JP3006331B2 - 樹脂注入装置 - Google Patents
樹脂注入装置Info
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- JP3006331B2 JP3006331B2 JP5019844A JP1984493A JP3006331B2 JP 3006331 B2 JP3006331 B2 JP 3006331B2 JP 5019844 A JP5019844 A JP 5019844A JP 1984493 A JP1984493 A JP 1984493A JP 3006331 B2 JP3006331 B2 JP 3006331B2
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- Japan
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- cylinder
- sealing resin
- slit
- resin
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子部品などの小型精密
部品を製造する際に使用される樹脂注入装置に関するも
のである。
部品を製造する際に使用される樹脂注入装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子部品は極めて精密な用途に用
いられるものが多く、その電子部品の核となる機能素子
にもまた、極めてきびしい精度を要求される場合が多く
なってきており、湿度を始めとする各種環境雰囲気から
機能素子を守り、機能素子の劣化を防止する必要があ
る。
いられるものが多く、その電子部品の核となる機能素子
にもまた、極めてきびしい精度を要求される場合が多く
なってきており、湿度を始めとする各種環境雰囲気から
機能素子を守り、機能素子の劣化を防止する必要があ
る。
【０００３】このため、ケース内に機能素子を内蔵させ
てから蓋をし、さらにケースと蓋との隙間に封口樹脂を
流し込み、それを硬化させて内部を完全に気密構造にす
るような手段が取られている。
てから蓋をし、さらにケースと蓋との隙間に封口樹脂を
流し込み、それを硬化させて内部を完全に気密構造にす
るような手段が取られている。
【０００４】図４は上記気密構造の電子部品を製造する
際に使用される従来の樹脂注入装置を部分断面で示した
正面図であり、同図において１はケース２に内蔵された
機能素子、３は蓋、４は封口樹脂であり、以上の構成で
気密構造を要求される電子部品が構成されている。
際に使用される従来の樹脂注入装置を部分断面で示した
正面図であり、同図において１はケース２に内蔵された
機能素子、３は蓋、４は封口樹脂であり、以上の構成で
気密構造を要求される電子部品が構成されている。
【０００５】また、上記封口樹脂４は同図に示す注射器
５内に充填されており、注射器５の先にはノズル６が形
成されている。注射器５は取付具７を介して、エアシリ
ンダ８により上下に移動される。また、封口樹脂４は注
射器５がエアシリンダ８により下降した時点でピストン
９を高圧エアーで加圧することによりノズル６を介して
所定の位置に吐出され、その後、注射器５は上昇するよ
うに構成されたものであった。
５内に充填されており、注射器５の先にはノズル６が形
成されている。注射器５は取付具７を介して、エアシリ
ンダ８により上下に移動される。また、封口樹脂４は注
射器５がエアシリンダ８により下降した時点でピストン
９を高圧エアーで加圧することによりノズル６を介して
所定の位置に吐出され、その後、注射器５は上昇するよ
うに構成されたものであった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、注射器５が上昇する時に封口樹脂４が糸１
０を形成する糸引き現象が発生し、注射器５がある高さ
まで上昇すると糸１０は切れ、ケース２の周辺に落下付
着して不良品を作ってしまうという問題を有していた。
の構成では、注射器５が上昇する時に封口樹脂４が糸１
０を形成する糸引き現象が発生し、注射器５がある高さ
まで上昇すると糸１０は切れ、ケース２の周辺に落下付
着して不良品を作ってしまうという問題を有していた。
【０００７】さらに封口樹脂４の吐出量は粘度等の特性
に左右されやすく、一定量の吐出が困難で微調整できな
いという問題も併せ持っていた。
に左右されやすく、一定量の吐出が困難で微調整できな
いという問題も併せ持っていた。
【０００８】本発明は上記従来の課題を解決し、糸引き
現象を無くし吐出量の微調整を可能とする樹脂注入装置
を提供することを目的とするものである。
現象を無くし吐出量の微調整を可能とする樹脂注入装置
を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明による樹脂注入装置は、先端部に少なくとも１
箇所以上のスリットを設けたノズルを下部に結合したシ
リンダと、このシリンダを昇降自在に結合した昇降部
と、この昇降部に結合されて上記シリンダと連動して昇
降すると共にシリンダ内に組込まれたピストンに連結さ
れシリンダ内に充填された樹脂を加圧して吐出したり、
あるいは減圧して上記ノズルに設けられたスリットから
空気を吸引する動作を独立して行うサーボモータと、上
記昇降部ならびにサーボモータを制御する制御部からな
る構成としたものである。
に本発明による樹脂注入装置は、先端部に少なくとも１
箇所以上のスリットを設けたノズルを下部に結合したシ
リンダと、このシリンダを昇降自在に結合した昇降部
と、この昇降部に結合されて上記シリンダと連動して昇
降すると共にシリンダ内に組込まれたピストンに連結さ
れシリンダ内に充填された樹脂を加圧して吐出したり、
あるいは減圧して上記ノズルに設けられたスリットから
空気を吸引する動作を独立して行うサーボモータと、上
記昇降部ならびにサーボモータを制御する制御部からな
る構成としたものである。
【００１０】
【作用】この構成によりシリンダ内に組込まれたピスト
ンに連結されたサーボモータを制御部により制御するこ
とで、シリンダ内に充填された樹脂を極めて微細に加
圧、減圧することが可能となり、従ってノズルから吐出
される樹脂量を高精度で微調整することができる。さら
に、ノズルの先端にスリットを設けることにより、樹脂
吐出後に上記サーボモータを制御してシリンダ内を減圧
状態にすることにより、上記ノズルに設けたスリットか
ら外部の空気をノズル内に吸引し、吐出した樹脂とノズ
ル内の樹脂との間に空気溜りを形成することができ、こ
の状態でノズルを上昇させるようにすると糸引き現象を
可能な限り小さいレベルに抑制することができる。
ンに連結されたサーボモータを制御部により制御するこ
とで、シリンダ内に充填された樹脂を極めて微細に加
圧、減圧することが可能となり、従ってノズルから吐出
される樹脂量を高精度で微調整することができる。さら
に、ノズルの先端にスリットを設けることにより、樹脂
吐出後に上記サーボモータを制御してシリンダ内を減圧
状態にすることにより、上記ノズルに設けたスリットか
ら外部の空気をノズル内に吸引し、吐出した樹脂とノズ
ル内の樹脂との間に空気溜りを形成することができ、こ
の状態でノズルを上昇させるようにすると糸引き現象を
可能な限り小さいレベルに抑制することができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例による樹脂注入装置
について図面を用いて説明する。なお、従来例で説明し
た部品と同じ構成の部品には同一の符号を付与する。
について図面を用いて説明する。なお、従来例で説明し
た部品と同じ構成の部品には同一の符号を付与する。
【００１２】図１は同実施例による樹脂注入装置の構成
を部分断面で示した側面図であり、同図において２は封
口樹脂４を流し込むケース、４は封口樹脂、１１は治
具、１３ｂはノズル、１４はシリンダ、１６はＯリン
グ、１７はピストン、１８はプレート、１９，２０は軸
受け、２１はブラケット、２２はエアシリンダ、２３は
金具、２４は軸受け、２５はナット、２６はネジ、２７
はサーボモータである。また、２８は制御部であり、タ
イマーＴ1，Ｔ2とスイッチＶ1，Ｖ2、Ｑ1，Ｑ2により構
成されている。
を部分断面で示した側面図であり、同図において２は封
口樹脂４を流し込むケース、４は封口樹脂、１１は治
具、１３ｂはノズル、１４はシリンダ、１６はＯリン
グ、１７はピストン、１８はプレート、１９，２０は軸
受け、２１はブラケット、２２はエアシリンダ、２３は
金具、２４は軸受け、２５はナット、２６はネジ、２７
はサーボモータである。また、２８は制御部であり、タ
イマーＴ1，Ｔ2とスイッチＶ1，Ｖ2、Ｑ1，Ｑ2により構
成されている。
【００１３】上記図１においてケース２は治具１１に依
り精密に位置決めされている。また、先端にノズル１３
ｂが取り付けられたシリンダ１４は昇降部を構成するプ
レート１８に固定され、軸受け１９，２０を介してエア
シリンダ２２の動作によりブラケット２１の面に沿って
精密に上下に移動される。また、シリンダ１４の内部に
は封口樹脂４が充填されており、この封口樹脂４はピス
トン１７の上下動作でノズル１３ｂの先端から吐出した
り、あるいは吸引したりすることができるように構成さ
れている。さらに、上記ピストン１７は金具２３に結合
されており、軸受け２４を介して、ナット２５、ネジ２
６とサーボモータ２７の作用により、シリンダ１４に対
して極めて正確に上下動し、封口樹脂４を精密に一定量
吐出したり、あるいは吸引したりすることを可能にして
いる。
り精密に位置決めされている。また、先端にノズル１３
ｂが取り付けられたシリンダ１４は昇降部を構成するプ
レート１８に固定され、軸受け１９，２０を介してエア
シリンダ２２の動作によりブラケット２１の面に沿って
精密に上下に移動される。また、シリンダ１４の内部に
は封口樹脂４が充填されており、この封口樹脂４はピス
トン１７の上下動作でノズル１３ｂの先端から吐出した
り、あるいは吸引したりすることができるように構成さ
れている。さらに、上記ピストン１７は金具２３に結合
されており、軸受け２４を介して、ナット２５、ネジ２
６とサーボモータ２７の作用により、シリンダ１４に対
して極めて正確に上下動し、封口樹脂４を精密に一定量
吐出したり、あるいは吸引したりすることを可能にして
いる。
【００１４】図２（ａ）〜（ｃ）は上記図１で説明した
ノズル１３ｂの構成を示す要部斜視図であり、同図
（ａ）は中空の筒状のノズル１３の先端部に、先端から
上方へ向かって伸びるスリット３１を１箇所設けたもの
である。なお、このスリット３１は使用する封口樹脂４
の種類による粘度変化や吐出圧力などの条件、あるいは
ノズル１３の径などにより十分検討を加え、封口樹脂４
を吐出する際にスリット３１から外部に封口樹脂４があ
ふれ出すことなく、また減圧時には外部から空気を吸引
することができる寸法に設定する必要がある。また、同
図（ｂ）は上記同図（ａ）のスリット３１に加え、スリ
ット３１の上端にノズル１３ａの内部と外部を挿通する
穴３０を連続して設けた構成のものである。また同図
（ｃ）は上記同図（ｂ）のスリット３１ならびに穴３０
に加え、このノズル１３ｂの先端部をスリット３１を頂
部とする傾斜２９（本実施例では傾斜角度は４５°とし
た）を設けた構成のノズル１３ｂとしたものである。
ノズル１３ｂの構成を示す要部斜視図であり、同図
（ａ）は中空の筒状のノズル１３の先端部に、先端から
上方へ向かって伸びるスリット３１を１箇所設けたもの
である。なお、このスリット３１は使用する封口樹脂４
の種類による粘度変化や吐出圧力などの条件、あるいは
ノズル１３の径などにより十分検討を加え、封口樹脂４
を吐出する際にスリット３１から外部に封口樹脂４があ
ふれ出すことなく、また減圧時には外部から空気を吸引
することができる寸法に設定する必要がある。また、同
図（ｂ）は上記同図（ａ）のスリット３１に加え、スリ
ット３１の上端にノズル１３ａの内部と外部を挿通する
穴３０を連続して設けた構成のものである。また同図
（ｃ）は上記同図（ｂ）のスリット３１ならびに穴３０
に加え、このノズル１３ｂの先端部をスリット３１を頂
部とする傾斜２９（本実施例では傾斜角度は４５°とし
た）を設けた構成のノズル１３ｂとしたものである。
【００１５】次に図３（ａ）〜（ｄ）を用いて封口樹脂
４をケース２内へ注入するプロセスを詳細に説明する。
まず、図３（ａ）はノズル１３ｂがケース２の上部まで
下降し、ピストン１７の動作によって封口樹脂４を吐出
した状態を示したものであり、この状態では、封口樹脂
４はノズル１３ｂの周辺に盛り上りを見せている。
４をケース２内へ注入するプロセスを詳細に説明する。
まず、図３（ａ）はノズル１３ｂがケース２の上部まで
下降し、ピストン１７の動作によって封口樹脂４を吐出
した状態を示したものであり、この状態では、封口樹脂
４はノズル１３ｂの周辺に盛り上りを見せている。
【００１６】次に、同図（ｂ）は封口樹脂４を吐出して
から数秒経過した状態（本実施例では約２秒）を示して
おり、封口樹脂４の表面はレベリング作用より平坦化し
ており、ノズル１３ｂの先端近傍に設けた穴３０が顔を
のぞかせている。
から数秒経過した状態（本実施例では約２秒）を示して
おり、封口樹脂４の表面はレベリング作用より平坦化し
ており、ノズル１３ｂの先端近傍に設けた穴３０が顔を
のぞかせている。
【００１７】また、同図（ｃ）はサーボモータ２７によ
りピストン１７をわずかに上昇させ、ノズル１３ｂの先
端に吸引作用を発生させることによって外部から空気を
吸引し、空気溜り部３２を発生させた状態を示してい
る。なお、ここで上記空気溜り部３２の空気は穴３０よ
り供給されており、スリット３１の効果で拡散されるこ
とによって空気溜り部３２の形状が安定化する。
りピストン１７をわずかに上昇させ、ノズル１３ｂの先
端に吸引作用を発生させることによって外部から空気を
吸引し、空気溜り部３２を発生させた状態を示してい
る。なお、ここで上記空気溜り部３２の空気は穴３０よ
り供給されており、スリット３１の効果で拡散されるこ
とによって空気溜り部３２の形状が安定化する。
【００１８】また、同図（ｄ）はノズル１３ｂが最終的
にケース２より引き上げられた瞬間の状態を示すもので
あり、空気溜り部３２によりケース２上に注入された封
口樹脂４とノズル１３ｂ内の封口樹脂４が分離されてい
るために、従来のように糸引き現象による糸１０の発生
は極めて少なくなり、例え糸１０が発生しても極めて短
く、かつ細いものであることから、不良品を発生する確
率は皆無に近いものとなる。
にケース２より引き上げられた瞬間の状態を示すもので
あり、空気溜り部３２によりケース２上に注入された封
口樹脂４とノズル１３ｂ内の封口樹脂４が分離されてい
るために、従来のように糸引き現象による糸１０の発生
は極めて少なくなり、例え糸１０が発生しても極めて短
く、かつ細いものであることから、不良品を発生する確
率は皆無に近いものとなる。
【００１９】さらに制御部２８はタイマーＴ1により封
口樹脂４を吐出してからサーボモータ２７によりシリン
ダ１４内の封口樹脂４を減圧してノズル１３ｂより空気
を吸引するまでの時間を制御することにより封口樹脂４
のレベリング時間に対応している。さらにノズル１３ｂ
の引き上げ開始時間をタイマーＴ2にて制御しており、
吐出された封口樹脂４とノズル１３ｂの内部に残留して
いる封口樹脂４が安定して分離されるように時間を制御
している。
口樹脂４を吐出してからサーボモータ２７によりシリン
ダ１４内の封口樹脂４を減圧してノズル１３ｂより空気
を吸引するまでの時間を制御することにより封口樹脂４
のレベリング時間に対応している。さらにノズル１３ｂ
の引き上げ開始時間をタイマーＴ2にて制御しており、
吐出された封口樹脂４とノズル１３ｂの内部に残留して
いる封口樹脂４が安定して分離されるように時間を制御
している。
【００２０】また、スイッチＶ1，Ｖ2はサーボモータ２
７の回転速度を制御し、それぞれ封口樹脂４の吐出速
度、吸引速度を制御している。さらに、スイッチＱ1，
Ｑ2はサーボモータ２７の回転角度を制御し、それぞれ
封口樹脂４の吐出量と空気の吸引量を制御している。
７の回転速度を制御し、それぞれ封口樹脂４の吐出速
度、吸引速度を制御している。さらに、スイッチＱ1，
Ｑ2はサーボモータ２７の回転角度を制御し、それぞれ
封口樹脂４の吐出量と空気の吸引量を制御している。
【００２１】このように本発明による樹脂注入装置は、
シリンダ１４に充填された封口樹脂４を吐出する手段に
サーボモータ２７を用いることにより微細な調整、制御
を行うことが可能になるばかりでなく、ノズル１３ｂの
先端にスリット３１を設け、ノズル１３ｂから封口樹脂
４を吐出した状態で一定時間経過後に上記サーボモータ
２７を作動させてシリンダ１４内を減圧状態にすること
により、上記ノズル１３ｂのスリット３１から外部の空
気をノズル１３ｂ内に吸引し、吐出した封口樹脂４とノ
ズル１３ｂ内の封口樹脂４との間に空気溜り部３２を形
成することができる。従ってこの状態でノズル１３ｂを
上昇させると封口樹脂４がノズル１３ｂの先端で糸を引
く糸引き現象が極めて小さいものとなり、糸引き現象に
よる製品不良を皆無にすることができるものである。
シリンダ１４に充填された封口樹脂４を吐出する手段に
サーボモータ２７を用いることにより微細な調整、制御
を行うことが可能になるばかりでなく、ノズル１３ｂの
先端にスリット３１を設け、ノズル１３ｂから封口樹脂
４を吐出した状態で一定時間経過後に上記サーボモータ
２７を作動させてシリンダ１４内を減圧状態にすること
により、上記ノズル１３ｂのスリット３１から外部の空
気をノズル１３ｂ内に吸引し、吐出した封口樹脂４とノ
ズル１３ｂ内の封口樹脂４との間に空気溜り部３２を形
成することができる。従ってこの状態でノズル１３ｂを
上昇させると封口樹脂４がノズル１３ｂの先端で糸を引
く糸引き現象が極めて小さいものとなり、糸引き現象に
よる製品不良を皆無にすることができるものである。
【００２２】また、ノズル１３ｂの先端にスリット３１
を設けることに加え、このスリット３１の上端に連続す
る穴３０を設けたり、さらにはノズル１３ｂの先端部を
スリット３１を頂部とする傾斜２９を設けた構成とする
ことにより、上記効果は更に倍加されるものである。
を設けることに加え、このスリット３１の上端に連続す
る穴３０を設けたり、さらにはノズル１３ｂの先端部を
スリット３１を頂部とする傾斜２９を設けた構成とする
ことにより、上記効果は更に倍加されるものである。
【００２３】なお、上記本実施例では昇降部の昇降手段
はエアシリンダ２２を用いた構成としたが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、エアシリンダ２２の代わ
りにサーボモータを用いた構成としても良いことは言う
までもない。
はエアシリンダ２２を用いた構成としたが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、エアシリンダ２２の代わ
りにサーボモータを用いた構成としても良いことは言う
までもない。
【００２４】
【発明の効果】以上のように本発明による樹脂注入装置
は、気密性を要求される電子部品の封口を行う際に、封
口樹脂を極めて高精度に微少塗布を行うことが可能にな
るばかりでなく、ノズル上昇の際に発生する糸引き現象
を可能な限り小さな状態に抑え、糸引きが垂れて発生す
る不安を皆無に近くすることができるという大きな効果
を発揮するものである。
は、気密性を要求される電子部品の封口を行う際に、封
口樹脂を極めて高精度に微少塗布を行うことが可能にな
るばかりでなく、ノズル上昇の際に発生する糸引き現象
を可能な限り小さな状態に抑え、糸引きが垂れて発生す
る不安を皆無に近くすることができるという大きな効果
を発揮するものである。
【図１】本発明の一実施例による樹脂注入装置の構成を
部分断面で示す側面図
部分断面で示す側面図
【図２】（ａ）〜（ｃ）同実施例による樹脂注入装置の
ノズルを示す要部斜視図
ノズルを示す要部斜視図
【図３】（ａ）〜（ｄ）同実施例による樹脂注入のプロ
セスを示す要部断面図
セスを示す要部断面図
【図４】従来の樹脂注入装置の構成を部分断面で示す正
面図
面図
２ ケース ４ 封口樹脂 １１ 治具 １３ｂ ノズル １４ シリンダ １６ Ｏリング １７ ピストン １８ プレート １９，２０，２４ 軸受け ２１ ブラケット ２２ エアシリンダ ２３ 金具 ２５ ナット ２６ ネジ ２７ サーボモータ ２８ 制御部 ２９ 傾斜 ３０ 穴 ３１ スリット ３２ 空気溜り部
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−140668（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−284371（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−188887（ＪＰ，Ａ) 実開 昭51−25674（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭51−42873（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−140976（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−91751（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/56
Claims (3)
- 【請求項１】 先端部に少なくとも１箇所以上のスリッ
トを設けたノズルを下部に結合したシリンダと、このシ
リンダを昇降自在に結合した昇降部と、この昇降部に結
合されて上記シリンダと連動して昇降すると共にシリン
ダ内に組込まれたピストンに連結されシリンダ内に充填
された樹脂を加圧して吐出したり、あるいは減圧して上
記ノズルに設けられたスリットから空気を吸引する動作
を独立して行うサーボモータと、上記昇降部ならびにサ
ーボモータを制御する制御部からなる樹脂注入装置。 - 【請求項２】 外部から空気を吸引するための穴をスリ
ットの上端に連続して形成したノズルを用いてなる請求
項１記載の樹脂注入装置。 - 【請求項３】 ノズルの先端部をスリットの下端を頂部
とする傾斜を設けた構成としたノズルを用いてなる請求
項１あるいは請求項２記載の樹脂注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5019844A JP3006331B2 (ja) | 1993-02-08 | 1993-02-08 | 樹脂注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5019844A JP3006331B2 (ja) | 1993-02-08 | 1993-02-08 | 樹脂注入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06232192A JPH06232192A (ja) | 1994-08-19 |
| JP3006331B2 true JP3006331B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=12010573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5019844A Expired - Fee Related JP3006331B2 (ja) | 1993-02-08 | 1993-02-08 | 樹脂注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3006331B2 (ja) |
-
1993
- 1993-02-08 JP JP5019844A patent/JP3006331B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06232192A (ja) | 1994-08-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |