JP2999353B2 - 超高真空用回転流体供給装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超高真空（ultra high
vacuum 、ＵＨＶ）環境で使用するための回転流体供給
装置に関し、より詳しくは、超高真空環境で使用する回
転多るつぼ型電子ビーム蒸発源組立体に冷却剤を供給す
るための全金属シール型回転可能ベローズを備えた回転
流体供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】超高真空環境ではなく、高真空環境で使
用するための回転組立体は従来技術において知られてい
る。一般に、回転装置は、回転炉床（rotating hearth)
の頂部に円形配列で形成された複数のるつぼ（crucible
s)を有している。回転炉床は、るつぼを回転させて連続
的に標的領域へ動かし、ここで例えば、放射機構からの
電子ビームが、るつぼ内の材料を蒸発させて基板上に薄
膜を蒸着させる。回転るつぼ組立体は、一般に、るつぼ
を冷却すべく該るつぼ組立体に形成された冷却水路に冷
却剤を供給するための流体供給装置を必要とする。高真
空環境内の回転装置用の従来技術による流体供給装置
は、一般に、エラストマ材料又は磁性流体で作られ且つ
連結箇所に配置されたシールを備えた回転装置を使用し
て、周囲の冷却剤供給源と作動装置の高真空環境との間
に圧力差を維持している。エラストマ材料及び磁性流体
は、炉床の回転により連結箇所に生じるねじれに耐え得
る可撓性シールを形成する。例えば、物理的蒸気蒸着薄
膜成形方法及び集積回路の半導体の製造プロセスで使用
される超高真空環境は、組立体を高温に曝す必要があ
る。高真空環境でシールとして使用されるエラストマ材
料及び磁性流体は、幾つかの理由から超高真空環境には
使用できない。第１の理由は、これらの物質が超高真空
環境を確保できないことであり、第２の理由は、これら
の物質が高温に耐えられないことである。超高真空環境
は、ガス抜けを防止するための全金属シール型流体供給
装置を必要とする。

【０００３】超高真空環境用の全金属シール形流体供給
装置が従来技術において知られている。一般に、このよ
うな装置は金属製の圧縮シールを備えた溶接型ベローズ
を使用しており、金属製シールは回転により生じるねじ
れに耐えることができないので、るつぼは直線的に配列
に配置されている。例えば薄膜蒸着の場合には、るつぼ
が、長い全金属溶接型ベローズ組立体を用いた放射機構
を通して連続的に移動される。一般に、直線的な組立体
は、高真空環境で使用されている好ましい回転型装置よ
りも長くて扱い難い。高温環境及びるつぼの回転により
引き起される機械的ストレスに耐え得るようにすべく、
本発明は、入口ベローズと出口ベローズとを反対方向に
巻回することにより、るつぼの回転時に、一方のベロー
ズが解かれるときに他方のベローズが巻かれるように構
成し、回転るつぼのトルクを低減する。本発明の他の特
徴によれば、同軸に配置された入口ベローズと出口ベロ
ーズとの対が、同じ方向に巻かれ且つ解かれる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の広い目的は、
従来技術の制限及び欠点を解決できる超高真空環境内の
回転装置用の全金属シール型回転可能流体供給装置を提
供することにある。本発明の特別な目的は、超高真空環
境内で薄膜蒸着を行う回転電子ビーム蒸発源組立体内の
複数のるつぼを冷却するための超高真空用全金属シール
型回転可能流体供給装置を提供することにある。本発明
の他の特別な目的は、ベローズ組立体を備え、回転軸線
がベローズ組立体の回転軸線と実質的に同一である回転
装置用の超高真空用全金属シール型回転可能流体供給装
置を提供することにある。本発明の他の特別な目的は、
１０^-11 トールかつ２５０℃までの作動条件に適したコ
ンパクトで、安価且つ簡単な全金属シール型回転可能流
体供給装置を提供することにある。本発明の他の特別な
目的は、入口ベローズと出口ベローズとの間に分離状態
を維持して両ベローズの磨耗及びもつれを防止する機構
を備えた超高真空用回転可能流体供給装置を提供するこ
とにある。

【０００５】本発明の他の特別な目的は、入口ベローズ
と出口ベローズとが反対方向に巻回されていて、回転る
つぼのトルクを低減できる超高真空用全金属シール型流
体供給装置を提供することにある。本発明の更に他の特
別な目的は、入口ベローズと出口ベローズとの対が同じ
方向に一緒に解かれかつ巻回される同軸状に取り付けら
れたベローズ装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】超高真空環境に使用する
ための本発明による全金属シール型回転可能流体供給装
置は円筒状ハウジングを有しており、該ハウジングの側
壁には流体入口ポート及び流体出口ポートが形成されて
いる。入口成形ベローズ及び出口成形ベローズは、これ
らの第１端部がそれぞれ入口ポート及び出口ポートに取
り付けられている。両ベローズは円筒状ハウジング内に
配置され且つ非研摩材で作られたプレートにより互いに
分離されている。両ベローズの反対側の端部は、電子銃
組立体等の回転装置から延びている入口ライン及び出口
ラインの対向端部にそれぞれ取り付けられている。適当
なポート及びラインに取り付けられた後は、各ベローズ
の全長が単一平面内に維持される。入口ライン及び出口
ラインは、ハウジングの上部の平らな面内に形成された
円筒状のトロイダルターンテーブルの開口に通される前
に、ほぼ９０°の屈曲部を形成している。ターンテーブ
ルは回転装置のスピンドルの基部にボルト止めされ、こ
れらの間には、延性のある超高真空圧縮ガスケットによ
る超高真空シール及び水密シールが形成されている。ス
ピンドルが３６０°まで回転すると、ベローズはスピン
ドルの回転軸線に沿って巻かれ且つ解かれる。両ベロー
ズは対向する入口に取り付けられているので、一方のベ
ローズは他方のベローズが解かれるときに巻かれ、この
巻き及び解きは、それぞれ、ハウジング内の同一水平面
内で生じる。

【０００７】本発明の他の特徴によれば、少なくとも１
つの追加ベローズ対が設けられており、ベローズハウジ
ングは、２つの入口ベローズ及び２つの対向出口ベロー
ズを収容できるように僅かに大きい。本発明の更に他の
特徴によれば、ベローズ対の一方のベローズが他方のベ
ローズの内側に同軸に取り付けられており、入口ベロー
ズ及び出口ベローズが同じ方向に一緒に巻かれ且つ解か
れる。この特徴に関しては、同軸に取り付けられるベロ
ーズ対を追加し且つ同軸の入口ラインを同軸の出口ライ
ンに対向して配置し、同軸状に取り付けられた入口ライ
ンが巻かれるときに同軸に取り付けられた出口ラインが
解かれるように構成することもできる。本発明のこれら
の及び他の目的、長所及び特徴は、添付図面に関連して
述べる本発明の好ましい実施例についての以下の詳細な
説明により一層明瞭になるであろう。

【０００８】

【実施例】本発明の原理を具現化し、超高真空環境内で
の作動に適する超高真空用回転流体供給装置の全体が図
１及び図２において番号５０で示されており、該超高真
空用回転流体供給装置５０は、全体を番号１０で示す電
子銃組立体を冷却する水を供給する。図示の電子銃組立
体１０は、例示のみを目的とするものであり、この言及
により本願明細書に組込まれる係属中の米国特許出願第
07/972,131号においてより詳細に説明されている。他の
電子銃組立体を使用できること、流体供給装置５０が超
高真空環境内で、循環流体の供給を必要とする任意の回
転装置とともに使用できることを理解されるであろう。
流体供給装置は２５０℃までの温度に適しているけれど
も、例示の環境は次のような仕様、すなわち１０^-11 ト
ールの真空かつ２２０℃の温度である。例示の電子ビー
ム源組立体１０は、超高真空環境内で基板上に薄膜を蒸
着するために材料を蒸発させるのに使用される。シール
ドされた電子銃機構の全体が番号２０で示されており、
該電子銃機構２０はブロック２の一端の凹部２２内に収
容されている。この電子銃機構及び磁気構造は、上記米
国特許出願第07/972,131号において完全に説明されてお
り、本願では単なる例示に過ぎない。この電子銃機構に
代えて、他の電子銃組立体を使用することもできる。

【０００９】図１及び図２に示すように、電子ビーム源
組立体１０は円筒状の４つの銅製るつぼ３、５、７、９
を備え、全体として円形の銅製ブロック２を形成してお
り、各るつぼは截頭円錐状の側壁６及び底壁８を備えて
いる。単体構造ブロック２は更にスピンドル１４を形成
しており、ベースプレート４の孔内には、スピンドル１
４を支持するためのベアリング１６が設けられている。
在来の駆動機構２６から互いに噛み合う在来のベベルギ
ア２８、２９まで駆動軸２４が延びており、該駆動軸２
４は、従来技術において良く知られた方法でスピンドル
１４、かくしてるつぼ３、５、７、９を回転させる。駆
動機構２６は、従来技術において良く知られているよう
に組立体１０の側部又は後部に配置できる。ブロック２
には、るつぼ３、５、７、９を冷却するために水又は他
の適当な冷却剤を循環させるための在来の多数の水通路
１２が形成されている。水通路１２は、るつぼの回りで
水が螺旋状に流れ得るようにしている。超高真空回転流
体供給装置５０は、流体の入口ポート及び出口ポート
と、ハウジングと、電子源組立体１０に流体を供給し且
つ該組立体１０から流体を戻すための、前記ハウジング
内のベローズ組立体とを有している。

【００１０】円筒状に機械加工されたＯＦＨＣ銅製ハウ
ジングは、平らな頂壁５４と、平らな底壁５６と、ステ
ンレス鋼合金製の側壁５８とを形成している。頂壁５４
及び底壁５６を側壁５８に固定するのに複数のボルト６
０が使用されている。頂壁５４と底壁５６との間でハウ
ジング５２の内部には、銅のような軟質金属であるのが
好ましい非研摩材から作られた分離壁６２が設けられて
いる。側壁５８には、チャンネル１２に水を供給し且つ
該チャンネル１２から水を戻すための在来の水源ポート
入口３２及び水ポート出口３４を受け入れる開口（図示
せず）が設けられている。ハウジング５２は更に、スピ
ンドル１４の基部１５を受け入れるための円筒状のフラ
ンジ付き環状凹部６４を形成している。環状凹部６４内
では円筒状のトロイダルターンテーブル７０が、ボルト
７２によりスピンドル１４の基部１５に取り付けられて
いる。ターンテーブル７０の平らなシール面とスピンド
ル１４の基部１５との間には延性銅製の高真空ガスケッ
ト７４が設けられており、従来技術において良く知られ
た原理に従って超高真空シール構造を形成している。銅
製ガスケット７４はナイフエッジ（図示せず）を形成し
ており、基部１５とターンテーブル７０との間で挟圧さ
れるときに、ターンテーブル７０と基部１５とにより形
成される超高真空接合部の間からの水の漏洩を防止する
ためのシールを形成する。当業者には、ガスケット７４
として他の適当な軟質金属材料を使用できることが理解
されよう。

【００１１】水入口ライン６６及び水出口ライン６８
が、通路１２から、スピンドル１４を通り、基部１５及
びターンテーブル７０に形成された合せ孔を通ってハウ
ジング５２内に延びている。両水ライン６６及び６８
は、それぞれ、ベローズ８０の入口端部及びベローズ８
２の出口端部に取り付けられるように実質的に対向する
直角屈曲部を形成し、入口ライン６６が出口ライン６８
からほぼ１８０°の角度に配向されている。ベローズ８
０、８２はステンレス鋼製のベローズであり、各ベロー
ズの両端部には、ポート３２、３４及びライン６６、６
８に取り付けるための取付けフランジ８３が設けられて
いる。図２に示すように、ポート及びラインに取り付け
られたとき、ベローズ８０、８２の全長は、単一平面内
及びスピンドル１４の回転軸線内に維持される。給水
は、ハウジング５２及び電子源組立体１０内の超高真空
環境「Ｖ」から分離された、ベローズ８０、８２の内部
の周囲条件（ambient)「Ａ」に維持される。銅製分離壁
６２は入口ベローズ８０及び出口ベローズ８２が独立し
て作動することを可能にし、該壁６２が軟質銅材料で作
られていることは、ハウジング５２の銅製の頂壁５４及
び底壁５６と協働して、両ベローズ８０、８２のもつれ
及び磨耗を防止する。両ベローズを互いに並べて配置し
たい場合には、分離壁６２をハウジング５２内で垂直に
配置することができる。別の構成として、単一のベロー
ズを用いる場合又は同軸状のベローズ対を用いる場合に
は、分離壁６２を省略できる。

