JP2998947B2 - Package for microwave circuit - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、電磁波吸収機能を有す
る材料を含んだマイクロ波回路用パッケージに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microwave circuit package containing a material having an electromagnetic wave absorbing function.
【0002】[0002]
【従来の技術】図8は従来のマイクロ波回路用金属パッ
ケージの構造を表した図である。該パッケージは、フレ
ーム108 が金属208 により構成され、内部にはマイクロ
波素子を搭載するための方形のキャビティ部分708 、お
よび、マイクロ波信号の入出力用の信号導体808 が搭載
された絶縁体基板908 が配置され、また、外部にはマイ
クロ波信号の入出力用のリード608 が取り付けられてい
る。2. Description of the Related Art FIG. 8 is a view showing the structure of a conventional metal package for a microwave circuit. In this package, a frame 108 is made of a metal 208, and a rectangular cavity portion 708 for mounting a microwave element therein and an insulator substrate on which a signal conductor 808 for inputting and outputting a microwave signal are mounted. 908 are provided, and a lead 608 for inputting / outputting a microwave signal is attached to the outside.
【0003】図9は従来の他のマイクロ波回路用パッケ
ージの構造を表した図である。該パッケージは、金属ベ
ース509 上に形成するフレーム109 がペースト状の金属
209およびセラミック309 が交互に積層し、表面がペー
スト状金属で被覆されることにより構成される。また、
フレーム109 の内部にはマイクロ波素子を搭載するため
の方形のキャビティ部分709 、およびマイクロ波信号の
入出力用の信号線導体809 が搭載された絶縁体基板909
が配置され、外部にはマイクロ波信号の入出力用のリー
ド609 が取り付けられている。該パッケージの特徴は、
図8に示した金属パッケージに比べて、加工費用が小さ
いことである。FIG. 9 is a diagram showing the structure of another conventional microwave circuit package. The package includes a frame 109 formed on a metal base 509 and a paste-like metal.
209 and ceramic 309 are alternately laminated, and the surface is coated with a paste-like metal. Also,
Inside the frame 109, a rectangular cavity portion 709 for mounting a microwave element and an insulator substrate 909 on which a signal line conductor 809 for inputting and outputting a microwave signal are mounted.
And a lead 609 for inputting / outputting a microwave signal is attached to the outside. The features of the package are:
The processing cost is smaller than that of the metal package shown in FIG.
【0004】図8および図9に示したパッケージは、フ
レームに金属が含まれ、しかも同電位に保たれた構造と
なっているため、マイクロ波信号の入出力部の間で生じ
るリング共振が抑圧されるとともに、入出力端子間にお
けるアイソレーションが十分に確保されている。The package shown in FIGS. 8 and 9 has a structure in which the frame contains metal and is kept at the same potential, so that the ring resonance generated between the input and output portions of the microwave signal is suppressed. In addition, the isolation between the input and output terminals is sufficiently ensured.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】一般に、図8および図
9に示すパッケージにおける方形のキャビティ部分で
は、マイクロ波信号の入出力部分を両端として、キャビ
ティの寸法で定まるキャビティ共振が発生する。キャビ
ティ共振には多数のモードが存在するが、このうち、最
低の周波数で生じる最低次の共振モード(この周波数を
遮断周波数と呼ぶ)のキャビティ内における電界および
磁界の分布を図10に示す。このように、遮断周波数、
およびその近傍の周波数においては、本来のマイクロ波
信号からキャビティ共振によるエネルギーが差し引かれ
ることになり、マイクロ波信号の良好な伝搬が妨げられ
ることになる。図11にパッケージ内のキャビティ形状
が正方形である場合のキャビティ幅と遮断周波数との関
係(直線11)を示す。Generally, in the rectangular cavity portion in the package shown in FIGS. 8 and 9, a cavity resonance determined by the size of the cavity occurs at both ends of the input / output portion of the microwave signal. There are many modes in the cavity resonance. Among them, FIG. 10 shows the distribution of the electric field and the magnetic field in the cavity of the lowest resonance mode (the frequency is called a cutoff frequency) which occurs at the lowest frequency. Thus, the cutoff frequency,
And at frequencies near that, the energy due to cavity resonance is subtracted from the original microwave signal, hindering good propagation of the microwave signal. FIG. 11 shows a relationship (straight line 11) between the cavity width and the cutoff frequency when the cavity shape in the package is a square.
【0006】すなわち、従来のパッケージにおいては、
使用できる周波数帯域は遮断周波数以下に限られてくる
ため、使用できる周波数帯域を高くするには、パッケー
ジ内のキャビティ寸法を小さくしなければならなかっ
た。例えば、40GHz 以上の周波数帯域で使用するパッケ
ージを構成するにあたっては、キャビティ幅を5mm 以下
と小さくするとともに、入出力端子やリードを取り付け
るために、微細なパターン加工を必要とする。ところ
が、パッケージに収容するマイクロ波回路素子の寸法、
パッケージの加工精度、加工に要する費用等を考慮する
と、パッケージ寸法としては5mm 程度が限界である。そ
のため、従来のパッケージでは、実効的に使用できる周
波数帯域は高々40GHz 程度であった。That is, in the conventional package,
Since the usable frequency band is limited to the cut-off frequency or lower, the cavity size in the package must be reduced in order to increase the usable frequency band. For example, when constructing a package to be used in the frequency band of 40 GHz or more, it is necessary to reduce the cavity width to 5 mm or less and to perform fine pattern processing to attach input / output terminals and leads. However, the dimensions of the microwave circuit element contained in the package,
Considering the processing accuracy of the package and the cost required for the processing, the size of the package is limited to about 5 mm. Therefore, in the conventional package, the frequency band that can be used effectively is at most about 40 GHz.
【0007】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、マイクロ波回路用パッケージのフレーム部分に、電
界あるいは磁界のエネルギーを吸収することができる電
磁波吸収材料、あるいは電磁波吸収機能を有する粉末が
添加された絶縁体を新たに挿入することにより、キャビ
ティ内で生じた共振エネルギーを吸収し、キャビティ共
振を抑圧でき、使用できる周波数帯域を飛躍的に拡大で
きるマイクロ波回路用パッケージを提供することを目的
とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an electromagnetic wave absorbing material or a powder having an electromagnetic wave absorbing function capable of absorbing electric or magnetic energy is provided on a frame portion of a microwave circuit package. To provide a microwave circuit package that can absorb the resonance energy generated in the cavity by newly inserting the added insulator, suppress the cavity resonance, and dramatically expand the usable frequency band. Aim.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、ほぼ直方体の形状を有するマイクロ波回路
用パッケージのフレームが金属および電磁波吸収材料、
もしくは金属および絶縁体および電磁波吸収材料により
構成され、これらが金属ベース上に交互に積層された構
造であることを特徴とするものであり、また、パッケー
ジのフレームが金属および電磁波吸収機能を有する粉末
が添加された絶縁体により構成され、これらが金属ベー
ス上に交互に積層された構造であることを特徴とするも
のであり、また、パッケージのフレームがブロックの金
属およびブロックの電磁波吸収材料、もしくはブロック
の金属およびブロックの絶縁体およびブロックの電磁波
吸収材料により構成され、これらが金属ベース上にフレ
ームの枠に沿って並べられたことを特徴とするものであ
り、また、パッケージのフレームがブロックの金属、お
よび電磁波吸収機能を有する粉末が添加されたブロック
の絶縁体により構成され、これらが金属ベース上にフレ
ームの枠に沿って並べられたことを特徴とするものであ
って、いずれもキャビティイ共振を抑圧できるパッケー
ジの構造に関する発明である。すなわち、本発明では、
従来の構造を有するパッケージにおいて、新たに電磁波
吸収材料、あるいは、電磁波吸収機能を有する粉末が添
加された絶縁体を挿入することにより、上記問題点の解
決を図っている。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a microwave circuit package having a substantially rectangular parallelepiped shape, comprising a metal and an electromagnetic wave absorbing material.
