JP2991772B2 - 多重作動構造を有するバブルジェット方式印刷ヘッド - Google Patents
多重作動構造を有するバブルジェット方式印刷ヘッドInfo
- Publication number
- JP2991772B2 JP2991772B2 JP3502708A JP50270891A JP2991772B2 JP 2991772 B2 JP2991772 B2 JP 2991772B2 JP 3502708 A JP3502708 A JP 3502708A JP 50270891 A JP50270891 A JP 50270891A JP 2991772 B2 JP2991772 B2 JP 2991772B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- circuit portion
- heater element
- passivation layer
- branch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000007639 printing Methods 0.000 title description 12
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 3
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 26
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910004490 TaAl Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14072—Electrical connections, e.g. details on electrodes, connecting the chip to the outside...
Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明はドロップ・オン・ディマンド型のインクジェ
ット方式(ここではバブルジェットと呼称する)の印刷
に関し、特に高密度印刷が可能な印刷ヘッド構造に関す
る。
ット方式(ここではバブルジェットと呼称する)の印刷
に関し、特に高密度印刷が可能な印刷ヘッド構造に関す
る。
背景技術 一般にバブルジェット方式の印刷ヘッドにおいては、
複数の電気抵抗ヒータ要素が支持基板上に形成されてい
る。この基板は、例えば金属又はシリコンで作製されて
いると共に、例えばSiO2等の熱抑制用皮膜も形成されて
いる。また、こうしたヒータ要素に選択的に電圧を印加
する複数の金属電極も形成されていると共に、保護膜を
此等ヒータ要素及び電極の上に形成している。印刷用イ
ンクは此等ヒータ要素と印刷ヘッドのオリフィスとの間
に供給されるが、此等ヒータ要素は、当該ヒータ要素と
接するインクを急速に蒸気に変換させる温度まで選択的
に励起されるようになっており、その際に生じた衝撃波
でオリフィスからインクが噴出さるるのである。
複数の電気抵抗ヒータ要素が支持基板上に形成されてい
る。この基板は、例えば金属又はシリコンで作製されて
いると共に、例えばSiO2等の熱抑制用皮膜も形成されて
いる。また、こうしたヒータ要素に選択的に電圧を印加
する複数の金属電極も形成されていると共に、保護膜を
此等ヒータ要素及び電極の上に形成している。印刷用イ
ンクは此等ヒータ要素と印刷ヘッドのオリフィスとの間
に供給されるが、此等ヒータ要素は、当該ヒータ要素と
接するインクを急速に蒸気に変換させる温度まで選択的
に励起されるようになっており、その際に生じた衝撃波
でオリフィスからインクが噴出さるるのである。
バブルジェット技術の開発及び商業的使用が進むに伴
い、こうした装置の分解能を高める要求が増大してきて
いる。このような状況において、装置分解能は任意の印
刷領域(例えば線寸法)における画素液滴の数であると
考えることができる。装置分解能を高める1つの方法と
しては、例えば単一のオリフィス列に向かい合う複数の
通路を用いるか、或は、複数の走査用のオリフィス列を
設けることによって、インク液滴を交錯させている。こ
の手法では、単一又は複数の印刷用ヘッド構造が簡素化
できるが、別個の通路からの液滴も良好に整合させるの
に、印刷媒体に相対する印刷ヘッドの正確な位置決めが
要求される。
い、こうした装置の分解能を高める要求が増大してきて
いる。このような状況において、装置分解能は任意の印
刷領域(例えば線寸法)における画素液滴の数であると
考えることができる。装置分解能を高める1つの方法と
しては、例えば単一のオリフィス列に向かい合う複数の
通路を用いるか、或は、複数の走査用のオリフィス列を
設けることによって、インク液滴を交錯させている。こ
の手法では、単一又は複数の印刷用ヘッド構造が簡素化
できるが、別個の通路からの液滴も良好に整合させるの
に、印刷媒体に相対する印刷ヘッドの正確な位置決めが
要求される。
装置分解能を高めるもう一つの方法としては、単一の
印刷ヘッド上における液滴噴出副機構(即ち、オリフィ
ス及び関連するヒータ要素)の線密度を増大させること
にある。これでは単一或は複数の線形のオリフィス列を
用いることで可能である(例えば米国特許第4,734,717
号を参照のこと)。このような高密度のオリフィスプレ
ート及びヒータ副機構の構造は写真製造技術で製造可能
であるが、非常に小さなチップ上に形成された非常に多
くの加熱用抵抗体とプリンタ制御装置の電気的なアドレ
ス電子回路とを電気的に接続するのに困難が伴うことか
ら、装置分解能の向上には限界がある。
印刷ヘッド上における液滴噴出副機構(即ち、オリフィ
ス及び関連するヒータ要素)の線密度を増大させること
にある。これでは単一或は複数の線形のオリフィス列を
用いることで可能である(例えば米国特許第4,734,717
号を参照のこと)。このような高密度のオリフィスプレ
ート及びヒータ副機構の構造は写真製造技術で製造可能
であるが、非常に小さなチップ上に形成された非常に多
くの加熱用抵抗体とプリンタ制御装置の電気的なアドレ
ス電子回路とを電気的に接続するのに困難が伴うことか
ら、装置分解能の向上には限界がある。
アドレス指定用リード線の本数が非常に多いことから
惹起される問題を低減するために、バブルジェット印刷
ヘッドの抵抗ヒータ要素のアドレスを多重送信する(即
ち、励起電流を流すこと)ようにした幾つかの方式が提
案されてきている。例えば米国特許第4,695,853号に
は、一方の電極マトリックス部分が抵抗器/ダイオード
のパターンの下に設けられ、他方の電極マトリックス部
分が該抵抗器/ダイオードのパターンの上に設けられて
いるX−Y電極マトリックスを有するバブルジェットチ
ップ構造が開示されている。
