JP3005698B2 - スペックルノイズの除去装置 - Google Patents
スペックルノイズの除去装置Info
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Description
計測装置などに用いるスペックルノイズの除去装置に関
するものである。
限らず、医用、アパレル等多くの分野で重要な情報入力
手段となっている。このような計測の中で、レーザ光を
用いた手法は、安定性や計測精度の点から他の手法と比
較して優れている。
ザ光を用いた距離計測では、レーザの高い干渉性のため
にスペックルノイズが発生し、計測精度に対して悪影響
を与えていた。ここで、スペックルノイズとは、レーザ
光のように高い可干渉性を持つ波によって発生するノイ
ズである。
は、レーザスポット光やスリット光を計測対象に投影
し、その反射光を撮像して距離を計測する。そのため、
スペックルノイズの発生原因としては、物体表面での
波長程度の凹凸による光路差、物体表面から撮像素子
までの経路の違いによる光路差の2つが考えられる。し
たがって、スペックルノイズを除去するためには、複数
の光路を伝搬してきた光をインコヒーレント加算するこ
とによって除去できることになる。
像素子を振動させることも考えられるが、そのような振
動はセンサにとって悪影響を与えてしまい、距離計測器
などに適用するスペックルノイズの除去方法として採用
することはできない。
像系で用いている結像レンズの絞り位置を変化させるこ
とにより、センサに悪影響のある振動を与えることな
く、確実にスペックルノイズを除去するスペックルノイ
ズの除去装置を提供することである。
ノイズの除去装置は、レーザ光を物体面に投射し、その
反射光を撮像系によって撮像する装置に用いられるスペ
ックルノイズの除去装置において、前記撮像系の結像レ
ンズの絞り位置を可変する絞り位置可変手段と、前記絞
り位置可変手段によって絞り位置を変えた複数枚の画像
をインコヒーレント加算する平均化手段とを含む構成と
してある。
を取り込み、これを平均化するようにした。つまり、各
絞り位置での画像は、光強度として入力されており干渉
性はない。したがって、複数の画像を平均化することに
より、スペックルノイズが除去できることになる。
する。図1は、本発明によるスペックルノイズの除去装
置の一実施例を示したブロック図、図2は実施例に係る
除去装置に用いる液晶シャッタを示した図である。
は、図1に示すように、レーザ光を用いた計測装置に組
み込んだものである。レーザ光源11は、CPU15か
らの信号により、レーザコントローラ18を介して制御
されている。レーザ光源11から発振したレーザ光は、
物体面Aに照射され、その反射光が結像レンズ12によ
って、CCD14上の観察面Bに結像する。
像レンズ12内に組み込まれており、この実施例では、
図2に示すように、7×7の合計49個のシャッタ素子
を独立して開閉できるようにしてある。液晶シャッタ1
3は、ドライバ19によって開閉駆動され、駆動のタイ
ミングは、カメラコントローラ16に合わせられてい
る。
ローラ16によって、画像メモリ17の入力信号として
変換され、その変換された信号は、画像メモリ17に一
時記憶される。CPU15は、画像メモリ17上でデー
タの処理を行い、物体面Aの三次元的な表面形状を算出
して出力する。CPU15の出力は、CRT,プリンタ
や磁気記録装置等からなる表示・記録装置20に出力さ
れる。
Dカメラ14を用いた場合には、1/30秒で1画面が
取り込まれる。したがって、この期間内に液晶シャッタ
13による全ての絞りのパターンを出現させることによ
って、距離計算用のCPU15には、特別な演算をさせ
る必要がない。
ノイズの除去の方法について、さらに詳しく説明する。
物体面Aから拡散するレーザ光は、図3に示すように、
結像レンズ12により集光され観察面Bに結像する。こ
のとき、液晶シャッタ13の絞りW1 および絞りW2 を
経て結像する光複素振幅は、次式で表される。 V(x,w1,t) =∫w1 E0 (ξ)exp{(iφ (ξ) }・exp(-iωt) ・exp {(i π/λ)〔(|ξ-w1 |2 /R)+|w1-x|2 /r〕}dW …(1) V(x,w2,t) =∫w2 E0 (ξ)exp{(iφ (ξ) }・exp(-iωt) ・exp {(i π/λ)〔(|ξ-w2 |2 /R)+|w2-x|2 /r〕}dW …(2)
絞り位置で結像されるスペックル強度に相関が低いもの
が好ましい。したがって、それぞれの光強度分布の相互
相関を求めると次式のように表される。 γ(x,α) =|∫exp 〔( 2πi /λ) ・{ [(1/R)+(1/r)] α・w−2α・x /r}〕dw|2 …(3) ただし、w1=−w2=αとした。この式において、R=13
5mm,r=26mm ,w= 0.1mmとするとαによる相関値の変
化は、図4のようになる。この結果から約 0.1mm以上離
せば十分異なった光強度分布となることがわかる。
て、さらに説明する。この実験では、レーザ光源11と
して、波長830nmの半導体レーザを用い、石膏で作製し
た三角柱の表面を対象面Aとした。この対象面Aからの
散乱光を、絞り位置可変な液晶シャッタ13を組み込ん
だ結像レンズ12によって集光し、CCDカメラ14に
よって撮像した。
度分布の相関を示す図である。これは図4と同一の条件
を用いた。この結果から、 0.1mm程度で相関が低くなる
ことがわかる。したがって、この結果から絞り位置は十
分余裕をもって 0.2mm毎とし、縦横7個ずつ合計49個
の絞りを設定した。
ックル度の変化を示す図である。この結果から、10枚
程度の画像の平均によって、スペックルの除去は効果的
に除去されていることがわかる。ここで、スペックル度
とは、元のレーザ光強度分布に対してどの程度スペック
ルが重畳しているかを示す指標であって、ここでは、撮
像される光の強度分布がガウス分布になるとし、この分
布からの差をスペックル度とした。
光の強度分布図を示す図である。スペックルノイズの影
響により、強度分布に片寄りを生じていることが確認で
きる。図8は、絞り位置を変えて入力した16枚の画像
を平均した画像の強度分布を示す図である。図7と比較
して、スペックルノイズの影響により生じる片寄りが改
善されていることが確認できる。
させ、CCD14の撮像面上でのスポットの動きを計測
した結果を図9と図10に示す。図9は、スペックルノ
イズを除去する前の状態を示した図であり、図10は、
図8の条件によってスペックルノイズを除去した結果を
示した図である。図9では、スポットが左右に振れてい
るが、図10ではその振れが改善されているのが確認で
きる。これは各計測点を直線に当てはめそのずれを計算
すると図9と比較し、1/40に改善された。
変形ができる。例えば、撮像素子としてTVカメラを用
いた場合には、1フレームの画像入力内で目的の絞りを
設定すればよく、特別な処理装置を必要とせずに、スペ
ックルノイズを除去することができる。
で説明したが、1フレームの1/30秒以内に16個程度の
絞りを開閉させたもので十分にスペックルノイズは除去
することが可能であり、従来のレーザを用いた測距装置
に容易に取り付けすることが可能となる。
よびカメラコントローラ16は、PSD等のセンサに置
き換えても、同様に実施できる。
である。レーザを用いた距離計測におけるスペックルノ
イズの影響は、図11(A)に示すように、レーザビー
ムの強度分布に対して無視することができない。したが
って、このスペックルノイズのために、レーザビームの
中心位置が正確に算出できず、距離計測の誤差の原因と
なっている。スペックルノイズの発生原因は、レーザの
高い干渉性によるものであり、伝播する光路によってラ
ンダムに変化する。そこで、本発明では、撮像系の絞り
位置を変えることにより、図11(B)に示すように、
スペックルノイズの異なる複数のパターンを発生させ、
これらをインコヒーレントに加算させることにより、図
11(C)に示すように、1撮像時間内に除去しようと
いうものである。
レーザを用いた距離計測などにおいて問題となるスペッ
クルノイズを、撮像系の絞り位置を変えて撮像し、複数
の画像を平均化するようにしたので、各絞り位置での画
像は、光強度として入力されており干渉性はないため
に、スペックルノイズを除去することができる。
実施例を示したブロック図である。
いる液晶シャッタを示した図である。
作を説明する図である。
を示す図である。
化を示す図である。
す図である。
した画像の強度分布を示す図である。
図である。
した結果を示した図である。
実施例の動作を説明するための線図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 レーザ光を物体面に投射し、その反射光
を撮像系によって撮像する装置に用いられるスペックル
ノイズの除去装置において、 前記撮像系の結像レンズの絞り位置を可変する絞り位置
可変手段と、 前記絞り位置可変手段によって絞り位置を変えた複数枚
の画像をインコヒーレント加算する平均化手段と、を含
むことを特徴とするスペックルノイズの除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3258481A JP3005698B2 (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | スペックルノイズの除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3258481A JP3005698B2 (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | スペックルノイズの除去装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0571918A JPH0571918A (ja) | 1993-03-23 |
JP3005698B2 true JP3005698B2 (ja) | 2000-01-31 |
Family
ID=17320813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3258481A Expired - Fee Related JP3005698B2 (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | スペックルノイズの除去装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3005698B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009128084A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Toyo Seiki Seisakusho:Kk | 被計測物の表面ならびにレーザ反射光による粒状斑点模様の同時撮像方法とその装置 |
JP5882674B2 (ja) | 2011-10-24 | 2016-03-09 | キヤノン株式会社 | 多波長干渉計、計測装置および計測方法 |
JP5954979B2 (ja) | 2011-12-15 | 2016-07-20 | キヤノン株式会社 | 多波長干渉計を有する計測装置 |
WO2017138210A1 (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | ソニー株式会社 | 撮像装置、撮像方法及び撮像システム |
CN113804101A (zh) * | 2020-06-11 | 2021-12-17 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 透过散射介质的无侵入光学成像和定位的装置和方法 |
-
1991
- 1991-09-10 JP JP3258481A patent/JP3005698B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH0571918A (ja) | 1993-03-23 |
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