Alternatively, it is characterized by having a structure in which a metal frame, an insulator, and an electromagnetic wave absorbing material are alternately laminated on a metal base, and the package frame has a metal and an electromagnetic wave absorbing function. , And a structure in which these are alternately stacked on a metal base, and the frame of the package is made of a metal of the block and an electromagnetic wave absorbing material of the block, or The block is made of a metal of the block, an insulator of the block and an electromagnetic wave absorbing material of the block, and these are arranged along a frame of the frame on a metal base. Structure made of metal and block insulator to which powder having electromagnetic wave absorption function is added Is, a characterized in that they are arranged along the frame of the frame on a metal base, either an invention relates to a structure of a package that can suppress cavity Lee resonance. That is, in the present invention,
In order to solve the above problem, a package having a conventional structure is newly inserted with an insulator to which an electromagnetic wave absorbing material or a powder having an electromagnetic wave absorbing function is added.
【0009】[0009]
【作用】上記手段により、マイクロ波回路用パッケージ
のフレーム部分に、電界あるいは磁界のエネルギーを吸
収することができる電磁波吸収材料、あるいは電磁波吸
収機能を有する粉末が添加された絶縁体を新たに挿入す
るため、キャビティ内で生じた共振エネルギーを吸収
し、キャビティ共振を抑圧できる。According to the above means, an electromagnetic wave absorbing material capable of absorbing electric or magnetic field energy or an insulator to which a powder having an electromagnetic wave absorbing function is added is newly inserted into the frame portion of the microwave circuit package. Therefore, the resonance energy generated in the cavity can be absorbed and the cavity resonance can be suppressed.
【0010】[0010]
【実施例】[実施例1]図1は発明による第1の実施例
を説明するための図で、金属、および電磁波吸収材料に
より構成されたパッケージの構造を表した図である。[Embodiment 1] FIG. 1 is a view for explaining a first embodiment according to the present invention, and shows a structure of a package made of a metal and an electromagnetic wave absorbing material.
【0011】図1に示すように、金属ベース501 上に、
キャビティ部分701 、およびマイクロ波信号の入出力部
分となるリード601 の搭載部をあらかじめ設けたシート
状の電磁波吸収材料401 を形成する。次に、電磁波吸収
材料401 の上にペースト状の金属201 を塗布し、必要な
厚さだけ積層することにより、フレーム101 を構成す
る。続いて、フレーム内にある金属の電位を一定にする
ため、フレームの表面をペースト状の金属で塗布し、同
時焼成する。最後に、マイクロ波信号の入出力用の信号
線導体801 を形成した絶縁体基板901 、およびリード60
1 を取り付けることにより、パッケージを完成させる。As shown in FIG. 1, on a metal base 501,
A sheet-shaped electromagnetic-wave-absorbing material 401 provided with a cavity portion 701 and a mounting portion of a lead 601 serving as a microwave signal input / output portion is formed in advance. Next, a paste-like metal 201 is applied on the electromagnetic wave absorbing material 401 and laminated to a required thickness to form the frame 101. Subsequently, in order to keep the potential of the metal in the frame constant, the surface of the frame is applied with a paste-like metal and fired simultaneously. Finally, an insulator substrate 901 on which a signal line conductor 801 for inputting / outputting a microwave signal is formed, and a lead 60
Complete the package by attaching 1.
【0012】以上のように構成されたパッケージを用い
れば、フレームに電界あるいは磁界のエネルギーを吸収
する電磁波吸収材料を新たに用いていることから、キャ
ビティ内における電界および磁界の分布は図7に示すよ
うに抑圧され、従来のパッケージで生じた共振現象は起
こらない。When the package having the above structure is used, since the electromagnetic wave absorbing material for absorbing the electric or magnetic field energy is newly used for the frame, the distribution of the electric and magnetic fields in the cavity is shown in FIG. Thus, the resonance phenomenon that occurs in the conventional package does not occur.
【0013】なお、本発明における作用効果の一例とし
て、電磁波吸収材料としてフェライトを用い、キャビテ
ィ寸法が10mm角であるパッケージの内部に、入出力部を
短絡したスルー線路を挿入し、マイクロ波信号を入力
し、その挿入特性を測定した。同寸法の従来のパッケー
ジでは、20GHz 付近でキャビティ共振が観測され、実質
的に使用できる周波数帯域は15GHz 程度であったのに対
し、本実施例によるパッケージでは、約60GHz 間でリッ
プルのない平坦な特性が得られ、マイクロ波回路用パッ
ケージとして使用できる周波数領域が拡大されることに
なる。As an example of the operation and effect of the present invention, ferrite is used as an electromagnetic wave absorbing material, and a through line whose input and output portions are short-circuited is inserted into a package having a cavity size of 10 mm square to transmit a microwave signal. Input and its insertion characteristics were measured. In the conventional package of the same dimensions, cavity resonance was observed around 20 GHz, and the practically usable frequency band was about 15 GHz, whereas the package according to the present embodiment had a flat surface with no ripple between about 60 GHz. The characteristics are obtained, and the frequency range that can be used as a microwave circuit package is expanded.
【0014】以上の例では、キャビティ寸法が10mm角で
あるパッケージについて述べたが、任意のキャビティ寸
法を有するパッケージについても、その遮断周波数を含
む周波数帯域において電磁波吸収効果を示す電磁波吸収
材料を用いれば、同様の効果が得られる。In the above example, a package having a cavity size of 10 mm square has been described. However, a package having an arbitrary cavity size may be formed by using an electromagnetic wave absorbing material exhibiting an electromagnetic wave absorbing effect in a frequency band including its cutoff frequency. The same effect can be obtained.
【0015】[実施例2]図2は本発明による第2の実
施例を説明するためのもので、金属、絶縁体であるセラ
ミック、および電磁波吸収材料により構成されたパッケ
ージの構造を表した図である。[Embodiment 2] FIG. 2 is a view for explaining a second embodiment according to the present invention, and is a view showing a structure of a package made of metal, ceramic which is an insulator, and an electromagnetic wave absorbing material. It is.
【0016】図2に示すように、金属ベース502 上に、
キャビティ部分702 、およびマイクロ波信号の入出力部
分となるリード602 の搭載部をあらかじめ設けたシート
状のセラミック302 、およびシート状の電磁波吸収材料
402 を形成する。次に、セラミック302 、および電磁波
吸収材料402 の上にペースト状の金属202 を塗布し、必
要な厚さだけ交互に積層することにより、フレーム102
を構成する。続いて、フレーム内にある金属の電位を一
定にするため、フレームの表面をペースト状の金属で塗
布し、同時焼成する。最後に、マイクロ波信号の入出力
用の信号線導体802 を形成した絶縁体基板902 、および
リード602 を取り付けることにより、パッケージを完成
させる。As shown in FIG. 2, on a metal base 502,
A sheet-shaped ceramic 302 provided with a cavity portion 702 and a mounting portion of a lead 602 serving as a microwave signal input / output portion in advance, and a sheet-shaped electromagnetic wave absorbing material
Form 402. Next, a paste-like metal 202 is applied on the ceramic 302 and the electromagnetic wave absorbing material 402, and alternately laminated by a required thickness to form the frame 102.
Is configured. Subsequently, in order to keep the potential of the metal in the frame constant, the surface of the frame is applied with a paste-like metal and fired simultaneously. Finally, the package is completed by attaching the insulator substrate 902 on which the signal line conductor 802 for microwave signal input / output is formed and the leads 602.
【0017】本実施例の作用効果は、実施例1の場合と
同様である。The operation and effect of this embodiment are the same as those of the first embodiment.
【0018】[実施例3]図3は本発明による第3の実
施例を説明するためのもので、金属、および電磁波吸収
機能を有する粉末が添加されたセラミックにより構成さ
れたパッケージの構造を表した図である。[Embodiment 3] FIG. 3 is a view for explaining a third embodiment of the present invention, and shows a structure of a package made of ceramic to which metal and a powder having an electromagnetic wave absorbing function are added. FIG.
