JP3012367B2 - Alkali-developing photosensitive resin composition - Google Patents

Alkali-developing photosensitive resin composition

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JP3012367B2
JP3012367B2 JP18063091A JP18063091A JP3012367B2 JP 3012367 B2 JP3012367 B2 JP 3012367B2 JP 18063091 A JP18063091 A JP 18063091A JP 18063091 A JP18063091 A JP 18063091A JP 3012367 B2 JP3012367 B2 JP 3012367B2
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meth
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photosensitive resin
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淳悦 日向
元喜 原田
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はプリント配線板などの作
製の際に好適に使用しうるアルカリ現像型感光性樹脂組
成物に関する。さらに詳しくは、エッチングレジスト、
めっきレジストなどとして好適に使用することができ、
回路形成後の段差基板への二次回路形成にも適し、基材
との密着性にすぐれたアルカリ現像型のドライフィルム
フォトレジストを形成しうる感光性樹脂組成物に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an alkali-developable photosensitive resin composition which can be suitably used for producing printed wiring boards and the like. More specifically, etching resist,
It can be suitably used as a plating resist, etc.
The present invention relates to a photosensitive resin composition which is suitable for forming a secondary circuit on a stepped substrate after circuit formation and is capable of forming an alkali development type dry film photoresist having excellent adhesion to a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般にプリント配線板などを作製する際
には、レジスト材料として感光性樹脂組成物が用いられ
ている。しかしながら、従来の感光性樹脂組成物により
形成されたレジストは、感光性エレメントを基板に積層
する際に、該基板の予熱温度が不充分で圧着ロールの温
度の作業適性温度幅が狭いときには、基板との密着性、
追従性が悪化し、形成されたプリント配線板にカケ、断
線、ショートなどが生じ、さらに製造効率、収率がいち
じるしく低下するという問題があった。
2. Description of the Related Art Generally, a photosensitive resin composition is used as a resist material when manufacturing a printed wiring board or the like. However, the resist formed by the conventional photosensitive resin composition, when laminating the photosensitive element to the substrate, when the preheating temperature of the substrate is insufficient and the workability temperature range of the temperature of the pressure roll is narrow, the substrate Adhesion with
There is a problem that the followability is deteriorated, the formed printed wiring board is chipped, disconnected, short-circuited, and the like, and the manufacturing efficiency and the yield are significantly reduced.

【0003】また、基材として、フィルム性透明電極板
を用いたばあいには、加熱したときに寸法変化が大きい
ため、マスクフィルムとの寸法誤差が大きくなるなどの
問題を生じることがあった。
[0003] When a film-shaped transparent electrode plate is used as a base material, there is a problem that a dimensional error from a mask film becomes large due to a large dimensional change when heated. .

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者ら
は、前記従来技術に鑑みて、基材の表面温度が常温付近
であり、圧着ロール温度の変動差が大きくても基材との
密着性および追従性にすぐれ、しかも温度変化による寸
法変化が大きい基材との密着性および追従性にもすぐれ
たレジストを形成しうる感光性樹脂組成物をうるべく鋭
意研究を重ねた結果、かかる感光性樹脂組成物を見出
し、本発明を完成するにいたった。
Therefore, in view of the above-mentioned prior art, the present inventors considered that the surface temperature of the base material was around room temperature, and even if the difference in the temperature of the pressure roll was large, the adhesion to the base material was large. As a result of intensive studies to obtain a photosensitive resin composition that is capable of forming a resist that is excellent in adhesiveness and followability, and that is excellent in adhesion and followability to a substrate that has a large dimensional change due to temperature change, as a result, The present inventors have found a conductive resin composition and completed the present invention.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、
(A)カルボキシル基含有熱可塑性樹脂100重量部、 (B)ポリエステルポリオールまたはポリエーテルポリ
オールに多価イソシアネートを反応させたのち、(メ
タ)アクリル系モノマーを反応させてなるウレタンアク
リルオリゴマー5〜40重量%、長鎖ポリアルキレング
リコールのモノ(メタ)アクリル酸エステル10〜60
重量%およびこれら以外のエチレン性不飽和単量体を含
むエチレン性不飽和化合物20〜60重量%の混合物
5〜60重量部、および (C)光重合開始剤0.01〜15重量部を含有してな
るアルカリ現像型感光性樹脂組成物に関する。
That is, the present invention provides:
(A) 100 parts by weight of a carboxyl group-containing thermoplastic resin, (B) 5 to 40 parts by weight of a urethane acrylic oligomer obtained by reacting a polyester polyol or a polyether polyol with a polyvalent isocyanate and then reacting a (meth) acrylic monomer. % , Mono (meth) acrylate of long-chain polyalkylene glycol 10 to 60
% And a mixture of ethylenically unsaturated compounds 20 to 60 wt% containing an ethylenically unsaturated monomer other than these 4
The present invention relates to an alkali-developable photosensitive resin composition containing 5 to 60 parts by weight and (C) 0.01 to 15 parts by weight of a photopolymerization initiator.