惹起される問題を低減するために、バブルジェット印刷
ヘッドの抵抗ヒータ要素のアドレスを多重送信する(即
ち、励起電流を流すこと)ようにした幾つかの方式が提
案されてきている。例えば米国特許第4,695,853号に
は、一方の電極マトリックス部分が抵抗器/ダイオード
のパターンの下に設けられ、他方の電極マトリックス部
分が該抵抗器/ダイオードのパターンの上に設けられて
いるX−Y電極マトリックスを有するバブルジェットチ
ップ構造が開示されている。
これらX−Y電極部分は、垂直方向に配置されたサン
ドイッチ状の端子を形成している抵抗器/ダイオードの
要素を除いて、電気的な絶縁層によって分離されてい
る。この抵抗器/ダイオード構造では多重送信ができる
ようになっている(従って、アドレスに必要とされるリ
ード線及び端子の数を低減している)が、幾つかの問題
点を有している。第1に、この米国特許第4,695,853号
特許に記載されているように多重化動作を行っていると
きにダイオードの上方電極への逆流漏電が起こると、電
解腐食が惹起されて、電極トレースの破壊に至ることが
ある。第2に、ヒータ用の抵抗要素の固定抵抗値を維持
しながらダイオードの順方向抵抗を一様にすることは非
常に難しいことが挙げられる。
ドイッチ状の端子を形成している抵抗器/ダイオードの
要素を除いて、電気的な絶縁層によって分離されてい
る。この抵抗器/ダイオード構造では多重送信ができる
ようになっている(従って、アドレスに必要とされるリ
ード線及び端子の数を低減している)が、幾つかの問題
点を有している。第1に、この米国特許第4,695,853号
特許に記載されているように多重化動作を行っていると
きにダイオードの上方電極への逆流漏電が起こると、電
解腐食が惹起されて、電極トレースの破壊に至ることが
ある。第2に、ヒータ用の抵抗要素の固定抵抗値を維持
しながらダイオードの順方向抵抗を一様にすることは非
常に難しいことが挙げられる。
米国特許第4,791,440号には、非常に多くの液滴噴出
場所を有する高分解能の印刷ヘッドを提供することでこ
うした問題に対処する他の解決法が開示されている。こ
の方法においては、液滴噴出場所への電気的接続部の一
方のアレイをチップの基板の上部側に設け、他の電気的
接続部のアレイを該基板の底部側に設けている。複数の
孔をこの基板材料に穿設して、上部側及び底部側のリー
ド線マトリックスを接続している。電気的リード線の構
成を一層簡素化するために、この方法では更に多重アド
レス機構を設けている。この多重アドレス機構において
は、複数のヒータ列が列選択電圧パルスによって異なる
位相で励起され、このパルスは特定の加熱場所データパ
ルスと組合わされるとインク液滴を噴出するに十分なヒ
ータ電流を醸し出すようになっている。
場所を有する高分解能の印刷ヘッドを提供することでこ
うした問題に対処する他の解決法が開示されている。こ
の方法においては、液滴噴出場所への電気的接続部の一
方のアレイをチップの基板の上部側に設け、他の電気的
接続部のアレイを該基板の底部側に設けている。複数の
孔をこの基板材料に穿設して、上部側及び底部側のリー
ド線マトリックスを接続している。電気的リード線の構
成を一層簡素化するために、この方法では更に多重アド
レス機構を設けている。この多重アドレス機構において
は、複数のヒータ列が列選択電圧パルスによって異なる
位相で励起され、このパルスは特定の加熱場所データパ
ルスと組合わされるとインク液滴を噴出するに十分なヒ
ータ電流を醸し出すようになっている。
この米国特許第4,791,440号の方法では、多数の孔を
基板に貫通形成し、且つ、該基板の両側に写真製造加工
を施す必要があるので、製造が困難である。ある適用例
では、チップ底面を介して印刷機に接続することは不可
能である。また、この多重化システムは、1つの列の各
活性位相の間に、全てのヒータ要素が必要でもないの
に、部分的に励起されるようなことがある。これによ
り、溶解しているガスがインクから放出され、やがて噴
出動作やインク充填の障害となる泡を形成してしまう。
基板に貫通形成し、且つ、該基板の両側に写真製造加工
を施す必要があるので、製造が困難である。ある適用例
では、チップ底面を介して印刷機に接続することは不可
能である。また、この多重化システムは、1つの列の各
活性位相の間に、全てのヒータ要素が必要でもないの
に、部分的に励起されるようなことがある。これによ
り、溶解しているガスがインクから放出され、やがて噴
出動作やインク充填の障害となる泡を形成してしまう。
他方、バブルジェット方式のヒータ列を構成する抵抗
の寿命は、白熱灯と同様に、それを動作させる電圧に左
右される。従って、このような抵抗ヒータ要素は、でき
る限りバブル形成の閾値に近づけて動作させるのが望ま
しい。例えば閾値を25%越す場合では、抵抗ヒータ要素
の寿命は僅か数サイクルでしかないが、閾値を10%越す
場合では数百万サイクルの寿命となることもあり得る。
供給電圧、種々のリード線抵抗、更には閾値電圧には製
造公差があり、望まれることは(バブル形成の閾値に近
づけて動作させることによって)優れた寿命を引き出す
ことであるので、全ての抵抗変動は最小限に保持すべき
である。
の寿命は、白熱灯と同様に、それを動作させる電圧に左
右される。従って、このような抵抗ヒータ要素は、でき
る限りバブル形成の閾値に近づけて動作させるのが望ま
しい。例えば閾値を25%越す場合では、抵抗ヒータ要素
の寿命は僅か数サイクルでしかないが、閾値を10%越す
場合では数百万サイクルの寿命となることもあり得る。
供給電圧、種々のリード線抵抗、更には閾値電圧には製
造公差があり、望まれることは(バブル形成の閾値に近
づけて動作させることによって)優れた寿命を引き出す
ことであるので、全ての抵抗変動は最小限に保持すべき
である。
ところで、半導体ダイオードは、通常の導体とは対照
的に温度が上昇すればそれらの順方向の抵抗が減少する
ので、こうしたダイオードをインク加熱領域に使用する
ことは、もし熱が逃げなければ、回路全体に亙る抵抗変
動を引き起こす可能性が大いにある。従って、長期の装
置作動寿命の観点から、米国特許第4,695,853号のよう
な抵抗器/ダイオードの使用は望ましくない。
的に温度が上昇すればそれらの順方向の抵抗が減少する
ので、こうしたダイオードをインク加熱領域に使用する
ことは、もし熱が逃げなければ、回路全体に亙る抵抗変
動を引き起こす可能性が大いにある。従って、長期の装
置作動寿命の観点から、米国特許第4,695,853号のよう
な抵抗器/ダイオードの使用は望ましくない。
発明の開示 本発明の重要な目的は、上述したような従来技術の手
法における問題を回避する高分解能バブルジェット方式
印刷ヘッドを提供することである。
法における問題を回避する高分解能バブルジェット方式
印刷ヘッドを提供することである。
前述の目的を達成すべくなされた本発明は、複数のオ
リフィスと、各オリフィスごとに設けた液滴噴出ヒータ
要素を有する薄膜型液滴噴出装置と、前記ヒータ要素に
インクを供給するマニホルド手段とからなるドロップ・
オン・ディマンド型インクジェットプリンタに対してな
されている。詳述すれば、このプリンタにおける前記液
滴噴出装置が、支持基板と、前記基坂上に互いに離間し
て形成されていると共に、第1回路分枝電極ラインを介
して端子領域に直列に接続される抵抗ヒータ要素及びダ
イオード装置をそれぞれ含む複数の回路分枝を備える第
1回路部分と、前記第1回路部分の分枝回路の端子領域
を除く、前記第1回路部分上に設けた誘電性不動態層
と、前記不動態層上に設けられ、複数の多重電極ライン
と、前記不動態層を貫通して前記第1回路部分の端子領
域に接触する接続部分とを含む第2回路部分と、前記抵
抗ヒータ要素上を延在することなく前記第2回路部分上
に設けた第2不動態層とを備えて成ることを特徴として
いる。
リフィスと、各オリフィスごとに設けた液滴噴出ヒータ
要素を有する薄膜型液滴噴出装置と、前記ヒータ要素に
インクを供給するマニホルド手段とからなるドロップ・
オン・ディマンド型インクジェットプリンタに対してな
されている。詳述すれば、このプリンタにおける前記液
滴噴出装置が、支持基板と、前記基坂上に互いに離間し
て形成されていると共に、第1回路分枝電極ラインを介
して端子領域に直列に接続される抵抗ヒータ要素及びダ
イオード装置をそれぞれ含む複数の回路分枝を備える第
1回路部分と、前記第1回路部分の分枝回路の端子領域
を除く、前記第1回路部分上に設けた誘電性不動態層
と、前記不動態層上に設けられ、複数の多重電極ライン
と、前記不動態層を貫通して前記第1回路部分の端子領
域に接触する接続部分とを含む第2回路部分と、前記抵
抗ヒータ要素上を延在することなく前記第2回路部分上
に設けた第2不動態層とを備えて成ることを特徴として
いる。
本発明によれば、非常に多くの高密度液滴噴出場所を
有するバブルジェット方式印刷ヘッドを比較的簡単に製
造することができる利点が得られ、また、従来技術の方
法に比べて、より信頼性があって効率的に作動する多重
印刷ヘッド構造が得られる利点もある。
有するバブルジェット方式印刷ヘッドを比較的簡単に製
造することができる利点が得られ、また、従来技術の方
法に比べて、より信頼性があって効率的に作動する多重
印刷ヘッド構造が得られる利点もある。
図面の簡単な説明 第1図は、本発明を実施したインクジェット型印刷用
インクカートリッジの分解斜視図である。
インクカートリッジの分解斜視図である。
第2図は、第1図のインクカートリッジにおける液滴
噴出装置の回路構成を示す拡大概略図である。
噴出装置の回路構成を示す拡大概略図である。
第3図は、第2図に示す回路構成の一部を拡大した横
断面図である。
断面図である。
第4A図から第4G図までは、第3図に示す回路構成部分
の製造プロセスにおけるそれぞれの工程を示す概略平面
図である。
の製造プロセスにおけるそれぞれの工程を示す概略平面
図である。
実施の態様 第1図は、本発明に係るバブルジェット型印刷用イン
クカートリッジの一実施例であり、米国特許第4,734,71
7号に開示の印刷用インクカートリッジを改良したもの
である。一般に印刷用インクカートリッジ10は、キャッ
プ12を有するインクリザーバー11からなる。キャップ12
には濾過性インク供給開口13が複数個(図示の例では2
個)形成されており、これらの開口13は供給路14を経て
対応するマニホルド15に連なっている。液滴噴出用チッ
プ16は、キャップ12上に設けられており、また、マニホ
ルド15にそれぞれ整合した開ロ17を有している。二つの
線形のオリフィス列18a、18bを有するオリフィスプレー
ト18が、印刷された接着剤パターン19を介して、上記開
口17と、上記液滴噴出用チップ16の上面に対応列20a、2
0bに形成された抵抗ヒータ要素との上方に取り付けられ
ている。第1図に概略的に示したように、チップ16は更
にアドレス電極群22a、22bと、選択電極群23、24とを有
する。
クカートリッジの一実施例であり、米国特許第4,734,71
7号に開示の印刷用インクカートリッジを改良したもの
である。一般に印刷用インクカートリッジ10は、キャッ
プ12を有するインクリザーバー11からなる。キャップ12
には濾過性インク供給開口13が複数個(図示の例では2
個)形成されており、これらの開口13は供給路14を経て
対応するマニホルド15に連なっている。液滴噴出用チッ
プ16は、キャップ12上に設けられており、また、マニホ
ルド15にそれぞれ整合した開ロ17を有している。二つの
線形のオリフィス列18a、18bを有するオリフィスプレー
ト18が、印刷された接着剤パターン19を介して、上記開
口17と、上記液滴噴出用チップ16の上面に対応列20a、2
0bに形成された抵抗ヒータ要素との上方に取り付けられ
ている。第1図に概略的に示したように、チップ16は更
にアドレス電極群22a、22bと、選択電極群23、24とを有
する。
本発明の重要な観点は、チップ16の構造及び機能とそ
の回路構成にあり、詳細については後述するが、図示の
印刷用カートリッジにあっては、インクは例えば毛細管
現象作用によってインクリザーバー11から抵抗ヒータ要
素の上方領域へ供給されるようになっている。パルス電
流が、駆動回路(不図示)をゲートする情報信号と同期
して、チップ電極を介して上記ヒータ要素へ選択的に送
出される。此等パルス電流は抵抗ヒータ要素を加熱し、
それと接するインクを蒸発させて、オリフィスから少量
のインク又はインク液滴を噴出させるものである。
の回路構成にあり、詳細については後述するが、図示の
印刷用カートリッジにあっては、インクは例えば毛細管
現象作用によってインクリザーバー11から抵抗ヒータ要
素の上方領域へ供給されるようになっている。パルス電
流が、駆動回路(不図示)をゲートする情報信号と同期
して、チップ電極を介して上記ヒータ要素へ選択的に送
出される。此等パルス電流は抵抗ヒータ要素を加熱し、
それと接するインクを蒸発させて、オリフィスから少量
のインク又はインク液滴を噴出させるものである。
第2図に、第1図において破線30で示したチップ16の
一部を拡大して概略平面図で示す。この回路構成は、概
して、基坂上に形成された、実線で示す第1回路部分
と、点彩で示した第2回路部分と、第1及び第2回路部
分の間に臨む誘電性不動態層(不図示)とを備えてい
る。より詳細には、図示される如く、この第1回路部分
は、相互に間隔をおいて基板上に形成され、且つ、電極
ライン35によって連結された抵抗ヒータ要素32とダイオ
ード33とをそれぞれ有する複数の分枝副回路31a〜31lを
備えている(符号32と33については、便宜上、分岐副回
路31gにおける抵抗ヒータ要素とダイオードだけに用い
ている)。副回路31a〜31c及び31g〜31iのための分枝電
極ラインは、印刷パルス駆動回路(不図示)に接続可能
な端子36−A、36−Bまで直接的延びている。
一部を拡大して概略平面図で示す。この回路構成は、概
して、基坂上に形成された、実線で示す第1回路部分
と、点彩で示した第2回路部分と、第1及び第2回路部
分の間に臨む誘電性不動態層(不図示)とを備えてい
る。より詳細には、図示される如く、この第1回路部分
は、相互に間隔をおいて基板上に形成され、且つ、電極
ライン35によって連結された抵抗ヒータ要素32とダイオ
ード33とをそれぞれ有する複数の分枝副回路31a〜31lを
備えている(符号32と33については、便宜上、分岐副回
路31gにおける抵抗ヒータ要素とダイオードだけに用い
ている)。副回路31a〜31c及び31g〜31iのための分枝電
極ラインは、印刷パルス駆動回路(不図示)に接続可能
な端子36−A、36−Bまで直接的延びている。
上記第2回路部分は、入力端子36−A、36−Bを副回
路31c〜31d及び31j〜31lの各ラインに接続している6つ
の接続電極部分37と、副回路ラインの反対の端部にそれ
ぞれ接続されて副回路選択グループI(31a〜31c及び31
g〜31i)及び副回路選択グループII(31d〜31f及び31j
〜31l)を形成している2グループの選択電極38、39と
を備える。選択電極38はグループI選択端子40まで延び
ており、選択電極39はグループII選択端子41まで延びて
いる。上記点彩された第2回路上の斜線部分は、電極が
上記誘電性不動態層を通って、第1回路部分の分枝に接
触するように延びている領域を示している。さもなけれ
ば此等二つの回路部分はこの誘電性不動態層によって相
互に電気的に絶縁されることになる。
路31c〜31d及び31j〜31lの各ラインに接続している6つ
の接続電極部分37と、副回路ラインの反対の端部にそれ
ぞれ接続されて副回路選択グループI(31a〜31c及び31
g〜31i)及び副回路選択グループII(31d〜31f及び31j
〜31l)を形成している2グループの選択電極38、39と
を備える。選択電極38はグループI選択端子40まで延び
ており、選択電極39はグループII選択端子41まで延びて
いる。上記点彩された第2回路上の斜線部分は、電極が
上記誘電性不動態層を通って、第1回路部分の分枝に接
触するように延びている領域を示している。さもなけれ
ば此等二つの回路部分はこの誘電性不動態層によって相
互に電気的に絶縁されることになる。
第3図は、第2図で破線ブロック50内に囲まれた部分
の実際的な回路構造の断面を示している。ここにおい
て、基板51は、抵抗性金属層32(例えば、TaAl又はHf
B2)が形成された熱制御上面(不図示)を有するガラス
製又は光沢性シリコン製のチップで構成され得る。電極
リード線35a、35bは、インク加熱領域Hの上方を除い
て、この抵抗性金属層の上に形成されているので、電流
はその加熱領域の下方において該抵抗性層を介して一方
の電極から他方の電極へ流れることになる。
の実際的な回路構造の断面を示している。ここにおい
て、基板51は、抵抗性金属層32(例えば、TaAl又はHf
B2)が形成された熱制御上面(不図示)を有するガラス
製又は光沢性シリコン製のチップで構成され得る。電極
リード線35a、35bは、インク加熱領域Hの上方を除い
て、この抵抗性金属層の上に形成されているので、電流
はその加熱領域の下方において該抵抗性層を介して一方
の電極から他方の電極へ流れることになる。
例えばSiO2から成る第1不動態層52は、領域53、54を
除いて、電極及びヒータ要素上に形成されている。領域
53においては、電極37の接続部分がアドレス電極35aに
接触した状態で誘電性不動態層52の表面上方に延びて分
枝回路31c(第3図には示さず)に接続している。領域5
4においては、ダイオード層(例えばシリコン及び金か
ら成る)が先ず形成され、それからグループ選択電極38
の接続部分が層52の上方で端子40(第3図には示さず)
まで延びるように形成されている。また、第2不動態層
60(例えば、ポリアミド)が、加熱領域Hを除いて、領
域53、54とこのチップのその他の上面の上方とに形成さ
れている。
除いて、電極及びヒータ要素上に形成されている。領域
53においては、電極37の接続部分がアドレス電極35aに
接触した状態で誘電性不動態層52の表面上方に延びて分
枝回路31c(第3図には示さず)に接続している。領域5
4においては、ダイオード層(例えばシリコン及び金か
ら成る)が先ず形成され、それからグループ選択電極38
の接続部分が層52の上方で端子40(第3図には示さず)
まで延びるように形成されている。また、第2不動態層
60(例えば、ポリアミド)が、加熱領域Hを除いて、領
域53、54とこのチップのその他の上面の上方とに形成さ
れている。
第4A図から第4G図は、第3図に示す回路構造の製造工
程を示している。第4A図に示すように、抵抗性金属層32
を先ず基板51の表面上の、最終的には熱移動領域となる
部分を含む各領域に蒸着形成する。次に第4B図に示すよ
うに、金属電極35a及び35bに上記加熱領域の直下におけ
る抵抗性金属層32の部分を通る電流路を画成する端部を
形成する。そして、ダイオード材料54の単一層又は複数
層を第4C図のように電極35b上に蒸着形成し、誘電性不
動態層52(例えば、SiO2又はZr)を第4D図に示すように
その表面上に蒸着形成する。
程を示している。第4A図に示すように、抵抗性金属層32
を先ず基板51の表面上の、最終的には熱移動領域となる
部分を含む各領域に蒸着形成する。次に第4B図に示すよ
うに、金属電極35a及び35bに上記加熱領域の直下におけ
る抵抗性金属層32の部分を通る電流路を画成する端部を
形成する。そして、ダイオード材料54の単一層又は複数
層を第4C図のように電極35b上に蒸着形成し、誘電性不
動態層52(例えば、SiO2又はZr)を第4D図に示すように
その表面上に蒸着形成する。
第4E図を参照すると、不動態層52はパターニングされ
て電極35a及びダイオード54の部分が現れるようにす
る。この段階において、Zrが不動態層52の材料として用
いられた場合、Zrは酸化してZrO2を形成する。そして、
電極37、38を含む第2回路部分が蒸着形成され、第4F図
の形状にパターニングされ、そして最終的には、第2不
動態層60を蒸着形成し、パターニングして第4E図に示す
微細構成を有するチップを得る。尚、第2不動態層60は
ポリアミド又は同等物質でよく、これはそれが熱移動路
の上に形成されることがないためであり、そこでは層52
が抵抗性ヒータ要素のための保護カバーをなしている。
て電極35a及びダイオード54の部分が現れるようにす
る。この段階において、Zrが不動態層52の材料として用
いられた場合、Zrは酸化してZrO2を形成する。そして、
