JP3003313B2 - 固体撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents

固体撮像装置及びその駆動方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置及びその
駆動方法に関し、特に複数の水平転送部を備えた固体撮
像装置及びその駆動方法に関する。
【0002】
【従来の技術】固体撮像装置、例えばCCD固体撮像素
子を用いた撮像装置において、高感度化や高S/N化を
実現する技術として、従来より、画素毎にマイクロレ
ンズを配するいわゆるオンチップマイクロレンズによる
等価的な開口率の増大電荷検出部の高効率化CDS
(相関二重サンプリング法)等の外部回路による低雑音
化等の技術が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
いずれの技術を用いたとしても、高S/N化への要求は
限りがなく、まだ十分とは言えないのが現状であり、ま
た特に低照度時における高感度化の要求もある。
【0004】ところで、近年、CCD固体撮像装置にお
ける水平転送部のパターンルールの緩和や動作周波数の
低減のために、複数(例えば、2本)の水平転送部を持
つCCD固体撮像装置が実用化に向けて研究されている
(例えば、特開昭63−117577号公報参照)。
【0005】そこで、本発明は、複数の水平転送部を持
つ構造のものにおいて、高感度化及び高S/N化を可能
とした固体撮像装置及びその駆動方法を提供することを
目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による固体撮像装置は、入射光を画素単位で
信号電荷に変換して蓄積する受光部と、この受光部から
垂直列毎に読み出された信号電荷を垂直方向に転送する
垂直転送部と、この垂直転送部から移された信号電荷を
各々水平方向に転送する複数(n本)の水平転送部と、
これら水平転送部のうち垂直転送部側の第1の水平転送
部に移された信号電荷の一部を他の水平転送部に選択的
に転送する転送ゲートと、第1,第2の動作モードを択
一的に設定する動作モード設定手段と、この動作モード
設定手段による第1の動作モードの設定時は、第1の水
平転送部から前記他の水平転送部への信号電荷の転送を
禁止するとともに、第1の水平転送部において隣り合う
n画素分の信号電荷を混合して水平転送すべく転送ゲー
ト及び第1の水平転送部を駆動し、第2の動作モードの
設定時は、受光部の所定の垂直列の信号電荷に対して転
送ゲートによる転送動作を行い、しかる後複数の水平転
送部の各々において画素単位で信号電荷を水平転送すべ
く転送ゲート及び第1,第2の水平転送部を駆動する駆
動手段と、第1の水平転送部での転送電荷に基づく出力
信号を処理する第1の信号処理系と他の水平転送部での
転送電荷に基づく出力信号を処理する第2の信号処理系
とを有し、第1の動作モードの設定時は第2の信号処理
系を他の水平転送部の出力側から切り離して第1の信号
処理系を経た信号のみを出力し、第2の動作モードの設
定時は第1,第2の信号処理系を経た各信号を合成して
出力する信号処理手段ととを備えている。
【0007】また、本発明による固体撮像装置の駆動方
法は、入射光を画素単位で信号電荷に変換して蓄積する
受光部と、この受光部から垂直列毎に読み出された信号
電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、この垂直転送
部から移された信号電荷を各々水平方向に転送する複数
(n本)の水平転送部と、これら水平転送部のうち垂直
転送部側の第1の水平転送部に移された信号電荷の一部
を他の水平転送部に選択的に転送する転送ゲートと、
1の水平転送部での転送電荷に基づく出力信号を処理す
る第1の信号処理系と他の水平転送部での転送電荷に基
づく出力信号を処理する第2の信号処理系とを有する信
号処理手段とを備えた固体撮像装置において、第1の動
作モードの設定時は、第1の水平転送部から他の水平転
送部への信号電荷の転送を禁止するとともに、第1の水
平転送部において隣り合うn画素分の信号電荷を混合し
て水平転送し、第2の信号処理系を他の水平転送部の出
力側から切り離して第1の信号処理系を経た信号のみを
出力し、第2の動作モードの設定時は、受光部の所定の
垂直列の信号電荷に対して転送ゲートによる転送動作を
行い、しかる後複数の水平転送部の各々において画素単
位で信号電荷を水平転送し、第1,第2の信号処理系を
経た各信号を合成して出力するようにする。
【0008】
【作用】上記構成の固体撮像装置及びその駆動方法にお
いて、第1の動作モードの設定時は、第1の水平転送部
から他の水平転送部への転送ゲートによる信号電荷の転
送を禁止するとともに、第1の水平転送部で隣り合うn
画素分の信号電荷を混合して水平転送することにより、
受光セル面積が等価的に大きくなって信号量が増えるた
め、また他の水平転送部の出力信号を処理する信号処理
系については他の水平転送部の出力側から切り離すこと
により、他の水平転送部の出力側からのノイズが出力信
号に乗らないため、高感度化及び高S/N化が図れる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図1は、本発明の一実施例を示す構成図で
ある。図において、入射光を画素単位で信号電荷に変換
して蓄積する受光部を形成すべく画素単位で2次元配列
された複数個のフォトセンサ1と、これらフォトセンサ
1から垂直列毎に読み出された信号電荷を垂直方向に転
送する垂直CCD(垂直転送部)2とによって撮像領域
3が構成されている。垂直CCD2は、垂直走査に相当
する動作を受け持っており、垂直転送クロックφV1〜
φV4によって4相駆動される。
【0010】垂直CCD2の出力側には、垂直CCD2
から移された信号電荷を各々水平方向に転送する例えば
2本の第1,第2の水平CCD(水平転送部)4,5が
併置されている。これら水平CCD4,5は、水平走査
に相当する動作を受け持っており、水平転送クロックφ
H1,φH2により2相駆動される。水平CCD4,5
の各出力側には、転送されてきた信号電荷を検出して電
圧信号に変換するフローティングディフュージョンアン
プ6,7が設けられている。これらフローティングディ
フュージョンアンプ6,7で変換された電圧信号は、出
力アンプ8,9を経て出力信号VO1,VO2として外
部へ導出される。
【0011】第1,第2の水平CCD4,5間には、垂
直CCD2から転送されてきた信号電荷を1垂直列おき
に両水平CCD4,5に振り分ける振分け転送ゲート1
0が配されている。すなわち、垂直CCD2から第1の
水平CCD4に転送された信号電荷は、図2から明らか
なように、振分け転送ゲート10によって制御されるチ
ャネル領域11を通って第2の水平CCD5に送られる
構造となっている。振分け転送ゲート10はゲートパル
スφHHGによって開閉駆動される。チャネル領域11
の両側にはチャネルストップ12が形成され、それに対
応する第1の水平CCD4から第2の水平CCD5への
電荷転送を阻止している。
【0012】再び図1において、タイミングジェネレー
タ13からは、垂直CCD2を4相駆動する垂直転送ク
ロックφV1〜φV4、第1,第2の水平CCD4,5
を2相駆動する水平転送クロックφH1,φH2及び振
分け転送ゲート10を開閉駆動するゲートパルスφHH
G等の各種のタイミング信号が発生される。発生された
各種タイミング信号のうち、水平転送クロックφH1,
φH2及びゲートパルスφHHGは水平ドライバ14を
介して第1,第2の水平CCD4,5及び振分け転送ゲ
ート10に印加される。
【0013】動作モード設定回路15は、信号電荷の水
平転送に関し後述する高S/N動作モード(第1の動作
モード)と通常動作モード(第2の動作モード)の2つ
の動作モードのいずれか一方を択一的に設定するための
ものであり、例えば、スイッチの切換え等によっていず
れかの動作モードを設定し得る構成となっている。この
設定モード情報はタイミングジェネレータ13に供給さ
れる。タイミングジェネレータ13は、設定モード情報
に応じて第1,第2の水平CCD4,5及び振分け転送
ゲート10への水平転送クロックφH1,φH2及びゲ
ートパルスφHHGの印加タイミングを制御する。
【0014】以下、信号電荷の水平転送の動作について
説明する。先ず、動作モード設定回路15にて通常動作
モードが設定された場合の転送動作について図2を参照
しつつ説明する。
【0015】水平方向にて隣り合う信号電荷SC1,S
C2は共に垂直CCD2より第1の水平CCD4に転送
される(a)。このとき、振分け転送ゲート10は閉状
態にある。この状態では、信号電荷SC1,SC2に対
応する第1の水平CCD4のゲート電極に印加される水
平転送クロックφH1,φH2は同レベルにあり、信号
電荷SC1,SC2が第1の水平CCD4内で混合され
ることはない。
【0016】そして、次の動作タイミングでは、振分け
転送ゲート10が開駆動されることにより、信号電荷S
C1,SC2のうち、信号電荷SC2がチャネル領域1
1を介して第2の水平CCD5に転送される一方、信号
電荷SC1はチャネルストップ12によって第2の水平
CCD5への転送が阻止されるため、第1の水平CCD
4内に留まる(b)。
【0017】以上の動作により、第1の水平CCD4と
第2の水平CCD5への信号電荷SC1,SC2の振り
分けが完了する。この振り分け完了後、両水平CCD
4,5において信号電荷SC1,SC2の水平転送が行
われ(c)、これら信号電荷SC1,SC2は出力アン
プ8,9からそれぞれ出力信号VO1,VO2として導
出される。
【0018】次に、動作モード設定回路15にて高S/
N動作モードが設定された場合の転送動作について図3
を参照しつつ説明する。なお、この動作モードでは、第
1の水平CCD4から第2の水平CCD5への信号電荷
の転送が行われないように、水平ドライバ14によって
振分け転送ゲート10が常時閉状態に維持されるものと
する。
【0019】信号電荷SC1,SC2は共に垂直CCD
2より第1の水平CCD4に転送され、このうち信号電
荷SC1はチャネルストップ12によって第2の水平C
CD5への転送が阻止されるため第1の水平CCD4内
に留まり、又信号電荷SC2は振分け転送ゲート10が
閉状態にあるため第2の水平CCD5に転送されること
なく、信号電荷SC1と同様に、第1の水平CCD4内
に留まる(a)。
【0020】次に、図4のタイミングチャートに示すよ
うに、信号電荷SC1,SC2に対応する第1の水平C
CD4のゲート電極に印加される水平転送クロックφH
1,φH2のバランスを崩すことにより、第1の水平C
CD4内で信号電荷SC1,SC2を混合する(b)。
しかる後、第1の水平CCD4において水平転送が行わ
れ(c)、この信号電荷SC1+SC2は出力アンプ8
から出力信号VO1として導出される。
【0021】この水平転送動作において、第1の水平C
CD4で転送される信号電荷は、通常動作モードでは信
号電荷SC1のみであるのに対し、高S/N動作モード
では2画素混合による信号電荷SC1+SC2であるた
め、第1の水平CCD4に対応する出力アンプ8から
は、通常動作モードの2倍の出力信号を導出できること
になる。一方、第2の水平CCD5内には信号電荷が存
在しないため、第2の水平CCD5に対応する出力アン
プ9からは出力信号は導出されない。
【0022】ここで、通常動作モードの場合と高S/N
動作モードの場合のS/Nについての比較を行う。先
ず、通常動作モードでは、図5(A)に示すように、2
本の水平CCD4,5に対応する出力VO1,VO2
は、第1,第2の信号処理系であるS/H(又はCD
S)回路16,17を経た後、加算器18で単純に加算
されて画像信号として導出されるものとする。これは、
S/Nの面では優れた合成方法である。
【0023】今、出力VO1,VO2のサンプルホール
ド後における信号電圧をS、ノイズ電圧をNとすると、
合成後の信号電圧は2Sとなる。一方、ノイズに関して
は、出力アンプ8,9で発生するノイズ成分が支配的で
あり、出力VO1とVO2のノイズ間に相関関係が無い
ため、合成後は21/2 Nとなる。従って、S/Nとして
は、
【数1】 (S/N)1 =20log(21/2 S/N) ……(1) となる。
【0024】一方、高S/N動作モードでは、図5
(B)に示すように、出力信号が導出されないVO2系
(信号処理系)を本線信号系統から切り離すことによ
り、出力アンプでのノイズ成分が支配的となり、VO
1系統にVO2系統からのノイズが加わることが無い。
また、出力VO1のサンプルホールド後の信号電圧とし
ては、通常動作モードの2倍がえられるため2Sとなる
一方、ノイズ電圧はNのままである。従って、S/Nと
しては、
【数2】 (S/N)2 =20log(2S/N) ……(2) となる。
【0025】すなわち、上記(1),(2)式から明ら
かなように、高S/N動作モードによれば、通常動作モ
ードの場合に比べてS/Nが3dB(20log
1/2 )だけ向上できることになる。また、この高S/
N動作モードは、水平方向の画素信号を合成するため、
通常動作モードに比べて水平解像度が犠牲になるもの
の、高感度化及び高S/N化が図れるため、特に低照度
時の感度及びS/Nの改善に有効な手段となる。
【0026】従って、本CCD固体撮像装置をカメラに
応用する場合、普段は通常動作モードを設定し、低照度
時で水平解像度を犠牲にしても感度を優先させたいとき
に補助的に高S/N動作モードを設定するように使用す
れば良い。
【0027】なお、上記実施例では、通常動作モードと
高S/N動作モードの2つの動作モードを切換え可能に
構成した場合について説明したが、高感度化及び高S/
N化のみを主体に考えた場合、高S/N動作モードのみ
を有する固体撮像装置であっても良いことは勿論であ
る。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数(n本)の水平転送部を備えた固体撮像装置におい
て、垂直転送部側の第1の水平転送部から他の水平転送
部への信号電荷の転送を禁止するとともに、第1の水平
転送部で隣り合うn画素分の信号電荷を混合して水平転
送する構成としたことにより、受光セル面積が等価的に
大きくなって信号量が増えるため、また他の水平転送部
の出力信号を処理する信号処理系については他の水平転
送部の出力側から切り離すようにしたことで、他の水平
転送部の出力側からのノイズが出力信号に乗らないた
め、高感度化及び高S/N化が図れる効果がある。
【0029】また、高S/N動作モードと通常動作モー
ドの2つの動作モードを択一的に設定できるようにした
ことにより、特に低照度時のように水平解像度を犠牲に
しても高感度化及び高S/N化を図りたい場合に、高S
/N動作モードを設定するというような使い方ができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】水平転送部の平面構造図である。
【図3】高S/N動作モード時の動作説明図である。
【図4】高S/N動作モード時のタイミングチャートで
ある。
【図5】通常動作モード時(A)と高S/N動作モード
時(B)の信号処理系の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 フォトセンサ 2 垂直CCD 4 第1の水平CCD 5 第2の水平CCD 8,9 出力アンプ 10 振分け転送ゲート 11 チャネル領域 13 タイミングジェネレータ 14 水平ドライバ 15 動作モード設定回路

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射光を画素単位で信号電荷に変換して
    蓄積する受光部と、 前記受光部から垂直列毎に読み出された信号電荷を垂直
    方向に転送する垂直転送部と、 前記垂直転送部から移された信号電荷を各々水平方向に
    転送する複数(n本)の水平転送部と、 前記複数の水平転送部のうち前記垂直転送部側の第1の
    水平転送部に移された信号電荷の一部を他の水平転送部
    に選択的に転送する転送ゲートと、第1,第2の動作モードを択一的に設定する動作モード
    設定手段と、 前記動作モード設定手段による第1の動作モードの設定
    時は、 前記第1の水平転送部から前記他の水平転送部へ
    の信号電荷の転送を禁止するとともに、前記第1の水平
    転送部において隣り合うn画素分の信号電荷を混合して
    水平転送すべく前記転送ゲート及び前記第1の水平転送
    部を駆動し、第2の動作モードの設定時は、前記受光部
    の所定の垂直列の信号電荷に対して前記転送ゲートによ
    る転送動作を行い、しかる後前記複数の水平転送部の各
    々において画素単位で信号電荷を水平転送すべく前記転
    送ゲート及び前記第1,第2の水平転送部を駆動する駆
    動手段と、前記第1の水平転送部での転送電荷に基づく出力信号を
    処理する第1の信号処理系と前記他の水平転送部での転
    送電荷に基づく出力信号を処理する第2の信号処理系と
    を有し、前記第1の動作モードの設定時は前記第2の信
    号処理系を前記他の水平転送部の出力側から切り離して
    前記第1の信号処理系を経た信号のみを出力し、前記第
    2の動作モードの設定時は前記第1,第2の信号処理系
    を経た各信号を合成して出力する信号処理手段と を備え
    たことを特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 入射光を画素単位で信号電荷に変換して
    蓄積する受光部と、前記受光部から垂直列毎に読み出さ
    れた信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、前記
    垂直転送部から移された信号電荷を各々水平方向に転送
    する複数(n本)の水平転送部と、前記複数の水平転送
    部のうち前記垂直転送部側の第1 の水平転送部に移され
    た信号電荷の一部を他の水平転送部に選択的に転送する
    転送ゲートと、前記第1の水平転送部での転送電荷に基
    づく出力信号を処理する第1の信号処理系と前記他の水
    平転送部での転送電荷に基づく出力信号を処理する第2
    の信号処理系とを有する信号処理手段とを備えた固体撮
    像装置の駆動方法であって、 第1の動作モードの設定時は、 前記第1の水平転送部か
    ら前記他の水平転送部への信号電荷の転送を禁止すると
    ともに、前記第1の水平転送部において隣り合うn画素
    分の信号電荷を混合して水平転送し、前記第2の信号処
    理系を前記他の水平転送部の出力側から切り離して前記
    第1の信号処理系を経た信号のみを出力し、 第2の動作モードの設定時は、前記受光部の所定の垂直
    列の信号電荷に対して 前記転送ゲートによる転送動作を
    行い、しかる後前記複数の水平転送部の各々において画
    素単位で信号電荷を水平転送し、前記第1,第2の信号
    処理系を経た各信号を合成して出力することを特徴とす
    る固体撮像装置の駆動方法。
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