【0006】[0006]

【作用および実施例】本発明のアルカリ現像型感光性樹
脂組成物は、前記したように、(A) カルボキシル基含有
熱可塑性樹脂、(B) ポリエステルポリオールまたはポリ
エーテルポリオールに多価イソシアネートを反応させた
のち、(メタ)アクリル系モノマーを反応させてなるウ
レタンアクリルオリゴマー、長鎖ポリアルキレングリコ
ールのモノ(メタ)アクリル酸エステルおよびこれら以
外のエチレン性不飽和単量体を含むエチレン性不飽和化
合物、および(C) 光重合開始剤を含有したものである。
Action and Examples As described above, the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is obtained by reacting (A) a carboxyl group-containing thermoplastic resin, (B) a polyester polyol or a polyether polyol with a polyvalent isocyanate. After that, a urethane acrylic oligomer obtained by reacting a (meth) acrylic monomer, a mono (meth) acrylate of a long-chain polyalkylene glycol and an ethylenically unsaturated compound containing other ethylenically unsaturated monomers, And (C) a photopolymerization initiator.

【0007】本発明に用いられるカルボキシル基含有熱
可塑性樹脂は、カルボキシル基含有ビニル系単量体とそ
れ以外のビニル系単量体とを共重合させたものである。
The carboxyl group-containing thermoplastic resin used in the present invention is obtained by copolymerizing a carboxyl group-containing vinyl monomer and another vinyl monomer.

【0008】前記カルボキシル基含有ビニル系単量体の
具体例としては、たとえばアクリル酸、メタクリル酸、
ケイ皮酸、クロトン酸、ソルビン酸、イタコン酸、フマ
ル酸またはこれらの部分エステル、無水物などがあげら
れ、これらの単量体は通常単独でまたは2種以上を混合
して用いられる。
Specific examples of the carboxyl group-containing vinyl monomer include, for example, acrylic acid, methacrylic acid,
Examples thereof include cinnamic acid, crotonic acid, sorbic acid, itaconic acid, fumaric acid, and their partial esters and anhydrides. These monomers are usually used alone or in combination of two or more.

【0009】前記カルボキシル基含有ビニル系単量体以
外のビニル系単量体の具体例としては、たとえばメチル
(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、
プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリ
レート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2
−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ラウリル
(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、(メ
タ)アクリロニトリル、ジメチルアミノ(メタ)アクリ
レート、スチレン、ビニルトルエン、α−スチレン、N
−ビニルピロリドンなどがあげられ、これらは通常単独
でまたは2種以上を混合して用いられる。
Specific examples of the vinyl monomer other than the carboxyl group-containing vinyl monomer include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate,
Propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2
-Hydroxyethyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, (meth) acrylonitrile, dimethylamino (meth) acrylate, styrene, vinyltoluene, α-styrene, N
-Vinylpyrrolidone and the like, which are usually used alone or in combination of two or more.

【0010】なお、カルボキシル基含有熱可塑性樹脂中
におけるカルボキシル基含有単量体の比率は、15〜45重
量%、なかんづく17〜40重量%となるように調整され
る。かかるカルボキシル基含有単量体の比率が15重量%
未満であるばあいには、アルカリ水溶液による現像性が
低下するようになり、また45重量%をこえるばあいに
は、レジスト硬化物の耐化学薬品性が低下する傾向があ
る。
The proportion of the carboxyl group-containing monomer in the carboxyl group-containing thermoplastic resin is adjusted so as to be 15 to 45% by weight, preferably 17 to 40% by weight. The ratio of such a carboxyl group-containing monomer is 15% by weight.
If it is less than 45%, the developability with an aqueous alkali solution tends to decrease, and if it exceeds 45% by weight, the chemical resistance of the cured resist tends to decrease.

【0011】また、前記カルボキシル基含有熱可塑性樹
脂の重量平均分子量は、20000 〜300000、なかんづく40
000 〜150000であることが好ましい。かかる重量平均分
子量は、前記範囲よりも小さいばあいには、流動性が大
きくなりすぎてエッジフュージョンと呼ばれるドライフ
ィルムのロール端面よりのレジストのしみ出し現象が顕
著となり、また前記範囲よりも大きいばあいには、現像
性がわるくなる。
The carboxyl group-containing thermoplastic resin has a weight average molecular weight of 20,000 to 300,000, preferably 40,000.
It is preferably from 000 to 150,000. When the weight average molecular weight is smaller than the above range, the fluidity becomes too large, and the phenomenon of exudation of the resist from the roll end face of the dry film called edge fusion becomes remarkable. In the meantime, developability deteriorates.

【0012】本発明に用いられるエチレン性不飽和化合
物の混合物は、前記したように、ポリエステルポリオー
ルまたはポリエーテルポリオールに多価イソシアネート
を反応させたのち、(メタ)アクリル系モノマーを反応
させてえられたウレタンアクリルオリゴマー、長鎖ポリ
アルキレングリコールのモノ(メタ)アクリル酸エステ
ルおよびこれら以外のエチレン性不飽和単量体を含有し
たものである。
The mixture of the ethylenically unsaturated compounds used in the present invention is obtained by reacting a polyester polyol or a polyether polyol with a polyvalent isocyanate and then reacting a (meth) acrylic monomer as described above. Urethane acrylic oligomers, mono (meth) acrylates of long-chain polyalkylene glycols and other ethylenically unsaturated monomers.

【0013】前記ポリエステルポリオールは、ジカルボ
ン酸とジオールとの反応生成物で直鎖状のものである。
The polyester polyol is a linear product of a reaction product of a dicarboxylic acid and a diol.

【0014】前記ジカルボン酸の具体例としては、たと
えばコハク酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸
などの脂肪族二塩基酸、フタル酸、テトラヒドロ(無
水)フタル酸、ヘキサヒドロ(無水)フタル酸などがあ
げられ、これらのジカルボン酸は、通常単独でまたは2
種以上を混合して用いられる。
Specific examples of the dicarboxylic acid include aliphatic dibasic acids such as succinic acid, adipic acid, azelaic acid and sebacic acid, phthalic acid, tetrahydro (anhydride) phthalic acid, and hexahydro (anhydride) phthalic acid. These dicarboxylic acids are usually used alone or
A mixture of more than one species is used.

【0015】前記ジオールの具体例としては、たとえば
エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレ
ングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレ
ングリコール、ジプロピレングリコール、1,4−ブタ
ンジオール、1,6−ヘキサンジオール、ネオペンチル
グリコールなどがあげられ、これらのジオールは、通常
単独でまたは2種以上混合して用いられる。
Specific examples of the diol include, for example, ethylene glycol, propylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, dipropylene glycol, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol, neopentyl glycol and the like. These diols are usually used alone or in combination of two or more.

【0016】前記ジカルボン酸とジオールとの配合割合
は、えられるポリエステルポリオールの水酸基価が30〜
120 KOHmg/g、なかんづく50〜80KOHmg/gとな
るように調整されるのが好ましい。かかるポリエステル
ポリオールの水酸基価が、前記範囲よりも小さいばあい
には、光硬化性が不充分となり、また前記範囲をこえる
ばあいには、硬化レジストが硬くなりすぎる傾向があ
る。
The mixing ratio of the dicarboxylic acid and the diol is such that the resulting polyester polyol has a hydroxyl value of 30 to
It is preferably adjusted to be 120 KOH mg / g, especially 50 to 80 KOH mg / g. When the hydroxyl value of the polyester polyol is smaller than the above range, the photocurability becomes insufficient, and when the hydroxyl value exceeds the above range, the cured resist tends to be too hard.

【0017】前記ポリエステルポリオールの重量平均分
子量は、通常1000〜3000であることが好ましい。かかる
ポリエステルポリオールの重量平均分子量は、前記範囲
をこえるばあいには、光硬化の際に硬化が不充分となっ
てタックが残る傾向があり、また前記範囲よりも小さい
ばあいには、硬化させたあとのレジストが硬くて脆くな
る傾向がある。
The weight average molecular weight of the polyester polyol is usually preferably from 1,000 to 3,000. When the weight average molecular weight of such a polyester polyol exceeds the above range, the curing tends to be insufficient due to insufficient curing at the time of photocuring, and when it is smaller than the above range, the curing is performed. The resist after etching tends to be hard and brittle.

【0018】前記ポリエーテルポリオールの具体例とし
ては、たとえばポリエチレングリコール、ポリプロピレ
ングリコール、ポリテトラメチレングリコールなどがあ
げられる。
Specific examples of the polyether polyol include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol and the like.

【0019】前記ポリエーテルポリオールの水酸基価
は、30〜120 KOHmg/g、なかんづく50〜80KOHmg
/gであることが好ましく、また重量平均分子量は、通
常1000〜3000であることが好ましい。
The polyether polyol has a hydroxyl value of 30 to 120 KOH mg / g, preferably 50 to 80 KOH mg / g.
/ G, and the weight average molecular weight is usually preferably from 1,000 to 3,000.

【0020】前記ポリエステルポリオールまたはポリエ
ーテルポリオールと反応される多価イソシアネートは、
1分子中に2個のイソシアネート基を有する化合物であ
る。かかる多価イソシアネートの具体例としては、たと
えば2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリ
レンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネー
ト、p−キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタ
ン4,4´−ジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソ
シアネート、イソホロンジイソシアネート、リジンジイ
ソシアネート、これらの変性ジイソシアネート、水添化
ジイソシアネートなどがあげられ、これらは単独でまた
は2種以上を混合して用いられる。
The polyvalent isocyanate to be reacted with the polyester polyol or polyether polyol is as follows:
It is a compound having two isocyanate groups in one molecule. Specific examples of such polyvalent isocyanates include, for example, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, p-xylylene diisocyanate, diphenylmethane 4,4'-diisocyanate, hexamethylene diisocyanate , Isophorone diisocyanate, lysine diisocyanate, modified diisocyanates thereof, hydrogenated diisocyanates, and the like, and these can be used alone or in combination of two or more.

【0021】前記ポリエステルポリオールまたはポリエ
ーテルポリオールに前記多価イソシアネートを反応させ
る際の配合割合は、ポリエステルポリオールまたはポリ
エーテルポリオール/多価イソシアネート(モル比)が
1/2〜4/5、なかんづく2/3〜3/4となるよう
に調整することが好ましい。かかるモル比が前記範囲よ
りも小さいばあいには、光硬化時の架橋不良の原因とな
り、また前記範囲をこえるばあいには、硬度が充分なレ
ジスト像がえられなくなる。
The mixing ratio of the polyester polyol or polyether polyol to the polyvalent isocyanate when the polyester polyol or polyether polyol / polyisocyanate (molar ratio) is 1/2 to 4/5, preferably 2/4 It is preferable to adjust so as to be 3 to 3/4. When the molar ratio is smaller than the above range, it causes crosslinking failure at the time of photocuring. When the molar ratio exceeds the above range, a resist image having sufficient hardness cannot be obtained.

【0022】つぎに、前記ポリエステルポリオールまた
はポリエーテルポリオールと多価イソシアネートとの反
応物に、(メタ)アクリル系モノマーを反応させる。
Next, a (meth) acrylic monomer is reacted with a reaction product of the polyester polyol or polyether polyol with a polyvalent isocyanate.

【0023】前記反応物と(メタ)アクリル系モノマー
との配合割合は、通常前記反応物/(メタ)アクリル系
モノマー(モル比)が1/2.2 〜1/1.8 、なかんづく
1/2.1 〜1/2となるように調整される。かかるモル
比が前記範囲よりも小さいばあいには、硬化が不充分と
なり、また前記範囲をこえるばあいには、組成物溶液の
安定性が不良となる傾向がある。
The mixing ratio of the reactant and the (meth) acrylic monomer is usually such that the reactant / (meth) acrylic monomer (molar ratio) is 1 / 2.2 to 1 / 1.8, preferably 1/2. It is adjusted to be 2. If the molar ratio is smaller than the above range, the curing will be insufficient, and if it exceeds the range, the stability of the composition solution tends to be poor.

【0024】前記(メタ)アクリル系モノマーの具体例
としては、たとえば2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロ
キシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメ
タクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリロイルフォ
スフェート、アクリルアミド、メタクリルアミド、N−
メチロールアクリルアミド、N−メチロールメタクリル
アミド、N−メトキシメチルアクリルアミド、N−エト
キシメチルアクリルアミド、エチレングリコールモノア
クリレート、ジプロピレングリコールモノアクリレー
どがあげられ、これらの(メタ)アクリル系モノマー
は単独でまたは2種以上を混合して用いられる。
Specific examples of the (meth) acrylic monomer include, for example, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate , 2 -hydroxyethyl acryloyl phosphate, acrylamide , Methacrylamide, N-
Methylolacrylamide, N- methylolmethacrylamide, N- methoxymethyl acrylamide, N- ethoxymethyl acrylamide, ethylene glycol monoacrylate, dipropylene glycol monomethyl acrylated DOO
Do etc. are mentioned, these (meth) acrylic monomers may be used alone or in combination.

【0025】前記ウレタンアクリルオリゴマーの配合量
は、通常エチレン性不飽和化合物の混合物に対して、5
〜40重量%、なかんづく8〜35重量%であることが望ま
しい。かかる配合量が5重量%未満であるばあいには、
基材に対する流動性に乏しくなり、また40重量%をこえ
るばあいには、硬化が不充分となる傾向がある。
The amount of the urethane acrylic oligomer to be added is usually 5 to the mixture of ethylenically unsaturated compounds.
It is desirable that the content be 40 to 40% by weight, especially 8 to 35% by weight. If the amount is less than 5% by weight,
If the fluidity with respect to the substrate is poor, and if it exceeds 40% by weight, curing tends to be insufficient.

【0026】前記エチレン性の不飽和化合物に含有され
る長鎖ポリアルキレングリコールのモノ(メタ)アクリ
ル酸エステルの代表例としては、たとえば一般式
(I):
Representative examples of the mono (meth) acrylate of a long-chain polyalkylene glycol contained in the ethylenically unsaturated compound include, for example, a compound represented by the following general formula (I):

【0027】[0027]

【化1】 Embedded image

【0028】(式中、R1 は水素原子またはメチル基、
2は炭素数1〜5のアルキル基、mは5〜50の整数、
nは0〜20の整数を示す)で表わされるポリアルキレン
グリコールモノ(メタ)アクリレートなどがあげられ
る。前記一般式(I)において、mは10〜40の整数、n
は5〜10の整数であることがレジストの基材に対する追
従性および硬化物の柔軟性や安定性の点でとくに好まし
い。
(Wherein R 1 is a hydrogen atom or a methyl group,
R 2 is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, m is an integer of 5 to 50,
n represents an integer of 0 to 20), and polyalkylene glycol mono (meth) acrylate. In the general formula (I), m is an integer of 10 to 40, n
Is preferably an integer of 5 to 10 from the viewpoint of followability of the resist to the base material and flexibility and stability of the cured product.

【0029】前記長鎖ポリアルキレングリコールのモノ
(メタ)アクリル酸エステルの配合量は、通常エチレン
性不飽和化合物の混合物に対して10〜60重量%、なかん
づく15〜50重量%であることが望ましい。かかる配合量
が10重量%未満であるばあいには、基材に対する流動性
が乏しくなり、また60重量%をこえるばあいには、レジ
ストの硬度が不足するようになる。
The amount of the mono (meth) acrylate of the long-chain polyalkylene glycol is usually 10 to 60% by weight, preferably 15 to 50% by weight, based on the mixture of the ethylenically unsaturated compounds. . If the amount is less than 10% by weight, the fluidity to the substrate will be poor, and if it exceeds 60% by weight, the hardness of the resist will be insufficient.

【0030】なお、本発明においては、前記エチレン性
不飽和化合物の混合物中には、たとえばポリエチレング
リコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロ
パントリ(メタ)アクリレート、2,2´−ビス[4−
(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン、
ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリス
リトールテトラアクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジ(メタ)アクリレートなどの前記以外のエチレン性
不飽和単量体が含有される。かかるエチレン性不飽和単
量体の配合量は、通常前記エチレン性不飽和単量体の混
合物に対して20〜60重量%、なかんづく30〜50重量%で
あることが好ましい。かかる配合量は20重量%未満であ
るばあいには、硬化物の硬度が不充分となり、かつ柔軟
性が欠如するようになり、また60重量%をこえるばあい
には、エッジフュージョンがおこりやすくなるとともに
レジスト剥離時間が長くなる傾向がある。
In the present invention, the mixture of the ethylenically unsaturated compounds includes, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, 2,2'-bis [4-
(Methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane,
Other ethylenically unsaturated monomers such as pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, and polypropylene glycol di (meth) acrylate are contained. The amount of the ethylenically unsaturated monomer is usually 20 to 60% by weight, preferably 30 to 50% by weight, based on the mixture of the ethylenically unsaturated monomers. When the amount is less than 20% by weight, the hardness of the cured product becomes insufficient and the flexibility becomes inadequate. When the amount exceeds 60% by weight, edge fusion tends to occur. And the resist stripping time tends to be longer.

【0031】本発明に用いられる光重合開始剤として
は、たとえばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、
ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−ブチ
ルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、アントラキ
ノン、ナフトキノン、ベンゾフェノン、ビバロインエチ
ルエーテル、ベンゾインパーオキシド、ベンジルケタノ
ール、1,1−ジクロロアセトフェノン、パラ−t−ブ
チルジクロロアセトフェノン、2−クロロチオキサント
ン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、ミヒラーズケ
トン、2,2−ジクロロ−4−フェノキシアセトフェノ
ン、フェニルグリオキシレート、α−ヒドロキシイソブ
チルフェノン、ジベンゾスパロン、ベンゾフェノンアミ
ン系化合物(N−メチルジエタノールアミン、トリエチ
ルアミンなど)などがあげられる。該光重合開始剤の配
合量は、前記カルボキシル基含有熱可塑性樹脂100 重量
部に対して0.01〜15重量部の範囲から選ばれる。かかる
配合量が0.01重量部よりも少ないばあいには、感度が不
足し、また15重量部をこえるばあいには、硬化物の強度
および組成物の安定性が乏しくなる傾向がある。
Examples of the photopolymerization initiator used in the present invention include benzoin, benzoin methyl ether,
Benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether, benzoin phenyl ether, anthraquinone, naphthoquinone, benzophenone, bivaloin ethyl ether, benzoin peroxide, benzylketanol, 1,1-dichloroacetophenone, para-t-butyldichloroacetophenone, 2-chloro Thioxanthone, 2,2-diethoxyacetophenone, Michler's ketone, 2,2-dichloro-4-phenoxyacetophenone, phenylglyoxylate, α-hydroxyisobutylphenone, dibenzosparone, benzophenoneamine-based compounds (N-methyldiethanolamine, triethylamine, etc.) And so on. The compounding amount of the photopolymerization initiator is selected from the range of 0.01 to 15 parts by weight based on 100 parts by weight of the carboxyl group-containing thermoplastic resin. When the amount is less than 0.01 part by weight, the sensitivity is insufficient. When the amount exceeds 15 parts by weight, the strength of the cured product and the stability of the composition tend to be poor.

【0032】なお、本発明のアルカリ現像型感光性樹脂
組成物には、必要により、たとえば染料、顔料などの着
色剤、可塑性、安定化剤などを適宜配合してもよい。
The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention may optionally contain, for example, a coloring agent such as a dye or a pigment, a plasticity, a stabilizer, and the like.

【0033】かくしてえられる本発明のアルカリ現像型
感光性樹脂組成物は、たとえばエッチングレジスト、め
っきレジストなどのフォトレジストに好適に使用しうる
ものであり、基材の表面温度が常温であり、圧着ロール
温度の変動差が大きくても基材との密着性および追従性
にもすぐれたレジストを形成しうるものである。
The thus obtained alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used for photoresists such as etching resists and plating resists. Even if there is a large difference in roll temperature variation, a resist excellent in adhesion to a base material and followability can be formed.

【0034】つぎに、本発明のアルカリ現像型感光性樹
脂組成物を実施例に基づいてさらに詳細に説明するが、
本発明はかかる実施例のみに限定されるものではない。
Next, the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention will be described in more detail with reference to Examples.
The present invention is not limited to only such embodiments.

【0035】製造例(ウレタンアクリルオリゴマーの製
造) 2リットル容のフラスコにアジピン酸1.0 モル、エチレ
ングリコール0.56モルおよび1,4−ブタンジオール0.
56モルを仕込み、撹拌しながら温度230 ℃で17時間加
熱し、酸価 0.6KOHmg/gの時点で反応を止め、
冷却したところ水酸基価は55.6KOHmg/gであった。
このポリエステルポリオールの数平均分子量は2080であ
った(高速液体クロマトグラフィ、GPC充填カラムに
て測定)。
Production Example (Production of Urethane Acrylic Oligomer) A 2 liter flask is charged with 1.0 mol of adipic acid, 0.56 mol of ethylene glycol and 0.1 mol of 1,4-butanediol.
The mixture was heated to 230 ° C. for 17 hours while stirring, and the reaction was stopped at an acid value of 0.6 KOH mg / g.
Upon cooling, the hydroxyl value was 55.6 KOH mg / g.
The number average molecular weight of this polyester polyol was 2080 (measured by high performance liquid chromatography, GPC packed column).

【0036】つぎに、このポリエステルオール2モルに
対してイソンジイソシアネート3モルを入れ、温度
60〜90℃で撹拌し、残存イソシアネート基が1.8 重量%
の時点で生成したオリゴマー1モルに対して2−ヒドロ
キシエチルアクリレートを2.06モル、含まれる固形分量
に対してモノメチルエーテルハイドロキノンを0.04重量
%加え、50℃で11時間撹拌し、イソシアネート基が0.2
重量%残存している時点で反応を止めた。えられたウレ
タンアクリルオリゴマーの水酸基価は 3.3KOHmg/g
であった。
Next, put the isophorene b Nji isocyanate 3 moles with respect to the polyesterols 2 moles, temperatures
Stir at 60-90 ° C, 1.8% by weight of remaining isocyanate groups
2.06 mol of 2-hydroxyethyl acrylate and 0.04 wt% of monomethyl ether hydroquinone were added to 1 mol of the oligomer produced at the time of the above, and the mixture was stirred at 50 ° C. for 11 hours.
The reaction was stopped when the weight% remained. The hydroxyl value of the obtained urethane acrylic oligomer is 3.3 KOHmg / g
Met.

【0037】実施例1〜5および比較例1〜4 表1に示す組成となるように、(A) カルボキシル基含有
熱可塑性樹脂、(B) ポリエステルポリオールまたはポリ
エーテルポリオールに多価イソシアネートを反応させて
なるウレタンアクリルオリゴマー、長鎖ポリアルキレン
グリコールのモノ(メタ)アクリル酸エステルおよびこ
れら以外のエチレン性不飽和単量体を含むエチレン性不
飽和化合物の混合物、および(C) 光重合開始剤を、メチ
ルエチルケトン160 重量部および1−メトキシ−2−プ
ロパノール40重量部からなる溶剤に添加し、さらに助剤
としてロイコクリスタルバイオレット1重量部、トリブ
ロモメチルフェニルスルホン1重量部、マラカイトグリ
ーン0.1 重量部、2,2´−メチレンビス(4−メチル
−6−t−ブチル)フェノール0.5 重量部およびp−ジ
メチルアミノ安息香酸イソアミルエステル3重量部を添
加して感光性樹脂組成物をえた。
Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 4 A polyisocyanate was reacted with (A) a carboxyl group-containing thermoplastic resin and (B) a polyester polyol or a polyether polyol so as to have the compositions shown in Table 1. A mixture of a urethane acrylic oligomer, a mono (meth) acrylate of a long-chain polyalkylene glycol and an ethylenically unsaturated compound containing other ethylenically unsaturated monomers, and (C) a photopolymerization initiator, To a solvent consisting of 160 parts by weight of methyl ethyl ketone and 40 parts by weight of 1-methoxy-2-propanol, 1 part by weight of leuco crystal violet, 1 part by weight of tribromomethylphenylsulfone, 0.1 part by weight of malachite green, 2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butyl) phenol 0.5 It was added in an amount unit and p- dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, 3 parts by weight to give a photosensitive resin composition.

【0038】つぎに、前記組成物をポリエチレンテレフ
タレートフィルム(厚さ23μm)に乾燥後の膜厚が50μ
mとなるように塗布して乾燥させたのち、ポリエチレン
フィルム(厚さ35μm)を貼り合せて感光性エレメント
をつくった。
Then, the composition was dried on a polyethylene terephthalate film (thickness: 23 μm) to a thickness of 50 μm.
m and dried, and then laminated with a polyethylene film (thickness: 35 μm) to form a photosensitive element.

【0039】つぎに、えられた感光性エレメントからポ
リエチレンフィルムを剥しながら、感光層面が研磨、清
浄化された銅張積層板の銅面上にラミネートし、試験片
をえた。ラミネートは、基板温度20℃、積層温度70℃
(実施例2では50℃、比較例4では90℃)、圧力3kg/
cm2 、スピード3m/min の条件で行なった。
Next, while removing the polyethylene film from the obtained photosensitive element, the photosensitive layer was laminated on the copper surface of a copper-clad laminate whose surface was polished and cleaned to obtain a test piece. Laminate, substrate temperature 20 ℃, lamination temperature 70 ℃
(50 ° C. in Example 2, 90 ° C. in Comparative Example 4), pressure 3 kg /
The test was performed under the conditions of cm 2 and a speed of 3 m / min.

【0040】組成物の物性として30℃、70℃または90℃
における粘度を、また試験片の物性として、エッジフュ
ージョンおよび不良率を下記方法にしたがって調べた。
その結果を表1に示す。
The physical properties of the composition are 30 ° C., 70 ° C. or 90 ° C.
And the edge fusion and the defective rate were examined in accordance with the following methods.
Table 1 shows the results.

【0041】(イ)粘度 フローテスター法により測定する。(A) Viscosity Measured by a flow tester method.

【0042】(ロ)エッジフュージョン ロール状態(長さ 120m巻)で30℃、60%RH(相対湿
度)雰囲気中で保存し、ロール端面よりレジストがにじ
み出したときまでに要した日数を調べる。
(B) Edge fusion The roll was stored in a roll state (roll length: 120 m) in an atmosphere of 30 ° C. and 60% RH (relative humidity), and the number of days required for the resist to exude from the roll end face was examined.

【0043】(ハ)不良率 平均表面粗さ9.5 μm、銅厚35μmの基材およびライン
幅100 μm、ライン長100 mm(独立線1000本)のネガパ
ターンを用い、3KW超高圧水銀灯を用いて80mj/cm2
露光をし、露光後15分間放置したのち、ポリエチレンテ
レフタレートフィルムを剥して1%炭酸水素ナトリウム
水溶液(30℃、スプレー圧 1.5kg/cm2 )で45秒間現像
し、酸エッチングを行ない、レジストを剥して評価用基
板をえ、カケ、断線の発生率を求める。
(C) Defect rate Using a base material having an average surface roughness of 9.5 μm and a copper thickness of 35 μm and a negative pattern having a line width of 100 μm and a line length of 100 mm (1000 independent lines), using a 3 KW ultra-high pressure mercury lamp. After exposure at 80 mj / cm 2 , and after leaving for 15 minutes after exposure, the polyethylene terephthalate film was peeled off and developed with a 1% aqueous sodium hydrogen carbonate solution (30 ° C., spray pressure 1.5 kg / cm 2 ) for 45 seconds to perform acid etching. Then, the resist is peeled off to obtain a substrate for evaluation, and the incidence of chipping and disconnection is determined.

【0044】なお、表中の各略号は、以下のことを意味
する。
Each abbreviation in the table means the following.

