JP3015541B2 - 注入同期型qスイッチレーザ装置 - Google Patents

注入同期型qスイッチレーザ装置

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JP3015541B2 JP25155391A JP25155391A JP3015541B2 JP 3015541 B2 JP3015541 B2 JP 3015541B2 JP 25155391 A JP25155391 A JP 25155391A JP 25155391 A JP25155391 A JP 25155391A JP 3015541 B2 JP3015541 B2 JP 3015541B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、比較的小出力で高品
質のレーザ装置から射出されるレーザ光を種光として比
較的大出力のレーザ装置に注入して発振の同期をとるこ
とにより高品質で比較的大出力のレーザ光を得るように
した注入同期型レーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】レーザプラズマ発生や高調波光発生に用
いる高出力パルスレーザは、横モード、出力エネルギ
ー、出力波形及び発振周波数の各安定性が要求されるほ
か、高効率で小型であることも要請される。このような
要求をある程度満たすことが可能なレーザ装置として、
注入同期(Injection Seeding )型Qスイッチレーザ装
置が提案されている(文献;IEEE JOURNAL OF QUANTUM
ELECTRONICS. VOL.26.NO.1.JANUARY 1990 pp149-157 参
照)。
【0003】図3は、上記文献に開示された注入同期型
Qスイッチレーザ装置の構成を示すものである。この装
置は、要するに、Qスイッチレーザ装置100に、モー
ドロックレーザ装置(MODE-ROCKED OSCILLATOR)200
から射出された種光L0 を、光アイソレータ300及び
ビームスプリッタ400を介して注入し、この種光L0
によってQスイッチレーザ装置100の発振の同期をと
ることにより、Qスイッチレーザ装置100から出力さ
れる高出力のレーザ光L1 が種光L0 の性質を残した高
品質なレーザ光となるようにしたものである。
【0004】ここで、用いられているモードロックレー
ザ装置200は、内蔵されるNd:ガラスレーザ媒体を
連続発振の色素レーザで励起して、最短パルス幅5.8
ps、最大出力13mWのモードロックパルス(=種光
0 )を繰り返し周波数174MHzで連続的に発生さ
せるものである。
【0005】また、Qスイッチレーザ装置100は、レ
ーザ共振器を構成する全反射ミラー102と出力ミラー
103との間に、Nd:ガラススラブレーザ媒体10
1、ポーラライザー105及びQスイッチ素子104を
配置したものである。Nd:ガラススラブレーザ媒体1
01はフラッシュランプ106によって励起される。
【0006】このQスイッチレーザ装置100において
は、フラッシュランプ106によって励起されているレ
ーザ媒体101の利得が最大になるまではQスイッチ素
子104によって発振しない状態に保たれる。そして、
レーザ媒体101の利得が最大になったところでQスイ
ッチ素子104が発振する状態に切り替えられる。そう
すると、通常は、自然放出光からレーザ発振に移行する
のに対し、上述のように、この場合には、ビームスプリ
ッタ400及び出力ミラー103を介して種光L0 が注
入されているために、この種光L0 が基になってQスイ
ッチレーザの発振が行われて、出力レーザ光L1 が得ら
れる。この出力レーザ光L1 は種光の性質をそのまま受
け継いで種光L0 と同様のパルスの性質を有していると
同時に種光に比較して著しく高いピーク出力を有する。
なお、出力レーザ光L1 はビームスプリッタ400を通
して出力されるので、出力レーザ光の一部はビームスプ
リッタ400を介してモードロックレーザ装置200に
向かって戻ろうとするが、光アイソレータ300によっ
て遮断される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の従来
の注入同期型Qスイッチレーザ装置では、モードロック
レーザ装置200からの種光L0 をビームスプリッタ4
00と出力ミラー103を通してQスイッチレーザ装置
内に注入するようにしている(なお、出力ミラー103
を通す代わりに、全反射ミラー102を通して注入する
場合もある)。このため、モードロックレーザ装置20
0から射出された種光L0 はこれらビームスプリッタ4
00と出力ミラー103で減衰された後に注入される。
それゆえ、モードロックレーザ装置200としてはその
減衰分を考慮して比較的高い出力の装置が必要となる。
この減衰を小さくするために、ビームスプリッタ400
として種光がより多く注入されるような特性のものを用
いると、今度はQスイッチレーザ装置から発振された出
力レーザ光L1 がより多くモードロックレーザ装置20
0に向かうことになり、その一部は光アイソレータ30
0通過してモードロックレーザ装置200に入りその発
振を乱すおそれがでてくる。
【0008】このように、従来の注入同期型Qスイッチ
レーザ装置は、比較的高い出力のモードロックレーザ装
置が必要になるとともに、Qスイッチレーザ装置からの
出力レーザ光をビームスプリッタを通して取り出すもの
であるため、これによる減衰を受けるので、発振レーザ
光の出力を必ずしも効率良く利用することができないと
いう問題点があった。
【0009】この発明は、上述の背景のもとでなされた
ものであり、種光を効率良くQスイッチレーザ装置に注
入でき、また、Qスイッチレーザ装置から射出された出
力レーザ光を効率良く取り出すことができるとともに、
構成をより単純化できる注入同期型Qスイッチレーザ装
置を提供することを目的としたものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明は、(1) 種光を発生する種光発生用レー
ザ装置と、この種光発生用レーザ装置から射出された種
光の光路上に設けられており、所定のしきい値以下の強
度の光は透過するがこのしきい値を越える強度の光が入
射したときはこれを反射する性質を有する誘導ブリルア
ン散乱媒質と、この誘導ブリルアン散乱媒質と出力ミラ
ーとで構成されるレーザ共振器内に設けられたレーザ媒
体と、このレーザ媒体を励起する励起光源とを有し、前
記励起光源でレーザ媒体を励起した状態で、前記種光発
生用レーザ装置から射出された種光を前記誘導ブリルア
ン散乱媒質を通じて前記レーザ共振器内に注入し、前記
レーザ媒体を通過させることによって増幅して前記誘導
ブリルアン散乱媒質のしきい値を越える強度にすること
によって前記共振器内に発振を生じさせて出力レーザ光
を得るようにした構成とした。
【0011】また、この構成1の態様として、(2)
構成1の注入同期型Qスイッチレーザ装置であって、前
記レーザ共振器を構成する出力ミラーの代わりに全反射
ミラーを用いて該全反射ミラーと前記誘導ブリルアン散
乱媒質とでレーザ共振器を構成するようにし、前記レー
ザ媒体と全反射ミラーとの間に通過する光の偏光面を瞬
時に変えるポッケルスセルを設け、このポッケルスセル
と前記レーザ媒体との間に、所定の偏光面の光は透過す
るが他の所定の偏光面の光は反射するポーラライザーを
設け、前記レーザ共振器間で共振レーザ光が生じたとき
に前記ポッケルスセルによって前記共振レーザ光の偏光
面を制御することにより該ポッケルスセルを通過した発
振レーザ光を前記ポーラライザーで反射させて外部に取
り出すようにしたことを特徴とする構成とした。
【0012】
【作用】上述の構成1によれば、レーザ媒体を励起光源
で励起することによって共振器内で生じたレーザ光、あ
るいは、共振器内に注入された種光が誘導ブリルアン散
乱媒質を通過する際にこの誘導ブリルアン散乱媒質のし
きい値を越えたとき、この誘導ブリルアン散乱媒質は全
反射鏡として作用することになり、その時点でQスイッ
チ発振するので、これを取り出すことにより出力レーザ
光が得られる。これによれば、誘導ブリルアン散乱媒質
は、しきい値を越えない種光をほとんど減衰させること
なく透過するから、従来の場合ように、種光をレーザ共
振器内に注入する際に種光がビームスプリッタや出力ミ
ラー等で減衰されるようなことがない。したがって、種
光発生用レーザ装置として比較的出力の小さいものを用
いることができる。また、誘導ブリルアン散乱媒質はQ
スイッチとしての機能とレーザ共振器の全反射鏡として
の機能の双方を兼ねるので、従来は必要であった高価な
Qスイッチ素子やポーラライザー等が不要になる。
【0013】また、構成2によれば、Qスイッチ発振が
最大になったところでポッケルスセルを制御してポーラ
ライザーを通じて出力レーザ光を外部に取り出すことが
でき、それまでの間に、レーザ共振器内においてレーザ
光のエネルギーロスがほとんどないから、ピークパワー
の高い出力レーザ光を得ることができる。
【0014】
【実施例】第1実施例 図1はこの発明の第1実施例にかかる注入同期型Qスイ
ッチレーザ装置の構成を示す図である。以下、図1を参
照にしながらこの発明の第1実施例を詳細に説明する。
【0015】図1において、符号1はレーザ媒体、符号
2はモードロックレーザ装置、符号3は光アイソレー
タ、符号4は誘導ブリルアン散乱媒質を収納したSBS
セル、符号5は出力ミラーである。レーザ媒体1、光ア
イソレータ3、誘導ブリルアンSBSセル4及び出力ミ
ラー5は、モードロックレーザ装置2から射出される種
光L0 の光路上に配置される。
【0016】レーザ媒体1は、Nd:YAG結晶(直径
4mm、長さ75mm)であり、フラッシュランプから
なる起光源1aによって励起エネルギー20Jで励起し
たとき小信号利得が約10倍となるものである。
【0017】モードロックレーザ装置2は、Nd:YA
G結晶(直径4mm、長さ75mm)をレーザ媒体とし
たフラッシュランプ励起のパルスレーザであり、パルス
幅約100psec のモードロックパルスを100MHz
間隔で発生する。このモードロックパルス列は、約10
0nsecsのパルス幅のガウス分布を形成し、そのエネル
ギーは約1mJであり、毎秒10回の繰り返し速度で発
生する。
【0018】SBSセル4は、ガラス容器内にCS2
TiCl4 、SnCl4 等の誘導ブリルアン散乱((St
imulated Brillouin Scattering )媒質を封入したもの
である。この誘導ブリルアン散乱媒質は、しきい値以下
の強度のレーザ光は透過するが、しきい値以上のレーザ
光が入射したときにはこれを反射する性質を有するもの
である。
【0019】このSBSセルの両側には集光レンズ4a
及び4bが配置され、さらに、SBSセル4とモードロ
ックレーザ装置2との間には、該モードロックレーザ装
置2への戻り光を遮断する光アイソレータが配置されて
いる。
【0020】上述の構成において、励起光源1aによっ
てレーザ媒体1を励起し、その利得が最大になった時点
に、モードロックレーザ装置2から種光L0を射出させ
る。モードロックレーザ装置2から射出された種光L0
は、光アイソレータ3を通り、集光レンズ4aによって
集光された後、SBSセル4を通過し、さらに集光レン
ズ4bで平行光にされた後、レーザ媒体1を通過して出
力ミラー5で反射され、再度レーザ媒体1を通過して集
光レンズ4bにより集光されてSBSセル4に再度入射
する。
【0021】ここで、SBSセル4に再度入射した種光
0 は、レーザ媒体1を2回通過する間に約10mJま
で光増幅されている。このため、この種光L0 のパルス
の先頭の部分がしきい値を越え、誘導ブリルアン散乱を
生じさせる。これにより、このSBSセルは反射鏡とし
て作用することになり、このSBSセル4と出力ミラー
5とで共振器長が約1.5mのレーザ共振器を構成する
ことになってレーザ発振が起こる。この発振によって、
出力ミラー5を通じてエネルギー100mJのQスイッ
チレーザ光L1 が得られる。
【0022】この実施例によれば、レーザ共振器内に種
光L0 を注入する段階では、この種光L0 の強度はSB
Sセル内の誘導ブリルアン散乱媒質のしきい値を越えな
いので減衰させることなく注入できる。このため、従来
の場合ように、種光をレーザ共振器内に注入する際に種
光がビームスプリッタや出力ミラー等で減衰されるよう
なことがない。したがって、種光発生用レーザ装置とし
て比較的出力の小さいものを用いることができる。ま
た、誘導ブリルアン散乱媒質はQスイッチとしての機能
とレーザ共振器の全反射鏡としての機能の双方を兼ねる
ので、従来は必要であった高価なQスイッチ素子やポー
ラライザー等が不要になる。
【0023】第2実施例 図2はこの発明の第2実施例にかかる注入同期型Qスイ
ッチレーザ装置の構成を示す図である。以下、図2を参
照にしながらこの発明の第2実施例を説明する。
【0024】図2に示されるように、この実施例は、上
述の第1実施例における出力ミラー5の代わりに全反射
ミラー6を用い、また、レーザ媒体1と全反射ミラー6
との間に、通過する光の偏光面を瞬時に変えるポッケル
スセル7を設けるとともに、このポッケルスセル7とレ
ーザ媒体1との間に、所定の偏光面の光は透過するが他
の所定の偏光面の光は反射するポーラライザー8を設け
たものである。
【0025】これにより、レーザ共振器をSBSセル4
と全反射ミラー6とで構成するようにし、このレーザ共
振器間で共振レーザ光が生じたときに前記ポッケルスセ
ル7によって共振レーザ光L1 の偏光面を制御すること
により該ポッケルスセル7を通過した発振レーザ光L1
をポーラライザー8で反射させて外部に取り出すように
した、いわゆるキャビティーダンプ方式を用いたもので
ある。なお、ポッケルスセル7は、駆動装置7aによっ
て制御され、該駆動装置7aによってポッケルスセル7
を往復した光の偏光面を90°回転させるλ/4電圧の
印加状態と、偏光面を変化させないゼロVの印加状態と
を所定のタイミングで瞬時に切り替えることができるよ
うになっている。すなわち、レーザ共振器内でのQスイ
ッチ発振が最大になった時点で、ポッケルスセル7への
印加電圧をλ/4電圧にして、出力レーザ光L1 を外部
に取り出すものである。
【0026】この実施例によれば、Qスイッチ発振が最
大になったところでポッケルスセル7を制御してポーラ
ライザー8通じて出力レーザ光L1 を外部に取り出すこ
とができ、それまでの間に、レーザ共振器内においてレ
ーザ光のエネルギーロスがほとんどないから、ピークパ
ワーの高い出力レーザ光を得ることができる。
【0027】なお、上述の各実施例では、種光発生用レ
ーザ装置として、パルス動作のモードロックレーザ装置
を用いたが、これは、上述の従来例と同じように、連続
動作のモードロックレーザ装置を用いてもよい。なお、
その場合には、レーザ共振器内での利得が誘導ブリルア
ン散乱のしきい値を越えるまで発振が抑えられ、しきい
値を越えたときにQスイッチ発振が起こるので、やはり
Qスイッチ素子等は必要ない。
【0028】さらには、種光発生用レーザ装置として、
必ずしもモードロックレーザ装置を用いる必要はなく、
その代わりに、単一横モードレーザ装置、単一縦モード
レーザ装置、周波数狭帯化レーザ、ダイオードレーザ、
色素レーザその他のレーザ装置を用いてもよい。
【0029】また、レーザ媒体としては、Nd:YAG
レーザのほかに、例えば、Nd:YLF、Nd:gla
ss、Nd:YVO4 、NYAB、NAB、Er:YA
G、Er:YLF、Er:glass等を用いてもよ
い。その場合には、用いるレーザ媒体に応じた種光発生
用レーザ装置を用いるべきことは勿論である。
【0030】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明にかかる注
入同期型Qスイッチレーザ装置は、種光を発生する種光
発生用レーザ装置と、この種光発生用レーザ装置から射
出された種光の光路上に設けた誘導ブリルアン散乱媒質
と、この誘導ブリルアン散乱媒質と出力ミラーとで構成
されるレーザ共振器内に設けられたレーザ媒体と、この
レーザ媒体を励起する励起光源とを有し、励起光源でレ
ーザ媒体を励起し、種光発生用レーザ装置から射出され
た種光をレーザ共振器内に注入して誘導ブリルアン散乱
媒質に該媒質のしきい値を越える強度の光が入射するよ
うにして発振させ、出力レーザ光を得るようにしたもの
で、これにより、種光を効率良くQスイッチレーザ装置
に注入でき、また、Qスイッチレーザ装置から射出され
た出力レーザ光を効率良く取り出すことができるととも
に、構成をより単純化できる装置を得ているものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例にかかる注入同期型Qス
イッチレーザ装置の構成を示す図である。
【図2】この発明の第2実施例にかかる注入同期型Qス
イッチレーザ装置の構成を示す図である。
【図3】従来例の構成を示す図である。
【符号の説明】
1…レーザ媒体、2…モードロックレーザ装置、3…光
アイソレータ、4…SBSセル、5…出力ミラー。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 種光を発生する種光発生用レーザ装置
    と、 この種光発生用レーザ装置から射出された種光の光路上
    に設けられており、所定のしきい値以下の強度の光は透
    過するがこのしきい値を越える強度の光が入射したとき
    はこれを反射する性質を有する誘導ブリルアン散乱媒質
    と、 この誘導ブリルアン散乱媒質と出力ミラーとで構成され
    るレーザ共振器内に設けられたレーザ媒体と、 このレーザ媒体を励起する励起光源とを有し、 前記励起光源でレーザ媒体を励起した状態で、前記種光
    発生用レーザ装置から射出された種光を前記誘導ブリル
    アン散乱媒質を通じて前記レーザ共振器内に注入し、前
    記レーザ媒体を通過させることによって増幅して前記誘
    導ブリルアン散乱媒質のしきい値を越える強度にするこ
    とによって前記共振器内に発振を生じさせて出力レーザ
    光を得るようにした注入同期型Qスイッチレーザ装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の注入同期型Qスイッチ
    レーザ装置において、 前記レーザ共振器を構成する出力ミラーの代わりに全反
    射ミラーを用いて該全反射ミラーと前記誘導ブリルアン
    散乱媒質とでレーザ共振器を構成するようにし、 前記レーザ媒体と全反射ミラーとの間に通過する光の偏
    光面を瞬時に変えるポッケルスセルを設け、 このポッケルスセルと前記レーザ媒体との間に、所定の
    偏光面の光は透過するが他の所定の偏光面の光は反射す
    るポーラライザーを設け、 前記レーザ共振器間で共振レーザ光が生じたときに前記
    ポッケルスセルによって前記共振レーザ光の偏光面を制
    御することにより該ポッケルスセルを通過した発振レー
    ザ光を前記ポーラライザーで反射させて外部に取り出す
    ようにしたことを特徴とする注入同期型Qスイッチレー
    ザ装置。
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