JP3024651U - Fluorescent display tube - Google Patents

Fluorescent display tube

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JP3024651U
JP3024651U JP1995012021U JP1202195U JP3024651U JP 3024651 U JP3024651 U JP 3024651U JP 1995012021 U JP1995012021 U JP 1995012021U JP 1202195 U JP1202195 U JP 1202195U JP 3024651 U JP3024651 U JP 3024651U
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JP
Japan
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wiring pattern
deposited
insulating layer
anode pad
phosphor
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JP1995012021U
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Inventor
裕 三浦
光明 森川
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伊勢電子工業株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 蛍光面とその下部を通過する配線パターンと
の間におけるスルーホールによる導通による輝度斑の発
生を確実に防止し、表示品位を向上させる。 【解決手段】 ガラス基板1上に被着形成された陽極パ
ッド3を有する配線パターン2と、ガラス基板1上に被
着形成されかつ配線パターン2とは電位の異なる配線パ
ターン2′と、ガラス基板1上の陽極パッド3を除く表
面に被着形成された絶縁層5と、陽極パッド3上に被着
形成された蛍光体層6とを有し、配線パターン2′は蛍
光体層6と交差しない位置に配設されている。
(57) An object of the present invention is to reliably prevent generation of luminance unevenness due to conduction by a through hole between a phosphor screen and a wiring pattern passing thereunder, thereby improving display quality. A wiring pattern (2) having an anode pad (3) deposited on a glass substrate (1), a wiring pattern (2 ') deposited on the glass substrate (1) and having a different potential from the wiring pattern (2), and a glass substrate 1 has an insulating layer 5 deposited on the surface excluding the anode pad 3 and a phosphor layer 6 deposited on the anode pad 3, and the wiring pattern 2 ′ intersects with the phosphor layer 6. It is arranged in a position not to.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【考案の属する技術分野】[Technical field to which the device belongs]

本考案は、絶縁性基板上に形成した配線パターンがフォトリソグラフィ法によ り薄膜形成された絶縁層により被覆される蛍光表示管に係わり、特に配線パター ンと蛍光体層との配置構造に関するものである。 The present invention relates to a fluorescent display tube in which a wiring pattern formed on an insulating substrate is covered with an insulating layer formed as a thin film by a photolithography method, and more particularly to an arrangement structure of a wiring pattern and a phosphor layer. Is.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

従来、蛍光表示管に用いる陽極基板の絶縁層をフォトリソグラフィ法を用いて 形成する方法としては、図3に要部断面図で示すように絶縁性基板としてガラス 基板1上にAlなどにより形成された配線パターン2および陽極パッド3上に低 融点フリットガラス粉末と感光性液状体と顔料とを混合した絶縁ペーストを印刷 形成した後、所定のパターンを有するフォトマスクを介してこの絶縁層を紫外線 露光し、現像を行うフォトリソグラフィー法によりスルーホール4を有する絶縁 層5を形成する。 Conventionally, as a method of forming an insulating layer of an anode substrate used for a fluorescent display tube by using a photolithography method, as shown in the cross-sectional view of the main part of FIG. 3, it is formed of Al or the like on a glass substrate 1 as an insulating substrate. An insulating paste, which is a mixture of a low melting point frit glass powder, a photosensitive liquid and a pigment, is printed and formed on the wiring pattern 2 and the anode pad 3, and the insulating layer is exposed to ultraviolet light through a photomask having a predetermined pattern. Then, the insulating layer 5 having the through holes 4 is formed by the photolithography method for development.

【0003】 次にこの絶縁層5を形成したガラス基板1は、約560℃,30分〜1時間程 度の焼成を行い、絶縁層5内の感光性液状体を熱分解して揮発させ、同時に低融 点フリットガラス粉末を溶融固着して絶縁層とする。次にスルーホール4内の陽 極パッド3上蛍光面6を形成して陽極基板を作製する。 なお、このような陽極基板の製造方法は、例えば特開平6−40472号公報 などに開示されている。Next, the glass substrate 1 on which the insulating layer 5 is formed is baked at about 560 ° C. for about 30 minutes to 1 hour to thermally decompose and volatilize the photosensitive liquid material in the insulating layer 5, At the same time, the low melting point frit glass powder is melted and fixed to form an insulating layer. Next, the phosphor screen 6 on the positive electrode pad 3 in the through hole 4 is formed to prepare an anode substrate. A method of manufacturing such an anode substrate is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-40472.

