JP3028413B1 - Electronic circuit device - Google Patents

Electronic circuit device

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JP3028413B1
JP3028413B1 JP10268654A JP26865498A JP3028413B1 JP 3028413 B1 JP3028413 B1 JP 3028413B1 JP 10268654 A JP10268654 A JP 10268654A JP 26865498 A JP26865498 A JP 26865498A JP 3028413 B1 JP3028413 B1 JP 3028413B1
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Abstract

【要約】 【課題】 フィルム基板のパターン剥離を防止すること
により、歩留まりを向上させ、安価な電子回路装置及び
液晶表示装置を提供する。 【解決手段】 ICを接続するパターンをICの中心方
向に延長して、剥離防止パターンを形成した。
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive electronic circuit device and a liquid crystal display device by improving the yield by preventing pattern peeling of a film substrate. SOLUTION: A pattern for connecting an IC is extended toward a center of the IC to form a peeling prevention pattern.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、携帯機器等や、電
子手帳に使用されている液晶表示装置やICをベアチッ
プ実装している電子回路装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a portable device or the like, a liquid crystal display device used for an electronic organizer, and an electronic circuit device on which an IC is mounted on a bare chip.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置はドライバIC実装とC,
R等のチップ部品やパッケージIC等の電子部品をフィ
ルム基板に混在実装したCOF(Chip On FP
C)を液晶パネルに実装した製品が量産され始めてい
る。従来、フィルム基板はポリイミドフィルムにフィル
ム状の接着剤をつけ、圧延や電界等の製法のCu箔を貼
りつけてパターニングして形成し、レジストコートや電
界メッキや無電界メッキをしていた。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display device has a driver IC package and C,
COF (Chip On FP) in which chip parts such as R and electronic parts such as package ICs are mixedly mounted on a film substrate.
A product in which C) is mounted on a liquid crystal panel has begun to be mass-produced. Conventionally, a film substrate has been formed by applying a film-like adhesive to a polyimide film, pasting a Cu foil of a manufacturing method such as rolling or electric field and patterning it, and performing resist coating, electric field plating, or electroless plating.

【0003】この3層の構成のフィルム基板は、接着剤
が熱や湿度によって変形するため、100ミクロン以下
のファインパターンには寸法安定性の面で不向きであっ
た。そのため、この接着剤を取り除いたフィルム基板が
開発されるようになつた。接着剤層のない2層フィルム
基板には、2つの製法がある。一つはCuフィルムにポ
リアミック酸ワニスを塗り溶媒を除去した後硬化するキ
ャスティング法とポリイミドフィルムにCuをスパッタ
リングもしくは蒸着よりCuの薄膜を形成した後、電界
メッキでCuを積層する蒸着法である。
[0003] The film substrate having the three-layer structure is not suitable for fine patterns of 100 microns or less in terms of dimensional stability because the adhesive is deformed by heat and humidity. Therefore, a film substrate from which the adhesive has been removed has been developed. There are two manufacturing methods for a two-layer film substrate without an adhesive layer. One is a casting method in which a polyamic acid varnish is applied to a Cu film and the solvent is removed and then cured, and a vapor deposition method in which a Cu thin film is formed on a polyimide film by sputtering or vapor deposition and then Cu is laminated by electrolytic plating.

【0004】この2つの製法のフィルム基板の違いは、
Cuの厚みである。キャスティング法に使われるCuの
厚みは、一般的には18ミクロンであり、最近では12
ミクロンが量産化されている。また、9ミクロンが開発
中である。蒸着法ではCuの厚みは、2から18ミクロ
ンまで可能である。ファインパターンを形成するには、
Cuの厚みは薄い方が製法上容易であり、100ミクロ
ン以下のパターンピッチでは、蒸着法のフィルム基板が
適していた。
[0004] The difference between the film substrates of the two manufacturing methods is that
This is the thickness of Cu. The thickness of Cu used in the casting method is typically 18 microns, and recently 12
Microns are being mass-produced. Also, 9 microns is under development. In the vapor deposition method, the thickness of Cu can be from 2 to 18 microns. To form a fine pattern,
The thinner the thickness of Cu, the easier the manufacturing method. For a pattern pitch of 100 microns or less, a film substrate formed by a vapor deposition method was suitable.

【0005】また、ICのベアチップ実装は、接着を用
いて接続する場合、 ICのパットにAuからなるバン
プをメッキで形成したメッキバンプやワイヤーボンディ
ングを応用したスタッドバンプを用いて、回路基板に異
方性導電膜で圧着するか、または銀ペーストをバンプに
転写して基板と接続し、その間にアンダーフィルを充填
し接続していた。
[0005] Further, in the case of bare chip mounting of an IC, when connection is performed by using an adhesive, a different bump is formed on the circuit board by using a plating bump formed by plating a bump made of Au on the IC pad or a stud bump applying wire bonding. It has been press-bonded with an isotropic conductive film or transferred to a substrate by transferring a silver paste to a bump, and an underfill has been filled and connected between them.

【0006】また、金属拡散接続を用いた場合、 IC
のバンプに半田を用い、基板の電極に半田付けしアンダ
ーフィルを充填する工法とICのバンプにAuを用い基
板側の電極にSnメッキを行ない、Au−Sn拡散接続
を行いアンダーフィルを充填していた。ICの外部接続
電極のバンプピッチは、例えば液晶駆動ICでは80ミ
クロンピッチが量産をされているが、50ミクロンピッ
チや40ミクロンピッチが開発され始めている。
[0006] When a metal diffusion connection is used, an IC
Using solder for the bumps, soldering to the electrodes of the substrate and filling the underfill, and using Au for the bumps of the IC, performing Sn plating on the electrodes on the substrate side, and performing Au-Sn diffusion connection to fill the underfill. I was As for the bump pitch of the external connection electrode of the IC, for example, a liquid crystal drive IC is mass-produced with a pitch of 80 μm, but a pitch of 50 μm or 40 μm has begun to be developed.

【0007】フィルム基板にICを接続し、更にフィル
ム基板を液晶パネルに接続して液晶表示装置を製造して
いた。
A liquid crystal display device has been manufactured by connecting an IC to a film substrate and further connecting the film substrate to a liquid crystal panel.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】40ミクロンピッチで
パターンを形成するには、パターンの幅は10から15
ミクロンとなる。そのため、蒸着法のフィルム基板を用
いるが、蒸着法はポリイミドとCuの密着性があまり良
くない。密着性の改善にはポリイミド表面に、例えばク
ロム,クロム合金,クロム系セラミック,ニッケル,コ
バルト,パラジューム,チタン,ジルコニューム,モリ
ブデン,タングステン,ニクロム合金などの薄膜を蒸着
しCuを蒸着更にCuメッキをする技術が発表されてい
る。
In order to form a pattern at a pitch of 40 microns, the width of the pattern is 10 to 15
Micron. For this reason, a film substrate formed by a vapor deposition method is used, but the vapor deposition method has poor adhesion between polyimide and Cu. In order to improve the adhesion, a thin film of, for example, chromium, chromium alloy, chromium-based ceramic, nickel, cobalt, palladium, titanium, zirconium, molybdenum, tungsten, nichrome alloy, or the like is deposited on the polyimide surface, Cu is deposited, and Cu plating is performed. Technology has been announced.

【0009】しかし、これらの技術を用いても、パター
ニング工程や表面処理工程で、パターン幅が細いほどパ
ターンがポリイミドから剥がれる不良が発生した。剥が
れはパターンの先端から、カールするように剥がれる。
この剥がれたパターンに、 ICを接続するのは容易で
ない。本発明の目的は、このパターンの剥がれを防止す
るパターン形状を得ることにある。
However, even when these techniques are used, in the patterning step and the surface treatment step, a defect that the pattern is peeled off from the polyimide occurs as the pattern width becomes smaller. Peeling is performed so as to curl from the tip of the pattern.
It is not easy to connect an IC to this stripped pattern. An object of the present invention is to obtain a pattern shape that prevents the pattern from peeling.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、少なくとも絶縁フィルムに金属のパターンを形成し
たフィルム基板にICがフェイスダウンで接続してなる
電子回路装置及びそれを液晶パネルに接続してなる液晶
表示装置において、フィルム基板にはICの複数のバン
プを接続する複数のパターンが形成してあり、そのパタ
ーンをICの中心方向に延長して、大きい剥離防止のパ
ターンが形成することで、この不良を防止した。
In order to solve the above problems, an electronic circuit device in which an IC is connected face-down to a film substrate on which a metal pattern is formed on at least an insulating film, and the electronic circuit device is connected to a liquid crystal panel. In a liquid crystal display device, a plurality of patterns for connecting a plurality of bumps of an IC are formed on a film substrate, and the pattern is extended toward the center of the IC to form a large pattern for preventing peeling. , This defect was prevented.

【0011】また、パターンのピッチが特に微細である
場合は、一つひとつのパターンに剥離防止のパターンを
形成することができない。そこで、剥離防止パターン
を、数パターンおきに形成することで、歩留まりを向上
した。上記のように構成した電子回路装置及び液晶表示
装置に使用するフィルム基板は微細パターン剥がれを防
止可能であるか、または、発生率を下げることが可能と
なる。
Further, when the pattern pitch is particularly fine, it is not possible to form a pattern for preventing peeling on each pattern. Therefore, the yield was improved by forming the peeling prevention patterns every several patterns. The film substrate used for the electronic circuit device and the liquid crystal display device configured as described above can prevent peeling of the fine pattern or reduce the incidence.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。図1は、本発明の実施例1の図であ
る。ポリイミドフィルム1にICのバンプを接続するC
uからなる厚み8ミクロンのパターン2が形成してあ
る。パターン2は30ミクロン幅である。ICのバンプ
は接続位置4にボンデイングする。バンプのピッチは1
00ミクロンピッチである。パターン2は、ICの中心
方向に延長し本発明の剥離防止パターン3が形成してあ
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram of a first embodiment of the present invention. C to connect bumps of IC to polyimide film 1
An 8 micron thick pattern 2 of u is formed. Pattern 2 is 30 microns wide. The bump of the IC is bonded to the connection position 4. The bump pitch is 1
00 micron pitch. The pattern 2 extends in the direction of the center of the IC, and has the peel prevention pattern 3 of the present invention formed thereon.

【0013】剥離防止パターン3は、幅70ミクロン幅
で長さ100ミクロンである。このように形成した剥離
防止パターン3はポリイミドと密着する面積が大きいた
め、ポリイミドとCuの間に発生する剥離の応力より、
密着する力が大きいため、パターン2の剥離を防止でき
る。フィルム基板のパターンにSnメッキをしておき、
ICを熱圧着で接続する。更にフィルム基板を液晶パ
ネルの端子に接続して液晶表示装置が完成する。
The anti-peeling pattern 3 is 70 microns wide and 100 microns long. Since the peel prevention pattern 3 thus formed has a large area in close contact with the polyimide, the peeling stress generated between the polyimide and Cu causes
Since the adhesive force is large, peeling of the pattern 2 can be prevented. Sn plating on the pattern of the film substrate,
The IC is connected by thermocompression bonding. Further, the liquid crystal display device is completed by connecting the film substrate to the terminals of the liquid crystal panel.

【0014】図2は、本発明の実施例2の図である。ポ
リイミドフィルム1にICのバンプを接続するCuから
なる厚み6ミクロンのパターン2が形成してある。パタ
ーン2は15ミクロン幅である。ICのバンプは接続位
置4にボンデイングする。バンプのピッチは40ミクロ
ンピッチである。パターン2は、一パターンおきにIC
の中心方向に延長し本発明の剥離防止パターン3が形成
してある。
FIG. 2 is a diagram of a second embodiment of the present invention. A pattern 2 of 6 μm thick made of Cu for connecting bumps of an IC is formed on a polyimide film 1. Pattern 2 is 15 microns wide. The bump of the IC is bonded to the connection position 4. The bump pitch is a 40 micron pitch. Pattern 2 is an IC every other pattern
Extending in the center direction, the peeling prevention pattern 3 of the present invention is formed.

