JP3031040B2 - Manufacturing method of integrated circuit - Google Patents

Manufacturing method of integrated circuit

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JP3031040B2 JP4044665A JP4466592A JP3031040B2 JP 3031040 B2 JP3031040 B2 JP 3031040B2 JP 4044665 A JP4044665 A JP 4044665A JP 4466592 A JP4466592 A JP 4466592A JP 3031040 B2 JP3031040 B2 JP 3031040B2
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internal
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cell
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、フリップフロップ等、
クロックを必要とする内部セルを設けて構成される集積
回路の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention
The present invention relates to a method for manufacturing an integrated circuit including an internal cell requiring a clock.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、クロックを必要とする内部セルを
設けて構成される集積回路として、図5にそのクロック
配線の論理図、即ち、クロック論理図を示すようなもの
が知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an integrated circuit provided with an internal cell requiring a clock, there is known an integrated circuit having a logic diagram of a clock wiring, that is, a clock logic diagram shown in FIG.

【0003】図中、1は外部からクロックが入力される
クロック入力端子、2はクロック入力端子1に入力され
たクロックを内部に取り込むための入力クロックバッフ
ァセル、3はクロックを必要とする内部セルであり、こ
の集積回路は、入力クロックバッファセル2によって、
クロックを必要とする内部セル3の全てを駆動するとい
うものである。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a clock input terminal to which a clock is externally input, 2 denotes an input clock buffer cell for taking in the clock input to the clock input terminal 1, and 3 denotes an internal cell requiring a clock. This integrated circuit is provided by the input clock buffer cell 2
This is to drive all the internal cells 3 that require a clock.

【0004】しかしながら、近年、集積回路は、大規模
化、高速化の要求に伴い、クロックを必要とする内部セ
ル3を多数搭載するようになってきている。このため、
図5に示すように、入力クロックバッファセル2のみで
クロックを必要とする内部セル3の全てを駆動する場合
には、クロックスキューが大きくなってしまうという問
題が発生した。
In recent years, however, integrated circuits have been equipped with a large number of internal cells 3 requiring clocks in response to demands for larger scale and higher speed. For this reason,
As shown in FIG. 5, when all of the internal cells 3 requiring a clock are driven only by the input clock buffer cell 2, a problem occurs in that the clock skew increases.

【0005】そこで、また、従来、図6にそのクロック
論理図を示すようなものが提案されている。この集積回
路は、入力クロックバッファセル2と、クロックを必要
とする内部セル3との間に、複数の内部クロックバッフ
ァセル4を配置することにより、クロックスキューを低
減するというものである。
In view of the above, a clock logic diagram shown in FIG. 6 has been proposed. In this integrated circuit, clock skew is reduced by arranging a plurality of internal clock buffer cells 4 between an input clock buffer cell 2 and an internal cell 3 requiring a clock.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、この集積回路
では、どの内部セル3をどの内部クロックバッファセル
4に割り当てるか(アサインするか)という問題は、ユ
ーザ自身が行わなければならず、内部セル3が多数だ
と、ユーザの負担が余りに重くなってしまうという問題
点があった。
However, in this integrated circuit, the problem of assigning (assigning) which internal cell 3 to which internal clock buffer cell 4 must be dealt with by the user himself. There is a problem in that if the number is large, the burden on the user becomes too heavy.

【0007】また、論理設計の段階では、内部セル3が
チップ上のどの位置に配置されるか分からないため、例
えば、図7に示すように、内部クロックバッファセル4
中、例えば、内部クロックバッファセル4Aと、この内
部クロックバッファセル4Aに割り当てた内部セル3
中、例えば、内部セル3Aとが離れて配置され、これら
内部クロックバッファセル4Aと内部セル3Aとを接続
するクロック配線5の配線長が長くなってしまい、ユー
ザの要求したクロックスキューを満足できず、レイアウ
ト後に、内部セル3の割り当てを変更しなければならな
い場合が多く発生し、これがユーザに多大の負担を掛け
ていた。なお、図7において、6はチップ面中、内部セ
ル3が配置される領域を示している。
At the stage of logic design, since it is not known where the internal cell 3 is located on the chip, for example, as shown in FIG.
Medium, for example, the internal clock buffer cell 4A and the internal cell 3 assigned to the internal clock buffer cell 4A
In the middle, for example, the internal cell 3A is disposed apart from the internal clock buffer cell 4A, and the wiring length of the clock wiring 5 that connects the internal clock buffer cell 4A and the internal cell 3A becomes long, and the clock skew requested by the user cannot be satisfied. In many cases, it is necessary to change the assignment of the internal cells 3 after the layout, and this places a great burden on the user. In FIG. 7, reference numeral 6 denotes a region on the chip surface where the internal cells 3 are arranged.

【0008】本発明は、かかる点に鑑み、レイアウト後
のクロックスキューを保証でき、しかも、内部セルの内
部クロックバッファセルに対する割り当ての負担をなく
すことができるようにした設計方法を含む集積回路の製
造方法を提供することを目的とする。
In view of the above, the present invention provides a method of manufacturing an integrated circuit including a design method capable of guaranteeing clock skew after layout and eliminating the burden of allocating internal cells to internal clock buffer cells. The aim is to provide a method.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明による集積回路の
製造方法は、外部から供給されるクロックを取り込むた
めの入力クロックバッファセルと前記クロックを必要と
する内部セルとの間に介在させるべき内部クロックバッ
ファセルとして前記内部セルの全てを駆動するのに必要
な数のクロックバッファを格納してなる内部クロックバ
ッファセルを用いて論理設計を行い、集積回路を製造す
るというものである。
According to the present invention, there is provided a method of manufacturing an integrated circuit, comprising: an internal clock to be interposed between an input clock buffer cell for receiving a clock supplied from the outside and an internal cell requiring the clock; The logic design is performed using the internal clock buffer cells each storing the clock buffers required to drive all of the internal cells as the clock buffer cells, and an integrated circuit is manufactured.

【0010】[0010]

【作用】本発明においては、入力クロックバッファセル
のほか、内部クロックバッファセルを搭載するとしてい
るので、これによって、クロック配線をレイアウトした
後のクロックスキューを保証することができる。
According to the present invention, since the internal clock buffer cell is mounted in addition to the input clock buffer cell, the clock skew after laying out the clock wiring can be guaranteed.

【0011】また、本発明においては、内部クロックバ
ッファセルとして、クロックを必要とする内部セルの全
てを駆動するのに必要な数のクロックバッファを格納し
てなる内部クロックバッファセルを使用するとしている
ので、全ての内部セルは、必然的に、この内部クロック
バッファセルに割り当てられる。したがって、内部セル
の内部クロックバッファセルに対する割り当ての負担を
なくすことができる。
Further, in the present invention, an internal clock buffer cell which stores a required number of clock buffers for driving all of the internal cells requiring a clock is used as the internal clock buffer cell. Therefore, all internal cells are necessarily assigned to this internal clock buffer cell. Therefore, the burden of allocating the internal cells to the internal clock buffer cells can be eliminated.

【0012】[0012]

【実施例】以下、図1〜図4を参照して、本発明の一実
施例について、クロックを必要とする内部セルとして1
5個の内部セルを搭載してなる集積回路を例にして説明
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIGS. 1 to 4, one embodiment of the present invention will be described.
An example of an integrated circuit including five internal cells will be described.

【0013】図1は、クロック論理図の一例であり、ユ
ーザにおいては、例えば、このようなクロック論理図が
作成される。図中、7はクロック入力端子、8は入力ク
ロックバッファセル、9は内部クロックバッファセル、
101、102・・・1015はクロックを必要とする内部
セルであり、内部クロックバッファセル9において、
「×5」は5個のクロックバッファが必要であることを
示している。
FIG. 1 is an example of a clock logic diagram. For a user, such a clock logic diagram is created, for example. In the figure, 7 is a clock input terminal, 8 is an input clock buffer cell, 9 is an internal clock buffer cell,
10 1 , 10 2 ... 10 15 are internal cells that require a clock.
“× 5” indicates that five clock buffers are required.

【0014】また、図2は、本発明を適用して作成した
図1のクロック論理図に対応するクロック配線の結線
図、即ち、クロック結線図を示している。ここに、内部
クロックバッファセル9には、5個のクロックバッファ
111、112・・・115を格納している。
FIG. 2 is a connection diagram of clock wiring corresponding to the clock logic diagram of FIG. 1 created by applying the present invention, that is, a clock connection diagram. Here, the internal clock buffer cell 9 stores five clock buffers 11 1 , 11 2 ... 115.

【0015】また、クロックバッファ111、112・・
・115の出力側を短絡し、内部クロックバッファセル
9の出力端子121、122・・・125の電位が等しく
なるようにしている。
The clock buffers 11 1 , 11 2 ...
· 11 5 to connect output side, the potential of the output terminal 12 1, 12 2 ... 12 5 of the internal clock buffer cell 9 is set to be equal.

【0016】また、図3にレイアウト図を示すように、
内部クロックバッファセル9を、チップ面上、内部セル
101、102・・・1015が配置される領域13の略中
央部に配置すると共に、内部セル101、102・・・1
15を所定の位置に配置した後、内部セル101、102
・・・1015の距離的に近いもの同士を1グループ3個
づつの5個のグループ141、142・・・145にグル
ープ化している。
Also, as shown in the layout diagram of FIG.
The internal clock buffer cell 9 is arranged on the chip surface at substantially the center of the area 13 where the internal cells 10 1 , 10 2 ... 10 15 are arranged, and the internal cells 10 1 , 10 2.
After placing 0 15 in a predetermined position, the internal cells 10 1 , 10 2
... it is grouped 10 15 distantly to each other close five group 14 1 of 1 Group 3 at a time, 14 to 2 ... 14 5.

【0017】そして、図2に示すように、グループ14
1、145、142、144、143をそれぞれ内部クロッ
クバッファセル9の出力端子121、122、123、1
4、125に割り当てている。
Then, as shown in FIG.
1 , 14 5 , 14 2 , 14 4 , and 14 3 are connected to the output terminals 12 1 , 12 2 , 12 3 , 1 of the internal clock buffer cell 9 respectively.
It is assigned to 2 4, 12 5.

【0018】なお、図2において、15は入力クロック
バッファセル8と内部クロックバッファセル9とを結ぶ
クロック配線、161、162、163、164、16
5は、それぞれ、内部クロックバッファセル9の出力端
子121、122、123、124、125と、グループ1
1、145、142、144、143とを結ぶクロック配
線である。
In FIG. 2, reference numeral 15 denotes a clock line connecting the input clock buffer cell 8 and the internal clock buffer cell 9, 16 1 , 16 2 , 16 3 , 16 4 , 16
5 are output terminals 12 1 , 12 2 , 12 3 , 12 4 , 12 5 of the internal clock buffer cell 9 and a group 1
4 1, 14 5, 14 2, 14 4, 14 3 and a clock line connecting.

【0019】ここに、図4は、図2に示すクロック結線
図に基づいて、クロック配線15、161、162・・・
165をレイアウトした結果を示しており、本実施例
は、内部クロックバッファセル及びクロック配線につい
て、以上のような論理設計を行い、集積回路を製造する
というものである。
4 is based on the clock connection diagram shown in FIG. 2 and shows clock wirings 15, 16 1 , 16 2.
16 5 shows the result of layout, the present embodiment, the internal clock buffer cells and the clock lines, performs logical design as described above, is that the production of integrated circuits.

【0020】かかる本実施例においては、入力クロック
バッファセル8のほか、内部クロックバッファセル9を
搭載するとしているので、これによって、クロック配線
15、161、162・・・165をレイアウトした後の
クロックスキューを保証することができる。
[0020] In accordance this embodiment, in addition to the input clock buffer cell 8, since the mounting the internal clock buffer cell 9, thereby laying out the clock wiring 15 1, 16 2 ... 16 5 Later clock skew can be guaranteed.

【0021】また、内部クロックバッファセルとして内
部セル101、102・・・1015の全てを駆動するのに
必要な数のクロックバッファ111、112・・・115
を格納してなる内部クロックバッファセル9を使用する
としているので、全ての内部セル101、102・・・1
15は、必然的に、この内部クロックバッファセル9に
割り当てられる。
Further, the number of clock buffer 11 1 needed to drive all internal cells 10 1, 10 2 ... 10 15 as an internal clock buffer cell, 11 2 ... 11 5
Is used, all the internal cells 10 1 , 10 2 ... 1
0 15 is necessarily assigned to this internal clock buffer cell 9.

【0022】したがって、どの内部セルをどの内部クロ
ックバッファセルに割り当てるかという判断を行う必要
がなく、従来のような内部セルの内部クロックバッファ
セルに対する割り当ての負担をなくすことができる。
Therefore, it is not necessary to determine which internal cell is to be allocated to which internal clock buffer cell, and the burden of allocating the internal cell to the internal clock buffer cell as in the related art can be eliminated.

【0023】また、内部クロックバッファセル9を内部
セル101、102・・・1015が配置される領域13の
略中央部に配置させているので、クロック配線161
162・・・165の配線長を平均化し、クロックスキュ
ーの平均化を図ることができる。
Since the internal clock buffer cell 9 is arranged substantially at the center of the region 13 where the internal cells 10 1 , 10 2 ... 10 15 are arranged, the clock wiring 16 1 ,
The wiring lengths of 16 2 ... 16 5 can be averaged, and clock skew can be averaged.

【0024】また、内部セル101、102・・・1015
の距離的に近いもの同士を同数となるように内部クロッ
クバッファセル9が内蔵するクロックバッファ111
112・・・115の数のグループ141、142・・・1
5にグループ化し、これらグループ141、142・・
・145を1個づつ、内部クロックバッファセル9の出
力端子121、122・・・125に割り当てているの
で、クロックバッファ111、112・・・115の負荷
を平均化し、クロックスキューの平均化を図ることがで
きる。
The internal cells 10 1 , 10 2 ... 10 15
The internal clock buffer cell 9 has a built-in clock buffer 11 1 ,
11 2 … 11 5 groups 14 1 , 14 2 … 1
4 5 , and these groups 14 1 , 14 2.
· 14 5 one by one, since the allocation to the output terminal 12 1, 12 2 ... 12 5 of the internal clock buffer cell 9, and averaging the load of the clock buffer 11 1, 11 2 ... 11 5, Clock skew can be averaged.

【0025】また、クロックバッファ111、112・・
・115の出力側を短絡させているので、内部クロック
バッファセル9の出力端子121、122・・・125
電位を同一にし、内部セル101、102・・・1015
同一レベルのクロックを供給し、動作の安定性を図るこ
とができる。
The clock buffers 11 1 , 11 2 ,.
Because, 11 5 and short-circuit the output side of, and the potential of the output terminal 12 1, 12 2 ... 12 5 of the internal clock buffer cells 9 in the same, the internal cell 10 1, 10 2 ... 10 15 Clocks of the same level can be supplied to achieve stable operation.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、入力ク
ロックバッファセルのほか、内部クロックバッファセル
を搭載するとしているので、これによって、クロック配
線をレイアウトした後のクロックスキューを保証するこ
とができる。
As described above, according to the present invention, in addition to the input clock buffer cells, the internal clock buffer cells are mounted, thereby guaranteeing the clock skew after laying out the clock wiring. Can be.

【0027】また、本発明においては、内部クロックバ
ッファセルとして、クロックを必要とする内部セルの全
てを駆動するのに必要な数のクロックバッファを格納し
てなる内部クロックバッファセルを使用するとしている
ので、全ての内部セルは、必然的に、この内部セルに割
り当てられる。したがって、内部セルの内部クロックバ
ッファセルに対する割り当ての負担をなくすことができ
る。
Further, in the present invention, an internal clock buffer cell which stores a required number of clock buffers to drive all of the internal cells requiring a clock is used as the internal clock buffer cell. Therefore, all internal cells are necessarily assigned to this internal cell. Therefore, the burden of allocating the internal cells to the internal clock buffer cells can be eliminated.

【0028】なお、この場合、内部クロックバッファセ
ルをクロックを必要とする内部セルが配置される領域の
略中央部に配置する場合には、クロック配線の配線長を
平均化し、クロックスキューの平均化を図ることができ
る。
In this case, when the internal clock buffer cells are arranged at substantially the center of the area where the internal cells requiring the clock are arranged, the wiring length of the clock wiring is averaged, and the clock skew is averaged. Can be achieved.

【0029】また、クロックを必要とする内部セルの距
離的に近いもの同士を同数又は略同数となるように内部
クロックバッファセルが格納するクロックバッファの数
のグループにグループ化し、このグループ化したグルー
プを1個づつ、内部クロックバッファセルがクロックバ
ッファに対応させて設けている出力端子に割り当ててク
ロック配線の結線を行う場合には、クロックバッファの
負荷を平均化し、クロックスキューの平均化を図ること
ができる。
Also, the internal cells that require a clock are grouped into groups of the number of clock buffers stored in the internal clock buffer cells so that the internal cells that require a clock are close to each other in the same number or substantially the same number. , One by one, the internal clock buffer cells are allocated to the output terminals provided corresponding to the clock buffer, and the clock wiring is connected, the load on the clock buffer is averaged, and the clock skew is averaged. Can be.

【0030】また、内部クロックバッファセルが格納す
るクロックバッファの出力側を短絡する場合には、内部
クロックバッファセルの出力端子の電位を同一にし、ク
ロックを必要とする内部セルに同一レベルのクロックを
供給し、動作の安定性を図ることができる。
When the output side of the clock buffer stored in the internal clock buffer cell is short-circuited, the potential of the output terminal of the internal clock buffer cell is made the same, and a clock of the same level is supplied to the internal cell requiring the clock. Supply and operation stability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を説明するための図であり、
ユーザが作成したクロック論理図である。
FIG. 1 is a diagram for explaining one embodiment of the present invention;
FIG. 4 is a clock logic diagram created by a user.

【図2】本発明の一実施例を説明するための図であり、
本発明を適用して作成した図1のクロック論理図に対応
するクロック結線図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining one embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a clock connection diagram corresponding to the clock logic diagram of FIG. 1 created by applying the present invention.

【図3】本発明の一実施例を説明するための図であり、
内部クロックバッファセルの配置位置及び内部セルのグ
ループ化を示す図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining one embodiment of the present invention;
FIG. 3 is a diagram illustrating an arrangement position of internal clock buffer cells and grouping of internal cells.

【図4】本発明の一実施例を説明するための図であり、
図2のクロック結線図に基づいて作成したレイアウト図
である。
FIG. 4 is a diagram for explaining one embodiment of the present invention;
FIG. 3 is a layout diagram created based on the clock connection diagram of FIG. 2.

【図5】従来の集積回路の一例を示すクロック論理図で
ある。
FIG. 5 is a clock logic diagram showing an example of a conventional integrated circuit.

【図6】従来の集積回路の他の例を示すクロック論理図
である。
FIG. 6 is a clock logic diagram showing another example of a conventional integrated circuit.

【図7】図6に示す従来の集積回路が有する問題点を説
明するためのレイアウト図である。
FIG. 7 is a layout diagram for explaining a problem of the conventional integrated circuit shown in FIG. 6;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

7 クロック入力端子 8 入力クロックバッファセル 9 内部クロックバッファセル 101、102、1015 クロックを必要とする内部セル7 clock input terminal 8 input clock buffer cell 9 internal clock buffer cell 10 1 , 10 2 , internal cell requiring 10 15 clocks

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 27/04 H01L 21/82 H01L 21/822 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 27/04 H01L 21/82 H01L 21/822

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】外部から供給されるクロックを取り込むた
めの入力クロックバッファセルと前記クロックを必要と
する複数の内部セルとの間に介在させるべき内部クロッ
クバッファセルとして前記複数の内部セルの全てを駆動
するのに必要な数の複数のクロックバッファを格納し、
かつ、前記複数のクロックバッファの出力側が全て短絡
されている内部クロックバッファセルを用いて論理設計
を行い、集積回路を製造することを特徴とする集積回路
の製造方法。
An internal clock buffer cell to be interposed between an input clock buffer cell for taking in a clock supplied from the outside and a plurality of internal cells requiring the clock, all of the plurality of internal cells are used as internal clock buffer cells. storing a plurality of clock buffers number of required to drive,
In addition, the output sides of the plurality of clock buffers are all short-circuited.
A logic design using the internal clock buffer cell described above to manufacture an integrated circuit.
【請求項2】前記内部クロックバッファセルを前記複数
内部セルが形成される領域の略中央部に配置すること
を特徴とする請求項1記載の集積回路の製造方法。
2. The method according to claim 2, wherein the plurality of internal clock buffer cells are
2. The method of manufacturing an integrated circuit according to claim 1, wherein the semiconductor device is arranged at a substantially central portion of a region where the internal cell is formed.
【請求項3】前記論理設計には、距離的に近い内部セル
同士がグループ化され、かつ、各グループの内部セルが
同数又は略同数となるように、前記複数の内部セルを
記内部クロックバッファセルが格納するクロックバッフ
ァの数のグループにグループ化し、このグループ化した
グループを1個づつ、前記内部クロックバッファセルが
クロックバッファに対応させて設けている出力端子に割
り当てて、クロック配線の結線を行う工程を含んでいる
ことを特徴とする請求項1又は2記載の集積回路の製造
方法。
3. The logic design includes internal cells that are close in distance.
Are grouped together, and the internal cells of each group
The plurality of internal cells are grouped into groups of the number of clock buffers stored in the internal clock buffer cells so that the number of the internal cells is equal to or substantially equal to each other. 3. The integrated circuit according to claim 1 , further comprising a step of connecting a clock wiring by assigning the clock buffer cell to an output terminal provided corresponding to the clock buffer. Method.
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