【0019】まず最初に、セラミックのグリーンシート
形成工程において、電磁波吸収機能を有する粉末を添加
し、シート内において均一に分布させ、電磁波吸収機能
を有するセラミック403 とする。次に、図3に示すよう
に、金属ベース503 上に、キャビティ部分703 、および
マイクロ信号の入出力部分となるリード603 の搭載部を
あらかじめ設けたセラミック403 を形成し、該セラミッ
ク403 の上にペースト状の金属203 を塗布し、必要な厚
さだけ積層することにより、フレーム103 を構成する。
続いて、フレーム内にある金属の電位を一定にするた
め、フレームの表面をペースト状の金属で塗布し、同時
焼成する。最後に、マイクロ波信号の入出力用の信号線
導体803 を形成した絶縁体基板903 、およびリード603
を取り付けることにより、パッケージを完成させる。First, in a ceramic green sheet forming step, a powder having an electromagnetic wave absorbing function is added and uniformly distributed in the sheet to obtain a ceramic 403 having an electromagnetic wave absorbing function. Next, as shown in FIG. 3, a ceramic 403 having a cavity portion 703 and a mounting portion of a lead 603 serving as a micro signal input / output portion is formed on a metal base 503 in advance. The frame 103 is formed by applying a paste-like metal 203 and laminating it to a required thickness.
Subsequently, in order to keep the potential of the metal in the frame constant, the surface of the frame is applied with a paste-like metal and fired simultaneously. Finally, an insulator substrate 903 on which a signal line conductor 803 for input / output of a microwave signal is formed, and a lead 603
To complete the package.
【0020】本発明において、電磁波吸収機能を有する
粉末として、フェライト粉末を用いた場合の作用効果
は、実施例1の場合と同様である。In the present invention, the function and effect when ferrite powder is used as the powder having an electromagnetic wave absorbing function are the same as those in the first embodiment.
【0021】[実施例4]図4は本発明による第4の実
施例を説明するための図で、金属、および電磁波吸収材
料により構成されたパッケージの構造を表した図であ
る。[Embodiment 4] FIG. 4 is a view for explaining a fourth embodiment according to the present invention, and shows a structure of a package made of metal and an electromagnetic wave absorbing material.
【0022】図4に示すように、金属ベース504 上に、
フレームの枠に沿って、キャビティ部分704 をあらかじ
め設けたブロックの金属204 、およびブロックの電磁波
吸収材料404 、さらにマイクロ波信号の入出力部分とな
るリード604 の搭載部をあらかじめ設けたブロックの金
属204 を交互に並べることによりフレーム104 を形成す
る。この時、金属ベースとブロック、および各ブロック
間は、例えば導体ペーストあるいは有機系接着材等によ
り接着する。続いて、フレーム内にある金属の電位を一
定にするため、フレームの表面をペースト状の金属で塗
布し、同時焼成する。最後に、マイクロ波信号の入出力
用の信号線導体804 を形成した絶縁体基板904 、および
リード604 を取り付けることにより、パッケージを完成
させる。As shown in FIG. 4, on a metal base 504,
Along the frame of the frame, metal 204 of the block provided with a cavity portion 704 in advance, electromagnetic wave absorbing material 404 of the block, and metal 204 of the block provided with a mounting portion of a lead 604 serving as an input / output portion of a microwave signal in advance. Are alternately arranged to form a frame 104. At this time, the metal base and the block, and between the blocks are bonded with, for example, a conductive paste or an organic adhesive. Subsequently, in order to keep the potential of the metal in the frame constant, the surface of the frame is applied with a paste-like metal and fired simultaneously. Finally, the package is completed by attaching the insulator substrate 904 on which the signal line conductor 804 for inputting / outputting the microwave signal is formed and the lead 604.
【0023】本実施例の作用効果は、実施例1の場合と
同様である。The operation and effect of this embodiment are the same as those of the first embodiment.
【0024】[実施例5]図5は本発明による第5の実
施例を説明するためのもので、金属、絶縁体であるセラ
ミック、および電磁波吸収材料により構成されたパッケ
ージの構造を表した図である。[Embodiment 5] FIG. 5 is a view for explaining a fifth embodiment according to the present invention, and is a view showing the structure of a package made of metal, ceramic which is an insulator, and an electromagnetic wave absorbing material. It is.
【0025】図5に示すように、金属ベース505 上に、
フレームの枠に沿って、キャビティ部分705 をあらかじ
め設けたブロックの金属205 、セラミック305 、および
電磁波吸収材料405 、さらにマイクロ波信号の入出力部
分となるリード605 の搭載部をあらかじめ設けたブロッ
ク金属205 を交互に並べることによりフレーム105 を形
成する。この時、金属ベースとブロック、および各ブロ
ック間は、導体ペーストあるいは有機系接着材等により
接着する。続いて、フレーム内にある金属の電位を一定
にするため、フレームの表面をペースト状の金属で塗布
し、同時焼成する。最後に、マイクロ波信号の入出力用
の信号線導体805 を形成した絶縁体基板905 、およびリ
ード605 を取り付けることにより、パッケージを完成さ
せる。As shown in FIG. 5, on a metal base 505,
Along with the frame of the frame, a block metal 205 in which a cavity portion 705 is previously provided, a ceramic 305, an electromagnetic wave absorbing material 405, and a mounting portion of a lead 605 which is a microwave signal input / output portion are provided in advance. Are alternately arranged to form a frame 105. At this time, the metal base and the block, and between the blocks, are bonded with a conductive paste or an organic adhesive. Subsequently, in order to keep the potential of the metal in the frame constant, the surface of the frame is applied with a paste-like metal and fired simultaneously. Finally, the package is completed by attaching the insulator substrate 905 on which the signal line conductor 805 for input / output of the microwave signal is formed and the leads 605.
【0026】本実施例の作用効果は、実施例1の場合と
同様である。The operation and effect of this embodiment are the same as those of the first embodiment.
【0027】[実施例6]図6は本発明による第6の実
施例を説明するためのもので、金属、および電磁波吸収
機能を有する粉末が添加されたセラミックにより構成さ
れたパッケージの構造を表した図である。[Embodiment 6] FIG. 6 is a view for explaining a sixth embodiment of the present invention, and shows a structure of a package made of a metal and a ceramic to which a powder having an electromagnetic wave absorbing function is added. FIG.
【0028】まず最初に、セラミックのグリーンシート
形成工程において、電磁波吸収機能を有する粉末を添加
し、シート内において均一に分布させ、電磁波吸収機能
を有するセラミック406 とする。次に図6に示すよう
に、金属ベース506 上に、フレームの枠に沿って、キャ
ビティ部分706 をあらかじめ設けたブロックの金属20
6、およびブロックのセラミック406 さらにマイクロ波
信号の入出力部分となるリード606 の搭載部をあらかじ
め設けたブロックの金属206 を交互に並べることにより
フレーム106 を形成する。この時、金属ベースとブロッ
ク、および各ブロック間は、導体ペーストあるいは有機
系接着材等により接着する。続いて、フレーム内にある
金属の電位を一定にするため、フレームの表面をペース
ト状の金属で塗布し、同時焼成する。最後に、マイクロ
波信号の入出力用の信号線導体806 を形成した絶縁体基
板906 、およびリード606 を取り付けることにより、パ
ッケージを完成させる。First, in a ceramic green sheet forming step, a powder having an electromagnetic wave absorbing function is added and uniformly distributed in the sheet to obtain a ceramic 406 having an electromagnetic wave absorbing function. Next, as shown in FIG. 6, on the metal base 506, along the frame of the frame, the metal 20 of the block provided with the cavity portion 706 in advance.
The frame 106 is formed by alternately arranging the blocks 206 and the ceramics 406 of the block and the metal 206 of the block in which a mounting portion of a lead 606 serving as an input / output portion of a microwave signal is provided in advance. At this time, the metal base and the block, and between the blocks, are bonded with a conductive paste or an organic adhesive. Subsequently, in order to keep the potential of the metal in the frame constant, the surface of the frame is applied with a paste-like metal and fired simultaneously. Finally, the package is completed by attaching the insulator substrate 906 on which the signal line conductor 806 for inputting / outputting the microwave signal is formed and the leads 606.
【0029】本実施例において、電磁波吸収機能を有す
る粉末として、フェライト粉末を用いた場合の作用効果
は、実施例1の場合と同様である。In this embodiment, the function and effect when ferrite powder is used as the powder having the electromagnetic wave absorbing function are the same as those in the first embodiment.
【0030】なお、以上説明した実施例において、パッ
ケージの製造方法に関しては上述の方法には限定されな
い。In the embodiment described above, the method of manufacturing the package is not limited to the above-described method.
【0031】また、以上説明した実施例において、電磁
波吸収材料として、カーボン系等の電磁波吸収材料ある
いは電磁波吸収機能を有する粉末を用いても、同様の効
果が得られることはいうまでもない。In the embodiments described above, it is needless to say that the same effect can be obtained by using an electromagnetic wave absorbing material such as a carbon-based material or a powder having an electromagnetic wave absorbing function as the electromagnetic wave absorbing material.
【0032】さらに、以上説明した実施例において、セ
ラミックの代わりに、樹脂あるいはガラスエポキシ等の
他の絶縁体を用いても、同様の効果が得られることはい
うまでもない。Further, in the embodiment described above, it is needless to say that the same effect can be obtained by using another insulator such as resin or glass epoxy instead of ceramic.
【0033】また、以上説明した実施例1から3におい
て、金属はペースト状であるとしたが、シート状の金属
を用いても構わない。この場合、積層されたシート状の
金属の電位を一定にする方法として、フレームの表面を
ペースト状の金属で塗布する方法のほか、フレーム内に
ヴィア導体を形成してもよい。In the first to third embodiments described above, the metal is in the form of a paste, but a metal in the form of a sheet may be used. In this case, as a method of keeping the potential of the laminated sheet-shaped metal constant, a via conductor may be formed in the frame, in addition to a method of applying the surface of the frame with a paste-like metal.
【0034】[0034]
【発明の効果】以上説明したように、本発明により、マ
イクロ波回路用パッケージに、電磁波吸収材料、あるい
は電磁波吸収機能を有する粉末が添加された絶縁体を新
たに挿入することにより、キャビティ共振を抑圧できる
パッケージが提供できるとともに、使用可能な周波数帯
域を飛躍的に拡大することができる。As described above, according to the present invention, cavity resonance can be achieved by newly inserting an electromagnetic wave absorbing material or an insulator added with a powder having an electromagnetic wave absorbing function into a microwave circuit package. A package that can be suppressed can be provided, and the usable frequency band can be dramatically expanded.
【図1】本発明による第1の実施例を説明するための一
部切欠斜視図である。FIG. 1 is a partially cutaway perspective view for explaining a first embodiment according to the present invention.
【図2】本発明による第2の実施例を説明するための一
部切欠斜視図である。FIG. 2 is a partially cutaway perspective view for explaining a second embodiment according to the present invention.
【図3】本発明による第3の実施例を説明するための一
部切欠斜視図である。FIG. 3 is a partially cutaway perspective view for explaining a third embodiment according to the present invention.
【図4】本発明による第4の実施例を説明するための斜
視図である。FIG. 4 is a perspective view for explaining a fourth embodiment according to the present invention.
【図5】本発明による第5の実施例を説明するための斜
視図である。FIG. 5 is a perspective view for explaining a fifth embodiment according to the present invention.
【図6】本発明による第6の実施例を説明するための斜
視図である。FIG. 6 is a perspective view for explaining a sixth embodiment according to the present invention.
【図7】本発明に係るキャビティ共振が抑圧された時の
キャビティ内における電界および磁界の分布の一例を示
す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of distribution of an electric field and a magnetic field in a cavity when cavity resonance is suppressed according to the present invention.
【図8】従来のマイクロ波回路用パッケージの構造を示
す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing the structure of a conventional microwave circuit package.
【図9】従来の他のマイクロ波回路用パッケージの構造
を示す一部切欠斜視図である。FIG. 9 is a partially cutaway perspective view showing the structure of another conventional microwave circuit package.
【図10】従来の最低次の共振モードでのキャビティ内
における電界および磁界の分布を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing a distribution of an electric field and a magnetic field in a cavity in a conventional lowest-order resonance mode.
【図11】従来のパッケージ内におけるキャビティ幅と
遮断周波数の関係を示す特性図である。FIG. 11 is a characteristic diagram showing a relationship between a cavity width and a cutoff frequency in a conventional package.
101,102,103,104,105,106,108,109 …フレーム、201,20
2,203,209 …ペースト状の金属、204,205,206,208 …金
属、302,309 …シート状のセラミック、305 …セラミッ
ク、401,402,404,405 …電磁波吸収材料、403,406 …電
磁波吸収機能を有する粉末が添加されたセラミック、50
1,502,503,504,505,506,509 …金属ベース、601,602,60
3,604,605,606,608,609 …リード、701,702,703,704,70
5,706,708,709 …キャビティ部分、801,802,803,804,80
5,806,808,809 …マイクロ波信号の入出力用の信号線導
体、901,902,903,904,905,906,908,909 …絶縁体基板、
11…キャビティ幅と遮断周波数との関係を示す直線。101,102,103,104,105,106,108,109 ... frame, 201,20
2,203,209… Paste-like metal, 204,205,206,208… Metal, 302,309… Sheet-like ceramic, 305… Ceramic, 401,402,404,405… Electromagnetic wave absorbing material, 403,406… Ceramic with added powder having electromagnetic wave absorbing function, 50
1,502,503,504,505,506,509… metal base, 601,602,60
3,604,605,606,608,609… lead, 701,702,703,704,70
5,706,708,709… cavity part, 801,802,803,804,80
5,806,808,809 ... signal line conductors for input and output of microwave signals, 901,902,903,904,905,906,908,909 ... insulator substrates,
11 ... Line showing the relationship between cavity width and cutoff frequency.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−237053(JP,A) 特開 昭62−18739(JP,A) 特開 平2−220496(JP,A) 実開 昭60−163750(JP,U) 実開 平2−84398(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 9/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-2-237053 (JP, A) JP-A-62-18739 (JP, A) JP-A-2-220496 (JP, A) 163750 (JP, U) Hikaru Hei 2-84398 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H05K 9/00
Claims (4)
路用パッケージにおいて、該パッケージのフレームが金
属および電磁波吸収材料、もしくは金属および絶縁体お
よび電磁波吸収材料により構成され、これらが金属ベー
ス上に交互に積層された構造であることを特徴とするマ
イクロ波回路用パッケージ。In a microwave circuit package having a substantially rectangular parallelepiped shape, a frame of the package is made of a metal and an electromagnetic wave absorbing material or a metal and an insulator and an electromagnetic wave absorbing material, which are alternately formed on a metal base. A microwave circuit package having a laminated structure.
路用パッケージにおいて、該パッケージのフレームが金
属、および電磁波吸収機能を有する粉末が添加された絶
縁体により構成され、これらが金属ベース上に交互に積
層された構造であることを特徴とするマイクロ波回路用
パッケージ。2. A microwave circuit package having a substantially rectangular parallelepiped shape, wherein the frame of the package is made of a metal and an insulator to which a powder having an electromagnetic wave absorbing function is added, and these are alternately formed on a metal base. A microwave circuit package having a laminated structure.
路用パッケージにおいて、該パッケージのフレームがブ
ロックの金属およびブロックの電磁波吸収材料、もしく
はブロックの金属およびブロックの絶縁体およびブロッ
クの電磁波吸収材料により構成され、これらが金属ベー
ス上にフレームの枠に沿って並べられたことを特徴とす
るマイクロ波回路用パッケージ。3. A microwave circuit package having a substantially rectangular parallelepiped shape, wherein the frame of the package is made of a block metal and a block electromagnetic wave absorbing material, or a block metal and a block insulator and a block electromagnetic wave absorbing material. And a package for a microwave circuit, wherein these are arranged along a frame of a frame on a metal base.
路用パッケージにおいて、該パッケージのフレームがブ
ロックの金属、および電磁波吸収機能を有する粉末が添
加されたブロックの絶縁体により構成され、これらが金
属ベース上に交互にフレームの枠に沿って並べられたこ
とを特徴とするマイクロ波回路用パッケージ。4. A microwave circuit package having a substantially rectangular parallelepiped shape, wherein the frame of the package is formed of a block metal and a block insulator to which a powder having an electromagnetic wave absorbing function is added, and these are made of a metal base. A microwave circuit package, which is alternately arranged along a frame of a frame.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4205709A JP2998947B2 (en) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | Package for microwave circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP4205709A JP2998947B2 (en) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | Package for microwave circuit |
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JPH0653682A JPH0653682A (en) | 1994-02-25 |
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Family Applications (1)
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-
1992
- 1992-07-31 JP JP4205709A patent/JP2998947B2/en not_active Expired - Fee Related
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