【0015】剥離防止パターン3は、幅55ミクロン幅
で長さ100ミクロンである。このように形成した剥離
防止パターン3はポリイミドと密着する面積が大きいた
め、ポリイミドとCuの間に発生する剥離の応力より、
密着する力が大きいため、パターン2の剥離を防止でき
る。40ミクロンピッチでは、すべてのパターン2に剥
離防止パターン3を形成することはレイアウト上困難で
あるが剥離発生率を抑えることが出来る。
The peel prevention pattern 3 is 55 microns wide and 100 microns long. Since the peel prevention pattern 3 thus formed has a large area in close contact with the polyimide, the peeling stress generated between the polyimide and Cu causes
Since the adhesive force is large, peeling of the pattern 2 can be prevented. At a pitch of 40 microns, it is difficult to form the peeling prevention patterns 3 on all the patterns 2 in terms of layout, but the peeling occurrence rate can be suppressed.

【0016】本実施例では、ICの角の付近には剥離防
止パターン3をレイアウトできない。剥離防止パターン
3はニパターンおきでもよい。フィルム基板のパターン
にSnメッキをしておき、ICを熱圧着で接続する。更
にフィルム基板を液晶パネルの端子に接続して液晶表示
装置が完成する。
In this embodiment, the separation preventing pattern 3 cannot be laid out near the corner of the IC. The peel prevention pattern 3 may be provided every two patterns. The pattern of the film substrate is plated with Sn, and the IC is connected by thermocompression bonding. Further, the liquid crystal display device is completed by connecting the film substrate to the terminals of the liquid crystal panel.

【0017】[0017]

【発明の効果】本発明は以上説明したように、パターン
形状でパターン剥離を防止が可能となり、歩留まりが向
上した。よってフィルム基板にICを実装した電子回路
装置及び液晶表示装置を安価に提供できるようになっ
た。
As described above, according to the present invention, pattern peeling can be prevented by the pattern shape, and the yield is improved. Therefore, an electronic circuit device and a liquid crystal display device having an IC mounted on a film substrate can be provided at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のパターンの実施例1FIG. 1 shows a first embodiment of a pattern according to the present invention.

【図2】本発明のパターンの実施例2FIG. 2 shows a second embodiment of the pattern of the present invention.

【図3】従来技術の実施例FIG. 3 shows a prior art embodiment;

【図4】フィルム基板とICと液晶パネルを接続した断
面図
FIG. 4 is a sectional view in which a film substrate, an IC, and a liquid crystal panel are connected.

【図5】ICの回路面の上面図FIG. 5 is a top view of the circuit surface of the IC.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ポリイミドフィルム 2 パターン 3 剥離防止パターン 4 ICのバンプを接続する位置 5 IC 6 アンダーフィル 7 バンプ 8 液晶パネル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polyimide film 2 Pattern 3 Exfoliation prevention pattern 4 IC bump connection position 5 IC 6 Underfill 7 Bump 8 Liquid crystal panel

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−308398(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1345 H01L 23/12 H05K 1/18 H05K 3/34 (56) References JP-A-63-308398 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02F 1/1345 H01L 23/12 H05K 1/18 H05K 3 / 34

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 絶縁フィルム基板に金属よりなる複数の
パターンを形成したフレキシブル基板にICをフェイス
ダウンで実装した電子回路装置において、 前記パターンに設けられた前記ICのバンプと接続する
接続位置から前記ICの中心方向に剥離防止の為の剥離
防止パターンが延長して設けられ、前記剥離防止パター
ンの幅は、前記接続位置のパターン幅より広いことを特
徴とする電子回路装置。
1. A method of manufacturing a semiconductor device comprising the steps of:
Face IC on flexible substrate with pattern
In an electronic circuit device mounted down, it is connected to a bump of the IC provided in the pattern.
Peeling to prevent peeling from the connection position toward the center of the IC
The peel prevention pattern is provided by extending the prevention pattern.
The width of the pattern is wider than the pattern width at the connection position.
Electronic circuit device.
【請求項2】 前記剥離防止パターンは、前記複数のパ
ターンの一つ置きに設けられている請求項1記載の電子
回路装置。
2. The method according to claim 1, wherein the separation preventing pattern includes a plurality of patterns.
2. The electronic device according to claim 1, wherein the electronic device is provided at every other turn.
Circuit device.
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