JP2980964B2 - シートプラズマ形成用イオン源 - Google Patents
シートプラズマ形成用イオン源Info
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- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 8
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 9
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 9
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
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Description
オン源に関するものである。
が存在するが、その第1例の縦断面は第4図に示されて
いる。同図において、水平方向をz軸、垂直方向をy
軸、図面に垂直な方向をx軸とする。カソード1はカソ
ード収納室2内に配設され、そのカソード収納室2の先
端の開口には、第5図に示されるx軸方向に長辺、y軸
方向に短辺をもつスリット3を中央部に備えた多数のシ
ートプラズマ用電極4が絶縁物(図示せず)を介して一
直線上に配列され、そして、各シートプラズマ用電極4
のスリット3の繋がりにより、カソード収納室2内と連
通したシートプラズマ形成用通路5がz軸方向に一直線
上に形成されている。シートプラズマ用電極4のスリッ
ト3と同形のスリット6を中央部に備えたアノード7は
一直線上に配列されたシートプラズマ用電極4の先端に
絶縁物(図示せず)を介して配列され、アノード7のス
リット6とシートプラズマ用電極4のスリット3とが一
直線上に位置するようにされている。一直線上に配列さ
れたシートプラズマ用電極4の外周には、x軸方向に長
辺、y軸方向に短辺を持った短形空芯コイル8が巻か
れ、また、カソード収納室2の背後にも、短形空芯コイ
ル8と同形の短形空芯コイル9が配設されている。
コイル8により、第6図(a)、(b)に示すようにx
軸方向に一様な磁場が形成されるが、短形空芯コイル8
と短形空芯コイル9とに逆向きの電流を流すと、第7図
(a)、(b)に示すようにカソード収納室2の位置で
カスプ磁場が形成されるようになる。
違って、第8図に示されるように一直線上に配列された
シートプラズマ用電極4の外周に巻かれた短形空芯コイ
ル8の回りに、純鉄製の磁気リターン10を設け、そうす
ることによって、第9図(a)、(b)に示されるよう
にカソード収納室2における磁場強度を弱くしている。
記のように短形空芯コイル8と短形空芯コイル9とをカ
ソード収納室2の前後に配置しているため、イオン源の
占有面積が大きくなると共に、シートプラズマ用電極4
やアノード7を取り付けるときの作業空間が少なく、イ
オン源の組立やメインテナンス作業に時間がかかる問題
が起きた。また、第2例は上記のようにカソード収納室
2における磁場強度が弱くなるだけで、カプス磁場が形
成されないため、シートプラズマ生成上好ましくなくな
るうえ、第1例と同様に短形空芯コイル8を配置してい
るので、シートプラズマ用電極4やアノード7を取り付
けるときの作業空間が少なく、イオン源の組立やメイン
テナンス作業に時間がかかる問題が起きた。
ラズマ生成に必要な磁場を形成すると共に、組立やメイ
ンテナンス作業を短時間に行うことの可能なシートプラ
ズマ形成用イオン源を提供することにある。
マ形成用イオン源は、カソードを内部に配設したカソー
ド収納室2の先端の開口に、中央部にスリットを持つ多
数のシートプラズマ用電極を絶縁物を介して一直線上に
配列し、それにより、各シートプラズマ用電極のスリッ
トの繋がりによるシートプラズマ形成用通路を一直線上
に形成し、更に、シートプラズマ用電極のスリットと同
形のスリットを中央部に持つアノードを、このアノード
のスリットとシートプラズマ用電極のスリットとが一直
線上になるように、一直線上に配列されたシートプラズ
マ用電極の先端に絶縁物を介して配列し、更にその上、
コの字型をしたポールピースの回りにコイルを巻いた2
つの電磁石を、一直線上に配列されたシートプラズマ用
電極の両側に分離可能に配置したことを特徴とするもの
である。
の電流を流すと、シートプラズマ用電極のスリットの長
手軸方向に一様な磁場が形成されると共に、カソードお
よびアノードの近傍でカスプ磁場が形成されるようにな
る。また、一直線上に配列されたシートプラズマ用電極
の両側に配置されている2つの電磁石は分離可能である
ため、この電磁石を取り外すと、イオン源の分解、組立
時の作業空間が広くなり、作業時間を短縮することがで
きるようになる。
説明する。
図において、従来のイオン源と同様に、カソード1を内
部に配設したカソード収納室2の先端の開口には、長辺
と短辺とをもつスリット3をを中央部に備えた多数のシ
ートプラズマ用電極4が絶縁物(図示せず)を介してz
軸方向(水平方向)に一直線上に配列されている。そし
て、このように配列することにより、各シートプラズマ
用電極4のスリット3が繋がり、カソード収納室2内と
連通したシートプラズマ形成用通路5がz軸方向に一直
線上に形成されている。また、シートプラズマ用電極4
のスリット3と同形のスリット6を中央部に備えたアノ
ード7は、一直線上に配列されたシートプラズマ用電極
4の先端に絶縁物(図示せず)を介して配列され、アノ
ード7のスリット6とシートプラズマ用電極4のスリッ
ト3とがz軸方向に一直線上に位置するようにされてい
る。
と違って、一直線上に配列されたシートプラズマ用電極
4の上部および下部には、コの字型をしたポールピース
11a、11bの回りにコイル12a、12bを巻いた2つの電磁石
13a、13bが分離可能に配置され、コの字型をした各ポー
ルピース11a、11bの先端がシートプラズマ用電極4側に
向いている。第3図はこのような2つの電磁石13a、13b
を示す斜視図である。
a、13bのコイル12a、12bに同方向の電流を流した場合、
シートプラズマ用電極4のスリット3の長辺方向に一様
な磁場が形成される一方で、第2図(a)、(b)に示
されるように、カソード1およびアノード7の近傍でカ
スプ磁場が形成されるようになる。また、一直線上に配
列されたシートプラズマ用電極4の上部および下部に配
置されている2つの電磁石13a、13bは分離可能になって
いるため、電磁石13a、13bを取り外すと、実施例のイオ
ン源の分解、組立時の作業空間が広くなり、作業時間を
短縮することができるようになる。
4のスリット3がY方向(垂直方向)に存在している場
合には、2つの電磁石13a、13bを一直線上に配列された
シートプラズマ用電極4の左右に配置してもよい。
スの回りにコイルを巻いた2つの電磁石を、一直線上に
配列されたシートプラズマ用電極の両側に分離可能に配
置しているので、2つの電磁石のコイルに同方向の電流
を流すと、シートプラズマ用電極のスリット長手軸方向
に一様な磁場が形成されると共に、カソードおよびアノ
ードの近傍でカスプ磁場が形成され、シートプラズマ生
成に必要な磁場を形成することが可能になる。また、2
つの電磁石を取り外すと、イオン源の分解、組立時の作
業空間が広くなり、作業時間を短縮することができるよ
うになる。
図は縦断面図、第2図(a)、(b)はカスプ磁場の形
成される状態を示す説明図、第3図は2つの電磁石を示
す斜視図である。第4図〜第7図(a)、(b)は従来
のシートプラズマ形成用イオン源の第1例を示してお
り、第4図は縦断面図、第5図はシートプラズマ用電極
のスリットを示す説明図、第6図(a)、(b)はシー
トプラズマ用電極のスリットのx軸方向に形成される一
様な磁場を示す説明図、第7図(a)、(b)はシート
プラズマ形成用イオン源に形成されるカスプ磁場を示す
説明図である。第8図および第9図(a)、(b)は従
来のシートプラズマ形成用イオン源の第2例を示してお
り、第8図は縦断面図、第9図(a)、(b)はシート
プラズマ形成用イオン源に形成される磁場を示す説明図
である。 図中、 1……カソード 2……カソード収納室 3……スリット 4……シートプラズマ用電極 5……スリット 6……シートプラズマ形成用通路 7……アノード 11a、11b……ポールピース 12a、12b……コイル 13a、13b……電磁石
Claims (1)
- 【請求項1】カソードを内部に配設したカソード収納室
2の先端の開口に、中央部にスリットを持つ多数のシー
トプラズマ用電極を絶縁物を介して一直線上に配列し、
それにより、各シートプラズマ用電極のスリットの繋が
りによるシートプラズマ形成用通路を一直線上に形成
し、更に、シートプラズマ用電極のスリットと同形のス
リットを中央部に持つアノードを、このアノードのスリ
ットとシートプラズマ用電極のスリットとが一直線上に
なるように、一直線上に配列されたシートプラズマ用電
極の先端に絶縁物を介して配列し、更にその上、コの字
型をしたポールピースの回りにコイルを巻いた2つの電
磁石を、一直線上に配列されたシートプラズマ用電極の
両側に配置したことを特徴とするシートプラズマ形成用
イオン源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2275848A JP2980964B2 (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | シートプラズマ形成用イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2275848A JP2980964B2 (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | シートプラズマ形成用イオン源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04149931A JPH04149931A (ja) | 1992-05-22 |
JP2980964B2 true JP2980964B2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=17561280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2275848A Expired - Fee Related JP2980964B2 (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | シートプラズマ形成用イオン源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2980964B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9928988B2 (en) | 2013-03-13 | 2018-03-27 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Ion source |
-
1990
- 1990-10-15 JP JP2275848A patent/JP2980964B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9928988B2 (en) | 2013-03-13 | 2018-03-27 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Ion source |
US10217601B2 (en) | 2013-03-13 | 2019-02-26 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Ion source |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04149931A (ja) | 1992-05-22 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080917 Year of fee payment: 9 |
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