JP3030018B2 - ブレース付き横流ブロワー - Google Patents

ブレース付き横流ブロワー

Info

Publication number
JP3030018B2
JP3030018B2 JP10228991A JP22899198A JP3030018B2 JP 3030018 B2 JP3030018 B2 JP 3030018B2 JP 10228991 A JP10228991 A JP 10228991A JP 22899198 A JP22899198 A JP 22899198A JP 3030018 B2 JP3030018 B2 JP 3030018B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
blower
frame members
blowers
outer circumference
art
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP10228991A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH11117891A (ja
Inventor
カイル ウェッブ アール
Original Assignee
サイマー インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by サイマー インコーポレイテッド filed Critical サイマー インコーポレイテッド
Publication of JPH11117891A publication Critical patent/JPH11117891A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3030018B2 publication Critical patent/JP3030018B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/02Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps having non-centrifugal stages, e.g. centripetal
    • F04D17/04Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps having non-centrifugal stages, e.g. centripetal of transverse-flow type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する分野】本発明はブロワーに関し、特に、
横流ブロワーに関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】時々、
接線流ブロワー又はかご形ブロワーと呼ばれる横流ブロ
ワーが100年以上もの間知られてきた。図2はモルタ
ーによるかかるブロワーの1892年のスケッチであ
る。これらのブロワーは、多数のブレードを円周に配し
たほぼ中空の円筒形状を有する。これらのブロワーは1
900年代初期には鉱山の換気ように広く使用された
が、鉱山ではすぐに他の設計のブロワーで置き替えられ
た。横流ブロワーの関心は1900年代中期に増大し、
ブロワーは近年では多くの適応に使用されてきた。横流
ブロワーは、高流量、低ヘッド循環を必要とするときに
ほとんどしばしば選択される。横流ブロワーの先行技術
の適用はエキシマレーザーの2つの細長い電極間に気体
利得媒体を循環させることにある。この使用例は出願人
の雇用者に譲渡された米国特許第5,023,884号
に記載されている。このレーザーは集積回路の製造に使
用されるレーザー平版印刷装置における光源として有用
である。図1(又、米国特許第5,023,884号の
図1)に指示これているように、レーザー気体は間隔の
隔たった2本の細長い電極18と20との間の放電領域
22の中を循環される。放電領域は約5/8インチと長
さ28インチである。気体の循環は直径が約4インチ、
長さ約28インチである横流ブロワー46によってなさ
れる。
【0003】これらのエキシマレーザーは過去には、パ
ルスモードで1,000Hzまでのパルス数で作動し
た。1,000Hzのパルス数は、1つのパルスからの
「古い気体」が次のパルスの始まり前に放電領域から離
れるようにするために電極間に少なくとも約2,000
cm/秒の気体流速を必要とする。約2,000cm/
秒の気体速度は約3,300rpmのファン速度を必要
とする。3,300rpmより大きい速度では、長くて
やせたファンは振動モードを発生させ、この振動モード
のため急速な軸受け破損が起こり、時々ファン自体の構
造要素を損傷させる程のゆがみが起こる。ファンをもっ
と剛直にする努力がなされてきた。これらの努力は製造
工程の改善及び強度の大きい材料の使用を含む。出願人
の知っている限りでは、これらのブロワーを強くするあ
らゆる先行技術の努力はブロワーの内部を中空のままに
していた。これは、中空内部が横流ブロワーの適切な機
能にとって必要とされると言う先行技術の仮定の結果で
あったかも知れない。
【0004】
【問題を解決するための手段】本発明はトラス横流ブロ
ワーを提供する。円筒形横流ブロワー要素の内側のトラ
ス要素は、ブロワー要素に剛性を与える少なくとも3つ
のトラスを形成する。好ましくは、3つのトラスが設け
られ、これらのトラスは120°の半径方向間隔に位置
決めされる。
【0005】
【発明の実施形態】図3A、3B、及び3Cは本発明の
好ましい実施形態のブロワー要素1を示す。この特定な
ブロワー要素は、エキシマレーザーの中で気体を循環さ
せるのに使用される先行技術の修正ブロワー要素であ
る。この修正はブロワー要素の内側に取り付けられた3
組のトラス部材の追加からなる。先行技術のブロワー要
素の主要な構成部品は、ブロワー要素の円周に等間隔を
なした23個の長さ26インチのブレード2である。ブ
レードは約0.35インチの曲率半径を有し、ブレード
の湾曲状態で、幅約0.45インチである。これらのブ
レードは等間隔をなした10個のフレーム部材4で適所
に保持される。2つの端フレーム部材6は厚さ1/8イ
ンチであり、8つの内部フレーム部材は厚さ1/16イ
ンチである。端フレーム部材のうちの少なくとも1つは
モータ駆動ユニットを取り付けるための取付孔を有す
る。
【0006】ブレート及びフレーム部材はT6テンパー
のニッケルメッキ6061アルミニウムで構成される。
全ての接合は溶接接合である。この好ましい実施形態を
先行技術と区別する改良は、ブロワー要素内に120°
の間隔で半径方向に間隔を隔てた3つのトラスを形成す
るように、図3A、3B、及び3Cに示す如く適所に溶
接された直径1/10インチのニッケル被覆アルミニウ
ム棒からなる27本のトラス要素6である。トラス要素
6の各々は1つのフレーム部材き外側円周から約1/4
インチの1つの箇所からブロワー要素の中心軸線を通っ
て隣接したフレーム部材の反対側の同様な箇所まで延び
る。 試験結果 試作のブロワー要素を上記の説明に従って作り、トラス
要素を有していない10個の先行技術のブロワー要素と
比較して試験した。出願人の予想(先行技術の横流ブロ
ワー技術の出願人の検討及び理解に基づく)は、ブレー
スの結果等しいファン速度rpmで流れがかなり減少
し、又ブロワーの効率が著しく減少することであった。
出願人のテストは効率の僅かな減少(即ち、気体流速/
モータ電流)を示したが、驚くべきことに、トラスブロ
ワー要素は、実際には、等しいブロワー速度で先行技術
のブロワー要素と比較して気体流速の数%の増加を生じ
させた。
【0007】出願人のテストの結果を表1に示す。
【0008】
【表1】
【0009】
【表2】
【0010】先行技術のブロワー要素のうちの5つは出
願人の労働者によって「ソフトファン」(表1に「s1
乃至s5」と指定される)と称される古い方のモデルの
ものであり、フロワーのうちの5つは「ハードファン」
(表1に「h1乃至h5」と指定されている)と称され
る新しい方の設計モデルのものであった。これらの先行
技術のファンな主な差異は、「ハード」ファンが高強度
アルミニウムで作られていたことである。トラスブロワ
ー要素は修正された「ハードファン」であった。表1の
テストデータは、本発明が同じファン速度について、し
かし電流のいくらかの増加で流速増加をもたらすことを
示唆する。例えば、「ハード」ファンの平均と比較し
て、3300rpmで、約28%の電流増加を伴って空
気速度が約6%増加し、3800rpmで、電流の27
%の増加を伴って流速が約9%増加した。
【0011】適用 本発明はエキシマレーザーのような高パルス数気体レー
ザーの中に気体流を生じさせるのに特に有用である。本
発明は、特にブロワー要素の軸線方向の寸法が5のファ
クターよりも大きいだけ直径よりも長いときに、横流ブ
ロワーの高速度回転を必要とする多くの他の状況にも適
用できる。本発明を現在好ましい実施形態であると考え
られているものについて説明したけれども、本発明は開
示した実施形態に限定されないこと、反対に、請求項の
精神及び範囲内に含まれる種々の修正及び均等物を含む
ことを理解すべきである。従って、当業者は、このよう
なあらゆる均等物が請求項に含まれることを理解すべき
である。
【図面の簡単な説明】
【図1】先行技術の横流ブロワーを示すエキシマレーザ
ーの先行技術の図である。
【図2】横流ブロワーの1892年のスケッチである。
【図3A】本発明の好ましい実施形態の正面図である。
【図3B】本発明の好ましい実施形態の3Bー3B線に
おける端面図である。
【図3C】本発明の好ましい実施形態の斜視図である。
【符号の説明】
1 ブロワー要素 2 ブレード 4 フレーム部材 6 トラス要素 18 電極 20 電極 22 放電領域 46 横流ブロワー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F04D 17/04 F04D 29/28

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 A. 間隔を隔てた2本の細長い電極と、 B. 前記電極間に気体を循環させるための横流ブロワー
    と、を有し、該ブロワーは、 a. 各々長い寸法及び短い寸法を定め、前記短い寸法に
    湾曲を有する複数の細長いブレードと、 b. 各々外側円周及び直径を定める少なくとも2つのほぼ
    円形のフレーム部材と、を有し、 前記複数の細長いブレードは前記外側円周で又はその近
    くで前記少なくとも2つのフレーム部材に取り付けられ
    て、軸線、2つの端及び 軸線方向を定めるほぼ円筒係
    合のブロワー要素を形成し、 c. 複数の棒形トラス要素を更に有し、各トラス要素は
    2つのフレーム部材の外側円周近くに堅く取り付けら
    れ、且つ前記軸線を通って前記ブロワー要素の一方の端
    から他方の端まで延びる少なくとも3つのトラスを形成
    する、電気放電気体レーザー。
JP10228991A 1997-08-18 1998-08-13 ブレース付き横流ブロワー Expired - Fee Related JP3030018B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/912737 1997-08-18
US08/912,737 US5870420A (en) 1997-08-18 1997-08-18 Cross-flow blower with braces

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11117891A JPH11117891A (ja) 1999-04-27
JP3030018B2 true JP3030018B2 (ja) 2000-04-10

Family

ID=25432362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10228991A Expired - Fee Related JP3030018B2 (ja) 1997-08-18 1998-08-13 ブレース付き横流ブロワー

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5870420A (ja)
JP (1) JP3030018B2 (ja)
AU (1) AU8397098A (ja)
TW (1) TW392042B (ja)
WO (1) WO1999009624A1 (ja)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6621846B1 (en) * 1997-07-22 2003-09-16 Cymer, Inc. Electric discharge laser with active wavelength chirp correction
US6853653B2 (en) 1997-07-22 2005-02-08 Cymer, Inc. Laser spectral engineering for lithographic process
US6721340B1 (en) 1997-07-22 2004-04-13 Cymer, Inc. Bandwidth control technique for a laser
US6757316B2 (en) 1999-12-27 2004-06-29 Cymer, Inc. Four KHz gas discharge laser
US6529531B1 (en) 1997-07-22 2003-03-04 Cymer, Inc. Fast wavelength correction technique for a laser
US6671294B2 (en) * 1997-07-22 2003-12-30 Cymer, Inc. Laser spectral engineering for lithographic process
US6442181B1 (en) 1998-07-18 2002-08-27 Cymer, Inc. Extreme repetition rate gas discharge laser
US6477193B2 (en) 1998-07-18 2002-11-05 Cymer, Inc. Extreme repetition rate gas discharge laser with improved blower motor
US6618421B2 (en) * 1998-07-18 2003-09-09 Cymer, Inc. High repetition rate gas discharge laser with precise pulse timing control
US6061376A (en) * 1998-08-28 2000-05-09 Cymer, Inc. Tangential fan for excimer laser
US6023486A (en) * 1998-08-28 2000-02-08 Cymer, Inc. Soldered fan assembly for electric discharge laser
US6144686A (en) * 1998-08-28 2000-11-07 Cymer, Inc. Tangential fan with cutoff assembly and vibration control for electric discharge laser
US6795474B2 (en) * 2000-11-17 2004-09-21 Cymer, Inc. Gas discharge laser with improved beam path
US6556600B2 (en) 1999-09-27 2003-04-29 Cymer, Inc. Injection seeded F2 laser with centerline wavelength control
US6590922B2 (en) 1999-09-27 2003-07-08 Cymer, Inc. Injection seeded F2 laser with line selection and discrimination
JP3877912B2 (ja) 1999-05-25 2007-02-07 株式会社荏原製作所 放電励起エキシマレーザ装置
US6765946B2 (en) * 2000-01-25 2004-07-20 Cymer, Inc. Fan for gas discharge laser
JP2001210896A (ja) * 2000-01-28 2001-08-03 Ebara Corp エキシマレーザ装置
JP3389912B2 (ja) * 2000-02-08 2003-03-24 ウシオ電機株式会社 ガスレーザ装置
US6847671B1 (en) 2000-03-29 2005-01-25 Lambda Physik Ag Blower for gas laser
EP1301748A2 (en) * 2000-07-07 2003-04-16 Convec Aps A ventilating device
US6839372B2 (en) * 2000-11-17 2005-01-04 Cymer, Inc. Gas discharge ultraviolet laser with enclosed beam path with added oxidizer
US7088758B2 (en) 2001-07-27 2006-08-08 Cymer, Inc. Relax gas discharge laser lithography light source
US7154928B2 (en) * 2004-06-23 2006-12-26 Cymer Inc. Laser output beam wavefront splitter for bandwidth spectrum control
US20050013685A1 (en) * 2003-07-18 2005-01-20 Ricketts Jonathan E. Cross flow fan
US20050286599A1 (en) * 2004-06-29 2005-12-29 Rafac Robert J Method and apparatus for gas discharge laser output light coherency reduction
US8379687B2 (en) 2005-06-30 2013-02-19 Cymer, Inc. Gas discharge laser line narrowing module
US7321607B2 (en) * 2005-11-01 2008-01-22 Cymer, Inc. External optics and chamber support system
US8814522B2 (en) * 2007-06-15 2014-08-26 Cymer, Llc Cross-flow fan impeller for a transversley excited, pulsed, gas discharge laser
DE102007047412B4 (de) * 2007-10-04 2010-04-15 Ltg Aktiengesellschaft Querstromventilator mit einem Laufrad sowie Verfahren zum Betreiben eines Querstromventilators
IT1397705B1 (it) * 2009-07-15 2013-01-24 Nuovo Pignone Spa Metodo di produzione di uno strato di rivestimento per un componente di una turbomacchina, il componente stesso e la relativa macchina
CN101922457A (zh) * 2010-09-10 2010-12-22 朱崇央 涡流增压风机

