JP2979374B2 - 高圧ガスボンベ用バルブ - Google Patents

高圧ガスボンベ用バルブ

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JP2979374B2 JP6323601A JP32360194A JP2979374B2 JP 2979374 B2 JP2979374 B2 JP 2979374B2 JP 6323601 A JP6323601 A JP 6323601A JP 32360194 A JP32360194 A JP 32360194A JP 2979374 B2 JP2979374 B2 JP 2979374B2
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  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造ガス等の毒
性ガスや可燃性ガスなどを充填した高圧ガス用ボンベに
取付けて利用する高圧ガスボンベ用バルブに関する。
【0002】
【従来の技術】抑々、毒性ガスや可燃ガスなどを充填し
たボンベは、安全基準の面から、緊急遮断のできるバル
ブの取付が義務付けられている。このような義務付けに
対応するバルブとしては、積み重ねた円板バネの力によ
って着座状態とし空気または窒素ガスの送入によって離
脱状態とするピストンの作用により開閉するダイアフラ
ム式高圧ガスボンベ用バルブ(以下、従来例と記す。)
が特開平1−112091号公報に開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例のようなバ
ルブを用いた高圧ガスボンベ用バルブは、約150kg
f/cmもの高い圧力が加えられることになっている
ものが多く、閉弁状態(着座状態)を確保するためには
相当大きな力の円板バネを多数校まで積重ねて用いなけ
ればならなく、また、当該円板バネに抗して開弁状態を
確保するにはダイアフラムの受圧面積の関係で約11〜
12kgf/cmの空気圧力が必要である。
【0004】また、上記従来例は、たとえばガス充填等
を空気圧装置のない場所で行いたいなどのときには手動
操作で強制的に開弁できるようになっているが、この場
合には円板バネの作用力に抗する手動力が必要になるも
のであって、アーム部分の長いレンチ等特殊工具が必要
になる。
【0005】更にまた、上記従来例は、輸送および保管
のために用いる輸送キャップ(図1中、符号56参照)
の中に納まるようにする必要からピストンを複数段重ね
としている。このために複雑な構成となっている。
【0006】また、上記従来例は、円板バネの作用によ
って閉弁状態を維持するようになっているが、予想外な
外的ショック等によってガス漏れを起してしまう危惧が
全くないとは言えないものであり、また流体圧供給装置
側に事故があってピストンが流体圧を受けて開弁状態と
なってしまう誤作動を惹起する危険性もあった。
【0007】本発明は、上記のような事実に鑑み、産
業上利用されている空気圧の代表的な圧力すなわち約5
〜6kgf/cmで開弁できるようにする、空気圧
装置の無い場所でも手動で任意に強制的に開いたり閉じ
たりできるようにする、一枚のピストンでも構成でき
るようにする、上記したようなガス漏れや誤作動をな
くするようにする等の工夫を施した新規の高圧ガスボン
ベ用バルブを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決しょうとする手段】上記目的を達成するた
めに本発明に係る高圧ガスボンベ用バルブは、 ボンベ
内のガスを導出して他に供給する流路と、当該流路の
途中に設けた弁座11と、当該弁座11に着座・離脱す
るベローズ45付き弁体42と、弁体42をコイルバネ
44により着座状態とし流体の送入により離脱状態とす
るピストン19内蔵のシリンダ装置20と、同ピストン
19におけるピストンロッド27の外出端部を囲む状態
としてシリンダ装置20に設けた閉じ操作用雌ネジ33
と、閉じ操作用雌ネジ33に着脱可能に螺合する閉じ操
作用雄ネジ48をもつ上記弁体42の開閉用手動ハンド
ル47と、を備えたものであり、また、ボンベ内のガ
スを導出して他に供給する流路と、当該流路の途中に設
けた弁座11と、当該弁座11に着座・離脱するベロー
45付き弁体42と、弁体42をコイルバネ44によ
り着座状態とし流体の送入により離脱状態とするピスト
19内蔵のシリンダ装置20と、シリンダ装置20に
ピストンロッド27の外出端部を囲む状態として設けた
閉じ操作用雌ネジ33と、ピストンロッド27の外出端
部に刻設した開き操作用雄ネジ34と、上記の閉じ操作
用雌ネジ33に着脱可能に螺合する閉じ操作用雄ネジ4
8をもつと共に上記の開き操作用雄ネジ34に着脱可能
に螺合する開き操作用雌ネジ54をもつ上記弁体42の
開閉用手動ハンドル47と、を備えたものであり、そし
て、手動ハンドル47に設けた開き操作用雌ネジ51を
ピストンロッド27に設けた開き操作用雄ネジ34に螺
着したときに手動ハンドル47の回転摩擦を小さくする
スラストベアリング52、テフロンワッシャ等回転摩擦
軽減用スラスト軸受を設けたものであり、そして、手動
ハンドル47に設けた開き操作用雌ネジ51をピストン
ロッド27に設けた開き操作用雄ネジ34に螺着したと
きには上方向きに開口した状態を呈し且つ手動ハンドル
47に設けた閉じ操作用雄ネジ48をシリング装置20
に設けた閉じ操作用雌ネジ33に螺着したときには下方
向きに開口した状態を呈してシリンダ装置20の上辺部
を覆い隠す皿形状の手動ハンドル47をもつものであ
る。
【0009】
【実施例】図に示す実施例は、下端にボンベ1への取付
け用第1雄ネジ2を、一方側面に安全弁ナット3の螺着
用第2雄ネジ4を、他方側面にガス供給管(図示せず)
の連結用第3雄ネジ5を、また上端面にシリンダ装置取
付用第4雄ネジ6をそれぞれ設けた弁本体7を構成し、
第4雄ネジ6の上面に凹孔8を、この凹孔8の底面に弁
室9をそれぞれ穿設すると共に弁室9の底面に上記第1
雄ネジ2の下端面に連通する第1導出孔10を貫設し、
この第1導出孔10の上端開口縁に弁座11を突設し、
また上記第2雄ネジ4の外端面に第1導出孔10の中間
位置に連通する第2導出孔12を、この第2導出孔12
の外端に安全弁嵌着孔13をそれぞれ穿設し、更に上記
凹孔8の底面に上記第3雄ネジ5の外端面に連通するガ
ス供給孔14を穿設する。このガス供給孔14の内端
は、凹孔8の底面に位置しているので、弁室9内等にガ
スのよどみやゴミだまりが発生しにくく、腐食防止やゴ
ミ防止に有効である。
【0010】また、上記弁本体7とは別個に、上端にシ
リンダキャップ16を、下端にシリンダベース17をそ
れぞれ螺着したシリンダ18と当該シリンダ18内に上
下動可能に装入したピストン19から成るシリンダ装置
20を構成し、シリンダキャップ16の中央に上側孔2
1を開設して当該上側孔21にバネ受け部材22を第1
鍔状部23の係止により上方に抜けない状態として嵌着
し、このバネ受け部材22の下面とピストン19の上面
との間に同ピストン19を押下するコイルバネ44を挟
装し、更にピストン19の中央に第3鍔状部28の係止
およびロックナット29の締付によりピストンロッド2
7を固定し、このピストンロッド27の上端部30をバ
ネ受け部材22の上側に予め開設した貫出用孔31を介
して貫出すると共にバネ受け部材22の上面に貫出用孔
31を囲む状態で短い筒状の突縁32を突設し、この筒
状突縁32の内周面に閉じ操作用雌ネジ(第1雌ネジ
33を、またピストンロッド27の上端部30の外周に
開き操作用雄ネジ(第5雄ネジ34をそれぞれ刻設す
る。
【0011】上記のシリンダベース17の中央に上半分
が小さい径で下半分が大きい径の下側孔を開設して当該
下側孔の小径孔36にガイドブッシュ25を第2鍔状部
26の係止により上方に抜けない状態として嵌着すると
共に下側孔の大径孔37の周面に弁本体7への取付用第
2雌ネジ38を刻設し、またガイドブッシュ25の中心
孔に弁ロッド39を下方から挿入して当該弁ロッド39
の上端を上記ピストンロッド27の下端に連結用雌・雄
ネジ40、41の螺合により連結すると共に弁ロッド3
9の下端に弁体42を設け、また弁ロッド39において
弁体42の上側の個所にベローズ45をそのベローズフ
ランジ46を上側として設ける。
【0012】上記弁ロッド39の下端部分を弁室9内に
挿入し且つ第2雌ネジ38に第4雄ネジ6を螺じ込むこ
とによってシリンダ装置20を弁本体7に取付ける。
【0013】更に、上記弁本体7とシリンダ装置20と
は別個に、伏せた皿の形状を呈する手動ハンドル47を
構成し、この手動ハンドル47の下面の中央個所に上記
第1雌ネジ33に螺入自在の閉じ操作用雌ネジ(第6雄
ネジ48を設け、この第6雄ネジ48の下端面にピス
トンロッド27の上端部30の逃げ用凹所49を穿設す
ると共に手動ハンドル47の上面の中央個所に筒状突起
50を突設し、この筒状突起50の内周面に上記第5雄
ネジ34に螺着自在の開き操作用雄ネジ(第3雌ネジ
51を設けると共に当該筒状突起50の付け根個所にス
ラストベアリング52を固定する。
【0014】上記第6雄ネジ48の第1雌ネジ33の螺
着により、または第5雄ネジ34と第3雌ネジ51の螺
着によって手動ハンドル47をシリンダ装置20に装着
するようにしたものである。
【0015】尚、上記のスラストベアリング52の代わ
りにテフロン等製滑り部材を使用することがある。
【0016】図中、符号54はピストン19をコイルバ
ネ44の作用力に抗して押し上げる作動用空気または窒
素ガスの送入口、55はピストン19の回転阻止用ダ
ボ、56は輸送キャップを示す。
【0017】
【作用】本発明に係る高圧ガスボンベ用バルブの作動を
上記実施例に依拠して説明する。すなわち、空気圧で開
弁する場合には、空気の送入口54を介してシリンダベ
ース17とピストン19の間に一般に使用されている約
5〜6kgf/cmの空気を入れる。斯くすると同ピ
ストン19がコイルバネ44の作用力に抗して上昇し、
ピストンロッド27および弁ロッド39を介して弁体4
2を弁座11より離脱させ開弁状態とする。この開弁に
よってボンベ1内から第1導出孔10、弁室9およびガ
ス供給孔14を介してガスの供給をなす。
【0018】空気圧を解消した場合には、コイルバネ4
4の作用力によって弁体42が弁座11に着座して閉弁
し上記ガスの供給を停止する。
【0019】手動ハンドル47で弁するときには、当
該手動ハンドル47を図3において示すように第5雄ネ
ジ34と第3雌ネジ51が螺合した裏側が上の状態とし
て装着して捻回操作を行うことにより、ピストンロッド
27、ピストン19および弁ロッド39を引き上げて弁
体42を弁座11から離脱させる。尚、この手動ハンド
ル47による開弁操作のときには、スラストベアリング
52が回転摩擦を顕著に軽減することになるので、手動
ハンドル47の捻回操作が容易になる。
【0020】手動ハンドル47で弁するときには、当
該手動ハンドル47を図1において示すように第6雄ネ
ジ48と第1雌ネジ33が螺合した表側が上の状態とし
て装着して捻回操作を行うことにより、ピストンロッド
27、ピストン19および弁ロッド39を押下して弁体
42を弁座11に着座させる。
【0021】
【発明の効果】本発明に係る高圧ガスボンベ用バルブ
は、ボンベ内のガスを導出して他に供給する流路と、
当該流路の途中に設けた弁座11と、当該弁座11に着
座・離脱するベローズ45付き弁体42と、弁体42
コイルバネ44により着座状態とし流体の送入により離
脱状態とするピストン19内蔵のシリンダ装置20と、
同ピストン19におけるピストンロッド27の外出端部
を囲む状態としてシリンダ装置20に設けた閉じ操作用
雌ネジ33と、閉じ操作用雌ネジ33に着脱可能に螺合
する閉じ操作用雄ネジ48をもつ上記弁体42の開閉用
手動ハンドル47と、を備えたことを特徴とするので、
すなわち受圧面積がダイヤフラムよりも顕著に狭いベロ
ーズの採用およびコイルバネの採用により構成したもの
であるので、産業上利用されている空気圧の代表的な圧
力で開弁状態を得ることができ且つ手動ハンドル47に
設けた開き操作用雌ネジ51をピストンロッド27に設
けた開き操作用雄ネジ34に螺着したときには上方向き
に開口した状態を呈し且つ手動 ハンドル47に設けた閉
じ操作用雄ネジ48をシリンダ装置20に設けた閉じ操
作用雌ネジ33に螺着したときには下方向きに開口した
状態を呈してシリンダ装置20の上辺部を覆い隠す皿形
状の手動ハンドル47をもつことを特徴とするのでピス
トンも手動ハンドルも汎用の輸送キャップの中に納まる
直径(大きさ)とすることが可能となる利点があり、ま
たボンベ内のガスを導出して他に供給する流路と、当
該流路の途中に設けた弁座11と、当該弁座11に着座
・離脱するベローズ45付き弁体42と、弁体42をコ
イルバネ44により着座状態とし流体の送入により離脱
状態とするピストン19内蔵のシリンダ装置20と、
リンダ装置20にピストンロッド27の外出端部を囲む
状態として設けた閉じ操作用雌ネジ33と、ピストンロ
ッド27の外出端部に刻設した開き操作用雄ネジ34
と、上記の閉じ操作用雌ネジ33に着脱可能に螺合する
閉じ操作用雄ネジ48をもつと共に上記の開き操作用雄
ネジ34に着脱可能に螺合する開き操作用雌ネジ54を
もつ上記弁体42の開閉用手動ハンドル47と、を備え
たことを特徴とするので、装備の手動ハンドルを反転す
る等して用いることによって空気圧装置の無い場所でも
任意に強制的に開いたり閉じたりできる利便さがあり、
更に手動ハンドル47に設けた開き操作用雌ネジ51を
ピストンロッド27に設けた開き操作用雄ネジ34に螺
着したときに手動ハンドル47の回転摩擦を小さくする
スラストベアリング52、テフロンワッシャ等回転摩擦
軽減用スラスト軸受を設けたことを特徴とするので、手
動ハンドルを用いてコイルバネの作用力に抗して開弁状
態とするときには、同手動ハンドルの回転操作を容易
(軽く)に行うことができ、また、上記したように手動
操作で強制的に閉じることが可能であるので、上記した
ガス漏れや誤作動を回避する場合には手動で閉じておく
ことができ、しかも手動ハンドルで開ロックも可能であ
るので使い勝手もよいものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を閉弁状態で示す断面図であ
る。
【図2】同じく空気圧で開いた状態を示す断面図であ
る。
【図3】同じく手動ハンドルで開いた状態を示す断面図
である。
【符号の説明】
1 ボンベ 2 第1雄ネジ 3 安全弁ナット 4 第2雄ネジ 5 第3雄ネジ 6 第4雄ネジ 7 弁本体 8 凹孔 9 弁室 10 第1導出孔 11 弁座 12 第2導出孔 13 安全弁嵌着孔 14 ガス供給孔 16 シリンダキャップ 17 シリンダベース 18 シリンダ 19 ピストン 20 シリンダ装置 21 上側孔 22 バネ受け部材 23 第1鍔状部 25 ガイドブッシュ 26 第2鍔状部 27 ピストンロッド 28 第3鍔状部 29 ロックナット 30 上端部 31 貫出用孔 32 筒状突縁 33 第1雌ネジ 34 第5雄ネジ 36 小径孔 37 大径孔 38 第2雌ネジ 39 弁ロッド 40 連結用雌ネジ 41 連結用雄ネジ 42 弁体 44 コイルバネ 45 ベローズ 46 ベローズフランジ 47 手動ハンドル 48 第6雄ネジ 49 逃げ用凹所 50 筒状突起 51 第3雌ネジ 52 スラストベアリング 54 作動用空気の送入口 55 ダボ 56 輸送キャップ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) F17C 13/04

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ボンベ内のガスを導出して他に供給す
    る流路と、当該流路の途中に設けた弁座11と、当該弁
    11に着座・離脱するベローズ45付き弁体42と、
    弁体42をコイルバネ44により着座状態とし流体の送
    入により離状態とするピストン19内蔵のシリング装
    20と、同ピストン19におけるピストンロッド27
    の外出端部を囲む状態としてシリンダ装置20に設けた
    閉じ操作用雌ネジ33と、閉じ操作用雌ネジ33に着脱
    可能に螺合する閉じ操作用雄ネジ48をもつ上記弁体4
    2の開閉用手動ハンドル47と、を備えたことを特徴と
    する高圧ガスボンベ用バルブ。
  2. 【請求項2】 ボンベ内のガスを導出して他に供給す
    る流路と、当該流路の途中に設けた弁座11と、当該弁
    11に着座・離脱するベローズ45付き弁体42と、
    弁体42をコイルバネ44により着座状態とし流体の送
    入により離状態とするピストン19内蔵のシリンダ装
    20と、シリンダ装置20にピストンロッド27の外
    出端部を囲む状態として設けた閉じ操作用雌ネジ33
    と、ピストンロッド27の外出端部に刻設した開き操作
    用雄ネジ34と、上記の閉じ操作用雌ネジ33に着脱可
    能に螺合する閉じ操作用雄ネジ48をもつと共に上記の
    開き操作用雄ネジ34に着脱可能に螺合する開き操作用
    雌ネジ54をもつ上記弁体42の開閉用手動ハンドル4
    7と、を備えたことを特徴とする高圧ガスボンベ用バル
    ブ。
  3. 【請求項3】 手動ハンドル47に設けた開き操作用雌
    ネジ51をピストンロッド27に設けた開き操作用雄ネ
    ジ34に螺着したときに手動ハンドル47の回転摩擦を
    小さくするスラストベアリング52、テフロンワッシャ
    等回転摩擦軽減用スラスト軸受を設けたことを特徴とす
    る請求項2記載の高圧ガスボンベ用バルブ。
  4. 【請求項4】 手動ハンドル47に設けた開き操作用雌
    ネジ51をピストンロッド27に設けた開き操作用雄ネ
    ジ34に螺着したときには上方向きに開口した状態を呈
    し且つ手動ハンドル47に設けた閉じ操作用雄ネジ48
    をシリンダ装 置20に設けた閉じ操作用雌ネジ33に螺
    着したときには下方向きに開口した状態を呈してシリン
    ダ装置20の上辺部を覆い隠す皿形状の手動ハンドル4
    7をもつことを特徴とする請求項2または3記載の高圧
    ガスボンベ用バルブ。
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