【００１２】図３〜図６は、放射組立体２０からの電子
ビームによるボンバードのためにるつぼ３、５、７、９
の各々を位置決めするように電子源組立体１０を順番に
時計方向に９０°ずつ回転する際の上方の出口ベローズ
８２の位置を示すものである。図３は、るつぼ３が電子
ビームにさらされるときの、ベローズ８２が完全に巻か
れた状態を示すものである。図４は、るつぼが所定位置
に回され、これによってベローズ８２が解き始めた状態
を示す。図５は、るつぼ７が所定位置に回わされ、ベロ
ーズ８２が更に解かれた位置を示すものであり、図６
は、るつぼ５が電子ビームにさらされる位置にあって、
ベローズ８２が解かれた位置を示すものである。図７に
は、両ベローズ８０、８２が反対方向に取り付けられた
状態が示されている。装置の組立て中は、るつぼ９が第
１位置にくるように、スピンドル１４をその完全巻き位
置（矢印方向「Ｗ」で示す）に位置決めし、るつぼ９を
第１位置におくのが好ましい。この構成では、下方の入
口ベローズ８０が図示の解き位置で取付けられ、出口ベ
ローズ８２はその完全巻き位置で取付けられる。電子源
組立体１０が作動しているとき、スピンドル１４を反対
方向（矢印方向「Ｕ」で示す）に回転させると、ベロー
ズ８０は巻かれ且つベローズ８２は解かれる。

【００１３】図３〜図６は各９０°ずつ計２７０°の回
転を示す。２７０°を超える回転を防止するため、適当
なストッパ（図示せず）を設けることができる。図面か
ら明らかなように、ベローズ８０、８２は、これらがス
ピンドル１４の回転軸線に沿って回転するときに単一平
面内で巻き及び解きを行う圧縮ばねとして作用する。ベ
ローズ８０、８２の反対方向の巻き／解き作用により、
ベローズの巻き及び解きによってスピンドル１４に発生
されるトルクが有効に打ち消される。スピンドル１４の
回転は、円滑且つ均一に行われる。当業者には、本発明
の装置により３６０°の回転を達成できることが理解さ
れよう。図８には、反対方向の２対のベローズを備えた
本発明の別の特徴が示されている。ハウジング５２は、
２つの入口ベローズ８０′、８０″及び２つの対向する
出口ベローズ８２′、８２″を収容するため大きくでき
る。分離壁６２に加えて銅製の分離壁６２′及び６２″
が設けられており、２つの入口ベローズ８０′と８０″
との間及び２つの出口ベローズ８２′と８２″との間の
分離を維持している。これらの２対のベローズに取り付
けられる２つの入口ライン６６、６６′及び入口ポート
３２と、２つの出口ライン６８、６８′及び出口ポート
３４とが設けられている。別の構成として、第２のベロ
ーズの対のための第２ハウジングを設けることができ、
且つ単一の入口ライン及び出口ライン、各ラインには各
対のベローズに取り付けるための分割形カップリング端
部を設けることもできる。

【００１４】図９には、１つのベローズ８００が別のベ
ローズ８２０内に同軸状に取り付けられた本発明の別の
特徴が示されている。この点に関し、両ベローズ８０
０、８２０は回転中に一緒に巻き及び解きが行われる。
また、入口ライン６６０及び出口ライン６８０及び入口
ポート及び出口ポートも同軸状に配置されている。当業
者は、２つの同軸状ベローズ対を設けることができ、こ
の場合に、同軸状の入口ラインと同軸状の出口ラインと
を互いに反対方向に配置して、同軸状の出口ベローズが
解かれるときに同軸状の入口ベローズが巻かれるように
構成できることが理解されよう。上記から、本発明が関
連する技術分野の当業者には、本発明の原理の実施例及
び実施についての広範囲の種々の変更が示唆されよう。
例えば、本発明の回転流体供給装置は、ガスを含む流体
供給を必要とする回転装置を用いたあらゆる高真空環境
及び超高真空環境に使用できる。本発明は、半導体工
業、超伝導用の材料研究、レンズ及びミラー用コーティ
ング、宝石その他の装飾用コーティング及び自動車用コ
ーティング等の基板上への薄いソリッドフィルムコーテ
ィングを製造する電子ビーム源を作る技術に適用でき
る。更に、ベローズは、互いに反対方向のベローズが、
供給すべき回転装置の回転軸線と同じ実質的な単一平面
内で回転できるものである限り、図示の構成に対して垂
直方向に９０°をなす別の構成に配置できる。また、ベ
ローズハウジングは、装置の回転機構の軸線に流体を供
給して、ベローズハウジングの回転を可能にする任意の
位置に位置決めできる。また、ハウジングは、ボルト止
めではなく、溶接により回転組立体のスピンドルに永久
的に取り付けることもできる。本願における説明及び記
載は本発明の範囲を制限するものと考えるべきではな
く、本発明の範囲は特許請求の範囲の記載により詳細に
述べられている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理を具現する超高真空用回転流体供
給装置の平面図であり、電子銃組立体に使用したところ
を示すものである。

【図２】図１の装置をその２−２線に沿って切断した断
面図である。

【図３】ベローズの１つをスピンドル及びるつぼと一緒
に示す平面図であり、スピンドルが第１るつぼ位置から
第４るつぼ位置まで２７０°回転されるときのベローズ
の巻き位置及び解き位置の１つを示すものである。

【図４】ベローズの１つをスピンドル及びるつぼと一緒
に示す平面図であり、スピンドルが第１るつぼ位置から
第４るつぼ位置まで２７０°回転されるときのベローズ
の巻位置及び解き位置の１つを示すものである。

【図５】ベローズの１つをスピンドル及びるつぼと一緒
に示す平面図であり、スピンドルが第１るつぼ位置から
第４るつぼ位置まで２７０°回転されるときのベローズ
の巻位置及び解き位置の１つを示すものである。

【図６】ベローズの１つをスピンドル及びるつぼと一緒
に示す平面図であり、スピンドルが第１るつぼ位置から
第４るつぼ位置まで２７０°回転されるときのベローズ
の巻位置及び解き位置の１つを示すものである。

【図７】上方ハウジングを取り除き且つ下方のベローズ
を破線で示した平面図であり、るつぼが完全に回転さ
れ、上方のベローズが巻かれ、且つ下方のベローズが完
全に解かれた状態を示すものである。

【図８】２つの入口ライン、２つの出口ライン、２つの
入口ベローズ及び２つの出口ベローズを備えた本発明の
別の特徴を示す断面図である。

【図９】一方のベローズが他方のベローズの内側に配置
された同軸状ベローズ構成を示す本発明の別の特徴を示
す断面図である。

【符号の説明】

２ ブロック ３ 銅製るつぼ ４ ベースプレート ５ 銅製るつぼ ７ 銅製るつぼ ９ 銅製るつぼ １０ 電子銃組立体（電子ビーム源組立体、電子源組立
体） １２ 水通路（チャンネル） １４ 回転スピンドル １５ 回転スピンドルの基部 ２４ 駆動軸 ２６ 駆動機構 ３２ 水源ポート入口 ３４ 水ポート出口 ５０ 超高真空用回転流体供給装置 ５２ ハウジング ６２ 分離壁 ６６ 水入口ライン ６８ 水出口ライン ７０ トロイダルターンテーブル ８０ 入口ベローズ ８２ 出口ベローズ ６６０ 入口ライン ６８０ 出口ライン ８００ ベローズ ８２０ ベローズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マイケル ワイス アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94526 ダンヴィル サン レイ プレ イス 221 (56)参考文献 特開 昭61−69963（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−110263（ＪＰ，Ｕ) 米国特許5338913（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F25D 1/02 C23C 14/24 C23C 14/30

Claims (21)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 超高真空環境内の回転装置に流体を供給
   するための全金属シール型回転可能流体供給装置におい
   て、 前記回転装置に連結され且つ１つの回転軸線を有する回
   転手段と、 該回転手段に連結され且つ回転手段の回転軸線内で回転
   手段と共に巻かれ及び解かれる少なくとも１つの第１及
   び第２成形ベローズ手段と、 該少なくとも１つの第１及び第２成形ベローズ手段の１
   方内に支持され且つ前記回転装置まで延びている流体入
   口手段と、 前記少なくとも１つの第１及び第２成形ベローズ手段の
   １方内に支持され且つ前記回転装置から延びている流体
   出口手段とを有すること、を特徴とする全金属シール型
   回転可能流体供給装置。
2. 【請求項２】 前記少なくとも１つの第１及び第２成形
   ベローズ手段用のハウジング手段を更に有すること、を
   特徴とする請求項１に記載の全金属シール型回転可能流
   体供給装置。
3. 【請求項３】 前記回転手段と回転装置との間に流体シ
   ール及び超高真空シールを形成するための延性シール手
   段を更に有すること、を特徴とする請求項２に記載の全
   金属シール型回転可能流体供給装置。
4. 【請求項４】 前記ハウジング手段が更に孔を備えてお
   り、該孔内に前記回転手段が取り付けられること、を特
   徴とする請求項３に記載の全金属シール型回転可能流体
   供給装置。
5. 【請求項５】 前記流体入口手段が、少なくとも１つの
   成形ベローズ手段の１つの第１端部に連結するための前
   記ハウジング手段内へのポート手段と、前記少なくとも
   １つの成形ベローズ手段の第２端部に取り付けるための
   入口ライン手段とを更に備えており、該入口ライン手段
   が回転手段内に延びて、回転装置内に延長されているこ
   と、を特徴とする請求項４に記載の全金属シール型回転
   可能流体供給装置。
6. 【請求項６】 前記流体出口手段が、少なくとも１つの
   成形ベローズ手段の１つの第１端部に連結するための前
   記ハウジング手段内へのポート手段と、前記少なくとも
   １つの成形ベローズ手段の第２端部に取り付けるための
   出口ライン手段とを更に備えており、該出口ライン手段
   が回転手段内に延びて回転装置内に延長されているこ
   と、を特徴とする請求項５に記載の全金属シール型回転
   可能流体供給装置。
7. 【請求項７】 前記入口ライン手段及び出口ライン手段
   が対向していること、を特徴とする請求項６に記載の全
   金属シール型回転可能流体供給装置。
8. 【請求項８】 前記少なくとも１つの第１及び第２成形
   ベローズ手段を分離状態に維持するための、前記ハウジ
   ング手段内の分離手段を更に有していること、を特徴と
   する請求項７に記載の全金属シール型回転可能流体供給
   装置。
9. 【請求項９】 全金属シール型回転可能流体供給装置の
   回転中に、前記少なくとも１つの第１及び第２成形ベロ
   ーズ手段の一方が回転手段の回転軸線内で巻かれ、他方
   が回転手段の回転軸線内で解かれること、を特徴とする
   請求項８に記載の全金属シール型回転可能流体供給装
   置。
10. 【請求項１０】 前記少なくとも１つの第１及び第２成
    形ベローズ手段が１つの入口ベローズと１つの対向する
    出口ベローズとを備えており、前記入口ライン手段が前
    記１つの入口ベローズに取り付けられた１つの入口ライ
    ンを備えており、前記出口ライン手段が前記入口ライン
    手段に対向し且つ前記１つの対向出口ベローズに取り付
    けられた１つの出口ラインを備えていること、を特徴と
    する請求項９に記載の全金属シール型回転可能流体供給
    装置。
11. 【請求項１１】 前記少なくとも１つの第１及び第２成
    形ベローズ手段が少なくとも２つの入口ベローズと少な
    くとも２つの対向出口ベローズとを備えており、前記入
    口ライン手段が前記少なくとも２つの入口ベローズに取
    り付けられた少なくとも２つの入口ラインを備えてお
    り、前記出口ライン手段が前記少なくとも２つの入口ラ
    イン手段に対向し且つ前記少なくとも２つの対向出口ベ
    ローズに取り付けられた少なくとも２つの出口ラインを
    備えていること、を特徴とする請求項９に記載の全金属
    シール型回転可能流体供給装置。
12. 【請求項１２】 前記分離手段が、前記少なくとも２つ
    の入口ベローズと少なくとも２つの対向する出口ベロー
    ズとの間の第１壁と、少なくとも２つの入口ベローズの
    間の第２壁と、少なくとも２つの出口ベローズの間の第
    ３壁とを有していること、を特徴とする請求項１１に記
    載の全金属シール型回転可能流体供給装置。
13. 【請求項１３】 前記装置が、複数のるつぼを備えた回
    転電子ビーム源組立体であること、を特徴とする請求項
    ９に記載の全金属シール型回転可能流体供給装置。
14. 【請求項１４】 前記少なくとも１つの第１及び第２成
    形ベローズ手段が、第２ベローズ内に同軸に取り付けら
    れた第１ベローズを有しており、前記第１及び第２ベロ
    ーズが一緒に巻かれ且つ解かれること、を特徴とする請
    求項６に記載の全金属シール型回転可能流体供給装置。
15. 【請求項１５】 前記少なくとも１つの第１及び第２成
    形ベローズ手段が、同軸に取り付けられた少なくとも２
    つの入口ベローズと、同軸に取り付けられた少なくとも
    ２つの対向出口ベローズとを有していること、を特徴と
    する請求項１４に記載の全金属シール型回転可能流体供
    給装置。
16. 【請求項１６】 前記少なくとも２つの入口ベローズ
    を、前記少なくとも２つの対向出口ベローズから分離さ
    れた状態に維持するための、前記ハウジング手段内の分
    離手段を更に有していること、を特徴とする請求項１５
    に記載の全金属シール型回転可能流体供給装置。
17. 【請求項１７】 前記入口ライン手段及び出口ライン手
    段は、これらの一方が他方の内部に同軸状に取り付けら
    れており、前記入口ポート手段及び出口ポート手段は、
    これらの一方が他方の内部に同軸に取り付けられている
    こと、を特徴とする請求項１４に記載の全金属シール型
    回転可能流体供給装置。
18. 【請求項１８】 超高真空環境内の回転装置に流体を供
    給するための全金属シール型流体供給装置において、 前記回転装置と共に回転するように該回転装置に連結さ
    れた回転手段と、 該回転手段を取り付けるための孔を備えたハウジング手
    段と、 前記装置から前記回転手段を通って前記ハウジング手段
    の内部まで延びている流体入口ライン手段及び流体出口
    ライン手段と、 前記ハウジング手段のポート孔を通って延びている流体
    入口ポート手段及び流体出口ポート手段と、 前記ハウジング手段内に取り付けられた少なくとも１対
    の成形ベローズ手段とを有しており、該成形ベローズ手
    段が、前記流体入口ライン手段及び流体出口ライン手段
    に連結された第１端部と、前記流体入口ポート手段及び
    流体出口ポート手段に連結された第２端部とを備えてお
    り、前記少なくとも１対の成形ベローズ手段の第１成形
    ベローズが前記回転手段の回転軸線内で巻かれると同時
    に、前記少なくとも１対の成形ベローズ手段の第２成形
    ベローズが前記回転手段の回転軸線内で解かれること、
    を特徴とする全金属シール型流体供給装置。
19. 【請求項１９】 超高真空環境内の回転装置に流体を供
    給するための全金属シール型流体供給装置において、 前記回転装置と共に回転するように該回転装置に連結さ
    れた回転手段と、 該回転手段を取り付けるための孔を備えたハウジング手
    段と、 前記装置から前記回転手段を通って前記ハウジング手段
    の内部まで延びている流体入口ライン手段及び流体出口
    ライン手段と、 前記ハウジング手段のポート孔を通って延びている流体
    入口ポート手段及び流体出口ポート手段と、 前記ハウジング手段内に同軸に取り付けられた少なくと
    も１対の成形ベローズ手段とを有しており、該成形ベロ
    ーズ手段が、前記流体入口ライン手段及び流体出口ライ
    ン手段に連結された第１端部と、前記流体入口ポート手
    段及び流体出口ポート手段に連結された第２端部とを備
    えており、前記同軸に取り付けられた成形ベローズ手段
    が前記回転手段の回転軸線内で巻かれ且つ解かれること
    を特徴とする全金属シール形流体供給装置。
20. 【請求項２０】 前記同軸状に取り付けられた成形ベロ
    ーズ手段が、同軸に取り付けられた入口ライン及び出口
    ラインに同軸に取り付けられた入口ベローズ及び出口ベ
    ローズを有していること、を特徴とする請求項１９に記
    載の全金属シール型流体供給装置。
21. 【請求項２１】 前記同軸状に取り付けられた成形ベロ
    ーズ手段が、同軸に取り付けられた１対の入口ベローズ
    と、同軸に取り付けられた対向する１対の出口ベローズ
    とを有していること、を特徴とする請求項１９に記載の
    全金属シール型流体供給装置。