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US691609A (en) * 1899-03-21 1902-01-21 Samuel Cleland Davidson Rotary fan or pump.
US1378008A (en) * 1916-10-21 1921-05-17 Westinghouse Electric & Mfg Co Centrifugal fan
US1378003A (en) * 1920-03-20 1921-05-17 Boehm Edward Refrigerator and method of manufacturing the same
US1652285A (en) * 1926-01-07 1927-12-13 Francis J Mcmurdie Fan
US3130899A (en) * 1963-07-24 1964-04-28 Lau Blower Co Blower
US5023884A (en) * 1988-01-15 1991-06-11 Cymer Laser Technologies Compact excimer laser
JP3107711B2 (ja) * 1994-08-09 2000-11-13 株式会社東芝 横流ファン

Also Published As

Publication number Publication date
TW392042B (en) 2000-06-01
US5870420A (en) 1999-02-09
JPH11117891A (ja) 1999-04-27
WO1999009624A1 (en) 1999-02-25
AU8397098A (en) 1999-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3030018B2 (ja) ブレース付き横流ブロワー
US6565334B1 (en) Axial flow fan having counter-rotating dual impeller blade arrangement
US3969805A (en) Method of constructing an axial flow fan
JP3107711B2 (ja) 横流ファン
JP2001085766A (ja) ドライブアセンブリに関する磁気ベアリング及び磁気抵抗を備えたガス放電レーザ
US4043708A (en) Resilient mounting for fan motor
US1781155A (en) Propeller fan
JPH0965627A (ja) かご型誘導電動機回転子および車両用かご型誘導電動機
US20020094005A1 (en) Fan for gas discharge laser
JPH0748576B2 (ja) 気体レ−ザ装置
JPH03210093A (ja) クロスフローファン
US20080310960A1 (en) Cross-flow fan impeller for a transversley excited, pulsed, gas discharge laser
CN102777416A (zh) 一种准分子激光器用贯流风机叶轮
JP2001082395A (ja) ファン
GB2298458A (en) Cooling electromechanical apparatus
EP0553598A1 (en) A fan with convex blades
JP4033843B2 (ja) 軸流送風機
DE1728338A1 (de) Ventilator
JP2007315176A (ja) 軸流送風機
KR100789812B1 (ko) 크로스플로우 팬
WO2013057828A1 (ja) 空気調和装置
TW478222B (en) Excimer laser
JP2863423B2 (ja) クロスフローファン
JPH0433999B2 (ja)
GB2280225A (en) Fan impeller

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees