JP3003655B2 - 外気調和機 - Google Patents
外気調和機Info
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/044—Systems in which all treatment is given in the central station, i.e. all-air systems
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F8/00—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying
- F24F8/10—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by separation, e.g. by filtering
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- F24F6/00—Air-humidification, e.g. cooling by humidification
- F24F2006/006—Air-humidification, e.g. cooling by humidification with water treatment
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
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- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Prevention Of Fouling (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は外気調和機に係り、
特にクリーンルームにおける外気調和機に関する。
特にクリーンルームにおける外気調和機に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の外気調和機の一例のフロー
図を示す。同図に示すように、従来の外気調和機は、外
気を加温するヒーティングコイル１、外気の平均温度を
測定する平均温度計２、外気を除塵等するエアワッシャ
３、クーリングコイル４、ヒーティングコイル５、供給
された外気を外部へ送風するファン６、循環ポンプ７、
配管８、外気を取り入れる外気取り入れ口９及び循環水
槽１０より構成されている。
図を示す。同図に示すように、従来の外気調和機は、外
気を加温するヒーティングコイル１、外気の平均温度を
測定する平均温度計２、外気を除塵等するエアワッシャ
３、クーリングコイル４、ヒーティングコイル５、供給
された外気を外部へ送風するファン６、循環ポンプ７、
配管８、外気を取り入れる外気取り入れ口９及び循環水
槽１０より構成されている。
【０００３】この従来の外気調和機では、外気取り入れ
口９から取り入れた外気を、平均温度計２の制御によっ
て、ヒーティングコイル１で１０℃以上に加温した後、
エアワッシャ３で除塵、加湿し、更にクーリングコイル
４、ヒーティングコイル５で温度、湿度の調節を行い、
ファン６により室内へ供給する。
口９から取り入れた外気を、平均温度計２の制御によっ
て、ヒーティングコイル１で１０℃以上に加温した後、
エアワッシャ３で除塵、加湿し、更にクーリングコイル
４、ヒーティングコイル５で温度、湿度の調節を行い、
ファン６により室内へ供給する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来の外気
調和機では、エアワッシャ３で除塵を行うようにしてい
るが、窒素酸化物及び硫黄酸化物等の気化している不純
物についての除去効果はあまりよくない。これは、エア
ワッシャ３より噴霧される水が常温であるためである。
特に、半導体製造では微細なプロセスを行うことから、
窒素酸化物や硫黄酸化物等の空気中の不純物が製品の歩
留り等に及ぼす影響が懸念されており、上記の外気調和
機を半導体製造の環境で使用する場合に問題である。
調和機では、エアワッシャ３で除塵を行うようにしてい
るが、窒素酸化物及び硫黄酸化物等の気化している不純
物についての除去効果はあまりよくない。これは、エア
ワッシャ３より噴霧される水が常温であるためである。
特に、半導体製造では微細なプロセスを行うことから、
窒素酸化物や硫黄酸化物等の空気中の不純物が製品の歩
留り等に及ぼす影響が懸念されており、上記の外気調和
機を半導体製造の環境で使用する場合に問題である。
【０００５】また、従来の外気調和機では、噴霧された
水は加湿により消費されるが、余剰の水は循環水槽１０
に溜る。この循環水槽１０に溜った水の水温は常温のた
め、レジオネラ菌等の常温の水中で繁殖可能な微生物が
繁殖する可能性がある。
水は加湿により消費されるが、余剰の水は循環水槽１０
に溜る。この循環水槽１０に溜った水の水温は常温のた
め、レジオネラ菌等の常温の水中で繁殖可能な微生物が
繁殖する可能性がある。
【０００６】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
外気中の窒素酸化物や硫黄酸化物の除去効率を向上し得
る外気調和機を提供することを目的とする。
外気中の窒素酸化物や硫黄酸化物の除去効率を向上し得
る外気調和機を提供することを目的とする。
【０００７】また、本発明の他の目的は、常温の水で繁
殖可能な微生物の繁殖を防止し得る外気調和機を提供す
ることにある。
殖可能な微生物の繁殖を防止し得る外気調和機を提供す
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は取り入れた外気に対して、エアワッシャか
ら水を噴霧して除塵及び加湿した後、温度と湿度を調整
して外部へ取り出す外気調和機において、エアワッシャ
から噴霧された加湿余剰水を溜める循環水槽と、循環水
槽に溜まった水をエアワッシャへ循環させる循環ポンプ
と、エアワッシャから噴霧される水の必要量の不足分を
補うための水を補給するための配管と、循環水槽からの
水と配管からの水とをそれぞれ冷却し、エアワッシャに
常温よりも低温の水を供給する熱交換器とを備える構成
としたものである。
め、本発明は取り入れた外気に対して、エアワッシャか
ら水を噴霧して除塵及び加湿した後、温度と湿度を調整
して外部へ取り出す外気調和機において、エアワッシャ
から噴霧された加湿余剰水を溜める循環水槽と、循環水
槽に溜まった水をエアワッシャへ循環させる循環ポンプ
と、エアワッシャから噴霧される水の必要量の不足分を
補うための水を補給するための配管と、循環水槽からの
水と配管からの水とをそれぞれ冷却し、エアワッシャに
常温よりも低温の水を供給する熱交換器とを備える構成
としたものである。
【０００９】 また、本発明は、外気を取り入れる外気
取り入れ口と、外気取り入れ口から取り入れられた外気
の平均温度を計測する平均温度計と、外気取り入れ口か
ら取り入れられた外気を、平均温度計の温度に基づいて
所定温度以上に加温する加温手段と、加温手段により加
温された外気に対して水を噴霧して除塵及び加湿するエ
アワッシャと、エアワッシャから噴霧された加湿余剰水
を溜める循環水槽と、循環水槽に溜まった水をエアワッ
シャへ循環させる循環ポンプと、エアワッシャから噴霧
される水の必要量の不足分を補うための水を補給するた
めの配管と、循環水槽からの水と配管からの水とをそれ
ぞれ冷却して常温よりも低温の水をエアワッシャに供給
する熱交換器と、エアワッシャにより加湿及び除塵され
た外気の温度と湿度をそれぞれ調整する調整手段と、調
整手段により温度と湿度がそれぞれ調整された外気を外
部へ送り出すファンとを有する構成としたものである。
取り入れ口と、外気取り入れ口から取り入れられた外気
の平均温度を計測する平均温度計と、外気取り入れ口か
ら取り入れられた外気を、平均温度計の温度に基づいて
所定温度以上に加温する加温手段と、加温手段により加
温された外気に対して水を噴霧して除塵及び加湿するエ
アワッシャと、エアワッシャから噴霧された加湿余剰水
を溜める循環水槽と、循環水槽に溜まった水をエアワッ
シャへ循環させる循環ポンプと、エアワッシャから噴霧
される水の必要量の不足分を補うための水を補給するた
めの配管と、循環水槽からの水と配管からの水とをそれ
ぞれ冷却して常温よりも低温の水をエアワッシャに供給
する熱交換器と、エアワッシャにより加湿及び除塵され
た外気の温度と湿度をそれぞれ調整する調整手段と、調
整手段により温度と湿度がそれぞれ調整された外気を外
部へ送り出すファンとを有する構成としたものである。
【００１０】本発明では、外気取り入れ口から取り入れ
られた外気が、平均温度計の制御の基に加温手段で加温
された後、エアワッシャにより水を噴霧されることによ
り、外気中に気化している窒素酸化物や硫黄酸化物が溶
解される。このとき、エアワッシャには循環水槽からの
水と配管からの水とをそれぞれ熱交換器により冷却され
た水が供給されるため、エアワッシャから噴霧される水
を常温よりも低温にできる。
られた外気が、平均温度計の制御の基に加温手段で加温
された後、エアワッシャにより水を噴霧されることによ
り、外気中に気化している窒素酸化物や硫黄酸化物が溶
解される。このとき、エアワッシャには循環水槽からの
水と配管からの水とをそれぞれ熱交換器により冷却され
た水が供給されるため、エアワッシャから噴霧される水
を常温よりも低温にできる。
【００１１】ここで、上記の熱交換器は、エアワッシャ
に供給する水の温度を１０℃に冷却することが、エアワ
ッシャにより加湿及び除塵された外気の温度と湿度をそ
れぞれ調整する調整手段による調整を従来通りの構成と
することができるので望ましい。
に供給する水の温度を１０℃に冷却することが、エアワ
ッシャにより加湿及び除塵された外気の温度と湿度をそ
れぞれ調整する調整手段による調整を従来通りの構成と
することができるので望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図１は本発明になる外気調和機
の一実施の形態のフロー図を示す。同図中、図３と同一
構成部分には同一符号を付してある。図１に示す実施の
形態は、外気を加温するヒーティングコイル１、外気の
平均温度を測定する平均温度計２、外気を除塵等するエ
アワッシャ３、クーリングコイル４、ヒーティングコイ
ル５、供給された外気を外部へ送風するファン６、循環
ポンプ７、配管８、外気を取り入れる外気取り入れ口
９、循環水槽１０及び熱交換器１１より構成されてい
る。
て図面と共に説明する。図１は本発明になる外気調和機
の一実施の形態のフロー図を示す。同図中、図３と同一
構成部分には同一符号を付してある。図１に示す実施の
形態は、外気を加温するヒーティングコイル１、外気の
平均温度を測定する平均温度計２、外気を除塵等するエ
アワッシャ３、クーリングコイル４、ヒーティングコイ
ル５、供給された外気を外部へ送風するファン６、循環
ポンプ７、配管８、外気を取り入れる外気取り入れ口
９、循環水槽１０及び熱交換器１１より構成されてい
る。
【００１３】この実施の形態の外気調和機では、エアワ
ッシャ３へ供給する水を冷却する熱交換器１１を有し、
この熱交換器１１で冷却した水をエアワッシャ３へ供給
して噴霧させる点に特徴がある。
ッシャ３へ供給する水を冷却する熱交換器１１を有し、
この熱交換器１１で冷却した水をエアワッシャ３へ供給
して噴霧させる点に特徴がある。
【００１４】 次に、この実施の形態の動作について説
明する。外気取り入れ口９から取り入れた外気は、平均
温度計２の制御によって、ヒーティングコイル１で１０
℃以上に加温された後、エアワッシャ３より噴霧される
水により加湿及び除塵される。このエアワッシャ３で用
いられる水は、熱交換器１１により冷却された水であ
る。エアワッシャ３により噴霧された水は加湿により消
費されるが、消費されない余剰の水が循環水槽１０に溜
まり、循環ポンプ７により再度熱交換器１１を介してエ
アワッシャ３に供給される。また、配管８を通して不足
分の水が熱交換器１１に供給され、ここで冷却された後
エアワッシャ３に供給される。
明する。外気取り入れ口９から取り入れた外気は、平均
温度計２の制御によって、ヒーティングコイル１で１０
℃以上に加温された後、エアワッシャ３より噴霧される
水により加湿及び除塵される。このエアワッシャ３で用
いられる水は、熱交換器１１により冷却された水であ
る。エアワッシャ３により噴霧された水は加湿により消
費されるが、消費されない余剰の水が循環水槽１０に溜
まり、循環ポンプ７により再度熱交換器１１を介してエ
アワッシャ３に供給される。また、配管８を通して不足
分の水が熱交換器１１に供給され、ここで冷却された後
エアワッシャ３に供給される。
【００１５】 従って、エアワッシャ３に供給される水
は、循環ポンプ７により循環される循環水槽１０からの
加湿余剰水と、配管８を通して供給される水とからな
り、これらはいずれも熱交換器１１により冷却されてか
らエアワッシャ３に供給されることとなる。従って、循
環水槽１０に溜まる加湿余剰水も常温よりも低い温度と
なっており、常温で繁殖可能な微生物の繁殖を防止でき
る。
は、循環ポンプ７により循環される循環水槽１０からの
加湿余剰水と、配管８を通して供給される水とからな
り、これらはいずれも熱交換器１１により冷却されてか
らエアワッシャ３に供給されることとなる。従って、循
環水槽１０に溜まる加湿余剰水も常温よりも低い温度と
なっており、常温で繁殖可能な微生物の繁殖を防止でき
る。
【００１６】エアワッシャ３から噴霧された水により、
外気中に気化している窒素酸化物及び硫黄酸化物が溶解
されて除去された外気は、クリーンコイル４で除湿さ
れ、更にヒーティングコイル５で加温された後、ファン
６により室内に窒素酸化物及び硫黄酸化物が除去された
空気として送られる。ここで、エアワッシャ３から噴霧
された水は冷却水であるので、外気中に気化している窒
素酸化物及び硫黄酸化物の除去効果は、常温の水を使用
する従来に比べて大きい。
外気中に気化している窒素酸化物及び硫黄酸化物が溶解
されて除去された外気は、クリーンコイル４で除湿さ
れ、更にヒーティングコイル５で加温された後、ファン
６により室内に窒素酸化物及び硫黄酸化物が除去された
空気として送られる。ここで、エアワッシャ３から噴霧
された水は冷却水であるので、外気中に気化している窒
素酸化物及び硫黄酸化物の除去効果は、常温の水を使用
する従来に比べて大きい。
【００１７】次に、本発明の他の実施の形態について説
明する。この実施の形態は、構成は図１と同じである
が、熱交換器１１で冷却する水の水温を１０℃とするも
のである。これにより、エアワッシャ３で噴霧される水
が１０℃であるため、クーリングコイル４を通過する外
気の温度は１０℃以上になっており、その後ヒーティン
グコイル５で加温することで、クリーンルームに供給さ
れる空気（２３℃、４５％）の条件を容易に満たすこと
ができる。その後ファン６により室内に窒素酸化物及び
硫黄酸化物が除去された空気として送られる。
明する。この実施の形態は、構成は図１と同じである
が、熱交換器１１で冷却する水の水温を１０℃とするも
のである。これにより、エアワッシャ３で噴霧される水
が１０℃であるため、クーリングコイル４を通過する外
気の温度は１０℃以上になっており、その後ヒーティン
グコイル５で加温することで、クリーンルームに供給さ
れる空気（２３℃、４５％）の条件を容易に満たすこと
ができる。その後ファン６により室内に窒素酸化物及び
硫黄酸化物が除去された空気として送られる。
【００１８】これらのことを、図２の湿り空気線図を用
いて説明する。この湿り空気線図は、横軸が温度、縦軸
が絶対湿度を示している。図１の外気取り入れ口９より
取り入れられた外気が温度８℃、湿度４０％であるもの
とすると、図２の湿り空気線図中のＡ点で示す状態にあ
り、ヒーティングコイル１により１０℃以上に加温され
るので、ヒーティングコイル１を通過した外気は、図２
のＢ点の状態になる。
いて説明する。この湿り空気線図は、横軸が温度、縦軸
が絶対湿度を示している。図１の外気取り入れ口９より
取り入れられた外気が温度８℃、湿度４０％であるもの
とすると、図２の湿り空気線図中のＡ点で示す状態にあ
り、ヒーティングコイル１により１０℃以上に加温され
るので、ヒーティングコイル１を通過した外気は、図２
のＢ点の状態になる。
【００１９】 次に、１０℃の水がエアワッシャ３で噴
霧されることにより、エアワッシャ３を通過した外気
は、図２のＣ点の状態となる。この後、外気はクーリン
グコイル４で除湿されて図２にＤ点で示す状態とされた
後、最後にヒーティングコイル５で加熱されることによ
り、図２にＥ点で示す状態とされてから室内に供給され
る。
霧されることにより、エアワッシャ３を通過した外気
は、図２のＣ点の状態となる。この後、外気はクーリン
グコイル４で除湿されて図２にＤ点で示す状態とされた
後、最後にヒーティングコイル５で加熱されることによ
り、図２にＥ点で示す状態とされてから室内に供給され
る。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
循環水槽からの水と配管からの水とをそれぞれ熱交換器
等の冷却手段により冷却された水をエアワッシャから噴
霧させるようにしたため、外気中に気体として存在する
窒素酸化物、硫黄酸化物のエアワッシャからの水による
除去効果を従来に比べて向上することができる。
循環水槽からの水と配管からの水とをそれぞれ熱交換器
等の冷却手段により冷却された水をエアワッシャから噴
霧させるようにしたため、外気中に気体として存在する
窒素酸化物、硫黄酸化物のエアワッシャからの水による
除去効果を従来に比べて向上することができる。
【００２１】また、本発明によれば、循環水槽に溜ま
る、エアワッシャで加湿、除塵、不純物除去に使われた
水の余剰水が低温であるので、循環水槽内の水にレジオ
ネラ菌等の常温の水中で繁殖可能な微生物が繁殖するこ
とを従来に比べて抑制することができる。
る、エアワッシャで加湿、除塵、不純物除去に使われた
水の余剰水が低温であるので、循環水槽内の水にレジオ
ネラ菌等の常温の水中で繁殖可能な微生物が繁殖するこ
とを従来に比べて抑制することができる。
【図１】本発明の一実施の形態のフロー図である。
【図２】本発明の一実施の形態を説明する湿り空気線図
である。
である。
【図３】従来の一例のフロー図である。
１、５ ヒーティシングコイル ２ 平均温度計 ３ エアワッシャ ４ クーリングコイル ６ ファン ７ 循環ポンプ ８ 配管 ９ 外気取り入れ口 １０ 循環水槽 １１ 熱交換器
Claims (4)
- 【請求項１】 取り入れた外気に対して、エアワッシャ
から水を噴霧して除塵及び加湿した後、温度と湿度を調
整して外部へ取り出す外気調和機において、前記エアワッシャから噴霧された加湿余剰水を溜める循
環水槽と、 該循環水槽に溜まった水を前記エアワッシャへ循環させ
る循環ポンプと、 前記エアワッシャから噴霧される水の必要量の不足分を
補うための水を補給するための配管と、 前記循環水槽からの水と前記配管からの水とをそれぞれ
冷却し、前記エアワッシャに常温よりも低温の水を供給
する熱交換器と を備えた ことを特徴とする外気調和機。 - 【請求項２】 前記エアワッシャから噴霧する水の温度
を１０℃としたことを特徴とする請求項１記載の外気調
和機。 - 【請求項３】 外気を取り入れる外気取り入れ口と、 前記外気取り入れ口から取り入れられた外気の平均温度
を計測する平均温度計と、 前記外気取り入れ口から取り入れられた外気を、前記平
均温度計の温度に基づいて所定温度以上に加温する加温
手段と、 前記加温手段により加温された外気に対して水を噴霧し
て除塵及び加湿するエアワッシャと、 前記エアワッシャから噴霧された加湿余剰水を溜める循
環水槽と、 該循環水槽に溜まった水を前記エアワッシャへ循環させ
る循環ポンプと、 前記エアワッシャから噴霧される水の必要量の不足分を
補うための水を補給するための配管と、 前記循環水槽からの水と前記配管からの水とをそれぞれ
冷却して前記エアワッシャに常温よりも低温の水を供給
する熱交換器と、 前記エアワッシャにより加湿及び除塵された外気の温度
と湿度をそれぞれ調整する調整手段と、 前記調整手段により温度と湿度がそれぞれ調整された外
気を外部へ送り出すファンとを有することを特徴とする
外気調和機。 - 【請求項４】 前記熱交換器は、前記エアワッシャに供
給する水の温度を１０℃に冷却することを特徴とする請
求項３記載の外気調和機。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9339920A JP3003655B2 (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | 外気調和機 |
| TW087120179A TW384375B (en) | 1997-12-10 | 1998-12-04 | Outdoor air conditioner |
| KR1019980053577A KR100313388B1 (ko) | 1997-12-10 | 1998-12-08 | 외부공기조화기 |
| US09/208,844 US6116033A (en) | 1997-12-10 | 1998-12-10 | Outside air conditioner |
| CN98125205A CN1220377A (zh) | 1997-12-10 | 1998-12-10 | 室外空气调节器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9339920A JP3003655B2 (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | 外気調和機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11173600A JPH11173600A (ja) | 1999-06-29 |
| JP3003655B2 true JP3003655B2 (ja) | 2000-01-31 |
Family
ID=18332021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9339920A Expired - Fee Related JP3003655B2 (ja) | 1997-12-10 | 1997-12-10 | 外気調和機 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6116033A (ja) |
| JP (1) | JP3003655B2 (ja) |
| KR (1) | KR100313388B1 (ja) |
| CN (1) | CN1220377A (ja) |
| TW (1) | TW384375B (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4583637B2 (ja) * | 2001-03-13 | 2010-11-17 | 高砂熱学工業株式会社 | 空気浄化空調装置 |
| KR20030045408A (ko) * | 2001-12-04 | 2003-06-11 | (주)진평하이텍 | 고정밀 온·습도 조절 장치 |
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