【0045】MBA :メチルメタクリレート/n−ブチ
ルアクリレート/メタクリル酸三元共重合体(重量比:
50/25/25、重量平均分子量:80000 ) MEEM :メチルメタクリレート/エチルアクリレート/
2−エチルヘキシルアクリレート/メタクリル酸四元共
重合体(重量比:50/10/16/24、重量平均分子量:71
000 ) UAO :製造例でえられたウレタンアクリルオリゴマー PPGMA :ポリプロピレングリコールメタクリレート(一
般式(I)において、R1 がメチル基、R2 がメチル
基、mが40、nが0のもの) PPTMGA:ポリプロピレングリコールポリテトラメチレン
グリコールメタクリレート(一般式(I)において、R
1 およびR2 がメチル基、mが15、nが10のもの) AMP :フェノキシポリエチレングリコールアクリレー
ト TMP-TA:トリメチロールプロパントリアクリレート BPE :2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエト
キシ)フェニル]プロパン 4EG-A :テトラエチレングリコールモノアクリレート BPH :ベンゾフェノン EAB :4,4´−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェ
ノン
MBA: Methyl methacrylate / n-butyl acrylate / methacrylic acid terpolymer (weight ratio:
50/25/25, weight average molecular weight: 80000) MEEM: methyl methacrylate / ethyl acrylate /
2-ethylhexyl acrylate / methacrylic acid quaternary copolymer (weight ratio: 50/10/16/24, weight average molecular weight: 71)
000) UAO: urethane acrylic oligomer obtained in Production Example PPGMA: polypropylene glycol methacrylate (in the general formula (I), R 1 is a methyl group, R 2 is a methyl group, m is 40, and n is 0) PPTMGA: Polypropylene glycol polytetramethylene glycol methacrylate (in the general formula (I), R
1 and R 2 is a methyl group, m is 15, n is 10 ones) AMP: phenoxy polyethylene glycol acrylate TMP-TA: trimethylolpropane triacrylate BPE: 2,2-bis [4- (methacryloxy polyethoxy) phenyl ] Propane 4EG-A: tetraethylene glycol monoacrylate BPH: benzophenone EAB: 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone

【0046】[0046]

【表1】 [Table 1]

【0047】表1に示した結果から、本発明の実施例1
〜5でえられた組成物は、エッジフュージョンにすぐ
れ、不良率がきわめて小さいことがわかる。
From the results shown in Table 1, Example 1 of the present invention was obtained.
It can be seen that the compositions obtained in Nos. 1 to 5 were excellent in edge fusion and extremely low in the defective rate.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、基材の表
面温度が常温であり、圧着ロール温度の変動差が大きく
ても基材との密着性および追従性にすぐれ、しかも温度
変化による寸法変化が大きい基材との密着性および追従
性にもすぐれたレジストを形成しうるものである。
As described above, the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in adhesion and follow-up with the substrate even when the surface temperature of the substrate is room temperature, and there is a large variation in the temperature of the pressure roll. It is possible to form a resist excellent in adhesion and follow-up with a base material having a large dimensional change due to the above.

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI G03F 7/033 G03F 7/033 H05K 3/06 H05K 3/06 H (56)参考文献 特開 平2−32353(JP,A) 特開 昭61−103968(JP,A) 特開 昭51−116893(JP,A) 特開 昭58−11931(JP,A) 特開 昭63−146036(JP,A) 特開 平2−4867(JP,A) 特開 平3−41106(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G03F 7/027 C08F 299/02 C08F 299/06 G03F 7/004 G03F 7/033 Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI G03F 7/033 G03F 7/033 H05K 3/06 H05K 3/06 H (56) References JP-A-2-32353 (JP, A) JP JP-A-61-103968 (JP, A) JP-A-51-116893 (JP, A) JP-A-58-11931 (JP, A) JP-A-63-146036 (JP, A) JP-A-2-4867 (JP) , A) JP-A-3-41106 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G03F 7/027 C08F 299/02 C08F 299/06 G03F 7/004 G03F 7/033

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 (A)カルボキシル基含有熱可塑性樹脂
100重量部、 (B)ポリエステルポリオールまたはポリエーテルポリ
オールに多価イソシアネートを反応させたのち、(メ
タ)アクリル系モノマーを反応させてなるウレタンアク
リルオリゴマー5〜40重量%、長鎖ポリアルキレング
リコールのモノ(メタ)アクリル酸エステル10〜60
重量%およびこれら以外のエチレン性不飽和単量体を含
むエチレン性不飽和化合物20〜60重量%の混合物
5〜60重量部、および (C)光重合開始剤0.01〜15重量部を含有してな
るアルカリ現像型感光性樹脂組成物。
1. A carboxyl group-containing thermoplastic resin (A)
100 parts by weight , (B) 5 to 40% by weight of a urethane acrylic oligomer obtained by reacting a polyhydric isocyanate with a polyester polyol or a polyether polyol and then reacting with a (meth) acrylic monomer; (Meth) acrylic acid ester 10-60
% And a mixture of ethylenically unsaturated compounds 20 to 60 wt% containing an ethylenically unsaturated monomer other than these 4
An alkali-developable photosensitive resin composition comprising 5 to 60 parts by weight and (C) 0.01 to 15 parts by weight of a photopolymerization initiator.
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