JP2999237B2 - Multi-chip type photoelectric conversion device - Google Patents

Multi-chip type photoelectric conversion device

Info

Publication number
JP2999237B2
JP2999237B2 JP2266333A JP26633390A JP2999237B2 JP 2999237 B2 JP2999237 B2 JP 2999237B2 JP 2266333 A JP2266333 A JP 2266333A JP 26633390 A JP26633390 A JP 26633390A JP 2999237 B2 JP2999237 B2 JP 2999237B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip
signal
output
photoelectric conversion
clamp
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2266333A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04144362A (en
Inventor
誠二 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2266333A priority Critical patent/JP2999237B2/en
Publication of JPH04144362A publication Critical patent/JPH04144362A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2999237B2 publication Critical patent/JP2999237B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)
  • Facsimile Image Signal Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、マルチチップ型光電変換装置に係り、特に
チップ間のレベル差を小さくし、S/N比を向上させたマ
ルチチップ型光電変換装置に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-chip photoelectric conversion device, and more particularly to a multi-chip photoelectric conversion device in which a level difference between chips is reduced and an S / N ratio is improved. Related to the device.

[従来の技術] 以下、従来のマルチチップ型光電変換装置及びその装
置に使用されるチップの構成について、第5図および第
4図を用いて説明する。
[Prior Art] Hereinafter, a conventional multi-chip type photoelectric conversion device and a configuration of a chip used in the device will be described with reference to FIGS. 5 and 4. FIG.

第4図は、一チップ内に設けられる光電変換素子及び
信号読み出し回路の回路構成図である。
FIG. 4 is a circuit configuration diagram of a photoelectric conversion element and a signal readout circuit provided in one chip.

第5図は、マルチチップ型光電変換装置の構成を説明
するための概略的構成図である。
FIG. 5 is a schematic configuration diagram for explaining a configuration of a multi-chip photoelectric conversion device.

第4図に示すように、チップ内には、光電変換素子と
なる画素10、画素10から読出された光電変換信号を一時
的に蓄積する蓄積容量20、蓄積容量20から出力信号線に
信号を出力するための走査回路30、出力信号線を基準電
位にリセットするためのリセット用のトランジスタ40、
出力信号線の信号を増幅するアンプ50、アンプ50の外部
出力を制御する出力スイッチ用のトランジスタ60、画素
10のエミッタ及び水平出力線をリセットするトランジス
タ21、画素10から読出された信号を蓄積容量20に転送す
る転送用のトランジスタ22、蓄積容量20をリセットする
トランジスタ23、蓄積容量20に蓄積された信号を出力信
号線に転送する転送用のトランジスタ24から成ってい
る。また、各画素及び回路を駆動するロジック回路70も
内蔵されている。
As shown in FIG. 4, a pixel 10 serving as a photoelectric conversion element, a storage capacitor 20 for temporarily storing a photoelectric conversion signal read from the pixel 10, and a signal from the storage capacitor 20 to an output signal line are provided in the chip. A scanning circuit 30 for outputting, a reset transistor 40 for resetting an output signal line to a reference potential,
Amplifier 50 that amplifies the signal of the output signal line, transistor 60 for an output switch that controls the external output of amplifier 50, pixel
A transistor 21 for resetting the emitter and horizontal output line of the transistor 10, a transfer transistor 22 for transferring a signal read from the pixel 10 to a storage capacitor 20, a transistor 23 for resetting the storage capacitor 20, and a signal stored in the storage capacitor 20 To the output signal line. Further, a logic circuit 70 for driving each pixel and circuit is also incorporated.

なお、本構成例では画素10は、バイポーラトランジス
タと同等な構成を有し、ベースに光照射により生成され
たキャリアを蓄積し、エミッタから該キャリアに対応す
る信号を出力するバイパーラ型センサTと、ベースをリ
セットするためのトランジスタMとから構成されてい
る。
In this configuration example, the pixel 10 has a configuration equivalent to a bipolar transistor, accumulates carriers generated by light irradiation on a base, and outputs a signal corresponding to the carriers from an emitter. And a transistor M for resetting the base.

φHSH1H2は走査回路30を制御するパルス、
φVCRFTCRHCOUTはそれぞれトランジス
タ21,M,22,23,40,60を制御するパルスである。
φ HS , φ H1 , φ H2 are pulses for controlling the scanning circuit 30,
φ VC , φ RF , φ T , φ CR , φ HC , φ OUT are pulses for controlling the transistors 21, M, 22, 23, 40, 60, respectively.

第4図に示した光電変換素子及び信号読み出し回路を
有するチップは、複数個接続されて、第5図のようなマ
ルチチップ型光電変換装置を構成する。
A plurality of chips each having the photoelectric conversion element and the signal readout circuit shown in FIG. 4 are connected to form a multi-chip photoelectric conversion device as shown in FIG.

本例のマルチチップ型光電変換装置は、3個のチップ
で構成されている。各チップにはパルスφclockが入力
され、また、出力端子は、共通接続される。
The multi-chip type photoelectric conversion device of the present example is configured by three chips. A pulse φclock is input to each chip, and output terminals are commonly connected.

マルチチップ型光電変換装置は、パルスφstartによ
り動作が開始される。画素10のバイポーラ型センサTに
光キャリアが蓄積されて、その蓄積動作が終了した後、
各チップからの画素信号は、蓄積容量20に一括読出しさ
れ、チップ1から順に信号(図中、Vout)が出力され
る。チップ1の信号がすべて出力されると、チップ1か
らチップ2へパルスφが送られ(図に示すように、出
力端子Poから出力端子Pinへパルスφが送られる)、
その結果、引き続いてチップ2から信号が出力される。
同様にして、チップ2の信号がすべて出力されると、チ
ップ2からチップ3へパルスφが送られ、チップ3か
ら信号が出力される。
The operation of the multichip photoelectric conversion device is started by a pulse φstart. After the photocarriers are accumulated in the bipolar sensor T of the pixel 10 and the accumulation operation is completed,
Pixel signals from each chip are collectively read out to the storage capacitor 20, and signals (Vout in the figure) are sequentially output from the chip 1. When all the signals of the chip 1 are output, a pulse φ O is sent from the chip 1 to the chip 2 (as shown in the figure, a pulse φ O is sent from the output terminal Po to the output terminal Pin),
As a result, a signal is subsequently output from the chip 2.
Similarly, when all the signals of the chip 2 are output, a pulse φ O is sent from the chip 2 to the chip 3, and the signal is output from the chip 3.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記従来のマルチチップ型光電変換装
置では、各チップからの出力信号には、各チップ間のア
ンプ50のオフセットバラツキにより、レベル差が発生す
る。以下、第6図を用いてこのオフセットバラツキにつ
いて説明する。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-described conventional multi-chip type photoelectric conversion device, a level difference occurs in an output signal from each chip due to an offset variation of the amplifier 50 between the chips. Hereinafter, this offset variation will be described with reference to FIG.

第6図は、第5図に示したマルチチップ型光電変換装
置の暗時の出力信号の模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram of an output signal of the multi-chip type photoelectric conversion device shown in FIG. 5 in a dark state.

同図に示すように、チップ1,チップ2,チップ3からの
出力信号には、各チップ間のアンプ50のオフセットバラ
ツキ(Δv1、Δv2、Δv3)により、レベル差が発生して
いる。このレベル差は信号1vに対して数mvから数10mvあ
り、最終的には、縦スジのように、プリントあるいは表
示され、画像を著しく悪化させていた。
As shown in the drawing, a level difference is generated in the output signals from the chip 1, the chip 2, and the chip 3 due to the offset variation (Δv1, Δv2, Δv3) of the amplifier 50 between the chips. This level difference is several mv to several tens mv with respect to the signal 1v, and finally, the image is printed or displayed like a vertical stripe, and the image is significantly deteriorated.

従来、このレベル差を少なくするために、チップ選別
を行なっていたが、チップ歩留まりを著しく低下させる
とともに、高コスト化の原因となっていた。
Conventionally, chip sorting has been performed to reduce this level difference, but this has resulted in a significant reduction in chip yield and an increase in cost.

[課題を解決するための手段] 本発明のマルチチップ型光電変換装置は、光電変換素
子からの光電変換信号をクランプするクランプ手段、該
クランプ手段と同等に構成された基準信号発生手段を有
する複数のチップと、 前記クランプ手段の出力信号と前記基準信号発生手段
の出力信号とを減算処理する減算処理手段とを有し、 各チップのクランプ手段の出力側および基準信号発生
手段の出力側を共通接続して、前記減算処理手段に接続
したことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] A multi-chip photoelectric conversion device according to the present invention includes a plurality of clamp units that clamp a photoelectric conversion signal from a photoelectric conversion element and a reference signal generation unit that is configured to be equivalent to the clamp unit. And a subtraction processing means for subtracting the output signal of the clamp means and the output signal of the reference signal generation means, wherein the output side of the clamp means and the output side of the reference signal generation means of each chip are common. Connected to the subtraction processing means.

[作用] 本発明は、各チップ間のアンプのオフセットバラツキ
をクランプ手段によるクランプ動作により除去し、クラ
ンプ手段のオフセットは、同一チップ内に設けたダミー
のクランプ回路(基準電圧発生手段)のオフセットとの
減算処理のより除去する。この結果、チップ間のレベル
差をなくすことが可能となる。
[Operation] According to the present invention, the offset variation of the amplifier between the chips is removed by the clamp operation by the clamp means, and the offset of the clamp means is different from the offset of the dummy clamp circuit (reference voltage generation means) provided in the same chip. From the subtraction process. As a result, it is possible to eliminate a level difference between chips.

[実施例] 以下、本発明の実施例について図面を用いて詳細に説
明する。
Examples Hereinafter, examples of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は、本発明のマルチチップ型光電変換装置の一
チップ内に設けられる出力部の一実施例の回路構成図で
ある。
FIG. 1 is a circuit diagram of an embodiment of an output unit provided in one chip of a multi-chip photoelectric conversion device of the present invention.

なお、光電交換素子及び信号読み出し回路の構成は、
以下に説明する出力部の構成を除き第4図に示したもの
と同等なので説明を省略する。
The configuration of the photoelectric exchange element and the signal readout circuit is as follows:
Except for the configuration of the output unit described below, it is the same as that shown in FIG.

同図に示すように、出力部は、アンプ50からの信号を
クランプするクランプ回路100と、クランプ回路100と同
様に構成されたダーミークランプ回路200とからなって
いる。クランプ回路100は、結合容量101、スイッチトラ
ンジスタ102、バッファアンプ103からなり、ダーミーク
ランプ回路200はスイッチトランジスタ102、バッファア
ンプ103からなる。クランプ回路100に入力された信号
は、スイッチトランジスタ102に入力されるパルスφcla
mpによりクランプされる。
As shown in the figure, the output unit includes a clamp circuit 100 for clamping a signal from the amplifier 50, and a dermy clamp circuit 200 configured similarly to the clamp circuit 100. The clamp circuit 100 includes a coupling capacitor 101, a switch transistor 102, and a buffer amplifier 103, and the dermy clamp circuit 200 includes a switch transistor 102 and a buffer amplifier 103. The signal input to the clamp circuit 100 is a pulse φcla input to the switch transistor 102.
clamped by mp.

クランプ回路100とダーミークランプ回路200は同一チ
ップ内に隣接して設けられているため、ほぼ同じオフセ
ット電圧を有しており、クランプ回路100の出力信号(V
s out)とダーミークランプ回路200の出力信号(VBou
t)との減算処理を行うことで、クランプ回路100の出力
信号のオフセット電圧成分を除去することができる。
Since the clamp circuit 100 and the dermy clamp circuit 200 are provided adjacent to each other in the same chip, they have substantially the same offset voltage, and the output signal (V
s out) and loaders Me output signal of the clamp circuit 200 (V B ou
By performing the subtraction process with t), the offset voltage component of the output signal of the clamp circuit 100 can be removed.

次に、第2図に示したタイミング図を参照しながら第
1図を用いて説明した出力部の動作について説明する。
Next, the operation of the output unit described with reference to FIG. 1 will be described with reference to the timing chart shown in FIG.

まず、チップ1において、TCはクランプ動作を行うク
ランプ期間であり、パルスφHCをハイレベルとして、リ
セットトランジスタ40をON状態とすると出力信号線が基
準電圧VO(GND)にリセットされる。この時のアンプ50
からの出力信号は、クランプ回路100に入力され、パル
スφclampによりスイッチトランジスタ102が導通状態と
されて、アンプ50からの出力信号がクランプされる。す
なわち、被クランプ信号は、パルスφHCで出力信号が基
準電位(GND)にリセットされた部分である。
First, in the chip 1, T C is the clamp period for clamping operation, a pulse phi HC as a high level, the output signal line and the reset transistor 40 in the ON state is reset to the reference voltage V O (GND). Amplifier 50 at this time
Is input to the clamp circuit 100, the switch transistor 102 is turned on by the pulse φclamp, and the output signal from the amplifier 50 is clamped. That is, the clamped signal is a portion where the output signal is reset to the reference potential (GND) by a pulse phi HC.

被クランプ信号は、アンプ50のオフセット電圧が重畳
されているが、これはクランプ動作により除去される。
なお、クランプ動作後に、画素から光電変換信号が出力
され、結合容量101のアンプ側の電極の電位がオフセッ
ト電位VOから光電変換信号+オフセット電圧(VS+VO
の電位となっても、結合容量101の出力側の電極の電位
はクランプ電位からクランプ電圧+光電変換信号電圧と
なるだけであるため、アンプ50のオフセット電圧VOはク
ランプ回路100から出力されない。
Although the offset voltage of the amplifier 50 is superimposed on the clamped signal, this is removed by the clamp operation.
After the clamp operation, the photoelectric conversion signal is output from the pixel, and the potential of the electrode on the amplifier side of the coupling capacitor 101 is changed from the offset potential V O to the photoelectric conversion signal + offset voltage (V S + V O ).
Since the potential of the electrode on the output side of the coupling capacitor 101 only becomes the clamp voltage + the photoelectric conversion signal voltage from the clamp potential, the offset voltage V O of the amplifier 50 is not output from the clamp circuit 100.

クランプ回路100からの出力信号は、パルスφselect
によって制御される出力スイッチトランジスタ60によ
り、外部への出力が制御される。
The output signal from the clamp circuit 100 is a pulse φselect
The output to the outside is controlled by the output switch transistor 60 controlled by the switch.

この制御は、チップ1と他のチップでは異なってい
る。被クランプ信号は、チップ1では外部出力するが、
他のチップでは外部出力しない。これは、チップ1の被
クランプ信号は、画像処理の基準信号として必要であ
る、他の被クランプ信号は不必要であるためである。
This control is different between chip 1 and the other chips. The clamped signal is externally output by the chip 1,
There is no external output for other chips. This is because the clamped signal of the chip 1 is necessary as a reference signal for image processing, and other clamped signals are unnecessary.

各チップの信号は、連続する必要があるが、本実施例
では、第2図に示すように、チップ1の信号出力期間TO
に、チップ2のクランプ動作を行っており、前述したよ
うに、チップ1以外の被クランプ信号は出力されないの
で、各チップに印加されるパルスφselectを順次ハイレ
ベルとすることにより、連続した信号を得ることができ
る。なお、この連続した信号はクランプ動作後の出力信
号であって、前述したようにアンプ50のオフセット電圧
が除去された信号となる。
Signals of each chip, it is necessary to continuously, in the present embodiment, as shown in FIG. 2, the signal output period of the chip 1 T O
In addition, since the clamp operation of the chip 2 is performed and the clamped signals other than the chip 1 are not output as described above, the pulse φselect applied to each chip is sequentially set to the high level so that the continuous signal is output. Obtainable. This continuous signal is an output signal after the clamp operation, and is a signal from which the offset voltage of the amplifier 50 has been removed as described above.

第3図は、マルチチップ型光電変換装置の一実施例を
示す概略的説明図である。
FIG. 3 is a schematic explanatory view showing one embodiment of the multi-chip photoelectric conversion device.

各チップの信号出力端子LSは共通接続され、また基準
信号出力端子LBも共通接続される。信号VSoutと信号VBo
utとは、差動アンプ300により減算処理がなされ、クラ
ンプ回路100のオフセット電圧が除去された信号出力Vou
t′が出力される。
Signal output terminal L S of each chip are connected in common, and also the reference signal output terminal L B are connected in common. Signal V S out and signal V B o
ut is the signal output Vou from which the subtraction process is performed by the differential amplifier 300 and the offset voltage of the clamp circuit 100 is removed.
t 'is output.

本発明の実施例では、バイポラー型の光電変換素子を
例にとり説明したが本発明の主旨は、被クランプ信号を
クランプ後、オフセット電圧を除去した連続した信号を
得ることにあり、他の種類の光電変換素子(J−FET
型、MOS型、CCD等)にも適用可能である。
In the embodiments of the present invention, a bipolar type photoelectric conversion element has been described as an example, but the gist of the present invention is to obtain a continuous signal from which an offset voltage has been removed after clamping a signal to be clamped. Photoelectric conversion element (J-FET
Type, MOS type, CCD, etc.).

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、光電変換素子
からの信号をクランプ後、複数チップの出力信号を、選
択合成したので、各チップ間のレベル差を除去すること
が可能となる。したがって、チップ選別が不必要で、低
コストに、高画質の画像を得ることができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, after clamping the signal from the photoelectric conversion element, the output signals of a plurality of chips are selectively combined, so that the level difference between the chips can be removed. It becomes possible. Therefore, chip selection is not required, and a high-quality image can be obtained at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、本発明のマルチチップ型光電変換装置の一チ
ップ内に設けられる光電変換素子の出力部の一実施例の
回路構成図である。 第2図は、前記出力部の動作を説明するためのタイミン
グ図である。 第3図は、マルチチップ型光電変換装置の一実施例を示
す概略的説明図である。 第4図は、従来の一チップ内に設けられる光電変換素子
及び信号読み出し回路の回路構成図である。 第5図は、マルチチップ型光電変換装置の構成を説明す
るための概略的構成図である。 第6図は、第5図に示したマルチチップ型光電変換装置
の暗時の出力信号の模式図である。 10……画素、20……蓄積容量、 30……走査回路、50……アンプ、 100……クランプ回路、 200……ダーミークランプ回路、 300……差動アンプ。
FIG. 1 is a circuit configuration diagram of an embodiment of an output section of a photoelectric conversion element provided in one chip of a multi-chip photoelectric conversion device of the present invention. FIG. 2 is a timing chart for explaining the operation of the output unit. FIG. 3 is a schematic explanatory view showing one embodiment of the multi-chip photoelectric conversion device. FIG. 4 is a circuit configuration diagram of a conventional photoelectric conversion element and a signal readout circuit provided in one chip. FIG. 5 is a schematic configuration diagram for explaining a configuration of a multi-chip photoelectric conversion device. FIG. 6 is a schematic diagram of an output signal of the multi-chip type photoelectric conversion device shown in FIG. 5 in a dark state. 10 ... pixel, 20 ... storage capacity, 30 ... scanning circuit, 50 ... amplifier, 100 ... clamp circuit, 200 ... dermy clamp circuit, 300 ... differential amplifier.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H04N 1/40 - 1/409 H04N 1/028 H04N 5/335 H01L 27/14 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H04N 1/40-1/409 H04N 1/028 H04N 5/335 H01L 27/14

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】光電変換素子からの光電変換信号をクラン
プするクランプ手段、該クランプ手段と同等に構成され
た基準信号発生手段を有する複数のチップと、 前記クランプ手段の出力信号と前記基準信号発生手段の
出力信号とを減算処理する減算処理手段とを有し、 各チップのクランプ手段の出力側および基準信号発生手
段の出力側を共通接続して、前記減算処理手段に接続し
たマルチチップ型光電変換装置。
A clamp means for clamping a photoelectric conversion signal from a photoelectric conversion element, a plurality of chips having a reference signal generating means configured equivalently to the clamp means; an output signal of the clamp means and the reference signal generation; Subtraction means for subtracting the output signal of the chip from the multi-chip type photoelectric converter connected to the subtraction processing means by connecting the output side of the clamping means and the output side of the reference signal generation means of each chip in common. Conversion device.
JP2266333A 1990-10-05 1990-10-05 Multi-chip type photoelectric conversion device Expired - Fee Related JP2999237B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2266333A JP2999237B2 (en) 1990-10-05 1990-10-05 Multi-chip type photoelectric conversion device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2266333A JP2999237B2 (en) 1990-10-05 1990-10-05 Multi-chip type photoelectric conversion device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04144362A JPH04144362A (en) 1992-05-18
JP2999237B2 true JP2999237B2 (en) 2000-01-17

Family

ID=17429477

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2266333A Expired - Fee Related JP2999237B2 (en) 1990-10-05 1990-10-05 Multi-chip type photoelectric conversion device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2999237B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6002287A (en) * 1997-05-08 1999-12-14 Canon Kabushiki Kaisha Signal outputting apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04144362A (en) 1992-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8427558B2 (en) Image pickup apparatus
US6914227B2 (en) Image sensing apparatus capable of outputting image by converting resolution by adding and reading out a plurality of pixels, its control method, and image sensing system
EP0272152B1 (en) Signal reading out circuit
US7576788B2 (en) Image pickup apparatus including a plurality of pixels, each having a photoelectric conversion element and an amplifier whose output is prevented from falling below a predetermined level
CA1333091C (en) Photoelectric transducer apparatus
US20100079648A1 (en) Driving method of solid-state imaging apparatus
US20030117510A1 (en) Image pickup apparatus
US5998779A (en) Photoelectric conversion apparatus
US6847026B2 (en) Solid image pick-up apparatus
EP0569202B1 (en) Solid state imaging device with electronic shutter
US7116367B2 (en) Solid-state image pickup apparatus having a reset transistor controlled by an output line
JP2575964B2 (en) Solid-state imaging device
US20080225149A1 (en) Column sample-and-hold cell for CMOS APS sensor
JP2999237B2 (en) Multi-chip type photoelectric conversion device
JP4584499B2 (en) Solid-state imaging device
US20080211952A1 (en) Solid state image pick-up device and camera using the solid state image pick-up device
JP3563971B2 (en) Signal processing device and imaging device using the same
JP2000022118A (en) Image-pickup device
JP4708583B2 (en) Imaging device
JP3037989B2 (en) Multi-chip type photoelectric conversion device
JP2791073B2 (en) Solid-state imaging device
JPH0678218A (en) Solid-state image pickup device
JPS5866766U (en) solid-state image sensor
US20120002091A1 (en) Solid-state image pickup device
JP2884191B2 (en) Solid-state imaging device

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees