる超音波探触子に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic probe used for an ultrasonic diagnostic apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】超音波診断装置においては、連続波ドプ
ラ情報やいわゆるBモード情報を得るために、超音波探
触子の圧電振動素子に対して各種の励振方式が採用され
ている。このような超音波探触子の従来例を図6を参照
して説明する。
2. Description of the Related Art In an ultrasonic diagnostic apparatus, in order to obtain continuous-wave Doppler information or so-called B-mode information, various excitation methods are employed for a piezoelectric vibrating element of an ultrasonic probe. A conventional example of such an ultrasonic probe will be described with reference to FIG.

【0003】21は例えば圧電セラミックスを所定の切
断ピッチでアレイ状に切断して配置した圧電振動素子、
22は超音波を効率よく伝搬させるための第1層音響整
合層、23は同じく第2層音響整合層、24は超音波を
収束させるための音響レンズ、25は前記圧電振動素子
21の背面から出される超音波を吸収減衰させるための
背面負荷材、26は探触子全体を保持するためのベース
ブロック、27は前記圧電振動素子21を励振する電気
信号を供給するために前記圧電振動素子21の一方の側
面側から取り出された配線基板、28は前記圧電振動素
子21のもう一方の側面側から取り出されたアース板で
あり、これら構成要素は図示しないケースに収納され
る。
[0003] Reference numeral 21 denotes a piezoelectric vibrating element in which piezoelectric ceramics are cut and arranged in an array at a predetermined cutting pitch,
22 is a first layer acoustic matching layer for efficiently transmitting ultrasonic waves, 23 is a second layer acoustic matching layer, 24 is an acoustic lens for converging ultrasonic waves, and 25 is a rear surface of the piezoelectric vibrating element 21. A back load member for absorbing and attenuating the emitted ultrasonic waves, 26 is a base block for holding the entire probe, and 27 is the piezoelectric vibrating element 21 for supplying an electric signal for exciting the piezoelectric vibrating element 21. A wiring board 28 taken out from one side of the piezoelectric vibrating element 21 is a ground plate taken out from the other side of the piezoelectric vibrating element 21, and these components are housed in a case (not shown).

【0004】このような構成の超音波探触子において、
例えば圧電振動素子21の各素子21a、21b、・・・
・21nをA群、素子21n+1・・・、212nをB群に分
け、連続波ドプラ情報を得ようとする場合に以下に示す
ような問題が生じる。すなわち、A群に属する各素子2
1a、21b、・・・21nを連続波により励振して連続
的な超音波を送波するとともに、B群に属する各素子2
1n+1、・・・212nで前記超音波の反射信号を受波す
る場合を想定すると、例えばA群とB群の隣り合う圧電
振動素子21n、21n+1間にクロストークが発生してB
群により得られる連続波ドプラ情報の分解能が低下す
る。
In an ultrasonic probe having such a configuration,
For example, each element 21a, 21b,.
The following problem arises when 21n is divided into group A and elements 21n + 1..., 212n are divided into group B to obtain continuous wave Doppler information. That is, each element 2 belonging to the group A
1a, 21b,... 21n are excited by continuous waves to transmit continuous ultrasonic waves.
Assuming that the reflected signal of the ultrasonic wave is received at 1n + 1,..., 212n, for example, crosstalk occurs between the adjacent piezoelectric vibrating elements 21n, 21n + 1 of the group A and the group B, and
The resolution of the continuous wave Doppler information obtained by the group decreases.

【0005】クロストークの原因としては、各素子21
a、21b、・・・・212n間の間隔が数十μmであるこ
とに起因した素子21nからの電気力線が素子21n+1に
影響を与えることやA群の各素子21a、21b、・・・
・21nの励振に伴って生じるアースからの励振信号の
漏れの影響をあげることができる。
The cause of the crosstalk is that each element 21
a, 21b,..., and 212 n are several tens of μm, the lines of electric force from the element 21n affect the element 21n + 1, and the elements 21a, 21b,.・ ・
The effect of the leakage of the excitation signal from the ground caused by the excitation of 21n can be increased.

【0006】尚、このようなクロストークは前記両素子
21n、21n+1間のみならず、A群とB群の他の素子間
にも生じるし、同じA群内、同じB群内における隣接素
子間にも生じる。
Such crosstalk occurs not only between the two elements 21n and 21n + 1, but also between the other elements of the group A and the group B, and in the same group A and the same group B. It also occurs between elements.

【0007】また、配線基板のパターンピッチが細かい
ことや配線基板から接続される図示しない配線の近接が
原因となるクロストークも生じる。
Also, crosstalk occurs due to the fine pattern pitch of the wiring board and the proximity of wiring (not shown) connected from the wiring board.

【0008】さらに、圧電振動素子からの電気力線の漏
洩は不要輻射の原因でもある。
Further, the leakage of the lines of electric force from the piezoelectric vibrating element is a cause of unnecessary radiation.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
超音波探触子においては、素子間のクロストークによる
分解能の低下を招くという問題や不要輻射が発生すると
いう問題がある。そこで本発明は、分解能の低下を招く
ことなくクロストークの発生及び不要輻射を防止した優
れた超音波探触子を提供することを目的とするものであ
る。
As described above, the conventional ultrasonic probe has a problem that the resolution is reduced due to crosstalk between elements and a problem that unnecessary radiation occurs. Therefore, an object of the present invention is to provide an excellent ultrasonic probe that prevents the occurrence of crosstalk and unnecessary radiation without lowering the resolution.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は超音波を送受波するための圧電振動素子と
超音波を効率良く伝搬させるための音響整合層と、前記
音響整合層の両側に、前記圧電振動素子の配列方向に沿
って接続された側板を有し、前記音響整合層と前記側板
が導電性材料であり、かつ前記圧電振動素子のアース電
極を兼ねた構成を有している。
To achieve the above object, the present invention provides a piezoelectric vibrating element for transmitting and receiving ultrasonic waves, an acoustic matching layer for efficiently transmitting ultrasonic waves, and the acoustic matching layer. On both sides of the piezoelectric vibrating element, a side plate connected along the direction in which the piezoelectric vibrating elements are arranged, the acoustic matching layer and the side plate being made of a conductive material, and also serving as a ground electrode of the piezoelectric vibrating element. doing.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、超音波を送受波するための圧電振動素子と、超音波
を効率良く伝搬させるための音響整合層と、前記音響整
合層の両側に、前記圧電振動素子の配列方向に沿って接
続された側板を有し、前記音響整合層と前記側板が導電
性材料であり、かつ前記圧電振動素子のアース電極を兼
ねているものであり、分解能の低下を招くことなくクロ
ストークの発生及び不要輻射を防止することができると
いう作用を有する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention according to claim 1 of the present invention provides a piezoelectric vibrating element for transmitting and receiving ultrasonic waves, an acoustic matching layer for efficiently transmitting ultrasonic waves, and the acoustic matching layer. Has a side plate connected along the arrangement direction of the piezoelectric vibrating element, the acoustic matching layer and the side plate are made of a conductive material, and also serves as a ground electrode of the piezoelectric vibrating element. In addition, there is an effect that generation of crosstalk and unnecessary radiation can be prevented without lowering the resolution.

【0012】本発明の請求項2に記載の発明は、側板が
圧電振動素子における送波用素子と受波用素子の境界位
置で、電気的、物理的に分割されているものであり、分
解能の低下を招くことなくクロストークの発生及び不要
輻射を防止することができるという作用を有する。
According to a second aspect of the present invention, the side plate is electrically and physically divided at a boundary position between the transmitting element and the receiving element in the piezoelectric vibrating element. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of crosstalk and unnecessary radiation without causing a decrease in the noise.

【0013】本発明の請求項3に記載の発明は、超音波
を送受波する圧電振動素子と、前記圧電振動素子の素子
配列に対応して形成された導体を備えた配線基板を有
し、前記配線基板の導体が前記圧電振動素子の両側から
1素子おきに交互に各素子と接続されていることを特徴
とする請求項1記載の超音波探触子としたものであり、
分解能の低下を招くことなくクロストークの発生及び不
要輻射を防止することができるという作用を有する。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric vibrating element for transmitting and receiving ultrasonic waves, and a wiring board including a conductor formed corresponding to the element arrangement of the piezoelectric vibrating element, wherein the conductors of the wiring board are connected to each element alternately in one element every from both sides of the piezoelectric vibrating element
The ultrasonic probe according to claim 1 ,
This has the effect of preventing generation of crosstalk and unnecessary radiation without lowering the resolution.

【0014】本発明の請求項4に記載の発明は、超音波
を送受波する圧電振動素子と、前記圧電振動素子の送波
信号用の素子及び受波信号用の素子にそれぞれ接続され
た第1の導体及び第2の導体を備えた配線基板と、前記
第1及び第2の導体に接続された第1のコネクタ及び第
のコネクタと、前記第1及び第2のコネクタに接続さ
れて送波信号と受波信号を別々に伝達する第1及び第2
のユニットケーブルと、前記第1及び第2コネクタと前
記第1及び第2ユニットケーブルを送波信号用と受波信
号用に分ける位置に配置された導電性材料から成る遮蔽
板を有するものであり、分解能の低下を招くことなくク
ロストークの発生及び不要輻射を防止することができる
という作用を有する。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric vibrating element for transmitting and receiving ultrasonic waves, and a piezoelectric vibrating element connected to a transmitting signal element and a receiving signal element of the piezoelectric vibrating element. A wiring board including a first conductor and a second conductor; a first connector connected to the first and second conductors;
2 and first and second connectors connected to the first and second connectors for separately transmitting a transmission signal and a reception signal.
And a shielding plate made of a conductive material disposed at a position where the first and second connectors and the first and second unit cables are separated for a transmission signal and a reception signal. This has the effect that the occurrence of crosstalk and unnecessary radiation can be prevented without lowering the resolution.

【0015】本発明の請求項5に記載の発明は、超音波
を送受波する圧電振動素子と、前記圧電振動素子の各素
子の送受波信号を伝達する同軸ケーブル構造を有した信
号線と、前記信号線を送波信号用と受波信号用に分けて
束ね、外部導体と保護被覆で覆ったユニットケーブル
と、前記ユニットケーブルを束ねて外部導体と保護被覆
で覆った多心ケーブルを有するものであり、分解能の低
下を招くことなくクロストークの発生及び不要輻射を防
止することができるという作用を有する。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric vibrating element for transmitting / receiving ultrasonic waves, a signal line having a coaxial cable structure for transmitting / receiving a transmitting / receiving signal of each element of the piezoelectric vibrating element, One having a unit cable in which the signal lines are bundled separately for a transmission signal and a reception signal and covered with an external conductor and a protective coating, and a multi-core cable in which the unit cables are bundled and covered with an external conductor and a protective coating This has the effect that the occurrence of crosstalk and unnecessary radiation can be prevented without lowering the resolution.

【0016】[0016]

【実施例】【Example】

(実施例1)以下、本発明の第1の実施例について図面
を参照しながら説明する。
Embodiment 1 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0017】図1において、1は超音波の送波及び受波
をするための例えば圧電セラミックからなる圧電振動素
子、2は例えばカーボンなどの導電性材料を用いて超音
波を効率よく伝搬させるための第1層音響整合層、3は
前記第1層音響整合層1より音響インピーダンスが小さ
い材料、例えばエポキシ樹脂を用いて超音波を効率良く
伝搬させるための第2層音響整合層であり、前記圧電振
動素子1、前記第1層音響整合層2、前記第2層音響整
合層3は例えばダイサなどの切断装置で施された切断溝
9により分割されている。4は超音波ビームを収束させ
るための例えばシリコーンゴムから成る音響レンズ、5
は前記圧電振動素子1からの送波信号及び受波信号に音
響的な制動をかけるとともに、前記圧電振動素子1の背
面から発する超音波を吸収減衰させるための、例えばゴ
ム材に鉄粉を混入させたものから成る背面負荷材、6は
超音波探触子全体を保持するための、例えばアルミブロ
ックから成るベースブロックである。さらに、7は前記
第1層音響整合層2の両側に、前記圧電振動素子1の配
列方向に沿って接続され、少なくとも前記圧電振動素子
1の厚み全体を覆うサイズを有した導電性材料から成る
側板であり、配線基板8と前記圧電振動素子1との短絡
を避けるために図示しない絶縁シートを配線基板8及び
前記圧電振動素子1と側板7の間に設けている。8は前
記圧電振動素子1に接続された配線基板である。これら
の構成要素は図示しないケースに収納されている。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a piezoelectric vibrating element made of, for example, a piezoelectric ceramic for transmitting and receiving an ultrasonic wave, and 2 denotes a conductive material, such as carbon, for efficiently transmitting the ultrasonic wave. The first acoustic matching layer 3 is a second acoustic matching layer for efficiently transmitting ultrasonic waves using a material having a smaller acoustic impedance than the first acoustic matching layer 1, for example, epoxy resin. The piezoelectric vibration element 1, the first acoustic matching layer 2, and the second acoustic matching layer 3 are divided by a cutting groove 9 formed by a cutting device such as a dicer. Reference numeral 4 denotes an acoustic lens made of, for example, silicone rubber for converging an ultrasonic beam;
For example, iron powder is mixed into a rubber material to apply acoustic braking to the transmission signal and the reception signal from the piezoelectric vibrating element 1 and to absorb and attenuate ultrasonic waves emitted from the back surface of the piezoelectric vibrating element 1. The back load member 6 is a base block made of, for example, an aluminum block for holding the entire ultrasonic probe. Further, 7 is made of a conductive material which is connected to both sides of the first acoustic matching layer 2 along the arrangement direction of the piezoelectric vibrating elements 1 and has a size which covers at least the entire thickness of the piezoelectric vibrating elements 1. An insulating sheet (not shown) is provided between the wiring board 8 and the piezoelectric vibrating element 1 and the side plate 7 to avoid a short circuit between the wiring board 8 and the piezoelectric vibrating element 1. Reference numeral 8 denotes a wiring board connected to the piezoelectric vibration element 1. These components are housed in a case (not shown).

【0018】以上の構成を有する超音波探触子につい
て、以下その製造方法を説明する。圧電振動素子1を構
成する例えば圧電セラミックの上面に、第1層音響整合
層2、第2層音響整合層3を接合する。このとき、第1
層音響整合層2、第2層音響整合層3は側板7を両側に
接合するため、圧電セラミックより側板の厚み2枚分だ
け横幅を大きく確保している。また、予め圧電セラミッ
クの上面及び下面には電極として金属薄膜を形成してお
くとともに、第1層音響整合層2と圧電セラミックは、
例えば導電性接着材を用いることで導電性を確保して接
合する。さらに圧電振動素子1を構成する例えば圧電セ
ラミックの下面に配線基板8を取り付け、背面負荷材
5、ベースブロック6を順に接合する。次に、第1層音
響整合層2と側板7を、例えば導電性接着材を用いて導
電性を確保して接合する。このとき、配線基板8と側板
7の接触による導通を避けるために、図示しない絶縁シ
ートを両者の間に介している。側板7まで接合した後
に、ダイサ等の切断装置を用いて決まったピッチで切断
溝9を形成して、第2層整合層3、第1層整合層2、側
板7とともに圧電セラミックを分割することで、圧電振
動素子1の配列を作成する。その後、音響レンズ4を接
合し、図示しないケースに収納する。
The method of manufacturing the ultrasonic probe having the above configuration will be described below. The first acoustic matching layer 2 and the second acoustic matching layer 3 are joined to the upper surface of, for example, a piezoelectric ceramic constituting the piezoelectric vibration element 1. At this time, the first
Since the layer acoustic matching layer 2 and the second layer acoustic matching layer 3 join the side plates 7 on both sides, the lateral width is as large as that of the piezoelectric ceramic by two side plates. A metal thin film is formed as an electrode on the upper and lower surfaces of the piezoelectric ceramic in advance, and the first acoustic matching layer 2 and the piezoelectric ceramic are
For example, by using a conductive adhesive, bonding is performed while ensuring conductivity. Further, a wiring substrate 8 is attached to the lower surface of, for example, a piezoelectric ceramic constituting the piezoelectric vibration element 1, and the back load member 5 and the base block 6 are sequentially joined. Next, the first acoustic matching layer 2 and the side plate 7 are joined while ensuring conductivity using, for example, a conductive adhesive. At this time, an insulating sheet (not shown) is interposed between the wiring board 8 and the side plate 7 in order to avoid conduction due to contact. After joining to the side plate 7, a cutting groove 9 is formed at a predetermined pitch using a cutting device such as a dicer, and the piezoelectric ceramic is divided together with the second layer matching layer 3, the first layer matching layer 2, and the side plate 7. Thus, an array of the piezoelectric vibrating elements 1 is created. Thereafter, the acoustic lens 4 is joined and stored in a case (not shown).

【0019】以上のように構成された超音波探触子につ
いて、以下その動作を説明する。Bモード情報を得る場
合、圧電振動素子1の各素子は配線基板8、図示しない
ケーブルを介して、所定の遅延時間を与えられた図示し
ない超音波診断装置からのパルスによって励振され、第
1層音響整合層2、第2層音響整合層3、音響レンズ4
を介して、所定の方向と所定のフォーカスを有した超音
波ビームが図示しない被検体内に送波される。被検体内
に送波された超音波は被検体内部組織の音響インピーダ
ンスの差によって反射され、その反射エコーは、音響レ
ンズ4、第2層音響整合層3、第1層音響整合層2を介
して、圧電振動素子1によって受波される。受波された
反射エコーは電気信号に変換され、配線基板8、図示し
ないケーブルを介して、図示しない超音波診断装置に送
られ、Bモード像に処理される。
The operation of the ultrasonic probe configured as described above will be described below. When obtaining the B-mode information, each element of the piezoelectric vibrating element 1 is excited by a pulse from an ultrasonic diagnostic apparatus (not shown) given a predetermined delay time via the wiring board 8 and a cable (not shown), and the first layer. Acoustic matching layer 2, second layer acoustic matching layer 3, acoustic lens 4
, An ultrasonic beam having a predetermined direction and a predetermined focus is transmitted into a subject (not shown). The ultrasonic wave transmitted into the subject is reflected by the difference in acoustic impedance of the tissue inside the subject, and the reflected echo is transmitted through the acoustic lens 4, the second acoustic matching layer 3, and the first acoustic matching layer 2. Then, the wave is received by the piezoelectric vibration element 1. The received reflected echo is converted into an electric signal, sent to an ultrasonic diagnostic apparatus (not shown) via the wiring board 8 and a cable (not shown), and processed into a B-mode image.

【0020】このとき、圧電振動素子1は、第1層音響
整合層2と第1層音響整合層2に接続された側板6によ
って覆われている。また、前記第1層音響整合層2と前
記側板6は導電性材料から成り、アース電極を兼ねてい
る。そのため、圧電振動素子1に加わる電界に基づく電
気力線は、前記第1層音響整合層2と側板6によって遮
蔽され、その結果、前記電気力線の漏洩の影響が及ば
ず、従来の超音波プローブの場合の如きクロストークの
発生を軽減することができる。加えて、外部への電気力
線の漏れを防ぐことができるため、不要輻射を防止する
ことができる。
At this time, the piezoelectric vibration element 1 is covered by the first acoustic matching layer 2 and the side plate 6 connected to the first acoustic matching layer 2. The first acoustic matching layer 2 and the side plate 6 are made of a conductive material and also serve as a ground electrode. For this reason, the lines of electric force based on the electric field applied to the piezoelectric vibrating element 1 are shielded by the first acoustic matching layer 2 and the side plate 6, and as a result, the influence of the leakage of the lines of electric force does not affect the conventional ultrasonic wave. The occurrence of crosstalk as in the case of a probe can be reduced. In addition, since leakage of electric lines of force to the outside can be prevented, unnecessary radiation can be prevented.

【0021】なお、本実施例において、第1層音響整合
層2の横幅を広くとり、その余白部分に側板7を接合す
る構成を示したが、第1層音響整合層2を圧電振動素子
1と同じ幅とし、第1層音響整合層2の側面を側板7で
挟んで接合する構成であっても、本発明の効果は明らか
であり、本発明を逸脱するものではない。
In this embodiment, the width of the first acoustic matching layer 2 is widened and the side plate 7 is joined to the margin thereof. However, the first acoustic matching layer 2 is connected to the piezoelectric vibration element 1. Even if the width is the same as that of the first acoustic matching layer 2 and the side surfaces of the first acoustic matching layer 2 are sandwiched between the side plates 7, the effect of the present invention is clear and does not deviate from the present invention.

【0022】(実施例2)次に、本発明の第2の実施例
について図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 2) Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0023】図2において、図1に示すものと同一の機
能を有するものには、同一の符号を付し、その詳細な説
明は省略するが、圧電振動素子1はA群、B群の2つの
素子群に分割され、側板6は前記圧電振動素子1のA群
とB群の境界に位置する切断溝9と同一位置で、例えば
ダイサなどの切断装置で切断した側板分割溝10によっ
て物理的かつ電気的に分断されている。
In FIG. 2, components having the same functions as those shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. The side plate 6 is physically divided by a side plate dividing groove 10 cut by a cutting device such as a dicer at the same position as the cutting groove 9 located at the boundary between the group A and the group B of the piezoelectric vibrating element 1. It is electrically disconnected.

【0024】以上の構成において、以下その作用を連続
波ドプラ情報を得る場合について説明する。
In the above configuration, the operation will be described below in the case of obtaining continuous wave Doppler information.

【0025】圧電振動素子1中A群の各素子を連続波で
励振して、連続的に超音波を図示しない被検体に向けて
送波し、その反射エコーを圧電振動素子1中B群の各素
子で受波するものとする。このとき、第1の実施例と同
様に、電気力線の影響による圧電振動素子1の各素子間
のクロストークと外部への不要輻射は、導電性材料から
成り、アース電極を兼ねる第1層音響整合層2と側板6
によって電磁遮蔽されることで防ぐことができる。ま
た、側板6がA群とB群の境界に位置する切断溝9と同
一位置に施された側板分割溝10によって分断されるこ
とで、連続超音波を送波する圧電振動素子1中A群のア
ースと反射エコーを受波する圧電振動素子1中B群のア
ースは電気的にも分断される。従って、A群の各素子に
供給される励振信号がアース電極を通してB群の各素子
に漏洩することはなく、これを原因とするクロストーク
は防止される。同時に、圧電振動素子1のA群またはB
群の各素子で送受波された超音波が側板6に漏洩した場
合、側板分割溝10で物理的に分断されているため、A
群からB群、またはB群からA群へ伝搬することはな
く、この漏洩波の影響による音響的なクロストークを防
止することができる。
Each element of the group A in the piezoelectric vibrating element 1 is excited by a continuous wave, and an ultrasonic wave is continuously transmitted to a subject (not shown). It is assumed that each element receives waves. At this time, similarly to the first embodiment, the crosstalk between the respective elements of the piezoelectric vibrating element 1 and the unnecessary radiation to the outside due to the influence of the lines of electric force are made of a conductive material, and the first layer also serves as a ground electrode. Acoustic matching layer 2 and side plate 6
Can be prevented by electromagnetic shielding. Further, the side plate 6 is divided by the side plate dividing groove 10 provided at the same position as the cutting groove 9 located at the boundary between the group A and the group B, so that the group A in the piezoelectric vibrating element 1 which transmits continuous ultrasonic waves. And the ground of group B in the piezoelectric vibrating element 1 that receives the reflected echo is also electrically separated. Therefore, the excitation signal supplied to each element of the group A does not leak to each element of the group B through the ground electrode, and crosstalk caused by this is prevented. At the same time, group A or B of the piezoelectric vibrating element 1
When the ultrasonic wave transmitted and received by each element of the group leaks to the side plate 6, the ultrasonic wave is physically separated by the side plate dividing groove 10.
The signal does not propagate from the group to the group B or from the group B to the group A, so that acoustic crosstalk due to the influence of the leaky wave can be prevented.

【0026】なお、第1と第2の実施例では、音響整合
層として第1層音響整合層2と第2層音響整合層3の2
層構造としたが、第1層整合層2のみでもよい。
In the first and second embodiments, the first acoustic matching layer 2 and the second acoustic matching layer 3 are used as acoustic matching layers.
Although a layer structure is used, only the first layer matching layer 2 may be used.

【0027】また、第1と第2の実施例では、ベースブ
ロック6と背面負荷材5は別々の構成要素となっている
が、背面負荷材5がベースブロック6の役割を果たして
もよい。
Further, in the first and second embodiments, the base block 6 and the back load member 5 are separate components, but the back load member 5 may play the role of the base block 6.

【0028】また、第2の実施例では側板6を側板分割
溝10によって分断したままだが、例えばテトロンフィ
ルムなどの音響インピーダンスが側板6の材料と異な
り、かつ絶縁体であるものを側板分割溝10に充填した
構成でもよい。 さらに、第2の実施例では圧電振動素
子1を送波、受波の各素子群に中央付近で2分した場合
についてであるが、本発明の主旨に従って、その数や位
置など種々の分け方が可能であり、本発明からこれを排
除するものではない。
In the second embodiment, the side plate 6 is divided by the side plate dividing groove 10. However, for example, a material such as a tetron film having an acoustic impedance different from that of the side plate 6 and an insulator is used. May be used. Further, in the second embodiment, the case where the piezoelectric vibrating element 1 is divided into two groups in each of the transmitting and receiving element groups in the vicinity of the center is divided. Is possible and is not excluded from the present invention.

【0029】(実施例3)次に本発明に関わる第3の実
施例を図面を参照して説明する。 図3は配線基板8を
音響レンズ4側から見たものであり、図1または図2に
示すものと同一の機能を有するものには、同一の符号を
付し、その詳細な説明は省略する。図3において、配線
基板8は、絶縁性を有する、例えばポリイミドなどで構
成されたベースフィルム11と、圧電振動素子1の素子
配列に対応して形成され、圧電振動素子1の各素子と送
受波信号をやり取りする、例えば圧延銅箔などで前記ベ
ースフィルム11上に構成された導体12から成る。図
3に示す配線基板と図1に示す構成との相違点は、圧電
振動素子1の素子配列に対応して形成された導体12が
1素子ごとに互い違いに圧電振動素子1の両側から取り
出せるように構成されている点である。従って、例えば
圧電振動素子1bに接続されている導体12bに対して、
隣り合う圧電振動素子1a、圧電振動素子1cにそれぞれ
接続されている導体12a、12cは逆側から取り出され
るために、隣接する圧電振動素子1に接続される導体1
2は配線基板8上で隣り合うことはなく、また片側の側
面から取り出される導体12のパターンピッチは素子間
隔の2倍となり、配線基板8上の導体12間でのクロス
トークの発生を抑制することができる。
(Embodiment 3) Next, a third embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 3 shows the wiring substrate 8 viewed from the acoustic lens 4 side. Components having the same functions as those shown in FIG. 1 or FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. . In FIG. 3, a wiring board 8 is formed corresponding to an element array of the piezoelectric vibration element 1 and a base film 11 made of, for example, polyimide having an insulating property. It is composed of a conductor 12 for exchanging signals, for example, formed on the base film 11 by a rolled copper foil or the like. The difference between the wiring board shown in FIG. 3 and the configuration shown in FIG. 1 is that the conductors 12 formed corresponding to the element arrangement of the piezoelectric vibration element 1 can be alternately taken out from both sides of the piezoelectric vibration element 1 for each element. This is the point that is configured. Therefore, for example, for the conductor 12b connected to the piezoelectric vibrating element 1b,
The conductors 12a and 12c connected to the adjacent piezoelectric vibrating elements 1a and 1c, respectively, are taken out from the opposite sides.
2 are not adjacent to each other on the wiring board 8, and the pattern pitch of the conductors 12 taken out from one side surface is twice the element interval, thereby suppressing the occurrence of crosstalk between the conductors 12 on the wiring board 8. be able to.

【0030】(実施例4)さらに本発明に関わる第4の
実施例について図面を参照して説明する。
(Embodiment 4) A fourth embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings.

【0031】図4は、超音波探触子をベースブロック6
側から見たもので、図1、図2、図3に示すものと同一
の機能を有するものは、同一の符号を付し、その詳細な
説明は省略する。13は配線基板8上の各導体12とユ
ニットケーブル14を配線15を介して接続するための
コネクタ、14は図示しない超音波診断装置に接続さ
れ、送受波信号を伝達するためのユニットケーブル、1
5はコネクタ13とユニットケーブル14を結線するた
めの配線である。また、16は前記ベースブロックに接
続され、導電性材料からなる遮蔽板である。
FIG. 4 shows an ultrasonic probe connected to the base block 6.
Components viewed from the side and having the same functions as those shown in FIGS. 1, 2, and 3 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. Reference numeral 13 denotes a connector for connecting each of the conductors 12 on the wiring board 8 and the unit cable 14 via the wiring 15, and reference numeral 14 denotes a unit cable connected to an ultrasonic diagnostic apparatus (not shown) for transmitting a transmission / reception signal.
Reference numeral 5 denotes wiring for connecting the connector 13 and the unit cable 14. Reference numeral 16 denotes a shielding plate connected to the base block and made of a conductive material.

【0032】以上の構成において、以下、その動作を連
続波ドプラ情報を得る場合を取り上げて説明する。
In the above configuration, the operation will be described below by taking a case where continuous wave Doppler information is obtained.

【0033】圧電振動素子1中A群の各素子を連続波で
励振して、連続的に超音波を図示しない被検体に向けて
送波し、その反射エコーを圧電振動素子1中B群の各素
子で受波するものとする。このとき、図示しない超音波
診断装置からの連続的な送波信号はユニットケーブル1
4a、14bを介して伝達され、配線15、コネクタ13
a、13bを通して接続される配線基板8上の導体12か
ら圧電振動素子1中のA群の各素子に送られ、A群の各
素子は連続的に励振される。A群の各素子から送波され
た連続超音波は図示しない被検体内を伝搬し、その音響
インピーダンスの差で反射される。図示しない被検体か
ら連続的に返ってくる反射エコーは、圧電振動素子1中
のB群によって受波され、受波された信号は配線基板8
上のコネクタ13c、13dから配線15を介して、ユニ
ットケーブル14c、14dに送られ、図示しない超音波
診断装置に供給される。このとき、送波信号を伝達する
ユニットケーブル14a、14b、配線15、コネクタ1
3a、13bの伝達ルートと受波信号を伝達するコネクタ
13c、13d、配線15、ユニットケーブル14c、1
4dの伝達ルートは、金属などの導電性材料から成り、
前記ベースブロック6に接続された遮蔽板16によって
仕切られており、特に細かな配線15において発生する
電気力線の影響による送波信号と受波信号間のクロスト
ークの発生を防ぐことができる。
Each element of the group A in the piezoelectric vibrating element 1 is excited by a continuous wave, and an ultrasonic wave is continuously transmitted to a subject (not shown). It is assumed that each element receives waves. At this time, the continuous transmission signal from the ultrasonic diagnostic apparatus (not shown)
4a, 14b, the wiring 15, the connector 13
The signals are sent from the conductors 12 on the wiring board 8 connected through a and 13b to the elements of the group A in the piezoelectric vibrating element 1, and the elements of the group A are continuously excited. The continuous ultrasonic wave transmitted from each element of the group A propagates in a subject (not shown) and is reflected by a difference in acoustic impedance. The reflected echo continuously returned from the subject (not shown) is received by the group B in the piezoelectric vibrating element 1, and the received signal is transmitted to the wiring board 8.
The signals are sent from the upper connectors 13c and 13d to the unit cables 14c and 14d via the wiring 15, and supplied to an ultrasonic diagnostic apparatus (not shown). At this time, the unit cables 14a and 14b for transmitting the transmission signal, the wiring 15, and the connector 1
Connectors 13c, 13d for transmitting the transmission route of the 3a, 13b and the received signal, wiring 15, unit cables 14c,
4d transmission route is made of conductive material such as metal,
It is separated by a shielding plate 16 connected to the base block 6, and it is possible to prevent the occurrence of crosstalk between a transmitted signal and a received signal due to the influence of lines of electric force generated in the fine wiring 15, in particular.

【0034】なお、第4の実施例ではコネクタ13とユ
ニットケーブル14が送波信号用、受波信号用それぞれ
2系統ずつに別れた場合について説明したが、それぞれ
1系統ずつ、または複数系統ずつであっても、本発明の
効果に支障ないことは明らかである。
Although the fourth embodiment has been described with reference to the case where the connector 13 and the unit cable 14 are separated into two systems each for a transmission signal and a reception signal, one system or a plurality of systems are used. Even if it does, it is clear that the effect of the present invention is not hindered.

【0035】また、第4の実施例では、コネクタ13か
ら配線15を介してユニットケーブル14に接続された
場合について説明したが、この他、ガラスエポキシ基板
を使うなど、本発明の主旨に従って種々の接続方法が可
能であり、本発明から排除されるものではない。
Further, in the fourth embodiment, the case where the connector 13 is connected to the unit cable 14 via the wiring 15 has been described. Connection methods are possible and not excluded from the present invention.

【0036】また、第4の実施例の遮蔽板16は、その
形状や枚数の違う構成についても本発明の効果は明らか
であり、本発明を逸脱するものではない。
Further, the effect of the present invention is clear even if the shielding plate 16 of the fourth embodiment has a different shape or number of sheets, and does not deviate from the present invention.

【0037】さらに、第4の実施例では、ベースブロッ
ク6と背面負荷材5は別々の構成要素となっているが、
背面負荷材5がベースブロック6の役割を果たしてもよ
い。
Further, in the fourth embodiment, the base block 6 and the back load member 5 are separate components.
The back load member 5 may play the role of the base block 6.

【0038】(実施例5)次に、本発明に関わる第5の
実施例について図面を参照して説明する。
(Embodiment 5) Next, a fifth embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings.

【0039】図5において、図4に示すものと同一の機
能を有するものは、同一の符号を付し、その詳細な説明
は省略する。図5は多心ケーブル17の断面図であり、
17は図示しない超音波診断装置と図示しない超音波探
触子を接続するための多心ケーブルであり、18は例え
ばナイロンからなる保護被覆、19は外部への雑音の発
生を防ぐと共に外来雑音を遮蔽するための外部導体、2
0は図示しない圧電振動素子の各素子に接続され、超音
波の送受波信号を伝達する同軸ケーブルの構造を有する
信号線である。以上の構成において以下、その作用を説
明する。各ユニットケーブル14は接続する圧電振動素
子数に等しい同軸ケーブルの構造を有する信号線20を
その中に有し、外部導体19aとして例えばアルミ箔か
ら成る高周波成分を遮蔽するためのシールドを施し、保
護被覆18aで覆ってある。さらに、連続波ドプラ情報
を得る場合に送波信号を伝達するためのユニットケーブ
ル14a、14bと同じく受波信号を伝達するためのユニ
ットケーブル14c、14dの4本を例えば軟銅線を交差
して編み上げた主に低周波成分を遮蔽するための外部導
体19bによって覆い、その外側を例えばナイロンから
なる保護被覆18bで覆っている。
In FIG. 5, components having the same functions as those shown in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. FIG. 5 is a sectional view of the multi-core cable 17,
Reference numeral 17 denotes a multi-core cable for connecting an ultrasonic diagnostic device (not shown) and an ultrasonic probe (not shown), 18 is a protective coating made of, for example, nylon, 19 is a device that prevents external noise and reduces external noise. Outer conductor for shielding, 2
Reference numeral 0 denotes a signal line which is connected to each of the piezoelectric vibration elements (not shown) and has a coaxial cable structure for transmitting an ultrasonic wave transmission / reception signal. The operation of the above configuration will be described below. Each unit cable 14 has a signal line 20 having a coaxial cable structure equal to the number of piezoelectric vibrating elements to be connected therein, and a shield for shielding high-frequency components made of, for example, aluminum foil as an external conductor 19a. It is covered with a coating 18a. Further, when obtaining continuous wave Doppler information, four unit cables 14c and 14d for transmitting a reception signal as well as unit cables 14a and 14b for transmitting a transmission signal are braided, for example, by crossing a soft copper wire. It is mainly covered with an outer conductor 19b for shielding low-frequency components, and its outside is covered with a protective coating 18b made of, for example, nylon.

【0040】このため、連続波ドプラ情報を得ようとし
た場合に、送波信号を伝達するユニットケーブル14
a、14b内の信号線20と受波信号を伝達するユニット
ケーブル14c、14d内の信号線20は信号線同志が直
接接することはなく、超音波探触子と超音波診断装置間
の伝達経路中での送波信号と受波信号のクロストークを
防止することができる。
For this reason, when obtaining continuous wave Doppler information, the unit cable 14 for transmitting the transmission signal is used.
The signal lines 20 in the a and 14b and the signal lines 20 in the unit cables 14c and 14d for transmitting the received signal do not come into direct contact with each other, and the transmission path between the ultrasonic probe and the ultrasonic diagnostic apparatus. Crosstalk between a transmitted signal and a received signal in the inside can be prevented.

【0041】なお、第5の実施例では送波信号を伝達す
るユニットケーブル14a、14bと受波信号を伝達する
ユニットケーブル14c、14dがともに2本ずつ、合わ
せて4本の構成について説明したが、少なくとも送波信
号を伝達するユニットケーブル1本と受波信号を伝達す
るユニットケーブル1本の合わせて2本の構成であれ
ば、本発明の効果は明白である。
In the fifth embodiment, the unit cables 14a and 14b for transmitting the transmission signal and the unit cables 14c and 14d for transmitting the reception signal are both two, and the configuration has been described as a total of four. The effect of the present invention is clear if at least two units, one unit cable transmitting a transmission signal and one unit cable transmitting a reception signal, are used.

【0042】また、ユニットケーブルの本数が第5の実
施例以上の本数であっても、何ら本発明を逸脱するもの
ではない。
Further, even if the number of unit cables is equal to or greater than that of the fifth embodiment, it does not deviate from the present invention at all.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上のように本発明は、超音波を送受波
するための圧電振動素子と超音波を効率良く伝搬させる
ための音響整合層と、前記音響整合層の両側に、前記圧
電振動素子の配列方向に沿って接続された側板を有し、
前記音響整合層と前記側板が導電性材料であり、かつ前
記圧電振動素子のアース電極を兼ねた構成や、前記側板
が前記圧電振動素子中の送波用素子と受波用素子の境界
位置で側板分割溝によって電気的、物理的に分割されて
いる構成や、配線基板の導体が前記圧電振動素子の両側
から1素子ごと交互に取り出される構成や、前記配線基
板に接続されるコネクタ、ユニットケーブルを送波信号
用と受波信号用に分ける位置に配置された導電性材料か
ら成る遮蔽板や、送波信号用と受波信号用に分けて束ね
たユニットケーブルを束ねて外部導体と保護被覆で覆っ
た多心ケーブルを設けることにより、分解能の低下を招
くことなくクロストークの発生及び不要輻射を防止する
ことができる優れた超音波探触子を実現するものであ
る。
As described above, the present invention provides a piezoelectric vibrating element for transmitting and receiving ultrasonic waves, an acoustic matching layer for efficiently transmitting ultrasonic waves, and the piezoelectric vibrating element on both sides of the acoustic matching layer. Having side plates connected along the arrangement direction of the elements,
The configuration in which the acoustic matching layer and the side plate are made of a conductive material, and also serve as a ground electrode of the piezoelectric vibrating element, and the side plate is located at a boundary position between a transmitting element and a receiving element in the piezoelectric vibrating element. A configuration in which the conductors of the wiring board are electrically and physically divided by side plate dividing grooves, a configuration in which conductors of the wiring board are alternately taken out from both sides of the piezoelectric vibration element one by one, a connector and a unit cable connected to the wiring board A shield plate made of a conductive material placed at a position where it is divided into a transmission signal and a reception signal, and a unit cable that is divided into a transmission signal and a reception signal and bundled to form an outer conductor and protective coating By providing the multi-core cable covered by the above, it is possible to realize an excellent ultrasonic probe capable of preventing generation of crosstalk and unnecessary radiation without lowering the resolution.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例における超音波探触子の
構成例を示した図
FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of an ultrasonic probe according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例における超音波探触子の
構成例を示した図
FIG. 2 is a diagram showing a configuration example of an ultrasonic probe according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3の実施例における超音波探触子の
配線基板を音響レンズ側から見た図
FIG. 3 is a diagram showing a wiring board of an ultrasonic probe according to a third embodiment of the present invention as viewed from an acoustic lens side.

【図4】本発明の第4の実施例における超音波探触子を
ベースブロック側から見た図
FIG. 4 is a view of an ultrasonic probe according to a fourth embodiment of the present invention as viewed from a base block side.

【図5】本発明の第5の実施例における超音波探触子の
多心ケーブルの断面図
FIG. 5 is a sectional view of a multicore cable of an ultrasonic probe according to a fifth embodiment of the present invention.

【図6】従来の超音波探触子の構成例を示した図FIG. 6 is a diagram showing a configuration example of a conventional ultrasonic probe.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 圧電振動素子 2 第1層音響整合層 3 第2層音響整合層 4 音響レンズ 5 背面負荷材 6 ベースブロック 7 側板 8 配線基板 9 切断溝 10 側板分割溝 11 ベースフィルム 12 導体 13 コネクタ 14 ユニットケーブル 15 配線 16 遮蔽板 17 多心ケーブル 18 保護被覆 19 外部導体 20 信号線 21 圧電振動素子 22 第1層音響整合層 23 第2層音響整合層 24 音響レンズ 25 背面負荷材 26 ベースブロック 27 配線基板 28 アース板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Piezoelectric vibration element 2 1st layer acoustic matching layer 3 2nd layer acoustic matching layer 4 Acoustic lens 5 Back load material 6 Base block 7 Side plate 8 Wiring board 9 Cutting groove 10 Side plate dividing groove 11 Base film 12 Conductor 13 Connector 14 Unit cable REFERENCE SIGNS LIST 15 wiring 16 shield plate 17 multi-core cable 18 protective coating 19 outer conductor 20 signal line 21 piezoelectric vibration element 22 first layer acoustic matching layer 23 second layer acoustic matching layer 24 acoustic lens 25 back load material 26 base block 27 wiring board 28 Ground plate

フロントページの続き (72)発明者 足立 明久 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番 1号 松下技研株式会社内 (72)発明者 山口 恵作 神奈川県川崎市多摩区東三田3丁目10番 1号 松下技研株式会社内 (72)発明者 入岡 一▼吉▲ 神奈川県横浜市港北区綱島4丁目3番1 号 松下通信工業株式会社内 (72)発明者 徳永 渉 神奈川県横浜市港北区綱島4丁目3番1 号 松下通信工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−212299(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H04R 17/00 330 A61B 8/00 G01N 29/24 G01S 7/521 Continuation of the front page (72) Inventor Akihisa Adachi 3-10-1, Higashi-Mita, Tama-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Inside Matsushita Giken Co., Ltd. (72) Keisaku Yamaguchi 3-10, Higashi-Mita, Tama-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture No. 1 Inside Matsushita Giken Co., Ltd. (72) Inventor Kazuki Irioka 4-3-1 Tsunashima, Kohoku-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside Matsushita Communication Industrial Co., Ltd. (72) Wataru Tokunaga Kohoku-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Tsunashima 4-3-1 Matsushita Communication Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-63-212299 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H04R 17/00 330 A61B 8/00 G01N 29/24 G01S 7/521

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 超音波を送受波するための圧電振動素子
と、超音波を効率良く伝搬させるための音響整合層と、
前記音響整合層の両側に、前記圧電振動素子の配列方向
に沿って接続された側板を有し、前記音響整合層と前記
側板が導電性材料であり、かつ前記圧電振動素子のアー
ス電極を兼ねていることを特徴とする超音波探触子。
1. A piezoelectric vibrating element for transmitting and receiving ultrasonic waves, an acoustic matching layer for efficiently transmitting ultrasonic waves,
On both sides of the acoustic matching layer, there is a side plate connected along the arrangement direction of the piezoelectric vibrating elements, wherein the acoustic matching layer and the side plate are made of a conductive material, and also serve as a ground electrode of the piezoelectric vibrating element. An ultrasonic probe characterized in that:
【請求項2】 側板が圧電振動素子における送波用素子
と受波用素子の境界位置で、電気的、物理的に分割され
ていることを特徴とする請求項1記載の超音波探触子。
2. The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the side plate is electrically and physically divided at a boundary position between the transmitting element and the receiving element in the piezoelectric vibrating element. .
【請求項3】 超音波を送受波する圧電振動素子と、前
記圧電振動素子の素子配列に対応して形成された導体を
備えた配線基板を有し、前記配線基板の導体が前記圧電
振動素子の両側から1素子おきに交互に各素子と接続さ
れていることを特徴とする請求項1記載の超音波探触
子。
3. A piezoelectric vibrating element for transmitting and receiving ultrasonic waves, and a wiring board having a conductor formed corresponding to the element arrangement of the piezoelectric vibrating element, wherein the conductor of the wiring board is the piezoelectric vibrating element. 2. The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the ultrasonic probe is alternately connected to every other element from both sides of the ultrasonic probe.
【請求項4】 超音波を送受波する圧電振動素子と、前
記圧電振動素子の送波信号用の素子及び受波信号用の素
子にそれぞれ接続された第1の導体及び第2の導体を備
えた配線基板と、前記第1及び第2の導体に接続された
第1のコネクタ及び第のコネクタと、前記第1及び第
2のコネクタに接続されて送波信号と受波信号を別々に
伝達する第1及び第2のユニットケーブルと、前記第1
及び第2コネクタと前記第1及び第2ユニットケーブル
を送波信号用と受波信号用に分ける位置に配置された導
電性材料から成る遮蔽板を有することを特徴とする超音
波探触子。
4. A piezoelectric vibrating element for transmitting and receiving an ultrasonic wave, and a first conductor and a second conductor connected to the transmitting signal element and the receiving signal element of the piezoelectric vibrating element, respectively. A wiring board, a first connector and a second connector connected to the first and second conductors, and a transmission signal and a reception signal separately connected to the first and second connectors. First and second unit cables for transmitting the first and second unit cables;
An ultrasonic probe, comprising: a second connector and a shielding plate made of a conductive material disposed at a position where the first and second unit cables are divided into a transmission signal and a reception signal.
【請求項5】 超音波を送受波する圧電振動素子と、前
記圧電振動素子の各素子の送受波信号を伝達する同軸ケ
ーブル構造を有した信号線と、前記信号線を送波信号用
と受波信号用に分けて束ね、外部導体と保護被覆で覆っ
たユニットケーブルと、前記ユニットケーブルを束ねて
外部導体と保護被覆で覆った多心ケーブルを有すること
を特徴とした超音波探触子。
5. A piezoelectric vibrating element for transmitting and receiving ultrasonic waves, a signal line having a coaxial cable structure for transmitting a transmitting and receiving signal of each element of the piezoelectric vibrating element, and receiving the signal line for transmitting and receiving signals. An ultrasonic probe comprising: a unit cable bundled separately for a wave signal and covered with an external conductor and a protective coating; and a multi-core cable bundled with the unit cable and covered with an external conductor and a protective coating.
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