【0004】[0004]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

しかしながら、このように構成された蛍光表示管は、以下に説明するような問 題があった。 絶縁層5は印刷方式で形成され、その膜厚が約20μm以上と厚い場合には問 題はないが、絶縁層5をフォトリソグラフィー法にて作製した場合、その膜厚は 8〜12μmと薄くなるためにピンホールが生じ易くなる。このピンホールの発 生によって絶縁層5の上部に形成された蛍光面6と下部の配線パターン2とが電 気的に接触し易くなる。つまり、蛍光面6は通常導電性を有しており、蛍光表示 管を駆動した場合、配線パターン2が蛍光面6の下部を通過していると、通電状 態により蛍光面6の端部で輝度斑が起こり易くなり、表示品位を低下させる。 However, the fluorescent display tube configured as described above has the following problems. The insulating layer 5 is formed by a printing method, and there is no problem if the film thickness is as thick as about 20 μm or more. However, when the insulating layer 5 is manufactured by the photolithography method, the film thickness is as thin as 8 to 12 μm. Therefore, pinholes are likely to occur. The generation of the pinholes facilitates electrical contact between the phosphor screen 6 formed on the insulating layer 5 and the lower wiring pattern 2. In other words, the fluorescent screen 6 normally has conductivity, and when the fluorescent display tube is driven, if the wiring pattern 2 passes below the fluorescent screen 6, the fluorescent screen 6 will end up at the end of the fluorescent screen 6 due to the energized state. Brightness spots are more likely to occur and display quality is degraded.

【0005】 なお、絶縁層5の膜厚を薄く形成する理由は、絶縁層5に形成するスルーホー ル4の開口径が200〜300μm程度で深さが20μm程度の寸法を有するも のはピンホールの発生はなくなるが、絶縁層5の膜厚を厚く形成すると、蛍光面 6を形成するための蛍光体塗料がスルーホール4の深部まで到達せず、陽極パッ ド3に蛍光体塗料が接触しない場合があり、このため、蛍光面6の発光不良を防 止するためである。つまり、微細な蛍光体パターンを形成するために膜厚の薄い 絶縁層5を形成することにある。The reason why the insulating layer 5 is made thin is that the through hole 4 formed in the insulating layer 5 has a diameter of 200 to 300 μm and a depth of 20 μm. However, if the insulating layer 5 is made thick, the phosphor coating for forming the phosphor screen 6 does not reach the deep part of the through hole 4, and the anode coating 3 does not come into contact with the phosphor coating. In some cases, this is to prevent defective emission of the fluorescent surface 6. That is, the thin insulating layer 5 is formed in order to form a fine phosphor pattern.

【0006】 したがって本考案は、前述した従来の課題を解決するためになされたものであ り、その目的は、蛍光面とその下部を通過する配線パターンとの間におけるピン ホールによる導通による輝度斑の発生を確実に防止し、表示品位を向上させるこ とができる蛍光表示管を提供することある。Therefore, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to provide a luminance unevenness due to conduction due to a pinhole between a phosphor screen and a wiring pattern passing thereunder. An object of the present invention is to provide a fluorescent display tube capable of reliably preventing the occurrence of the above and improving the display quality.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

このような目的を達成するために本考案による蛍光表示管は、絶縁性基板上に 被着形成された陽極パッドを有する第1の配線パターンと、絶縁性基板上に被着 形成されかつ第1の配線パターンとは電位の異なる第2の配線パターンと、絶縁 性基板上の陽極パッドを除く表面に被着形成された絶縁層と、陽極パッド上に被 着形成された蛍光体層とを有し、第2の配線パターンは蛍光体層と交差しない位 置に配設されている。 In order to achieve such an object, the fluorescent display according to the present invention includes a first wiring pattern having an anode pad deposited on an insulating substrate and a first wiring pattern deposited on the insulating substrate. A second wiring pattern having a potential different from that of the wiring pattern, an insulating layer deposited on the surface of the insulating substrate except the anode pad, and a phosphor layer deposited on the anode pad. However, the second wiring pattern is arranged in a position where it does not intersect the phosphor layer.

【0008】[0008]

【考案の実施の態様】[Mode for Carrying Out the Invention]

以下、図面を用いて本考案の実施の形態について詳細に説明する。 図1は、本考案による蛍光表示管の一つの実施の形態を製造方法に基づいて説 明する断面図であり、図3と同一部分には同一符号を付してある。図1において 、まず、ガラス基板1上にAlをスパッタリング法にて厚さ0.8〜1.3μm 程度に薄膜形成する。次に所定寸法の配線パターン部および陽極パッド部が形成 されている図示しないフォトマスクを用いてフォトリソグラフィ法によりAl薄 膜をエッチングし、配線パターン2,陽極パッド3およびこの陽極パッド3とは 同電位ではない隣接する配線パターン2′を同時に形成する。 Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view illustrating one embodiment of a fluorescent display tube according to the present invention based on a manufacturing method, and the same parts as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals. In FIG. 1, first, a thin film of Al having a thickness of about 0.8 to 1.3 μm is formed on a glass substrate 1 by a sputtering method. Next, the Al thin film is etched by a photolithography method using a photomask (not shown) on which a wiring pattern portion and an anode pad portion having predetermined dimensions are formed, and the wiring pattern 2, the anode pad 3 and this anode pad 3 are formed in the same manner. Adjacent wiring patterns 2'having no potential are simultaneously formed.

【0009】 このようにして形成された配線パターン2,2′は線幅30μm,ピッチ60 μmであり、陽極パッド3は200〜300μm角である。この場合、図2に要 部平面図で示すように陽極パッド3と隣接する電位差の異なる配線パターン2′ とはある一定の間隔を空けて形成されており、この空いている部分の上層には、 後述する蛍光体層6の端部が位置するように形成されている。なお、図2におい て、3′は隣接する電位差の異なる陽極パッド、6′はその蛍光体層である。The wiring patterns 2 and 2 ′ thus formed have a line width of 30 μm and a pitch of 60 μm, and the anode pads 3 are 200 to 300 μm square. In this case, as shown in the plan view of the main part of FIG. 2, the anode pad 3 and the wiring pattern 2'having a different potential difference adjacent to each other are formed with a certain space therebetween, and the upper layer of this vacant portion is formed. The phosphor layer 6 described below is formed so that the end portion of the phosphor layer 6 is located. In FIG. 2, reference numeral 3'denotes an adjacent anode pad having a different potential difference, and 6'denotes a phosphor layer thereof.

【0010】 次に低融点フリットガラス(成分PbO,B23等)粉末と感光性液状体と顔 料(成分は金属酸化物が主体)とを混合した厚膜印刷用の絶縁ペーストをガラス 基板1上に全面印刷し、乾燥した後、陽極パッド3上に開口パターンを有するフ ォトマスクを用いてガラス基板1の上面より露光し、現像を行って陽極パッド3 を露出させる。Next, an insulating paste for thick film printing, which is a mixture of low-melting frit glass (components PbO, B 2 O 3, etc.) powder, a photosensitive liquid, and a pigment (components are mainly metal oxides), is made into glass. After printing on the entire surface of the substrate 1 and drying, the upper surface of the glass substrate 1 is exposed using a photomask having an opening pattern on the anode pad 3, and development is performed to expose the anode pad 3.

【0011】 ここで、前述した絶縁ペースト中の感光性液状体がネガ型感光性の場合は、露 光部分が現像液に不溶となり、未露光部分が現像液に熔けて陽極パッド3上にス ルーホール4を有する絶縁層5が形成される。また、一方、感光性液状体がポジ 型の場合は、露光部分が現像液に熔けて同様に陽極パッド3上にスルーホール4 を有する絶縁層5が形成される。このようにして形成された絶縁層5は、厚さ1 0〜15μm程度の暗黒色でガラス基板1および配線パターン2,2′の大部分 を覆っている構造となる。Here, when the photosensitive liquid material in the above-mentioned insulating paste is a negative type photosensitive material, the exposed portion becomes insoluble in the developing solution, and the unexposed portion melts in the developing solution to spread on the anode pad 3. An insulating layer 5 having a through hole 4 is formed. On the other hand, when the photosensitive liquid material is a positive type, the exposed portion is melted in the developing solution, and the insulating layer 5 having the through hole 4 is similarly formed on the anode pad 3. The insulating layer 5 thus formed has a structure that covers most of the glass substrate 1 and the wiring patterns 2 and 2 ′ with a dark black color having a thickness of about 10 to 15 μm.

【0012】 次に絶縁層5を形成したガラス基板1を約560℃,30分〜1時間程度の空 気中にて焼成を行うと、絶縁層5内の感光性液状体が加熱分解し、揮発され、空 気中に散逸し、同時に低融点ガラスが溶融固着して機械的に強固な絶縁層5が形 成される。このとき、絶縁層5の厚さは8〜12μm程度となり、フォトマスク に忠実なパターンが形成される。Next, when the glass substrate 1 on which the insulating layer 5 is formed is baked in air at about 560 ° C. for about 30 minutes to 1 hour, the photosensitive liquid material in the insulating layer 5 is thermally decomposed, It is volatilized and dissipated in the air, and at the same time, the low melting point glass is melted and fixed to form a mechanically strong insulating layer 5. At this time, the thickness of the insulating layer 5 is about 8 to 12 μm, and a pattern faithful to the photomask is formed.

【0013】 次に陽極パッド3上の大部分に直接蛍光体層6を形成して陽極基板の作製を終 える。この蛍光体層6の形成方法には、種々の方法があり、発光色,蛍光体母体 の組成または色の区分(基板のどの部分にどの色を用いるか)などに異なるが、 一例として以下に説明する電着方法,フォトリソ法または印刷法の三通りを用い ることができる。さらに他の方法として付着法,前露光法,静電塗布法またはス ラリー法などを用いても良い。Next, the phosphor layer 6 is directly formed on most of the anode pad 3 to complete the production of the anode substrate. There are various methods for forming the phosphor layer 6, which differ depending on the emission color, the composition of the phosphor matrix or the color classification (which part of the substrate is used for which color). The three methods of electrodeposition, photolithography or printing described can be used. As another method, a deposition method, a pre-exposure method, an electrostatic coating method, a slurry method, or the like may be used.

【0014】 このような構成によれば、蛍光体層6の下部には隣接する配線パターン2′が 交差しないように離間して形成されるので、絶縁層5のピンホールの発生による 蛍光体層6と隣接する配線パターン2′との接触が皆無となり、また、蛍光表示 管を駆動した場合、その導通状態による蛍光体層6の端部の輝度斑の発生が皆無 となる。According to this structure, since the adjacent wiring patterns 2 ′ are formed below the phosphor layer 6 so as not to intersect with each other, the phosphor layer due to the occurrence of pinholes in the insulating layer 5 is formed. No contact between the wiring pattern 6 and the adjacent wiring pattern 2'is made, and when the fluorescent display tube is driven, no brightness unevenness is generated at the end portion of the phosphor layer 6 due to the conduction state.

【0015】[0015]

【考案の効果】[Effect of device]

以上、説明したように本考案によれば、蛍光体層に接続される配線パターンと 隣接する電位差の異なる配線パターンとが互いに交差しないように離間して配設 されるので、蛍光体層と隣接する配線パターンとの間の絶縁層のピンホールによ る導通不良が回避でき、蛍光表示管の駆動時における導通状態による蛍光体層の 端部の輝度斑の発生を確実に防止でき、表示品位を向上させ、品質および信頼性 の高い蛍光表示管が得られるという極めて優れた効果を有する。 As described above, according to the present invention, since the wiring pattern connected to the phosphor layer and the adjacent wiring pattern having a different potential difference are arranged so as not to intersect each other, the wiring pattern is adjacent to the phosphor layer. Continuity failure due to pinholes in the insulating layer between the wiring pattern and the wiring pattern can be avoided, and it is possible to reliably prevent the occurrence of luminance unevenness at the end of the phosphor layer due to the conduction state when the fluorescent display tube is driven. And a fluorescent display tube of high quality and high reliability can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本考案による蛍光表示管の一つの実施の形態
による構成を説明するための陽極基板の断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of an anode substrate illustrating a structure of a fluorescent display tube according to an embodiment of the present invention.

【図2】 図1に示した陽極基板の要部平面図である。FIG. 2 is a plan view of relevant parts of the anode substrate shown in FIG.

【図3】 従来の蛍光表示管の構成を説明するための陽
極基板の断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of an anode substrate for explaining the configuration of a conventional fluorescent display tube.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ガラス基板、2,2′…配線パターン、3…陽極パ
ッド、4…スルーホール、5…絶縁層、6…蛍光体層。
1 ... Glass substrate, 2, 2 '... Wiring pattern, 3 ... Anode pad, 4 ... Through hole, 5 ... Insulating layer, 6 ... Phosphor layer.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 絶縁性基板上に被着形成された陽極パッ
ドを有する第1の配線パターンと、 前記絶縁性基板上に被着形成されかつ前記第1の配線パ
ターンとは電位差の異なる第2の配線パターンと、 前記絶縁性基板上の前記陽極パッドを除く表面に被着形
成された絶縁層と、 前記陽極パッド上に被着形成された蛍光体層と、を備
え、前記第2の配線パターンは前記蛍光体層と交差しな
い位置に配設されたことを特徴とする蛍光表示管。
1. A first wiring pattern having an anode pad deposited on an insulating substrate, and a second wiring pattern deposited on the insulating substrate and having a potential difference different from that of the first wiring pattern. A wiring pattern, an insulating layer deposited on a surface of the insulating substrate excluding the anode pad, and a phosphor layer deposited on the anode pad, the second wiring The fluorescent display tube, wherein the pattern is arranged at a position not intersecting with the phosphor layer.
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