電極37、38を含む第2回路部分が蒸着形成され、第4F図
の形状にパターニングされ、そして最終的には、第2不
動態層60を蒸着形成し、パターニングして第4E図に示す
微細構成を有するチップを得る。尚、第2不動態層60は
ポリアミド又は同等物質でよく、これはそれが熱移動路
の上に形成されることがないためであり、そこでは層52
が抵抗性ヒータ要素のための保護カバーをなしている。
第2図及び第3図を再度参照して、作動に際しては、
端子40及び41にはイネーブルパルスが続けて印加され
る。電極38がイネーブルされていると、分枝回路31a〜3
1c及び31g〜31iのダイオードは順方向バイアスされてお
り、駆動パルスが情報信号に従って端子36−A、36−B
に印加された時、此等回路の電極35は回路抵抗ヒータ要
素に電流を誘導し、その上に存在するインクを加熱し
て、オリフィスプレート18のそれらインクに対応するオ
リフィスを介してインク液滴を噴出させることになる。
端子40及び41にはイネーブルパルスが続けて印加され
る。電極38がイネーブルされていると、分枝回路31a〜3
1c及び31g〜31iのダイオードは順方向バイアスされてお
り、駆動パルスが情報信号に従って端子36−A、36−B
に印加された時、此等回路の電極35は回路抵抗ヒータ要
素に電流を誘導し、その上に存在するインクを加熱し
て、オリフィスプレート18のそれらインクに対応するオ
リフィスを介してインク液滴を噴出させることになる。
イネーブルパルスが端子41に作用すると、電極39は分
枝回路31d〜31f及び31j〜31lのダイオードを順方向バイ
アスし、端子36−A及び36−Bに印加された駆動パルス
が(接続電極37を介して)対応する分枝回路のそれぞれ
に伝達されて、駆動回路をゲートする情報信号に一致し
て上述と同様に液滴噴出を実行することになる。
枝回路31d〜31f及び31j〜31lのダイオードを順方向バイ
アスし、端子36−A及び36−Bに印加された駆動パルス
が(接続電極37を介して)対応する分枝回路のそれぞれ
に伝達されて、駆動回路をゲートする情報信号に一致し
て上述と同様に液滴噴出を実行することになる。
このように、本発明に従う回路構造の上記実施例は、
液滴噴出用チップの両側にパターニング加工を施すこと
なく、多重作動をなすと云う長所を有している。更に、
本発明の回路構造は熱発生領域から回路上のダイオード
要素を削除している。上述したように、こうしたことは
上記バブルジェット印刷装置等の高いデューティ・サイ
クルで繰り返し作動される薄膜回路素子を用いた装置に
おいて特に重要である。
液滴噴出用チップの両側にパターニング加工を施すこと
なく、多重作動をなすと云う長所を有している。更に、
本発明の回路構造は熱発生領域から回路上のダイオード
要素を削除している。上述したように、こうしたことは
上記バブルジェット印刷装置等の高いデューティ・サイ
クルで繰り返し作動される薄膜回路素子を用いた装置に
おいて特に重要である。
産業上の応用性 本発明は、高密度印刷を達成する信頼性ある多重作動
用の簡素化されたインクジェット印刷ヘッド構造を提供
することによって、産業上の効果を奏功する。
用の簡素化されたインクジェット印刷ヘッド構造を提供
することによって、産業上の効果を奏功する。
Claims (2)
- 【請求項1】複数のオリフィスと、各オリフィスごとに
設けた液滴噴出ヒータ要素を有する薄膜型液滴噴出装置
と、前記ヒータ要素にインクを供給するマニホルド手段
とからなるドロップ・オン・ディマンド型インクジェッ
トプリンタにおいて、前記液滴噴出装置が、 (a)支持基板と、 (b)前記基坂上に互いに離間して形成されていると共
に、第1回路分枝電極ラインを介して端子領域に直列に
接続される抵抗ヒータ要素及びダイオード装置をそれぞ
れ含む複数の回路分枝を備える第1回路部分と、 (c)前記第1回路部分の分枝回路の端子領域を除く、
前記第1回路部分上に設けた誘電性不動態層と、 (d)前記不動態層上に設けられ、複数の多重電極ライ
ンと、前記不動態層を貫通して前記第1回路部分の端子
領域に接触する接続部分とを含む第2回路部分と、 (e)前記抵抗ヒータ要素上を延在することなく前記第
2回路部分上に設けた第2不動態層とを備えて成ること
を特徴とするインクジェットプリンタ。 - 【請求項2】前記第1回路部分は前記回路分枝を少なく
とも二つ含んでおり、前記第2回路部分が、 (i)前記回路分枝の印刷パルス入力側を共通の駆動回
路端子に接続する電極ラインと、 (ii)前記回路分枝のダイオード出力を別個のイネーブ
ル端子にそれぞれ接続する別個の電極ラインとを含むこ
とを特徴とする請求項1記載のインクジェットプリン
タ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/451,709 US4999650A (en) | 1989-12-18 | 1989-12-18 | Bubble jet print head having improved multiplex actuation construction |
US451,709 | 1989-12-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04503930A JPH04503930A (ja) | 1992-07-16 |
JP2991772B2 true JP2991772B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=23793392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3502708A Expired - Fee Related JP2991772B2 (ja) | 1989-12-18 | 1990-12-06 | 多重作動構造を有するバブルジェット方式印刷ヘッド |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4999650A (ja) |
EP (1) | EP0458958B1 (ja) |
JP (1) | JP2991772B2 (ja) |
DE (1) | DE69007783T2 (ja) |
WO (1) | WO1991008899A1 (ja) |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5469199A (en) * | 1990-08-16 | 1995-11-21 | Hewlett-Packard Company | Wide inkjet printhead |
US5604519A (en) * | 1992-04-02 | 1997-02-18 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printhead architecture for high frequency operation |
US5420627A (en) * | 1992-04-02 | 1995-05-30 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printhead |
US5594481A (en) * | 1992-04-02 | 1997-01-14 | Hewlett-Packard Company | Ink channel structure for inkjet printhead |
US5297331A (en) * | 1992-04-03 | 1994-03-29 | Hewlett-Packard Company | Method for aligning a substrate with respect to orifices in an inkjet printhead |
US5638101A (en) * | 1992-04-02 | 1997-06-10 | Hewlett-Packard Company | High density nozzle array for inkjet printhead |
US5568171A (en) * | 1992-04-02 | 1996-10-22 | Hewlett-Packard Company | Compact inkjet substrate with a minimal number of circuit interconnects located at the end thereof |
US5648806A (en) * | 1992-04-02 | 1997-07-15 | Hewlett-Packard Company | Stable substrate structure for a wide swath nozzle array in a high resolution inkjet printer |
US5278584A (en) * | 1992-04-02 | 1994-01-11 | Hewlett-Packard Company | Ink delivery system for an inkjet printhead |
US5648804A (en) * | 1992-04-02 | 1997-07-15 | Hewlett-Packard Company | Compact inkjet substrate with centrally located circuitry and edge feed ink channels |
US5563642A (en) * | 1992-04-02 | 1996-10-08 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printhead architecture for high speed ink firing chamber refill |
US5648805A (en) * | 1992-04-02 | 1997-07-15 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printhead architecture for high speed and high resolution printing |
DE4214556A1 (de) * | 1992-04-28 | 1993-11-04 | Mannesmann Ag | Elektrothermischer tintendruckkopf |
US5414245A (en) * | 1992-08-03 | 1995-05-09 | Hewlett-Packard Corporation | Thermal-ink heater array using rectifying material |
DE69404534T2 (de) * | 1993-04-30 | 1997-12-04 | Hewlett Packard Co | Kontaktunterlageanordnung auf eine Kunststoffdruckkassette |
US5956058A (en) * | 1993-11-05 | 1999-09-21 | Seiko Epson Corporation | Ink jet print head with improved spacer made from silicon single-crystal substrate |
US6174046B1 (en) | 1994-10-06 | 2001-01-16 | Hewlett-Packard Company | Reliable contact pad arrangement on plastic print cartridge |
US6003986A (en) * | 1994-10-06 | 1999-12-21 | Hewlett-Packard Co. | Bubble tolerant manifold design for inkjet cartridge |
US5909231A (en) * | 1995-10-30 | 1999-06-01 | Hewlett-Packard Co. | Gas flush to eliminate residual bubbles |
US5901425A (en) | 1996-08-27 | 1999-05-11 | Topaz Technologies Inc. | Inkjet print head apparatus |
US6575548B1 (en) | 1997-10-28 | 2003-06-10 | Hewlett-Packard Company | System and method for controlling energy characteristics of an inkjet printhead |
US6154229A (en) | 1997-10-28 | 2000-11-28 | Hewlett-Packard Company | Thermal ink jet print head and printer temperature control apparatus and method |
US6435668B1 (en) | 1999-02-19 | 2002-08-20 | Hewlett-Packard Company | Warming device for controlling the temperature of an inkjet printhead |
US6476928B1 (en) | 1999-02-19 | 2002-11-05 | Hewlett-Packard Co. | System and method for controlling internal operations of a processor of an inkjet printhead |
US6318828B1 (en) | 1999-02-19 | 2001-11-20 | Hewlett-Packard Company | System and method for controlling firing operations of an inkjet printhead |
US6729707B2 (en) | 2002-04-30 | 2004-05-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Self-calibration of power delivery control to firing resistors |
US6755495B2 (en) | 2001-03-15 | 2004-06-29 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Integrated control of power delivery to firing resistors for printhead assembly |
US6705694B1 (en) | 1999-02-19 | 2004-03-16 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | High performance printing system and protocol |
DE60204485T2 (de) * | 2001-01-05 | 2006-03-16 | Hewlett-Packard Development Co., L.P., Houston | Integrierter programmierbarer Auslösepulsgenerator für Tintenstrahldruckkopf |
US6585339B2 (en) | 2001-01-05 | 2003-07-01 | Hewlett Packard Co | Module manager for wide-array inkjet printhead assembly |
US6726298B2 (en) | 2001-02-08 | 2004-04-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Low voltage differential signaling communication in inkjet printhead assembly |
US6478396B1 (en) | 2001-03-02 | 2002-11-12 | Hewlett-Packard Company | Programmable nozzle firing order for printhead assembly |
US6471320B2 (en) | 2001-03-09 | 2002-10-29 | Hewlett-Packard Company | Data bandwidth reduction to printhead with redundant nozzles |
US6932453B2 (en) * | 2001-10-31 | 2005-08-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Inkjet printhead assembly having very high drop rate generation |
US6543879B1 (en) | 2001-10-31 | 2003-04-08 | Hewlett-Packard Company | Inkjet printhead assembly having very high nozzle packing density |
US6746107B2 (en) | 2001-10-31 | 2004-06-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Inkjet printhead having ink feed channels defined by thin-film structure and orifice layer |
US6726300B2 (en) | 2002-04-29 | 2004-04-27 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fire pulses in a fluid ejection device |
US7195328B2 (en) * | 2004-08-23 | 2007-03-27 | Silverbrook Res Pty Ltd | Symmetric nozzle arrangement |
US7182422B2 (en) * | 2004-08-23 | 2007-02-27 | Silverbrook Research Pty Ltd | Printhead having first and second rows of print nozzles |
JP4713587B2 (ja) * | 2004-08-23 | 2011-06-29 | シルバーブルック リサーチ ピーティワイ リミテッド | プリントヘッドモジュール |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4463359A (en) * | 1979-04-02 | 1984-07-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Droplet generating method and apparatus thereof |
US4429321A (en) * | 1980-10-23 | 1984-01-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording device |
CH649040A5 (fr) * | 1982-10-08 | 1985-04-30 | Battelle Memorial Institute | Dispositif pour projeter des gouttelettes d'un liquide electriquement conducteur. |
US4862197A (en) * | 1986-08-28 | 1989-08-29 | Hewlett-Packard Co. | Process for manufacturing thermal ink jet printhead and integrated circuit (IC) structures produced thereby |
US4695853A (en) * | 1986-12-12 | 1987-09-22 | Hewlett-Packard Company | Thin film vertical resistor devices for a thermal ink jet printhead and methods of manufacture |
US4791440A (en) * | 1987-05-01 | 1988-12-13 | International Business Machine Corporation | Thermal drop-on-demand ink jet print head |
US4847630A (en) * | 1987-12-17 | 1989-07-11 | Hewlett-Packard Company | Integrated thermal ink jet printhead and method of manufacture |
ES2091990T3 (es) * | 1988-06-03 | 1996-11-16 | Canon Kk | Cabezal para impresion por emision de liquido, substrato para el mismo y aparato para la impresion por emision de liquido que utiliza dicho cabezal. |
DE68928480T2 (de) * | 1988-07-03 | 1998-04-23 | Canon Kk | Tintenstrahlaufzeichnungsvorrichtung |
-
1989
- 1989-12-18 US US07/451,709 patent/US4999650A/en not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-12-06 JP JP3502708A patent/JP2991772B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1990-12-06 DE DE69007783T patent/DE69007783T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-12-06 WO PCT/US1990/007141 patent/WO1991008899A1/en active IP Right Grant
-
1991
- 1991-07-12 EP EP91902342A patent/EP0458958B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0458958A1 (en) | 1991-12-04 |
DE69007783T2 (de) | 1994-10-20 |
WO1991008899A1 (en) | 1991-06-27 |
DE69007783D1 (de) | 1994-05-05 |
US4999650A (en) | 1991-03-12 |
JPH04503930A (ja) | 1992-07-16 |
EP0458958B1 (en) | 1994-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2991772B2 (ja) | 多重作動構造を有するバブルジェット方式印刷ヘッド | |
US4791440A (en) | Thermal drop-on-demand ink jet print head | |
US6332677B1 (en) | Stable substrate structure for a wide swath nozzle array in a high resolution inkjet printer | |
US5648804A (en) | Compact inkjet substrate with centrally located circuitry and edge feed ink channels | |
EP0845359B1 (en) | Large array heater chips for thermal ink-jet printheads | |
JP3404470B2 (ja) | インクジェットプリントヘッド | |
US6491377B1 (en) | High print quality printhead | |
JP4034637B2 (ja) | インクジェット・プリントヘッドおよびそれを用いたインクジェット印刷方法 | |
US7798595B2 (en) | Substrate for ink jet printing head, ink jet printing head, ink jet printing apparatus, and method of blowing fuse element of ink jet printing head | |
KR101112533B1 (ko) | 유체 방출 장치 | |
US5568171A (en) | Compact inkjet substrate with a minimal number of circuit interconnects located at the end thereof | |
JP3235849B2 (ja) | インク・ジェット・プリンタ | |
EP0564072A2 (en) | Efficient conductor routing for inkjet printhead | |
JP2002248778A (ja) | ワイドアレイ・インクジェットプリントヘッドアセンブリ | |
RU2003102622A (ru) | Узкая многоцветная струйная печатающая головка | |
JP2001080074A (ja) | インクジェットプリンタ用プリントヘッド | |
EP0786343B1 (en) | Thermal ink jet printing apparatus and driving method | |
JPH0531898A (ja) | インクジエツト記録ヘツド | |
JPH0994968A (ja) | インクジェットプリントヘッド | |
JPH044152A (ja) | 熱インク・ジェット・プリントヘッド用多重回路付きインク供給構造および熱インク・ジェット・プリントヘッド | |
JPH08216411A (ja) | サーマルインクジェット用サーマルヘッド基板および その駆動方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |