JP3022724B2 - Optical semiconductor module - Google Patents

Optical semiconductor module

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JP3022724B2
JP3022724B2 JP6098957A JP9895794A JP3022724B2 JP 3022724 B2 JP3022724 B2 JP 3022724B2 JP 6098957 A JP6098957 A JP 6098957A JP 9895794 A JP9895794 A JP 9895794A JP 3022724 B2 JP3022724 B2 JP 3022724B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光通信用機器あるいは
光測定器等に用いる光半導体モジュールに関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical semiconductor module used for optical communication equipment or optical measuring equipment.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、光通信用機器や光測定器等に用い
られる光半導体モジュールには、共焦点レンズ系を用い
た光半導体モジュールとして、例えば特開平3−149
510号「半導体レーザ光ファイバ結合装置およびその
製造方法」(従来例1)や特開平5−121841号
「半導体レーザモジュール」(従来例2)がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, an optical semiconductor module used for an optical communication device or an optical measuring device is an optical semiconductor module using a confocal lens system, for example, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-149.
No. 510, "Semiconductor Laser Optical Fiber Coupling Apparatus and Manufacturing Method Thereof" (Conventional Example 1) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-121841, "Semiconductor Laser Module" (Conventional Example 2).

【0003】従来例1の光半導体モジュールは、図8に
示すように、半導体レーザコリメータパッケージ70と
光ファイバコリメータ71とを備えて概略構成されてい
る。半導体レーザコリメータパッケージ70は、ステム
72、金属台座73、窓付キャップ74、半導体レーザ
(以下、LDという)75で構成される半導体レーザパ
ッケージ76と、半導体レーザ75に最も近接して固定
された第1のレンズ77を備えている。光ファイバコリ
メータ71は、入射平行光が単一モード光ファイバ端に
集光するような位置関係で単一モード光ファイバ78と
第2レンズ79とが同一の金属スリーブ80内に保持さ
れている。
[0003] As shown in FIG. 8, the optical semiconductor module of Conventional Example 1 is schematically configured to include a semiconductor laser collimator package 70 and an optical fiber collimator 71. The semiconductor laser collimator package 70 includes a semiconductor laser package 76 including a stem 72, a metal pedestal 73, a cap with a window 74, and a semiconductor laser (hereinafter, referred to as an LD) 75, and a semiconductor laser package 76 closest to the semiconductor laser 75. One lens 77 is provided. In the optical fiber collimator 71, the single mode optical fiber 78 and the second lens 79 are held in the same metal sleeve 80 in such a positional relation that the incident parallel light is focused on the end of the single mode optical fiber.

【0004】この光半導体モジュールでは、半導体レー
ザ75からの出射光を平行ビームに変換するような位置
に接着剤により第1のレンズ77を固定し、半導体レー
ザパッケージ76あるいは光ファイバコリメータ71の
どちらか一方について、互いの光軸が一致するように、
その光軸に垂直な面内で直交する軸X,Y方向と光軸の
あおり角度θ,φとの4軸を同時に調整した後、半導体
レーザコリメータパッケージ70と光ファイバコリメー
タ71とを対向させて互いの光軸が一致した位置で金属
スリーブ80に対してステム72を直接ハンダ付け又は
YAGレーザ溶接によって固着している。
In this optical semiconductor module, the first lens 77 is fixed by an adhesive at a position where the light emitted from the semiconductor laser 75 is converted into a parallel beam, and either the semiconductor laser package 76 or the optical fiber collimator 71 is fixed. For one, so that their optical axes coincide,
After simultaneously adjusting the four axes of the X and Y directions orthogonal to the optical axis and the tilt angles θ and φ of the optical axis, the semiconductor laser collimator package 70 and the optical fiber collimator 71 are opposed to each other. The stem 72 is fixed to the metal sleeve 80 directly by soldering or YAG laser welding at a position where the optical axes coincide with each other.

【0005】従来例2の光半導体モジュールは、図9に
示すように、半導体レーザ素子(LD)81が収容され
たステム82と、マイクロレンズ83が取り付けられた
厚肉キャップ84と、球レンズ85とファイバフェルー
ル86が保持された球レンズ保持鏡筒87とを備えて概
略構成されている。
[0005] As shown in FIG. 9, the optical semiconductor module of Conventional Example 2 has a stem 82 in which a semiconductor laser element (LD) 81 is housed, a thick cap 84 in which a microlens 83 is mounted, and a spherical lens 85. And a spherical lens holding lens barrel 87 holding a fiber ferrule 86.

【0006】この光半導体モジュールでは、鏡筒87と
厚肉キャップ84との間でX.Y軸調整し、鏡筒87と
フェルール86との間でZ軸調整して位置調整した後、
鏡筒87と厚肉キャップ84との間及び鏡筒87とフェ
ルール86との間の2箇所をスポット溶接により固定し
ている。
In this optical semiconductor module, X.X. After adjusting the Y axis and adjusting the position between the lens barrel 87 and the ferrule 86 by adjusting the Z axis,
Two portions between the lens barrel 87 and the thick cap 84 and between the lens barrel 87 and the ferrule 86 are fixed by spot welding.

【0007】また、2つの光半導体素子からの出射光を
1本の光ファイバに結合させる2波長対応の光半導体モ
ジュールとしては、特開平3−129306号「光結合
器及びその作製方法」(従来例3)がある。
A two-wavelength compatible optical semiconductor module for coupling outgoing light from two optical semiconductor elements to one optical fiber is disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 3-129306, entitled "Optical Coupler and Method of Manufacturing the Same". Example 3).

【0008】この従来例3の光半導体モジュールは、図
10に示すように、2組の素子パッケージ88,89
と、ケーシング90内に固定された1つの偏光素子91
と、偏光素子91の出射側面に対向するケーシング90
の壁面に固定された1本の光ファイバ92とを備えて概
略構成されている。各素子パッケージ88,89は、パ
ッケージ本体88a,89a内に1つのレンズ93と1
つのLD94が組み込まれたもので、偏光素子91の互
いに直交する2つの入射側面に対向するケーシング90
の外壁面に密着させた状態で、パッケージ本体88a,
89aの一方端に形成された基準面95が溶接により固
着されている。また、各LD94は、それぞれの活性層
がレンズ93の光軸と一致するようにステム96を介し
てパッケージ本体88a,89aの他方端に溶接により
固着されている。
As shown in FIG. 10, the optical semiconductor module of the prior art 3 has two sets of element packages 88 and 89.
And one polarizing element 91 fixed in the casing 90
And a casing 90 facing the emission side surface of the polarizing element 91.
And a single optical fiber 92 fixed to the wall surface. Each element package 88, 89 has one lens 93 and 1 in a package body 88a, 89a.
With two LDs 94 incorporated therein, and a casing 90 facing two incident side surfaces orthogonal to each other of the polarizing element 91.
The package body 88a,
Reference surface 95 formed at one end of 89a is fixed by welding. Each LD 94 is fixed to the other ends of the package bodies 88a and 89a via the stem 96 by welding so that each active layer coincides with the optical axis of the lens 93.

【0009】この光半導体モジュールでは、各素子パッ
ケージ88,89の基準面95をケーシング90に密着
させたまま素子パッケージ88,89を光軸と直交する
X.Y方向に移動することによりLD94と光ファイバ
92との光結合状態が最大になるように調整した後、素
子パッケージ88,89をケーシング90に対して溶接
により固着固定している。また、素子パッケージ88,
89と光ファイバ92との光軸方向(Z方向)に対する
位置調整は、各素子パッケージ88,89と偏光素子9
1との間に配置された透明部材のガラス板97の板厚を
変えて行っている。
In this optical semiconductor module, while the reference surfaces 95 of the element packages 88 and 89 are kept in close contact with the casing 90, the element packages 88 and 89 are placed in an X.X. After adjusting in such a manner that the optical coupling state between the LD 94 and the optical fiber 92 is maximized by moving in the Y direction, the element packages 88 and 89 are fixedly fixed to the casing 90 by welding. The element package 88,
Adjustment of the position of the optical fiber 89 and the optical fiber 92 in the optical axis direction (Z direction) is performed by the element packages 88 and 89 and the polarizing element 9.
1 is performed by changing the thickness of the glass plate 97 of the transparent member disposed between the first and second glass plates.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】このように、コリメー
タ同士を固定するために、従来例1の構成では、レンズ
79と光ファイバ78が保持される金属スリーブ80に
LD75のステム72を直接ハンダ付け又はYAGレー
ザ溶接により固着し、従来例2の構成では、鏡筒87と
厚肉キャップ84との間及び鏡筒87とフェルール86
との間の2箇所を溶接している。また、従来例3の構成
においても、LD94を保持するステム96とパッケー
ジ本体88a,89aとの間及びパッケージ本体88
a,89aとケーシング90との間に溶接が用いられて
おり、いずれの従来の構成においても、LDの交換や追
加、ファイバの交換が非常に困難であった。
As described above, in order to fix the collimators to each other, in the configuration of the conventional example 1, the stem 72 of the LD 75 is directly soldered to the metal sleeve 80 holding the lens 79 and the optical fiber 78. Alternatively, it is fixed by YAG laser welding, and in the configuration of Conventional Example 2, between the lens barrel 87 and the thick cap 84 and between the lens barrel 87 and the ferrule 86.
Are welded at two places. Also in the configuration of the third conventional example, the space between the stem 96 for holding the LD 94 and the package bodies 88a and 89a and the package body 88
a, 89a and the casing 90 are welded, and in any of the conventional configurations, it is very difficult to replace or add an LD or replace a fiber.

【0011】また、使用される素子パッケージは、通常
パッケージ毎にビームスポットの位置が異なりバラツキ
があるため、特に従来例3の構成では、LD94からの
光が斜めに出射された場合、ガラス板97の板厚を変え
てZ方向の位置調整を行うと、ビームスポットの位置が
X−Y平面上にずれ、再度X,Y方向の調整が必要にな
るという問題があった。
In addition, since the position of the beam spot is usually different for each package in the element package to be used, there is variation. Therefore, particularly in the configuration of the conventional example 3, when the light from the LD 94 is obliquely emitted, the glass plate 97 When the position adjustment in the Z direction is performed by changing the thickness of the beam spot, the position of the beam spot shifts on the XY plane, and the X and Y directions need to be adjusted again.

【0012】ところで、上述した光半導体モジュールを
光通信用機器に使用する場合、対象となる通信システム
によってその波長が例えば1.31μmのみ、あるいは
1.31μmと1.55μmの両方といったように波長
のバリエーションが要求される。これに加えて、光測定
器に使用される場合には、ユーザの要求により測定波長
の変更(例えば1.3,1.31μm等)あるいは追加
(例えば1.31+1.55μm等)、さらには光ファ
イバの種類(SMファイバではDSF,PANDA等、
GIファイバでは50/125,62.5/125等)
の変更など様々な改造が要求される。しかもその改造作
業そのものが非常に短納期で要求される。そして、この
短納期のためには、光半導体モジュールの貯蔵等の方法
が必要であった。
When the above-described optical semiconductor module is used in an optical communication device, the wavelength of the optical communication module is set to 1.31 μm only or to both 1.31 μm and 1.55 μm depending on the target communication system. Variations are required. In addition, when used in an optical measurement device, the measurement wavelength is changed (for example, 1.3, 1.31 μm, etc.) or added (for example, 1.31 + 1.55 μm, etc.), and furthermore, the light is changed according to the user's request. Fiber type (SMF: DSF, PANDA, etc.
(For GI fiber, 50/125, 62.5 / 125, etc.)
Various modifications are required, such as changes in Moreover, the remodeling work itself is required with a very short delivery time. And, for this short delivery time, a method such as storage of the optical semiconductor module is required.

【0013】しかしながら、上述した従来例1及び従来
例2の光半導体モジュールの構成では、LDコリメータ
とファイバコリメータとの光軸調整の際、LDコリメー
タの固定をLD75,81のステム72,82の部分で
直接ハンダ付け又はYAG溶接により行っているので、
特殊な道具なしには分解が困難であり、再組立も非常に
困難であった。また、取り外した部品を再利用するに
は、ハンダをきれいに取り除くなどの修正が必要不可欠
であって、最悪の場合には、部品が損傷して使いものに
ならなくなる可能性があった。また、このことは、LD
94のステム96及び素子パッケージ88,89を溶接
により固定している従来例3の光半導体モジュールの構
成においても、同様に生ずる問題であった。
However, in the configuration of the optical semiconductor module of the above-described conventional examples 1 and 2, when the optical axis of the LD collimator and the fiber collimator is adjusted, the fixing of the LD collimator is performed by the portions of the stems 72 and 82 of the LDs 75 and 81. Since it is performed directly by soldering or YAG welding,
Without special tools, disassembly was difficult and reassembly was also very difficult. Further, in order to reuse the removed parts, it is essential to make corrections such as removing solder completely. In the worst case, the parts may be damaged and become unusable. This also means that LD
The same problem also occurs in the configuration of the optical semiconductor module of Conventional Example 3 in which the stem 96 of 94 and the element packages 88 and 89 are fixed by welding.

【0014】従って、上述した従来の光半導体モジュー
ルの構成では、各種類のモジュールを完成品として貯蔵
しておくか、あるいは注文が来てからモジュールを組み
立てなければならなかった。しかも、測定器が1波長と
2波長のバリエーションを持つ場合には、1波長モジュ
ールと2波長モジュールの貯蔵をどのような割合いで行
うかが非常に難しい問題となっていた。また、LDコリ
メータやファイバコリメータは高価なため、1つの部品
が損傷しても、他の部品をそのまま生かして損傷した部
品のみ交換することが望まれる。ところが、従来の光半
導体モジュールの構成では、極めて困難であった。
Therefore, in the above-mentioned conventional optical semiconductor module configuration, each type of module must be stored as a finished product or assembled after an order is received. In addition, when the measuring instrument has variations of one wavelength and two wavelengths, it is very difficult to determine at what ratio the one-wavelength module and the two-wavelength module are stored. Further, since the LD collimator and the fiber collimator are expensive, it is desired that even if one component is damaged, only the damaged component is replaced by using the other component as it is. However, it was extremely difficult with the configuration of the conventional optical semiconductor module.

【0015】そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的は、LDやファイバが損傷
した場合、損傷した部品だけを容易に交換でき、ユーザ
の波長変更及び波長追加要求、さらにはファイバ種類の
変更要求にも容易に対応できる光半導体モジュールを提
供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object that when an LD or a fiber is damaged, only a damaged part can be easily replaced, and a user can change a wavelength and add a wavelength. It is an object of the present invention to provide an optical semiconductor module that can easily respond to a request and a change request of a fiber type.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による光半導体モジュールは、レンズ11
と、該レンズの焦点位置に発光面又は受光面が位置する
ように配置された発光素子又は受光素子からなる光半導
体7とが取付面10c,14aを有するホルダ10に設
けられた光半導体コリメータ3と、レンズ16と、該レ
ンズの焦点位置にファイバのコア中心の端面が位置する
ように配置されたファイバ15とが取付面18aを有す
るホルダ18に設けられたファイバコリメータ4と、対
向する壁面2a,2b間に貫通穴6が形成され、前記光
半導体と前記ファイバとの間で光が結合するように、前
記光半導体コリメータ及び前記ファイバコリメータがそ
れぞれの取付面を介して前記貫通穴を望む対向する壁面
に着脱可能に取付けられる本体1とを備え、前記光半導
体コリメータ又は前記ファイバコリメータは、前記本体
に対してその光軸と直交する平面で微動可能に取付けら
れることを特徴としている。
In order to achieve the above object, an optical semiconductor module according to the present invention comprises a lens 11
An optical semiconductor collimator 3 provided on a holder 10 having mounting surfaces 10c and 14a, and an optical semiconductor 7 comprising a light emitting element or a light receiving element arranged such that a light emitting surface or a light receiving surface is located at a focal position of the lens. A fiber 16 disposed on a holder 18 having a mounting surface 18a, a lens 16 and a fiber 15 arranged such that an end face of the core of the fiber is located at a focal position of the lens. , 2b are formed between the optical semiconductor collimator and the fiber collimator so as to couple light between the optical semiconductor and the fiber. And a main body 1 detachably attached to a wall to be mounted, wherein the optical semiconductor collimator or the fiber collimator has an optical axis with respect to the main body. It is characterized in that mounted for fine movement in orthogonal planes.

【0017】また、上記の構成に加え、前記貫通穴6を
その中途位置より直交して他の壁面20に分岐して貫通
しており、レンズ25と、該レンズの焦点位置に発光面
又は受光面が位置するように配置された発光素子又は受
光素子からなる光半導体22とが取付面を有するホルダ
26に設けられ、前記分岐された貫通穴を望む他の壁面
に前記取付面14aを介して着脱可能で、かつその光軸
と直交する平面で微動可能に取付けられる光半導体コリ
メータ21,33と、該光半導体コリメータと前記ファ
イバコリメータ4とを結ぶ前記貫通穴の分岐部分に設け
られた合波器又は合分波器からなる光結合部32,34
とを備えて構成してもよい。
Further, in addition to the above-described structure, the through-hole 6 is perpendicular to the middle of the through-hole 6 and branches into another wall 20 to penetrate therethrough. An optical semiconductor 22 composed of a light-emitting element or a light-receiving element arranged so that the surface is located is provided on a holder 26 having a mounting surface, and is mounted on another wall surface that desires the branched through hole via the mounting surface 14a. Optical semiconductor collimators 21 and 33 which are detachable and are attached so as to be finely movable on a plane perpendicular to the optical axis thereof, and a multiplexing provided at a branch portion of the through hole connecting the optical semiconductor collimator and the fiber collimator 4. Couplers 32 and 34 composed of optical devices or multiplexers / demultiplexers
May be provided.

【0018】さらに、前記光半導体7,22は、前記ホ
ルダ10,26に対して着脱可能に設けてもよい。
Further, the optical semiconductors 7, 22 may be provided detachably with respect to the holders 10, 26.

【0019】[0019]

【作用】請求項1の光半導体モジュールは、1波長送信
モジュール又は受信モジュールとして使用されるもの
で、貫通穴6が形成された本体1の対向する壁面2a,
2bに対し、光半導体コリメータ3及びファイバコリメ
ータ4が同一光軸上で着脱可能に取付けられ、一方のコ
リメータが本体1に対してその光軸と直交する平面で微
動可能とされている。そして、ファイバコリメータ4が
微動可能で、送信モジュールを構成したときの光軸の調
整を行う際には、光半導体7が発光素子の光半導体コリ
メータ3を本体1に固定し、ファイバコリメータ4を本
体1に仮固定した状態で光半導体7を発光させ、ファイ
バコリメータ4をその光軸と直交する平面上で微動させ
てファイバ15に結合する光量が最大になる位置でファ
イバコリメータ4を固定する。なお、光半導体7が発光
素子の光半導体コリメータ3を本体1から取り外し、光
半導体7が受光素子の光半導体コリメータに交換すれ
ば、受信モジュールを構成できる。
The optical semiconductor module according to the present invention is used as a one-wavelength transmitting module or a receiving module.
An optical semiconductor collimator 3 and a fiber collimator 4 are detachably mounted on the same optical axis with respect to 2b, and one collimator is finely movable with respect to the main body 1 on a plane orthogonal to the optical axis. When the optical axis is adjusted when the fiber collimator 4 is finely movable and the transmission module is configured, the optical semiconductor 7 fixes the optical semiconductor collimator 3 of the light emitting element to the main body 1 and the fiber collimator 4 is The optical semiconductor 7 is caused to emit light while being temporarily fixed to 1, and the fiber collimator 4 is finely moved on a plane perpendicular to the optical axis to fix the fiber collimator 4 at a position where the amount of light coupled to the fiber 15 is maximized. In addition, if the optical semiconductor 7 removes the optical semiconductor collimator 3 of the light emitting element from the main body 1 and replaces the optical semiconductor 7 with the optical semiconductor collimator of the light receiving element, a receiving module can be configured.

【0020】請求項2の光半導体モジュールは、1波長
又は多波長モジュールとして使用されるもので、貫通穴
6が形成された本体1の対向する壁面2a,2bに対
し、光半導体コリメータ3及びファイバコリメータ4が
同一光軸上で着脱可能に取付けられ、貫通穴6が中途位
置より直交する他の壁面20に分岐して貫通しており、
この分岐された貫通穴6を望む他の壁面20には、その
光軸と直交する平面に対して微動可能な光半導体コリメ
ータ21,33が取付面14aを介して本体1に着脱可
能に取付けられる。また、光半導体コリメータ21,3
3とファイバコリメータ4とを結ぶ貫通穴6の分岐部分
には、合波器又は合分波器からなる光結合部32,34
が設けられる。そして、本体1に着脱される光半導体コ
リメータ3,21,33として、光半導体7,22が発
光素子の光半導体コリメータと、光半導体7,22が受
光素子の光半導体コリメータとを組み合わせれば、送信
モジュール、受信モジュール、送受信モジュールのいず
れかを構成することができる。
The optical semiconductor module according to the present invention is used as a one-wavelength or multi-wavelength module. The optical semiconductor collimator 3 and the fiber are provided on the opposing wall surfaces 2a and 2b of the main body 1 in which the through holes 6 are formed. The collimator 4 is detachably mounted on the same optical axis, and the through-hole 6 branches off and penetrates to another wall surface 20 orthogonal to the middle position.
Opto-semiconductor collimators 21 and 33, which are finely movable with respect to a plane perpendicular to the optical axis, are detachably attached to the main body 1 via the attachment surface 14a on the other wall surface 20 where the branched through hole 6 is desired. . In addition, the optical semiconductor collimators 21 and 3
In the branching portion of the through hole 6 connecting the fiber collimator 3 and the optical collimator 4, optical couplers 32 and 34 composed of a multiplexer or a multiplexer / demultiplexer are provided.
Is provided. Then, as the optical semiconductor collimators 3, 21, and 33 attached to and detached from the main body 1, if the optical semiconductors 7, 22 are combined with the optical semiconductor collimator of the light emitting element and the optical semiconductors 7, 22 are combined with the optical semiconductor collimator of the light receiving element, Any of a transmission module, a reception module, and a transmission / reception module can be configured.

【0021】また、上記の光半導体コリメータ3,2
1,33における光半導体7,22は、ホルダ10,2
6に対して着脱可能とされ、ホルダ10,26が本体1
に取り付けられている状態でも、光半導体7,22のみ
の交換により、発光素子又は受光素子の選択や波長の変
更が速やかに行える。
The optical semiconductor collimators 3 and 2
The optical semiconductors 7, 22 in 1, 33 are holders 10, 2,
6, and the holders 10, 26 are attached to the main body 1
Even when the optical semiconductors 7 and 22 are mounted, the selection of the light emitting element or the light receiving element and the change of the wavelength can be quickly performed by exchanging only the optical semiconductors 7 and 22.

【0022】[0022]

【実施例】以下に説明する各実施例の光半導体モジュー
ルは、特に、GIファイバ用のモジュールを対象として
使用されるものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The optical semiconductor module of each embodiment described below is used especially for a module for GI fiber.

【0023】図1(a)は本発明による光半導体モジュ
ールの第1実施例を示す一部断面の正面図、同図(b)
は同モジュールの左側面図、同図(c)は同モジュール
の右側面図である。
FIG. 1A is a front view, partially in section, showing a first embodiment of an optical semiconductor module according to the present invention, and FIG.
2 is a left side view of the module, and FIG. 2C is a right side view of the module.

【0024】この第1実施例の光半導体モジュールは、
1波長用モジュールとして使用されるもので、箱型に形
成された本体1の長手方向の側壁面2に、光半導体コリ
メータ3とファイバコリメータ4とが対向して着脱可能
に取付けられている。
The optical semiconductor module of the first embodiment is
An optical semiconductor collimator 3 and a fiber collimator 4 are detachably mounted on a side wall surface 2 in the longitudinal direction of a main body 1 formed in a box shape.

【0025】図1(a)において、本体1の左側壁面2
aの中央には、光半導体コリメータ3を着脱可能に固定
するための固定用ネジ穴5が側壁面2aと直交する長手
方向に所定長さ形成されている。この固定用ネジ穴5に
は、ネジ穴5の径より小径の空胴穴6が右側壁面2bに
貫通して形成されている。本体1の右側壁面2bの上下
2箇所には、取付ネジ穴8が長手方向に所定長さ形成さ
れており、この取付ネジ穴8には、ファイバコリメータ
4を本体1に対して着脱可能に固定するためのネジ9が
螺合される。
In FIG. 1A, the left side wall 2 of the main body 1 is shown.
In the center of a, a fixing screw hole 5 for detachably fixing the optical semiconductor collimator 3 is formed in a predetermined length in a longitudinal direction orthogonal to the side wall surface 2a. In the fixing screw hole 5, a cavity hole 6 having a diameter smaller than the diameter of the screw hole 5 is formed so as to penetrate the right wall surface 2b. At the upper and lower two places on the right side wall 2b of the main body 1, mounting screw holes 8 are formed in a predetermined length in the longitudinal direction, and the fiber collimator 4 is detachably fixed to the main body 1 in the mounting screw holes 8. Screw 9 is screwed.

【0026】そして、後述する如く、光半導体コリメー
タ3の光半導体7がLDで構成される場合には、LDか
らの光が空胴穴6を介してファイバコリメータ4側に通
過し、光半導体7がPD(Photodiode)又はAPD(Av
alanche Photodiode)で構成される場合には、ファイバ
コリメータ4からの光が空胴穴6を通過してPD又はA
PDに導かれるようになっている。
As described later, when the optical semiconductor 7 of the optical semiconductor collimator 3 is composed of an LD, light from the LD passes through the cavity 6 to the fiber collimator 4 and Is PD (Photodiode) or APD (Av
alanche Photodiode), the light from the fiber collimator 4 passes through the cavity 6 and is PD or A
It is led to PD.

【0027】光半導体コリメータ3は、光半導体7と、
光半導体7を固定するホルダ10とによって概略構成さ
れている。光半導体7は、送信モジュールとして使用す
る場合に発光素子であるLDで構成され、受信モジュー
ルとして使用する場合に受光素子であるPD又はAPD
で構成される。ホルダ10には、中央の厚肉部10aの
軸心部分にレンズ11が固設されている。このレンズ1
1を境にしてホルダ10の両側には、本体1の空胴穴6
に連通する小径の内側開口部12と、光半導体7のキャ
ップ7aが収容される大径の外側開口部13とが形成さ
れている。ホルダ10の一端の外周には、本体1の固定
用ネジ穴5に螺合するネジ部10bが形成されている。
ホルダ10の外周中央部には、ネジ部10bより大径の
フランジ部14が一体形成されており、このフランジ部
14の内側面は、本体1の左側壁面2aと平行に接触す
る取付面(基準面)14aを形成している。
The optical semiconductor collimator 3 includes an optical semiconductor 7 and
It is schematically constituted by a holder 10 for fixing the optical semiconductor 7. The optical semiconductor 7 is constituted by an LD which is a light emitting element when used as a transmitting module, and a PD or APD which is a light receiving element when used as a receiving module.
It consists of. The lens 10 is fixed to the holder 10 at the axial center of the central thick portion 10a. This lens 1
1 are provided on both sides of the holder 10 with the cavity holes 6 of the main body 1.
And a large-diameter outer opening 13 that accommodates the cap 7a of the optical semiconductor 7 is formed. On the outer periphery of one end of the holder 10, a screw portion 10b screwed into the fixing screw hole 5 of the main body 1 is formed.
A flange portion 14 having a diameter larger than that of the screw portion 10b is integrally formed at a central portion of the outer periphery of the holder 10, and an inner surface of the flange portion 14 has a mounting surface (reference) in parallel with the left wall surface 2a of the main body 1. Surface 14a.

【0028】そして、光半導体7は、その光軸がレンズ
11の光軸と一致し、かつレンズ11の焦点に発光面又
は受光面が位置するように軸心(Z軸)方向の調整を行
った後、ステム7bの表面とホルダ10の外側開口部1
3の端面との間がハンダにより固定される。また、ホル
ダ10は、フランジ部14の取付面14aが本体1の左
側壁面2aに接触するまでネジ部10bが本体1の固定
用ネジ穴5に螺合される。これにより、光半導体コリメ
ータ3が本体1に固定される。
The optical semiconductor 7 is adjusted in the direction of the axis (Z-axis) so that the optical axis coincides with the optical axis of the lens 11 and the light emitting surface or the light receiving surface is located at the focal point of the lens 11. After that, the surface of the stem 7b and the outer opening 1 of the holder 10 are
3 is fixed with solder. The screw portion 10 b of the holder 10 is screwed into the fixing screw hole 5 of the main body 1 until the mounting surface 14 a of the flange portion 14 contacts the left wall surface 2 a of the main body 1. Thereby, the optical semiconductor collimator 3 is fixed to the main body 1.

【0029】ファイバコリメータ4は、ファイバ15の
光軸とロッドレンズ16の光軸とが一致し、かつロッド
レンズ16の焦点の位置にファイバ端面15aのコアの
中心が位置するように、スリーブ17内の一端側にロッ
ドレンズ16が嵌挿され、他端側にファイバ端面15a
が嵌挿されている。また、ファイバコリメータ4は、ス
リーブ17が空胴穴6内に収容された状態で、本体1に
対して着脱可能に固定される四角板状のフランジ部(ホ
ルダ)18を有している。このフランジ部18の内側面
は、本体1の右側壁面2bと平行に接触する取付面(基
準面)18aを形成している。また、フランジ部18の
上下2箇所には、本体1の取付ネジ穴8に螺合されるネ
ジ9よりも大径の遊挿穴19が穿設されている。これに
より、ファイバコリメータ4は、ネジ9と遊挿穴19と
のガタ分だけファイバ15の軸心と直交する平面(X−
Y平面)で微動可能とされている。
The fiber collimator 4 is disposed inside the sleeve 17 so that the optical axis of the fiber 15 and the optical axis of the rod lens 16 coincide with each other and the center of the core of the fiber end face 15a is located at the focal point of the rod lens 16. A rod lens 16 is inserted into one end of the optical fiber, and a fiber end face 15a is inserted into the other end.
Is inserted. The fiber collimator 4 has a rectangular plate-like flange portion (holder) 18 which is detachably fixed to the main body 1 in a state where the sleeve 17 is housed in the cavity 6. The inner surface of the flange portion 18 forms a mounting surface (reference surface) 18a that comes into contact with the right wall surface 2b of the main body 1 in parallel. Further, loose insertion holes 19 having a diameter larger than that of the screw 9 screwed into the mounting screw hole 8 of the main body 1 are formed at two positions above and below the flange portion 18. As a result, the fiber collimator 4 moves the plane (X-X) perpendicular to the axis of the fiber 15 by the play between the screw 9 and the loose insertion hole 19.
(Y plane).

【0030】そして、ファイバコリメータ4は、X−Y
平面でのファイバコリメータ15の微調整を行った後、
フランジ部18の取付面18aが本体1の右側壁面2b
に接触するまでネジ9を本体1の取付ネジ穴8に螺合す
ることによって本体1に固定される。
Then, the fiber collimator 4 is XY
After fine adjustment of the fiber collimator 15 in the plane,
The mounting surface 18a of the flange portion 18 is the right wall surface 2b of the main body 1.
Is fixed to the main body 1 by screwing the screw 9 into the mounting screw hole 8 of the main body 1 until it comes into contact with the main body 1.

【0031】次に、図2(a)は本発明による光半導体
モジュールの第2実施例を示す一部断面の正面図、同図
(b)は同モジュールの左側面図、同図(c)は同モジ
ュールの右側面図である。なお、第1実施例と同一の構
成要素には、同一番号を付してその説明を省略する。
Next, FIG. 2A is a front view of a partial cross section showing a second embodiment of the optical semiconductor module according to the present invention, FIG. 2B is a left side view of the module, and FIG. Is a right side view of the module. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0032】この第2実施例の光半導体モジュールは、
1波長又は2波長用モジュールとして使用されるもの
で、上述した第1実施例において、空胴穴6が中央で分
岐して底壁面20に貫通しており、ファイバコリメータ
4と同一光軸上に設けられた光半導体コリメータ3を第
1の光半導体コリメータとし、これに直交する底壁面2
0中央の空胴穴6に第2の光半導体コリメータ21が着
脱可能に設けられている。
The optical semiconductor module of the second embodiment is
It is used as a one-wavelength or two-wavelength module. In the first embodiment described above, the cavity hole 6 branches off at the center and penetrates the bottom wall surface 20, and is on the same optical axis as the fiber collimator 4. The provided optical semiconductor collimator 3 is used as a first optical semiconductor collimator, and a bottom wall 2 orthogonal to the first optical semiconductor collimator 3 is provided.
A second optical semiconductor collimator 21 is detachably provided in the cavity 6 at the center.

【0033】第2の光半導体コリメータ21は、光半導
体22と、本体1の底壁面20の2箇所に形成された取
付ネジ穴23に固定されるフランジ部24とを備えてい
る。光半導体22は、第1の光半導体コリメータ3と同
様に、フランジ部24の中央部に固設されたレンズ25
との間の光軸(X−Y−Z軸)方向の調整を行って光半
導体コリメータとした後に、ホルダ26にハンダにより
固定される。また、フランジ部24の左右2箇所には、
本体1の取付ネジ穴23に螺合されるネジ27よりも大
径の遊挿穴28が穿設されている。これにより、第2の
光半導体コリメータ21は、ファイバコリメータ4と同
様に、ネジ27と遊挿穴28とのガタ分だけ光半導体2
2の光軸と直交する平面(X−Z平面)で微動可能とさ
れている。
The second optical semiconductor collimator 21 has an optical semiconductor 22 and a flange 24 fixed to mounting screw holes 23 formed at two places on the bottom wall 20 of the main body 1. The optical semiconductor 22 is, like the first optical semiconductor collimator 3, a lens 25 fixed at the center of the flange 24.
Is adjusted in the optical axis (XYZ axis) direction to form an optical semiconductor collimator, and then fixed to the holder 26 by soldering. In addition, two places on the left and right of the flange part 24 are:
A loose insertion hole 28 having a larger diameter than the screw 27 screwed into the mounting screw hole 23 of the main body 1 is formed. As a result, the second optical semiconductor collimator 21, like the fiber collimator 4, plays back the optical semiconductor 2 by the play between the screw 27 and the loose insertion hole 28.
Fine movement is possible on a plane (XZ plane) orthogonal to the two optical axes.

【0034】本体1の正面側には、カバー部材29が着
脱可能に取り付けられている。このカバー部材29は、
対称に位置する本体1の正面壁面30の斜め2箇所でネ
ジ31により取り付けられている。また、第2の光半導
体コリメータ21が取付けられる空胴穴6の分岐部分、
すなわち、空胴穴6内の第1の光半導体コリメータ3と
第2の光半導体コリメータ21との軸交部分には、例え
ばダイクロイックミラー等の合波器やハーフミラー等の
合分波器で構成された光結合部32が着脱可能に設けら
れている。この光結合部32は、カバー部材29が取り
外されている状態で、本体1の正面側より固定できる構
成になっており、両光半導体コリメータ3,21とファ
イバコリメータ4との間で光を合分波している。
On the front side of the main body 1, a cover member 29 is detachably attached. This cover member 29
Screws 31 are attached at two oblique positions on the front wall 30 of the main body 1 located symmetrically. A branch portion of the cavity 6 to which the second optical semiconductor collimator 21 is attached;
That is, the axis intersection portion between the first optical semiconductor collimator 3 and the second optical semiconductor collimator 21 in the cavity 6 is constituted by a multiplexer such as a dichroic mirror or a multiplexer / demultiplexer such as a half mirror. The optical coupling unit 32 provided is detachably provided. The optical coupling section 32 can be fixed from the front side of the main body 1 in a state where the cover member 29 is removed, and couples light between the optical semiconductor collimators 3 and 21 and the fiber collimator 4. It is splitting.

【0035】なお、この実施例の光半導体モジュールを
1波長用モジュールとして使用する場合には、空胴穴6
を覆うように図示しないカバー部材が取付けられる。こ
のカバー部材は、第2の光半導体コリメータ21が着脱
される取付ネジ穴23に対してネジ27より螺合され
る。
When the optical semiconductor module of this embodiment is used as a one-wavelength module, the cavity 6
A cover member (not shown) is attached so as to cover. This cover member is screwed with a screw 27 into a mounting screw hole 23 in which the second optical semiconductor collimator 21 is attached and detached.

【0036】この第2実施例の光半導体モジュールは、
例えば図3に示す構成の光パルス試験器の投受光モジュ
ールとして最適に使用される。この図における光パルス
試験器は、タイミング発生部50、発光部51、方向性
結合器52、受光部53、増幅部54、A/Dコンバー
タ55、波形処理部56、表示部57を備えて構成され
ている。この光パルス試験器では、タイミング発生部5
0で生成されるタイミング信号に基づいて発光部51よ
り光パルスを被測定ファイバ58に投光し、被測定ファ
イバ58から反射してくる後方散乱光及びフレネル反射
光を方向性結合器52を介して受光部53によって受光
し、この受光した光を増幅器54にて増幅した後にA/
Dコンバータ55において所定のサンプリング周期で測
定ポイント毎にサンプリングし、サンプリングした各デ
ータを波形処理部56で波形処理して表示部57に表示
し、被測定ファイバ58の損失測定、破断点探索等を行
っている。
The optical semiconductor module of the second embodiment is
For example, it is optimally used as a light emitting / receiving module of an optical pulse tester having the configuration shown in FIG. The optical pulse tester in this figure includes a timing generator 50, a light emitter 51, a directional coupler 52, a light receiver 53, an amplifier 54, an A / D converter 55, a waveform processor 56, and a display 57. Have been. In this optical pulse tester, the timing generator 5
An optical pulse is emitted from the light emitting section 51 to the fiber under measurement 58 based on the timing signal generated at 0, and the backscattered light and Fresnel reflected light reflected from the fiber under measurement 58 are transmitted through the directional coupler 52. A light is received by the light receiving unit 53 and the received light is amplified by the amplifier 54 and then A / A
The D converter 55 samples the data at each measurement point at a predetermined sampling period, performs waveform processing on the sampled data by the waveform processing unit 56, displays the processed data on the display unit 57, and performs measurement of the loss of the measured fiber 58, searching for a break point, and the like. Is going.

【0037】そして、このように構成される光パルス試
験器に対し、発光部51をLDによる第1の光半導体コ
リメータ3とし、受光部53をPD又はAPDによる第
2の光半導体コリメータ21とし、方向性結合器52を
合分波器による光結合部32とすることで、図中の一点
鎖線で示す部分を1つのモジュールで構成することがで
きる。
For the optical pulse tester thus configured, the light emitting unit 51 is the first optical semiconductor collimator 3 using LD, and the light receiving unit 53 is the second optical semiconductor collimator 21 using PD or APD. By using the directional coupler 52 as the optical coupling unit 32 using a multiplexer / demultiplexer, the portion indicated by the dashed line in the figure can be constituted by one module.

【0038】次に、図4は本発明による光半導体モジュ
ールの第3実施例を示す一部断面の正面図である。な
お、第1実施例及び第2実施例と同一の構成要素には、
同一番号を付してその説明を省略する。
FIG. 4 is a partially sectional front view showing a third embodiment of the optical semiconductor module according to the present invention. The same components as those in the first and second embodiments include:
The same reference numerals are given and the description is omitted.

【0039】この第3実施例の光半導体モジュールは、
上述した第2実施例において、本体1が長手方向に延長
され、空胴穴6が左右2箇所で分岐して底壁面20に貫
通している。そして、本体1の底壁面20の左側の空胴
穴6に着脱可能に設けられた第2の光半導体コリメータ
21に平行して、右側の空胴穴6に第2の光半導体コリ
メータ21と同一構成の第3の光半導体コリメータ33
が着脱可能に設けられている。また、第3の光半導体コ
リメータ33が取付けられる空胴穴6の分岐部分には、
例えばダイクロイックミラー等の合波器やハーフミラー
等の合分波器で構成された光結合部34が着脱可能に設
けられている。
The optical semiconductor module of the third embodiment is
In the above-described second embodiment, the main body 1 is extended in the longitudinal direction, and the cavity 6 is branched at two places on the left and right and penetrates the bottom wall 20. In parallel with the second optical semiconductor collimator 21 detachably provided in the left cavity hole 6 of the bottom wall surface 20 of the main body 1, the right cavity hole 6 has the same shape as the second optical semiconductor collimator 21. Third Optical Semiconductor Collimator 33 with Configuration
Is detachably provided. In addition, at the branch portion of the cavity 6 where the third optical semiconductor collimator 33 is attached,
For example, an optical coupling unit 34 composed of a multiplexer such as a dichroic mirror or a multiplexer / demultiplexer such as a half mirror is detachably provided.

【0040】この第3実施例の光半導体モジュールは、
例えば図5に示す構成の光パルス試験器の投受光モジュ
ールとして最適に使用される。すなわち、この図におけ
る光パルス試験器は、異なる2波長の光を被測定光ファ
イバ58に入射し、各波長毎の光の入射に伴って被測定
光ファイバ58から反射される光を受光している。この
ため、図3の光パルス試験器の構成に加え、第2の発光
部59と第2の方向性結合器60を備えている。
The optical semiconductor module of the third embodiment is
For example, it is optimally used as a light emitting / receiving module of an optical pulse tester having the configuration shown in FIG. That is, the optical pulse tester in this figure enters light of two different wavelengths into the measured optical fiber 58 and receives light reflected from the measured optical fiber 58 with the incidence of light of each wavelength. I have. Therefore, in addition to the configuration of the optical pulse tester of FIG. 3, a second light emitting unit 59 and a second directional coupler 60 are provided.

【0041】そして、このように構成される光パスル試
験器に対し、第1の発光部51及び第2の発光部59を
それぞれLDによる第1の光半導体コリメータ3及び第
2の光半導体コリメータ21とし、受光部53をPD又
はAPDによる第3の光半導体コリメータ33とし、第
1の方向性結合器52を合波器による光結合部32と
し、第2の方向性結合器60を合分波器による光結合部
34とするすることで、図中の一点鎖線で示す部分を1
つのモジュールで構成することができる。
The first light emitting unit 51 and the second light emitting unit 59 are respectively connected to the first optical semiconductor collimator 3 and the second optical semiconductor collimator 21 by using the LD. The light receiving unit 53 is a third optical semiconductor collimator 33 using PD or APD, the first directional coupler 52 is an optical coupling unit 32 using a multiplexer, and the second directional coupler 60 is a multiplexing / demultiplexing unit. By using the optical coupling unit 34 by the filter, the portion indicated by the one-dot chain line in FIG.
It can be composed of two modules.

【0042】次に、図6(a)は本発明による光半導体
モジュールの第4実施例を示す一部断面の正面図、同図
(b)は同モジュールの左側面図、同図(c)は同モジ
ュールの右側面図である。なお、第1実施例と同一の構
成要素には、同一番号を付してその説明を省略する。
FIG. 6A is a front view, partially in section, showing a fourth embodiment of the optical semiconductor module according to the present invention, FIG. 6B is a left side view of the module, and FIG. Is a right side view of the module. The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

【0043】この第4実施例の光半導体モジュールは、
近年使用される光半導体のステムの外周に対する半導体
チップの中心位置の精度が良いことから、第1実施例に
おいて、光半導体コリメータ3が本体1に着脱可能な構
成に加え、光半導体7そのものもホルダ10に着脱可能
な構成とされている。この構成は、上述した第1実施例
乃至第3実施例に適用することもできる。
The optical semiconductor module of the fourth embodiment is
Since the accuracy of the center position of the semiconductor chip with respect to the outer periphery of the stem of the optical semiconductor used in recent years is good, in the first embodiment, in addition to the configuration in which the optical semiconductor collimator 3 can be attached to and detached from the main body 1, the optical semiconductor 7 itself is also a holder. 10 is configured to be detachable. This configuration can be applied to the above-described first to third embodiments.

【0044】すなわち、この実施例では、第1実施例に
おけるホルダ10の内側開口部12が省略され、ステム
7bの外周及び表面が嵌合する段付の嵌合部35がホル
ダ10の外側開口部13の略中央に形成されている。こ
の嵌合部35は、光半導体7が嵌合された状態で、ステ
ム7bの中心がレンズ11の中心と合うように形成され
ている。また、外側開口部13の内壁面には、ネジ部1
3aが形成されており、このネジ部13aには、光半導
体7が嵌合部35に嵌合する方向にステム7bの底面を
押し付ける押さえ部材36のネジ部36aが螺合してい
る。これにより、光半導体7は、ステム7bとレンズ1
1との中心軸が一致した状態でホルダ10に位置決め固
定される。レンズ11は、その焦点に光半導体7の発光
面又は受光面が位置するように固定されている。ホルダ
10の外周中央部は、ネジ部10bの後端より段差をも
って大径に形成され、段差部分の外周面と直交する面が
本体1の左側壁面2aと平行に接触する取付面(基準
面)10cを形成している。そして、ホルダ10は、取
付面10cが本体1の左側壁面2aに接触するまでネジ
部10bが本体1の固定用ネジ穴5に螺合される。これ
により、光半導体コリメータ3が本体1に固定される。
That is, in this embodiment, the inner opening 12 of the holder 10 in the first embodiment is omitted, and the stepped fitting portion 35 into which the outer periphery and the surface of the stem 7b are fitted is provided in the outer opening of the holder 10. 13 is formed substantially at the center. The fitting portion 35 is formed such that the center of the stem 7b is aligned with the center of the lens 11 when the optical semiconductor 7 is fitted. In addition, a screw portion 1 is provided on the inner wall surface of the outer opening 13.
The screw portion 13a is screwed with a screw portion 36a of a holding member 36 for pressing the bottom surface of the stem 7b in a direction in which the optical semiconductor 7 fits into the fitting portion 35. As a result, the optical semiconductor 7 includes the stem 7 b and the lens 1.
1 is positioned and fixed to the holder 10 in a state where the center axes thereof coincide with each other. The lens 11 is fixed such that the light emitting surface or the light receiving surface of the optical semiconductor 7 is located at the focal point. The outer peripheral center portion of the holder 10 is formed to have a larger diameter with a step than the rear end of the screw portion 10b, and a surface orthogonal to the outer peripheral surface of the step portion is in parallel contact with the left wall surface 2a of the main body 1 (reference surface). 10c is formed. The screw portion 10b of the holder 10 is screwed into the fixing screw hole 5 of the main body 1 until the mounting surface 10c contacts the left wall surface 2a of the main body 1. Thereby, the optical semiconductor collimator 3 is fixed to the main body 1.

【0045】次に、図7は本発明による光半導体モジュ
ールの第5実施例を示す一部断面の正面図である。な
お、第1実施例及び第4実施例と同一の構成要素には、
同一番号を付してその説明を省略する。
FIG. 7 is a front view, partially in section, showing a fifth embodiment of the optical semiconductor module according to the present invention. The same components as those in the first and fourth embodiments include:
The same reference numerals are given and the description is omitted.

【0046】この第5実施例の光半導体モジュールは、
第1実施例において、光半導体コリメータ3のホルダ1
0に固設されたレンズ11が本体1の空胴部6の中途位
置に一体形成された厚肉部1aに固設されたもので、そ
の他の構成は、第1実施例と同一である。
The optical semiconductor module of the fifth embodiment is
In the first embodiment, the holder 1 of the optical semiconductor collimator 3
The lens 11 fixed to 0 is fixed to a thick portion 1a integrally formed at an intermediate position of the cavity 6 of the main body 1, and the other configuration is the same as that of the first embodiment.

【0047】次に、上記のように構成される光半導体モ
ジュールの光軸調整方法について説明する。まず、1波
長モジュールの場合には、光半導体7をLDとして光半
導体コリメータ3を本体1に固定する(ST1)。な
お、図2又は図4の光半導体モジュールを使用する場合
には、不要な第2の光半導体コリメータ21、第3の光
半導体コリメータ33、光結合部32,34を本体1か
ら取り外し、光半導体コリメータ21,33の代わりに
カバー部材を取り付けておく。続いて、ファイバコリメ
ータ4を本体1に仮固定する(ST2)。この状態で、
光半導体7を発光させ、ファイバコリメータ4をX−Y
平面上で微動させ、ファイバ15に結合する光量が最大
になる位置でファイバコリメータ4を固定する(ST
3)。
Next, a method of adjusting the optical axis of the optical semiconductor module configured as described above will be described. First, in the case of the one-wavelength module, the optical semiconductor collimator 3 is fixed to the main body 1 using the optical semiconductor 7 as an LD (ST1). When the optical semiconductor module shown in FIG. 2 or FIG. 4 is used, the unnecessary second optical semiconductor collimator 21, third optical semiconductor collimator 33, and optical coupling portions 32 and 34 are removed from the main body 1, and the optical semiconductor module is removed. A cover member is attached instead of the collimators 21 and 33. Subsequently, the fiber collimator 4 is temporarily fixed to the main body 1 (ST2). In this state,
The optical semiconductor 7 is caused to emit light, and the fiber collimator 4 is set to XY.
Fine movement on a plane fixes the fiber collimator 4 at the position where the amount of light coupled to the fiber 15 is maximized (ST
3).

【0048】次に、2波長モジュールの場合には、図2
又は図4の光半導体モジュールが使用される。なお、図
4の光半導体モジュールを使用する場合には、不要な第
3の光半導体コリメータ33及び光結合部34を本体1
から取り外し、光半導体コリメータ33の代わりにカバ
ー部材を取り付けておく。まず、光結合部32として合
波器を本体1に固定し(ST4)、次に、第1の光半導
体コリメータ3を本体1に固定する(ST5)。続い
て、半導体コリメータ3と同一光軸上に位置するように
ファイバコリメータ4を本体1に仮固定する(ST
6)。この状態で、光半導体7を発光させ、ファイバコ
リメータ4をX−Y平面上で微動させ、ファイバ15に
結合する光量が最大になる位置でファイバコリメータ4
を固定する(ST7)。次に、ファイバコリメータ4と
直交軸上に位置するように第2の光半導体コリメータ2
1を本体1に仮固定する(ST8)。この状態で、光半
導体22を発光させ、第2の光半導体コリメータ21を
X−Z平面上で微動させ、ファイバ15に結合する光量
が最大になる位置で第2の光半導体コリメータ21を固
定する(ST9)。なお、波長変更する場合にも、上述
した手順に従って行う。
Next, in the case of a two-wavelength module, FIG.
Alternatively, the optical semiconductor module of FIG. 4 is used. When the optical semiconductor module shown in FIG. 4 is used, unnecessary third optical semiconductor collimator 33 and optical coupling unit 34 are attached to main body 1.
, And a cover member is attached instead of the optical semiconductor collimator 33. First, a multiplexer is fixed to the main body 1 as the optical coupling section 32 (ST4), and then the first optical semiconductor collimator 3 is fixed to the main body 1 (ST5). Subsequently, the fiber collimator 4 is temporarily fixed to the main body 1 so as to be located on the same optical axis as the semiconductor collimator 3 (ST).
6). In this state, the optical semiconductor 7 is caused to emit light, the fiber collimator 4 is slightly moved on the XY plane, and the fiber collimator 4 is moved to a position where the amount of light coupled to the fiber 15 is maximized.
Is fixed (ST7). Next, the second optical semiconductor collimator 2 is positioned so as to be on the orthogonal axis to the fiber collimator 4.
1 is temporarily fixed to the main body 1 (ST8). In this state, the optical semiconductor 22 emits light, the second optical semiconductor collimator 21 is slightly moved on the XZ plane, and the second optical semiconductor collimator 21 is fixed at a position where the amount of light coupled to the fiber 15 is maximized. (ST9). Note that the wavelength is also changed according to the above-described procedure.

【0049】次に、波長追加を行う場合には、図2又は
図4の光半導体モジュールが使用される。なお、図4の
光半導体モジュールを使用する場合には、不要な第3の
光半導体コリメータ33及び光結合部34を本体1から
取り外し、光半導体コリメータ33の代わりにカバー部
材を取り付けておく。まず、1波長モジュールの状態
で、光結合部32として合波器を本体1に固定する(S
T10)。この状態で、合波器の板厚分ずれる光の再調
整を行うために、光半導体7を発光させ、ファイバコリ
メータ4をX−Y平面上で微動させ、ファイバ15に結
合する光量が最大になる位置でファイバコリメータ4を
固定する(ST11)。なお、この作業は、合波器が最
初から本体1に取り付けられていれば必要ない。以下、
上記の2波長モジュールの光軸調整におけるST8以降
の手順に従う。
Next, when adding a wavelength, the optical semiconductor module shown in FIG. 2 or 4 is used. When the optical semiconductor module of FIG. 4 is used, the unnecessary third optical semiconductor collimator 33 and the optical coupling unit 34 are removed from the main body 1 and a cover member is attached instead of the optical semiconductor collimator 33. First, in the state of a one-wavelength module, a multiplexer is fixed to the main body 1 as the optical coupling unit 32 (S
T10). In this state, in order to readjust light deviated by the thickness of the multiplexer, the optical semiconductor 7 is caused to emit light, the fiber collimator 4 is slightly moved on the XY plane, and the amount of light coupled to the fiber 15 is maximized. The fiber collimator 4 is fixed at a certain position (ST11). This operation is not necessary if the multiplexer is attached to the main body 1 from the beginning. Less than,
The procedure following ST8 in the optical axis adjustment of the two-wavelength module is followed.

【0050】さらに、上記の波長追加を行った上で送受
信モジュールを構成する場合には、図4の光半導体モジ
ュールが使用され、本体1からカバー部材を取り外し、
光結合部34として合分波器を本体1に固定する(ST
12)。この状態で、合分波器の板厚分ずれる光の再調
整を行うために、光半導体7を発光させ、ファイバコリ
メータ4をX−Y平面上で微動させ、ファイバ15に結
合する光量が最大になる位置でファイバコリメータ4を
固定する(ST13)。同様に、光半導体コリメータ2
6も調整する。なお、この作業は、合分波器が最初から
本体1に取り付けられていれば必要ない。次に、ファイ
バコリメータ4と直交軸上に位置するように第3の光半
導体コリメータ33を本体1に仮固定する(ST1
4)。この状態で、光半導体22を発光させ、第3の光
半導体コリメータ33をX−Z平面上で微動させ、ファ
イバ15に結合する光量が最大になる位置で第3の光半
導体コリメータ33を固定する(ST15)。
Further, when the transmission / reception module is configured after the above-described wavelength addition, the optical semiconductor module of FIG. 4 is used, and the cover member is removed from the main body 1.
A multiplexer / demultiplexer is fixed to the main body 1 as the optical coupling unit 34 (ST
12). In this state, in order to readjust light deviated by the thickness of the multiplexer / demultiplexer, the optical semiconductor 7 is caused to emit light, the fiber collimator 4 is slightly moved on the XY plane, and the amount of light coupled to the fiber 15 is maximized. The fiber collimator 4 is fixed at the position (ST13). Similarly, the optical semiconductor collimator 2
Adjust 6 as well. This operation is not necessary if the multiplexer / demultiplexer is attached to the main body 1 from the beginning. Next, the third optical semiconductor collimator 33 is temporarily fixed to the main body 1 so as to be located on the axis orthogonal to the fiber collimator 4 (ST1).
4). In this state, the optical semiconductor 22 is caused to emit light, the third optical semiconductor collimator 33 is slightly moved on the XZ plane, and the third optical semiconductor collimator 33 is fixed at a position where the amount of light coupled to the fiber 15 is maximized. (ST15).

【0051】従って、上述した各実施例によれば、光半
導体コリメータ3,21,33及びファイバコリメータ
4がそれぞれモジュール化されて本体1に着脱可能な構
成なので、ファイバが折れたり、LDに発光異常が生じ
たりしても、光半導体やファイバの交換が容易に行え、
交換部品の無駄を防ぐことができる。
Therefore, according to each of the above-described embodiments, the optical semiconductor collimators 3, 21, and 33 and the fiber collimator 4 are each configured as a module and can be attached to and detached from the main body 1, so that the fiber is broken or the LD has an abnormal light emission. Can be easily replaced with optical semiconductors and fibers.
Spare replacement parts can be prevented.

【0052】そして、第1実施例、第4実施例及び第5
実施例の光半導体モジュールによれば、本体1とファイ
バコリメータ4の形状が同一でも、光半導体7をLDに
すれば、送信モジュールとなり、光半導体7をPDやA
PDにすれば、受信モジュールに構成することができ
る。
The first embodiment, the fourth embodiment and the fifth embodiment
According to the optical semiconductor module of the embodiment, even if the main body 1 and the fiber collimator 4 have the same shape, if the optical semiconductor 7 is an LD, it becomes a transmission module, and the optical semiconductor 7 is a PD or A.
If it is a PD, it can be configured as a receiving module.

【0053】また、第2実施例及び第3実施例の光半導
体モジュールによれば、本体1に第2の光半導体コリメ
ータ21と光結合部32を取り付けることにより、1波
長の光半導体モジュールから容易に2波長の光半導体モ
ジュールに変更することができる。また、第1及び第2
の光半導体コリメータ3,21の光半導体7,22とし
て、LDとPD(又はAPD)を各1個使用し、光結合
部32として合波器の代えて合分波器を用いれば、送受
信モジュールを簡単に構成することができ、光パルス試
験器に代表される各種測定器や通信機器など種々の用途
に対応することができる。
Further, according to the optical semiconductor modules of the second and third embodiments, by attaching the second optical semiconductor collimator 21 and the optical coupling section 32 to the main body 1, the optical semiconductor module of one wavelength can be easily manufactured. It can be changed to an optical semiconductor module having two wavelengths. In addition, the first and second
If one LD and one PD (or APD) are used as the optical semiconductors 7 and 22 of the optical semiconductor collimators 3 and 21, respectively, and a multiplexer / demultiplexer is used as the optical coupling unit 32 instead of the multiplexer, the transmission / reception module can be used. Can easily be configured, and can be applied to various uses such as various measuring instruments typified by an optical pulse tester and communication equipment.

【0054】さらに、第4実施例及び第5実施例の光半
導体モジュールによれば、光半導体コリメータ3におい
て、本体1に取り付けられたホルダ10に対して光半導
体7のみを着脱できるので、ホルダ10が本体1に取り
付けられている状態でも、光半導体7のみの交換によ
り、発光素子又は受光素子の選択や波長の変更を速やか
に行うことができる。
Further, according to the optical semiconductor modules of the fourth and fifth embodiments, in the optical semiconductor collimator 3, only the optical semiconductor 7 can be attached to and detached from the holder 10 attached to the main body 1. Even when is mounted on the main body 1, the selection of the light emitting element or the light receiving element and the change of the wavelength can be performed quickly by replacing only the optical semiconductor 7.

【0055】ところで、上述した実施例では、1つのフ
ァイバコリメータ4と最大3つの光半導体コリメータ
3,21,33とが本体1に対して着脱可能に設けられ
る構成について説明したが、3つに限らず複数の光半導
体コリメータが着脱される構成としてもよい。この場
合、ファイバコリメータ4と同一光軸上の本体1の空胴
穴6に1つの光半導体コリメータを設け、空胴穴6を残
りの光半導体コリメータの数だけ分岐させて本体1の壁
面より貫通させ、各空胴穴6の分岐部分に合波器又は合
分波器が着脱可能に取付けられる。
By the way, in the above-described embodiment, a configuration in which one fiber collimator 4 and up to three optical semiconductor collimators 3, 21, and 33 are provided detachably with respect to the main body 1 has been described. Alternatively, a configuration in which a plurality of optical semiconductor collimators are attached and detached may be adopted. In this case, one optical semiconductor collimator is provided in the cavity 6 of the main body 1 on the same optical axis as the fiber collimator 4, and the cavity 6 is branched by the number of the remaining optical semiconductor collimators and penetrated from the wall surface of the main body 1. A multiplexer or a multiplexer / demultiplexer is detachably attached to the branch portion of each cavity 6.

【0056】また、上述した各実施例では、ファイバコ
リメータ4が本体1に対してX−Y平面で微動可能に着
脱される構成としたが、ファイバコリメータ4は、単に
本体1に対して着脱可能な構成とし、ファイバコリメー
タ4と同一光軸上で本体1に着脱される光半導体コリメ
ータ3をX−Y平面で微動可能な構成としてもよい。こ
の場合の光軸調整時には、ファイバコリメータ4を本体
1に固定し、その後、光半導体コリメータ3を本体1に
仮固定して光半導体7を発光させ、光半導体コリメータ
3を微動させてファイバ15に結合する光量が最大にな
る位置で光半導体コリメータ3を固定する。
Further, in each of the above-described embodiments, the fiber collimator 4 is configured to be detachably attached to the main body 1 so as to be finely movable in the XY plane. The optical semiconductor collimator 3 attached to and detached from the main body 1 on the same optical axis as the fiber collimator 4 may be configured to be finely movable on the XY plane. At the time of optical axis adjustment in this case, the fiber collimator 4 is fixed to the main body 1, and then the optical semiconductor collimator 3 is temporarily fixed to the main body 1 to cause the optical semiconductor 7 to emit light. The optical semiconductor collimator 3 is fixed at a position where the amount of light to be coupled is maximized.

【0057】[0057]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項1
乃至3の光半導体モジュールによれば、光半導体コリメ
ータ及びファイバコリメータがそれぞれモジュール化さ
れて本体に着脱可能な構成なので、ファイバが折れた
り、発光素子や受光素子に異常が生じたりしても、光半
導体やファイバの交換が容易に行え、交換部品の無駄を
防ぐことができる。また、本体とファイバコリメータの
形状が同一でも、光半導体を発光素子にすれば、送信モ
ジュールとなり、光半導体を受光素子にすれば、受信モ
ジュールに構成することができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention,
According to the optical semiconductor modules of Nos. 1 to 3, since the optical semiconductor collimator and the fiber collimator are each modularized and can be attached to and detached from the main body, even if the fiber is broken or the light emitting element or the light receiving element becomes abnormal, the light Semiconductors and fibers can be easily replaced, and waste of replacement parts can be prevented. Further, even if the main body and the fiber collimator have the same shape, the optical semiconductor can be configured as a transmitting module if the optical semiconductor is a light emitting element, and the receiving module can be configured if the optical semiconductor is a light receiving element.

【0058】請求項2の光半導体モジュールによれば、
1波長の光半導体モジュールから容易に2波長の光半導
体モジュールに変更することができる。また、光半導体
コリメータの光半導体として、発光素子と受光素子を各
1個使用し、光結合部として合分波器を用いれば、送受
信モジュールを簡単に構成することができ、光パルス試
験器に代表される各種測定器や通信機器など種々の用途
に対応することができる。
According to the optical semiconductor module of the second aspect,
The optical semiconductor module having one wavelength can be easily changed to the optical semiconductor module having two wavelengths. Also, if one light emitting element and one light receiving element are used as the optical semiconductor of the optical semiconductor collimator, and a multiplexer / demultiplexer is used as the optical coupling part, the transmission / reception module can be easily configured, and the optical pulse tester can be used. It can be used for various applications such as various measuring instruments and communication devices.

【0059】請求項3の光半導体モジュールによれば、
本体に取り付けられたホルダに対して光半導体のみを着
脱できるので、光半導体のみの交換により、発光素子又
は受光素子の選択や波長の変更を速やかに行うことがで
きる。
According to the optical semiconductor module of the third aspect,
Since only the optical semiconductor can be attached to and detached from the holder attached to the main body, the selection of the light emitting element or the light receiving element and the change of the wavelength can be quickly performed by exchanging only the optical semiconductor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a)本発明の光半導体モジュールの第1実施
例を示す一部断面の正面図 (b)同モジュールの右側面図 (c)同モジュールの左側面図
FIG. 1 (a) is a front view of a partial cross section showing a first embodiment of an optical semiconductor module of the present invention. (B) Right side view of the module. (C) Left side view of the module.

【図2】(a)光半導体モジュールの第2実施例を示す
一部断面の正面図 (b)同モジュールの右側面図 (c)同モジュールの左側面図
2A is a front view of a partial cross section showing a second embodiment of the optical semiconductor module, FIG. 2B is a right side view of the module, and FIG. 2C is a left side view of the module.

【図3】第2実施例の光半導体モジュールが適用される
光パルス試験器の一構成例を示すブロック図
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration example of an optical pulse tester to which the optical semiconductor module of the second embodiment is applied.

【図4】光半導体モジュールの第3実施例を示す平断面
FIG. 4 is a plan sectional view showing a third embodiment of the optical semiconductor module.

【図5】第3実施例の光半導体モジュールが適用される
光パルス試験器の一構成例を示すブロック図
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration example of an optical pulse tester to which the optical semiconductor module of the third embodiment is applied.

【図6】(a)光半導体モジュールの第4実施例を示す
一部断面の正面図 (b)同モジュールの右側面図 (c)同モジュールの左側面図
FIG. 6 (a) is a front view of a partial section showing an optical semiconductor module according to a fourth embodiment. (B) Right side view of the module. (C) Left side view of the module.

【図7】本発明による光半導体モジュールの第5実施例
を示す一部断面の正面図
FIG. 7 is a partial cross-sectional front view showing a fifth embodiment of the optical semiconductor module according to the present invention.

【図8】従来の光半導体モジュールの構成を示す図FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a conventional optical semiconductor module.

【図9】従来の光半導体モジュールの構成を示す図FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a conventional optical semiconductor module.

【図10】従来の光半導体モジュールの構成を示す図FIG. 10 is a diagram showing a configuration of a conventional optical semiconductor module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…本体、2…側壁面、3,21,33…光半導体コリ
メータ、4…ファイバコリメータ、7,22…光半導
体、10,26…ホルダ、26a,14a,18a…取
付面、11,25…レンズ、20…底壁面、32,34
…光結合部。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Body, 2 ... Side wall surface, 3, 21, 33 ... Optical semiconductor collimator, 4 ... Fiber collimator, 7, 22 ... Optical semiconductor, 10, 26 ... Holder, 26a, 14a, 18a ... Mounting surface, 11, 25 ... Lens, 20 ... bottom wall surface, 32, 34
... optical coupling part.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−235847(JP,A) 特開 平3−209206(JP,A) 特開 平3−145606(JP,A) 特開 平1−187509(JP,A) 実開 昭60−65705(JP,U) 実開 昭59−112209(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/42 G02B 6/32 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-6-235847 (JP, A) JP-A-3-209206 (JP, A) JP-A-3-145606 (JP, A) JP-A-1- 187509 (JP, A) Japanese Utility Model Showa 60-65705 (JP, U) Japanese Utility Model Showa 59-112209 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 6/42 G02B 6 / 32

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 レンズ(11)と、該レンズの焦点位置
に発光面又は受光面が位置するように配置された発光素
子又は受光素子からなる光半導体(7)とが取付面(
4a)を有するホルダ(10)に設けられた光半導体コ
リメータ(3)と、 レンズ(16)と、該レンズの焦点位置にファイバのコ
ア中心の端面が位置するように配置されたファイバ(1
5)とが取付面(18a)を有するホルダ(18)に設
けられたファイバコリメータ(4)と、 対向する壁面(2a,2b)間に貫通穴(6)が形成さ
れ、前記光半導体と前記ファイバとの間で光が結合する
ように、前記光半導体コリメータ及び前記ファイバコリ
メータがそれぞれの取付面を介して前記貫通穴を望む対
向する壁面に着脱可能に取付けられる本体(1)とを備
え、 前記光半導体コリメータ又は前記ファイバコリメータ
は、前記本体に対してその光軸と直交する平面で遊挿穴
によって微動可能に取付けられることを特徴とする光半
導体モジュール。
A lens (11) and an optical semiconductor (7) composed of a light-emitting element or a light-receiving element arranged such that a light-emitting surface or a light-receiving surface is located at a focal position of the lens, are provided on a mounting surface ( 1).
4a) an optical semiconductor collimator (3) provided on a holder (10); a lens (16); and a fiber (1) arranged such that the end face of the core of the fiber is located at the focal position of the lens.
5) is provided on a holder (18) having a mounting surface (18a), and a through hole (6) is formed between opposing wall surfaces (2a, 2b). A body (1) in which the optical semiconductor collimator and the fiber collimator are detachably mounted on opposing wall surfaces that desire the through hole via respective mounting surfaces so that light is coupled between the optical semiconductor and the fiber; The optical semiconductor collimator or the fiber collimator has a play insertion hole in a plane orthogonal to the optical axis with respect to the main body.
The optical semiconductor module, characterized in that mounted for fine movement by.
【請求項2】 前記貫通穴(6)は、その中途位置より
直交して他の壁面(20)に分岐して貫通しており、 レンズ(25)と、該レンズの焦点位置に発光面又は受
光面が位置するように配置された発光素子又は受光素子
からなる光半導体(22)とが取付面(26a)を有す
るホルダ(26)に設けられ、前記分岐された貫通穴を
望む他の壁面に前記取付面を介して着脱可能で、かつそ
の光軸と直交する平面で遊挿穴によって微動可能に取付
けられる光半導体コリメータ(21,33)と、 該光半導体コリメータと前記ファイバコリメータ(4)
とを結ぶ前記貫通穴の分岐部分に設けられた合波器又は
合分波器からなる光結合部(32,34)とを備えた請
求項1記載の光半導体モジュール。
2. The through-hole (6) is orthogonal to the middle of the through-hole (6) and branches through to another wall (20). The lens (25) and a light-emitting surface or a light-emitting surface at the focal position of the lens (2). A light-emitting element or an optical semiconductor (22) comprising a light-receiving element arranged so that a light-receiving surface is located is provided on a holder (26) having a mounting surface ( 26a ), and another wall surface overlooking the branched through hole is provided. An optical semiconductor collimator (21, 33) detachably mounted on the mounting surface through the mounting surface and finely movable by a play insertion hole in a plane perpendicular to the optical axis thereof; and the optical semiconductor collimator and the fiber collimator (4).
2. The optical semiconductor module according to claim 1, further comprising: an optical coupling section (32, 34) provided at a branch portion of the through hole connecting the first and second through holes.
【請求項3】 前記光半導体(7,22)は、前記ホル
ダ(10,26)に対して着脱可能に設けられた請求項
1又は2記載の光半導体モジュール。
3. The optical semiconductor module according to claim 1, wherein said optical semiconductor (7, 22) is provided detachably with respect to said holder (10, 26).
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